JPH01105403A - 誘電体材料 - Google Patents
誘電体材料Info
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- JPH01105403A JPH01105403A JP62263274A JP26327487A JPH01105403A JP H01105403 A JPH01105403 A JP H01105403A JP 62263274 A JP62263274 A JP 62263274A JP 26327487 A JP26327487 A JP 26327487A JP H01105403 A JPH01105403 A JP H01105403A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、誘電体材料、特にマイクロ波帯の周波数域
において優れた誘電特性を有する誘電体材料に関する。
において優れた誘電特性を有する誘電体材料に関する。
近年、衛星放送、自動車無線、パーソナル無線等のよう
なマイクロ波帯を利用した通信システムの利用が盛んで
ある。これらのシステムに用いられる通信機器のフィル
タや周波数安定化用共振器等の共振回路系には、もっば
ら誘電体共振器が使われる。共振器用の誘電体材料は、
当然、マイクロ波帯において高い比誘電率と低い誘電損
失をもつことが要求される。
なマイクロ波帯を利用した通信システムの利用が盛んで
ある。これらのシステムに用いられる通信機器のフィル
タや周波数安定化用共振器等の共振回路系には、もっば
ら誘電体共振器が使われる。共振器用の誘電体材料は、
当然、マイクロ波帯において高い比誘電率と低い誘電損
失をもつことが要求される。
比誘電率が大きいほど素子形状を小さくすることができ
るので、−船釣には、この比誘電率は大きいほどよい。
るので、−船釣には、この比誘電率は大きいほどよい。
しかし、この材料を誘電体共振器として用いたときの大
きさが利用する周波数帯で取り扱いやすい寸法となるよ
うに選定する必要もあり、一義的には定まらないが、例
えば、100tlz帯では20〜40程度が適している
。
きさが利用する周波数帯で取り扱いやすい寸法となるよ
うに選定する必要もあり、一義的には定まらないが、例
えば、100tlz帯では20〜40程度が適している
。
一方、誘電損失(tanδ−1/Q)は小さいほどよく
、例えば、用いる周波数帯で1 /10000程度は必
要とされる。
、例えば、用いる周波数帯で1 /10000程度は必
要とされる。
マイクロ波帯に使われる誘電体材料として、従来、Ba
Ti40q 、Baz Ti、020% Ba (Zn
+7a Tawys ) 03 、あるいは、Ba
(C。
Ti40q 、Baz Ti、020% Ba (Zn
+7a Tawys ) 03 、あるいは、Ba
(C。
1/3 N bz/3) O:+のようなり a (
AI/3 Bg/3)03 (ただし、Aは2価イオン
、Bは5価イオン)系材料等が一般的に知られている。
AI/3 Bg/3)03 (ただし、Aは2価イオン
、Bは5価イオン)系材料等が一般的に知られている。
ところで、共振回路系の性能向上のために、誘電損失を
いっそう低くすることが求められている。極低誘電損失
の誘電体材料は、低位相雑音発振器や高電力用フィルタ
ー・分波器等にも利用可能となり、用途が広い。
いっそう低くすることが求められている。極低誘電損失
の誘電体材料は、低位相雑音発振器や高電力用フィルタ
ー・分波器等にも利用可能となり、用途が広い。
この発明は、前記事情に鑑み、マイクロ波帯において、
実用的な範囲の比誘電率を保持し、かつ極めて低い誘電
損失特性を有する誘電体材料を提供することを目的とす
る。
実用的な範囲の比誘電率を保持し、かつ極めて低い誘電
損失特性を有する誘電体材料を提供することを目的とす
る。
前記目的を達成するため、発明者は、様々な角度から検
討を行った。そして、多数の誘電体材料のうちから、組
成式’ B a (A+za B2/3 ) 03(
但し、Aは2価イオン、Bは5価イオン)であられされ
、複合ペロブスカイト系結晶構造を有する誘電体材料の
うちでも、誘電損失が極めて小さいBa (Mg+z
3Ta2/3 )03に着目した。この誘電体材料は、
複雑な結晶構造を有しており、誘電損失等の誘電特性の
機構の解明が十分されておらず、改善できる可能性が大
きいとみたのである。
討を行った。そして、多数の誘電体材料のうちから、組
成式’ B a (A+za B2/3 ) 03(
但し、Aは2価イオン、Bは5価イオン)であられされ
、複合ペロブスカイト系結晶構造を有する誘電体材料の
うちでも、誘電損失が極めて小さいBa (Mg+z
3Ta2/3 )03に着目した。この誘電体材料は、
複雑な結晶構造を有しており、誘電損失等の誘電特性の
機構の解明が十分されておらず、改善できる可能性が大
きいとみたのである。
複合ペロプスカイト系結晶構造を有する誘電体材料では
、マイクロ波領域では、イオン分極が誘電特性を基本的
に支配する。この場合、以下に述べるように、赤外活性
な基準振動モードのToモード(Transverse
0ptical Mode)の周波数と古典分散理論
からマイクロ波領域での比誘電率ε′ (ε=ε’−j
ε“)および誘電損失(tanδ−I/Q)を推定する
ことができる。
、マイクロ波領域では、イオン分極が誘電特性を基本的
に支配する。この場合、以下に述べるように、赤外活性
な基準振動モードのToモード(Transverse
0ptical Mode)の周波数と古典分散理論
からマイクロ波領域での比誘電率ε′ (ε=ε’−j
ε“)および誘電損失(tanδ−I/Q)を推定する
ことができる。
1、5 tera〜300teraHz(50〜100
0 cm−’)の範囲の赤外線スペクトルの測定結果を
クラマースークローニソヒ(Kramers−Kron
ig)の関係式に適用し、赤外領域における各Toモー
ドの周波数(通常、複数のTOモードがある)とそれぞ
れの周波数におけるε“の値、すなわち周波数(赤外類
MU> −複素誘電率の虚数部ε“の誘電分散を求める
。この結果を、さらに古典分散理論から導かれる下記(
2)式に適用するのである。ただし、(2)式はν〈〈
ν、(ω−2πν)の条件で近似式化されている。
0 cm−’)の範囲の赤外線スペクトルの測定結果を
クラマースークローニソヒ(Kramers−Kron
ig)の関係式に適用し、赤外領域における各Toモー
ドの周波数(通常、複数のTOモードがある)とそれぞ
れの周波数におけるε“の値、すなわち周波数(赤外類
MU> −複素誘電率の虚数部ε“の誘電分散を求める
。この結果を、さらに古典分散理論から導かれる下記(
2)式に適用するのである。ただし、(2)式はν〈〈
ν、(ω−2πν)の条件で近似式化されている。
ε′;ε■十苓4πρ1(I)
ただし、
シ、:’roモードの周波数
4πρJ =TOモードの周波数ν1における複素誘電
率のε“成分の値に応じて定まる 共振の強さの値 TJ :減衰定数;電子分極の与える誘電率に近似でき
る。
率のε“成分の値に応じて定まる 共振の強さの値 TJ :減衰定数;電子分極の与える誘電率に近似でき
る。
εOo:電子分極の与える誘電率の近似値上記の(2)
式は、Toモードの周波数ν4が上がれば誘電損失が小
さくなることを示している。このことから、発明者は、
上記誘電体材料の格子振動の解析を試み、以下の知見を
見出すことができた。すなわち、上記誘電体材料では、
赤外活性な格子振動が円振動と弁振動からなる。ここで
いう円振動とは、Mgイオン(またはTaイオン)とこ
のイオンに最近接な0イオンの間で起こる振動であり、
弁振動とは、Mgイオン(またはTaイオン)およびO
イオンの集団とBaイオンとの間で起こる振動であり、
長距離的クーロン相互作用である。したがって、弁振動
の周波数の方が円振動のそれよりも低く、そのため、弁
振動のTOモードの周波数を高くすることができれば、
これに伴い誘電損失も低下させられるであろうという知
見が得られたのである。
式は、Toモードの周波数ν4が上がれば誘電損失が小
さくなることを示している。このことから、発明者は、
上記誘電体材料の格子振動の解析を試み、以下の知見を
見出すことができた。すなわち、上記誘電体材料では、
赤外活性な格子振動が円振動と弁振動からなる。ここで
いう円振動とは、Mgイオン(またはTaイオン)とこ
のイオンに最近接な0イオンの間で起こる振動であり、
弁振動とは、Mgイオン(またはTaイオン)およびO
イオンの集団とBaイオンとの間で起こる振動であり、
長距離的クーロン相互作用である。したがって、弁振動
の周波数の方が円振動のそれよりも低く、そのため、弁
振動のTOモードの周波数を高くすることができれば、
これに伴い誘電損失も低下させられるであろうという知
見が得られたのである。
弁振動の周波数は、Baイオンの質量と密接な関係があ
る。Baイオンの質量がもし小さ(なれば弁振動の周波
数が高くなることになるのである。それで、このBaイ
オンの一部を他のイオン、より質量の小さいイオンで置
き換え、誘電損失を小さく、かつ、比誘電率ε′を実用
的な範囲に維持することができると推察し、その方向で
さらに深く検討を続けた。その結果、Baイオンの一部
をSrイオンで置き換えれば、実用的な比誘電率ε′を
維持しつつ、誘電損失を小さくすることができることを
見出せたのである。Srの原子量は87.6であり、B
aの原子量の137.3のそれよりも相当に小さく、上
記推察の正しさが裏付けられた格好となっている。
る。Baイオンの質量がもし小さ(なれば弁振動の周波
数が高くなることになるのである。それで、このBaイ
オンの一部を他のイオン、より質量の小さいイオンで置
き換え、誘電損失を小さく、かつ、比誘電率ε′を実用
的な範囲に維持することができると推察し、その方向で
さらに深く検討を続けた。その結果、Baイオンの一部
をSrイオンで置き換えれば、実用的な比誘電率ε′を
維持しつつ、誘電損失を小さくすることができることを
見出せたのである。Srの原子量は87.6であり、B
aの原子量の137.3のそれよりも相当に小さく、上
記推察の正しさが裏付けられた格好となっている。
したがって、この発明は、
組成式:
%式%)
であられされ、複合ペロブスカイト系結晶構造を有する
誘電体材料において、Baイオンの一部がSrイオンに
置換されてなることを特徴とする誘電体材料を要旨とす
る。
誘電体材料において、Baイオンの一部がSrイオンに
置換されてなることを特徴とする誘電体材料を要旨とす
る。
以下、この発明をさらに詳しく説明する。
この発明にかかる誘電体材料の組成式はつぎの通りであ
る。
る。
Ba、−XSrX <Mg+z+ Ta2/3 )03
ただし、O<X<1 Baイオンの置換割合、すなわち、Baイオン(1−x
):Srイオン(X)は、比誘電率と誘電損失の観点か
らは、0.6:0.4〜o、t:o、9の範囲が好まし
い。なお、比率はモル比である。置換割合が上記比率を
下回ると、Srによる置換効果が少な(比誘電率と誘電
損失の向上の程度が小さい。逆に上記割合を上回ってし
まっても、結晶構造の歪を生じるため向上の程度が小さ
い。誘電体材料は温度特性も重要な要素であり、実用に
あたっては、上記範囲に限らず、これらの各特性がバラ
ンスする置換割合が選ばれることはいうまでもない。
ただし、O<X<1 Baイオンの置換割合、すなわち、Baイオン(1−x
):Srイオン(X)は、比誘電率と誘電損失の観点か
らは、0.6:0.4〜o、t:o、9の範囲が好まし
い。なお、比率はモル比である。置換割合が上記比率を
下回ると、Srによる置換効果が少な(比誘電率と誘電
損失の向上の程度が小さい。逆に上記割合を上回ってし
まっても、結晶構造の歪を生じるため向上の程度が小さ
い。誘電体材料は温度特性も重要な要素であり、実用に
あたっては、上記範囲に限らず、これらの各特性がバラ
ンスする置換割合が選ばれることはいうまでもない。
f3aイオンがSrイオンで置換された状態、すなわち
、複合ペロブスカイト系誘電体材料が、例えば、固溶体
となっているようにすればよい。
、複合ペロブスカイト系誘電体材料が、例えば、固溶体
となっているようにすればよい。
続いて、具体的な実施例と比較例の説明を行う〔実施例
1〜9〕 純度99.9%以上のBaco3.5rCOs、MgO
1Ta20.の各粉末を、SrとBaの比率が第1表゛
に示すような割合となるように用いて、実施例1〜9の
誘電体材料を作成した。作成はつぎのようにして行った
。まず上記粉末を混合し、蒸留水を添加して24時間ボ
ースミル粉砕を行った後、乾燥させてから、温度:11
00℃、4時間の仮焼を行い粒状の複合ペロブスカイト
系化合物を得た。ついで、この化合物を再び粉砕し、所
定の形状にした後、ルツボ内のMgO板上に置いて、温
度:1600℃、2時間、空気雰囲気で焼成し誘電体材
料を得た。得られた材料の寸法は、直径約11mm、長
さ約15mmの円柱である。上記雰囲気が、チッソガス
、アルゴンガス、あるいは、酸素ガス雰囲気である場合
もある。
1〜9〕 純度99.9%以上のBaco3.5rCOs、MgO
1Ta20.の各粉末を、SrとBaの比率が第1表゛
に示すような割合となるように用いて、実施例1〜9の
誘電体材料を作成した。作成はつぎのようにして行った
。まず上記粉末を混合し、蒸留水を添加して24時間ボ
ースミル粉砕を行った後、乾燥させてから、温度:11
00℃、4時間の仮焼を行い粒状の複合ペロブスカイト
系化合物を得た。ついで、この化合物を再び粉砕し、所
定の形状にした後、ルツボ内のMgO板上に置いて、温
度:1600℃、2時間、空気雰囲気で焼成し誘電体材
料を得た。得られた材料の寸法は、直径約11mm、長
さ約15mmの円柱である。上記雰囲気が、チッソガス
、アルゴンガス、あるいは、酸素ガス雰囲気である場合
もある。
〔比較例1〜16〕
Baイオンを全く含まず、全てがSrイオンである以外
は上記実施例と同じようにして作成したものを比較例1
とした。逆に、Srイオンを全く含まないものを比較例
2として作成した。また、MgイオンとTaイオンが、
第2表にみるようなイオンと置き換えられている比較例
3〜16の誘電体材料も作成した。
は上記実施例と同じようにして作成したものを比較例1
とした。逆に、Srイオンを全く含まないものを比較例
2として作成した。また、MgイオンとTaイオンが、
第2表にみるようなイオンと置き換えられている比較例
3〜16の誘電体材料も作成した。
なお、作成した誘電体材料が、ペロブスカイト系結晶構
造をしていて、かつBaイオンがSrイオンで置換され
ていることは、X線回折により確認した。
造をしていて、かつBaイオンがSrイオンで置換され
ていることは、X線回折により確認した。
各誘電体材料の比誘電率ε′、および、Q値を、数G〜
約20数GHz帯における測定に適した誘電体円柱共振
器法により測定した。測定に用いた機器は、ヒユーレッ
ト・パラカード社製:ネットワークアナライザ8510
Tである。測定結果を、第1.2表に示す。
約20数GHz帯における測定に適した誘電体円柱共振
器法により測定した。測定に用いた機器は、ヒユーレッ
ト・パラカード社製:ネットワークアナライザ8510
Tである。測定結果を、第1.2表に示す。
第1表
渭淀周波数IQGHz
上記第1.2表から、Srイオンの添加により、比誘電
率特性および誘電損失特性が最も向上したものとなって
おり、極めて実用的価値が高いことが分かる。
率特性および誘電損失特性が最も向上したものとなって
おり、極めて実用的価値が高いことが分かる。
この材料は、前記した共振器等のみならず、マイクロ波
集積回路用基板として用いたり、導波管の空洞内に入れ
導波管の小型化を図るのに用いたりもできる。
集積回路用基板として用いたり、導波管の空洞内に入れ
導波管の小型化を図るのに用いたりもできる。
この発明は上記実施例に限らない。誘電体材料が上記に
例示した以外の製法で作られてもよい。誘電体材料が単
結晶であってもよい。
例示した以外の製法で作られてもよい。誘電体材料が単
結晶であってもよい。
この発明にかかる誘電体材料は、上記に述べたような構
成であるので、誘電体材料は、マイクロ波帯の周波数領
域において、十分に実用的な比誘電率であり、極低誘電
損失である。
成であるので、誘電体材料は、マイクロ波帯の周波数領
域において、十分に実用的な比誘電率であり、極低誘電
損失である。
代理人 弁理士 松 本 武 彦
Claims (1)
- (1)組成式: Ba(Mg_1_/_3Ta_2_/_3)O_3であ
らわされ、複合ペロブスカイト系結晶構造を有する誘電
体材料において、Baイオンの一部がSrイオンに置換
されてなることを特徴とする誘電体材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62263274A JPH01105403A (ja) | 1987-10-18 | 1987-10-18 | 誘電体材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62263274A JPH01105403A (ja) | 1987-10-18 | 1987-10-18 | 誘電体材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01105403A true JPH01105403A (ja) | 1989-04-21 |
Family
ID=17387185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62263274A Pending JPH01105403A (ja) | 1987-10-18 | 1987-10-18 | 誘電体材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01105403A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6291417A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-25 | Ube Ind Ltd | 多重湿式法による易焼結性ペロブスカイト及びその固溶体の原料の製造方法 |
-
1987
- 1987-10-18 JP JP62263274A patent/JPH01105403A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6291417A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-25 | Ube Ind Ltd | 多重湿式法による易焼結性ペロブスカイト及びその固溶体の原料の製造方法 |
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