JP7841977B2 - 保護シート配設方法、及び保護シート配設装置 - Google Patents

Description

本発明は、剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設方法、及び保護シート配設装置に関する。

携帯電話やパソコン等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体等の材料からなるウェーハの表面に互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）を設定する。そして、分割予定ラインで区画される各領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large-scale Integration）等のデバイスを形成する。その後、ウェーハを裏面側から研削して薄化し、分割予定ラインに沿って分割すると、個々のデバイスチップが形成される。

ウェーハの研削は、保持テーブルと、研削ホイールが装着された研削ユニットと、を備える研削装置（特許文献１参照）で実施される。ウェーハ等の板状物が研削装置に搬入される前には、板状物の被研削面とは反対側の面に保護部材として粘着テープが貼着される。粘着テープは、基材層と、基材層に配設された粘着層と、から構成される。

粘着テープが板状物に貼着される前に粘着層に異物等が付着することのないように、粘着テープには剥離シートが配設される。粘着テープに剥離シートが配設されて一体化された状態では粘着テープが剥離シートにより補強されるため、粘着テープによじれやシワ等が発生しにくい。剥離シートが剥離されると粘着テープによじれ等が生じ易くなるため、粘着テープが板状物に貼着される直前に剥離シートが該粘着テープから剥離される。

そして、粘着テープを板状物に貼着するテープ貼着装置（特許文献２参照）においては、剥離シートが粘着テープから剥離されることで粘着層が露出され、露出した粘着層を板状物に接触させる。より詳細には、テープ貼着装置では、粘着テープの一端で剥離シートを剥離し板状物に貼着し、剥離シートを引っ張ってさらに剥離し粘着層の露出領域を広げつつ押圧ローラーで板状物を押圧することで、板状物の一端から粘着テープを貼着させていく。これにより、保護部材として機能する粘着テープが板状物に貼着される。

特開２０００－２８８８８１号公報 特開２０１８－２０６８３３号公報

しかしながら、剥離シートを剥離しながら同時並行的に板状物に粘着テープを貼着する場合、剥離シートの剥離により生じる応力が粘着テープに印加された状態で粘着テープが板状物に貼着される。この応力は常時一定とはならないため、板状物の被保護面に粘着テープが均一な状態では貼着されない。

また、剥離シートが剥離された部分において粘着テープの剛性が低くなるため、粘着層の一つの領域が露出されてから当該領域が板状物に貼着されるまでの間に、剥離シートの剥離に伴う応力により粘着テープの当該領域によじれやシワ等が発生しやすい。よじれやシワが生じた粘着テープを板状物に貼着すると、粘着テープと板状物の間に気泡が入り込むという問題が生じる。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、粘着テープ等の保護シートをよじれやシワの生じていない状態で板状物に配設するシート配設方法、及びシート配設装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、基材層と、該基材層に配設された粘着層と、を含み該粘着層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設方法であって、該板状物の表面の全域を被覆できる大きさ及び形状を有した該保護シートを準備する保護シート準備ステップと、該保護シートに配設された該剥離シートを該板状物の該表面の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ステップと、該剥離シート切断ステップの後、該切断溝の外側において該剥離シートを該保護シートに残すとともに、該切断溝の内側において該剥離シートを該保護シートから剥離して該粘着層を部分的に露出させる剥離ステップと、該切断溝よりも内側において該粘着層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において保持することと、保持テーブルによって保持され該表面を露出した該板状物の該表面に対して該剥離ステップで部分的に露出した該粘着層が対面する位置及び向きに該保護シートを位置付ける対面ステップと、該対面ステップの後、部分的に露出した該粘着層を該板状物の該表面に接触させるとともに該保護シートを該板状物に押圧して貼着することにより該保護シートを該板状物に配設する配設ステップと、該配設ステップの後、または、該配設ステップと同時に、該剥離シートと重ならない位置で該保護シートを切断することで該保護シートが配設された該板状物を得る保護シート切断ステップと、を備え、該配設ステップでは、該切断溝の該外側において該剥離シートが配設された状態の該保護シートを該板状物に配設することを特徴とする保護シート配設方法が提供される。

本発明の他の一態様によれば、粘着層を有さず、熱可塑性樹脂で形成された熱可塑性樹脂層を含み、該熱可塑性樹脂層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設方法であって、該板状物の表面の全域を被覆できる大きさ及び形状を有した該保護シートを準備する保護シート準備ステップと、該保護シートに配設された該剥離シートを該板状物の該表面の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ステップと、該剥離シート切断ステップの後、該切断溝の外側において該剥離シートを該保護シートに残すとともに、該切断溝の内側において該剥離シートを該保護シートから剥離して該熱可塑性樹脂層を部分的に露出させる剥離ステップと、該切断溝よりも内側において該熱可塑性樹脂層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において保持することと、保持テーブルによって保持され該表面を露出した該板状物の該表面に対して該剥離ステップで部分的に露出した該熱可塑性樹脂層が対面する位置及び向きに該保護シートを位置付ける対面ステップと、該対面ステップの後、部分的に露出した該熱可塑性樹脂層を該板状物の該表面に接触させるとともに該保護シートを加熱しながら該板状物に押圧して熱圧着することにより該保護シートを該板状物に配設する配設ステップと、該配設ステップの後、または、該配設ステップと同時に、該剥離シートと重ならない位置で該保護シートを切断することで該保護シートが配設された該板状物を得る保護シート切断ステップと、を備え、該配設ステップでは、該切断溝の該外側において該剥離シートが配設された状態の該保護シートを該板状物に配設することを特徴とする保護シート配設方法が提供される。

好ましくは、該配設ステップは、減圧雰囲気中で行われる。

本発明のさらに他の一態様によれば、基材層と、該基材層に配設された粘着層と、を含み該粘着層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設装置であって、該剥離シートが配設された該保護シートを巻回して構成された原反ロールから該剥離シートが配設された該保護シートを繰り出す繰り出しユニットと、該保護シートに配設された該剥離シートを、該板状物の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ユニットと、該剥離シート切断ユニットによって切断された該剥離シートの該切断溝よりも内側の部分を該保護シートから剥離して該粘着層を部分的に露出させる剥離ユニットと、該保護シートの該剥離シートが残る領域に対応するように保持部に配設された吸引部を備え、該切断溝よりも内側において該粘着層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において該吸引部により保持して搬送する搬送ユニットと、該板状物を保持面で保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該板状物に部分的に露出した該粘着層が対面し接触する状態で該保護シートを押圧して該板状物に配設する配設ユニットと、該配設ユニットにより該板状物に配設された該保護シートを該剥離シートと重ならない位置で切断して該保護シートが配設された該板状物を形成する保護シート切断ユニットと、を備えることを特徴とする保護シート配設装置が提供される。

本発明のまた別の一態様によれば、粘着層を有さず、熱可塑性樹脂で形成された熱可塑性樹脂層を含み、該熱可塑性樹脂層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設装置であって、該剥離シートが配設された該保護シートを巻回して構成された原反ロールから該剥離シートが配設された該保護シートを繰り出す繰り出しユニットと、該保護シートに配設された該剥離シートを、該板状物の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ユニットと、該剥離シート切断ユニットによって切断された該剥離シートの該切断溝よりも内側の部分を該保護シートから剥離して該熱可塑性樹脂層を部分的に露出させる剥離ユニットと、該保護シートの該剥離シートが残る領域に対応するように保持部に配設された吸引部を備え、該切断溝よりも内側において該熱可塑性樹脂層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において該吸引部により保持して搬送する搬送ユニットと、該板状物を保持面で保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該板状物及び該保護シートの一方または両方を加熱する加熱部を有し、該保持テーブルで保持された該板状物に部分的に露出した該熱可塑性樹脂層が対面し接触する状態で、該加熱部で該板状物及び該保護シートの一方または両方を加熱しながら該保護シートを押圧して該板状物に熱圧着することで該板状物に該保護シートを配設する配設ユニットと、該配設ユニットにより該板状物に配設された該保護シートを該剥離シートと重ならない位置で切断して該保護シートが配設された該板状物を形成する保護シート切断ユニットと、を備える保護シート配設装置が提供される。

好ましくは、減圧可能なチャンバーを備え、該チャンバーは、該保持テーブルと、該配設ユニットと、を収容可能である。

また、好ましくは、該繰り出しユニットで繰り出された該保護シートを該板状物よりも大きい外形に切断するシート外形切断ユニットをさらに備える。

本発明の一態様に係る保護シート配設方法及び保護シート配設装置では、保護シートに配設された剥離シートを板状物の表面の外縁に沿う形状で予め切断して切断溝を形成し、切断溝の内側において剥離シートを保護シートから剥離する。この状態で、剥離シートから露出した部分において保護シートを板状物の表面に配設する。その後、残りの剥離シートごと保護シートの不要部分を切除する。

この場合、予め剥離シートが部分的に保護シートから剥離されているため、保護シートを板状物に配設する際、剥離シートの剥離により生じる応力が粘着テープに印加されない。さらに、保護シートを板状物に配設する際に剥離シートの切断溝の周囲に残る剥離シートが保護シートの補強材として機能し、保護シートのよじれやシワ等の発生が抑制される。そのため、板状物と保護シートの間に気泡が入り込むという問題が生じにくくなる。

したがって、本発明の一態様によると、粘着テープ等の保護シートをよじれやシワの生じていない状態で板状物に配設できるシート配設方法、及びシート配設装置が提供される。

保護シート配設装置を模式的に示す斜視図である。 図２（Ａ）は、繰り出しユニットを模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、カットステージを模式的に示す斜視図である。 図３（Ａ）は、剥離ユニットを模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、搬送ユニットを模式的に示す斜視図である。 保護シート配設ユニットを模式的に示す斜視図である。 図５（Ａ）は、保護シート準備ステップを模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、切断される保護シートを拡大して模式的に示す断面図であり、図５（Ｃ）は、切断される剥離シートを模式的に示す断面図である。 図６（Ａ）は、保護シートを保持するカットステージを模式的に示す断面図であり、図６（Ｂ）は、上下反転したカットステージを模式的に示す断面図である。 図７（Ａ）は、剥離ステップを模式的に示す断面図であり、図７（Ｂ）は、搬送ユニットで搬送される保護シートを模式的に示す断面図である。 図８（Ａ）は、搬送の第１段階における保護シートを模式的に示す断面図であり、図８（Ｂ）は、搬送の第２段階における保護シートを模式的に示す断面図である。 保護シートが板状物に配設される様子を模式的に示す断面図である。 図１０（Ａ）は、保護シート及び切断溝が形成された剥離シートを模式的に示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は、切断溝の内側において剥離シートが剥離された保護シートを模式的に示す斜視図であり、図１０（Ｃ）は、保護シートが配設された板状物を模式的に示す斜視図である。 図１１（Ａ）は、粘着層を含む保護シートが配設された板状物を模式的に示す断面図であり、図１１（Ｂ）は、熱可塑性樹脂層を含む保護シート、剥離シート、及び板状物を模式的に示す断面図であり、図１１（Ｃ）は、熱可塑性樹脂層を含む保護シートが配設された板状物を模式的に示す断面図である。 保護シートの配設方法の各ステップの流れを示すフローチャートである。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る保護シート配設方法及び保護シート配設装置では、表面に複数の半導体デバイスが形成された半導体ウェーハ等の板状物に保護シートが配設される。

まず、保護シートが配設される板状物について説明する。図１には、板状物１１を示す斜視図が含まれており、図１０（Ｃ）には、保護シート１３が配設された板状物１１が示されている。板状物１１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（窒化ガリウム）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料からなる略円板状の基板等である。ただし、板状物１１はこれに限定されない。板状物１１は、矩形状でもよい。

板状物１１の表面１１ａは、互いに交差する複数の分割予定ライン（不図示）で区画される。板状物１１の表面１１ａの分割予定ラインで区画された各領域には、ＩＣやＬＳＩ等のデバイス（不図示）が形成される。板状物１１を薄化し、分割予定ラインに沿って分割すると、それぞれデバイスを有した個々のデバイスチップを製造できる。

板状物１１の薄化は、研削装置で板状物１１を裏面１１ｂ側から研削することにより実施される。板状物１１の研削は、保持テーブルと、研削ホイールが装着された研削ユニットと、を備える研削装置で実施される。板状物１１が研削装置に搬入される前には、板状物１１の被研削面となる裏面１１ｂとは反対側の面である表面１１ａに保護シート１３が貼着される。

図５（Ａ）には、保護シート１３を模式的に示す断面図が含まれており、図１０（Ｃ）には、保護シート１３が配設された板状物１１の斜視図が示されている。保護シート１３は、例えば、フィルム状の基材層１５と、基材層１５に配設された粘着層（糊層）１７と、を含む粘着テープである。

基材層１５は、例えば、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなる。また、粘着層１７は、エポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。なお、粘着層１７には、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いてもよい。

また、保護シート１３は、粘着層１７を備えなくてもよく、ポリオレフィンやポリエステル等の熱可塑性樹脂で形成された基材層１５、すなわち、熱可塑性樹脂層により構成されてもよい。逆に、保護シート１３は、基材層１５及び粘着層１７以外の層をさらに備えてもよい。以下、基材層１５及び粘着層１７を備える保護シート１３を板状物１１に配設する場合を例に説明する。

保護シート１３が板状物１１に貼着される前に粘着層１７に異物等が付着することのないように、保護シート１３の粘着層１７には剥離シート１９が配設される。保護シート１３に剥離シート１９が配設されて一体化された状態では、保護シート１３が剥離シート１９により補強され、保護シート１３によじれやシワ等が発生しにくい。

例えば、保護シート１３の基材層１５の厚さは１００μｍ程度とされ、粘着層１７の厚さは３０μｍ程度とされる。そして、剥離シート１９の厚さは１００μｍ程度とされる。ただし、保護シート１３の基材層１５、粘着層１７、及び剥離シート１９の厚さはこれらに限定されない。

そして、粘着テープで構成される保護シート１３を板状物１１に貼着する従来のテープ貼着装置及びテープ貼着方法においては、剥離シート１９が保護シート１３の全面で剥離されることで粘着層１７が露出され、露出した粘着層１７を板状物１１に接触させる。

より詳細には、テープ貼着装置では、まず、保護シート１３の一端で剥離シート１９を剥離し板状物１１に貼着する。そして、剥離シート１９を引っ張ってさらに剥離し粘着層１７の露出領域を広げつつ、押圧ローラーで上方から板状物１１を押圧することで、板状物１１の一端から保護シート１３を貼着させていた。これにより、粘着テープで形成された保護シート１３が板状物１１に貼着されていた。

しかしながら、剥離シート１９を剥離しながら同時並行的に板状物１１に保護シート１３を貼着する場合、剥離シート１９の剥離により生じる応力が保護シート１３に印加された状態で保護シート１３が板状物１１に貼着される。この応力は常時一定とはならないため、板状物１１の被保護面である表面１１ａに保護シート１３が均一な状態では貼着されない。

また、剥離シート１９が剥離された部分において、保護シート１３の剛性は低くなる。そのため、粘着層１７の一つの領域が露出されてから当該領域が板状物１１に貼着されるまでの間、剥離シート１９の剥離に伴う応力により保護シート１３の当該領域によじれやシワ等が発生しやすい。よじれやシワが生じた保護シート１３を板状物１１に貼着すると、保護シート１３と板状物１１の間に気泡が入り込むという問題が生じる。

そこで、本実施形態に係る保護シート配設装置及び保護シート配設方法は、粘着テープ等の保護シート１３をよじれやシワの生じていない状態で板状物１１に配設できるように構成される。以下、まず、本実施形態に関する保護シート配設装置について説明する。図１は、本実施形態に係る保護シート配設装置２を模式的に示す斜視図である。

図２（Ａ）は、原反ロール４と、保護シート１３と、保護シート１３に配設された剥離シート１９と、繰り出しユニット６と、剥離シート切断ユニット８と、シート外形切断ユニット１０と、ローラー１２と、を模式的に示す斜視図である。図２（Ａ）に示す通り、保護シート配設装置２は、剥離シート１９が配設された保護シート１３が長尺で巻かれた原反ロール４と、原反ロール４から送り出された保護シート１３の進行経路を形成するローラー１２と、を有する。

また、保護シート配設装置２は、原反ロール４から保護シート１３を繰り出す繰り出しユニット６を備える。繰り出しユニット６は、原反ロール４の軸方向（水平方向、Ｘ軸方向）に直交する方向に移動可能な移動体１６と、移動体１６に組み込まれた把持部１８と、を有する。移動体１６には、原反ロール４の軸方向に垂直な方向（水平方向、Ｙ軸方向）に沿ったレール（不図示）がスライド可能に接続されるとともに、移動体１６をレールに沿って移動させるモータ等の駆動源（不図示）が接続されている。

例えば、移動体１６には、保護シート１３を両側方からそれぞれ把持できるように一対の把持部１８が組み込まれている。各把持部１８は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿って互いに接近できる一対の把持体を備え、両把持体の間に保護シート１３が入る状態で両把持体を接近させることで保護シート１３を把持できる。保護シート１３の把持を解除したい場合、両把持体を互いに離れる方向に移動させる。

繰り出しユニット６で原反ロール４から保護シート１３を繰り出す際には、原反ロール４から送り出されローラー１２で案内された保護シート１３を取りに行くように移動体１６を原反ロール４の軸方向に垂直な方向（Ｙ軸方向）に移動させる。そして、各把持部１８で保護シート１３の先端付近を把持し、移動体１６をＹ軸方向に沿って逆方向に移動させる。これにより保護シート１３が原反ロール４から繰り出される。

保護シート配設装置２は、さらに、保護シート１３に配設された剥離シート１９を切断する剥離シート切断ユニット８と、原反ロール４から保護シート１３を切り離すシート外形切断ユニット１０と、を備える。さらに、保護シート配設装置２は、原反ロール４から繰り出された保護シート１３を支持するカットステージ１４（図２（Ｂ）参照）を備える。

剥離シート切断ユニット８は、保護シート１３に配設された剥離シート１９を、保護シート１３を配設する対象となる板状物１１の外縁に沿う形状で切断する。そして、保護シート１３に切断溝を形成する。剥離シート切断ユニット８は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った回転軸部２２と、回転軸部２２の下端から水平方向に沿って伸びた腕部２４と、腕部２４の先端下方に配設されたカッター（切断工具）２６と、を有する。腕部２４に対するカッター２６の取り付け位置は、調整可能でもよい。

剥離シート切断ユニット８で剥離シート１９が切断される際、切断対象となる剥離シート１９が配設された保護シート１３は、後に詳述するカットステージ１４に保持される。そして、剥離シート切断ユニット８の回転軸部２２は、カットステージ１４の上面の中心の真上に位置付けられる。

腕部２４の基端側は回転軸部２２の下端に接続されており、腕部２４の先端側には下方に突き出たカッター２６が接続されている。腕部２４は、保護シート１３が配設される板状物１１の被配設面である表面１１ａの半径と同程度の長さとされる。または、腕部２４に対するカッター２６の取り付け位置は、回転軸部２２から板状物１１の表面１１ａの半径と同程度に離れた位置とされる。剥離シート切断ユニット８は、回転軸部２２を回転させるモータ等の回転駆動源２０を有し、この回転駆動源２０を作動させることで腕部２４を径とする環状軌道上でカッター２６を移動させる。

保護シート配設装置２は、さらに、繰り出しユニット６で原反ロール４から繰り出された保護シート１３を板状物１１よりも大きい外形に切断するシート外形切断ユニット１０を備える。シート外形切断ユニット１０は、下方に突き出たカッター２８と、カッター２８を原反ロール４の軸方向に沿った方向（Ｘ軸方向）に沿って移動させる移動機構（不図示）と、を備える。シート外形切断ユニット１０は、移動機構を作動させることでカッター２８をＸ軸方向に移動できる。

剥離シート切断ユニット８及びシート外形切断ユニット１０は、それぞれ、上下方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降可能である。特に、剥離シート切断ユニット８は、繰り出しユニット６で繰り出された保護シート１３に配設された剥離シート１９の下面よりも下方の高さ位置にカッター２６の下端が到達するように下降できる。また、シート外形切断ユニット１０は、保護シート１３の下面よりも下方の高さ位置にカッター２８の下端が到達するように下降できる。

図２（Ｂ）は、カットステージ１４を模式的に示す斜視図である。カットステージ１４は、繰り出しユニット６により繰り出された保護シート１３を保持する保持プレート３０と、保持プレート３０の向きを上下反転させる際の回転軸となる反転軸部３４と、を備える。カットステージ１４は、原反ロール４から繰り出された保護シート１３に保持プレート３０が接触する高さ位置まで上昇可能である。

保持プレート３０は、上面が平坦な保持面３０ａとなっており、保持面３０ａに載せられた保護シート１３に保持力を作用させて保護シート１３を保持する。例えば、保持プレート３０は一端が保持面３０ａに通じた吸引路（不図示）を内部に有し、この吸引路の他端にポンプ等の吸引源が接続される。保持面３０ａに保護シート１３が載せられているときにこの吸引源を作動させると、保持面３０ａ側から保護シート１３に負圧が作用し、保護シート１３が保持プレート３０に吸引保持される。

なお、保持プレート３０は吸引保持以外の方法で保護シート１３を保持してもよい。例えば、保持プレート３０は電源に接続された電極を内部に有し、保持面３０ａに載せられた保護シート１３に静電気的な力を作用させてもよい。すなわち、保持プレート３０は保護シート１３を静電チャックしてもよい。

保持プレート３０は、シート外形切断ユニット１０のカッター２８の移動経路に沿った、すなわち、Ｘ軸方向に沿った逃げ溝３２を備える。保持プレート３０が保持する保護シート１３をカッター２８が切断する際、カッター２８が逃げ溝３２に入り込むことでカッター２８と保持プレート３０の接触が回避される。

反転軸部３４は、例えば、Ｘ軸方向に沿って配設されており、一端に図示しないモータ等の回転駆動源が接続される。反転軸部３４は、保持プレート３０の下面に接続されている。そして、カットステージ１４は、反転軸部３４に接続された回転駆動源を制御して反転軸部３４を回転させることで、保持プレート３０の保持面３０ａが上方に向いた状態と、保持面３０ａが下方に向いた状態と、に切り替え可能である。

カットステージ１４の保持プレート３０上では、図５（Ｂ）に示す通り、保持プレート３０に保持された保護シート１３がシート外形切断ユニット１０のカッター２８により切断される。このとき、カッター２８の下端が保護シート１３よりも低い位置に到達する。しかしながら、保持プレート３０には逃げ溝３２が形成されているため、カッター２８は保持プレート３０に接触しない。

また、カットステージ１４の保持プレート３０上では、図５（Ｃ）に示す通り、保護シート１３に配設された剥離シート１９が剥離シート切断ユニット８によって切断される。ここで、カッター２６の下端は剥離シート１９よりも低い位置に到達するとともに、保護シート１３を突き抜けさせないようにカッター２６の高さを調整する。

図６（Ａ）には、カッター２６により切断され切断溝２１が形成された剥離シート１９が模式的に示されている。図１０（Ａ）は、保護シート１３に配設され切断されて切断溝２１が形成された剥離シート１９と、保護シート１３と、を模式的に示す斜視図である。保護シート配設装置２では、次に、剥離シート切断ユニット８によって切断された剥離シート１９の切断溝２１よりも内側の部分を保護シート１３から剥離して粘着層１７を部分的に露出させる。

図１等に示す通り、保護シート配設装置２は、保護シート１３から部分的に剥離シート１９を剥離させる剥離ユニット３６を備える。剥離ユニット３６は、カットステージ１４の下方に設けられる。そして、剥離ユニット３６が剥離シート１９を部分的に剥離する際には、カットステージ１４の保持プレート３０が保護シート１３を保持したまま反転軸部３４を中心に回転し、図６（Ｂ）に示す通り、保持面３０ａが下方に向けられる。

次に、保護シート配設装置２が備える剥離ユニット３６について説明する。図３（Ａ）は、剥離ユニット３６を模式的に示す斜視図であり、図７（Ａ）には、剥離ユニット３６を模式的に示す側面図が含まれている。

剥離ユニット３６は、基材と、該基材の一方の面に形成された粘着層と、で構成される剥離テープ４２がロール状に巻かれた状態で引き出し可能に装着される剥離テープ供給部３８と、剥離テープ４２を巻き取って回収する巻き取り部５４と、を備える。さらに、剥離ユニット３６は、剥離テープ供給部３８から引き出された剥離テープ４２を誘導して剥離テープ４２の進行経路を形成する複数のローラー４４を有する。

剥離テープ供給部３８は、未使用の剥離テープ４２のロールが装着される送り出しローラー４０と、送り出しローラー４０を回転させる回転駆動源（不図示）と、を備える。また、巻き取り部５４は、使用済みの剥離テープ４２が巻き取られてロールが形成される巻き取りローラー５６と、巻き取りローラー５６を回転させる回転駆動源（不図示）と、を備える。

また、剥離ユニット３６は、剥離テープ４２の進行経路を形成する複数のローラー４４の一部が配設された移動体４６と、移動体４６を移動させる駆動部５２と、を備える。駆動部５２は、Ｙ軸方向に沿ったレール４８を有する。レール４８には移動体４６がＸ軸方向に沿ってスライド可能に装着されており、駆動部５２は移動体４６をレール４８に沿って移動させる駆動源（不図示）を有する。

外部から移動体４６に供給された剥離テープ４２は、ローラー４４にガイドされて進行経路上を進行し、移動体４６の外部に進む。移動体４６を移動させる際、剥離テープ４２の弛みが生じないように、また、剥離テープ４２に過度な引っ張り力が印加されないように、送り出しローラー４０及び巻き取りローラー５６を適宜回転させる。これにより、進行経路を進む剥離テープ４２の長さを調整する。

さらに、剥離ユニット３６は、進行経路上を進行する剥離テープ４２を押し上げる押圧部５０を移動体４６に有する。押圧部５０は、移動体４６とともにＹ軸方向に沿って移動可能であるとともに、移動体４６に対してＺ軸方向に沿って昇降可能である。押圧部５０をＺ軸方向に沿って上昇させると、カットステージ１４の保持プレート３０に保持された保護シート１３に配設された剥離シート１９に剥離テープ４２が押圧され、剥離テープ４２が剥離シート１９に貼着される。

次に、剥離ユニット３６による剥離シート１９の剥離過程について説明する。まず、保持プレート３０の下方に移動体４６を移動させる。このとき、剥離シート１９に形成された切断溝２１の僅かに内側の部分の下方に押圧部５０が位置付けられるように移動体４６の位置が調節される。図７（Ａ）は、この状態におけるカットステージ１４、保護シート１３、及び剥離ユニット３６を模式的に示す断面図（側面図）である。

次に、押圧部５０を上昇させ、剥離テープ４２を剥離シート１９に押圧して貼着する。その後、駆動部５２で移動体４６を移動させることで剥離テープ４２を移動させ、剥離シート１９を剥離テープ４２で引っ張る。このとき、送り出しローラー４０及び巻き取りローラー５６を適宜回転または停止させる。すると、保護シート１３に配設されていた剥離シート１９が切断溝２１の内側で剥離されていく。

そして、巻き取りローラー５６で剥離テープ４２を巻き取りつつさらに移動体４６を移動させて剥離シート１９の保護シート１３からの剥離を進行させ、最終的に切断溝２１の内側で保護シート１３から剥離シート１９を完全に引き剥がす。巻き取りローラー５６をさらに回転させると、剥離シート１９が貼り付いた剥離テープ４２ａが巻き取り部５４で巻き取られて回収される。

図７（Ｂ）には、切断溝２１の内側で剥離シート１９が剥離された保護シート１３を模式的に示す断面図が含まれている。図１０（Ｂ）は、剥離シート１９が部分的に剥離された保護シート１３を模式的に示す斜視図である。剥離シート１９が切断溝２１の内側で部分的に剥離されると、粘着層１７が部分的に露出する。この粘着層１７の露出面が板状物１１の表面１１ａに保護シート１３が配設（貼着）される際の貼着面１７ａとなる。

ここで、剥離シート１９が部分的に除去された状態においても、貼着面１７ａの外側には剥離シート１９が保護シート１３に配設されたまま残る。そのため、保護シート１３は剥離シート１９により補強され、保護シート１３によじれやシワ等が生じにくい状態が維持される。逆に言えば、仮に保護シート１３の全面で剥離シート１９が剥離されると、保護シート１３は剥離シート１９により支持されなくなるため、よじれやシワ等が生じ易い状態となる。

剥離シート１９が部分的に剥離された保護シート１３は、配設対象となる板状物１１に向けて搬送される。図３（Ｂ）は、搬送ユニット５８を模式的に示す斜視図である。次に、保護シート１３を搬送する搬送ユニット５８について説明する。

搬送ユニット５８は、保持プレート３０に保持された保護シート１３を受け取り保護シート１３を搬出する第１の搬送機構６２ａと、第１の搬送機構６２ａから保護シートを受け取り板状物１１に搬送する第２の搬送機構６２ｂと、を含む。第１の搬送機構６２ａは、保護シート１３を下方から支持し、第２の搬送機構６２ｂは、保護シート１３を上方から支持する。

搬送ユニット５８は、Ｙ軸方向に沿ったレール６０を備え、レール６０に第１の搬送機構６２ａ及び第２の搬送機構６２ｂがスライド可能に接続されている。第１の搬送機構６２ａは、一端がレール６０に接続され、他端に保持部６６ａが配設され、水平方向に沿っている腕部６４ａを備える。第２の搬送機構６２ｂは、一端がレール６０に接続され、他端に保持部６６ｂが配設され、水平方向に沿っている腕部６４ｂを備える。

第１の搬送機構６２ａの腕部６４ａ及び第２の搬送機構６２ｂの腕部６４ｂは、それぞれ、図示しない昇降機構により昇降可能である。そして、第１の搬送機構６２ａの腕部６４ａ及び第２の搬送機構６２ｂの腕部６４ｂは、互いの移動に干渉しないように異なる高さに位置付けることも可能である。

第１の搬送機構６２ａの保持部６６ａ及び第２の搬送機構６２ｂの保持部６６ｂは、例えば、搬送対象となる保護シート１３と同様の形状及び大きさに整形された板状部材とされるとよい。第１の搬送機構６２ａの保持部６６ａの上面には、図示しない吸引源にそれぞれ接続された複数の吸引部６８ａが配設されている。また、第２の搬送機構６２ｂの保持部６６ｂの下面には、図示しない吸引源にそれぞれ接続された複数の吸引部６８ｂが配設されている。

第１の搬送機構６２ａの各吸引部６８ａは、保護シート１３の剥離シート１９が残る領域に対応するように保持部６６ａに配設されている。換言すると、第１の搬送機構６２ａが保護シート１３を搬送する際にすべての吸引部６８ａが保護シート１３に残る剥離シート１９に接触できるように各吸引部６８ａの配置が決定される。

同様に、第２の搬送機構６２ｂの各吸引部６８ｂは、保護シート１３の剥離シート１９が残る領域に対応するように保持部６６ｂに配設されている。換言すると、第２の搬送機構６２ｂが保護シート１３を搬送する際にすべての吸引部６８ｂが保護シート１３の剥離シート１９が残る領域に接触できるように各吸引部６８ｂの配置が決定される。

カットステージ１４の保持プレート３０に保持された保護シート１３を搬送ユニット５８で搬送する手順について説明する。図７（Ｂ）には、剥離ユニット３６で剥離シート１９が部分的に剥離された保護シート１３を模式的に示す断面図が含まれている。保護シート１３を搬送する際には、図７（Ｂ）に示すように、剥離ユニット３６を保持プレート３０の下方から退避させ、搬送ユニット５８の第１の搬送機構６２ａの保持部６６ａを保持プレート３０の下方に移動させる。

その後、カットステージ１４を下降させ、または、第１の搬送機構６２ａの保持部６６ａを上昇させ、保護シート１３に配設された剥離シート１９の下面に第１の搬送機構６２ａの各吸引部６８ａを接触させる。その後、各吸引部６８ａに接続された吸引源を作動させて第１の搬送機構６２ａによる保護シート１３及び剥離シート１９の吸引保持を開始する。次に、保持プレート３０による保護シート１３等の保持を解除する。その後、第１の搬送機構６２ａをレール６０にスライドさせてＹ軸方向に沿って移動させる。

搬送ユニット５８では、次に、第１の搬送機構６２ａから第２の搬送機構６２ｂに保護シート１３を受け渡す。図８（Ａ）は、第１の搬送機構６２ａで搬送された保護シート１３を第２の搬送機構６２ｂに受け渡す際の搬送ユニット５８を模式的に示す断面図である。

第１の搬送機構６２ａから第２の搬送機構６２ｂに保護シート１３を受け渡す際には、第１の搬送機構６２ａの保持部６６ａと、第２の搬送機構６２ｂの保持部６６ｂと、が重なるように両保持部６６ａ，６６ｂを相対的に移動させる。そして、保持部６６ａを上昇させ、または、保持部６６ｂを下降させ、保護シート１３の上面（基材層１５側）に第２の搬送機構６２ｂの吸引部６８ｂの下端を接触させる。

次に、第２の搬送機構６２ｂの吸引部６８ｂに接続された吸引源を作動させて第２の搬送機構６２ｂによる保護シート１３及び剥離シート１９の吸引保持を開始する。そして、第１の搬送機構６２ａの吸引部６８ａに接続された吸引源を停止させて、第１の搬送機構６２ａによる保護シート１３等の保持を解除する。そして、保持部６６ａ及び保持部６６ｂを離間させる。

その後、第２の搬送機構６２ｂをレール６０にスライドさせてＹ軸方向に沿って移動させる。図８（Ｂ）は、第２の搬送機構６２ｂで搬送される保護シート１３を模式的に示す断面図である。以上の手順により、搬送ユニット５８により保護シート１３を搬送し、板状物１１の上方に位置付ける。

次に、保護シート１３が搬送される板状物１１を支持し、板状物１１への保護シート１３の配設を実施する構成について説明する。図１には、板状物１１を保持面７６ａで支持する保持テーブル７４と、保護シート１３を切断する保護シート切断ユニット８２と、保護シート１３を板状物１１に押圧する押圧ローラー９２と、を模式的に示す斜視図が含まれている。

図１に簡易的に示す通り、保持テーブル７４と、保護シート切断ユニット８２と、押圧ローラー９２と、は真空チャンバー７０に収容されてもよく、保護シート１３の板状物１１への配設は真空雰囲気中（減圧雰囲気中）で実施されてもよい。真空チャンバー７０には、真空チャンバー７０の内部を吸引して圧力を低下させるポンプ等の吸引源７１が接続されている。また、真空チャンバー７０の一側面には、保護シート１３の搬送経路となる開閉可能な搬入口７２が設けられている。

図４は、保持テーブル７４と、保護シート切断ユニット８２と、押圧ローラー９２と、を模式的に示す斜視図である。図９は、保持テーブル７４に保持される板状物１１を模式的に示す断面図である。

保持テーブル７４は、例えば、主に板状物１１を支持する板状物支持テーブル７６と、主に保護シート１３及び剥離シート１９を支持するシート支持テーブル７８と、により構成される。板状物支持テーブル７６は、上面が保持面７６ａとなっており、保持面７６ａに載せられた板状物１１に吸引力または静電気的な力を作用させて板状物１１を保持する。すなわち、板状物支持テーブル７６は、板状物１１を吸引保持又は静電チャックできる。

また、シート支持テーブル７８は、載せられた保護シート１３及び剥離シート１９を把持するクランプを有してもよく、クランプで保護シート１３及び剥離シート１９を固定してもよい。または、シート支持テーブル７８は、静電気的な力を作用させて保護シート１３及び剥離シート１９を固定できてもよい。

そして、保持テーブル７４は、板状物支持テーブル７６と、シート支持テーブル７８と、をそれぞれ昇降させる昇降部（不図示）を備える。昇降部には特に制限はないが、ボールねじ式の昇降機構またはエアシリンダを備える昇降機構等を適用できる。そして、板状物支持テーブル７６及びシート支持テーブル７８は、それぞれ独立にＺ軸方向に沿って昇降可能である。

押圧ローラー９２は、保持テーブル７４の板状物支持テーブル７６で保持された板状物１１に部分的に露出した粘着層１７が対面する状態で保護シート１３を押圧して板状物１１に配設する配設ユニットとして機能する。押圧ローラー９２は、上方から保護シート１３を板状物１１に向けて押圧しながら保護シート１３上で転がる。

押圧ローラー９２は、例えば、Ｙ軸方向に沿って伸長しており、転がりながらＸ軸方向に沿って移動可能であるとともに、Ｚ軸方向に沿って昇降可能である。押圧ローラー９２の長さは、保護シート１３の被配設面となる板状物１１の表面１１ａの直径以上であることが好ましい。押圧ローラー９２がＸ軸方向に移動する際に表面１１ａの全域で上方を押圧ローラー９２が通過するように、押圧ローラー９２及び保持テーブル７４の位置が設定されるとよい。

保護シート切断ユニット８２は、押圧ローラー９２等の配設ユニットにより板状物１１に配設された保護シート１３を切断溝２１の内側で切断する。換言すると、板状物１１に配設された保護シート１３を残る剥離シート１９と重ならない位置で板状物１１の外縁に沿って切断する。これにより、保護シート１３が配設された板状物１１が形成される。

保護シート切断ユニット８２は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った回転軸部８６と、回転軸部８６の下端から水平方向に沿って伸びた腕部８８と、腕部８８の先端下方に配設されたカッター（切断工具）９０と、を有する。腕部８８に対するカッター９０の取り付け位置は、調整可能でもよい。回転軸部８６は、保持テーブル７４の板状物支持テーブル７６の保持面７６ａの中心の真上に位置付けられる。

腕部８８は、剥離シート１９から露出する保護シート１３の粘着層１７の貼着面１７ａの半径よりも小さい長さとされる。または、腕部８８に対するカッター９０の取り付け位置は、貼着面１７ａの半径よりも小さい距離で回転軸部８６から離れた位置とされる。腕部８８の基端側は回転軸部８６の下端に接続されており、腕部８８の先端側には下方に突き出たカッター９０が接続されている。保護シート切断ユニット８２は、回転軸部８６を回転させるモータ等の回転駆動源８４を有し、この回転駆動源８４を作動させることで腕部８８を径とする環状軌道上でカッター９０を移動させる。

保護シート１３を切断する際には、板状物１１の僅かに外側において保護シート１３にカッター９０を切り込ませ、カッター９０の下端を板状物１１よりも低い高さ位置に到達させる場合がある。この場合、保持テーブル７４の板状物支持テーブル７６と、シート支持テーブル７８と、の間の隙間８０にカッター９０が進入するため、カッター９０と保持テーブル７４の接触が回避される。

板状物１１に保護シート１３を配設する手順について説明する。まず、板状物１１を保持テーブル７４の板状物支持テーブル７６の保持面７６ａの上に載せる。このとき、保護シート１３の被配設面となる表面１１ａが上方に露出されるように、板状物１１の裏面１１ｂを保持面７６ａに対面させる。そして、保持面７６ａの中心と、板状物１１の表面１１ａの中心と、が重なるように板状物１１の位置を調整し、板状物支持テーブル７６から板状物１１に保持力を作用させることにより保持テーブル７４で板状物１１を保持する。

次に、搬送ユニット５８で保護シート１３を搬送してシート支持テーブル７８に載せる。保護シート配設装置２が真空チャンバー７０を有する場合、保護シート１３を搬送する第２の搬送機構６２ｂの保持部６６ｂを搬入口７２から真空チャンバー７０の内部に進入させ、保持テーブル７４の上方に到達させる。このとき、剥離シート１９から露出した粘着層１７の貼着面１７ａが板状物１１の表面１１ａに対面するとともに、貼着面１７ａの中心と、板状物１１の表面１１ａの中心と、が重なるように保護シート１３の位置が調整される。

その後、保護シート１３に配設された剥離シート１９に上面が接触するようにシート支持テーブル７８を上昇させる。このとき、クランプにより、または、静電気的な力によりシート支持テーブル７８で保護シート１３及び剥離シート１９を固定する。また、このときに、粘着層１７の貼着面１７ａに板状物１１の表面１１ａが接触しない程度に、すなわち、両者間に僅かな隙間が残るように板状物支持テーブル７６も上昇させる。

次に、搬送ユニット５８の第２の搬送機構６２ｂの吸引部６８ｂによる保護シート１３の吸引保持を解除し、吸引部６８ｂを保持テーブル７４の上方から退避させる。なお、保護シート配設装置２が真空チャンバー７０を有し、保持テーブル７４等が真空チャンバー７０に収容されている場合、第２の搬送機構６２ｂの保持部６６ｂを搬入口７２から真空チャンバー７０の外部に移動させる。そして、搬入口７２を閉じ吸引源７１を作動させて真空チャンバー７０の内部空間を減圧し、以後の工程を真空雰囲気中（減圧雰囲気中）で実施してもよい。

次に、図９に示すように、押圧ローラー９２を保護シート１３の一端部に下降させ、保護シート１３を上方から押圧させながら保護シート１３上を転がるように押圧ローラー９２をＸ軸方向に沿って移動させる。これにより、板状物１１の表面１１ａが粘着層１７の貼着面１７ａに端部から徐々に貼着され、最終的に板状物１１の表面１１ａの全面に保護シート１３が貼着される。

その後、保護シート切断ユニット８２を下降させ、カッター９０を保護シート１３に切り込ませて保護シート１３の余剰部分を切除する。これにより、図１０（Ｃ）に示す通り、保護シート１３が配設された板状物１１が得られる。

このとき、保護シート１３に残る剥離シート１９と重ならない位置においてカッター９０を保護シート１３に切り込ませるとよい。すなわち、剥離シート１９にカッター９０が切り込まないことが好ましい。しかしながら、本実施形態はこれに限定されず、剥離シート１９にもカッター９０が切り込んでもよい。この場合、板状物１１に配設された保護シート１３の外周部に剥離シート１９が残る。そこで、保護シート１３に残る剥離シート１９が剥離されるとよい。

なお、カッター９０は、板状物１１の外縁の僅かに内側で保護シート１３を切断してもよい。この場合、カッター９０の下端を板状物１１に到達させることで保護シート１３を確実に切断できる。ただし、板状物１１の外縁よりも大きく内側で保護シート１３を切断すると、板状物１１の表面１１ａに形成されたデバイス等の構造物にカッター９０が接触し、構造物に損傷が生じる。そのため、板状物１１の表面１１ａのデバイスが形成されていない領域、すなわち、外周余剰領域にカッター９０が切り込むとよい。

また、カッター９０は、板状物１１の外縁の僅かに外側で保護シート１３を切断してもよい。この場合、カッター９０の下端を板状物１１の底面よりも低い高さ位置に到達させることも可能であり、これにより保護シート１３を確実に切断できる。ただし、カッター９０が板状物１１の外縁よりも大きく外側で保護シート１３を切断すると、板状物１１の外側に浮いた保護シート１３が広く残り問題となる。

以上に説明した保護シート配設装置２では、保護シート１３を板状物１１に配設する際に、剥離シート１９を剥離させるための力が保護シート１３にかからない。また、保護シート１３を板状物１１に搬送する際に一部が切り抜かれた状態で剥離シート１９が保護シート１３に残るため、この剥離シート１９が保護シート１３を補強する。そのため、板状物１１に配設される保護シート１３のよじれやシワ等の発生が抑制され、板状物１１と保護シート１３の間に気泡が入り込むという問題が生じにくくなる。

なお、本実施形態に係る保護シート配設装置２は、保持テーブル７４で保持された板状物１１及び保護シート１３の一方または両方を加熱する電熱線等で構成された加熱部（ヒーター）を有しもよい。

加熱部は、例えば、保持テーブル７４の板状物支持テーブル７６の内部に組み込まれてもよく、押圧ローラー９２の内部に組み込まれてもよい。換言すると、保持テーブル７４は板状物１１を加熱可能でもよく、板状物１１を介して保護シート１３を加熱可能でもよい。また、押圧ローラー９２は、保護シート１３を押圧しながら加熱可能でもよい。ただし、加熱部は、他の態様で保護シート配設装置２に組み込まれてもよい。

例えば、図１に示す真空チャンバー７０の内部には、加熱部として熱風を噴出可能なヒートガンが組み込まれてもよい。この場合、保持テーブル７４上で板状物１１に載せられた保護シート１３にヒートガンから熱風を噴射することにより保護シート１３を加熱できる。また、例えば、真空チャンバー７０の内部には、加熱部として赤外線を放射できる赤外線ランプが組み込まれてもよい。この場合、赤外線ランプから保護シート１３に赤外線を照射することにより、保護シート１３を加熱できる。

例えば、保護シート１３を板状物１１に配設する際に加熱部で保護シート１３を加熱すると、保護シート１３の粘着層１７の板状物１１に対する貼着力を調整できる場合がある。保護シート１３が加熱により軟化すると、板状物１１の表面１１ａの凹凸形状に追従するように粘着層１７が変形し、粘着層１７と、板状物１１の表面１１ａと、の接触面積が増大する。そのため、保護シート１３が板状物１１により強固に配設される。

また、後述の通り、粘着層１７を有さず、熱可塑性樹脂層を含む保護シートを板状物１１に配設する場合、この保護シートを加熱部で所定の温度に加熱しつつ押圧ローラー９２ですることにより、この保護シートを板状物１１に熱圧着できる。

次に、保護シート配設装置２を使用した本実施形態に係る保護シート配設方法を説明し、保護シート配設装置２の使用方法をまとめる。以下の保護シート配設方法を説明では、これまでの保護シート配設装置２の説明を適宜参照できる。図１２は、保護シート配設方法の各ステップの流れを示すフローチャートである。

以下に説明する保護シート配設方法は、基材層１５と、基材層１５に配設された粘着層１７と、を含み粘着層１７に剥離シート１９が配設された保護シート１３から剥離シート１９を剥離し、保護シート１３を板状物１１に配設する方法である。これにより、保護シート１３が配設された板状物１１が形成される。

まず、板状物１１の表面１１ａの全域を被覆できる大きさ及び形状を有した保護シート１３を準備する保護シート準備ステップＳ１０を実施する。保護シート準備ステップＳ１０は、例えば、保護シート配設装置２の原反ロール４と、繰り出しユニット６と、カットステージ１４と、シート外形切断ユニット１０と、が使用されて実施される。

図５（Ａ）に示す通り、保護シート準備ステップＳ１０では、剥離シート１９が配設された保護シート１３を繰り出しユニット６で原反ロール４から引き出し、カットステージ１４の保持プレート３０で保護シート１３を保持する。その後、シート外形切断ユニット１０のカッター２８を保護シート１３に切り込ませ、保護シート１３を切断して板状物１１の表面１１ａの全域を被覆できる大きさ及び形状を有した保護シート１３を得る。

なお、保護シート準備ステップＳ１０では、予め所定の大きさに切断された保護シート１３が準備されてもよい。そして、保護シート配設装置２は、原反ロール４と、繰り出しユニット６と、シート外形切断ユニット１０と、を備えなくてもよく、所定の大きさに切断された保護シート１３がカットステージ１４に搬入されてもよい。

保護シート準備ステップＳ１０の次に、保護シート１３に配設された剥離シート１９を板状物１１の表面１１ａの外縁に沿う形状で切断して切断溝２１を形成する剥離シート切断ステップＳ２０が実施される。剥離シート切断ステップＳ２０は、例えば、カットステージ１４と、剥離シート切断ユニット８と、が使用されて実施される。

まず、回転駆動源２０を作動させて回転軸部２２を回転させ、腕部２４を半径としてカッター２６を移動させる。この状態で剥離シート切断ユニット８及びカットステージ１４を相対的に近づけ、カッター２６を剥離シート１９に切り込ませる。図５（Ｃ）には、剥離シート切断ステップＳ２０において、剥離シート切断ユニット８のカッター２６が剥離シート１９に切り込む様子が模式的に示されている。

剥離シート切断ステップＳ２０では、カッター２６の下端が剥離シート１９の下端よりも低い高さ位置に到達させることで剥離シート１９を円形に切断する一方で、保護シート１３を切断しない。図６（Ａ）は、切断され切断溝２１が形成された剥離シート１９を模式的に示す断面図が含まれている。また、図１０（Ａ）は、保護シート１３と、切断され切断溝２１が形成された剥離シート１９と、を模式的に示す斜視図である。切断された剥離シート１９には、円形の切断溝２１が形成される。

ここで、切断溝２１の形成位置の形状は、保護シート１３が配設される板状物１１の形状に対応した形状とされる。例えば、矩形状の板状物１１に保護シート１３を配設する場合、切断溝２１の形状も同様の矩形状とされる。また、後述の剥離ステップＳ３０で剥離シート１９が剥離される領域の大きさに対応する切断溝２１の形成位置の大きさは、板状物１１の保護シート１３が配設される面よりも僅かに大きいことが好ましい。

特に、切断溝２１の形成位置の大きさは、後に保護シート１３の粘着層１７の貼着面１７ａを板状物１１の表面１１ａに貼着するのに必要かつ十分な大きさとされる。切断溝２１の形成位置が大きすぎると、剥離ステップＳ３０の後に剥離シート１９が十分に保護シート１３に残らず、保護シート１３を搬送する際に剥離シート１９が十分に保護シート１３を補強できなくなる。その一方で、切断溝２１の形成位置の大きさが小さすぎると、粘着層１７の貼着面１７ａを板状物１１の表面１１ａに接触させにくくなる。

より詳細には、板状物１１が直径３００．０ｍｍの円形のシリコンウェーハである場合、切断溝２１の形成位置は、３００．５ｍｍ以上３０２．０ｍｍ以下の直径の円形とされるとよい。ただし、切断溝２１の形成位置の大きさは、これに限定されない。

剥離シート切断ステップＳ２０の後、切断溝２１の外側において剥離シート１９を保護シート１３に残すとともに、切断溝２１の内側において剥離シート１９を保護シート１３から剥離して粘着層１７を部分的に露出させる剥離ステップＳ３０を実施する。剥離ステップＳ３０は、保護シート配設装置２のカットステージ１４と、剥離ユニット３６と、が利用されて実施される。

剥離シート切断ステップＳ２０の後に連続して剥離ステップＳ３０を実施する場合、図６（Ｂ）に示す通り、カットステージ１４の反転軸部３４を回転させ保持プレート３０の保持面３０ａ側を下方に向ける。そして、図７（Ａ）に示すように剥離ユニット３６の移動体４６を移動させ、押圧部５０を切断溝２１の内側の領域における一端部の下方に位置付ける。その後、押圧部５０を上昇させて剥離テープ４２を押し上げて剥離テープ４２を剥離シート１９に貼り付ける。

次に、移動体４６を移動させて切断溝２１の内側で剥離シート１９を保護シート１３から剥離しつつ、剥離テープ４２を巻き取って剥離された剥離シート１９を回収していく。そして、最終的に切断溝２１の内側の全域で剥離シート１９が剥離されると、剥離ステップＳ３０が完了する。図７（Ｂ）には、粘着層１７の貼着面１７ａが露出された保護シート１３を模式的に示す断面図が示されている。図１０（Ｂ）は、粘着層１７の貼着面１７ａが露出した状態の保護シート１３の斜視図である。

次に、板状物１１の被配設面となる表面１１ａに剥離ステップＳ３０で部分的に露出した粘着層１７が対面する位置及び向きに保護シート１３を位置付ける対面ステップＳ４０を実施する。すなわち、対面ステップＳ４０では、板状物１１の表面１１ａと、粘着層１７の貼着面１７ａと、を対面させる。対面ステップＳ４０では、保持テーブル７４と、搬送ユニット５８と、が使用されるとよい。

まず、保持テーブル７４の板状物支持テーブル７６で板状物１１を保持する。このとき、保護シート１３の被配設面となる表面１１ａを上方に露出しておく。また、対面ステップＳ４０では、カットステージ１４の保持プレート３０から搬送ユニット５８で保護シート１３を受領し、保持テーブル７４の上方に保護シート１３を搬送する。ここで、保持テーブル７４等が真空チャンバー７０（図１参照）の内部に配設されている場合、搬送ユニット５８で保護シート１３を真空チャンバー７０の内部に搬入する。

そして、保護シート１３に配設された剥離シート１９に上面が接触するようにシート支持テーブル７８を上昇させる。このとき、クランプにより、または、静電気的な力によりシート支持テーブル７８で保護シート１３及び剥離シート１９を固定する。また、このときに、粘着層１７の貼着面１７ａに板状物１１の表面１１ａが接触しない程度に、すなわち、両者間に僅かな隙間が残るように板状物支持テーブル７６も上昇させ、両者を対面させる。

そして、搬送ユニット５８による保護シート１３の保持を解除し、搬送ユニット５８を真空チャンバー７０から退避させる。保持テーブル７４等が真空チャンバー７０の内部に収容されている場合、その後に搬入口７２を閉じて吸引源７１を作動させて、真空チャンバー７０の内部空間を減圧してもよい。そして、以後の工程を減圧雰囲気中で実施してもよい。

対面ステップＳ４０の後、部分的に露出した粘着層１７を板状物１１の表面１１ａに接触させるとともに保護シート１３を板状物１１に押圧して貼着することにより保護シート１３を板状物１１に配設する配設ステップＳ５０を実施する。配設ステップＳ５０では、保持テーブル７４と、押圧ローラー９２と、が使用される。

配設ステップＳ５０では、押圧ローラー９２で保護シート１３を板状物１１に押圧する。図９は、押圧ローラー９２で保護シート１３を押圧する様子を模式的に示す断面図である。まず、押圧ローラー９２を保護シート１３の基材層１５側の一端部に下降させる。そして、押圧ローラー９２で保護シート１３を押圧しながら、保護シート１３の基材層１５側の他端部まで押圧ローラー９２を転がす。これにより、粘着層１７が板状物１１の表面１１ａに貼着され、保護シート１３が板状物１１に配設される。

配設ステップＳ５０の後、剥離シート１９と重ならない位置で保護シート１３を切断することで保護シート１３が配設された板状物１１を得る保護シート切断ステップＳ６０を実施する。保護シート切断ステップＳ６０は、図９等に示す保護シート切断ユニット８２により実施される。

保護シート切断ステップＳ６０では、まず、回転駆動源８４を作動させて回転軸部８６を回転させ、腕部８８を半径としてカッター９０を移動させる。この状態で保護シート切断ユニット８２及び保持テーブル７４を相対的に近づけ、カッター９０を保護シート１３に切り込ませる。

このとき、保護シート１３の剥離シート１９がすでに剥離されている領域にカッター９０を切り込ませるとよい。すなわち、保護シート１３の粘着層１７の貼着面１７ａと重なる位置にカッター９０を切り込ませるとよい。そして、カッター９０の下端が保護シート１３の下端よりも低い高さ位置に到達させることで保護シート１３を円形に切断する。上述の通り、カッター９０は、板状物１１の表面１１ａの外周余剰領域に接触してもよく、板状物１１の外縁よりも外側で保護シート１３を切り込んでも良い。

このように保護シート１３の不要部分を切除すると、保護シート１３が配設された板状物１１が得られる。図１０（Ｃ）は、保護シート１３が配設された板状物１１を模式的に示す斜視図であり、図１１（Ａ）は、保護シート１３が配設された板状物１１を模式的に示す断面図である。

なお、押圧ローラー９２による保護シート１３の板状物１１への押圧は、保護シート切断ユニット８２による保護シート１３の切断の後に実施されてもよい。この場合、配設ステップＳ５０の途上で保護シート切断ステップＳ６０が実施される。すなわち、配設ステップＳ５０と保護シート切断ステップＳ６０とが同時に実施される。

以上に説明した保護シート配設方法において、配設ステップＳ５０では、切断溝２１の外側において剥離シート１９が配設された状態の保護シート１３を板状物１１に配設する。この場合、保護シート１３に残る剥離シート１９が保護シート１３を搬送する過程で保護シート１３を補強するため、保護シート１３によじれやシワ等が生じにくい。また、剥離シート１９で補強された保護シート１３の取り扱いは容易である。

また、板状物１１に配設される保護シート１３では予め所定の領域で剥離シート１９が剥離されているため、板状物１１を保護シート１３に配設する過程において剥離シート１９を保護シート１３から剥離するための力が保護シート１３にかかることがない。そのため、板状物１１に保護シート１３を配設する過程においても保護シート１３によりやシワ等が生じにくい。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、保護シート配設装置２が搬送ユニット５８を備える場合について説明した。また、保護シート配設方法的の対面ステップＳ４０において搬送ユニット５８が使用される場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様はこれに限定されない。

すなわち、保護シート配設装置２は搬送ユニット５８を供えなくても良く、対面ステップＳ４０において搬送ユニット５８が使用されなくてもよい。この場合、保持テーブル７４がＹ軸方向に沿って移動可能であるとよく、カットステージ１４の保持プレート３０の下方に移動できるとよい。この場合、板状物１１を保持する保持テーブル７４を保持プレート３０の下方に移動させることで板状物１１の表面１１ａに保護シート１３の粘着層１７の貼着面１７ａを対面させるとよい。

保護シート配設装置２が搬送ユニット５８を備えない場合、保護シート配設装置２の構成が簡略化されて保護シート配設装置２の運用コスト及び製造コストが低減される。また、対面ステップＳ４０が比較的容易に実施される。

また、上記実施形態では、基材層１５と粘着層１７を備える保護シート１３を板状物１１に配設する場合を中心に保護シート配設装置２及び保護シート配設方法について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。本発明の一態様にかかる保護シート配設装置２及び保護シート配設方法では、粘着層１７を備えない保護シートを板状物１１に配設してもよい。

ここで、粘着層１７を備えない保護シートについて説明する。図１１（Ｂ）には、粘着層１７を備えない保護シート２３を模式的に示す断面図が含まれている。保護シート２３は、例えば、熱可塑性樹脂で形成された熱可塑性樹脂層のみから構成される。熱可塑性樹脂層を含む保護シート２３には、粘着層１７を備える保護シート１３と同様に剥離シート１９が予め配設される。

保護シート２３は、例えば、ポリオレフィン系シートまたはポリエステル系シートである。より詳細には、保護シート２３は、例えば、ポリエチレンシート、ポリプロピレンシート、ポリスチレンシート、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレナフタレートシート等である。

すなわち、熱可塑性樹脂とは、例えば、ポリオレフィンまたはポリエステルである。より詳細には、熱可塑性樹脂は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレナフタレート等である。ただし、熱可塑性樹脂はこれに限定されない。

以下、本発明の一態様に係る保護シート配設装置２及び保護シート配設方法で粘着層１７を備えず熱可塑性樹脂層を含む保護シート２３を板状物１１に配設する場合について説明する。ただし、説明の重複を避けるために、粘着層１７を備える保護シート１３を板状物１１に配設する場合とは異なる事項を中心に説明する。すなわち、以下の説明では上記実施形態の説明を適宜参照できる。

熱可塑性樹脂層を含む保護シート２３に配設された剥離シート１９も、剥離シート切断ユニット８により板状物１１の表面１１ａの形状及び大きさに対応した大きさで切断され、切断溝２１が形成される（剥離シート切断ステップＳ２０）。そして、切断溝２１の内側において剥離ユニット３６で剥離シート１９を保護シート２３から剥離して熱可塑性樹脂層を部分的に露出させる（剥離ステップＳ３０）。このとき、切断溝２１の外側において剥離シート１９が保護シート２３に残るため、剥離シート１９により保護シート２３が補強される。

その後、板状物１１を保持テーブル７４によって保持し表面１１ａを露出させ、板状物１１の表面１１ａに対して部分的に露出した熱可塑性樹脂層が対面する位置及び向きに保護シート２３を位置付ける（対面ステップＳ４０）。

その後、部分的に露出した熱可塑性樹脂層を板状物１１の表面１１ａに接触させるとともに保護シート２３を加熱しながら板状物１１に押圧して熱圧着することにより保護シート２３を板状物１１に配設する（配設ステップＳ５０）。図１１（Ｂ）は、剥離シート１９が部分的に残り、剥離シート１９により補強された保護シート２３と、保護シート２３が配設された板状物１１と、を模式的に示す断面図である。保護シート２３の加熱には、上述の加熱部が使用されるとよい。

熱圧着を実施する際に保護シート２３の熱可塑性樹脂層は、好ましくは、熱可塑性樹脂の融点以下の温度に加熱される。加熱温度が融点を超えると、熱可塑性樹脂層が溶解して形状を維持できなくなる場合があるためである。また、保護シート２３は、好ましくは、熱可塑性樹脂の軟化点以上の温度に加熱される。加熱温度が軟化点に達していなければ熱圧着を適切に実施しにくいためである。すなわち、保護シート２３は、熱可塑性樹脂の軟化点以上でかつその融点以下の温度に加熱されるのが好ましい。

さらに、一部の熱可塑性樹脂は、明確な軟化点を有しない場合もある。そこで、熱圧着を実施する際に保護シート２３は、好ましくは、熱可塑性樹脂層の熱可塑性樹脂の融点よりも２０℃低い温度以上でかつその融点以下の温度に加熱される。ただし、保護シート２３は、さらに低い温度で加熱されて熱圧着されてもよい。本発明の一態様はこれに限定されない。

また、例えば、保護シート２３の加熱温度は、ポリエチレンシートである場合に１２０℃以上１４０℃以下であるとよく、ポリプロピレンシートである場合に１６０℃以上１８０℃以下であるとよく、ポリスチレンシートである場合に２２０℃以上２４０℃以下であるとよい。また、ポリエチレンテレフタレートシートである場合に２５０℃以上２７０℃以下であるとよく、ポリエチレナフタレートシートである場合に１６０℃以上１８０℃以下であるとよい。

保護シート２３が板状物１１に熱圧着されて配設された後、剥離シート１９と重ならない位置で保護シート２３を切断することで保護シート２３が配設された板状物１１を得る（保護シート切断ステップＳ６０）。図１１（Ｃ）は、粘着層１７を備えない保護シート２３が配設された板状物１１を模式的に示す断面図である。

以上に説明する通り、本発明の一態様によると粘着層１７を備えない保護シート２３を板状物１１に配設できる。保護シート２３が粘着層１７を備えない場合、その後に板状物１１を加工して保護シート２３を板状物１１から剥離する際に、粘着層１７が部分的に板状物１１に残ることがない。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 板状物
１１ａ 表面
１１ｂ 裏面
１３ 保護シート
１５ 基材層
１７ 粘着層
１７ａ 貼着面
１９ 剥離シート
２１ 切断溝
２３ 保護シート
２ 保護シート配設装置
４ 原反ロール
６ 繰り出しユニット
８ 剥離シート切断ユニット
１０ シート外形切断ユニット
１２ ローラー
１４ カットステージ
１６ 移動体
１８ 把持部
２０ 回転駆動源
２２ 回転軸部
２４ 腕部
２６，２８ カッター
３０ 保持プレート
３０ａ 保持面
３２ 逃げ溝
３４ 反転軸部
３６ 剥離ユニット
３８ 剥離テープ供給部
４０ 送り出しローラー
４２，４２ａ 剥離テープ
４４ ローラー
４６ 移動体
４８ レール
５０ 押圧部
５２ 駆動部
５４ 巻き取り部
５６ 巻き取りローラー
５８ 搬送ユニット
６０ レール
６２ａ，６２ｂ 搬送機構
６４ａ，６４ｂ 腕部
６６ａ，６６ｂ 保持部
６８ａ，６８ｂ 吸引部
７０ 真空チャンバー
７１ 吸引源
７２ 搬入口
７４ 保持テーブル
７６ 板状物支持テーブル
７６ａ 保持面
７８ シート支持テーブル
８０ 隙間
８２ 保護シート切断ユニット
８４ 回転駆動源
８６ 回転軸部
８８ 腕部
９０ カッター
９２ 押圧ローラー

Claims (7)

1. 基材層と、該基材層に配設された粘着層と、を含み該粘着層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設方法であって、
   該板状物の表面の全域を被覆できる大きさ及び形状を有した該保護シートを準備する保護シート準備ステップと、
   該保護シートに配設された該剥離シートを該板状物の該表面の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ステップと、
   該剥離シート切断ステップの後、該切断溝の外側において該剥離シートを該保護シートに残すとともに、該切断溝の内側において該剥離シートを該保護シートから剥離して該粘着層を部分的に露出させる剥離ステップと、
   該切断溝よりも内側において該粘着層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において保持することと、
   保持テーブルによって保持され該表面を露出した該板状物の該表面に対して該剥離ステップで部分的に露出した該粘着層が対面する位置及び向きに該保護シートを位置付ける対面ステップと、
   該対面ステップの後、部分的に露出した該粘着層を該板状物の該表面に接触させるとともに該保護シートを該板状物に押圧して貼着することにより該保護シートを該板状物に配設する配設ステップと、
   該配設ステップの後、または、該配設ステップと同時に、該剥離シートと重ならない位置で該保護シートを切断することで該保護シートが配設された該板状物を得る保護シート切断ステップと、を備え、
   該配設ステップでは、該切断溝の該外側において該剥離シートが配設された状態の該保護シートを該板状物に配設することを特徴とする保護シート配設方法。
2. 粘着層を有さず、熱可塑性樹脂で形成された熱可塑性樹脂層を含み、該熱可塑性樹脂層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設方法であって、
   該板状物の表面の全域を被覆できる大きさ及び形状を有した該保護シートを準備する保護シート準備ステップと、
   該保護シートに配設された該剥離シートを該板状物の該表面の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ステップと、
   該剥離シート切断ステップの後、該切断溝の外側において該剥離シートを該保護シートに残すとともに、該切断溝の内側において該剥離シートを該保護シートから剥離して該熱可塑性樹脂層を部分的に露出させる剥離ステップと、
   該切断溝よりも内側において該熱可塑性樹脂層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において保持することと、
   保持テーブルによって保持され該表面を露出した該板状物の該表面に対して該剥離ステップで部分的に露出した該熱可塑性樹脂層が対面する位置及び向きに該保護シートを位置付ける対面ステップと、
   該対面ステップの後、部分的に露出した該熱可塑性樹脂層を該板状物の該表面に接触させるとともに該保護シートを加熱しながら該板状物に押圧して熱圧着することにより該保護シートを該板状物に配設する配設ステップと、
   該配設ステップの後、または、該配設ステップと同時に、該剥離シートと重ならない位置で該保護シートを切断することで該保護シートが配設された該板状物を得る保護シート切断ステップと、を備え、
   該配設ステップでは、該切断溝の該外側において該剥離シートが配設された状態の該保護シートを該板状物に配設することを特徴とする保護シート配設方法。
3. 該配設ステップは、減圧雰囲気中で行われることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の保護シート配設方法。
4. 基材層と、該基材層に配設された粘着層と、を含み該粘着層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設装置であって、
   該剥離シートが配設された該保護シートを巻回して構成された原反ロールから該剥離シートが配設された該保護シートを繰り出す繰り出しユニットと、
   該保護シートに配設された該剥離シートを、該板状物の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ユニットと、
   該剥離シート切断ユニットによって切断された該剥離シートの該切断溝よりも内側の部分を該保護シートから剥離して該粘着層を部分的に露出させる剥離ユニットと、
   該保護シートの該剥離シートが残る領域に対応するように保持部に配設された吸引部を備え、該切断溝よりも内側において該粘着層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において該吸引部により保持して搬送する搬送ユニットと、
   該板状物を保持面で保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルで保持された該板状物に部分的に露出した該粘着層が対面し接触する状態で該保護シートを押圧して該板状物に配設する配設ユニットと、
   該配設ユニットにより該板状物に配設された該保護シートを該剥離シートと重ならない位置で切断して該保護シートが配設された該板状物を形成する保護シート切断ユニットと、を備えることを特徴とする保護シート配設装置。
5. 粘着層を有さず、熱可塑性樹脂で形成された熱可塑性樹脂層を含み、該熱可塑性樹脂層に剥離シートが配設された保護シートから該剥離シートを剥離し、該保護シートを板状物に配設する保護シート配設装置であって、
   該剥離シートが配設された該保護シートを巻回して構成された原反ロールから該剥離シートが配設された該保護シートを繰り出す繰り出しユニットと、
   該保護シートに配設された該剥離シートを、該板状物の外縁に沿う形状で切断して切断溝を形成する剥離シート切断ユニットと、
   該剥離シート切断ユニットによって切断された該剥離シートの該切断溝よりも内側の部分を該保護シートから剥離して該熱可塑性樹脂層を部分的に露出させる剥離ユニットと、
   該保護シートの該剥離シートが残る領域に対応するように保持部に配設された吸引部を備え、該切断溝よりも内側において該熱可塑性樹脂層が露出した該保護シートを、該保護シートの該剥離シートが残る領域において該吸引部により保持して搬送する搬送ユニットと、
   該板状物を保持面で保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルで保持された該板状物及び該保護シートの一方または両方を加熱する加熱部を有し、該保持テーブルで保持された該板状物に部分的に露出した該熱可塑性樹脂層が対面し接触する状態で、該加熱部で該板状物及び該保護シートの一方または両方を加熱しながら該保護シートを押圧して該板状物に熱圧着することで該板状物に該保護シートを配設する配設ユニットと、
   該配設ユニットにより該板状物に配設された該保護シートを該剥離シートと重ならない位置で切断して該保護シートが配設された該板状物を形成する保護シート切断ユニットと、
   を備える保護シート配設装置。
6. 減圧可能なチャンバーを備え、
   該チャンバーは、該保持テーブルと、該配設ユニットと、を収容可能なことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の保護シート配設装置。
7. 該繰り出しユニットで繰り出された該保護シートを該板状物よりも大きい外形に切断するシート外形切断ユニットをさらに備えることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の保護シート配設装置。