JP7544972B2 - Wafer supply device and part transfer device - Google Patents

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Description

本発明は、複数の部品に分割されたウェハを供給するウェハ供給装置、及びこのウェハ供給装置を備えた部品移載装置に関する。 The present invention relates to a wafer supply device that supplies a wafer divided into multiple parts, and a part transfer device equipped with this wafer supply device.

基板上に部品を実装するための部品実装装置として、部品をパレットに保持された状態で所定の部品取出作業位置に供給する部品供給装置を備えた装置が知られている。この種の部品供給装置が、例えば特許文献１に開示されている。 As a component mounting device for mounting components on a board, a device equipped with a component supply device that supplies components held on a pallet to a predetermined component removal position is known. This type of component supply device is disclosed, for example, in Patent Document 1.

特許文献１に開示される部品供給装置は、複数の部品を配置したトレイが搭載されたパレットを収容するパレット収容体（マガジン）と、パレット収容体を上下方向に移動させるエレベータ機構とを備えている。エレベータ機構は、前記部品取出作業位置と同一の高さ位置の第１位置と、使用済みのパレットを交換するための第２位置との間で、パレット収容体を上下方向に移動させる。パレット収容体が第１位置に配置された状態では、パレットがパレット収容体から部品取出作業位置に供給される。一方、パレット収容体が第２位置に配置された状態では、使用済みのパレットがパレット収容体から取り出されて新たなパレットと交換される。The component supply device disclosed in Patent Document 1 includes a pallet container (magazine) that contains a pallet on which a tray on which a plurality of components are arranged is mounted, and an elevator mechanism that moves the pallet container in an up and down direction. The elevator mechanism moves the pallet container in an up and down direction between a first position that is at the same height as the component removal work position, and a second position for replacing a used pallet. When the pallet container is placed in the first position, a pallet is supplied from the pallet container to the component removal work position. On the other hand, when the pallet container is placed in the second position, the used pallet is removed from the pallet container and replaced with a new pallet.

部品供給装置では、パレット収容体が第２位置に配置された状態において、パレット収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを規制する必要がある。特許文献１に開示される部品供給装置では、複数の挿入防止部材がパレットの通過を許容する所定の間隔をあけた状態でパレット収容体に取付けられている。パレット収容体に取付けられた複数の挿入防止部材によって、パレット収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを規制することができる。In a component supplying device, when the pallet container is placed in the second position, it is necessary to restrict access to the component removal position through the pallet container. In the component supplying device disclosed in Patent Document 1, multiple insertion prevention members are attached to the pallet container at predetermined intervals that allow the passage of the pallet. The multiple insertion prevention members attached to the pallet container make it possible to restrict access to the component removal position through the pallet container.

ところで、部品供給装置の一種として、ウェハ供給装置が存在する。ウェハ供給装置は、複数の部品に分割されたウェハをそのままの状態で、或いは、パレットに保持された状態でウェハを供給する装置である。このウェハ供給装置では、パレットに保持された状態でウェハを供給する場合には、通常、厚みの大きいパレットが用いられる。上記の特許文献１に開示される挿入防止部材をウェハ供給装置に適用した場合、隣接する挿入防止部材同士の間隔がパレットの厚みの増大に応じて大きくなる。この場合、パレットに保持された状態のウェハを収容するパレット収容体（ウェハ収容体）が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することができなくなる虞がある。By the way, as one type of component supply device, there is a wafer supply device. The wafer supply device is a device that supplies a wafer divided into multiple parts as it is or while it is held on a pallet. In this wafer supply device, when supplying a wafer while it is held on a pallet, a thick pallet is usually used. When the insertion prevention member disclosed in the above Patent Document 1 is applied to a wafer supply device, the distance between adjacent insertion prevention members increases as the thickness of the pallet increases. In this case, when the pallet container (wafer container) that contains the wafers held on the pallet is placed in the second position, there is a risk that it will not be possible to accurately regulate access to the component removal operation position through the wafer container.

特許第４３２２８６３号公報Patent No. 4322863

本発明の目的は、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能なウェハ供給装置、及びそれを備えた部品移載装置を提供することである。 The object of the present invention is to provide a wafer supply device capable of accurately regulating access to a component removal operation position through a wafer container, and a component transfer device equipped with the same.

本発明の一の局面に係るウェハ供給装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する装置である。このウェハ供給装置は、前記部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部が形成された第１フレーム板と、前記部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部が形成された第２フレーム板とを含み、前記第１フレーム板と前記第２フレーム板との間に前記第１開口部及び前記第２開口部に連通する内部空間を規定する装置本体と、前記ウェハを収容可能に構成され、前記内部空間内に配置されるウェハ収容体と、前記ウェハ収容体と前記部品取出作業位置との間における前記ウェハの前記第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、前記ウェハ収容体に収容された前記ウェハの前記第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間において、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させる移動機構と、前記移動機構による前記ウェハ収容体の移動に連動した移動が可能となるように前記内部空間内に設けられ、前記ウェハ収容体が前記第１位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を開放する一方、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を閉鎖する開閉板と、を備える。A wafer supplying device according to one aspect of the present invention is a device that supplies a wafer divided into a plurality of parts to a predetermined part removal position. This wafer supplying device includes a first frame plate having a first opening that opens toward the part removal position and a second frame plate having a second opening that opens toward the opposite side to the part removal position, and includes a device body that defines an internal space between the first frame plate and the second frame plate that communicates with the first opening and the second opening, a wafer container that is configured to be able to contain the wafer and is disposed within the internal space, a first position at which the movement of the wafer between the wafer container and the part removal position via the first opening is permitted, and a device body that is configured to be able to hold the wafer and arranged within the internal space. the wafer container further includes a moving mechanism that moves the wafer container in a first movement direction from the first position toward the second position and moves the wafer container in a second movement direction from the second position toward the first position between the first position and a second position where wafer exchange through the second opening is permitted, and an opening/closing plate that is provided within the internal space so as to be able to move in conjunction with the movement of the wafer container by the moving mechanism, and that opens the entire first opening when the wafer container is disposed at the first position, and closes the entire first opening when the wafer container is disposed at the second position.

本発明の他の局面に係る部品移載装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する、上記のウェハ供給装置と、前記部品取出作業位置に供給された前記ウェハから前記部品を取出して所定の部品移載部に移載する部品移載ユニットと、を備える。A component transfer device according to another aspect of the present invention comprises the above-mentioned wafer supply device which supplies a wafer divided into a plurality of components to a predetermined component removal work position, and a component transfer unit which removes the components from the wafer supplied to the component removal work position and transfers them to a predetermined component transfer section.

本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。 The objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description and accompanying drawings.

本発明の実施形態に係る部品実装装置の全体構成を示す、上面視の平面図である。1 is a plan view seen from above showing an overall configuration of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. ヘッドユニット及び突き上げユニットを示す概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a head unit and a push-up unit. ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを＋Ｙ側から見た斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of the wafer storage elevator of the wafer supply device as viewed from the +Y side. ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを－Ｙ側から見た斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of the wafer storage elevator of the wafer supply device as viewed from the -Y side. ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを、フレーム板を外した状態で＋Ｙ側から見た斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of the wafer storage elevator of the wafer supply device, as viewed from the +Y side with the frame plate removed. ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを、フレーム板を外した状態で－Ｙ側から見た斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of the wafer storage elevator of the wafer supply device, as viewed from the -Y side with the frame plate removed. パレット収容体の斜視図であって、ラッチ部材が移動規制姿勢を取った状態を示す図である。13 is a perspective view of the pallet container, showing a state in which the latch member is in a movement restricting position; FIG. パレット収容体の斜視図であって、ラッチ部材が移動許容姿勢を取った状態を示す図である。13 is a perspective view of the pallet container, showing a state in which the latch member is in a movement permitting position; FIG. ウェハ供給装置の制御構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a control configuration of the wafer supply device. ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、パレット収容体が第１位置に配置された状態を示す図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a pallet supply and recovery process by the wafer supply device, showing a state in which the pallet container is placed at a first position. ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、パレット収容体が第２位置に配置された状態を示す図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a pallet supply and recovery process by the wafer supply device, showing a state in which the pallet container is placed at a second position. ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、扉体が開かれた状態を示す図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a pallet supply and recovery process by the wafer supply device, showing a state in which the door body is open. ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、パレット収容体が第１位置に移動された状態を示す図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a pallet supply and recovery process by the wafer supply device, showing a state in which the pallet container has been moved to a first position. ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理のフローチャートである。13 is a flowchart of a pallet supply and recovery process performed by the wafer supply device. ウェハ供給装置の第１変形例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a first modified example of a wafer supply device. ウェハ供給装置の第２変形例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a second modified example of a wafer supply device.

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下では、方向関係についてはＸＹＺ直交座標軸を用いて説明する。Ｘ方向及びＹ方向は水平面上において互いに直交し、Ｚ方向がＸ方向及びＹ方向の両方向と直交する鉛直方向に延びる方向である。また、Ｘ方向の一方側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ方向の一方側とは反対の他方側を「－Ｘ側」と称する。同様に、Ｙ方向の一方側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ方向の一方側とは反対の他方側を「－Ｙ側」と称する。また、Ｚ方向の一方側である上方側を「＋Ｚ側」と称し、Ｚ方向の一方側とは反対の他方側である下方側を「－Ｚ側」と称する。 The following describes an embodiment of the present invention in detail with reference to the drawings. In the following, directional relationships are described using XYZ orthogonal coordinate axes. The X and Y directions are mutually orthogonal on a horizontal plane, and the Z direction is a direction extending vertically perpendicular to both the X and Y directions. One side of the X direction is referred to as the "+X side", and the other side opposite the one side of the X direction is referred to as the "-X side". Similarly, one side of the Y direction is referred to as the "+Y side", and the other side opposite the one side of the Y direction is referred to as the "-Y side". One side of the Z direction, the upper side, is referred to as the "+Z side", and the other side opposite the one side of the Z direction, the lower side, is referred to as the "-Z side".

本発明に係るウェハ供給装置を備えた部品移載装置は、例えばウェハからダイシングされたダイをテープに収容するテーピング装置、前記ダイを基板にワイヤボンディングするダイボンダ、或いは前記ダイを基板に実装する部品実装装置などの各種装置に適用することができる。ここでは、本発明の部品移載装置が、部品実装装置に適用される例について説明する。 A component transfer device equipped with a wafer supply device according to the present invention can be applied to various devices, such as a taping device that stores dies diced from a wafer on tape, a die bonder that wire bonds the dies to a substrate, or a component mounting device that mounts the dies on a substrate. Here, we will explain an example in which the component transfer device of the present invention is applied to a component mounting device.

［部品実装装置の全体構成］
図１に示されるように、本実施形態に係る部品実装装置１は、ウェハ７からダイシングされたダイ７ａ（部品）を基板Ｐ（所定の部品移載部）に実装する装置である。図１及び図２に示されるように、部品実装装置１は、基台２、コンベア３、ヘッドユニット４（部品移載ユニット）、部品供給部５、ウェハ供給装置６、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０を含む。 [Overall configuration of component mounting device]
1, the component mounting apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for mounting a die 7a (component) diced from a wafer 7 onto a substrate P (a predetermined component transfer unit). As shown in Fig. 1 and Fig. 2, the component mounting apparatus 1 includes a base 2, a conveyor 3, a head unit 4 (component transfer unit), a component supply unit 5, a wafer supply device 6, a camera unit 32U, and a push-up unit 40.

基台２は、部品実装装置１が備える各種の機器の搭載ベースである。コンベア３は、基台２上にＸ方向に延びるように設置された、基板Ｐの搬送ラインである。コンベア３は、機外から所定の実装作業位置に基板Ｐを搬入し、実装作業後に基板Ｐを前記実装作業位置から機外へ搬出する。コンベア３は、基板Ｐを前記実装作業位置で保持する図略のクランプ機構を有する。なお、図１中に基板Ｐが示されている位置が、前記実装作業位置である。部品供給部５は、複数個のダイ７ａを、ウェハ７からダイシングされた配置状態で供給する。 The base 2 is a mounting base for various devices equipped in the component mounting device 1. The conveyor 3 is a transport line for the substrate P, installed on the base 2 to extend in the X direction. The conveyor 3 transports the substrate P from outside the machine to a predetermined mounting work position, and after the mounting work, transports the substrate P from the mounting work position to outside the machine. The conveyor 3 has a clamping mechanism (not shown) that holds the substrate P at the mounting work position. The position where the substrate P is shown in Figure 1 is the mounting work position. The component supply unit 5 supplies a plurality of dies 7a in an arrangement in which they have been diced from the wafer 7.

ヘッドユニット４は、部品供給部５においてダイ７ａをウェハ７から取出してピッキングし、上記実装作業位置へ移動すると共に、基板Ｐにダイ７ａを実装する。ヘッドユニット４は、前記ピッキングの際にダイ７ａを吸着して保持し、前記実装の際に保持しているダイ７ａをリリースする複数のヘッド４Ｈを備える。ヘッド４Ｈは、ヘッドユニット４に対するＺ方向への進退（昇降）移動と、軸回りの回転移動とが可能である。ヘッドユニット４には、基板Ｐを撮像する基板認識カメラ３１が搭載されている。基板認識カメラ３１の撮影画像より、基板Ｐに付されたフェデューシャルマークが認識される。これにより基板Ｐの位置ずれが認識され、部品実装時に前記位置ずれの補正が為される。The head unit 4 picks up the die 7a from the wafer 7 in the component supply section 5, moves to the mounting work position, and mounts the die 7a on the substrate P. The head unit 4 has a plurality of heads 4H that adsorb and hold the die 7a when picking and release the held die 7a when mounting. The heads 4H can move forward and backward (up and down) in the Z direction relative to the head unit 4 and can rotate around an axis. The head unit 4 is equipped with a substrate recognition camera 31 that images the substrate P. The federated mark affixed to the substrate P is recognized from the image captured by the substrate recognition camera 31. This allows any misalignment of the substrate P to be recognized, and the misalignment is corrected when the components are mounted.

部品実装装置１は、ヘッドユニット４を、少なくとも部品供給部５と前記実装作業位置で保持された基板Ｐとの間の上方空間を、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能とする第１駆動機構Ｄ１を備える。第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＹ方向の移動機構として、それぞれ＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール１３、第１Ｙ軸サーボモータ１４及びボールねじ軸１５を備える。一対のＹ軸固定レール１３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ボールねじ軸１５は、Ｙ軸固定レール１３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配置されている。第１Ｙ軸サーボモータ１４は、ボールねじ軸１５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール１３間には、ヘッドユニット４を支持する支持フレーム１６が架設されている。支持フレーム１６の＋Ｘ側端部及び－Ｘ側端部には、各ボールねじ軸１５に螺合されるナット１７が組付けられている。The component mounting device 1 includes a first drive mechanism D1 that allows the head unit 4 to move in the horizontal direction (X direction and Y direction) at least in the space above between the component supply unit 5 and the substrate P held at the mounting work position. The first drive mechanism D1 includes a pair of Y-axis fixed rails 13, a first Y-axis servo motor 14, and a ball screw shaft 15 on the +X side and -X side, respectively, as a Y-direction moving mechanism for the head unit 4. The pair of Y-axis fixed rails 13 are fixed on the base 2 and extend in the Y direction parallel to each other at a predetermined interval in the X direction. The ball screw shaft 15 is arranged to extend in the Y direction at a position close to the Y-axis fixed rails 13. The first Y-axis servo motor 14 rotates and drives the ball screw shaft 15. A support frame 16 that supports the head unit 4 is installed between the pair of Y-axis fixed rails 13. Nuts 17 that are screwed onto the ball screw shafts 15 are attached to the +X side end and the −X side end of the support frame 16 .

第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動機構として、支持フレーム１６に搭載された図略のガイド部材、第１Ｘ軸サーボモータ１８及びボールねじ軸１９を備える。前記ガイド部材は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム１６の＋Ｙ側の面においてＸ方向に延びるように固定されている。ボールねじ軸１９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延在するよう配設されている。第１Ｘ軸サーボモータ１８は、ボールねじ軸１９を回転駆動する。ヘッドユニット４には図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸１９に螺合されている。 The first drive mechanism D1 comprises a guide member (not shown) mounted on the support frame 16, a first X-axis servo motor 18, and a ball screw shaft 19 as an X-direction movement mechanism for the head unit 4. The guide member is a member that guides the movement of the head unit 4 in the X direction, and is fixed to the +Y side surface of the support frame 16 so as to extend in the X direction. The ball screw shaft 19 is disposed adjacent to the guide member so as to extend in the X direction. The first X-axis servo motor 18 rotates and drives the ball screw shaft 19. A nut (not shown) is attached to the head unit 4, and the nut is screwed onto the ball screw shaft 19.

以上の構成を備える第１駆動機構Ｄ１によれば、第１Ｙ軸サーボモータ１４が作動してボールねじ軸１５が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６と一体にＹ方向に移動する。また、第１Ｘ軸サーボモータ１８が作動してボールねじ軸１９が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６に対してＸ方向に移動する。According to the first drive mechanism D1 having the above configuration, the first Y-axis servo motor 14 is operated to rotate the ball screw shaft 15, so that the head unit 4 moves in the Y direction together with the support frame 16. In addition, the first X-axis servo motor 18 is operated to rotate the ball screw shaft 19, so that the head unit 4 moves in the X direction relative to the support frame 16.

部品供給部５は、複数個のダイ７ａに分割されたウェハ７を所定の部品取出作業位置（ウェハステージ１０）に供給するウェハ供給装置６を備える。本実施形態では、ウェハ供給装置６は、パレット８に保持された状態でウェハ７をウェハステージ１０に供給する。ウェハ７は、円盤形状の半導体ウェハであって、回路パターン等が既に形成されている。パレット８は、ウェハシート８ａを保持している。ウェハシート８ａには、ウェハ７を碁盤目状にダイシングされて形成された多数のダイ７ａ，７ａ…の集合体が貼着されている。つまり、ウェハ供給装置６は、複数個のダイ７ａがウェハシート８ａに貼着された状態のウェハ７をパレット８に保持された状態でウェハステージ１０に供給する。ウェハ供給装置６の詳細については後述する。なお、部品供給部５は、ウェハ供給装置６に加えて、電子部品を収容した部品収容テープの形態で部品供給するテープフィーダを備えていても良い。The component supply unit 5 includes a wafer supply device 6 that supplies the wafer 7 divided into a plurality of dies 7a to a predetermined component removal position (wafer stage 10). In this embodiment, the wafer supply device 6 supplies the wafer 7 to the wafer stage 10 while being held on a pallet 8. The wafer 7 is a disk-shaped semiconductor wafer on which a circuit pattern or the like has already been formed. The pallet 8 holds a wafer sheet 8a. A collection of a number of dies 7a, 7a... formed by dicing the wafer 7 into a checkerboard pattern is attached to the wafer sheet 8a. In other words, the wafer supply device 6 supplies the wafer 7 with a plurality of dies 7a attached to the wafer sheet 8a while being held on the pallet 8 to the wafer stage 10. Details of the wafer supply device 6 will be described later. In addition to the wafer supply device 6, the component supply unit 5 may also include a tape feeder that supplies components in the form of a component-containing tape containing electronic components.

カメラユニット３２Ｕは、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なユニットであって、ウェハカメラ３２を備えている。ウェハカメラ３２は、ウェハステージ１０上に位置決めされたウェハ７の一部分、つまりカメラ視野内のダイ７ａを撮像する。この撮像画像に基づいて、ピックアップ対象のダイ７ａの位置認識が為される。部品実装装置１は、カメラユニット３２Ｕを、少なくとも部品供給部５と所定の待機位置との間の上方空間を、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能とする第２駆動機構Ｄ２を備える。この第２駆動機構Ｄ２は、ヘッドユニット４を駆動する第１駆動機構Ｄ１とは別個に独立した駆動系である。なお、本実施形態では、前記待機位置は、ウェハステージ１０から＋Ｙ側に離間した位置である。The camera unit 32U is a unit movable in the X and Y directions, and includes a wafer camera 32. The wafer camera 32 captures an image of a portion of the wafer 7 positioned on the wafer stage 10, i.e., the die 7a within the camera's field of view. Based on this captured image, the position of the die 7a to be picked up is recognized. The component mounting device 1 includes a second drive mechanism D2 that enables the camera unit 32U to move in the horizontal direction (X and Y directions) at least in the upper space between the component supply unit 5 and a predetermined waiting position. This second drive mechanism D2 is a drive system that is separate and independent from the first drive mechanism D1 that drives the head unit 4. In this embodiment, the waiting position is a position spaced away from the wafer stage 10 on the +Y side.

第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＹ方向の移動機構として、＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール３３と、＋Ｘ側に配置された第２Ｙ軸サーボモータ３４及びボールねじ軸３５とを備える。一対のＹ軸固定レール３３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ボールねじ軸３５は、＋Ｘ側のＹ軸固定レール３３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配置されている。第２Ｙ軸サーボモータ３４は、ボールねじ軸３５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール３３間には、カメラユニット３２Ｕを支持する支持フレーム３６が架設されている。支持フレーム３６の＋Ｘ側端部には、ボールねじ軸３５に螺合されるナット３７が組付けられている。The second drive mechanism D2 includes a pair of Y-axis fixed rails 33 on the +X side and -X side, and a second Y-axis servo motor 34 and ball screw shaft 35 arranged on the +X side as a Y-direction movement mechanism for the camera unit 32U. The pair of Y-axis fixed rails 33 are fixed on the base 2 and extend in the Y direction parallel to each other at a predetermined interval in the X direction. The ball screw shaft 35 is arranged to extend in the Y direction at a position close to the Y-axis fixed rail 33 on the +X side. The second Y-axis servo motor 34 rotates and drives the ball screw shaft 35. A support frame 36 that supports the camera unit 32U is installed between the pair of Y-axis fixed rails 33. A nut 37 that is screwed onto the ball screw shaft 35 is attached to the +X side end of the support frame 36.

第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動機構として、支持フレーム３６に搭載された図略のガイド部材、第２Ｘ軸サーボモータ３８及びボールねじ軸３９を備える。前記ガイド部材は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム３６の－Ｙ側面においてＸ方向に延びるように固定されている。ボールねじ軸３９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延在するよう配設されている。第２Ｘ軸サーボモータ３８は、ボールねじ軸３９を回転駆動する。カメラユニット３２Ｕには図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸３９に螺合されている。 The second drive mechanism D2 comprises a guide member (not shown) mounted on the support frame 36, a second X-axis servo motor 38, and a ball screw shaft 39 as an X-direction movement mechanism for the camera unit 32U. The guide member is a member that guides the X-direction movement of the camera unit 32U, and is fixed to the -Y side surface of the support frame 36 so as to extend in the X direction. The ball screw shaft 39 is disposed adjacent to the guide member so as to extend in the X direction. The second X-axis servo motor 38 rotates and drives the ball screw shaft 39. A nut (not shown) is attached to the camera unit 32U, and the nut is screwed onto the ball screw shaft 39.

以上の構成を備える第２駆動機構Ｄ２によれば、第２Ｙ軸サーボモータ３４が作動してボールねじ軸３５が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６と一体にＹ方向に移動する。また、第２Ｘ軸サーボモータ３８が作動してボールねじ軸３９が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６に対してＸ方向に移動する。According to the second drive mechanism D2 having the above configuration, the second Y-axis servo motor 34 is operated to rotate the ball screw shaft 35, so that the camera unit 32U moves in the Y direction together with the support frame 36. In addition, the second X-axis servo motor 38 is operated to rotate the ball screw shaft 39, so that the camera unit 32U moves in the X direction relative to the support frame 36.

突き上げユニット４０は、部品供給部５の下方に配置され、ヘッド４Ｈが吸着すべきダイ７ａを、ウェハシート８ａの下面側から突き上げる。突き上げユニット４０は、ウェハステージ１０に対応する程度の範囲にわたってＸＹ方向に移動可能に、基台２上に配置されている。突き上げユニット４０は、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール４１に沿って移動可能な支持フレーム４２に、Ｘ方向に移動可能に支持されている。The push-up unit 40 is disposed below the component supply section 5, and pushes up the die 7a to be adsorbed by the head 4H from the underside of the wafer sheet 8a. The push-up unit 40 is disposed on the base 2 so as to be movable in the XY directions over a range corresponding to the wafer stage 10. The push-up unit 40 is supported movably in the X direction by a support frame 42 which is movable along a pair of guide rails 41 extending in the Y direction.

支持フレーム４２の内部に設けられた図略のナット部分に螺合するボールねじ軸４３が、第３Ｙ軸サーボモータ４４により回転駆動される。これにより、突き上げユニット４０が支持フレーム４２と一体にＹ方向に移動する。また、支持フレーム４２には、突き上げユニット４０の内部に設けられた図略のナット部分と螺合するボールねじ軸４５が配設されている。ボールねじ軸４５が第３Ｘ軸サーボモータ４６により回転駆動されることで、突き上げユニット４０がＸ軸方向に移動する。突き上げユニット４０は、ダイ７ａを突き上げる突き上げピン４７を有する。ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着時に、突き上げピン４７が上昇し、ウェハシート８ａを通してダイ７ａを突き上げる。突き上げピン４７は、ピン昇降モータによって昇降駆動される。A ball screw shaft 43 that screws into a nut portion (not shown) provided inside the support frame 42 is rotated and driven by a third Y-axis servo motor 44. This causes the push-up unit 40 to move in the Y direction together with the support frame 42. The support frame 42 is also provided with a ball screw shaft 45 that screws into a nut portion (not shown) provided inside the push-up unit 40. The ball screw shaft 45 is rotated and driven by a third X-axis servo motor 46, causing the push-up unit 40 to move in the X-axis direction. The push-up unit 40 has a push-up pin 47 that pushes up the die 7a. When the head 4H adsorbs the die 7a, the push-up pin 47 rises and pushes up the die 7a through the wafer sheet 8a. The push-up pin 47 is raised and lowered by a pin lift motor.

基台２には、部品認識カメラ３０が据え付けられている。部品認識カメラ３０は、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈに吸着されているダイ７ａを、基板Ｐへの実装の前に下側から撮像する。この撮像画像に基づいて、ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着異常や吸着ミス等が判定される。A component recognition camera 30 is mounted on the base 2. The component recognition camera 30 captures an image of the die 7a that is adsorbed to the head 4H of the head unit 4 from below before mounting on the substrate P. Based on this captured image, any abnormalities or errors in adsorption of the die 7a by the head 4H are determined.

［ウェハ供給装置の詳細構成］
図１に加えて図３～図８を参照しながら、ウェハ供給装置６の構成を詳細に説明する。ウェハ供給装置６は、ウェハ収納エレベータ９と、ウェハステージ１０と、ウェハコンベア１１とを備える。ウェハ収納エレベータ９は、ウェハ７が貼着されたウェハシート８ａをパレット８に保持した状態で、Ｚ方向に多段に収納している。ウェハステージ１０は、ウェハ収納エレベータ９の－Ｙ側の位置において、基台２上に設置されている。基板Ｐの停止位置となる前記実装作業位置に対して、ウェハステージ１０は＋Ｙ側に並ぶ位置に配置されている。本実施形態では、複数個のダイ７ａに分割されたウェハ７が基台２上で配置されるエリアとなるウェハステージ１０が、ウェハ供給装置６によりパレット８を供給する対象の部品取出作業位置となる。ウェハコンベア１１は、ウェハ収納エレベータ９からウェハステージ１０上にパレット８を引き出す、或いは、ウェハステージ１０上のパレット８をウェハ収納エレベータ９に戻す。 [Detailed configuration of wafer supply device]
The configuration of the wafer supply device 6 will be described in detail with reference to FIG. 1 as well as FIG. 3 to FIG. 8. The wafer supply device 6 includes a wafer storage elevator 9, a wafer stage 10, and a wafer conveyor 11. The wafer storage elevator 9 stores wafer sheets 8a with wafers 7 attached thereto in multiple stages in the Z direction while the wafer sheets 8a are held on pallets 8. The wafer stage 10 is installed on the base 2 at a position on the -Y side of the wafer storage elevator 9. The wafer stage 10 is arranged in a position aligned on the +Y side with respect to the mounting operation position where the substrate P is stopped. In this embodiment, the wafer stage 10, which is an area on the base 2 where the wafer 7 divided into a plurality of dies 7a is arranged, is the part removal operation position to which the wafer supply device 6 supplies the pallet 8. The wafer conveyor 11 pulls out the pallet 8 from the wafer storage elevator 9 onto the wafer stage 10, or returns the pallet 8 on the wafer stage 10 to the wafer storage elevator 9.

ウェハ収納エレベータ９は、ウェハ７が貼着されたウェハシート８ａを保持したパレット８をウェハステージ１０に供給するとともに、使用済みのパレット８をウェハステージ１０から回収することが可能に構成されている。ウェハ収納エレベータ９は、装置本体９１と、パレット収容体９５（ウェハ収容体）と、移動機構９６と、開閉板９７とを備えている。The wafer storage elevator 9 is configured to supply a pallet 8 holding a wafer sheet 8a to which a wafer 7 is attached to a wafer stage 10, and to be able to retrieve a used pallet 8 from the wafer stage 10. The wafer storage elevator 9 includes an apparatus main body 91, a pallet container 95 (wafer container), a moving mechanism 96, and an opening/closing plate 97.

装置本体９１は、パレット収容体９５、移動機構９６及び開閉板９７などが配置される内部空間９１７を規定する筐体構造を有している。装置本体９１は、Ｙ方向に互いに対向配置される第１フレーム板９１１及び第２フレーム板９１２と、Ｘ方向に互いに対向配置される一対の第３フレーム板９１３と、Ｚ方向に互いに対向配置される第４フレーム板９１４及び第５フレーム板９１５と、を含む。装置本体９１は、前記の各フレーム板によって囲まれた空間を前記内部空間９１７として規定する。The device body 91 has a housing structure that defines an internal space 917 in which the pallet container 95, the moving mechanism 96, the opening/closing plate 97, etc. are arranged. The device body 91 includes a first frame plate 911 and a second frame plate 912 that are arranged opposite each other in the Y direction, a pair of third frame plates 913 that are arranged opposite each other in the X direction, and a fourth frame plate 914 and a fifth frame plate 915 that are arranged opposite each other in the Z direction. The device body 91 defines the space surrounded by the frame plates as the internal space 917.

第１フレーム板９１１は、装置本体９１の－Ｙ側の壁面を構成する。第１フレーム板９１１には、ウェハステージ１０側である－Ｙ側を向いて開口する第１開口部９１１Ａが形成されている。図４に示されるように、第１開口部９１１Ａは、ウェハ７を保持した状態の１つのパレット８の通過を許容する形状を有している。具体的には、第１開口部９１１ＡのＸ方向に沿った長さは、１つのパレット８のＸ方向に沿った長さよりも僅かに大きい値に設定され、第１開口部９１１ＡのＺ方向に沿った長さは、１つのパレット８のＺ方向に沿った長さよりも僅かに大きい値に設定される。第１開口部９１１Ａは、Ｚ方向においてウェハステージ１０と同一の高さ位置に形成されている。The first frame plate 911 forms a wall surface on the -Y side of the device body 91. The first frame plate 911 is formed with a first opening 911A that opens toward the -Y side, which is the wafer stage 10 side. As shown in FIG. 4, the first opening 911A has a shape that allows the passage of one pallet 8 holding a wafer 7. Specifically, the length of the first opening 911A along the X direction is set to a value slightly larger than the length of one pallet 8 along the X direction, and the length of the first opening 911A along the Z direction is set to a value slightly larger than the length of one pallet 8 along the Z direction. The first opening 911A is formed at the same height position as the wafer stage 10 in the Z direction.

第２フレーム板９１２は、装置本体９１の＋Ｙ側の壁面を構成する。第２フレーム板９１２には、ウェハステージ１０側とは反対側である＋Ｙ側を向いて開口する第２開口部９１２Ａが形成されている。図３に示されるように、第２開口部９１２Ａは、内部空間９１７内に配置される後記のパレット収容体９５の全体の露出を許容する形状を有している。具体的には、第２開口部９１２ＡのＸ方向に沿った長さは、パレット収容体９５のＸ方向に沿った長さよりも大きい値に設定され、第２開口部９１２ＡのＺ方向に沿った長さは、パレット収容体９５のＺ方向に沿った長さよりも大きい値に設定される。第２開口部９１２Ａの開口面積は、第１開口部９１１Ａの開口面積よりも大きい。The second frame plate 912 constitutes the wall surface on the +Y side of the device body 91. The second frame plate 912 has a second opening 912A that opens toward the +Y side opposite the wafer stage 10. As shown in FIG. 3, the second opening 912A has a shape that allows the entire pallet container 95 (described later) disposed in the internal space 917 to be exposed. Specifically, the length of the second opening 912A along the X direction is set to a value greater than the length of the pallet container 95 along the X direction, and the length of the second opening 912A along the Z direction is set to a value greater than the length of the pallet container 95 along the Z direction. The opening area of the second opening 912A is greater than the opening area of the first opening 911A.

装置本体９１において第１フレーム板９１１と第２フレーム板９１２との間に規定される内部空間９１７は、第１開口部９１１Ａ及び第２開口部９１２Ａに連通している。そして、第１開口部９１１Ａと第２開口部９１２Ａとは、内部空間９１７内におけるパレット収容体９５の移動方向となるＺ方向と直交するＹ方向から見る視点において、互いに重ならないように形成されている。第１開口部９１１Ａは、第２開口部９１２ＡよりもＺ方向において－Ｚ側に形成されている。An internal space 917 defined between the first frame plate 911 and the second frame plate 912 in the device body 91 is connected to a first opening 911A and a second opening 912A. The first opening 911A and the second opening 912A are formed so as not to overlap with each other when viewed from the Y direction perpendicular to the Z direction, which is the movement direction of the pallet container 95 within the internal space 917. The first opening 911A is formed on the -Z side in the Z direction relative to the second opening 912A.

一対の第３フレーム板９１３は、装置本体９１の＋Ｘ側及び－Ｘ側の壁面をそれぞれ構成する。第４フレーム板９１４は、装置本体９１の＋Ｚ側の壁面を構成する。第５フレーム板９１５は、装置本体９１の－Ｚ側の壁面を構成する。 A pair of third frame plates 913 respectively form the +X and -X side wall surfaces of the device body 91. The fourth frame plate 914 forms the +Z side wall surface of the device body 91. The fifth frame plate 915 forms the -Z side wall surface of the device body 91.

また、図３に示されるように、装置本体９１は、第２開口部９１２Ａを開閉するための扉体９１６を更に含む。扉体９１６は、第２フレーム板９１２における－Ｘ側の端部に設けられたＺ方向に延びる回動軸回りに回動することにより、第２開口部９１２Ａを開閉する。3, the device body 91 further includes a door body 916 for opening and closing the second opening 912A. The door body 916 opens and closes the second opening 912A by rotating about a rotation axis extending in the Z direction provided at the end of the second frame plate 912 on the -X side.

また、図５及び図６に示されるように、装置本体９１の第５フレーム板９１５における＋Ｘ側の端部領域部分には、収容体支持構造９２が設けられている。収容体支持構造９２は、内部空間９１７内においてＺ方向の移動が可能となるようにパレット収容体９５を支持するための構造である。収容体支持構造９２は、Ｙ方向に互いに間隔を隔てて配置されるとともに、Ｚ方向に延びる一対のレール部材９２１を有している。この一対のレール部材９２１は、パレット収容体９５を移動可能に支持する。パレット収容体９５は、一対のレール部材９２１に支持された状態において、当該一対のレール部材９２１に沿って移動することにより、Ｚ方向への移動が可能である。5 and 6, a container support structure 92 is provided in the end area on the +X side of the fifth frame plate 915 of the device main body 91. The container support structure 92 is a structure for supporting the pallet container 95 so as to enable movement in the Z direction within the internal space 917. The container support structure 92 has a pair of rail members 921 that are spaced apart from each other in the Y direction and extend in the Z direction. The pair of rail members 921 movably support the pallet container 95. When supported by the pair of rail members 921, the pallet container 95 can move in the Z direction by moving along the pair of rail members 921.

また、図３に示されるように、第４フレーム板９１４における＋Ｙ側の領域部分には、扉スイッチ９４Ａが設けられている。更に、一対の第３フレーム板９１３のうち＋Ｘ側の第３フレーム板９１３における＋Ｙ側の端面には、扉ロック機構９３が設けられるとともに、扉検知機構９４Ｂが設けられている。3, a door switch 94A is provided in the +Y side area of the fourth frame plate 914. Furthermore, a door lock mechanism 93 is provided on the +Y side end face of the +X side third frame plate 913 of the pair of third frame plates 913, and a door detection mechanism 94B is provided.

扉スイッチ９４Ａは、扉体９１６の開閉に関する操作を受付けるスイッチである。扉スイッチ９４Ａは、扉体９１６の開放を要求するための操作を受付けた場合には扉開放要求信号ＳＡ１（後記の図１１）を出力する一方、扉体９１６が閉鎖された場合には扉閉鎖信号ＳＡ２（後記の図１３）を出力する。The door switch 94A is a switch that accepts operations related to opening and closing the door body 916. When the door switch 94A accepts an operation to request the opening of the door body 916, it outputs a door open request signal SA1 (see FIG. 11 below), and when the door body 916 is closed, it outputs a door close signal SA2 (see FIG. 13 below).

扉ロック機構９３は、扉体９１６が第２開口部９１２Ａを閉鎖した状態を維持するための機構である。扉検知機構９４Ｂは、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されて、扉体９１６が開放されたことを検知するための検知機構である。扉検知機構９４Ｂは、扉体９１６が開放されたことを検知した場合、扉開放検知信号ＳＣ（後記の図１２）を出力する。The door lock mechanism 93 is a mechanism for maintaining the state in which the door body 916 closes the second opening 912A. The door detection mechanism 94B is a detection mechanism for detecting that the door body 916 has been released from the closed state maintained by the door lock mechanism 93 and that the door body 916 has been opened. When the door detection mechanism 94B detects that the door body 916 has been opened, it outputs a door open detection signal SC (see FIG. 12 below).

パレット収容体９５は、パレット８に保持された状態のウェハ７をＺ方向に複数並んだ状態で収容するウェハ収容体である。つまり、パレット収容体９５は、ウェハ７を保持した状態のパレット８を収容する。パレット収容体９５は、装置本体９１の内部空間９１７内において、収容体支持構造９２の一対のレール部材９２１によってＺ方向に移動可能に支持されている（図５及び図６参照）。図７及び図８に示されるように、パレット収容体９５は、マガジンラック９５１と、ラッチ部材９５２と、ラッチ開閉機構９５３とを含む。The pallet container 95 is a wafer container that contains multiple wafers 7 held on pallets 8 lined up in the Z direction. In other words, the pallet container 95 contains pallets 8 holding wafers 7. The pallet container 95 is supported within the internal space 917 of the device body 91 by a pair of rail members 921 of the container support structure 92 so as to be movable in the Z direction (see Figures 5 and 6). As shown in Figures 7 and 8, the pallet container 95 includes a magazine rack 951, a latch member 952, and a latch opening/closing mechanism 953.

マガジンラック９５１は、Ｙ方向の両端が開口した箱形に形成され、ウェハ７を保持した状態のパレット８を収容するための収容本体を構成する構造体である。マガジンラック９５１のＸ方向の両側面には、パレット８をＹ方向に移動可能に支持する支持部９５１１がＺ方向に並んで複数設けられている。なお、複数の支持部９５１１の各々に支持される各パレット８に保持される各ウェハ７は、互いに同一の種類である。つまり、マガジンラック９５１に収容される複数のパレット８の各々は、同一種のダイ７ａを有するウェハ７を保持している。本実施形態では、マガジンラック９５１は、装置本体９１の内部空間９１７内において、第１フレーム板９１１との間に所定の間隙ＧＰ（図６）が形成されるように配置される。The magazine rack 951 is a structure that is formed in a box shape with both ends in the Y direction open and constitutes a storage body for storing pallets 8 holding wafers 7. On both sides in the X direction of the magazine rack 951, a plurality of support parts 9511 that support the pallets 8 movably in the Y direction are arranged in the Z direction. The wafers 7 held on each pallet 8 supported by each of the plurality of support parts 9511 are of the same type. In other words, each of the plurality of pallets 8 stored in the magazine rack 951 holds wafers 7 having the same type of die 7a. In this embodiment, the magazine rack 951 is arranged in the internal space 917 of the device body 91 so that a predetermined gap GP (FIG. 6) is formed between the magazine rack 951 and the first frame plate 911.

ラッチ部材９５２は、マガジンラック９５１に対して前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出して設けられる、Ｚ方向に延びる棒状の部材である。ラッチ部材９５２は、ウェハ移動制御部材の一例である。ラッチ部材９５２は、マガジンラック９５１における第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）且つＸ方向の＋Ｘ側及び－Ｘ側の各端部にそれぞれ設けられる。ラッチ部材９５２は、Ｚ方向に延びるラッチ回動軸９５２１回りの回動が可能である。ラッチ回動軸９５２１は、マガジンラック９５１における－Ｙ側且つ＋Ｘ側の端部と、－Ｙ側且つ－Ｘ側の端部とに、それぞれ設けられている。ラッチ部材９５２は、ラッチ回動軸９５２１回りに回動することにより、ウェハ７を保持した状態のパレット８の、マガジンラック９５１からの第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）への移動を規制する移動規制姿勢（図７の姿勢）と、当該移動を許容する移動許容姿勢（図８の姿勢）との間の姿勢変更が可能である。The latch member 952 is a rod-shaped member extending in the Z direction that is provided within the gap GP relative to the magazine rack 951 and protrudes toward the first frame plate 911. The latch member 952 is an example of a wafer movement control member. The latch member 952 is provided at each end of the magazine rack 951 on the first frame plate 911 side (-Y side) and on the +X side and -X side in the X direction. The latch member 952 is capable of rotating around a latch rotation shaft 9521 that extends in the Z direction. The latch rotation shaft 9521 is provided at each end of the magazine rack 951 on the -Y side and +X side, and on the -Y side and -X side. By rotating around the latch rotation axis 9521, the latch member 952 can change its position between a movement restricting position (position in Figure 7) that restricts the movement of the pallet 8 holding the wafer 7 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 (-Y side) and a movement allowing position (position in Figure 8) that permits such movement.

ラッチ開閉機構９５３は、マガジンラック９５１における＋Ｚ側の上面に設けられる。ラッチ開閉機構９５３は、ラッチ部材９５２をラッチ回動軸９５２１回りに回動させることにより、当該ラッチ部材９５２を前記移動規制姿勢と前記移動許容姿勢との間で姿勢変更させる機構である。The latch opening/closing mechanism 953 is provided on the upper surface of the +Z side of the magazine rack 951. The latch opening/closing mechanism 953 is a mechanism that rotates the latch member 952 around the latch rotation shaft 9521 to change the position of the latch member 952 between the movement restricting position and the movement allowing position.

図６に示されるように、装置本体９１には、パレット検知機構９４Ｃが取付けられている。パレット検知機構９４Ｃは、ウェハ７を保持した状態のパレット８の、マガジンラック９５１からの第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）への移動を検知するためのウェハ検知機構の一例である。パレット検知機構９４Ｃは、発光部９４Ｃ２及び受光部９４Ｃ３により構成される。発光部９４Ｃ２と受光部９４Ｃ３とは、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成された前記間隙ＧＰの範囲内でＺ方向（パレット収容体９５の移動方向）に延びる光路９４Ｃ１上に、互いに対向配置される。パレット検知機構９４Ｃは、発光部９４Ｃ２から出射されて光路９４Ｃ１に沿って進行する光の、受光部９４Ｃ３における受光の状況に基づいて、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動を検知する。 As shown in FIG. 6, a pallet detection mechanism 94C is attached to the device body 91. The pallet detection mechanism 94C is an example of a wafer detection mechanism for detecting the movement of the pallet 8 holding the wafer 7 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 (-Y side). The pallet detection mechanism 94C is composed of a light emitter 94C2 and a light receiver 94C3. The light emitter 94C2 and the light receiver 94C3 are arranged opposite each other on an optical path 94C1 extending in the Z direction (movement direction of the pallet container 95) within the range of the gap GP formed between the magazine rack 951 and the first frame plate 911. The pallet detection mechanism 94C detects the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 based on the state of light reception by the light receiver 94C3 of the light emitted from the light emitter 94C2 and traveling along the optical path 94C1.

移動機構９６は、装置本体９１の内部空間９１７内において収容体支持構造９２の一対のレール部材９２１によって支持されたパレット収容体９５を、Ｚ方向に移動させるための機構である。図５及び図６に示されるように、移動機構９６は、ボールねじ軸９６１と駆動モータ９６２とを備える。ボールねじ軸９６１は、一対のレール部材９２１に近接して、Ｚ方向に延在するように配設されている。駆動モータ９６２は、パレット収容体９５を移動させるための駆動力を発するサーボモータであって、ボールねじ軸９６１を回転駆動する。パレット収容体９５には図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸９６１に螺合されている。このような構成の移動機構９６によれば、駆動モータ９６２が作動してボールねじ軸９６１が回転駆動されることにより、パレット収容体９５が一対のレール部材９２１に沿ってＺ方向に移動する。The moving mechanism 96 is a mechanism for moving the pallet container 95 supported by a pair of rail members 921 of the container support structure 92 in the Z direction within the internal space 917 of the device main body 91. As shown in FIGS. 5 and 6, the moving mechanism 96 includes a ball screw shaft 961 and a drive motor 962. The ball screw shaft 961 is disposed so as to extend in the Z direction in close proximity to the pair of rail members 921. The drive motor 962 is a servo motor that generates a driving force for moving the pallet container 95 and rotates the ball screw shaft 961. A nut (not shown) is attached to the pallet container 95, and the nut is screwed onto the ball screw shaft 961. According to the moving mechanism 96 configured in this way, the drive motor 962 is operated to rotate the ball screw shaft 961, so that the pallet container 95 moves in the Z direction along the pair of rail members 921.

移動機構９６は、装置本体９１の内部空間９１７内において、第１開口部９１１Ａに面する第１位置と、第２開口部９１２Ａに面する第２位置との間でパレット収容体９５をＺ方向に移動させる。前記第１位置は、パレット収容体９５とウェハステージ１０との間におけるパレット８の第１開口部９１１Ａを介した移動が許容される位置である。前記第２位置は、パレット収容体９５に収容されたパレット８の第２開口部９１２Ａを介した交換が許容される位置である。なお、既述の通り、第１開口部９１１Ａは第２開口部９１２ＡよりもＺ方向の－Ｚ側に形成されているので、この場合には、前記第１位置は前記第２位置よりもＺ方向の－Ｚ側に位置することとなる。移動機構９６は、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向Ｚ１へパレット収容体９５を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向Ｚ２へパレット収容体９５を移動させる。The moving mechanism 96 moves the pallet container 95 in the Z direction between a first position facing the first opening 911A and a second position facing the second opening 912A within the internal space 917 of the device main body 91. The first position is a position where movement of the pallet 8 between the pallet container 95 and the wafer stage 10 through the first opening 911A is permitted. The second position is a position where replacement of the pallet 8 contained in the pallet container 95 through the second opening 912A is permitted. As described above, the first opening 911A is formed on the -Z side in the Z direction from the second opening 912A, so in this case, the first position is located on the -Z side in the Z direction from the second position. The moving mechanism 96 moves the pallet container 95 in a first moving direction Z1 from the first position toward the second position, and moves the pallet container 95 in a second moving direction Z2 from the second position toward the first position.

なお、図５に示されるように、装置本体９１の内部空間９１７内には、収容体検知機構９４Ｄが設けられている。収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知するための機構である。収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５における第１フレーム板９１１側の端部に取付けられる発光部９４Ｄ１と、第１フレーム板９１１における第２開口部９１２Ａに対向する領域部分に取付けられる受光部９４Ｄ２とにより構成される（後記の図１０～図１３参照）。なお、発光部９４Ｄ１が第１フレーム板９１１に取付けられ、受光部９４Ｄ２がパレット収容体９５に取付けられていてもよい。収容体検知機構９４Ｄは、発光部９４Ｄ１から出射された光の、受光部９４Ｄ２における受光の状況に基づいて、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知する。収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知した場合には、収容体検知信号ＳＢ（後記の図１１）を出力する。なお、収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知することが可能であれば、光を利用した上記の構造に限定されるものではない。5, a container detection mechanism 94D is provided in the internal space 917 of the device body 91. The container detection mechanism 94D is a mechanism for detecting that the pallet container 95 is disposed in the second position. The container detection mechanism 94D is composed of a light-emitting unit 94D1 attached to the end of the pallet container 95 on the first frame plate 911 side, and a light-receiving unit 94D2 attached to an area portion facing the second opening 912A in the first frame plate 911 (see Figures 10 to 13 described later). The light-emitting unit 94D1 may be attached to the first frame plate 911, and the light-receiving unit 94D2 may be attached to the pallet container 95. The container detection mechanism 94D detects that the pallet container 95 is disposed in the second position based on the state of reception of the light emitted from the light-emitting unit 94D1 by the light-receiving unit 94D2. When the container detection mechanism 94D detects that the pallet container 95 is placed at the second position, it outputs a container detection signal SB (FIG. 11 described below). Note that the container detection mechanism 94D is not limited to the above-mentioned structure using light, as long as it is capable of detecting that the pallet container 95 is placed at the second position.

開閉板９７は、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動に連動した移動が可能となるように、装置本体９１の内部空間９１７内に設けられた板状部材である。開閉板９７は、パレット収容体９５の移動に連動した移動によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを開閉する。The opening/closing plate 97 is a plate-like member provided in the internal space 917 of the device body 91 so as to be able to move in conjunction with the movement of the pallet container 95 by the moving mechanism 96. The opening/closing plate 97 opens and closes the first opening 911A formed in the first frame plate 911 by moving in conjunction with the movement of the pallet container 95.

具体的には、開閉板９７は、パレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では第１開口部９１１Ａの全体を開放する。これにより、パレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態において、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能である。また、ウェハステージ１０からパレット収容体９５への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の回収が可能である。一方、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、開閉板９７は、第１開口部９１１Ａの全体を閉鎖する。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態においては、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通した連通を、第１開口部９１１Ａの全体に亘って開閉板９７によって遮断することができる。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。Specifically, when the pallet container 95 is disposed at the first position, the opening/closing plate 97 opens the entire first opening 911A. As a result, when the pallet container 95 is disposed at the first position, the pallet 8 can be supplied from the pallet container 95 to the wafer stage 10 through the first opening 911A. Also, the pallet 8 can be retrieved from the wafer stage 10 to the pallet container 95 through the first opening 911A. On the other hand, when the pallet container 95 is disposed at the second position, the opening/closing plate 97 closes the entire first opening 911A. As a result, when the pallet container 95 is disposed at the second position, the communication from the pallet container 95 to the wafer stage 10 through the first opening 911A can be blocked by the opening/closing plate 97 over the entire first opening 911A. Therefore, when the pallet container 95 is disposed at the second position, it is possible to appropriately restrict access to the wafer stage 10 through the pallet container 95.

図６～図８に示されるように、開閉板９７は、パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側（－Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部に取付けられている。このように開閉板９７をパレット収容体９５に取付けるという簡単な構成で、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動に連動した移動が可能な開閉板９７を実現することができる。しかも、パレット収容体９５において開閉板９７が取付けられる箇所は、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向Ｚ１の上流側であり、且つ、第１開口部９１１Ａが形成された第１フレーム板９１１側の端部である。このため、前記第１位置よりも第１移動方向Ｚ１の下流側の前記第２位置にパレット収容体９５が配置された状態では、当該パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部に取付けられた開閉板９７によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを確実に閉鎖することができる。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。 As shown in Figures 6 to 8, the opening and closing plate 97 is attached to the end of the pallet container 95 on the upstream side (-Z side) of the first movement direction Z1 and on the first frame plate 911 side (-Y side). In this way, with the simple configuration of attaching the opening and closing plate 97 to the pallet container 95, it is possible to realize an opening and closing plate 97 that can move in conjunction with the movement of the pallet container 95 by the movement mechanism 96. Moreover, the location where the opening and closing plate 97 is attached to the pallet container 95 is the upstream side of the first movement direction Z1 from the first position to the second position, and is the end on the first frame plate 911 side where the first opening 911A is formed. Therefore, when the pallet container 95 is disposed at the second position downstream of the first movement direction Z1 from the first position, the opening and closing plate 97 attached to the end of the pallet container 95 on the upstream side of the first movement direction Z1 and on the first frame plate 911 side can reliably close the first opening 911A formed in the first frame plate 911. This makes it possible to more accurately restrict access to the wafer stage 10 through the pallet container 95 when the pallet container 95 is placed in the second position.

既述の通り、第１開口部９１１Ａと第２開口部９１２Ａとは、装置本体９１の内部空間９１７内におけるパレット収容体９５の移動方向となるＺ方向と直交するＹ方向から見る視点において、互いに重ならないように形成されている。この場合、パレット収容体９５が第２開口部９１２Ａに対応した前記第２位置に配置された状態においては、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通した連通を、第１開口部９１１Ａの全体に亘って開閉板９７によってより確実に遮断することができる。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。As described above, the first opening 911A and the second opening 912A are formed so as not to overlap each other when viewed from the Y direction perpendicular to the Z direction, which is the movement direction of the pallet container 95 in the internal space 917 of the device body 91. In this case, when the pallet container 95 is disposed at the second position corresponding to the second opening 912A, the communication from the pallet container 95 to the wafer stage 10 through the first opening 911A can be more reliably blocked by the opening/closing plate 97 over the entire first opening 911A. Therefore, when the pallet container 95 is disposed at the second position, it is possible to more accurately restrict access to the wafer stage 10 through the pallet container 95.

また、既述の通り、パレット収容体９５は、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成された前記間隙ＧＰの範囲内でマガジンラック９５１に対して第１フレーム板９１１側に突出したラッチ部材９５２を含んで構成されている。ラッチ開閉機構９５３によるラッチ回動軸９５２１回りの回動に応じてラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が許容される。この場合、マガジンラック９５１からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能となる。一方、ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が規制される。この場合、例えば、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動時やパレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への飛び出しの規制が可能となる。As described above, the pallet container 95 includes a latch member 952 that protrudes toward the first frame plate 911 relative to the magazine rack 951 within the gap GP formed between the magazine rack 951 and the first frame plate 911. When the latch member 952 is in the movement-permitting position in response to the rotation around the latch rotation shaft 9521 by the latch opening/closing mechanism 953, the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 is permitted. In this case, the pallet 8 can be supplied from the magazine rack 951 to the wafer stage 10 through the first opening 911A. On the other hand, when the latch member 952 is in the movement-restricting position, the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 is restricted. In this case, for example, when the pallet container 95 is moved by the movement mechanism 96 or when the pallet container 95 is disposed in the second position, it is possible to restrict the pallet 8 from the magazine rack 951 from jumping out toward the first frame plate 911.

パレット収容体９５がラッチ部材９５２を含んで構成される場合には、上記のようにマガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に間隙ＧＰが形成された状態となる。この間隙ＧＰはマガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成されているので、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａと間隙ＧＰとは、連通している。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態においては、マガジンラック９５１とウェハステージ１０とは、間隙ＧＰ及び第１開口部９１１Ａを通して連通状態となる。この場合、マガジンラック９５１を通したウェハステージ１０へのアクセスを規制するためには、マガジンラック９５１からウェハステージ１０への間隙ＧＰ及び第１開口部９１１Ａを通した連通を遮断する必要がある。When the pallet container 95 includes the latch member 952, a gap GP is formed between the magazine rack 951 and the first frame plate 911 as described above. Since the gap GP is formed between the magazine rack 951 and the first frame plate 911, the gap GP is communicated with the first opening 911A formed in the first frame plate 911. Therefore, when the pallet container 95 is disposed in the second position, the magazine rack 951 and the wafer stage 10 are in communication with each other through the gap GP and the first opening 911A. In this case, in order to restrict access to the wafer stage 10 through the magazine rack 951, it is necessary to block communication from the magazine rack 951 to the wafer stage 10 through the gap GP and the first opening 911A.

そこで、図６に示されるように、開閉板９７は、突出部９７１と延出部９７２とを含んで構成される。突出部９７１は、マガジンラック９５１における第１移動方向Ｚ１の上流側（－Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部から前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出する板状の部分である。突出部９７１におけるＸ方向に沿った長さは、マガジンラック９５１のＸ方向に沿った長さと略同一の値に設定される。また、マガジンラック９５１からの突出部９７１の突出長さは、前記間隙ＧＰの寸法よりも僅かに小さい値に設定される。延出部９７２は、第１開口部９１１Ａの全体を開放又は閉鎖することが可能となるように、突出部９７１から第２移動方向Ｚ２側（－Ｚ側）に延びる板状の部分である。延出部９７２におけるＸ方向に沿った長さは、突出部９７１のＸ方向に沿った長さと同一であって、第１開口部９１１ＡのＸ方向に沿った長さよりも大きい値に設定される。また、延出部９７２におけるＺ方向に沿った長さは、第１開口部９１１ＡのＺ方向に沿った長さよりも大きい値に設定される。6, the opening/closing plate 97 includes a protruding portion 971 and an extending portion 972. The protruding portion 971 is a plate-shaped portion that protrudes from the end of the magazine rack 951 on the upstream side (-Z side) of the first moving direction Z1 and on the first frame plate 911 side (-Y side) toward the first frame plate 911 within the range of the gap GP. The length of the protruding portion 971 along the X direction is set to a value that is approximately the same as the length of the magazine rack 951 along the X direction. In addition, the protruding length of the protruding portion 971 from the magazine rack 951 is set to a value that is slightly smaller than the dimension of the gap GP. The extending portion 972 is a plate-shaped portion that extends from the protruding portion 971 toward the second moving direction Z2 side (-Z side) so as to be able to open or close the entire first opening 911A. The length of the extension 972 in the X direction is set to a value that is the same as the length of the protrusion 971 in the X direction and is greater than the length of the first opening 911A in the X direction. Moreover, the length of the extension 972 in the Z direction is set to a value that is greater than the length of the first opening 911A in the Z direction.

本実施形態では、開閉板９７は、突出部９７１と延出部９７２とが一体の、断面形状がＬ型の部材から構成されている。断面形状がＬ型の部材を用いることによって、突出部９７１と延出部９７２とが一体の開閉板９７を簡単に構成することができる。In this embodiment, the opening/closing plate 97 is composed of a member having an L-shaped cross section in which the protruding portion 971 and the extending portion 972 are integrated. By using a member having an L-shaped cross section, the opening/closing plate 97 in which the protruding portion 971 and the extending portion 972 are integrated can be easily constructed.

開閉板９７の突出部９７１は、マガジンラック９５１における第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部から前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出する。これにより、前記第１位置よりも第１移動方向Ｚ１の下流側の前記第２位置にパレット収容体９５が配置された状態では、突出部９７１によって、前記間隙ＧＰと第１開口部９１１Ａとの連通を遮断することができる。しかも、開閉板９７の延出部９７２は、第１開口部９１１Ａの全体を開放又は閉鎖することが可能となるように突出部９７１から延びる。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、延出部９７２によって第１開口部９１１Ａを閉鎖することができる。つまり、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間の前記間隙ＧＰと第１開口部９１１Ａとの連通を突出部９７１によって遮断するとともに、延出部９７２によって第１開口部９１１Ａを閉鎖する。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、マガジンラック９５１を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。The protruding portion 971 of the opening/closing plate 97 protrudes from the end of the magazine rack 951 on the upstream side of the first moving direction Z1 and on the first frame plate 911 side to the first frame plate 911 side within the range of the gap GP. As a result, when the pallet container 95 is disposed at the second position downstream of the first moving direction Z1 from the first position, the protruding portion 971 can block communication between the gap GP and the first opening 911A. Moreover, the extension portion 972 of the opening/closing plate 97 extends from the protruding portion 971 so as to be able to open or close the entire first opening 911A. As a result, when the pallet container 95 is disposed at the second position, the extension portion 972 can close the first opening 911A. In other words, when the pallet container 95 is arranged at the second position, communication between the gap GP between the magazine rack 951 and the first frame plate 911 and the first opening 911A is blocked by the protrusion 971, and the first opening 911A is closed by the extension 972. This makes it possible to precisely restrict access to the wafer stage 10 through the magazine rack 951 when the pallet container 95 is arranged at the second position.

また、既述の通り、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成された前記間隙ＧＰの範囲内には、当該間隙ＧＰの範囲内でＺ方向に延びる光路９４Ｃ１上に互いに対向配置される発光部９４Ｃ２及び受光部９４Ｃ３により構成されたパレット検知機構９４Ｃが設けられている。パレット検知機構９４Ｃの検知結果に基づいて、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への飛び出し状況などを検出することができる。この場合、マガジンラック９５１から前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出する開閉板９７の突出部９７１は、光通過孔９７１１を有している。この光通過孔９７１１は、パレット検知機構９４Ｃの光路９４Ｃ１を開放することで、発光部９４Ｃ２から受光部９４Ｃ３への光の通過を許容する孔である。これにより、開閉板９７がパレット検知機構９４Ｃによるパレット８の検知の邪魔となることを回避することができる。As described above, within the gap GP formed between the magazine rack 951 and the first frame plate 911, a pallet detection mechanism 94C is provided, which is composed of a light emitting unit 94C2 and a light receiving unit 94C3 arranged opposite each other on an optical path 94C1 extending in the Z direction within the gap GP. Based on the detection result of the pallet detection mechanism 94C, it is possible to detect the protrusion state of the pallet 8 from the magazine rack 951 to the first frame plate 911 side. In this case, the protruding portion 971 of the opening/closing plate 97 protruding from the magazine rack 951 to the first frame plate 911 side within the gap GP has a light passing hole 9711. This light passing hole 9711 is a hole that allows the passage of light from the light emitting unit 94C2 to the light receiving unit 94C3 by opening the optical path 94C1 of the pallet detection mechanism 94C. This makes it possible to avoid the opening/closing plate 97 interfering with the detection of the pallet 8 by the pallet detection mechanism 94C.

［ウェハ供給装置の制御構成］
次に、図９のブロック図を参照しながら、ウェハ供給装置６の制御構成について説明する。ウェハ供給装置６は、ウェハコンベア１１及びウェハ収納エレベータ９の動作を制御する制御部６Ｃを備えている。制御部６Ｃは、例えば制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）や一時的にデータを記憶するフラッシュメモリ等の記憶装置が内蔵されたマイクロコンピュータからなる。制御部６Ｃは、前記制御プログラムが読み出されることにより、ウェハコンベア１１及びウェハ収納エレベータ９の動作を制御する。制御部６Ｃは、例えば装置本体９１における第５フレーム板９１５上に配置される（図５参照）。制御部６Ｃは、機能構成として、コンベア制御部１１Ｃとエレベータ制御部９Ｃとを含む。 [Control configuration of wafer supply device]
Next, the control configuration of the wafer supplying device 6 will be described with reference to the block diagram of Fig. 9. The wafer supplying device 6 includes a control unit 6C that controls the operation of the wafer conveyor 11 and the wafer storage elevator 9. The control unit 6C is made up of a microcomputer with a built-in storage device such as a ROM (Read Only Memory) that stores a control program and a flash memory that temporarily stores data. The control unit 6C controls the operation of the wafer conveyor 11 and the wafer storage elevator 9 by reading out the control program. The control unit 6C is disposed, for example, on the fifth frame plate 915 of the device main body 91 (see Fig. 5). The control unit 6C includes, as functional components, a conveyor control unit 11C and an elevator control unit 9C.

コンベア制御部１１Ｃは、ウェハコンベア１１を制御する。コンベア制御部１１Ｃは、ウェハステージ１０にパレット８を供給する場合には、パレット収容体９５からウェハステージ１０上に第１開口部９１１Ａを通してパレット８が引き出されるように、ウェハコンベア１１を制御する。一方、ウェハステージ１０に配置された使用済みのパレット８を回収する場合には、コンベア制御部１１Ｃは、ウェハステージ１０上のパレット８が第１開口部９１１Ａを通してパレット収容体９５に戻されるように、ウェハコンベア１１を制御する。The conveyor control unit 11C controls the wafer conveyor 11. When supplying a pallet 8 to the wafer stage 10, the conveyor control unit 11C controls the wafer conveyor 11 so that the pallet 8 is pulled out from the pallet container 95 onto the wafer stage 10 through the first opening 911A. On the other hand, when recovering a used pallet 8 placed on the wafer stage 10, the conveyor control unit 11C controls the wafer conveyor 11 so that the pallet 8 on the wafer stage 10 is returned to the pallet container 95 through the first opening 911A.

エレベータ制御部９Ｃは、ウェハ収納エレベータ９を制御する。エレベータ制御部９Ｃには、扉スイッチ９４Ａの出力信号が入力されるとともに、扉検知機構９４Ｂ、パレット検知機構９４Ｃ及び収容体検知機構９４Ｄの各検知信号が入力される。エレベータ制御部９Ｃは、機能構成として、ロック制御部９Ｃ１と、ラッチ制御部９Ｃ２と、移動制御部９Ｃ３とを含む。The elevator control unit 9C controls the wafer storage elevator 9. The elevator control unit 9C receives an output signal from the door switch 94A, as well as detection signals from the door detection mechanism 94B, the pallet detection mechanism 94C, and the container detection mechanism 94D. The elevator control unit 9C includes, as functional components, a lock control unit 9C1, a latch control unit 9C2, and a movement control unit 9C3.

ロック制御部９Ｃ１は、収容体検知機構９４Ｄの検知信号に基づいて、扉ロック機構９３を制御する。ロック制御部９Ｃ１は、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを示す収容体検知信号ＳＢ（後記の図１１）が収容体検知機構９４Ｄから出力された場合に、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されるように、扉ロック機構９３を制御する。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されている場合に限り、扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除される。つまり、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されることに応じて開閉板９７が第１開口部９１１Ａの全体を閉鎖した状態において、扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除される。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態であって、且つ、第１開口部９１１Ａが開閉板９７によって閉鎖された状態である場合に限り、扉体９１６を開放することができる。一方、収容体検知機構９４Ｄから収容体検知信号ＳＢが出力されていない場合には、ロック制御部９Ｃ１は、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態が維持されるように、扉ロック機構９３を制御する。The lock control unit 9C1 controls the door lock mechanism 93 based on the detection signal of the container detection mechanism 94D. When the container detection mechanism 94D outputs a container detection signal SB (see FIG. 11 below) indicating that the pallet container 95 is placed at the second position, the lock control unit 9C1 controls the door lock mechanism 93 so that the door body 916 is released from the closed state. As a result, the door body 916 is released from the closed state only when the pallet container 95 is placed at the second position. In other words, the door body 916 is released from the closed state when the opening/closing plate 97 closes the entire first opening 911A in response to the pallet container 95 being placed at the second position. Therefore, the door body 916 can be opened only when the pallet container 95 is placed at the second position and the first opening 911A is closed by the opening/closing plate 97. On the other hand, when the contained item detection signal SB is not output from the contained item detection mechanism 94D, the lock control unit 9C1 controls the door lock mechanism 93 so that the door body 916 is maintained in the closed state by the door lock mechanism 93.

ラッチ制御部９Ｃ２は、装置本体９１の内部空間９１７内におけるパレット収容体９５の位置に応じて、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ制御部９Ｃ２は、パレット収容体９５が前記第１位置に配置されている場合には、ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が許容される。これにより、マガジンラック９５１からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能となる。一方、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動時やパレット収容体９５が前記第２位置に配置されている場合には、ラッチ制御部９Ｃ２は、ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が規制される。これにより、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への飛び出しの規制が可能となる。The latch control unit 9C2 controls the latch opening/closing mechanism 953 according to the position of the pallet container 95 in the internal space 917 of the device main body 91. When the pallet container 95 is disposed at the first position, the latch control unit 9C2 controls the latch opening/closing mechanism 953 so that the latch member 952 takes the movement permitting position. When the latch member 952 takes the movement permitting position, the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 is permitted. This allows the supply of the pallet 8 from the magazine rack 951 to the wafer stage 10 through the first opening 911A. On the other hand, when the pallet container 95 is moved by the moving mechanism 96 or when the pallet container 95 is disposed at the second position, the latch control unit 9C2 controls the latch opening/closing mechanism 953 so that the latch member 952 takes the movement restricting position. When the latch member 952 takes the movement restricting position, the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 is restricted. This makes it possible to restrict the pallet 8 from jumping out from the magazine rack 951 towards the first frame plate 911 .

移動制御部９Ｃ３は、扉スイッチ９４Ａの出力信号に基づいて、移動機構９６を制御する。扉体９１６の開放を要求する操作を受付けた場合の扉開放要求信号ＳＡ１（後記の図１１）が扉スイッチ９４Ａから出力された場合には、移動制御部９Ｃ３は、扉体９１６が設けられた第２開口部９１２Ａに対応した前記第２位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する。これにより、扉スイッチ９４Ａの操作後に扉体９１６が開放される場面では、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されることになる。このようにパレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、扉体９１６を開放することにより、パレット収容体９５に収容されたパレット８の第２開口部９１２Ａを介した交換が可能である。この場合、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスが開閉板９７によって的確に規制されている。The movement control unit 9C3 controls the movement mechanism 96 based on the output signal of the door switch 94A. When a door open request signal SA1 (see FIG. 11 below) is output from the door switch 94A in response to an operation requesting the opening of the door body 916, the movement control unit 9C3 controls the movement mechanism 96 so that the pallet container 95 is placed at the second position corresponding to the second opening 912A where the door body 916 is provided. As a result, when the door body 916 is opened after the operation of the door switch 94A, the pallet container 95 is placed at the second position. In this way, when the pallet container 95 is placed at the second position, the door body 916 can be opened to exchange the pallet 8 contained in the pallet container 95 through the second opening 912A. In this case, access to the wafer stage 10 through the pallet container 95 is appropriately regulated by the opening and closing plate 97.

一方、扉体９１６が閉鎖された場合の扉閉鎖信号ＳＡ２（後記の図１３）が扉スイッチ９４Ａから出力された場合には、移動制御部９Ｃ３は、ウェハステージ１０に向いて開口する第１開口部９１１Ａに対応した前記第１位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する。これにより、扉体９１６が閉鎖されている場面では、パレット収容体９５が前記第１位置に配置されることになる。このようにパレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では、開閉板９７によって第１開口部９１１Ａが開放されている。このため、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能である。On the other hand, when a door close signal SA2 (see FIG. 13 below) is output from the door switch 94A when the door body 916 is closed, the movement control unit 9C3 controls the movement mechanism 96 so that the pallet container 95 is positioned at the first position corresponding to the first opening 911A that opens toward the wafer stage 10. As a result, when the door body 916 is closed, the pallet container 95 is positioned at the first position. When the pallet container 95 is positioned at the first position in this manner, the first opening 911A is opened by the opening/closing plate 97. Therefore, pallets 8 can be supplied from the pallet container 95 to the wafer stage 10 through the first opening 911A.

また、移動制御部９Ｃ３は、扉検知機構９４Ｂの検知信号に基づいて、移動機構９６を制御する。扉体９１６が開放されたとの検知結果を示す扉開放検知信号ＳＣ（後記の図１２）が扉検知機構９４Ｂから出力された場合に、移動制御部９Ｃ３は、移動機構９６の駆動モータ９６２の駆動を停止させる。これにより、扉体９１６が開放された状態において、パレット収容体９５が移動されるのを規制することができる。なお、移動制御部９Ｃ３が駆動モータ９６２の駆動を停止させた状態においても、部品実装装置１におけるヘッドユニット４を移動させるための各サーボモータ１４，１８、カメラユニット３２Ｕを移動させるための各サーボモータ３４，３８、及び、突き上げユニット４０を移動させるための各サーボモータ４４，４６の駆動は停止されない。このため、ウェハ供給装置６の駆動モータ９６２の駆動が停止された状態においても、ウェハステージ１０に配置されたパレット８上のウェハ７のダイ７ａを用いた部品実装装置１による実装動作は継続して行われる。 The movement control unit 9C3 also controls the movement mechanism 96 based on the detection signal of the door detection mechanism 94B. When the door open detection signal SC (see FIG. 12 below) indicating the detection result that the door body 916 is open is output from the door detection mechanism 94B, the movement control unit 9C3 stops the drive motor 962 of the movement mechanism 96. This makes it possible to restrict the movement of the pallet container 95 when the door body 916 is open. Even when the movement control unit 9C3 stops the drive of the drive motor 962, the drive of each servo motor 14, 18 for moving the head unit 4 in the component mounting device 1, each servo motor 34, 38 for moving the camera unit 32U, and each servo motor 44, 46 for moving the push-up unit 40 is not stopped. Therefore, even when the drive motor 962 of the wafer supply device 6 is stopped, the mounting operation by the component mounting device 1 using the die 7a of the wafer 7 on the pallet 8 arranged on the wafer stage 10 is continued.

［ウェハ供給装置の基本動作］
次に、図１０～図１３と、図１４のフローチャートを参照しながら、ウェハ供給装置６によるパレット８の供給及び回収の処理を示すパレット供給回収処理について説明する。 [Basic operation of wafer supply device]
Next, a pallet supply and recovery process showing the supply and recovery of the pallet 8 by the wafer supply device 6 will be described with reference to FIGS. 10 to 13 and the flow chart of FIG.

図１０に示されるように、装置本体９１の内部空間９１７内においてパレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では、開閉板９７によって第１開口部９１１Ａが開放されている（ステップＳ１）。この場合、ラッチ制御部９Ｃ２は、ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が許容される。この状態では、コンベア制御部１１Ｃは、ウェハステージ１０に配置された使用済みのパレット８Ｅが第１開口部９１１Ａを通してパレット収容体９５に戻されるように、ウェハコンベア１１を制御する（ステップＳ２）。これにより、ウェハステージ１０に配置された使用済みのパレット８Ｅがパレット収容体９５に回収される。10, when the pallet container 95 is placed in the first position in the internal space 917 of the device body 91, the first opening 911A is opened by the opening/closing plate 97 (step S1). In this case, the latch control unit 9C2 controls the latch opening/closing mechanism 953 so that the latch member 952 takes the movement permitting position. When the latch member 952 takes the movement permitting position, the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 to the first frame plate 911 side is permitted. In this state, the conveyor control unit 11C controls the wafer conveyor 11 so that the used pallet 8E placed on the wafer stage 10 is returned to the pallet container 95 through the first opening 911A (step S2). As a result, the used pallet 8E placed on the wafer stage 10 is collected in the pallet container 95.

使用済みのパレット８Ｅの回収後において、コンベア制御部１１Ｃは、パレット収容体９５からウェハステージ１０上に第１開口部９１１Ａを通して新たなパレット８が引き出されるように、ウェハコンベア１１を制御する（ステップＳ３）。これにより、使用済みのパレット８Ｅに代えて新たなパレット８がウェハステージ１０に供給される。ヘッドユニット４は、ウェハステージ１０に供給された新たなパレット８に保持されるウェハ７からダイ７ａを取出す。After collecting the used pallet 8E, the conveyor control unit 11C controls the wafer conveyor 11 so that a new pallet 8 is pulled out from the pallet container 95 through the first opening 911A onto the wafer stage 10 (step S3). This causes the new pallet 8 to be supplied to the wafer stage 10 in place of the used pallet 8E. The head unit 4 removes the die 7a from the wafer 7 held on the new pallet 8 supplied to the wafer stage 10.

パレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態において、エレベータ制御部９Ｃは、扉スイッチ９４Ａから扉開放要求信号ＳＡ１が出力されたか否かを監視する（ステップＳ４）。図１１に示されるように、扉スイッチ９４Ａから扉開放要求信号ＳＡ１が出力された場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、ラッチ制御部９Ｃ２は、ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が規制される。この状態で、移動制御部９Ｃ３は、扉体９１６が設けられた第２開口部９１２Ａに対応した前記第２位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する（ステップＳ５）。When the pallet container 95 is placed in the first position, the elevator control unit 9C monitors whether or not a door open request signal SA1 is output from the door switch 94A (step S4). As shown in FIG. 11, when the door open request signal SA1 is output from the door switch 94A (YES in step S4), the latch control unit 9C2 controls the latch opening/closing mechanism 953 so that the latch member 952 takes the movement restriction posture. When the latch member 952 takes the movement restriction posture, the movement of the pallet 8 from the magazine rack 951 toward the first frame plate 911 is restricted. In this state, the movement control unit 9C3 controls the movement mechanism 96 so that the pallet container 95 is placed in the second position corresponding to the second opening 912A where the door body 916 is provided (step S5).

エレベータ制御部９Ｃは、収容体検知機構９４Ｄから収容体検知信号ＳＢが出力されたか否かを監視する（ステップＳ６）。図１１に示されるように、収容体検知機構９４Ｄから収容体検知信号ＳＢが出力された場合（ステップＳ６でＹＥＳ）、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態であって、開閉板９７が第１開口部９１１Ａの全体を閉鎖した状態となっている。この状態で、ロック制御部９Ｃ１は、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されるように、扉ロック機構９３を制御する（ステップＳ７）。The elevator control unit 9C monitors whether or not the container detection signal SB is output from the container detection mechanism 94D (step S6). As shown in FIG. 11, when the container detection signal SB is output from the container detection mechanism 94D (YES in step S6), the pallet container 95 is in the second position and the opening/closing plate 97 closes the entire first opening 911A. In this state, the lock control unit 9C1 controls the door lock mechanism 93 so that the door body 916 is released from the closed state maintained by the door lock mechanism 93 (step S7).

扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されると、扉体９１６を開放することができる。エレベータ制御部９Ｃは、扉検知機構９４Ｂから扉開放検知信号ＳＣが出力されたか否かを監視する（ステップＳ８）。図１２に示されるように、扉検知機構９４Ｂから扉開放検知信号ＳＣが出力された場合（ステップＳ８でＹＥＳ）、移動制御部９Ｃ３は、移動機構９６の駆動モータ９６２の駆動を停止させる（ステップＳ９）。これにより、扉体９１６が開放された状態において、パレット収容体９５が移動されるのを規制することができる。扉体９１６が開放された状態では、パレット収容体９５に回収された使用済みのパレット８Ｅを、第２開口部９１２Ａを介して新たなパレット８と交換することが可能である。この場合、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスが開閉板９７によって的確に規制されている。なお、この状態で、ヘッドユニット４は、ウェハステージ１０に供給されたパレット８に保持されるウェハ７からダイ７ａを取出す動作を継続して行う。When the door lock mechanism 93 releases the door body 916 from the closed state, the door body 916 can be opened. The elevator control unit 9C monitors whether the door open detection signal SC is output from the door detection mechanism 94B (step S8). As shown in FIG. 12, when the door open detection signal SC is output from the door detection mechanism 94B (YES in step S8), the movement control unit 9C3 stops the drive motor 962 of the movement mechanism 96 (step S9). This makes it possible to restrict the movement of the pallet container 95 when the door body 916 is open. When the door body 916 is open, the used pallet 8E collected in the pallet container 95 can be replaced with a new pallet 8 through the second opening 912A. In this case, access to the wafer stage 10 through the pallet container 95 is appropriately restricted by the opening and closing plate 97. In this state, the head unit 4 continues the operation of removing the die 7 a from the wafer 7 held on the pallet 8 supplied to the wafer stage 10 .

エレベータ制御部９Ｃは、扉スイッチ９４Ａから扉閉鎖信号ＳＡ２が出力されたか否かを監視する（ステップＳ１０）。図１３に示されるように、扉スイッチ９４Ａから扉閉鎖信号ＳＡ２が出力された場合（ステップＳ１０でＹＥＳ）、移動制御部９Ｃ３は、ウェハステージ１０に向いて開口する第１開口部９１１Ａに対応した前記第１位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する（ステップＳ１１）。これにより、扉体９１６が閉鎖されている場面では、パレット収容体９５が前記第１位置に配置されることになる。このようにパレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では、開閉板９７によって第１開口部９１１Ａが開放されている。このため、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能である。The elevator control unit 9C monitors whether the door close signal SA2 is output from the door switch 94A (step S10). As shown in FIG. 13, when the door close signal SA2 is output from the door switch 94A (YES in step S10), the movement control unit 9C3 controls the movement mechanism 96 so that the pallet container 95 is placed at the first position corresponding to the first opening 911A that opens toward the wafer stage 10 (step S11). As a result, when the door body 916 is closed, the pallet container 95 is placed at the first position. In this way, when the pallet container 95 is placed at the first position, the first opening 911A is opened by the opening and closing plate 97. Therefore, it is possible to supply pallets 8 from the pallet container 95 to the wafer stage 10 through the first opening 911A.

［ウェハ供給装置の変形実施形態について］
以上、本発明の実施形態に係る部品実装装置１に備えられるウェハ供給装置６について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を採用することができる。 [Modifications of the wafer supply device]
The above describes the wafer supply device 6 provided in the component mounting apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to this, and for example, the following modified embodiments can be adopted.

上記の実施形態では、ウェハ収納エレベータ９の装置本体９１において、第１開口部９１１Ａが第２開口部９１２ＡよりもＺ方向において－Ｚ側に形成されている構成について説明したが、これに限定されない。図１５に示されるように、第１開口部９１１Ａが第２開口部９１２ＢよりもＺ方向において＋Ｚ側に形成されていてもよい。この場合、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動方向について、第１開口部９１１Ａに対応した第１位置から第２開口部９１２Ａに対応した第２位置に向かう第１移動方向Ｚ１は、＋Ｚ側から－Ｚ側へ向かう方向となる。一方、第２開口部９１２Ａに対応した第２位置から第１開口部９１１Ａに対応した第１位置に向かう第２移動方向Ｚ２は、－Ｚ側から＋Ｚ側へ向かう方向となる。In the above embodiment, the first opening 911A is formed on the -Z side in the Z direction relative to the second opening 912A in the device body 91 of the wafer storage elevator 9, but the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 15, the first opening 911A may be formed on the +Z side in the Z direction relative to the second opening 912B. In this case, the first movement direction Z1 from the first position corresponding to the first opening 911A to the second position corresponding to the second opening 912A is a direction from the +Z side to the -Z side with respect to the movement direction of the pallet container 95 by the movement mechanism 96. On the other hand, the second movement direction Z2 from the second position corresponding to the second opening 912A to the first position corresponding to the first opening 911A is a direction from the -Z side to the +Z side.

この場合、開閉板９７は、パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側（＋Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部に取付けられる。このような構成では、第１位置よりも第１移動方向Ｚ１の下流側（－Ｚ側）の第２位置にパレット収容体９５が配置された状態においては、当該パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側（＋Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部に取付けられた開閉板９７によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを確実に閉鎖することができる。これにより、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。In this case, the opening/closing plate 97 is attached to the end of the pallet container 95 on the upstream side (+Z side) of the first movement direction Z1 and on the first frame plate 911 side (-Y side). In this configuration, when the pallet container 95 is disposed at a second position that is downstream (-Z side) of the first movement direction Z1 from the first position, the opening/closing plate 97 attached to the end of the pallet container 95 on the upstream side (+Z side) of the first movement direction Z1 and on the first frame plate 911 side (-Y side) can reliably close the first opening 911A formed in the first frame plate 911. This makes it possible to precisely restrict access to the wafer stage 10 through the pallet container 95 when the pallet container 95 is disposed at the second position.

また、上記の実施形態では、パレット収容体９５においてパレット８を収容するための収容本体がマガジンラック９５１のみで構成されている例を示したが、これに限定されない。図１６に示されるように、パレット収容体９５における収容本体がマガジンラック９５１とハウジング９５１Ａとによって構成されていてもよい。ハウジング９５１Ａは、Ｙ方向の両端が開口した箱形の筐体である。ハウジング９５１Ａは、移動機構９６のボールねじ軸９６１に取付けられるとともに、Ｙ方向の＋Ｙ側への移動が可能となるようにマガジンラック９５１を収容する。この場合、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態では、ハウジング９５１Ａに対してマガジンラック９５１を、第２開口部９１２Ａを通して出し入れすることができる。このため、複数のパレット８を収容した状態のマガジンラック９５１の単位で交換することができる。 In the above embodiment, an example in which the storage body for storing the pallets 8 in the pallet storage body 95 is composed of only the magazine rack 951 has been shown, but this is not limited to this. As shown in FIG. 16, the storage body in the pallet storage body 95 may be composed of the magazine rack 951 and the housing 951A. The housing 951A is a box-shaped housing with both ends in the Y direction open. The housing 951A is attached to the ball screw shaft 961 of the moving mechanism 96 and stores the magazine rack 951 so that it can move to the +Y side in the Y direction. In this case, when the pallet storage body 95 is placed in the second position, the magazine rack 951 can be inserted and removed from the housing 951A through the second opening 912A. Therefore, it can be replaced in units of the magazine rack 951 in a state in which multiple pallets 8 are stored.

この場合、開閉板９７は、ハウジング９５１Ａにおける第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部に取付けられる。このような構成では、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態においては、ハウジング９５１Ａにおける第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部に取付けられた開閉板９７によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを確実に閉鎖することができる。これにより、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。In this case, the opening/closing plate 97 is attached to the end of the housing 951A on the upstream side of the first movement direction Z1 and on the first frame plate 911 side. In this configuration, when the pallet container 95 is arranged in the second position, the opening/closing plate 97 attached to the end of the housing 951A on the upstream side of the first movement direction Z1 and on the first frame plate 911 side can reliably close the first opening 911A formed in the first frame plate 911. This makes it possible to precisely restrict access to the wafer stage 10 through the pallet container 95 when the pallet container 95 is arranged in the second position.

なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。The specific embodiments described above primarily include inventions having the following configurations:

本発明の一の局面に係るウェハ供給装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する装置である。このウェハ供給装置は、前記部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部が形成された第１フレーム板と、前記部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部が形成された第２フレーム板とを含み、前記第１フレーム板と前記第２フレーム板との間に前記第１開口部及び前記第２開口部に連通する内部空間を規定する装置本体と、前記ウェハを収容可能に構成され、前記内部空間内に配置されるウェハ収容体と、前記ウェハ収容体と前記部品取出作業位置との間における前記ウェハの前記第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、前記ウェハ収容体に収容された前記ウェハの前記第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間において、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させる移動機構と、前記移動機構による前記ウェハ収容体の移動に連動した移動が可能となるように前記内部空間内に設けられ、前記ウェハ収容体が前記第１位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を開放する一方、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を閉鎖する開閉板と、を備える。A wafer supplying device according to one aspect of the present invention is a device that supplies a wafer divided into a plurality of parts to a predetermined part removal position. The wafer supplying device includes a first frame plate having a first opening that opens toward the part removal position and a second frame plate having a second opening that opens toward the opposite side to the part removal position, and includes a device body that defines an internal space between the first frame plate and the second frame plate that communicates with the first opening and the second opening, a wafer container that is configured to be able to contain the wafer and is disposed within the internal space, a first position at which the movement of the wafer between the wafer container and the part removal position via the first opening is permitted, and a device body that is configured to be able to hold the wafer and is disposed within the internal space. the wafer container further includes a moving mechanism that moves the wafer container in a first movement direction from the first position toward the second position and moves the wafer container in a second movement direction from the second position toward the first position between the first position and a second position where wafer exchange through the second opening is permitted, and an opening/closing plate that is provided within the internal space so as to be able to move in conjunction with the movement of the wafer container by the moving mechanism, and that opens the entire first opening when the wafer container is disposed at the first position, and closes the entire first opening when the wafer container is disposed at the second position.

このウェハ供給装置によれば、装置本体は、部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部と、部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部とを有する。移動機構は、ウェハ収容体と部品取出作業位置との間におけるウェハの第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、ウェハ収容体に収容されたウェハの第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間でウェハ収容体を移動させる。開閉板は、移動機構によるウェハ収容体の移動に連動した移動が可能である。 According to this wafer supply device, the device body has a first opening that opens toward the component removal work position and a second opening that opens toward the opposite side to the component removal work position. The movement mechanism moves the wafer container between a first position where movement of the wafer between the wafer container and the component removal work position via the first opening is permitted, and a second position where exchange of the wafer contained in the wafer container via the second opening is permitted. The opening and closing plate is capable of moving in conjunction with movement of the wafer container by the movement mechanism.

開閉板は、ウェハ収容体が第１位置に配置された状態では第１開口部の全体を開放する。これにより、ウェハ収容体が第１位置に配置された状態において、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通したウェハの供給が可能である。一方、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、開閉板は、第１開口部の全体を閉鎖する。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態においては、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通した連通を、第１開口部の全体に亘って開閉板によって遮断することができる。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能となる。 When the wafer container is in the first position, the opening/closing plate opens the entire first opening. This allows wafers to be supplied from the wafer container to the component removal position through the first opening when the wafer container is in the first position. On the other hand, when the wafer container is in the second position, the opening/closing plate closes the entire first opening. This allows communication from the wafer container to the component removal position through the first opening to be blocked by the opening/closing plate over the entire first opening when the wafer container is in the second position. This makes it possible to precisely restrict access to the component removal position through the wafer container when the wafer container is in the second position.

上記のウェハ供給装置において、前記開閉板は、前記ウェハ収容体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部に取付けられている構成であってもよい。In the above-mentioned wafer supplying device, the opening and closing plate may be configured to be attached to an end portion of the wafer container upstream of the first movement direction and on the side of the first frame plate.

この態様では、開閉板をウェハ収容体に取付けるという簡単な構成で、移動機構によるウェハ収容体の移動に連動した移動が可能な開閉板を実現することができる。しかも、ウェハ収容体において開閉板が取付けられる箇所は、第１位置から第２位置に向かう第１移動方向の上流側であり、且つ、第１開口部が形成された第１フレーム板側の端部である。このため、第１位置よりも第１移動方向の下流側の第２位置にウェハ収容体が配置された状態では、当該ウェハ収容体における第１移動方向の上流側且つ第１フレーム板側の端部に取付けられた開閉板によって、第１フレーム板に形成された第１開口部を確実に閉鎖することができる。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。In this aspect, with a simple configuration in which the opening and closing plate is attached to the wafer container, it is possible to realize an opening and closing plate that can move in conjunction with the movement of the wafer container by the moving mechanism. Moreover, the location of the opening and closing plate in the wafer container is the upstream side of the first movement direction from the first position to the second position, and is the end of the first frame plate side where the first opening is formed. Therefore, when the wafer container is placed at the second position downstream of the first position in the first movement direction, the opening and closing plate attached to the end of the wafer container upstream of the first movement direction and on the first frame plate side can reliably close the first opening formed in the first frame plate. This makes it possible to more accurately restrict access to the component removal operation position through the wafer container when the wafer container is placed at the second position.

上記のウェハ供給装置において、前記第１開口部と前記第２開口部とは、前記第１移動方向及び前記第２移動方向と直交する方向から見る視点において重ならないように形成されている構成であってもよい。In the above-mentioned wafer supplying device, the first opening and the second opening may be configured so as not to overlap when viewed from a direction perpendicular to the first movement direction and the second movement direction.

この態様では、ウェハ収容体が第２開口部に対応した第２位置に配置された状態においては、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通した連通を、第１開口部の全体に亘って開閉板によってより確実に遮断することができる。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。In this embodiment, when the wafer container is disposed at the second position corresponding to the second opening, the opening and closing plate can more reliably block communication from the wafer container to the component removal position through the first opening over the entire first opening. Therefore, when the wafer container is disposed at the second position, it is possible to more accurately restrict access to the component removal position through the wafer container.

上記のウェハ供給装置において、前記ウェハ収容体は、前記内部空間内において前記第１フレーム板との間に所定の間隙が形成されるように配置され、前記ウェハを収容するための収容本体と、前記収容本体に対して前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出して設けられ、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を規制する移動規制姿勢と当該移動を許容する移動許容姿勢との間の姿勢変更が可能なウェハ移動制御部材と、を含む構成であってもよい。この場合、前記開閉板は、前記収容本体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部から前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出する突出部と、前記第１開口部の全体を開放又は閉鎖することが可能となるように、前記突出部から延びる延出部と、を含む。In the above-mentioned wafer supply device, the wafer container may include a container body for accommodating the wafer, the container body being arranged so as to form a predetermined gap between the container body and the first frame plate in the internal space, and a wafer movement control member that is provided so as to protrude toward the first frame plate within the range of the gap relative to the container body and is capable of changing its position between a movement restricting position that restricts the movement of the wafer from the container body toward the first frame plate and a movement allowing position that allows the movement. In this case, the opening and closing plate includes a protruding portion that protrudes toward the first frame plate within the range of the gap from an end of the container body upstream of the first movement direction and on the first frame plate side, and an extending portion that extends from the protruding portion so as to be able to open or close the entire first opening.

この態様では、ウェハ収容体の収容本体と第１フレーム板との間に形成される間隙を利用してウェハ移動制御部材が設けられる。このウェハ移動制御部材が移動許容姿勢を取った状態では、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への移動が許容される。この場合、収容本体から部品取出作業位置への第１開口部を通したウェハの供給が可能となる。一方、ウェハ移動制御部材が移動規制姿勢を取った状態では、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への移動が規制される。この場合、例えば、移動機構によるウェハ収容体の移動時やウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への飛び出しの規制が可能となる。In this embodiment, a wafer movement control member is provided by utilizing the gap formed between the wafer container's container body and the first frame plate. When this wafer movement control member is in a movement-permitting position, movement of the wafer from the container body toward the first frame plate is permitted. In this case, it is possible to supply the wafer from the container body to the component removal position through the first opening. On the other hand, when the wafer movement control member is in a movement-restricting position, movement of the wafer from the container body toward the first frame plate is restricted. In this case, for example, when the wafer container is moved by the movement mechanism or when the wafer container is disposed in the second position, it is possible to restrict the wafer from protruding from the container body toward the first frame plate.

ウェハ収容体がウェハ移動制御部材を含んで構成される場合には、上記のように収容本体と第１フレーム板との間に間隙が形成された状態となる。この間隙は収容本体と第１フレーム板との間に形成されているので、第１フレーム板に形成された第１開口部と間隙とは、連通している。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態においては、収容本体と部品取出作業位置とは、間隙及び第１開口部を通して連通状態となる。この場合、収容本体を通した部品取出作業位置へのアクセスを規制するためには、収容本体から部品取出作業位置への間隙及び第１開口部を通した連通を遮断する必要がある。When the wafer container is configured to include a wafer movement control member, a gap is formed between the container body and the first frame plate as described above. Since this gap is formed between the container body and the first frame plate, the gap is in communication with the first opening formed in the first frame plate. Therefore, when the wafer container is disposed in the second position, the container body and the component removal operation position are in communication with each other through the gap and the first opening. In this case, in order to restrict access to the component removal operation position through the container body, it is necessary to block communication from the container body to the component removal operation position through the gap and the first opening.

そこで、開閉板を突出部と延出部とを含んだ構成とする。開閉板の突出部は、収容本体における第１移動方向の上流側且つ第１フレーム板側の端部から間隙の範囲内で第１フレーム板側に突出する。これにより、第１位置よりも第１移動方向の下流側の第２位置にウェハ収容体が配置された状態では、収容本体における第１移動方向の上流側且つ第１フレーム板側の端部から間隙の範囲内で第１フレーム板側に突出する突出部によって、間隙と第１開口部との連通を遮断することができる。しかも、開閉板の延出部は、第１開口部の全体を開放又は閉鎖することが可能となるように突出部から延びる。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、延出部によって第１開口部を閉鎖することができる。つまり、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、収容本体と第１フレーム板との間の間隙と第１開口部との連通を突出部によって遮断するとともに、延出部によって第１開口部を閉鎖する。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、収容本体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能となる。Therefore, the opening and closing plate is configured to include a protruding portion and an extending portion. The protruding portion of the opening and closing plate protrudes from the end of the container body on the upstream side of the first movement direction and on the first frame plate side to the first frame plate side within the range of the gap. As a result, when the wafer container is disposed at a second position downstream of the first position in the first movement direction, the communication between the gap and the first opening can be blocked by the protruding portion that protrudes from the end of the container body on the upstream side of the first movement direction and on the first frame plate side to the first frame plate side within the range of the gap. Moreover, the extending portion of the opening and closing plate extends from the protruding portion so as to be able to open or close the entire first opening. As a result, when the wafer container is disposed at the second position, the extending portion can close the first opening. In other words, when the wafer container is disposed at the second position, the protruding portion blocks the communication between the gap between the container body and the first frame plate and the first opening, and the extending portion closes the first opening. This makes it possible to precisely restrict access to the component removal position through the wafer container body when the wafer container is placed at the second position.

上記のウェハ供給装置において、前記開閉板は、前記突出部と前記延出部とが一体の、断面形状がＬ型の部材から構成されている。In the above-mentioned wafer supplying device, the opening and closing plate is composed of a member having an L-shaped cross-sectional shape in which the protrusion and the extension are integral.

この態様では、断面形状がＬ型の部材を用いることによって、突出部と延出部とが一体の開閉板を簡単に構成することができる。In this embodiment, by using a member with an L-shaped cross-sectional shape, an opening and closing plate having an integrated protrusion and extension can be easily constructed.

上記のウェハ供給装置は、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を検知する機構であって、前記間隙の範囲内で前記第１移動方向及び前記第２移動方向に延びる光路上に互いに対向配置される発光部及び受光部により構成されるウェハ検知機構を、更に備える構成であってもよい。この場合、前記開閉板の前記突出部は、前記光路を開放することで前記発光部から前記受光部への光の通過を許容する光通過孔を有している。The wafer supply device may further include a wafer detection mechanism that detects the movement of the wafer from the storage body toward the first frame plate and is composed of a light emitting unit and a light receiving unit that are arranged opposite each other on an optical path extending in the first and second moving directions within the gap. In this case, the protrusion of the opening/closing plate has a light passing hole that allows the passage of light from the light emitting unit to the light receiving unit by opening the optical path.

この態様では、ウェハ検知機構の検知結果に基づいて、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への飛び出し状況などを検出することができる。この場合、開閉板において収容本体と第１フレーム板との間の間隙の範囲内で突出している突出部には、ウェハ検知機構の光路を開放する光通過孔が形成されている。これにより、開閉板がウェハ検知機構によるウェハの検知の邪魔となることを回避することができる。In this embodiment, the protrusion of the wafer from the storage body toward the first frame plate can be detected based on the detection results of the wafer detection mechanism. In this case, a light passing hole that opens the light path of the wafer detection mechanism is formed in the protruding portion of the opening and closing plate that protrudes within the gap between the storage body and the first frame plate. This makes it possible to prevent the opening and closing plate from interfering with the detection of the wafer by the wafer detection mechanism.

上記のウェハ供給装置において、前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含む構成であってもよい。この場合、前記ウェハ供給装置は、前記扉体の開放を要求する操作を受付けた場合には扉開放要求信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備える。そして、前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉開放要求信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第２位置に向けて移動して当該第２位置に配置されるように、前記移動機構を制御する。In the above-mentioned wafer supply device, the device body may be configured to include a door body for opening and closing the second opening. In this case, the wafer supply device further includes a door switch that outputs a door open request signal when an operation requesting opening of the door body is received, and a movement control unit that controls the movement mechanism based on the signal output from the door switch. When the door open request signal is output from the door switch, the movement control unit controls the movement mechanism so that the wafer container moves toward the second position and is placed at the second position.

この態様では、移動制御部は、装置本体の扉体における第２開口部の開閉に関する扉スイッチの出力信号に基づいて、移動機構を制御する。扉体の開放を要求する操作を受付けた場合の扉開放要求信号が扉スイッチから出力された場合には、移動制御部は、扉体が設けられた第２開口部に対応した第２位置にウェハ収容体が配置されるように、移動機構を制御する。これにより、扉スイッチの操作後に扉体が開放される場面では、ウェハ収容体が第２位置に配置されることになる。このようにウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、扉体を開放することにより、ウェハ収容体に収容されたウェハの第２開口部を介した交換が可能である。この場合、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスが開閉板によって的確に規制されている。In this aspect, the movement control unit controls the movement mechanism based on an output signal of a door switch related to opening and closing of a second opening in a door body of the device main body. When a door open request signal is output from the door switch upon receiving an operation requesting opening of the door body, the movement control unit controls the movement mechanism so that the wafer container is placed in a second position corresponding to the second opening where the door body is provided. As a result, when the door body is opened after the door switch is operated, the wafer container is placed in the second position. In this manner, when the wafer container is placed in the second position, the wafers contained in the wafer container can be replaced through the second opening by opening the door body. In this case, access to the part removal operation position through the wafer container is appropriately regulated by the opening and closing plate.

上記のウェハ供給装置において、前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含む構成であってもよい。この場合、前記ウェハ供給装置は、前記扉体が閉鎖された場合には扉閉鎖信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備える。そして、前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉閉鎖信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第１位置に向けて移動して当該第１位置に配置されるように、前記移動機構を制御する。In the above-mentioned wafer supplying device, the device body may be configured to include a door body for opening and closing the second opening. In this case, the wafer supplying device further includes a door switch that outputs a door close signal when the door body is closed, and a movement control unit that controls the movement mechanism based on the signal output from the door switch. Then, when the door close signal is output from the door switch, the movement control unit controls the movement mechanism so that the wafer container moves toward the first position and is placed at the first position.

この態様では、扉体が閉鎖された場合の扉閉鎖信号が扉スイッチから出力された場合には、移動制御部は、部品取出作業位置に向いて開口する第１開口部に対応した第１位置にウェハ収容体が配置されるように、移動機構を制御する。これにより、扉体が閉鎖されている場面では、ウェハ収容体が第１位置に配置されることになる。このようにウェハ収容体が第１位置に配置された状態では、開閉板によって第１開口部が開放されている。このため、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通したウェハの供給が可能である。In this embodiment, when a door close signal is output from the door switch when the door body is closed, the movement control unit controls the movement mechanism so that the wafer container is positioned at a first position corresponding to the first opening that opens toward the component removal work position. As a result, when the door body is closed, the wafer container is positioned at the first position. When the wafer container is positioned at the first position in this manner, the first opening is opened by the opening/closing plate. Therefore, wafers can be supplied from the wafer container to the component removal work position through the first opening.

上記のウェハ供給装置は、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置されていることを検知した場合に収容体検知信号を出力する収容体検知機構と、前記扉体が前記第２開口部を閉鎖した状態を維持する扉ロック機構と、前記収容体検知機構から前記収容体検知信号が出力された場合、前記扉ロック機構による前記扉体の閉鎖状態の維持が解除されるように、前記扉ロック機構を制御するロック制御部と、を更に備える構成であってもよい。The wafer supply device may further include a container detection mechanism that outputs a container detection signal when it detects that the wafer container is placed at the second position, a door lock mechanism that maintains the door body in a state where the second opening is closed, and a lock control unit that controls the door lock mechanism so that the door lock mechanism releases the closed state of the door body when the container detection signal is output from the container detection mechanism.

この態様では、ウェハ収容体が第２位置に配置されているとの検知結果を示す収容体検知信号が収容体検知機構から出力された場合に、ロック制御部は、ロック機構による扉体の閉鎖を維持するロック状態が解除されるように、ロック機構を制御する。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置されている場合に限り、扉体の閉鎖状態の維持が解除される。つまり、ウェハ収容体が第２位置に配置されることに応じて開閉板が第１開口部の全体を閉鎖した状態において、扉体の閉鎖状態の維持が解除される。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態であって、且つ、第１開口部が開閉板によって閉鎖された状態である場合に限り、扉体を開放することができる。 In this aspect, when a container detection signal indicating a detection result that the wafer container is placed at the second position is output from the container detection mechanism, the lock control unit controls the lock mechanism to release the locked state that keeps the door closed by the lock mechanism. As a result, the door is released from the closed state only when the wafer container is placed at the second position. In other words, the door is released from the closed state when the opening/closing plate closes the entire first opening in response to the wafer container being placed at the second position. Therefore, the door can be opened only when the wafer container is placed at the second position and the first opening is closed by the opening/closing plate.

上記のウェハ供給装置は、前記扉体が開放されたことを検知した場合に扉開放検知信号を出力する扉検知機構を更に備える構成であってもよい。そして、前記移動機構は、前記ウェハ収容体を移動させるための駆動力を発する駆動モータを含み、前記移動制御部は、前記扉検知機構から前記扉開放検知信号が出力された場合、前記駆動モータの駆動を停止させる。The wafer supply device may further include a door detection mechanism that outputs a door open detection signal when it detects that the door body is open. The movement mechanism includes a drive motor that generates a driving force for moving the wafer container, and the movement control unit stops driving the drive motor when the door open detection signal is output from the door detection mechanism.

この態様では、扉体が開放されたとの検知結果を示す扉開放検知信号が扉検知機構から出力された場合に、移動制御部は、移動機構の駆動モータの駆動を停止させる。これにより、扉体が開放された状態において、ウェハ収容体が移動されるのを規制することができる。In this embodiment, when a door open detection signal indicating that the door has been opened is output from the door detection mechanism, the movement control unit stops driving the drive motor of the movement mechanism. This makes it possible to restrict the movement of the wafer container when the door is open.

本発明の他の局面に係る部品移載装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する、上記のウェハ供給装置と、前記部品取出作業位置に供給された前記ウェハから前記部品を取出して所定の部品移載部に移載する部品移載ユニットと、を備える。A component transfer device according to another aspect of the present invention comprises the above-mentioned wafer supply device which supplies a wafer divided into a plurality of components to a predetermined component removal work position, and a component transfer unit which removes the components from the wafer supplied to the component removal work position and transfers them to a predetermined component transfer section.

以上説明した通り、本発明によれば、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能なウェハ供給装置、及びそれを備えた部品移載装置を提供することができる。As described above, the present invention makes it possible to provide a wafer supply device capable of accurately regulating access to a component removal operation position through a wafer container, and a component transfer device equipped with the same.

Claims (11)

複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給するウェハ供給装置であって、
前記部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部が形成された第１フレーム板と、前記部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部が形成された第２フレーム板とを含み、前記第１フレーム板と前記第２フレーム板との間に前記第１開口部及び前記第２開口部に連通する内部空間を規定する装置本体と、
前記ウェハを収容可能に構成され、前記内部空間内に配置されるウェハ収容体と、
前記ウェハ収容体と前記部品取出作業位置との間における前記ウェハの前記第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、前記ウェハ収容体に収容された前記ウェハの前記第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間において、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させる移動機構と、
前記移動機構による前記ウェハ収容体の移動に連動した移動が可能となるように前記内部空間内に設けられ、前記ウェハ収容体が前記第１位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を開放する一方、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を閉鎖する開閉板と、を備えるウェハ供給装置。 A wafer supplying device that supplies a wafer divided into a plurality of parts to a predetermined part removal position,
an apparatus main body including a first frame plate having a first opening that opens toward the component removal position and a second frame plate having a second opening that opens toward a side opposite to the component removal position, the apparatus main body defining an internal space between the first frame plate and the second frame plate, the internal space communicating with the first opening and the second opening;
a wafer container configured to be able to contain the wafer and disposed within the internal space;
a movement mechanism for moving the wafer container in a first movement direction from the first position to the second position between the wafer container and the component removal operation position, the first movement direction being set to a first position at which the movement of the wafer is permitted via the first opening, and a second movement direction being set to a second position between the wafer container and the component removal operation position, the second movement direction being set to a second position at which the wafer contained in the wafer container is permitted to be replaced via the second opening;
an opening/closing plate that is provided in the internal space so as to be movable in conjunction with movement of the wafer container by the moving mechanism, the opening/closing plate opening the entire first opening when the wafer container is disposed at the first position, and closing the entire first opening when the wafer container is disposed at the second position. 前記開閉板は、前記ウェハ収容体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部に取付けられている、請求項１に記載のウェハ供給装置。 The wafer supply device of claim 1, wherein the opening and closing plate is attached to an end of the wafer container upstream of the first movement direction and on the first frame plate side. 前記第１開口部と前記第２開口部とは、前記第１移動方向及び前記第２移動方向と直交する方向から見る視点において重ならないように形成されている、請求項２に記載のウェハ供給装置。The wafer supply device of claim 2, wherein the first opening and the second opening are formed so as not to overlap when viewed from a direction perpendicular to the first movement direction and the second movement direction. 前記ウェハ収容体は、
前記内部空間内において前記第１フレーム板との間に所定の間隙が形成されるように配置され、前記ウェハを収容するための収容本体と、
前記収容本体に対して前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出して設けられ、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を規制する移動規制姿勢と当該移動を許容する移動許容姿勢との間の姿勢変更が可能なウェハ移動制御部材と、を含み、
前記開閉板は、
前記収容本体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部から前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出する突出部と、
前記第１開口部の全体を開放又は閉鎖することが可能となるように、前記突出部から延びる延出部と、を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。 The wafer container is
a container body for accommodating the wafer, the container body being disposed in the internal space such that a predetermined gap is formed between the container body and the first frame plate;
a wafer movement control member that is provided on the storage body within the range of the gap and protrudes toward the first frame plate, and that is capable of changing its position between a movement restricting position that restricts movement of the wafer from the storage body toward the first frame plate and a movement allowing position that allows the movement,
The opening and closing plate is
a protruding portion protruding toward the first frame plate within the gap from an end portion of the housing body on the upstream side in the first movement direction and on the first frame plate side;
4. The wafer supply device according to claim 1, further comprising: an extension extending from the protrusion so as to be able to open or close the entire first opening. 前記開閉板は、前記突出部と前記延出部とが一体の、断面形状がＬ型の部材から構成されている、請求項４に記載のウェハ供給装置。 The wafer supply device of claim 4, wherein the opening and closing plate is composed of a member having an L-shaped cross-sectional shape in which the protrusion and the extension are integral. 前記ウェハ供給装置は、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を検知する機構であって、前記間隙の範囲内で前記第１移動方向及び前記第２移動方向に延びる光路上に互いに対向配置される発光部及び受光部により構成されるウェハ検知機構を、更に備え、
前記開閉板の前記突出部は、前記光路を開放することで前記発光部から前記受光部への光の通過を許容する光通過孔を有している、請求項４又は５に記載のウェハ供給装置。 The wafer supply device further includes a wafer detection mechanism that detects movement of the wafer from the storage body toward the first frame plate, the wafer detection mechanism being configured with a light emitting unit and a light receiving unit that are disposed opposite each other on an optical path that extends in the first movement direction and the second movement direction within the gap,
6. The wafer supplying device according to claim 4, wherein the protruding portion of the opening and closing plate has a light passing hole that allows the light to pass from the light emitter to the light receiver by opening the light path. 前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含み、
前記ウェハ供給装置は、前記扉体の開放を要求する操作を受付けた場合には扉開放要求信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備え、
前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉開放要求信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第２位置に向けて移動して当該第２位置に配置されるように、前記移動機構を制御する、請求項１～６のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。 the device body includes a door for opening and closing the second opening,
the wafer supply device further includes a door switch that outputs a door open request signal when an operation requesting opening of the door body is received, and a movement control unit that controls the movement mechanism based on the signal output from the door switch;
7. The wafer supply device according to claim 1, wherein the movement control unit controls the movement mechanism so that the wafer container moves toward the second position and is placed at the second position when the door open request signal is output from the door switch. 前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含み、
前記ウェハ供給装置は、前記扉体が閉鎖された場合には扉閉鎖信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備え、
前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉閉鎖信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第１位置に向けて移動して当該第１位置に配置されるように、前記移動機構を制御する、請求項１～７のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。 the device body includes a door for opening and closing the second opening,
the wafer supply device further includes a door switch that outputs a door close signal when the door body is closed, and a movement control unit that controls the movement mechanism based on the signal output from the door switch;
8. The wafer supply device according to claim 1, wherein the movement control unit controls the movement mechanism so that, when the door close signal is output from the door switch, the wafer container moves toward the first position and is placed at the first position. 前記ウェハ供給装置は、
前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置されていることを検知した場合に収容体検知信号を出力する収容体検知機構と、
前記扉体が前記第２開口部を閉鎖した状態を維持する扉ロック機構と、
前記収容体検知機構から前記収容体検知信号が出力された場合、前記扉ロック機構による前記扉体の閉鎖状態の維持が解除されるように、前記扉ロック機構を制御するロック制御部と、を更に備える、請求項７又は８に記載のウェハ供給装置。 The wafer supply device includes:
a wafer container detection mechanism that outputs a wafer container detection signal when it detects that the wafer container is placed at the second position;
a door lock mechanism that keeps the door body in a state where the second opening is closed; and
9. The wafer supplying apparatus of claim 7, further comprising: a lock control unit that controls the door lock mechanism so that, when the container detection signal is output from the container detection mechanism, the door lock mechanism releases the closed state of the door body. 前記ウェハ供給装置は、前記扉体が開放されたことを検知した場合に扉開放検知信号を出力する扉検知機構を更に備え、
前記移動機構は、前記ウェハ収容体を移動させるための駆動力を発する駆動モータを含み、
前記移動制御部は、前記扉検知機構から前記扉開放検知信号が出力された場合、前記駆動モータの駆動を停止させる、請求項７～９のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。 the wafer supply device further includes a door detection mechanism that outputs a door open detection signal when it detects that the door body is opened;
the moving mechanism includes a drive motor that generates a driving force for moving the wafer container;
10. The wafer supplying device according to claim 7, wherein the movement control section stops driving the drive motor when the door opening detection signal is output from the door detection mechanism. 複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する、請求項１～１０のいずれか１項に記載のウェハ供給装置と、
前記部品取出作業位置に供給された前記ウェハから前記部品を取出して所定の部品移載部に移載する部品移載ユニットと、を備える部品移載装置。 A wafer supplying device according to any one of claims 1 to 10, which supplies a wafer divided into a plurality of parts to a predetermined part removal position;
a component transfer unit that removes the component from the wafer supplied to the component removal operation position and transfers the component to a predetermined component transfer section.
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