JP7544282B2 - 天井搬送車 - Google Patents
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Description
第一実施形態に係る天井搬送車1について説明する。図1に示される天井搬送車1は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レールRに沿って走行する。天井搬送車1は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で被搬送物90を搬送する。被搬送物90の例には、複数の半導体ウェハを格納するFOUP(Front Opening Unified Pod)及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。上記の容器は、天井搬送車1に保持されるフランジ98を有している。
以下、主に図1、図7~図11を用いて、第二実施形態に係る天井搬送車1Aについて説明する。なお、第二実施形態に係る天井搬送車1Aでは、防振ユニット120の構成が第一実施形態に係る天井搬送車1の防振ユニット20の構成と異なっている。ここでは、互いに構成が異なる、防振ユニット120について詳細に説明し、その他の構成については説明を省略する。防振ユニット120は、一対の支持部121,121と、ベース部123と、一対のダンパー130,130と、を備えている。
Claims (6)
- 本体フレームと、前記本体フレームの下部に設けられ、被搬送物を保持する保持部を昇降させる昇降部と、を有する本体部が、走行部に懸垂支持される天井搬送車であって、
前記走行部に懸垂されるベース部と、
前記ベース部と一体的に設けられると共に水平方向に延在する水平軸と、
前記本体フレームに設けられると共にゴムブッシュを介して前記水平軸を支持する一対の支持部と、を備え、
前記本体部は、鉛直方向において前記走行部と前記本体フレームとの間に配置される前記ベース部と、前記本体フレームの上面に設けられる前記一対の支持部と、を介して前記走行部に懸垂支持されている、天井搬送車。 - 前記水平軸は、前記走行部の走行方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に延在するように配置されている、請求項1記載の天井搬送車。
- 前記水平軸は、前記水平軸の延在方向と鉛直方向との両方に直交する方向に沿って複数配列されており、
前記水平軸は、前記ベース部及び前記一対の支持部に対して回動不能に支持されている、請求項1又は2記載の天井搬送車。 - 前記水平軸は、一つだけ設けられており、
前記走行部の走行方向において、前記水平軸を挟むように前記ベース部に設けられると共に、前記本体フレームの上面に接触するように構成される一対のダンパーを更に備える、請求項1又は2記載の天井搬送車。 - 前記ベース部は、前記走行部から鉛直方向下方に向かって延在する一対の懸垂部材を介して前記走行部に懸垂されており、
前記ベース部は、前記懸垂部材の延在方向を回動軸とする軸周りに回動可能に前記懸垂部材を支持する、請求項1~4の何れか一項記載の天井搬送車。 - 前記一対の支持部のそれぞれに設けられる前記ゴムブッシュは、互いに硬度が異なる材料によって形成されている、請求項1~5の何れか一項記載の天井搬送車。
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