JP7513588B2 - 受光装置および測距装置 - Google Patents
受光装置および測距装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7513588B2 JP7513588B2 JP2021504060A JP2021504060A JP7513588B2 JP 7513588 B2 JP7513588 B2 JP 7513588B2 JP 2021504060 A JP2021504060 A JP 2021504060A JP 2021504060 A JP2021504060 A JP 2021504060A JP 7513588 B2 JP7513588 B2 JP 7513588B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- receiving element
- current
- light
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 54
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 45
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 86
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 81
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 55
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 36
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 28
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 14
- 238000002674 endoscopic surgery Methods 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 4
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 4
- 238000001356 surgical procedure Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 3
- 238000010336 energy treatment Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- ALKZAGKDWUSJED-UHFFFAOYSA-N dinuclear copper ion Chemical compound [Cu].[Cu] ALKZAGKDWUSJED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- MOFVSTNWEDAEEK-UHFFFAOYSA-M indocyanine green Chemical compound [Na+].[O-]S(=O)(=O)CCCCN1C2=CC=C3C=CC=CC3=C2C(C)(C)C1=CC=CC=CC=CC1=[N+](CCCCS([O-])(=O)=O)C2=CC=C(C=CC=C3)C3=C2C1(C)C MOFVSTNWEDAEEK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229960004657 indocyanine green Drugs 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 102100036285 25-hydroxyvitamin D-1 alpha hydroxylase, mitochondrial Human genes 0.000 description 1
- 101000875403 Homo sapiens 25-hydroxyvitamin D-1 alpha hydroxylase, mitochondrial Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 210000000936 intestine Anatomy 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002406 microsurgery Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000008855 peristalsis Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 210000004761 scalp Anatomy 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/02016—Circuit arrangements of general character for the devices
- H01L31/02019—Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02027—Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for devices working in avalanche mode
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4868—Controlling received signal intensity or exposure of sensor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
- G01S17/10—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of interrupted, pulse-modulated waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4816—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4861—Circuits for detection, sampling, integration or read-out
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4865—Time delay measurement, e.g. time-of-flight measurement, time of arrival measurement or determining the exact position of a peak
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/487—Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
- H04N25/772—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters
- H04N25/773—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters comprising photon counting circuits, e.g. single photon detection [SPD] or single photon avalanche diodes [SPAD]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4861—Circuits for detection, sampling, integration or read-out
- G01S7/4863—Detector arrays, e.g. charge-transfer gates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
本開示は、光子の検出を行う技術に用いて好適なものである。本開示の各実施形態の説明に先んじて、理解を容易とするために、各実施形態に適用可能な技術の一つとして、光子の検出により測距を行う技術について説明する。この場合の測距方式として、直接ToF(Time Of Flight)方式を適用する。直接ToF方式は、光源から射出された光が被測定物により反射した反射光を受光素子により受光し、光の射出タイミングと受光タイミングとの差分の時間に基づき測距を行う方式である。
D=(c/2)×(t1-t0) …(1)
次に、本開示に係る技術の説明に先んじて、理解を容易とするために、既存技術による受光素子1000の制御の例について説明する。図7は、SPADとしての受光素子1000の動作を概略的に示す図である。図7の上段のチャート40は、特性線400により受光素子1000におけるカソード-アノード間の電圧VCTH-ANの変化の例を示し、縦軸が電圧[V]、横軸が時間を示している。
次に、本開示の第1の実施形態について説明する。第1の実施形態では、受光素子1000から出力される信号Vplsに基づくインバータ1002の出力の反転に応じて、受光素子1000のカソードに、過剰バイアス電圧Veに対応する電源電圧VDDを印加し、カソードの電圧を強制的に電圧VDDに引き上げる。それと共に、リチャージ電流の電流値を、既存技術で用いるリチャージ電流の電流値に対して小さい電流値とし、カソードの電圧の電源電圧VDDへの復帰を緩やかにする。これにより、リチャージ動作に要する時間を延長せずに、ポテンシャルの撓み部分に溜まった電子をより確実に排出可能となる。
次に、本開示の第1の実施形態の第1の変形例について説明する。図11は、第1の実施形態の第1の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図11において、画素10bは、上述した図9の構成に対して、電流源としてのトランジスタ1001の代わりに抵抗素子1003を用いた例である。それ以外の部分は、上述した図9の構成と同様であるので、ここでの詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態の第2の変形例について説明する。図12は、第1の実施形態の第2の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図12において、画素10cは、図9に示した画素10aに対して、処理回路1030が追加されている。それ以外の部分は、上述した図9の構成と同様であるので、ここでの詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態の第3の変形例について説明する。図13は、第1の実施形態の第3の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図13において、画素10dは、図9に示した画素10aに対して、処理回路1031と、セレクタ1032と、が追加されている。それ以外の部分は、上述した図9の構成と同様であるので、ここでの詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態の第4の変形例について説明する。図15は、第1の実施形態の第4の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図15において、画素10eは、図9に示した画素10aに対して、トランジスタ1010と、受光素子1000のカソードと、間に、PチャネルのMOSトランジスタであるトランジスタ1022が挿入されている。それ以外の部分は、上述した図9の構成と同様であるので、ここでの詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態の第5の変形例について説明する。図16は、第1の実施形態の第5の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図16において、画素10fは、図9に示した画素10aに対して、電流源となるトランジスタ1001’から供給される電流を可変とする構成の例である。それ以外の部分は、上述した図9の構成と同様であるので、ここでの詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態の第6の変形例について説明する。図17は、第1の実施形態の第6の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図17において、画素10gは、図9に示した画素10aに対して、電流源となるトランジスタ1001と、受光素子1000のカソードの電圧Vcaを電源電圧VDDに引き上げるためのトランジスタ1010と、がそれぞれ異なる電源に接続される例である。それ以外の部分は、上述した図9の構成と同様であるので、ここでの詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態の第7の変形例について説明する。図18は、第1の実施形態の第7の変形例に係る画素の一例の構成を示す図である。図18において、画素10hは、図9に示した画素10aに対して、受光素子1000が電源側に接続される例である。
次に、第1の実施形態の第8の変形例について説明する。第1の実施形態の第8の変形例は、本開示の技術に係る構成を、図6を用いて説明した、2つの半導体チップを積層して構成する積層構造に適用した例である。ここでは、一例として、図9を用いて説明した第1の実施形態に係る画素10aを積層構造に適用させた例について説明する。
次に、第2の実施形態として、本開示に係る、第1の実施形態およびその各変形例による画素10a~10hの何れかを用いた電子機器6の適用例について説明する。図21は、上述の第1の実施形態およびその各変形例に係る画素10a~10hの何れかを用いた電子機器6を使用する使用例を示す図である。
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置。
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置。
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置。
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置。
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置。
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置。
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ適用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
図22は、本開示に係る技術(本技術)が適用され得る、カプセル型内視鏡を用いた患者の体内情報取得システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。
本開示に係る技術は、さらに、内視鏡手術システムに適用されてもよい。図23は、本開示に係る技術(本技術)が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
本開示に係る技術は、さらに、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボットといった各種の移動体に搭載される装置に対して適用されてもよい。
(1)
バイアス電圧に基づき所定の電位に充電された状態で入射された光子に応じてアバランシェ増倍が発生して電流が流れ、リチャージ電流により該状態に戻る受光素子と、
前記電流を検出し、該電流の電流値が閾値を跨いだ場合に出力信号を反転させる検出部と、
前記受光素子に前記リチャージ電流を供給する電流源と、
前記検出部の前記出力信号に応じて前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御するスイッチ部と、
を備える受光装置。
(2)
前記スイッチ部は、
前記受光素子に前記バイアス電圧を供給した場合に、前記受光素子が前記アバランシェ増倍を維持可能な所定の保持電流より電流値の小さい電流を前記受光素子に供給する
前記(1)に記載の受光装置。
(3)
前記電流源は、
電流値が前記保持電流より電流値の小さい前記リチャージ電流を前記受光素子に供給し、
前記スイッチ部は、
前記受光素子に前記バイアス電圧を供給した場合に、前記保持電流より電流値の小さい電流を前記受光素子に供給する
前記(2)に記載の受光装置。
(4)
前記電流源は、
前記検出部の前記出力信号が前記受光素子による前記アバランシェ増倍の発生に応じて反転してから、前記リチャージ電流の供給に応じてさらに反転するまでの時間が、前記受光素子における前記アバランシェ増倍の発生により流れる電流に応じた内部発光により蓄積された電荷を排出する時間以上となる電流値の前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
前記(1)乃至(3)の何れかに記載の受光装置。
(5)
前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が該出力信号の論理を変えない回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
前記(1)乃至(4)の何れかに記載の受光装置。
(6)
前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が、それぞれ該出力信号の論理を変えない複数の回路のうち選択された回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
前記(1)乃至(5)の何れかに記載の受光装置。
(7)
前記スイッチ部による前記受光素子への前記バイアス電圧の供給の制御を有効および無効の何れか一方に設定する設定部をさらに備える
前記(1)乃至(6)の何れかに記載の受光装置。
(8)
前記電流源は、
電流値を可変で前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
前記(1)乃至(7)の何れかに記載の受光装置。
(9)
前記電流源と、前記スイッチ部における前記バイアス電圧の供給源と、が異なる電源に接続される
前記(1)乃至(8)の何れかに記載の受光装置。
(10)
第1の基板と、該第1の基板が積層される第2の基板と、を含み、
少なくとも前記受光素子が前記第1の基板に配置され、
前記検出部、前記電流源および前記スイッチ部のうち少なくとも一部が前記第2の基板に配置される
前記(1)乃至(9)の何れかに記載の受光装置。
(11)
バイアス電圧に基づき所定の電位に充電された状態で入射された光子に応じてアバランシェ増倍が発生して電流が流れ、リチャージ電流により該状態に戻る受光素子と、
前記電流を検出し、該電流の電流値が閾値を跨いだ場合に出力信号を反転させる検出部と、
前記受光素子に前記リチャージ電流を供給する電流源と、
前記検出部の前記出力信号に応じて前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御するスイッチ部と、
光源が発光した発光タイミングから、前記受光素子が受光した受光タイミングまで、の時間を計測して計測値を取得する時間計測部と、
前記計測値のヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムに基づき被測定物までの距離を演算する演算部と、
を備える測距装置。
(12)
前記スイッチ部は、
前記受光素子に前記バイアス電圧を供給した場合に、前記受光素子が前記アバランシェ増倍を維持可能な所定の保持電流より電流値の小さい電流を前記受光素子に供給する
前記(11)に記載の測距装置。
(13)
前記電流源は、
電流値が前記保持電流より電流値の小さい前記リチャージ電流を前記受光素子に供給し、
前記スイッチ部は、
前記受光素子の前記バイアス電圧を供給した場合に、前記保持電流より電流値の小さい電流を前記受光素子に供給する
前記(12)に記載の測距装置。
(14)
前記電流源は、
前記検出部の前記出力信号が前記受光素子による前記アバランシェ増倍の発生に応じて反転してから、前記リチャージ電流の供給に応じてさらに反転するまでの時間が、前記受光素子における前記アバランシェ増倍の発生により流れる電流に応じた内部発光により蓄積された電荷を排出する時間以上となる電流値の前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
前記(11)乃至(13)の何れかに記載の測距装置。
(15)
前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が該出力信号の論理を変えない回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
前記(11)乃至(14)の何れかに記載の測距装置。
(16)
前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が、それぞれ該出力信号の論理を変えない複数の回路のうち選択された回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
前記(11)乃至(15)の何れかに記載の測距装置。
(17)
前記スイッチ部による前記受光素子への前記バイアス電圧の供給の制御を有効および無効の何れか一方に設定する設定部をさらに備える
前記(11)乃至(16)の何れかに記載の測距装置。
(18)
前記電流源は、
電流値を可変で前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
前記(11)乃至(17)の何れかに記載の測距装置。
(19)
前記電流源と、前記スイッチ部における前記バイアス電圧の供給源と、が異なる電源に接続される
前記(11)乃至(18)の何れかに記載の測距装置。
(20)
第1の基板と、該第1の基板が積層される第2の基板と、を含み、
少なくとも前記受光素子が前記第1の基板に配置され、
前記検出部、前記電流源および前記スイッチ部のうち少なくとも一部が前記第2の基板に配置される
前記(11)乃至(19)の何れかに記載の測距装置。
10,10a,10b,10c,10d,10e,10f,10g,10h 画素
210 上チップ
211 下チップ
1000 受光素子
1001,1001’,1010,1020,1022,1023,1100,1110,1120 トランジスタ
1002 インバータ
1030,1031,13001,13002,1300n 処理回路
1032 セレクタ
Claims (16)
- バイアス電圧に基づき所定の電位に充電された状態で入射された光子に応じてアバランシェ増倍が発生して電流が流れ、リチャージ電流により該状態に戻る受光素子と、
前記電流を検出し、該電流の電流値が閾値を跨いだ場合に出力信号を反転させる検出部と、
前記受光素子に前記リチャージ電流を供給する電流源と、
前記検出部の前記出力信号に応じて前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御するスイッチ部と、
を備え、
前記電流源は、
前記受光素子が前記アバランシェ増倍を維持可能な所定の保持電流より電流値の小さい電流を、前記リチャージ電流として前記受光素子に供給し、
前記スイッチ部は、
前記検出部の前記出力信号が、前記受光素子による前記アバランシェ増倍の発生に応じて反転することでオフ状態とされ、前記リチャージ電流の供給に応じてさらに反転することでオン状態とされる、
受光装置。 - 前記電流源は、
前記検出部の前記出力信号が前記受光素子による前記アバランシェ増倍の発生に応じて反転してから、前記リチャージ電流の供給に応じてさらに反転するまでの時間が、前記受光素子における前記アバランシェ増倍の発生により流れる電流に応じた内部発光により蓄積された電荷を排出する時間以上となる電流値の前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
請求項1に記載の受光装置。 - 前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が該出力信号の論理を変えない回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
請求項1に記載の受光装置。 - 前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が、それぞれ該出力信号の論理を変えない複数の回路のうち選択された回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
請求項1に記載の受光装置。 - 前記スイッチ部による前記受光素子への前記バイアス電圧の供給の制御を有効および無効の何れか一方に設定する設定部をさらに備える
請求項1に記載の受光装置。 - 前記電流源は、
電流値を可変で前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
請求項1に記載の受光装置。 - 前記電流源と、前記スイッチ部における前記バイアス電圧の供給源と、が異なる電源に接続される
請求項1に記載の受光装置。 - 第1の基板と、該第1の基板が積層される第2の基板と、を含み、
少なくとも前記受光素子が前記第1の基板に配置され、
前記検出部、前記電流源および前記スイッチ部のうち少なくとも一部が前記第2の基板に配置される
請求項1に記載の受光装置。 - バイアス電圧に基づき所定の電位に充電された状態で入射された光子に応じてアバランシェ増倍が発生して電流が流れ、リチャージ電流により該状態に戻る受光素子と、
前記電流を検出し、該電流の電流値が閾値を跨いだ場合に出力信号を反転させる検出部と、
前記受光素子に前記リチャージ電流を供給する電流源と、
前記検出部の前記出力信号に応じて前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御するスイッチ部と、
光源が発光した発光タイミングから、前記受光素子が受光した受光タイミングまで、の時間を計測して計測値を取得する時間計測部と、
前記計測値のヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムに基づき被測定物までの距離を演算する演算部と、
を備え、
前記電流源は、
前記受光素子が前記アバランシェ増倍を維持可能な所定の保持電流より電流値の小さい電流を、前記リチャージ電流として前記受光素子に供給し、
前記スイッチ部は、
前記検出部の前記出力信号が、前記受光素子による前記アバランシェ増倍の発生に応じて反転することでオフ状態とされ、前記リチャージ電流の供給に応じてさらに反転することでオン状態とされる、
測距装置。 - 前記電流源は、
前記検出部の前記出力信号が前記受光素子による前記アバランシェ増倍の発生に応じて反転してから、前記リチャージ電流の供給に応じてさらに反転するまでの時間が、前記受光素子における前記アバランシェ増倍の発生により流れる電流に応じた内部発光により蓄積された電荷を排出する時間以上となる電流値の前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
請求項9に記載の測距装置。 - 前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が該出力信号の論理を変えない回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
請求項9に記載の測距装置。 - 前記スイッチ部は、
前記検出部の出力信号が、それぞれ該出力信号の論理を変えない複数の回路のうち選択された回路を介して供給された信号に応じて、前記受光素子への前記バイアス電圧の供給を制御する
請求項9に記載の測距装置。 - 前記スイッチ部による前記受光素子への前記バイアス電圧の供給の制御を有効および無効の何れか一方に設定する設定部をさらに備える
請求項9に記載の測距装置。 - 前記電流源は、
電流値を可変で前記リチャージ電流を前記受光素子に供給する
請求項9に記載の測距装置。 - 前記電流源と、前記スイッチ部における前記バイアス電圧の供給源と、が異なる電源に接続される
請求項9に記載の測距装置。 - 第1の基板と、該第1の基板が積層される第2の基板と、を含み、
少なくとも前記受光素子が前記第1の基板に配置され、
前記検出部、前記電流源および前記スイッチ部のうち少なくとも一部が前記第2の基板に配置される
請求項9に記載の測距装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019041998 | 2019-03-07 | ||
JP2019041998 | 2019-03-07 | ||
PCT/JP2020/008420 WO2020179696A1 (ja) | 2019-03-07 | 2020-02-28 | 受光装置および測距装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020179696A1 JPWO2020179696A1 (ja) | 2020-09-10 |
JP7513588B2 true JP7513588B2 (ja) | 2024-07-09 |
Family
ID=72337752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021504060A Active JP7513588B2 (ja) | 2019-03-07 | 2020-02-28 | 受光装置および測距装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220137194A1 (ja) |
EP (1) | EP3936839A4 (ja) |
JP (1) | JP7513588B2 (ja) |
CN (1) | CN113508280B (ja) |
WO (1) | WO2020179696A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7079753B2 (ja) * | 2019-06-11 | 2022-06-02 | 株式会社東芝 | 光検出装置、電子装置及び光検出方法 |
FR3107627B1 (fr) * | 2020-02-26 | 2022-02-25 | Commissariat Energie Atomique | Circuit de contrôle d'une photodiode SPAD |
JPWO2022124019A1 (ja) * | 2020-12-10 | 2022-06-16 | ||
JPWO2022210330A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | ||
JP7488799B2 (ja) * | 2021-09-03 | 2024-05-22 | 株式会社東芝 | 光検出装置、電子装置及び光検出方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006179828A (ja) | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Hamamatsu Photonics Kk | ホトダイオードアレイ |
JP2008542706A (ja) | 2005-05-27 | 2008-11-27 | センスル・テクノロジーズ・リミテッド | 光子計数装置 |
WO2017094362A1 (ja) | 2015-12-03 | 2017-06-08 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP2018173379A (ja) | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社デンソー | 光検出器及び測距装置 |
JP2018179732A (ja) | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 株式会社デンソー | 光検出器 |
WO2018234309A1 (en) | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Ams Ag | AVALANCHE DIODE SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING AVALANCHE DIODE SYSTEM |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009036802A1 (en) * | 2007-09-20 | 2009-03-26 | Ecole polytechnique fédérale de Lausanne (EPFL) | Integrated receiving circuit and method for radiofrequency and high speed signals |
CN104729724B (zh) * | 2015-04-09 | 2017-10-13 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 基于失调控制差分放大结构的单光子雪崩二极管淬灭电路 |
US11415696B2 (en) * | 2017-05-19 | 2022-08-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical sensor and electronic device |
JP7129182B2 (ja) * | 2017-06-23 | 2022-09-01 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置及び撮像方法 |
CN108681362B (zh) * | 2018-04-25 | 2020-06-02 | 东南大学 | 一种阵列单光子雪崩光电二极管增益自适应调节电路 |
US10158038B1 (en) * | 2018-05-17 | 2018-12-18 | Hi Llc | Fast-gated photodetector architectures comprising dual voltage sources with a switch configuration |
-
2020
- 2020-02-28 US US17/435,223 patent/US20220137194A1/en active Pending
- 2020-02-28 WO PCT/JP2020/008420 patent/WO2020179696A1/ja active Application Filing
- 2020-02-28 JP JP2021504060A patent/JP7513588B2/ja active Active
- 2020-02-28 CN CN202080017955.1A patent/CN113508280B/zh active Active
- 2020-02-28 EP EP20765985.5A patent/EP3936839A4/en active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006179828A (ja) | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Hamamatsu Photonics Kk | ホトダイオードアレイ |
JP2008542706A (ja) | 2005-05-27 | 2008-11-27 | センスル・テクノロジーズ・リミテッド | 光子計数装置 |
WO2017094362A1 (ja) | 2015-12-03 | 2017-06-08 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP2018173379A (ja) | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社デンソー | 光検出器及び測距装置 |
JP2018179732A (ja) | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 株式会社デンソー | 光検出器 |
WO2018234309A1 (en) | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Ams Ag | AVALANCHE DIODE SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING AVALANCHE DIODE SYSTEM |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113508280A (zh) | 2021-10-15 |
TW202040162A (zh) | 2020-11-01 |
CN113508280B (zh) | 2024-07-12 |
EP3936839A1 (en) | 2022-01-12 |
EP3936839A4 (en) | 2022-05-04 |
JPWO2020179696A1 (ja) | 2020-09-10 |
US20220137194A1 (en) | 2022-05-05 |
WO2020179696A1 (ja) | 2020-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7513588B2 (ja) | 受光装置および測距装置 | |
JP7155012B2 (ja) | 固体撮像素子および電子機器 | |
US20210255282A1 (en) | Light receiving element, distance measurement module, and electronic device | |
US10841520B2 (en) | Solid-state imaging device and electronic device | |
US11457169B2 (en) | Solid-state imaging element and electronic equipment | |
US11943549B2 (en) | Imaging apparatus and electronic equipment | |
US11936979B2 (en) | Imaging device | |
US20230018706A1 (en) | Solid-state imaging device, method of manufacturing solid-state imaging device, and electronic equipment | |
US11653119B2 (en) | Solid-state image sensor and imaging device | |
WO2020179290A1 (ja) | センサおよび測距装置 | |
TWI846805B (zh) | 受光裝置及測距裝置 | |
WO2023171146A1 (ja) | 光検出装置 | |
US20210358982A1 (en) | Solid-state imaging element, solid-state imaging device, and electronic equipment | |
WO2018051819A1 (ja) | 撮像素子および駆動方法、並びに電子機器 | |
WO2023243381A1 (en) | Photodetector and photodetection system | |
WO2024062813A1 (ja) | 撮像装置および電子機器 | |
WO2023243380A1 (en) | Photon counting photodetector with motion detection | |
WO2024024515A1 (ja) | 光検出素子および測距システム | |
WO2023105678A1 (ja) | 光検出装置および光学フィルタ | |
WO2021145214A1 (ja) | 観測装置、観測方法、測距システム | |
WO2022269837A1 (ja) | 固体撮像装置 | |
US20230396898A1 (en) | Apd sensor and ranging system | |
JP2022172951A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2019022020A (ja) | 固体撮像素子、固体撮像素子の駆動方法および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240423 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240528 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240627 |