JP7496575B2 - Iii族窒化物結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
2Ga(l)+H2O(g)→Ga2O(g)+H2(g)・・・(I)
Ga2O(g)+2NH3(g)→2GaN(s)+H2O(g)+2H2(g)・・・(II)
III族元素酸化物ガスを生成する工程と、
前記III族元素酸化物ガスを供給する工程と、
窒素元素含有ガスを供給する工程と、
NOガス、NO2ガス、N2Oガス、及びN2O4ガスからなる群から選択される少なくとも一種を含む窒素元素含有酸化性ガスを供給する工程と、
前記種基板にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、
を含む。
第1の態様に係るIII族窒化物結晶の製造方法は、種基板を準備する工程と、
III族元素酸化物ガスを生成する工程と、
III族元素酸化物ガスを供給する工程と、
窒素元素含有ガスを供給する工程と、
NOガス、NO2ガス、N2Oガス、及びN2O4ガスからなる群から選択される少なくとも一種を含む窒素元素含有酸化性ガスを供給する工程と、
種基板にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、
を含む。
本開示の実施の形態1に係るIII族窒化物結晶の製造方法の概要を、図1のフローチャートを参照して説明する。本実施の形態1に係るIII族窒化物結晶の製造方法は、反応性ガス供給工程(S01)、III族元素酸化物ガス生成工程(S02)、III族元素酸化物ガス供給工程(S03)、窒素元素含有ガス供給工程(S04)、窒素元素含有酸化性ガス供給工程(S05)、III族窒化物結晶生成工程(S06)、窒素元素含有酸化性ガス反応工程(S07)、及び残留ガス排出工程(S08)を有する。
(a)反応性ガス供給工程では、反応性ガスを原料反応室へ供給する(S01)。
(b)III族元素酸化物ガス生成工程では、出発III族元素源と反応性ガス(出発III族元素源が酸化物の場合は還元性ガス、出発III族元素源が金属の場合は酸化性ガス)とを反応させ、III族元素酸化物ガスを生成する(S02)。
(c)III族元素酸化物ガス供給工程では、III族元素酸化物ガス生成工程で製造されたIII族元素酸化物ガスを育成チャンバへ供給する(S03)。
(d)窒素元素含有ガス供給工程では、窒素元素含有ガスを育成チャンバへ供給する(S04)。
(e)窒素元素含有酸化性ガス供給工程では、窒素元素含有酸化性ガスを育成チャンバへ供給する(S05)。
(f)III族窒化物結晶生成工程では、III族元素酸化物ガス供給工程で育成チャンバ内へ供給されたIII族元素酸化物ガスと、窒素元素含有ガス供給工程で育成チャンバ内へ供給された窒素元素含有ガスとを反応させ、III族窒化物結晶を製造する(S06)。
(g)窒素元素含有酸化性ガス反応工程では、III族窒化物結晶上で発生するIII族金属ドロップレットと窒素元素含有酸化性ガス供給工程で供給された窒素元素含有酸化性ガスとを反応させる(S07)。これにより、III族窒化物結晶上での多結晶化を抑制する。
(h)残留ガス排出工程では、III族窒化物結晶の生成に寄与しない未反応のガスをチャンバ外に排出する(S08)。
以上の各工程によって、種基板へIII族窒化物結晶を生成することができる。
本開示の実施の形態1に係るIII族窒化物結晶の製造装置の概要を、図2のIII族窒化物結晶の製造装置150の構成を示す概略図を参照して説明する。なお、図2において、各構成部材の大きさ、比率等は実際とは異なっている場合がある。
本実施の形態1に係るIII族窒化物結晶の製造方法の詳細を説明する。なお、本実施の形態1では、出発III族元素源105に金属Gaを用いた場合の説明を行う。
(1)反応性ガス供給工程では、反応性ガス供給管103より反応性ガスを原料反応室101へ供給する。
(2)III族元素酸化物ガス生成工程では、反応性ガス供給工程で原料反応室101へ供給された反応性ガスが、出発III族元素源105である金属Gaと反応し、III族元素酸化物ガスであるGa2Oガスを生成する。生成されたGa2OガスはIII族元素酸化物ガス排出口107を経由し、原料反応室101から原料チャンバ100に排出される。排出されたGa2Oガスは第1搬送ガス供給口102から原料チャンバ100へと供給される第1搬送ガスと混合され、III族元素酸化物ガス及び搬送ガス排出口108へと供給される。ここで、第1ヒータ106によって加熱される原料チャンバ100の温度を、Ga2Oガスの沸点よりも高い800℃以上とし、第2ヒータ115により加熱される育成チャンバ111よりも低温とすべく1800℃未満とすることが好ましい。出発III族元素源105は、原料ボート104内に載置されている。原料ボート104は、反応性ガスと出発III族元素源105との接触面積を大きくできる形状であることが好ましい。
ここで、成長させるIII族窒化物結晶の多結晶化を抑制することで、III族窒化物結晶の品質を向上させことができる。多結晶が発生する原因として、III族窒化物結晶の分解に起因して生じるIII族元素ドロップレットの発生が挙げられる。多結晶化の抑制するために、酸化性ガス(例えばH2Oガス)を添加し、酸化性ガスとIII族元素ドロップレットとを反応させ、III族元素ドロップレットを除去する方法が用いられる場合がある。しかし、酸化性ガスは、生成されたIII族窒化物結晶をエッチングしてしまうおそれがある。一方、本開示では、窒素元素含有酸化性ガスを用いるため、III族窒化物結晶のエッチング反応が生じにくい。このため、エッチングによってIII族窒化物結晶の成長速度の低下することを防ぐことができ、III族窒化物結晶の成長速度を高めることができる。
2GaN(l)→Ga(g)+1/2N2(g)・・・(III)
2Ga(g)+H2O(g)→Ga2O(g)+H2(g)・・・(IV)
2Ga(g)+N2O(g)→Ga2O(g)+N2(g)・・・(V)
図4にIII族窒化物結晶の結晶成長における多結晶化及びその抑制のメカニズムを示す。図4(a)に示すように、種基板116にIII族窒化物結晶を成長させると、III族元素ドロップレットであるGaドロップレットが発生し、III族窒化物結晶の多結晶化が生じる。これに対して、図4(b)に示すように、H2Oを添加することでGaドロップレットを除去することはでき多結晶化をある程度防止することが可能であるが、H2Oによって種基板116上に成長したIII窒化物結晶がエッチングされてしまう。一方、図4(c)に示すように、窒素元素含有酸化性ガスとしてN2Oを添加することで、III族元素ドロップレットであるGaドロップレットを除去して多結晶化を抑制できるとともに、種基板116上に成長したIII窒化物結晶がエッチングされにくいため、III族窒化物結晶の結晶成長速度が低下しにくい。このため、III族窒化物結晶の成長速度の低下を生じることなく多結晶化が抑制でき、結晶品質が向上する。
図2に示す成長炉を用いて、実施例1~2及び比較例1~3のIII族窒化物結晶の成長を行った。実施例1~2及び比較例1~3では、III族窒化物結晶としてGaNを成長させた。出発Ga源として、液体Gaを用い、Gaを反応性ガスであるH2Oガスと反応させ、Ga2OガスをGa源ガスとして用いた。N源としては、NH3ガスを用い、キャリアガスとしてH2ガス及びN2ガスを用いた。成長時間は1時間で検証を行った。成長条件、各ガス種の供給分圧、酸素含有酸化性ガスであるH2Oの添加条件、及び窒素元素含有酸化性ガスであるN2Oの添加条件については、後述する。なお、後述の成長条件において、各ガス種の供給分圧は、系中に流入させるガスの総流量に対する各ガス流量の比率として算出した。供給分圧に関しても、系中の全圧は1atmとして考慮した。例えば系中にXslmの総流量を流入させ、ガスyのガス流量Yslmを流入させていた場合、ガスyの分圧は(Y/X)atmとして表すことができる。
(多結晶の発生した領域の面積)/(観察した領域全体の面積)×100[%]・・・(VI)
成長条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃とした。またGa2Oガス分圧を9.36×10-4atm、H2Oガス分圧を5.95×10-4atm、NH3ガス分圧を5.25×10-2atm、H2ガス分圧を3.33×10-1atm、N2ガス分圧を6.13×10-1atm、添加N2Oガス分圧を8.75×10-4atmとした。なお、実施例1では、昇温過程でのH2Oガス及びN2Oガスの供給は実施しなかった。
実施例1で得られたGaN成長面における多結晶化領域の割合は0.1%未満であり、成長速度は122μm/hであった。
成長条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃とした。またGa2Oガス分圧を9.55×10-4atm、H2Oガス分圧を5.75×10-4atm、NH3ガス分圧を5.25×10-2atm、H2ガス分圧を3.32×10-1atm、N2ガス分圧を6.12×10-1atm、添加N2Oガス分圧を1.75×10-3atmとした。なお、実施例2では、昇温過程でのH2Oガス及びN2Oガスの供給は実施しなかった。
実施例2で得られたGaN成長面における多結晶化領域の割合は0.5%であり、成長速度は123μm/hであった。
成長条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃とした。またGa2Oガス分圧を9.28×10-4atm、H2Oガス分圧を6.04×10-4atm、NH3ガス分圧を5.26×10-2atm、H2ガス分圧を3.33×10-1atm、N2ガス分圧を6.13×10-1atmとした。なお、比較例1では、昇温過程でのH2Oガス及びN2Oガスのいずれの供給も実施しなかった。
比較例1で得られたGaN成長面における多結晶化領域の割合は2.1%であり、成長速度は124μm/hであった。
成長条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃とした。またGa2Oガス分圧を9.92×10-4atm、H2Oガス分圧を5.39×10-4atm、NH3ガス分圧を5.25×10-2atm、H2ガス分圧を3.33×10-1atm、N2ガス分圧を6.13×10-1atm、添加H2Oガス分圧を8.75×10-4atmとした。なお、比較例2では、昇温過程でのH2Oガス及びN2Oガスの供給は実施しなかった。
比較例2で得られたGaN成長面における多結晶化領域の割合は1.4%であり、成長速度は130μm/hであった。
成長条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃とした。またGa2Oガス分圧を9.22×10-4atm、H2Oガス分圧を6.09×10-4atm、NH3ガス分圧を5.25×10-2atm、H2ガス分圧を3.32×10-1atm、N2ガス分圧を6.12×10-1atm、添加H2Oガス分圧を1.31×10-3atmとした。なお、比較例3では、昇温過程でのH2Oガス及びN2Oガスの供給は実施しなかった。
比較例3で得られたGaN成長面における多結晶化領域の割合は0.1%未満であり、成長速度は109μm/hであった。
図5に、比較例1及び実施例1~2の結果に基づいて、添加したN2O分圧と成長速度との関係を表すグラフを示す。また、図6に、比較例1~3の結果に基づいて、添加したH2O分圧と成長速度との関係を表すグラフを示す。
図5から判るように、N2Oガス添加量1.75×10-3atmまで成長速度の低下は確認されなかった。一方で、図6から判るようにH2Oガス添加では、無添加の場合、成長速度は124μm/hであったのに対して、H2Oガス添加量1.31×10-3atmでは、109μm/hまで低下し、約12%の成長速度の低下が確認された。
図2に示す成長炉を用いて実施例3及び比較例4のIII族窒化物結晶の昇温過程でのドロップレット除去状態の確認実験を行った。実施例3及び比較例4では、GaN結晶の成長は行わずIII族窒化物結晶としてGaN基板を用いた。N源としては、NH3ガスを用い、キャリアガスとしてH2ガス及びN2ガスを用いた。なお、実施例3及び比較例4ではGa2Oの供給をしなかったため、新たなGaN結晶は成長していない。昇温時間は30分で検証を行った。昇温条件、各ガス種の供給分圧、及び窒素元素含有酸化性ガスであるN2Oの添加条件については、後述する。なお、各ガス種の供給分圧は、系中に流入させるガスの総流量に対する各ガス流量の比率として算出した。供給分圧に関しても、系中の全圧は1atmとして考慮した。例えば系中にXslmの総流量を流入させ、ガスyのガス流量Yslmを流入させていた場合、ガスyの分圧は(Y/X)atmとして表すことができる。
昇温条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃まで加熱した。添加N2Oガスを、基板温度が1000℃に到達してから供給した。添加N2Oガスを供給した際の各ガスの分圧は、NH3ガス分圧を9.08×10-1atm、N2ガス分圧を9.08×10-2atm、添加N2Oガス分圧を9.08×10-4atmとした。基板温度が1000℃未満の時点での各ガスの分圧は、NH3ガス分圧を9.09×10-1atm、N2ガス分圧を9.09×10-2atmとした。その後、NH3ガス分圧を0.77atm、N2ガス分圧を0.23atmとして、基板温度500℃まで低下させた後、N2雰囲気下で基板温度を室温まで低下させた。実施例3のGaN基板の昇降温の後、多結晶密度は172個/mm2であった。
昇温条件として、基板温度を1200℃、原料温度を1100℃まで加熱した。比較例4では、N2Oガスを添加しなかった。各ガスの分圧は、NH3ガス分圧を9.09×10-1atm、N2ガス分圧を9.09×10-2atmとした。
比較例4のGaN基板を昇降温させた結果、多結晶密度は1437個/mm2であった。
実施例3と比較例4との結果より、N2Oガスを添加することで、GaN基板から発生するGaドロップレットが良好に除去され、多結晶化が抑制されることが確認された。
101 原料反応室
102 第1搬送ガス供給口
103 反応性ガス供給管
104 原料ボート
105 出発III族元素源
106 第1ヒータ
107 III族元素酸化物ガス排出口
108 III族元素酸化物ガス及び搬送ガス排出口
109 接続管
110 第3ヒータ
111 育成チャンバ
112 窒素元素含有酸化性ガス供給口
113 窒素元素含有ガス供給口
114 第2搬送ガス供給口
115 第2ヒータ
116 種基板
117 基板サセプタ
118 III族元素酸化物ガス及び搬送ガス供給口
119 排気口
150 III族窒化物結晶製造装置
Claims (4)
- 種基板を準備する工程と、
III族元素酸化物ガスを生成する工程と、
前記III族元素酸化物ガスを供給する工程と、
窒素元素含有ガスを供給する工程と、
NOガス、NO2ガス、N2Oガス、及びN2O4ガスからなる群から選択される少なくとも一種を含む窒素元素含有酸化性ガスを供給する工程と、
前記窒素元素含有酸化性ガスをIII族元素ドロップレットと反応させる工程と、
前記種基板にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、
を含み、
前記窒素元素含有酸化性ガスは、分圧が7.00×10 -4 atm以上1.75×10 -3 atm以下となるよう供給され、
前記窒素元素含有ガスは、前記窒素元素含有酸化性ガスを除く、
III族窒化物結晶の製造方法。 - 前記窒素元素含有酸化性ガスは、分圧が7.60×10-4atm以上1.30×10-3atm以下となるよう供給される、
請求項1に記載のIII族窒化物結晶の製造方法。 - 前記窒素元素含有酸化性ガスを、前記種基板が基板最高到達温度に到達する前に供給する、
請求項1又は請求項2に記載のIII族窒化物結晶の製造方法。 - 前記窒素元素含有酸化性ガスを、前記種基板が基板温度1050℃に到達する前に供給する、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のIII族窒化物結晶の製造方法。
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