JP7496537B2 - Calibration data calculation device and calibration data calculation method - Google Patents

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Description

本開示は、部品の搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを所定のデータに基づいて算出するキャリブレーションデータ算出装置およびキャリブレーションデータ算出方法に関する。 This disclosure relates to a calibration data calculation device and a calibration data calculation method that calculate calibration data for correcting misalignment of a component mounting position based on predetermined data.

基板に電子部品を実装して実装基板を製造する実装基板製造システムは、はんだ印刷装置、部品搭載装置、リフロー装置などの複数の部品実装用装置を連結して構成されている。このような構成の実装基板製造システムにおいて、部品搭載装置における部品の搭載位置のずれに起因する実装不良を防止することが従来、検討されてきている。一例として、部品搭載済基板における部品の搭載位置のずれを示す部品搭載ずれ情報を前工程に対してフィードバックする位置補正技術が用いられている。この部品搭載ずれ情報のフィードバックに基づく位置補正では、搭載済部品検査装置にて部品の搭載位置を実際に計測して求めた部品搭載のずれが前工程の部品搭載装置に対して送られる。そして、部品搭載装置は、部品搭載ずれ情報に基づいて搭載位置を補正する(例えば、特許文献1参照)。この例においては、稼働時間の経過に伴う経時変動、例えば部品実装機構の経時的な熱変形などに起因する位置ずれを補正するためのキャリブレーションデータが、随時算出されて更新される。これにより、部品搭載装置における経時変動による実装位置精度の低下を防止することができる。 A mounting board manufacturing system that manufactures a mounting board by mounting electronic components on a board is configured by connecting multiple component mounting devices such as a solder printing device, a component mounting device, and a reflow device. In a mounting board manufacturing system configured in this way, it has been conventionally considered to prevent mounting defects caused by a deviation in the mounting position of components in the component mounting device. As an example, a position correction technology is used that feeds back component mounting deviation information indicating the deviation of the mounting position of components on a component-mounted board to the previous process. In this position correction based on the feedback of component mounting deviation information, the component mounting deviation obtained by actually measuring the mounting position of the component by a mounted component inspection device is sent to the component mounting device in the previous process. Then, the component mounting device corrects the mounting position based on the component mounting deviation information (for example, see Patent Document 1). In this example, calibration data for correcting position deviations caused by time-dependent fluctuations over the course of operation, such as thermal deformation of the component mounting mechanism over time, is calculated and updated as needed. This makes it possible to prevent a decrease in mounting position accuracy caused by time-dependent fluctuations in the component mounting device.

特開2016-58604号公報JP 2016-58604 A

しかしながら、特許文献1に示す先行技術を含め、従来技術では、位置補正の対象とする部品搭載ずれ情報の選択に起因して、必ずしも適正な位置補正結果が得られない場合がある。すなわち、従来技術においては、搭載済基板検査において取得された部品搭載ずれ情報の全てを対象として、前述のキャリブレーションデータが算出される。このため、キャリブレーションデータの算出の対象となる部品搭載ずれ情報には、はんだ印刷装置における印刷不良により正常に形成されなかったはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれ情報も含まれる。 However, in conventional technologies, including the prior art shown in Patent Document 1, proper position correction results may not always be obtained due to the selection of component placement deviation information to be subjected to position correction. In other words, in conventional technologies, the above-mentioned calibration data is calculated for all component placement deviation information acquired in the inspection of a mounted board. For this reason, the component placement deviation information to be used for calculating the calibration data also includes component placement deviation information for components that are placed on solder sections that are not formed properly due to printing defects in the solder printing device.

実行されるキャリブレーションは、本来、部品搭載装置において発生する経時変動による位置ずれを補正することを目的とする。したがって、はんだ印刷装置における印刷不良に起因して発生した部品搭載ずれについてのデータを、このような目的のキャリブレーションの対象とすることは適切ではなく、不適正な位置補正を行って実装位置精度を低下させる虞がある。このように、従来技術における実装基板製造システムおよび実装基板製造方法には、搭載済基板検査装置から部品搭載装置にフィードバックされる部品搭載ずれ情報の取り扱いに起因して、必ずしも適正な位置補正結果が得られない場合が生じる。 The calibration that is performed is originally intended to correct positional deviations caused by fluctuations over time that occur in the component mounting device. Therefore, it is not appropriate to subject data on component mounting deviations that occur due to printing defects in a solder printing device to calibration for this purpose, and there is a risk that inappropriate positional correction will be performed, reducing the mounting position accuracy. Thus, in the mounted board manufacturing system and mounted board manufacturing method of the prior art, there are cases in which appropriate positional correction results are not necessarily obtained due to the handling of component mounting deviation information that is fed back to the component mounting device from the mounted board inspection device.

本開示は、部品搭載装置にフィードバックされる部品搭載ずれ情報の取り扱いを適正化して、適正な位置補正結果を得ることができるキャリブレーションデータ算出装置およびキャリブレーションデータ算出方法を提供する。 This disclosure provides a calibration data calculation device and a calibration data calculation method that can optimize the handling of component placement deviation information fed back to a component placement device to obtain appropriate position correction results.

本開示のキャリブレーションデータ算出装置は、基板の実装点のはんだ部に部品を搭載する部品保持ノズルを有する部品搭載装置の経時変動に起因する前記部品の搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを、部品が搭載された複数の基板を計測して得られた部品の搭載位置のずれに関する部品搭載ずれデータに基づいて算出するキャリブレーションデータ算出装置であって、はんだ部検査において良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータを前記キャリブレーションデータの算出の対象から除外する。 The calibration data calculation device disclosed herein is a calibration data calculation device that calculates calibration data for correcting the displacement of the mounting position of a component caused by the time-dependent fluctuation of a component mounting device having a component holding nozzle that mounts components on a solder part at a mounting point of a board, based on component mounting displacement data relating to the displacement of the mounting position of the component obtained by measuring a plurality of boards on which components are mounted, and excludes component mounting displacement data for components mounted on solder parts that are determined to be poor in a solder part inspection from the calculation of the calibration data.

本開示のキャリブレーションデータ算出方法は、基板の実装点のはんだ部に部品を搭載する部品保持ノズルを有する部品搭載装置の経時変動に起因する前記部品の搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを、部品が搭載された複数の基板を計測して得られた部品の搭載位置のずれに関する部品搭載ずれデータに基づいて算出するキャリブレーションデータ算出方法であって、はんだ部検査において良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータを前記キャリブレーションデータの算出の対象から除外する。 The calibration data calculation method disclosed herein is a calibration data calculation method that calculates calibration data for correcting the displacement of the mounting position of a component caused by the time-dependent fluctuation of a component mounting device having a component holding nozzle that mounts components on a solder part at a mounting point of a board, based on component mounting displacement data relating to the displacement of the mounting position of the component obtained by measuring a plurality of boards on which components are mounted, and excludes component mounting displacement data for components mounted on solder parts that are determined to be poor in a solder part inspection from the calculation of the calibration data.

本開示によれば、部品搭載装置にフィードバックされる部品搭載ずれ情報の取り扱いを適正化して、適正な位置補正結果を得ることができる。 According to the present disclosure, it is possible to optimize the handling of component placement deviation information fed back to the component placement device, thereby obtaining appropriate position correction results.

本開示の実施の形態に係る実装基板製造システムの構成を示す図FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a mounting substrate manufacturing system according to an embodiment of the present disclosure. 図1に示す実装基板製造システムを構成するスクリーン印刷装置の構成を示す正面図FIG. 2 is a front view showing the configuration of a screen printing device constituting the mounting board manufacturing system shown in FIG. 図2に示すスクリーン印刷装置の機能を説明するための正面図FIG. 3 is a front view for explaining the function of the screen printing apparatus shown in FIG. 図1に示す実装基板製造システムを構成するはんだ部検査装置、搭載済部品検査装置の構成を示す正面図FIG. 2 is a front view showing the configuration of a solder joint inspection device and a mounted component inspection device that constitute the mounting board manufacturing system shown in FIG. 図1に示す実装基板製造システムを構成する部品搭載装置の構成を示す側面図FIG. 2 is a side view showing the configuration of a component mounting device constituting the mounting board manufacturing system shown in FIG. 図1に示す実装基板製造システムの制御系の構成を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a control system of the mounting board manufacturing system shown in FIG. 図4に示すはんだ部検査装置による検査対象項目を説明するための基板の上面図FIG. 5 is a top view of a substrate for explaining items to be inspected by the solder joint inspection device shown in FIG. 図4に示すはんだ部検査装置による検査対象項目の説明するための他の基板の上面図FIG. 5 is a top view of another substrate for explaining the items to be inspected by the solder joint inspection device shown in FIG. 図4に示すはんだ部検査装置による検査対象項目の説明するための基板の側面図FIG. 5 is a side view of a circuit board for explaining items to be inspected by the solder joint inspection device shown in FIG. 図4に示すはんだ部検査装置による検査対象項目の説明するための他の基板の側面図FIG. 5 is a side view of another substrate for explaining items to be inspected by the solder joint inspection device shown in FIG. 本開示の実施の形態に係る実装基板製造方法における処理を示すフローチャート1 is a flowchart showing a process in a mounting board manufacturing method according to an embodiment of the present disclosure. 図8に示す実装基板製造方法におけるはんだ部検査処理を示すフローチャートA flowchart showing a solder joint inspection process in the mounting board manufacturing method shown in FIG. 図8に示す実装基板製造方法における搭載済部品検査処理を示すフローチャートA flowchart showing a mounted component inspection process in the mounting board manufacturing method shown in FIG. 図1に示す実装基板製造システムにおけるキャリブレーション用参照データを視覚的に示す図FIG. 2 is a visual representation of calibration reference data in the mounting board manufacturing system shown in FIG. 1 . 本開示の実施の形態に係る実装基板製造方法におけるはんだ部の不良に起因して発生する部品搭載ずれの例を示す説明図FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of component mounting misalignment caused by a defective solder joint in a mounting board manufacturing method according to an embodiment of the present disclosure. 図12Aに続く、はんだ部の不良に起因して発生する部品搭載ずれの例を示す説明図FIG. 12B is an explanatory diagram showing an example of component mounting deviation caused by a defective solder joint, which is subsequent to FIG. 12A.

以下、図面を参照しながら本開示の実施の形態を説明する。まず図1を参照して、本実施の形態における実装基板製造システム1の構成および機能について説明する。実装基板製造システム1は、基板と、この基板に実装された電子部品とを含む実装基板を製造する。実装基板製造システム1の主体は、複数の部品実装用装置を連結した部品実装ライン1aである。部品実装ライン1aを構成する各装置は通信ネットワーク2によって相互に接続されるとともに、通信ネットワーク2を介して情報管理装置3に接続されている。図1は、部品実装ライン1aを構成する複数の装置のうち、スクリーン印刷装置M1、はんだ部検査装置M2、部品搭載装置M3、搭載済部品検査装置M4のみを示している。 The following describes an embodiment of the present disclosure with reference to the drawings. First, with reference to FIG. 1, the configuration and functions of a mounted board manufacturing system 1 in this embodiment will be described. The mounted board manufacturing system 1 manufactures a mounted board including a board and electronic components mounted on the board. The main component of the mounted board manufacturing system 1 is a component mounting line 1a that connects multiple component mounting devices. The devices that make up the component mounting line 1a are connected to each other by a communication network 2, and are also connected to an information management device 3 via the communication network 2. Of the multiple devices that make up the component mounting line 1a, FIG. 1 shows only a screen printing device M1, a solder part inspection device M2, a component mounting device M3, and a mounted component inspection device M4.

スクリーン印刷装置M1は、スクリーン印刷により、後述する図7A~図7Dに示す基板4に形成されたランド5にはんだ部6を形成する。したがってスクリーン印刷装置M1は基板4にはんだ部6を形成するはんだ部形成装置として機能する。なお、はんだ部形成装置としては、スクリーン印刷装置以外にも、ランド5にはんだを塗布することによってはんだ部6を形成するはんだ塗布装置などを用いてもよい。 The screen printing device M1 uses screen printing to form solder parts 6 on lands 5 formed on the substrate 4 shown in Figures 7A to 7D, which will be described later. Therefore, the screen printing device M1 functions as a solder part forming device that forms the solder parts 6 on the substrate 4. Note that, in addition to the screen printing device, a solder application device that forms the solder parts 6 by applying solder to the lands 5 may also be used as the solder part forming device.

はんだ部検査装置M2は、スクリーン印刷装置M1によって基板4に形成されたはんだ部6の状態を検査する。部品搭載装置M3は、はんだ部検査装置M2によるはんだ部6の検査が済んだ基板4に、後述の図5に示す部品保持ノズル37bで部品を搭載する。すなわち、実装基板製造システム1は、部品保持ノズル37bで部品を保持してはんだ部6が形成された基板4の実装点に搭載する部品搭載装置M3を含む。 The solder inspection device M2 inspects the condition of the solder 6 formed on the board 4 by the screen printing device M1. The component mounting device M3 mounts components using a component holding nozzle 37b (see FIG. 5) described below on the board 4 after the solder 6 has been inspected by the solder inspection device M2. In other words, the mounted board manufacturing system 1 includes a component mounting device M3 that holds a component using the component holding nozzle 37b and mounts it at a mounting point on the board 4 on which the solder 6 has been formed.

搭載済部品検査装置M4は、部品搭載装置M3によって部品が搭載された部品搭載済基板について部品の搭載位置のずれ(以下、搭載ずれ)を計測し、搭載ずれに関する部品搭載ずれデータを出力する。本実施の形態においては、搭載済部品検査装置M4がこの部品搭載ずれデータを部品搭載装置M3にフィードバックする。そして、フィードバックを受けた部品搭載装置M3の後述するキャリブレーションデータ算出部が、この部品搭載ずれデータに基づき、部品搭載装置M3の経時変動に起因する部品の搭載ずれを補正するキャリブレーションを実行するためのキャリブレーションデータを算出する。 The mounted component inspection device M4 measures the deviation of the mounting position of components (hereinafter, mounting deviation) for a component-mounted board on which components have been mounted by the component mounting device M3, and outputs component mounting deviation data relating to the mounting deviation. In this embodiment, the mounted component inspection device M4 feeds back this component mounting deviation data to the component mounting device M3. Then, the calibration data calculation unit of the component mounting device M3, which receives the feedback, calculates calibration data based on this component mounting deviation data to perform a calibration to correct the component mounting deviation caused by the aging fluctuation of the component mounting device M3, as described below.

次に、図2~図5を参照して、上述の部品実装ライン1aを構成する実装用装置の構成を説明する。まず図2を参照して、スクリーン印刷装置M1の構成を説明する。基台11の上面には基板位置決め部12が設置されている。基板位置決め部12は、アライメント機構である印刷ステージテーブル12aと、その上面に設けられた昇降機構12bとを有する。基台11には、以下に説明する各部を制御するスクリーン印刷制御部10が内蔵されている。 Next, the configuration of the mounting devices that make up the above-mentioned component mounting line 1a will be described with reference to Figures 2 to 5. First, the configuration of the screen printing device M1 will be described with reference to Figure 2. A board positioning unit 12 is installed on the upper surface of a base 11. The board positioning unit 12 has a printing stage table 12a, which is an alignment mechanism, and a lifting mechanism 12b provided on its upper surface. A screen printing control unit 10 that controls each part described below is built into the base 11.

昇降機構12bは、昇降テーブル13aを土台とする印刷ステージ13を保持している。印刷ステージ13は、印刷ステージテーブル12aを駆動することによりX軸、Y軸、および図示しない回転方向に沿って水平移動し、昇降機構12bを駆動することにより昇降する。昇降テーブル13aの上面には、基板サポートピン14aを有する基板サポート部14が設けられている。基板サポート部14は、昇降機構14bが駆動されることにより昇降する。 The lifting mechanism 12b holds a printing stage 13 that has a lifting table 13a as its base. The printing stage 13 moves horizontally along the X-axis, Y-axis, and a rotational direction (not shown) by driving the printing stage table 12a, and rises and falls by driving the lifting mechanism 12b. A substrate support section 14 having substrate support pins 14a is provided on the upper surface of the lifting table 13a. The substrate support section 14 rises and falls by driving the lifting mechanism 14b.

さらに昇降テーブル13aは、基板搬送部15を構成する第2コンベア15bを下方から支持している。基板搬送部15は第2コンベア15bの上流、下流にそれぞれ位置する第1コンベア15a、第3コンベア15cを含んでいる。第1コンベア15aによってスクリーン印刷装置M1に搬入された基板4は、第2コンベア15bに受け渡される。基板4は、第2コンベア15b上で以下に説明するスクリーン印刷部16によるスクリーン印刷を施される。スクリーン印刷後の基板4は第3コンベア15cを経て下流のはんだ部検査装置M2へ搬出される。 The lift table 13a further supports the second conveyor 15b from below, which constitutes the board transport section 15. The board transport section 15 includes a first conveyor 15a and a third conveyor 15c, which are located upstream and downstream of the second conveyor 15b, respectively. The board 4 carried into the screen printing device M1 by the first conveyor 15a is transferred to the second conveyor 15b. The board 4 is screen printed on the second conveyor 15b by the screen printing section 16, which will be described below. After screen printing, the board 4 is carried out via the third conveyor 15c to the downstream solder inspection device M2.

印刷ステージ13の上方には、スクリーン印刷部16が配置されている。スクリーン印刷部16は、スクリーンマスク18を有している。スクリーンマスク18には、基板4にはんだを印刷するための印刷パターン(パターン孔)が設けられている。スクリーンマスク18の上方には、スキージ17およびスキージ17をスクリーンマスク18に当接させてスキージング動作を行わせるための駆動機構17aが設けられている。 A screen printing unit 16 is disposed above the printing stage 13. The screen printing unit 16 has a screen mask 18. The screen mask 18 is provided with a printing pattern (pattern holes) for printing solder on the substrate 4. A squeegee 17 and a drive mechanism 17a are provided above the screen mask 18 for bringing the squeegee 17 into contact with the screen mask 18 to perform a squeegeeing operation.

印刷ステージ13とスクリーンマスク18との間には、マスクカメラ19aおよび基板カメラ19bを含むカメラユニット19が配置されている。カメラユニット19はカメラ移動機構(図示省略)によりX軸、Y軸に沿って移動可能となっている。マスクカメラ19a、基板カメラ19bはそれぞれ、スクリーンマスク18、基板4の所望の位置を撮像する。カメラユニット19により取得された画像を認識処理することにより、スクリーン印刷制御部10は、スクリーンマスク18、基板4の水平方向の位置を検出する。そしてこの位置検出結果に基づいて、印刷ステージ13を水平移動させることにより、スクリーン印刷制御部10は、基板4とスクリーンマスク18とを位置合わせする。 A camera unit 19 including a mask camera 19a and a substrate camera 19b is disposed between the printing stage 13 and the screen mask 18. The camera unit 19 can be moved along the X-axis and Y-axis by a camera movement mechanism (not shown). The mask camera 19a and the substrate camera 19b capture images of desired positions of the screen mask 18 and the substrate 4, respectively. By recognizing and processing the images acquired by the camera unit 19, the screen printing control unit 10 detects the horizontal positions of the screen mask 18 and the substrate 4. Then, based on the position detection results, the screen printing control unit 10 aligns the substrate 4 and the screen mask 18 by moving the printing stage 13 horizontally.

スクリーン印刷装置M1によるはんだのスクリーン印刷においては、スクリーン印刷制御部10がカメラユニット19をスクリーンマスク18と基板4との間の位置から外へ移動させる。そして、図3に示すように、第2コンベア15bが基板4を保持した状態で、矢印aで示すように、スクリーン印刷制御部10が昇降機構12bを駆動して印刷ステージ13を上昇させる。これとともに、昇降機構14bを駆動して矢印bで示すように基板サポート部14を基板サポートピン14aとともに上昇させる。これにより、基板サポートピン14aが基板4を下面から下受けしてスクリーンマスク18の下面に押しつける。この状態でスクリーン印刷制御部10は、矢印cで示すようにスキージ17を下降させて、スクリーンマスク18に当接させる。次いでスキージ17を、Y軸に沿ったスキージング方向に移動させる。これにより、基板4にはスクリーンマスク18に形成されたパターン孔を介してはんだがスクリーン印刷され、例えば図7Aに示すように、はんだ部6が基板4のランド5に形成される。 In screen printing of solder by the screen printing device M1, the screen printing control unit 10 moves the camera unit 19 outward from the position between the screen mask 18 and the board 4. Then, as shown in FIG. 3, while the second conveyor 15b holds the board 4, the screen printing control unit 10 drives the lifting mechanism 12b to raise the printing stage 13 as shown by the arrow a. At the same time, the lifting mechanism 14b is driven to raise the board support unit 14 together with the board support pins 14a as shown by the arrow b. As a result, the board support pins 14a receive the board 4 from below and press it against the underside of the screen mask 18. In this state, the screen printing control unit 10 lowers the squeegee 17 as shown by the arrow c to abut against the screen mask 18. Next, the squeegee 17 is moved in the squeegeeing direction along the Y axis. As a result, the solder is screen printed on the board 4 through the pattern holes formed in the screen mask 18, and the solder portion 6 is formed on the land 5 of the board 4, for example, as shown in FIG. 7A.

次に、図4を参照して、はんだ部検査装置M2、搭載済部品検査装置M4の構成および機能を説明する。なお、これらの装置は検査・計測の対象が異なることから詳細構成は装置毎に異なっているが、検査・計測の対象をカメラで撮像して光学的に認識する点では共通していることから、便宜上同一図面にて説明する。 Next, the configuration and functions of the solder part inspection device M2 and the mounted component inspection device M4 will be described with reference to Figure 4. Note that since these devices have different inspection and measurement targets, the detailed configurations differ for each device, but since they have in common the point that the inspection and measurement targets are photographed with a camera and optically recognized, for convenience they will be described on the same drawing.

基台21には、はんだ部検査装置M2では第1検査処理部20A、搭載済部品検査装置M4については第2検査処理部20Bが内蔵されている。第1検査処理部20A、第2検査処理部20Bは、それぞれの装置における各種の作業動作や処理、例えば基板搬送動作、撮像処理、撮像により得られた画像の認識処理や画像に基づく検査・計測処理を制御する。これらの処理については図6、図9、図10を参照しながら後述する。 The base 21 has a first inspection processing unit 20A built in for the solder inspection device M2, and a second inspection processing unit 20B built in for the mounted component inspection device M4. The first inspection processing unit 20A and the second inspection processing unit 20B control various work operations and processes in each device, such as board transport operations, image capture processing, recognition processing of images obtained by image capture, and inspection and measurement processing based on the images. These processes will be described later with reference to Figures 6, 9, and 10.

基台21の上面には、基板搬送部22が配置されている。基板搬送部22は上流の装置から搬入された検査・計測対象の基板4を搬送して、検査ヘッド24による検査・計測作業位置に位置させる。なお、はんだ部検査装置M2では、検査・計測対象ははんだ部6を形成済みの基板4であり、搭載済部品検査装置M4では、検査・計測対象は部品搭載済基板4Pである。検査ヘッド24は、鏡筒部24aと、撮像方向を下向きにして鏡筒部24aに内蔵されたカメラ26と、鏡筒部24aの下端部に設けられた照明ユニット24bとを含む。検査ヘッド24は、XYテーブルを有する移動機構25によってX軸、Y軸に沿って水平移動する。移動機構25により、カメラ26を、基板4の所望の部位の上方に位置させることが可能となっている。照明ユニット24bには、上段照明28aと下段照明28bとが内蔵されている。 A board transport unit 22 is disposed on the upper surface of the base 21. The board transport unit 22 transports the board 4 to be inspected and measured, which has been brought in from an upstream device, and positions it at the inspection and measurement work position by the inspection head 24. In the solder inspection device M2, the inspection and measurement target is the board 4 on which the solder 6 has already been formed, and in the mounted component inspection device M4, the inspection and measurement target is the board 4P on which components have been mounted. The inspection head 24 includes a lens barrel 24a, a camera 26 built into the lens barrel 24a with the imaging direction facing downward, and an illumination unit 24b provided at the lower end of the lens barrel 24a. The inspection head 24 moves horizontally along the X-axis and Y-axis by a moving mechanism 25 having an XY table. The moving mechanism 25 makes it possible to position the camera 26 above a desired portion of the board 4. The illumination unit 24b has built-in upper illumination 28a and lower illumination 28b.

カメラ26による撮像時には、撮像対象に適した照明条件に応じて、上段照明28a、下段照明28bのいずれかまたは双方が点灯される。さらに鏡筒部24aの側面には同軸照明28cが設けられている。同軸照明28cを点灯することにより、鏡筒部24aの内部に配置されたハーフミラー27を介して基板4がカメラ26の撮像方向と同じ方向から照らされる。上段照明28a、下段照明28b、同軸照明28cは、照明光源部28を構成する。 When imaging with the camera 26, either or both of the upper and lower illuminations 28a and 28b are turned on depending on the lighting conditions appropriate for the imaging subject. In addition, a coaxial illumination 28c is provided on the side of the lens barrel 24a. By turning on the coaxial illumination 28c, the board 4 is illuminated from the same direction as the imaging direction of the camera 26 via the half mirror 27 arranged inside the lens barrel 24a. The upper illumination 28a, lower illumination 28b, and coaxial illumination 28c constitute the illumination light source unit 28.

このように、照明条件を切り替えることにより、同一のカメラ26によって異なる用途の検査・計測を実行することができる。はんだ部検査装置M2は、基板4に形成されたはんだ部6の状態を検査する。搭載済部品検査装置M4は、例えば基板4上に設けられた基準位置マークに対する搭載された部品の相対位置を認識し、その相対位置を基準位置と比較することで、部品搭載ずれデータを取得する。 In this way, by switching the lighting conditions, the same camera 26 can be used to perform inspections and measurements for different purposes. The solder part inspection device M2 inspects the state of the solder parts 6 formed on the board 4. The mounted component inspection device M4 recognizes the relative position of the mounted component with respect to a reference position mark provided on the board 4, for example, and obtains component mounting deviation data by comparing this relative position with the reference position.

次に、図5を参照して、部品搭載装置M3の構成および機能を説明する。部品搭載装置M3では、部品保持ノズル37bが部品を保持して基板4の実装点に搭載する。基台31には、以下に説明する部品搭載装置M3の作業動作の制御や部品搭載装置M3が有するカメラによって取得された画像の認識処理を行う機能を有する搭載処理部30が内蔵されている。搭載処理部30は、例えば基板搬送動作、部品搭載機構による部品搭載作業、部品認識カメラ36、基板認識カメラ39による認識処理などの実行を制御する。 Next, the configuration and functions of the component mounting device M3 will be described with reference to FIG. 5. In the component mounting device M3, a component holding nozzle 37b holds a component and mounts it at a mounting point on the board 4. The base 31 has a mounting processing unit 30 built in, which has the function of controlling the work operation of the component mounting device M3 described below and performing recognition processing of images acquired by a camera possessed by the component mounting device M3. The mounting processing unit 30 controls, for example, the board transport operation, the component mounting work by the component mounting mechanism, and the recognition processing by the component recognition camera 36 and the board recognition camera 39.

基台31の上面には、1対の基板搬送コンベアを有する基板搬送部35が基板4の搬送方向に沿って配置されている。すなわち基板搬送部35はX軸に沿って配置されている。基板搬送部35は、作業対象の基板4をX軸に沿って搬送する。基台31の上面において基板搬送部35の間には、基板下受け部34が配備されている。基板下受け部34では、昇降機構34bが複数のサポートピン34aを昇降させる。基板4が搭載作業位置に搬入された状態において、搭載処理部30は、昇降機構34bを駆動してサポートピン34aを上昇させる。これにより、複数のサポートピン34aが基板4の下面を支持する。 On the upper surface of the base 31, a board transport section 35 having a pair of board transport conveyors is arranged along the transport direction of the board 4. That is, the board transport section 35 is arranged along the X-axis. The board transport section 35 transports the board 4 to be worked on along the X-axis. A board under-receiving section 34 is arranged between the board transport sections 35 on the upper surface of the base 31. In the board under-receiving section 34, a lifting mechanism 34b lifts and lowers multiple support pins 34a. When the board 4 is brought into the mounting work position, the mounting processing section 30 drives the lifting mechanism 34b to lift the support pins 34a. As a result, the multiple support pins 34a support the underside of the board 4.

Y軸における基台31の両側には、それぞれ部品供給用の台車32がセットされている。台車32の上面には、部品供給ユニットであるテープフィーダ33が装着されている。テープフィーダ33は、基板4に搭載される部品を収納したキャリアテープをピッチ送りすることにより、以下に説明する部品搭載機構による部品取出し位置に部品を供給する。 A trolley 32 for supplying components is set on each side of the base 31 on the Y axis. A tape feeder 33, which is a component supply unit, is attached to the upper surface of the trolley 32. The tape feeder 33 feeds the carrier tape containing the components to be mounted on the board 4 at a pitch, thereby supplying the components to a component removal position by the component mounting mechanism described below.

次に部品搭載機構の構成を説明する。基台31によって支持されたフレーム部(図示省略)には、XYテーブルを有する移動機構38が配置されている。移動機構38には、移動部材37aを介して搭載ヘッド37が装着されている。移動機構38を駆動することにより、搭載ヘッド37はX軸およびY軸に沿って移動する。これにより、搭載ヘッド37は、テープフィーダ33の部品取出し位置と、基板搬送部35に位置決め保持された基板4との間を移動する。搭載ヘッド37は、その下端部に設けられた部品保持ノズル37bによってテープフィーダ33から取り出した部品を保持し、基板4に搭載する。 Next, the configuration of the component mounting mechanism will be described. A moving mechanism 38 having an XY table is disposed on a frame portion (not shown) supported by the base 31. A mounting head 37 is attached to the moving mechanism 38 via a moving member 37a. By driving the moving mechanism 38, the mounting head 37 moves along the X-axis and Y-axis. As a result, the mounting head 37 moves between the component removal position of the tape feeder 33 and the board 4 positioned and held by the board transport section 35. The mounting head 37 holds the component removed from the tape feeder 33 by a component holding nozzle 37b provided at its lower end, and mounts it on the board 4.

基板搬送部35とテープフィーダ33との間には部品認識カメラ36が配置されている。テープフィーダ33から部品を取り出した搭載ヘッド37を部品認識カメラ36の上方に位置させることにより、部品認識カメラ36は搭載ヘッド37に保持された部品を下方から撮像する。これにより、搭載ヘッド37に保持された状態の部品が認識され、部品の識別や保持位置ずれの検出が行われる。 A component recognition camera 36 is disposed between the board transport section 35 and the tape feeder 33. By positioning the mounting head 37, which has removed a component from the tape feeder 33, above the component recognition camera 36, the component recognition camera 36 captures an image of the component held by the mounting head 37 from below. This allows the component held by the mounting head 37 to be recognized, and the component can be identified and any misalignment in the holding position can be detected.

移動部材37aには、基板認識カメラ39が撮像方向を下向きにして装着されている。基板認識カメラ39を搭載ヘッド37とともに移動させて基板4の上方に位置させることにより、基板認識カメラ39は基板搬送部35に保持された基板4を撮像する。この撮像により取得された基板4の認識マークおよび実装点の画像を認識処理することにより、搭載処理部30は、基板4の識別や位置検出を行う。部品搭載装置M3が基板4に部品を搭載する際には、このようにして取得された基板4の識別結果や位置検出結果に基づいて、部品搭載機構による部品搭載動作が補正される。 A board recognition camera 39 is attached to the moving member 37a with its imaging direction facing downward. By moving the board recognition camera 39 together with the mounting head 37 and positioning it above the board 4, the board recognition camera 39 images the board 4 held by the board transport unit 35. The mounting processing unit 30 identifies and detects the position of the board 4 by performing recognition processing on the images of the recognition marks and mounting points of the board 4 acquired by this imaging. When the component mounting device M3 mounts components on the board 4, the component mounting operation by the component mounting mechanism is corrected based on the identification results and position detection results of the board 4 acquired in this manner.

次に、図6を参照して、実装基板製造システム1を構成する各装置の制御系の構成について説明する。なお、ここでははんだ部検査装置M2によるはんだ部検査機能、搭載済部品検査装置M4による搭載済部品検査機能および搭載済部品検査によって得られる部品搭載ずれデータ62aに基づいて部品搭載装置M3において実行されるキャリブレーションに関連する要素のみを示している。 Next, referring to FIG. 6, the configuration of the control system of each device constituting the mounting board manufacturing system 1 will be described. Note that only elements related to the solder part inspection function by the solder part inspection device M2, the mounted component inspection function by the mounted component inspection device M4, and the calibration performed by the component mounting device M3 based on the component mounting deviation data 62a obtained by the mounted component inspection are shown here.

情報管理装置3は、通信ネットワーク2を介して、はんだ部検査装置M2の第1検査処理部20A、部品搭載装置M3の搭載処理部30、搭載済部品検査装置M4の第2検査処理部20Bと接続されている。情報管理装置3は、キャリブレーション用参照データを記憶する参照データ記憶部3Aを含む。キャリブレーション用参照データとは、部品搭載装置M3のキャリブレーションデータ算出部52がキャリブレーションデータを算出する際に必要となる情報である。具体的には、キャリブレーション用参照データは、基板毎に記録されたはんだ部検査と、搭載済部品検査の結果と、搭載済み部品検査装置で計測された部品の搭載ずれとを含んでいる。情報管理装置3は、はんだ部検査装置M2や、搭載済部品検査装置M4から検査結果を受け取ると、基板4を特定する識別情報である基板IDを付与したキャリブレーション用参照データを作成または更新する。 The information management device 3 is connected to the first inspection processing unit 20A of the solder inspection device M2, the mounting processing unit 30 of the component mounting device M3, and the second inspection processing unit 20B of the mounted component inspection device M4 via the communication network 2. The information management device 3 includes a reference data storage unit 3A that stores calibration reference data. The calibration reference data is information required when the calibration data calculation unit 52 of the component mounting device M3 calculates the calibration data. Specifically, the calibration reference data includes the results of the solder inspection and the mounted component inspection recorded for each board, and the mounting deviation of the component measured by the mounted component inspection device. When the information management device 3 receives the inspection results from the solder inspection device M2 or the mounted component inspection device M4, it creates or updates the calibration reference data to which a board ID, which is identification information that specifies the board 4, is assigned.

はんだ部検査装置M2の第1検査処理部20Aは、検査実行部41と、検査結果記憶部42と、判定基準記憶部43とを含む。検査実行部41は、カメラ26を制御して基板4における検査対象の部位を撮像し、取得した画像を認識処理する。この処理により、形成されたはんだ部6の状態に関する所定の検査対象項目について、はんだ部6を検査する。検査結果記憶部42は、検査実行部41による検査結果を記憶する。また、検査実行部41は、通信ネットワーク2を介して検査結果を情報管理装置3に伝達する。 The first inspection processing unit 20A of the solder inspection device M2 includes an inspection execution unit 41, an inspection result storage unit 42, and a judgment criterion storage unit 43. The inspection execution unit 41 controls the camera 26 to capture an image of the part to be inspected on the board 4, and performs recognition processing on the acquired image. Through this processing, the solder part 6 is inspected for specified inspection target items related to the state of the formed solder part 6. The inspection result storage unit 42 stores the inspection results by the inspection execution unit 41. Furthermore, the inspection execution unit 41 transmits the inspection results to the information management device 3 via the communication network 2.

判定基準記憶部43は、検査実行部41が実行するはんだ部6の検査における判定に用いられる判定基準を記憶している。一例として、判定基準記憶部43には、第1の判定基準43a、第2の判定基準43bの2種類の基準値が設定されている。第1の判定基準43aは、基板4に形成されたはんだ部が、部品を搭載するのに適切な状態であるか否か、すなわち部品搭載の適否の観点からのはんだ部6の状態の合否を判定するために設定されている。 The criterion memory unit 43 stores the criterion used for judgment in the inspection of the solder part 6 performed by the inspection execution unit 41. As an example, the criterion memory unit 43 has two types of reference values set therein: a first criterion 43a and a second criterion 43b. The first criterion 43a is set to judge whether the solder part formed on the board 4 is in an appropriate state for mounting a component, that is, to judge whether the state of the solder part 6 is acceptable or not from the viewpoint of whether or not the component can be mounted.

たとえば検査対象の実装点にはんだ部が全く形成されていないか、またはそのはんだ量が著しく少ないなど、部品を搭載してリフローを実行したとしてもはんだ接合不良となる蓋然性が高い場合がある。このような場合、検査対象のはんだ部は、第1の判定基準43aに基づき不合格と判定される。また検査対象となるはんだ部に部品を搭載してリフローを実行すれば良品となる確率が一定以上期待できるような状態であれば、第1の判定基準43aに基づき検査対象のはんだ部は、合格と判定される。これに対し、第2の判定基準43bは検査対象となるはんだ部の状態がはんだ接合の観点から良好であるか否かを判定するために設定されている。すなわち第1の判定基準43aを用いた判定において合格と判定されたはんだ部の状態が良好か否かが、第2の判定基準43bに基づいて判定される。 For example, there may be cases where no solder is formed at the mounting point of the inspection target, or the amount of solder is extremely small, and there is a high probability that the solder joint will be defective even if a component is mounted and reflow is performed. In such cases, the solder joint of the inspection target is judged to be unsatisfactory based on the first judgment criterion 43a. Also, if the solder joint of the inspection target is in a state where there is a certain or higher probability that the solder joint will be a good product if a component is mounted on the solder joint of the inspection target and reflow is performed, the solder joint of the inspection target is judged to be pass based on the first judgment criterion 43a. In contrast, the second judgment criterion 43b is set to judge whether the condition of the solder joint of the inspection target is good from the viewpoint of solder joint. In other words, whether the condition of the solder joint that is judged to be pass in the judgment using the first judgment criterion 43a is good is judged based on the second judgment criterion 43b.

このように、はんだ部検査装置M2は、第1の判定基準43aに基づいて基板4に形成されたはんだ部6の状態が合格と判定した後、第2の判定基準43bに基づいてはんだ部6の状態が良好か否かを判定する。第1の判定基準43a、第2の判定基準43bは、いずれも検査パラメータにおける判定用の閾値であり、以下に説明する検査対象項目毎に定められている。 In this way, the solder inspection device M2 judges that the condition of the solder 6 formed on the board 4 is acceptable based on the first judgment criterion 43a, and then judges whether the condition of the solder 6 is good or not based on the second judgment criterion 43b. The first judgment criterion 43a and the second judgment criterion 43b are both thresholds for judgment in the inspection parameters, and are set for each inspection target item described below.

図7A~図7Dは、はんだ部検査装置M2によるはんだ部検査における検査対象項目の例を示している。まず図7Aは、印刷位置ずれの検査を示している。すなわち基板4においてスクリーン印刷により形成されたはんだ部6のランド5に対する位置ずれが検査対象である。ランド5の中心5cとはんだ部6の中心6cとの偏差ΔX、ΔYが、カメラ26によって取得された画像を認識処理することにより求められる。次に図7Bは、印刷面積の検査を示している。すなわち基板4においてスクリーン印刷により形成されたはんだ部6の面積6Sが検査対象である。この場合も同様に、カメラ26によって取得された画像を認識処理することにより面積6Sが求められる。 Figures 7A to 7D show examples of items to be inspected in solder inspection by the solder inspection device M2. First, Figure 7A shows inspection of print position misalignment. That is, the inspection target is the position misalignment of the solder 6 formed by screen printing on the board 4 with respect to the land 5. The deviations ΔX and ΔY between the center 5c of the land 5 and the center 6c of the solder 6 are found by recognition processing of the image captured by the camera 26. Next, Figure 7B shows inspection of the print area. That is, the inspection target is the area 6S of the solder 6 formed by screen printing on the board 4. In this case as well, the area 6S is found by recognition processing of the image captured by the camera 26.

図7Cは、印刷高さの検査を示している。すなわち基板4においてスクリーン印刷により形成されたはんだ部6の高さ6Hが検査対象である。この場合には、カメラ26によって取得された画像を3次元検査することにより高さ6Hが求められる。また図7Dは、印刷体積の検査を示している。すなわち基板4においてスクリーン印刷により形成されたはんだ部6の体積6Vが検査対象である。この場合にも同様に、カメラ26によって取得された画像を3次元検査することにより体積6Vが求められる。 Figure 7C shows inspection of print height. That is, the height 6H of the solder part 6 formed by screen printing on the substrate 4 is inspected. In this case, the height 6H is obtained by three-dimensional inspection of the image acquired by the camera 26. Figure 7D shows inspection of print volume. That is, the volume 6V of the solder part 6 formed by screen printing on the substrate 4 is inspected. In this case, the volume 6V is similarly obtained by three-dimensional inspection of the image acquired by the camera 26.

上述の検査対象項目についてのはんだ部検査においては、それぞれの検査対象項目について求められた検査結果が、各検査対象項目についての第1の判定基準43a、第2の判定基準43bと比較される。すなわち印刷位置ずれの検査における偏差ΔX、ΔY、印刷面積の検査におけるはんだ面積6S、印刷高さの検査におけるはんだ高さ6H、印刷体積の検査におけるはんだ体積6Vのそれぞれについての第1の判定基準43a、第2の判定基準43bが参照される。そして、はんだ部6の合否、さらには合格と判定したはんだ部6について、その状態が良好か否かを検査実行部41が判定する。 In the solder part inspection for the above-mentioned inspection items, the inspection results obtained for each inspection item are compared with the first judgment criterion 43a and the second judgment criterion 43b for each inspection item. That is, the first judgment criterion 43a and the second judgment criterion 43b are referenced for each of the deviations ΔX and ΔY in the print position misalignment inspection, the solder area 6S in the print area inspection, the solder height 6H in the print height inspection, and the solder volume 6V in the print volume inspection. The inspection execution unit 41 then judges whether the solder part 6 passes or fails, and further judges whether the condition of the solder part 6 that is judged to pass is good or not.

次に部品搭載装置M3の搭載処理部30について説明する。搭載処理部30は、搭載制御部51と、キャリブレーションデータ算出部52とを含む。搭載制御部51は、図5に示す部品搭載装置M3における部品搭載機構による部品搭載動作を制御する。キャリブレーションデータ算出部52は、部品搭載装置M3の経時変動に起因する部品の搭載ずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する。 Next, the mounting processing unit 30 of the component mounting device M3 will be described. The mounting processing unit 30 includes a mounting control unit 51 and a calibration data calculation unit 52. The mounting control unit 51 controls the component mounting operation by the component mounting mechanism in the component mounting device M3 shown in FIG. 5. The calibration data calculation unit 52 calculates calibration data for correcting component mounting deviations caused by aging fluctuations in the component mounting device M3.

このキャリブレーションデータは、部品搭載ずれデータに基づいて計算される。部品搭載ずれデータは、後述するように、複数の部品搭載済基板4Pについて搭載済部品検査装置M4で計測されて部品搭載装置M3にフィードバックされた部品の搭載ずれに関する。なお、本実施の形態においては、上述の機能を有するキャリブレーションデータ算出部52を部品搭載装置M3に設けた構成例を示しているが、キャリブレーションデータ算出部52を部品搭載装置M3以外の他装置、例えば情報管理装置3に設けてもよい。すなわち、キャリブレーションデータ算出部52を部品搭載装置M3に設けた構成例では、部品搭載装置M3がキャリブレーションデータ算出装置として機能する。また、キャリブレーションデータ算出部52を情報管理装置3に設けた構成例では、情報管理装置3がキャリブレーションデータ算出装置として機能する。 This calibration data is calculated based on the component mounting deviation data. As described below, the component mounting deviation data relates to component mounting deviations measured by the mounted component inspection device M4 for multiple component-mounted boards 4P and fed back to the component mounting device M3. In this embodiment, a configuration example is shown in which the calibration data calculation unit 52 having the above-mentioned functions is provided in the component mounting device M3, but the calibration data calculation unit 52 may be provided in another device other than the component mounting device M3, such as the information management device 3. That is, in a configuration example in which the calibration data calculation unit 52 is provided in the component mounting device M3, the component mounting device M3 functions as the calibration data calculation device. Also, in a configuration example in which the calibration data calculation unit 52 is provided in the information management device 3, the information management device 3 functions as the calibration data calculation device.

部品搭載作業において、部品搭載装置M3は、キャリブレーションデータを使用して、実装点に部品を搭載する際の部品保持ノズル37bの停止位置を補正する。なお、本実施の形態においてキャリブレーションデータ算出部52は、はんだ部検査装置M2によりはんだ部の状態の検査結果が良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータを、キャリブレーションデータの算出の対象から除外する。 During component mounting work, the component mounting device M3 uses the calibration data to correct the stopping position of the component holding nozzle 37b when mounting a component on a mounting point. In this embodiment, the calibration data calculation unit 52 excludes component mounting deviation data for components mounted on solder parts for which the solder part condition inspection result determined by the solder part inspection device M2 to be poor from the calculation of the calibration data.

次に搭載済部品検査装置M4の第2検査処理部20Bについて説明する。第2検査処理部20Bは、検査実行部61と、検査結果記憶部62と、判定基準記憶部63とを含む。検査実行部61は、カメラ26によって基板4における検査対象の部位を撮像させ、取得された画像を認識処理することにより、所定の検査対象項目について検査を行う。この検査は、部品搭載装置M3によって部品が搭載された部品搭載済基板4Pについて部品の搭載ずれを計測する部品搭載ずれ計測を含む。判定基準記憶部63は、部品の搭載ずれの合否を判定する位置ずれ判定基準63aを記憶している。検査実行部61は、部品搭載ずれが当該部品に対して設定されている位置ずれ判定基準63a(許容位置ずれ)を超過しているかどうか判断する。検査実行部61は、部品搭載ずれが範囲内であれば合格、超過していれば不合格(位置ずれ不良)と判断する。検査結果記憶部62は、検査実行部61による検査結果を記憶する。この検査結果は、上述の部品搭載ずれ計測によって取得された部品搭載ずれデータ62aを含む。 Next, the second inspection processing unit 20B of the mounted component inspection device M4 will be described. The second inspection processing unit 20B includes an inspection execution unit 61, an inspection result storage unit 62, and a judgment criterion storage unit 63. The inspection execution unit 61 inspects the specified inspection target items by imaging the part to be inspected on the board 4 with the camera 26 and performing recognition processing on the acquired image. This inspection includes a component mounting deviation measurement that measures the mounting deviation of the component mounted board 4P on which the component is mounted by the component mounting device M3. The judgment criterion storage unit 63 stores a position deviation judgment criterion 63a that judges whether the mounting deviation of the component is acceptable or not. The inspection execution unit 61 judges whether the component mounting deviation exceeds the position deviation judgment criterion 63a (allowable position deviation) set for the component. If the component mounting deviation is within the range, the inspection execution unit 61 judges it as acceptable, and if it exceeds the range, it judges it as unacceptable (position deviation defect). The inspection result storage unit 62 stores the inspection result by the inspection execution unit 61. This inspection result includes component placement deviation data 62a obtained by the component placement deviation measurement described above.

なお、判定基準記憶部43、63はRAM(ランダムアクセスメモリ)またはROM(リードオンリーメモリ)等で構成されている。参照データ記憶部3A、検査結果記憶部42、62は書き換え可能なRAMやハードディスク等で構成されている。検査実行部41、61、搭載制御部51、キャリブレーションデータ算出部52はCPU(中央演算処理装置)またはLSI(大規模集積回路)で構成されている。また情報管理装置3もCPUまたはLSIを含む。記憶部以外の構成は専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの2つ以上を一体に構成してもよい。さらに、第1検査処理部20A、搭載処理部30、第2検査処理部20Bの1つ以上を情報管理装置3と一体に構成してもよい。 The judgment criteria storage units 43 and 63 are composed of RAM (random access memory) or ROM (read only memory), etc. The reference data storage unit 3A and the inspection result storage units 42 and 62 are composed of rewritable RAM or hard disk, etc. The inspection execution units 41 and 61, the on-board control unit 51, and the calibration data calculation unit 52 are composed of a CPU (central processing unit) or an LSI (large scale integrated circuit). The information management device 3 also includes a CPU or an LSI. The components other than the storage unit may be composed of dedicated circuits, or general-purpose hardware may be controlled by software read from a transient or non-transient storage device. Two or more of these may be integrated together. Furthermore, one or more of the first inspection processing unit 20A, the on-board processing unit 30, and the second inspection processing unit 20B may be integrated with the information management device 3.

次に上述のように構成された実装基板製造システム1によって実行される実装基板製造方法の処理フローについて、図8を参照して説明する。ここでは、基板4にはんだ部6を形成するスクリーン印刷装置M1と、部品保持ノズル37bで部品を保持して基板4の実装点に搭載する部品搭載装置M3とを使用した実装基板製造方法を示している。 Next, the process flow of the mounting board manufacturing method executed by the mounting board manufacturing system 1 configured as described above will be described with reference to FIG. 8. Here, the mounting board manufacturing method is shown using a screen printing device M1 that forms solder parts 6 on the board 4, and a component mounting device M3 that holds components with a component holding nozzle 37b and mounts them on mounting points on the board 4.

まず、スクリーン印刷装置M1によって基板4にはんだ部6を形成する(ST1:はんだ部形成工程)。次に基板4をはんだ部検査装置M2に搬送し、ST1において基板4に形成されたはんだ部6の状態を検査する(ST2:はんだ部検査工程)。次いで基板4を部品搭載装置M3に搬送し、ST2におけるはんだ部6の検査が済んだ基板4の目標位置に、部品保持ノズル37bで部品を搭載する(ST3:部品搭載工程)。 First, the solder joints 6 are formed on the board 4 using the screen printing device M1 (ST1: solder joint formation process). Next, the board 4 is transported to the solder joint inspection device M2, and the state of the solder joints 6 formed on the board 4 is inspected in ST1 (ST2: solder joint inspection process). Next, the board 4 is transported to the component mounting device M3, and a component is mounted by the component holding nozzle 37b at the target position on the board 4 after the inspection of the solder joints 6 in ST2 has been completed (ST3: component mounting process).

次に基板4を搭載済部品検査装置M4に搬送し、ST3において部品が搭載された部品搭載済基板4Pについて部品の搭載ずれ、すなわちST3における部品の搭載目標位置からの位置ずれを計測する(ST4:搭載済部品検査工程)。計測された部品搭載ずれデータは、通信ネットワーク2を介して情報管理装置3へ送られる。 Next, the board 4 is transported to the mounted component inspection device M4, and the component mounting displacement of the component-mounted board 4P on which the components are mounted in ST3, i.e., the positional displacement from the target mounting position of the component in ST3, is measured (ST4: mounted component inspection process). The measured component mounting displacement data is sent to the information management device 3 via the communication network 2.

なお、ST1とST2とを連続して行わなくてもよい。例えば、はんだ部6を形成済の基板4を他の企業から購入し、そのような基板4を用いてST2からST5を実施してもよい。あるいは、前日に基板4にはんだ部6を形成し、翌日以降にST2からST5を実施してもよい。このような場合、はんだ部検査装置M2、部品搭載装置M3、搭載済部品検査装置M4、および情報管理装置3は、本実施の形態に係る部品搭載システムを構成する。また図8において、ST2~ST5は本実施の形態に係る部品搭載方法を示す。 Note that ST1 and ST2 do not have to be performed consecutively. For example, a board 4 with solder parts 6 already formed thereon may be purchased from another company, and ST2 to ST5 may be performed using such a board 4. Alternatively, solder parts 6 may be formed on the board 4 the previous day, and ST2 to ST5 may be performed the following day or later. In such a case, the solder part inspection device M2, component mounting device M3, mounted component inspection device M4, and information management device 3 constitute a component mounting system according to this embodiment. Also, in FIG. 8, ST2 to ST5 show a component mounting method according to this embodiment.

次にST2において実行されるはんだ部検査処理について、図9を参照して説明する。ここでは、基板4における検査対象の部位を撮像して取得した画像を認識処理することにより、形成されたはんだ部6の状態に関する所定の検査対象項目について検査を行う。 Next, the solder inspection process executed in ST2 will be described with reference to FIG. 9. Here, the part to be inspected on the board 4 is imaged and the acquired image is subjected to recognition processing to inspect the specified inspection target items related to the state of the formed solder 6.

この検査においては、検査実行部41は、カメラ26で撮像した画像から検査対象のはんだ部6の画像を取得する(ST11)。次に、検査実行部41は、判定基準記憶部43に記憶された第1の判定基準43a、第2の判定基準43bを読み出す(ST12)。次いで、検査実行部41は、画像を認識処理することにより印刷位置ずれ、印刷面積、印刷高さ、印刷体積を求める(ST13)。次いで検査実行部41は、第1の判定基準43aに基づき、はんだ部6の状態の合否を判定する(ST14)。ここで不合格であれば、検査結果記憶部42にこのはんだ部の検査結果が不合格として記憶される(ST18)。 In this inspection, the inspection execution unit 41 acquires an image of the solder part 6 to be inspected from the image captured by the camera 26 (ST11). Next, the inspection execution unit 41 reads out the first judgment criterion 43a and the second judgment criterion 43b stored in the judgment criterion memory unit 43 (ST12). Next, the inspection execution unit 41 determines the print position deviation, print area, print height, and print volume by performing a recognition process on the image (ST13). Next, the inspection execution unit 41 judges whether the condition of the solder part 6 is pass or fail based on the first judgment criterion 43a (ST14). If it is fail, the inspection result of this solder part is stored as fail in the inspection result memory unit 42 (ST18).

一方、ST14において合格であれば、検査実行部41は第2の判定基準43bに基づき、はんだ部6の状態の良否を判定する(ST15)。そして、その判定結果は検査結果記憶部42に記憶される(ST16,ST17)。そして、検査実行部41は、基板4の全てのはんだ部6の検査が完了したかどうかを確認し(ST19)、未検査のはんだ部6があればST11へ戻って処理を繰返す。すべてのはんだ部6の検査が完了すると、はんだ部検査装置M2は、検査が完了した基板4の基板IDと全てのはんだ部6の検査結果とを情報管理装置3へ出力する(ST20)。 On the other hand, if ST14 is passed, the inspection execution unit 41 judges whether the condition of the solder parts 6 is good or bad based on the second judgment criterion 43b (ST15). The judgment result is then stored in the inspection result memory unit 42 (ST16, ST17). The inspection execution unit 41 then checks whether inspection of all solder parts 6 on the board 4 has been completed (ST19), and if there are any solder parts 6 that have not been inspected, returns to ST11 and repeats the process. When inspection of all solder parts 6 is completed, the solder part inspection device M2 outputs the board ID of the inspected board 4 and the inspection results of all solder parts 6 to the information management device 3 (ST20).

なお、上記の説明では、ST14ではんだ部6の合否を判定し、合格したはんだ部6についてST15で状態が良好か否かを判定している。しかしながら、ST14を経由せず、ST15における判定を実施してもよい。ただし、ST14における判定をST15に先んじて実行することにより、ST14において検査結果が不合格となったはんだ部を含む基板4を部品搭載の対象から除外することができる。 In the above description, the pass/fail judgment of the solder parts 6 is made in ST14, and the condition of the solder parts 6 that pass is judged in ST15. However, the judgment in ST15 may be made without going through ST14. However, by making the judgment in ST14 before ST15, the boards 4 that include solder parts that fail the inspection in ST14 can be excluded from being targets for component mounting.

次にST4において実行される搭載済部品検査処理について、図10を参照して説明する。まず検査実行部61は、撮像した画像から検査対象の部品の画像を取得する(ST31)。次に、検査実行部61は、判定基準記憶部63に記憶された位置ずれ判定基準63aを読み出す(ST32)。次いで、検査実行部61は、取得した画像を認識処理することにより部品搭載ずれを計測する(ST33)。そして、検査実行部61は、計測した部品搭載ずれが当該部品に対して設定されている位置ずれ判定基準63aを超過しているかどうか判定する(ST34)。その判定結果は検査結果記憶部62に記憶される(ST35,ST36)。そして、検査実行部61は、基板4に搭載された全ての部品の検査が完了したかどうを確認し(ST37)、未検査の部品があればST31へ戻って処理を繰返す。すべての部品の検査が完了すると搭載済部品検査装置M4は、検査が完了した部品搭載済基板4Pの基板IDと全ての部品の検査結果とを情報管理装置3へ出力する(ST38)。なお、ST32はST31の前に実行しても、ST33の後に実行してもよい。 Next, the mounted component inspection process executed in ST4 will be described with reference to FIG. 10. First, the inspection execution unit 61 acquires an image of the component to be inspected from the captured image (ST31). Next, the inspection execution unit 61 reads out the positional deviation judgment criterion 63a stored in the judgment criterion storage unit 63 (ST32). Next, the inspection execution unit 61 measures the component mounting deviation by performing a recognition process on the acquired image (ST33). Then, the inspection execution unit 61 judges whether the measured component mounting deviation exceeds the positional deviation judgment criterion 63a set for the component (ST34). The judgment result is stored in the inspection result storage unit 62 (ST35, ST36). Then, the inspection execution unit 61 checks whether the inspection of all the components mounted on the board 4 is completed (ST37), and if there are any uninspected components, the process returns to ST31 and is repeated. When the inspection of all the components is completed, the mounted component inspection device M4 outputs the board ID of the component-mounted board 4P for which the inspection has been completed and the inspection results of all the components to the information management device 3 (ST38). Note that ST32 may be performed before ST31 or after ST33.

情報管理装置3の参照データ記憶部3Aには、はんだ部検査装置M2と搭載済部品検査装置M4とから送信されてきた検査結果の一部がキャリブレーション用参照データとして蓄積される。図11はキャリブレーション用参照データを視覚的に示している。キャリブレーション用参照データは、基板における複数の部品(装着点)のはんだ部検査と搭載済部品検査結果と部品搭載ずれとを含んでいる。装着点は、部品IDで識別されている。搭載済部品検査処理を終えた部品搭載済基板4Pの枚数が増えると、キャリブレーション用参照データの量が有効なキャリブレーションデータを得られるようになる。このようにキャリブレーション用参照データの量が十分に蓄積されたら、キャリブレーションデータ算出部52は、参照データ記憶部3Aから部品搭載ずれを取得する。そしてキャリブレーションデータ算出部52は、部品搭載装置M3の経時変動に起因する部品の搭載ずれを補正するためのキャリブレーションデータを部品(装着点)別に計算する。例えば、基板数枚分の部品別の部品搭載ずれの平均を求め、これに係数を乗じる等してキャリブレーションデータを計算する。 In the reference data storage unit 3A of the information management device 3, a part of the inspection results transmitted from the solder inspection device M2 and the mounted component inspection device M4 is stored as calibration reference data. FIG. 11 visually shows the calibration reference data. The calibration reference data includes the solder inspection results of multiple components (mounting points) on the board, the mounted component inspection results, and the component mounting deviation. The mounting points are identified by component IDs. As the number of component-mounted boards 4P that have completed the mounted component inspection process increases, the amount of calibration reference data becomes sufficient to obtain valid calibration data. When a sufficient amount of calibration reference data is accumulated in this way, the calibration data calculation unit 52 acquires the component mounting deviation from the reference data storage unit 3A. Then, the calibration data calculation unit 52 calculates calibration data for each component (mounting point) to correct the component mounting deviation caused by the aging fluctuation of the component mounting device M3. For example, the average component mounting deviation for each component for several boards is calculated, and the calibration data is calculated by multiplying this by a coefficient, etc.

キャリブレーションデータ算出部52は、キャリブレーションデータの作成において、はんだ部検査で良好でないと判定されはんだ部に搭載された部品の部品搭載ずれデータをキャリブレーションデータ算出の対象から除外している。具体的には、キャリブレーション用参照データに、はんだ部検査結果が良好でないとされている部品の部品搭載ずれをキャリブレーションデータ算出には使用しない。 When creating calibration data, the calibration data calculation unit 52 excludes component mounting misalignment data of components that are determined to be poor in the solder part inspection and are mounted on the solder part from the calibration data calculation. Specifically, component mounting misalignment of components that are determined to be poor in the solder part inspection results in the calibration reference data is not used in the calibration data calculation.

以下、その理由を述べる。部品搭載装置M3で実行されるキャリブレーションは、本来、部品搭載装置M3において発生する経時変動による位置ずれを補正することを目的とする。したがって、スクリーン印刷装置M1における印刷不良に起因して発生した部品搭載ずれについてのデータを、キャリブレーションデータの作成対象とすることは適切ではない。このようなデータを含めてキャリブレーションデータを作成すると、却って不適正な位置補正を行って実装位置精度を低下させる虞がある。なおここでは、印刷不良とは、図6に示した第1の判定基準43aを満たすものの、第2の判定基準43bを満たさないはんだ部の状態を意味する。 The reason for this is explained below. The calibration performed by component mounting device M3 is originally intended to correct positional deviations caused by fluctuations over time in component mounting device M3. Therefore, it is not appropriate to use data on component mounting deviations caused by printing defects in screen printing device M1 as the subject of calibration data creation. Creating calibration data including such data may result in inappropriate position correction, which could reduce mounting position accuracy. Note that printing defects here refer to the state of the solder part that meets the first judgment criterion 43a shown in FIG. 6 but does not meet the second judgment criterion 43b.

図12A、図12Bは、このようなスクリーン印刷装置M1における印刷不良に起因して発生する部品搭載ずれの例を示している。基板4に設けられた1対のランド5には、スクリーン印刷によりはんだ部6が形成され、はんだ部6が形成されたランド5には、両端部に接続用の端子7aを有するチップ型部品7が搭載される。しかしながら図12Aにおいて、1対のランド5のうちの一方には、はんだ高さが不均一で上面が一方に傾斜した形状の不良はんだ部6Nが形成されている。 Figures 12A and 12B show an example of component mounting misalignment caused by printing defects in such a screen printing device M1. A solder portion 6 is formed by screen printing on a pair of lands 5 provided on a substrate 4, and a chip-type component 7 having connection terminals 7a at both ends is mounted on the land 5 on which the solder portion 6 is formed. However, in Figure 12A, a defective solder portion 6N is formed on one of the pair of lands 5, with the solder height being uneven and the upper surface tilted to one side.

図12Bは、不良はんだ部6Nが形成されたランド5と正常なはんだ部6が形成されたランド5とにチップ型部品7を搭載して、端子7aを上方からランド5に不良はんだ部6Nとはんだ部6とを介して着地させた状態を示している。このとき、不良はんだ部6Nに上方から接近した端子7aは正しい位置に着地することができず、不良はんだ部6Nの上面の傾斜の状態に応じて横方向の位置ずれdmを生じた状態で着地する。その結果、チップ型部品7は位置ずれdmだけ基準位置からずれて搭載される。 Figure 12B shows a state in which a chip-type component 7 is mounted on a land 5 with a defective solder section 6N and a land 5 with a normal solder section 6, and the terminal 7a is landed on the land 5 from above via the defective solder section 6N and the solder section 6. At this time, the terminal 7a approaching the defective solder section 6N from above is unable to land in the correct position, and lands with a lateral positional deviation dm due to the inclination of the upper surface of the defective solder section 6N. As a result, the chip-type component 7 is mounted shifted from the reference position by the positional deviation dm.

搭載済部品検査装置M4において、このような状態のチップ型部品7を対象として搭載済部品検査を実行すると、従来技術では上述の位置ずれdmは発生原因に関係なく部品搭載ずれとして取り扱われる。そのため位置ずれdmもキャリブレーションデータの算出に用いられる。しかしながら、位置ずれdmは部品搭載装置M3における経時劣化とは全く無関係に発生する。そこで、本実施の形態においてはこのような印刷不良に起因して発生する部品搭載ずれについては、キャリブレーションデータの算出の対象から除外している。これにより、部品搭載装置M3にフィードバックされる部品搭載ずれ情報の取り扱いを適正化して、適正な位置補正結果を得ることができる。 When the mounted component inspection device M4 performs a mounted component inspection on a chip-type component 7 in this state, in the conventional technology, the above-mentioned positional deviation dm is treated as a component mounting deviation regardless of the cause of the deviation. Therefore, the positional deviation dm is also used in the calculation of the calibration data. However, the positional deviation dm occurs completely unrelated to deterioration over time in the component mounting device M3. Therefore, in the present embodiment, component mounting deviations caused by such printing defects are excluded from the calculation of the calibration data. This makes it possible to optimize the handling of the component mounting deviation information fed back to the component mounting device M3 and obtain appropriate position correction results.

本開示の実施の形態は以上であるが、本開示の要旨を逸脱しない範囲で変更を加えて実施してもよい。例えば、キャリブレーションデータの算出に際しては、AI(人工知能)を利用可能であり、学習機能を有する人工知能でキャリブレーションデータ算出部52を構成してもよい。この場合、人工知能の学習対象からはんだ部検査工程にて検査結果が良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品の部品搭載ずれをAIの学習データから除外することで、キャリブレーションデータの算出の対象から除外すればよい。なお、本開示は、はんだ部検査工程にて検査結果が良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品の部品搭載ずれをキャリブレーションデータの算出の対象から除外している。これに加えて他の問題のある部品搭載ずれを除外対象にすることを拒むものではない。例えば、搭載済部品検査結果で不良と判定された部品の部品搭載ずれを除外対象に含めてもよい。 The embodiment of the present disclosure has been described above, but modifications may be made without departing from the scope of the present disclosure. For example, AI (artificial intelligence) may be used to calculate the calibration data, and the calibration data calculation unit 52 may be configured with an artificial intelligence having a learning function. In this case, the component mounting misalignment of the component mounted on the solder part whose inspection result is determined to be poor in the solder part inspection process may be excluded from the target of the calculation of the calibration data by excluding it from the learning data of the AI from the learning target of the artificial intelligence. Note that the present disclosure excludes the component mounting misalignment of the component mounted on the solder part whose inspection result is determined to be poor in the solder part inspection process from the target of the calculation of the calibration data. In addition to this, it is not prohibited to exclude other problematic component mounting misalignments. For example, the component mounting misalignment of the component whose inspection result of the mounted component is determined to be poor may be included in the target of exclusion.

本開示のキャリブレーションデータ算出装置およびキャリブレーションデータ算出方法によれば、部品搭載装置にフィードバックされる部品搭載ずれ情報の取り扱いを適正化して、適正な位置補正結果を得ることができる。そのため、基板に電子部品を実装して実装基板を製造する技術分野において有用である。 The calibration data calculation device and calibration data calculation method disclosed herein can optimize the handling of component mounting deviation information fed back to a component mounting device, thereby obtaining appropriate position correction results. This makes them useful in the technical field of manufacturing mounted boards by mounting electronic components on a board.

1 実装基板製造システム
1a 部品実装ライン
2 通信ネットワーク
3 情報管理装置
3A 参照データ記憶部
4 基板
4P 部品搭載済基板
5 ランド
5c 中心
6 はんだ部
6c 中心
6H 高さ
6N 不良はんだ部
6S 面積
6V 体積
7 チップ型部品
7a 端子
10 スクリーン印刷制御部
11,21,31 基台
12 基板位置決め部
12a 印刷ステージテーブル
12b,14b 昇降機構
13 印刷ステージ
13a 昇降テーブル
14 基板サポート部
14a 基板サポートピン
15,35 基板搬送部
15a 第1コンベア
15b 第2コンベア
15c 第3コンベア
16 スクリーン印刷部
17 スキージ
17a 駆動機構
18 スクリーンマスク
19 カメラユニット
19a マスクカメラ
19b 基板カメラ
20A 第1検査処理部
20B 第2検査処理部
22 基板搬送部
24 検査ヘッド
24a 鏡筒部
24b 照明ユニット
25,38 移動機構
26 カメラ
27 ハーフミラー
28 照明光源部
28a 上段照明
28b 下段照明
28c 同軸照明
30 搭載処理部
32 台車
33 テープフィーダ
34 基板下受け部
34a サポートピン
34b 昇降機構
36 部品認識カメラ
37 搭載ヘッド
37a 移動部材
37b 部品保持ノズル
39 基板認識カメラ
41,61 検査実行部
42,62 検査結果記憶部
43,63 判定基準記憶部
43a 第1の判定基準
43b 第2の判定基準
51 搭載制御部
52 キャリブレーションデータ算出部
62a 部品搭載ずれデータ
63a 位置ずれ判定基準
M1 スクリーン印刷装置
M2 はんだ部検査装置
M3 部品搭載装置
M4 搭載済部品検査装置
1 Mounted board manufacturing system 1a Component mounting line 2 Communication network 3 Information management device 3A Reference data storage unit 4 Board 4P Board with components mounted 5 Land 5c Center 6 Solder part 6c Center 6H Height 6N Defective solder part 6S Area 6V Volume 7 Chip type component 7a Terminal 10 Screen printing control unit 11, 21, 31 Base 12 Board positioning unit 12a Print stage table 12b, 14b Lifting mechanism 13 Print stage 13a Lifting table 14 Board support unit 14a Board support pin 15, 35 Board transport unit 15a First conveyor 15b Second conveyor 15c Third conveyor 16 Screen printing unit 17 Squeegee 17a Drive mechanism 18 Screen mask 19 Camera unit 19a Mask camera 19b Board camera 20A First inspection processing unit 20B Second inspection processing unit 22 Board transport unit 24 Inspection head 24a Lens barrel section 24b Illumination unit 25, 38 Movement mechanism 26 Camera 27 Half mirror 28 Illumination light source section 28a Upper level illumination 28b Lower level illumination 28c Coaxial illumination 30 Mounting processing section 32 Cart 33 Tape feeder 34 Board under-receiving section 34a Support pin 34b Lifting mechanism 36 Component recognition camera 37 Mounting head 37a Moving member 37b Component holding nozzle 39 Board recognition camera 41, 61 Inspection execution section 42, 62 Inspection result storage section 43, 63 Judgment criterion storage section 43a First judgment criterion 43b Second judgment criterion 51 Mounting control section 52 Calibration data calculation section 62a Component mounting deviation data 63a Position deviation judgment criterion M1 Screen printing device M2 Solder portion inspection device M3 Component mounting device M4 Mounted component inspection device

Claims (6)

基板の実装点のはんだ部に部品を搭載する部品保持ノズルを有する部品搭載装置の経時変動に起因する前記部品の搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを、部品が搭載された複数の基板を計測して得られた部品の搭載位置のずれに関する部品搭載ずれデータに基づいて算出するキャリブレーションデータ算出装置であって、
はんだ部検査において良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータを前記キャリブレーションデータの算出の対象から除外する、キャリブレーションデータ算出装置。
A calibration data calculation device that calculates calibration data for correcting a displacement of a mounting position of a component caused by a time-dependent change in a component mounting device having a component holding nozzle that mounts components on a solder part of a mounting point of a board, based on component mounting displacement data relating to a displacement of the mounting position of the component obtained by measuring a plurality of boards on which components are mounted, comprising:
A calibration data calculation device that excludes component mounting misalignment data for components mounted on solder joints that have been determined to be unsatisfactory in a solder joint inspection from the calculation of the calibration data.
前記キャリブレーションデータの算出に人工知能を使用し、検査結果が良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータについては前記人工知能の学習データから除外する、請求項1記載のキャリブレーションデータ算出装置。 The calibration data calculation device according to claim 1, which uses artificial intelligence to calculate the calibration data, and excludes component mounting misalignment data for components mounted on solder parts whose inspection results are determined to be poor from the learning data of the artificial intelligence. 前記部品搭載ずれデータのうち、前記キャリブレーションデータの算出においては、不良と判定された部品搭載ずれを前記キャリブレーションデータの算出の対象から除外する、請求項1記載のキャリブレーションデータ算出装置。 The calibration data calculation device according to claim 1, wherein, in the calculation of the calibration data, component mounting deviations determined to be defective among the component mounting deviation data are excluded from the calculation of the calibration data. 基板の実装点のはんだ部に部品を搭載する部品保持ノズルを有する部品搭載装置の経時変動に起因する前記部品の搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを、部品が搭載された複数の基板を計測して得られた部品の搭載位置のずれに関する部品搭載ずれデータに基づいて算出するキャリブレーションデータ算出方法であって、
はんだ部検査において良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータを前記キャリブレーションデータの算出の対象から除外する、キャリブレーションデータ算出方法。
A calibration data calculation method for calculating calibration data for correcting a displacement of a mounting position of a component caused by a time-dependent change in a component mounting device having a component holding nozzle that mounts components on a solder part of a mounting point of a board, based on component mounting displacement data relating to a displacement of the mounting position of the component obtained by measuring a plurality of boards on which components are mounted, comprising:
A calibration data calculation method, comprising excluding component mounting misalignment data for components mounted on solder joints that have been determined to be poor in a solder joint inspection from the calculation of the calibration data.
前記キャリブレーションデータの算出に人工知能を使用し、検査結果が良好ではないと判定されたはんだ部に搭載された部品についての部品搭載ずれデータについては前記人工知能の学習データから除外する、請求項4記載のキャリブレーションデータ算出方法。 The calibration data calculation method according to claim 4, wherein artificial intelligence is used to calculate the calibration data, and component mounting deviation data for components mounted on solder parts determined to have poor inspection results is excluded from the learning data of the artificial intelligence. 前記部品搭載ずれデータのうち、前記キャリブレーションデータの算出においては、不良と判定された部品搭載ずれを前記キャリブレーションデータの算出の対象から除外する、請求項4記載のキャリブレーションデータ算出方法。 The calibration data calculation method according to claim 4, wherein, in the calculation of the calibration data, component mounting deviations determined to be defective among the component mounting deviation data are excluded from the calculation of the calibration data.
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