JP7489936B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
先端と該先端とは反対側の後端とを有し、被測定ガスを導入して流通させる被測定ガス流通部が内部に設けられた素子本体を備え、前記被測定ガス流通部の入口であるガス導入口から前記被測定ガス流通部に流入した前記被測定ガス中の第1特定ガスの濃度を検出するための検出部を備えたセンサ素子と、
前記センサ素子の前記先端及び前記ガス導入口が内部に配置されるセンサ素子室を内側に有し、該センサ素子室への入口である1以上の素子室入口と該センサ素子室からの出口である1以上の素子室出口とが配設された筒状の内側保護カバーと、
前記被測定ガスの外部からの入口である1以上の外側入口と前記被測定ガスの外部への出口である1以上の外側出口とを有し、前記内側保護カバーの外側に配設された筒状の外側保護カバーと、
を備え、
前記センサ素子は、前記被測定ガス中の前記第1特定ガスとは異なる第2特定ガスの濃度に応じた起電力を生じる混成電位セルを備え、
前記混成電位セルは、前記素子本体の外部かつ前記ガス導入口よりも後方に配設された検知電極を備え、
前記検知電極は、前記センサ素子室の内部に配置され、
前記内側保護カバーは、前記センサ素子の周囲を囲む筒状の第1部材と、該第1部材の周囲を囲む筒状の第2部材とを有し、前記素子室入口として、前記第1部材に配設された1以上の第1入口と、前記第1部材及び前記第2部材の間の隙間として形成された1以上の第2入口と、を有し、
前記第2入口の前記センサ素子室側の開口は、前記検知電極及び前記第1入口よりも前方に配置され、かつ、前方に向けて開口し、
前記検知電極を覆う多孔質の保護層を備え、
前記1以上の前記第1入口のうちの少なくとも1つは、前記第1部材の軸線方向に垂直な仮想平面に前記第1部材及び前記センサ素子を垂直投影した仮想投影図において、前記センサ素子のうち前記検知電極が配設された配設面に垂直で前記配設面の中心から前記素子本体とは反対側に引いた第1直線と、前記配設面の前記中心から前記第1入口の中心に向けて引いた第2直線と、のなす角度θが73.6°以下となるように配置されている、
ものである。
(ガスセンサの作製)
上述のガスセンサ100を作製した。実施例1では、素子本体20の厚みを1.4mmとし、素子本体20の前端面20eから検知電極56の前端までの距離K1が7.5mmとなる位置に検知電極56を配設し、素子本体20の上面20aからの上下方向の長さである距離K3が0.1mmとなる位置に被測定ガス導入口21aを配設し、検知電極56よりも前方に外側電極24を配設した。また、第1円筒部134の外径の半径R1を4.7mm、第2円筒部136の内径の半径R2を5.3mmとした。第1円筒部134には、直径D1が1.0mmの孔125aを周方向に等間隔に6個(6等配)形成した。また、実施例1では、素子本体20の前端面20eから第2入口127までの前後方向の距離K2が1.7mmとなり、検知電極56が第1入口125の各孔125aの後端よりも後方に配設され、第1入口125から検知電極56までの最短経路長L1の最小値が第2入口127から検知電極56までの最短経路長L2よりも短かくなるように、センサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整した。実施例1では、角度θが最も小さい孔125aの角度θ(角度θの最小値)が0°となるように、センサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整した。
得られたガスセンサ100を用い、出力特性を確認した。具体的には、まず、ガスセンサ100を図1と同様に配管に固定し、O2濃度10%、H2O濃度5%の被測定ガス(アンモニア濃度0ppm、ベースガスは窒素ガス)を配管に流した。そして、配管内に流す被測定ガスのアンモニア濃度を0ppmから500ppmに変化させて、ガスセンサ100の出力値(起電力EMF及びポンプ電流Ip2)を測定した。アンモニア濃度を変化させる直前のガスセンサ100の出力値を0%、アンモニア濃度を500ppmにしてガスセンサ100の出力が安定したときの出力値を100%として、出力値が100%のときの出力値を感度、出力値が10%を超えたときから90%を超えるまでの経過時間を特定ガスに対する応答時間として評価した。起電力EMFが大きいほど、アンモニアに対する感度が良好であることを示し、起電力EMFの応答時間が短いほど、アンモニアに対する応答性が良好であることを示す。また、ポンプ電流Ip2の応答時間が短いほど、NOxに対する応答性が良好であることを示す。なお、NOx濃度の測定に用いられるポンプ電流Ip2は、アンモニアによっても出力がわずかに変動するため、アンモニア濃度を変化させたときのIp2の応答時間を調べることで、NOxに対する応答性を判断できる。結果を表1に示す。
実施例2は、センサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整して、角度θの最小値を23.5°にした以外は実施例1と同様とした。実施例3は、センサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整して、角度θの最小値を31.2°にした以外は実施例1と同様とした。実施例4は、素子本体20の厚みを1.5mm、第1円筒部134の外径の半径R1を5.0mmに変更し、角度θの最小値が34.7°になるようにセンサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整した以外は実施例1と同様とした。実施例5は、素子本体20の厚みを1.5mm、第1円筒部134の外径の半径R1を3.0mmに変更し、角度θの最小値が39.1°になるようにセンサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整した以外は実施例1と同様とした。実施例6は、素子本体20の厚みを3.0mm、第1円筒部134の外径の半径R1を3.0mmに変更し、角度θの最小値が53.8°となるようにセンサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整した以外は実施例1と同様とした。実施例7は、孔125aの個数を4個(4等配)とし、角度θの最小値が73.6°になるようにセンサ素子110と内側保護カバー130との配置を調整した以外は実施例6と同様とした。なお、実施例1~7において、内側保護カバー130の板厚(厚み)は一定とした。
表1に、実施例1~7の各々について、アンモニアに対する感度(起電力EMFの値)、アンモニアに対する応答時間(起電力EMFの応答時間)、NOxに対する応答時間(ポンプ電流Ip2の応答時間)を示す。表1に示すように、第1円筒部134に第1入口125を設けることで、アンモニアに対する感度を高め(出力値160mV以上)、アンモニアに対する応答時間を短く(0.9s以下)できた。また、NOxに対する応答時間も比較的短く(約1.0s)保つことができた。実施例1~7では、いずれも角度θの最小値が73.6°以下であるが、これらでは、アンモニアに対する感度をより高める(出力値160mV以上)とともにアンモニアに対する応答時間をより短く(0.9s以下)できた。また、角度θの最小値が39.1°以下ではアンモニアに対する感度をさらに高める(出力値180mV以上)とともにアンモニアに対する応答時間をさらに短く(0.8s以下)でき、角度θの最小値が34.7°以下ではアンモニアに対する感度をより一層高める(出力値190mV以上)とともにアンモニアに対する応答時間をより一層短く(0.7s以下)できた。なお、実施例1~7のガスセンサで上述のような出力特性の評価を繰り返したところ、角度θの最小値が23.5°と小さい実施例2では実施例3~7よりも早く感度が低下し、角度θが0°の実施例1では実施例2よりも早く感度が低下する傾向が見られた。このことから、検知電極56の劣化を抑制する観点からは、角度θの最小値が23.5°以上であることが好ましく、31.2°以上であることがより好ましいことがわかった。
Claims (8)
- 先端と該先端とは反対側の後端とを有し、被測定ガスを導入して流通させる被測定ガス流通部が内部に設けられた素子本体を備え、前記被測定ガス流通部の入口であるガス導入口から前記被測定ガス流通部に流入した前記被測定ガス中の第1特定ガスの濃度を検出するための検出部を備えたセンサ素子と、
前記センサ素子の前記先端及び前記ガス導入口が内部に配置されるセンサ素子室を内側に有し、該センサ素子室への入口である1以上の素子室入口と該センサ素子室からの出口である1以上の素子室出口とが配設された筒状の内側保護カバーと、
前記被測定ガスの外部からの入口である1以上の外側入口と前記被測定ガスの外部への出口である1以上の外側出口とを有し、前記内側保護カバーの外側に配設された筒状の外側保護カバーと、
を備え、
前記センサ素子は、前記被測定ガス中の前記第1特定ガスとは異なる第2特定ガスの濃度に応じた起電力を生じる混成電位セルを備え、
前記混成電位セルは、前記素子本体の外部かつ前記ガス導入口よりも後方に配設された検知電極を備え、
前記検知電極は、前記センサ素子室の内部に配置され、
前記内側保護カバーは、前記センサ素子の周囲を囲む筒状の第1部材と、該第1部材の周囲を囲む筒状の第2部材とを有し、前記素子室入口として、前記第1部材に配設された1以上の第1入口と、前記第1部材及び前記第2部材の間の隙間として形成された1以上の第2入口と、を有し、
前記第2入口の前記センサ素子室側の開口は、前記検知電極及び前記第1入口よりも前方に配置され、かつ、前方に向けて開口し、
前記検知電極を覆う多孔質の保護層を備え、
前記1以上の前記第1入口のうちの少なくとも1つは、前記第1部材の軸線方向に垂直な仮想平面に前記第1部材及び前記センサ素子を垂直投影した仮想投影図において、前記センサ素子のうち前記検知電極が配設された配設面に垂直で前記配設面の中心から前記素子本体とは反対側に引いた第1直線と、前記配設面の前記中心から前記第1入口の中心に向けて引いた第2直線と、のなす角度θが73.6°以下となるように配置されている、
ガスセンサ。 - 前記第1部材には複数の前記第1入口が配設されており、前記仮想投影図において、前記配設面の前記中心を回転中心にして前記第1直線を73.6°回転した直線を第3直線とし、前記第1直線を前記第3直線とは反対に73.6°回転した直線を第4直線とし、前記第3直線と前記第1部材の内周面との交点を第1交点とし、前記第4直線と前記第1部材の前記内周面との交点を第2交点とすると、前記第1部材の周方向において、隣合う前記第1入口の前記中心同士の間隔が、前記第1交点と前記第2交点との間隔以下となるように、全ての前記第1入口が配設されている、
請求項1に記載のガスセンサ。 - 全ての前記第1入口は、前記角度θが23.5°以上となるように配置されている、
請求項1又は2に記載のガスセンサ。 - 前記1以上の前記第1入口のうちの少なくとも1つは、前記角度θが39.1°以下となるように配置されている、
請求項1~3のいずれか1項に記載のガスセンサ。 - 前記検出部は、前記素子本体の外部に配設された外側電極を備え、
前記検知電極は、前記外側電極よりも後方に配設されている、
請求項1~4のいずれか1項に記載のガスセンサ。 - 前記1以上の前記第1入口のうちの少なくとも1つは、前記第1入口から前記検知電極までの最短経路長L1が、前記第2入口から前記検知電極までの最短経路長L2よりも短い位置に配置されている、
請求項1~5のいずれか1項に記載のガスセンサ。 - 全ての前記第1入口は、前記第1入口を該第1入口の軸線方向に平行に前記素子本体の表面に向けて投影した投影領域に前記検知電極が重ならない位置に配置されている、
請求項1~6のいずれか1項に記載のガスセンサ。 - 前記第1部材は、円筒状の側部を有し、前記第1入口は、前記第1部材の前記側部に配設された孔である、
請求項1~7のいずれか1項に記載のガスセンサ。
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