JP7485996B1 - 電子線照射装置 - Google Patents
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 2
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000020411 cell activation Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
Description
図1は、本開示に係る電子線照射装置1の側面図を示す。電子線照射装置1は、電子線を発生させる電極部(不図示)を収容する筒状の真空チャンバー10と、真空チャンバー10内を排気する真空ポンプ20と、を備える。以下、各部につい説明する。
次に、図3を参照して、本開示に係る他の電子線照射装置100について説明する。図3は、電子線照射装置100の概略側面図である。図1等を参照して説明した内容については、その説明を省略する。
本開示の態様1に係る電子線照射装置は、電子線を発生させる電極部を収容する筒状の真空チャンバーと、前記真空チャンバー内を排気する真空ポンプと、を備え、前記真空ポンプの吸気口が、前記真空チャンバーの排気口に接続される。
10 真空チャンバー
11 チャンバー本体
12 出射窓
13 排気口
14 電極部
20 真空ポンプ
22 吸気口
30 遮蔽部
31 傾斜板
50 X線遮蔽部
70 変換フランジ
S1 中心軸
S2 フランジ軸
Claims (5)
- 電子線を発生させる電極部を収容する筒状の真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内を排気する真空ポンプと、を備え、
前記真空ポンプの吸気口が、前記真空チャンバーの排気口に接続され、
前記吸気口は、前記電極部から放射される熱を遮蔽する遮蔽部を介して、前記排気口に接続され、
前記遮蔽部は、前記真空チャンバーの中心軸に対して傾斜する複数の傾斜板を有する、電子線照射装置。 - 前記複数の傾斜板は、前記電極部から前記真空ポンプが視認できない、又は、前記真空チャンバーの出射窓から前記真空ポンプが視認できないように設けられる、請求項1に記載の電子線照射装置。
- 前記吸気口のフランジ軸は、前記真空チャンバーの中心軸と同軸に設けられる、請求項1または2に記載の電子線照射装置。
- 前記吸気口のフランジ軸は、前記真空チャンバーの中心軸を起点として、前記真空チャンバーの出射窓から遠ざかる方向に変位して設けられる、請求項1または2に記載の電子線照射装置。
- 前記吸気口は、口径調整用の変換フランジを介して前記排気口に接続される、請求項4に記載の電子線照射装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023028901A JP7485996B1 (ja) | 2023-02-27 | 2023-02-27 | 電子線照射装置 |
PCT/JP2024/001779 WO2024180945A1 (ja) | 2023-02-27 | 2024-01-23 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023028901A JP7485996B1 (ja) | 2023-02-27 | 2023-02-27 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7485996B1 true JP7485996B1 (ja) | 2024-05-17 |
JP2024121679A JP2024121679A (ja) | 2024-09-06 |
Family
ID=91067351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023028901A Active JP7485996B1 (ja) | 2023-02-27 | 2023-02-27 | 電子線照射装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7485996B1 (ja) |
WO (1) | WO2024180945A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148229A (ja) | 2000-09-25 | 2002-05-22 | Samsung Electronics Co Ltd | X線電子分光分析器 |
JP2018066700A (ja) | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 岩崎電気株式会社 | 電子線照射装置 |
JP2019152131A (ja) | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP2021189038A (ja) | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置及び電子線照射装置の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5027557B1 (ja) * | 1970-11-05 | 1975-09-08 | ||
JPH04127599U (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-20 | 日新ハイボルテージ株式会社 | 電子線照射装置 |
JP3426734B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2003-07-14 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ |
JP3622158B2 (ja) * | 1995-06-02 | 2005-02-23 | 株式会社リガク | X線発生装置 |
JP3879169B2 (ja) * | 1997-03-31 | 2007-02-07 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
-
2023
- 2023-02-27 JP JP2023028901A patent/JP7485996B1/ja active Active
-
2024
- 2024-01-23 WO PCT/JP2024/001779 patent/WO2024180945A1/ja unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148229A (ja) | 2000-09-25 | 2002-05-22 | Samsung Electronics Co Ltd | X線電子分光分析器 |
JP2018066700A (ja) | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 岩崎電気株式会社 | 電子線照射装置 |
JP2019152131A (ja) | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP2021189038A (ja) | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置及び電子線照射装置の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2024180945A1 (ja) | 2024-09-06 |
JP2024121679A (ja) | 2024-09-06 |
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