JP7480145B2 - 電極改質のための自己集合単分子層およびそのような自己集合単分子層を含むデバイス - Google Patents
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Description
背景
有機電子材料は、広範な電子デバイス、たとえば、いくつか例を挙げるだけでも、有機光検出器(OPD)、有機光起電力セル(OPV)、有機発光ダイオード(OLED)および有機電界効果トランジスタ(OFET)においてその存在感を確立している。有機電子材料は、下にある基板上に溶液処理によって堆積させることができるため、有機材料は、簡易で柔軟性の高い製造を可能にすることが見込まれ、製造コストの削減につながる可能性もある。
概要
本発明者らは今回、驚くべきことに、上記の目的が、ここで開示する有機電子デバイスおよびその製造方法により個別に、または任意の組み合わせの何れかで達成できることを発見した。
R1-SiX3 (I)
の化合物と、式R2-OHのアルコール
(式中、
R1は、それぞれの出現において独立して、1~10個の炭素原子を有し、少なくとも1つの電子求引性基RAで置換されているアルキル、または6~30個の芳香族炭素環原子を有し、少なくとも1つの電子求引性基で置換されているアリールであり;
R2は、1~10個の炭素原子を有するアルキル基であり;
Xは、それぞれの出現において独立してハロゲンまたは1~10個の炭素原子を有するアルコキシである)
との反応生成物を堆積させることにより形成されている、有機電子デバイスを提供する。
(a)電極を、任意に基板上に、設ける工程;
(b)前記電極上に、式(I)
R1-SiX3 (I)
の化合物と、式R2-OHのアルコール
(式中、
R1は、それぞれの出現において独立して、1~10個の炭素原子を有し、少なくとも1つの電子求引性基RAで置換されているアルキル、または6~30個の芳香族炭素環原子を有し、少なくとも1つの電子求引性基RAで置換されているアリールであり;
R2は、1~10個の炭素原子を有するアルキル基であり;
Xは、それぞれの出現において独立してハロゲンまたは1~10個の炭素原子を有するアルコキシである)
とを含む調合物を堆積させて自己集合単分子層を得る工程;および
(c)前記自己集合単分子層上に、有機半導体材料を堆積させて有機半導体層を得る工程
を含む、方法も提供する。
R1-SiX3 (I)
の化合物と、式R2-OHのアルコール(式中、R1、R2およびXは、ここで定義する通りである)を含む調合物を堆積させることにより形成されている。
R1-SiX2(OR2) (I-a)
R1-SiX(OR2)2 (I-b)
R1-Si(OR2)3 (I-c)
の化合物を形成すると考えられ、理論によって拘束されることを望むものではないが、この中で、式(I-c)が大部分の化合物、場合によっては唯一の化合物となると考えられる。
bは、それぞれの出現において独立して少なくとも1かつ10以下の整数、好ましくは5以下の整数であり;
cは、それぞれの出現において少なくとも1かつ2b+1以下の整数、好ましくは2b+1であり;
dは、それぞれの出現において少なくとも0かつ2b以下の整数、好ましくは0であり;
ただし、cとdの合計は2b+1、即ち、c+d=2b+1であり;
eは、それぞれの出現において独立して少なくとも1かつ5以下の整数、好ましくは5であり;
RAは、ここで定義する通りの電子求引性基である)
の何れか1つの基である。
からなる群から独立して選択されてもよいポリマーまたはコポリマーであってもよい。
Ra-M-Rb (V-a)
(式中、Mは、ここで定義する通りであり、RaおよびRbは、不活性化学基である)で表されてもよい。そのような不活性化学基RaおよびRbは、水素、フッ素、1~10個の炭素原子を有するアルキル、1~10個の炭素原子を有し、1つ以上、たとえば全ての水素がフッ素で置きかえられていてもよいアルキル、5~30個の炭素原子の芳香族環系、および1個以上の水素原子が、他の何れからも独立してフッ素または1~10個の炭素原子を有するアルキルにより置きかえられていてもよい、5~30個の炭素原子の芳香族環系からなる群から互いに独立して選択されてもよい。
群Aは、セレノフェン-2,5-ジイル、チオフェン-2,5-ジイル、チエノ[3,2-b]チオフェン-2,5-ジイル、チエノ[2,3-b]チオフェン-2,5-ジイル、セレノフェノ[3,2-b]セレノフェン-2,5-ジイル、セレノフェノ[2,3-b]セレノフェン-2,5-ジイル、セレノフェノ[3,2-b]チオフェン-2,5-ジイル、セレノフェノ[2,3-b]チオフェン-2,5-ジイル、ベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ジチオフェン-2,6-ジイル、2,2-ジチオフェン、2,2-ジセレノフェン、ジチエノ[3,2-b:2’,3’-d]シロール-5,5-ジイル、4H-シクロペンタ[2,1-b:3,4-b’]ジチオフェン-2,6-ジイル、2,7-ジ-チエン-2-イル-カルバゾール、2,7-ジ-チエン-2-イル-フルオレン、インダセノ[1,2-b:5,6-b’]ジチオフェン-2,7-ジイル、ベンゾ[1’’,2’’:4,5;4’’,5’’:4’,5’]ビス(シロロ[3,2-b:3’,2’-b’]チオフェン)-2,7-ジイル、2,7-ジ-チエン-2-イル-インダセノ[1,2-b:5,6-b’]ジチオフェン、2,7-ジ-チエン-2-イル-ベンゾ[1’’,2’’:4,5;4’’,5’’:4’,5’]ビス(シロロ[3,2-b:3’,2’-b’]チオフェン)-2,7-ジイル、および2,7-ジ-チエン-2-イル-フェナントロ[1,10,9,8-c,d,e,f,g]カルバゾールからなり、これらの全ては、先に定義した通りの1つ以上、好ましくは1または2つの基Rにより任意に置換されていてもよく、
群Bは、ベンゾ[2,1,3]チアジアゾール-4,7-ジイル、5,6-ジアルキル-ベンゾ[2,1,3]チアジアゾール-4,7-ジイル、5,6-ジアルコキシベンゾ[2,1,3]チアジアゾール-4,7-ジイル、ベンゾ[2,1,3]セレナジアゾール-4,7-ジイル、5,6-ジアルコキシ-ベンゾ[2,1,3]セレナジアゾール-4,7-ジイル、ベンゾ[1,2,5]チアジアゾール-4,7,ジイル、ベンゾ[1,2,5]セレナジアゾール-4,7,ジイル、ベンゾ[2,1,3]オキサジアゾール-4,7-ジイル、5,6-ジアルコキシベンゾ[2,1,3]オキサジアゾール-4,7-ジイル、2H-ベンゾトリアゾール-4,7-ジイル、2,3-ジシアノ-1,4-フェニレン、2,5-ジシアノ,1,4-フェニレン、2,3-ジフルオロ-1,4-フェニレン、2,5-ジフルオロ-1,4-フェニレン、2,3,5,6-テトラフルオロ-1,4-フェニレン、3,4-ジフルオロチオフェン-2,5-ジイル、チエノ[3,4-b]ピラジン-2,5-ジイル、キノキサリン-5,8-ジイル、チエノ[3,4-b]チオフェン-4,6-ジイル、チエノ[3,4-b]チオフェン-6,4-ジイル、および3,6-ピロロ[3,4-c]ピロール-1,4-ジオンからなり、これらは全て、先に定義した通りの1つ以上、好ましくは1または2つの基Rにより任意に置換されていてもよい。
Rc-M-Rd (V-b)
(式中、Mは、ここで定義する通りであり、RcおよびRdは、Rcに関して先に定義した通りの反応性化学基である)で表される。そのようなモノマーは一般に、当業者に周知の方法に従い調製されてもよい。
(a)ここで定義する通りの電極を、任意にここで定義する通りの基板上に、設ける工程;
(b)前記電極上に、ここで定義する通りの式(I)の化合物と、ここで定義する通りの式R2-OHのアルコールを含む調合物を堆積させて自己集合単分子層を得る工程;および
(c)前記自己集合単分子層上に、有機半導体材料を堆積させて有機半導体層を得る工程
を含む、方法に関する。
(d)ここで定義する通りの誘電材料を、ゲート絶縁体層として有機半導体層上に堆積させる工程;
(e)ゲート電極をゲート絶縁体層上に堆積させる工程;および
(f)任意に、不動態化層をゲート電極上に堆積させる工程
を追加で、好ましくはこのような順序で含んでもよい。
(o)ゲート電極を基板上に堆積させる工程;および
(o’)誘電材料をゲート絶縁体層としてゲート電極上に堆積させる工程
をさらに含んでもよい。
(d)不動態化層を有機半導体層上に堆積させる工程
をさらに含んでもよい。
本願の利点を、下記の非限定例により例示する。
等式(eq.1):
仕事関数は、自己集合単分子層(SAM)がある電極とない電極について、ケルビンプローブを使用して判定し、ここで、自己集合単分子層は、ガラス基板上のそれぞれの電極を、F5C6-SiCl3のイソプロパノール(iPr-OH)溶液に浸漬することによって調製した。したがって、理論によって拘束されることを望むものではないが、そのような溶液は、おそらくは活性種としてF5C6-Si(O-iPr)3を主として含む。それぞれの結果を表1に示す。
ガラス上のインジウムスズ酸化物(ITO)電極をスピンコーターに入れ、F5C6-SiCl3のイソプロパノール(iPr-OH)溶液と1分間接触させた。したがって、理論によって拘束されることを望むものではないが、そのような溶液は、おそらくは活性種としてF5C6-Si(O-iPr)3を主として含み、それにより自己集合単分子層を形成する。過剰な溶液をスピンオフし、続いてイソプロパノールでのすすぎを行った。次いで、結果として得られた自己集合単分子層の上に、インダセノジチオフェンとベンゾチアジアゾールの誘導体を含む有機半導体材料の層を堆積させた。
例2の調製を繰り返したが、自己集合単分子層の調製に、イソプロパノール中のF5C6-SiCl3に代えてイソプロパノール中のパラクロロベンゼンホスファート(下記の式(III)を参照)を使用した点が異なる。
Claims (13)
- 電極、前記電極上の自己集合単分子層、および前記自己集合単分子層上の有機半導体層を含む有機電子デバイスを製造する方法であって、
(a)電極を、任意に基板上に、設ける工程;
(b)前記電極上に、式(I)
R1-SiX3 (I)
の化合物と、式R2-OHのアルコール
(式中、
R 1 は、それぞれの出現において、少なくとも1つのR A で置換されている(II-b)
eは、それぞれの出現において独立して少なくとも1かつ5以下の整数である)
の何れかから独立して選択される基であり;
R2は、1~10個の炭素原子を有するアルキル基であり;
Xは、それぞれの出現において独立してClであり;
R A では、Fである。)
とを含む反応生成物を堆積させて自己集合単分子層を得る工程;および
(c)前記自己集合単分子層上に、有機半導体材料を堆積させて有機半導体層を得る工程を含む、方法。 - 前記自己集合単分子層が、前記電極上に、式(I)の前記化合物と式R2-OHの前記アルコールを含む調合物を堆積させることにより形成されている、請求項1に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- eが5である、請求項1または請求項2に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 電極は、金属もしくは電気伝導性金属酸化物、またはそれらのブレンドを含む、請求項1から4の何れか1項に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 電極は、クロム、モリブデン、タングステン、コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、白金、金、銀、およびこれらの何れかの任意のブレンドからなる群から選択される、請求項1から5の何れか1項に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 電極は、クロム、モリブデンおよびタングステンからなる群から選択される金属を含む、請求項1から6の何れか1項に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 電極は、インジウムスズ酸化物(ITO)、酸化モリブデン、酸化スズ、およびこれらの何れかの任意のブレンドからなる群から選択される電気伝導性金属酸化物を含む、請求項1から7の何れか1項に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 前記電極がインジウムスズ酸化物電極である、請求項8に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- R2が、1~5個の炭素原子を有するアルキルである、請求項1から9の何れか1項に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- R2が、イソプロピルである、先行する請求項10に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 前記有機電子デバイスが、有機電界効果トランジスタ(OFET)、有機薄膜トランジスタ(OTFT)、有機発光ダイオード(OLED)、有機発光トランジスタ(OLET)、有機光起電力デバイス(OPV)、有機光検出器(OPD)、有機ソーラーセル、レーザーダイオード、ショットキーダイオード、光伝導体および光検出器からなる群から選択される、請求項1から11の何れか1項に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
- 前記有機電子デバイスが、有機電界効果トランジスタ(PFET)または有機薄膜トランジスタ(OTFT)である、請求項12に記載の有機電子デバイスを製造する方法。
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