JP7467761B2 - 反射体駆動装置 - Google Patents

Description

本開示は、例えばカメラ付き携帯機器等に搭載される反射体駆動装置に関する。

従来、プリズムを２つの揺動軸の回りで揺動可能となるように支持する防振ユニットを備えた撮像装置が知られている（特許文献１参照。）。この防振ユニットは、プリズムを保持し且つ第１揺動軸の回りで揺動可能な第１ホルダーブロックと、第１ホルダーブロックを揺動可能に支持し且つ第２揺動軸の回りで揺動可能な第２ホルダーブロックと、第２ホルダーブロックを揺動可能に支持する防振ベースと、を有する。

特開２０２０－１７７０６７号公報

この防振ユニットは、第１ホルダーブロックに固定された永久磁石と、第２ホルダーブロックに取り付けられたフレキシブル基板に固定されたコイルとで構成される駆動機構を備えている。

しかしながら、この防振ユニットは、永久磁石とコイルとで駆動機構を構成しているため、重量が大きくなってしまうおそれがある。

そこで、更なる軽量化が可能な反射体駆動装置を提供することが望まれる。

本発明の実施形態に係る反射体駆動装置は、光を屈曲させる反射体を保持可能な反射体保持部材と、前記反射体保持部材を第１軸の回りに揺動可能に支持する第１支持部材と、前記第１支持部材を前記第１軸の軸線方向に垂直な軸線方向を有する第２軸の回りに揺動可能に支持する第２支持部材と、前記反射体保持部材を含む可動側部材を、前記第２支持部材を含む固定側部材に対して揺動させる駆動機構と、を備えた反射体駆動装置において、前記第１支持部材は、前記反射体保持部材と前記第２支持部材との間に配置され、前記駆動機構は、前記固定側部材と前記反射体保持部材との間に設けられた複数の形状記憶合金ワイヤを含んで構成され、前記反射体保持部材は、前記形状記憶合金ワイヤへの通電によって揺動されるように構成されている。

上述の手段により、更なる軽量化が可能な反射体駆動装置が提供され得る。

反射体駆動装置の斜視図である。 図１の反射体駆動装置を含むカメラモジュールの概略図である。 図１の反射体駆動装置の分解斜視図である。 固定側部材の斜視図である。 固定側部材の分解斜視図である。 付勢部材の正面図である。 右斜め上前方から見た可動側部材の分解斜視図である。 右斜め上後方から見た可動側部材の分解斜視図である。 右斜め下後方から見た可動側部材の分解斜視図である。 反射体保持部材と第１支持部材との組み合わせの背面図である。 反射体保持部材と第１支持部材との組み合わせの断面図である。 反射体保持部材と第１支持部材との組み合わせの断面図である。 第１支持部材と第２支持部材との組み合わせの正面図である。 第１支持部材と第２支持部材との組み合わせの断面図である。 第１支持部材と第２支持部材との組み合わせの断面図である。 反射体保持部材と第２支持部材との間に配置された付勢部材を右斜め上前方から見たときの斜視図である。 反射体保持部材と第２支持部材との間に配置された付勢部材を左斜め上前方から見たときの斜視図である。 反射体保持部材と第２支持部材との間に配置された付勢部材の右側面図である。 右斜め上前方から見た右可動側金属部材の斜視図である。 左斜め上前方から見た左可動側金属部材の斜視図である。 右斜め上前方から見た右固定側金属部材の斜視図である。 左斜め上前方から見た左固定側金属部材の斜視図である。 左駆動機構を構成している形状記憶合金ワイヤ、左可動側金属部材、及び左固定側金属部材を右斜め上前方から見たときの斜視図である。 右駆動機構を構成している形状記憶合金ワイヤ、右可動側金属部材、及び右固定側金属部材を右斜め上前方から見たときの斜視図である。 右斜め上前方から見た導電部材の斜視図である。 右斜め上後方から見た導電部材の斜視図である。 第２支持部材に埋設された導電部材を右斜め上前方から見たときの斜視図である。 第２支持部材に埋設された導電部材を右斜め上後方から見たときの斜視図である。 右駆動機構の斜視図である。 第３ワイヤ、第４ワイヤ、右可動側金属部材、及び右固定側金属部材の右側面図である。 第３ワイヤ、第４ワイヤ、右可動側金属部材、及び右固定側金属部材の右側面図である。 第１支持部材、可動側金属部材、固定側金属部材、及び形状記憶合金ワイヤの断面図である。

以下、本発明の実施形態に係る反射体駆動装置１０１について図面を参照して説明する。図１は、反射体駆動装置１０１の斜視図である。図２は、反射体駆動装置１０１が搭載されたカメラ付き携帯機器におけるカメラモジュールの概略図である。図３は、反射体駆動装置１０１の分解斜視図である。

図１～図３のそれぞれにおけるＸ１は三次元直交座標系を構成するＸ軸の一方向を表し、Ｘ２はＸ軸の他方向を表す。また、Ｙ１は三次元直交座標系を構成するＹ軸の一方向を表し、Ｙ２はＹ軸の他方向を表す。同様に、Ｚ１は三次元直交座標系を構成するＺ軸の一方向を表し、Ｚ２はＺ軸の他方向を表す。本実施形態では、反射体駆動装置１０１のＸ１側は、反射体駆動装置１０１の前側（正面側）に相当し、反射体駆動装置１０１のＸ２側は、反射体駆動装置１０１の後側（背面側）に相当する。また、反射体駆動装置１０１のＹ１側は、反射体駆動装置１０１の左側に相当し、反射体駆動装置１０１のＹ２側は、反射体駆動装置１０１の右側に相当する。そして、反射体駆動装置１０１のＺ１側は、反射体駆動装置１０１の上側に相当し、反射体駆動装置１０１のＺ２側は、反射体駆動装置１０１の下側に相当する。他の図における他の部材についても同様である。

反射体駆動装置１０１は、図１に示すように、反射体１を揺動軸ＳＡ１及び揺動軸ＳＡ２のそれぞれの回りで揺動させることができるように構成されている。反射体駆動装置１０１は、例えば、カメラモジュールにおける手振れ補正用アクチュエータとして使用される。本実施形態では、第１軸としての揺動軸ＳＡ１は、Ｙ軸に平行な軸であり、第２軸としての揺動軸ＳＡ２は、Ｚ軸に平行な軸である。但し、第１軸としての揺動軸ＳＡ１は、Ｚ軸に平行な軸であってもよい。この場合、第２軸としての揺動軸ＳＡ２は、Ｙ軸に平行な軸であってもよい。

反射体駆動装置１０１は、典型的には図２に示すように、レンズユニットＬＵよりも被写体に近い側に配置され、被写体からの光ＬＴを反射体１で反射させ、その反射光を、レンズユニットＬＵを通じて撮像素子ＩＳに到達させるように構成されている。

具体的には、反射体駆動装置１０１は、図３に示すように、可動側部材ＭＢと固定側部材ＦＢとで構成されている。可動側部材ＭＢは、固定側部材ＦＢを構成する筐体ＨＳ内に収容されている。筐体ＨＳは、図１に示すように、カバー部材２及びベース部材（第２支持部材６）で構成されている。本実施形態では、カバー部材２は非磁性金属で形成され、ベース部材としての第２支持部材６は合成樹脂で形成されている。

そして、反射体駆動装置１０１は、駆動機構ＭＤにより、固定側部材ＦＢに対して可動側部材ＭＢを揺動させることができるように構成されている。具体的には、反射体駆動装置１０１は、図１及び図２に示すように、筐体ＨＳに対して反射体１を両矢印ＡＲ１で示すように揺動軸ＳＡ１の回りに揺動させ、且つ、両矢印ＡＲ２で示すように揺動軸ＳＡ２の回りに揺動させることができるように構成されている。

可動側部材ＭＢは、固定側部材ＦＢによって支持される部材であり、図３に示すように、反射体１、反射体保持部材４、第１支持部材５、可動側金属部材７、及び磁石１１を含む。

反射体１は、光を屈曲するための光学素子である。具体的には、反射体１は、図２に示すように、被写体から入射する光ＬＴをレンズユニットＬＵに向けて反射させることができるように構成されている。本実施形態では、反射体１は、プリズムである。反射体１は、ミラーであってもよい。

反射体保持部材４は、反射体１を保持できるように構成されている。本実施形態では、反射体保持部材４は、合成樹脂で形成されている。反射体１は、接着剤によって反射体保持部材４に接合されている。

第１支持部材５は、第１軸としての揺動軸ＳＡ１の回りで反射体保持部材４が揺動可能となるように反射体保持部材４を支持できるように構成されている。本実施形態では、第１支持部材５は、合成樹脂で形成されている。

可動側金属部材７は、駆動機構ＭＤを構成する部材である。本実施形態では、可動側金属部材７は、形状記憶合金ワイヤＷの一端（可動側端部）が取り付けられる金属部材であり、接着剤により反射体保持部材４に固定されている。

形状記憶合金ワイヤＷは、駆動機構ＭＤを構成する部材である。本実施形態では、形状記憶合金ワイヤＷは、電気絶縁材料で被覆されたワイヤであり、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４を含む。形状記憶合金ワイヤＷは、電流が流れると温度が上昇し、その温度の上昇に応じて収縮する。駆動機構ＭＤは、形状記憶合金ワイヤＷの収縮を利用して可動側部材ＭＢ（反射体保持部材４）を揺動軸ＳＡ１及び揺動軸ＳＡ２のそれぞれの回りで揺動させることができる。なお、形状記憶合金ワイヤＷは、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４のうちの一つ又は複数が収縮すると可動側部材ＭＢが揺動し、その揺動によって第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４のうちの別の一つ又は複数が引き延ばされるように構成されている。

具体的には、可動側金属部材７は、左可動側金属部材７Ｌ及び右可動側金属部材７Ｒを含む。左可動側金属部材７Ｌは、第１ワイヤＷ１の一端（可動側端部）と第２ワイヤＷ２の一端（可動側端部）とが取り付けられる金属部材であり、接着剤により反射体保持部材４の左壁部に固定されている。右可動側金属部材７Ｒは、第３ワイヤＷ３の一端（可動側端部）と第４ワイヤＷ４の一端（可動側端部）とが取り付けられる金属部材であり、接着剤により反射体保持部材４の右壁部に固定されている。

磁石１１は、可動側部材ＭＢの姿勢を検出するための部材である。本実施形態では、磁石１１は、固定側部材ＦＢに取り付けられるセンサ１０に対向するように、接着剤によって反射体保持部材４に固定されている。センサ１０は、磁石１１が発生させる磁界を検出するための磁気センサである。そして、センサ１０は、磁石１１が発生させる磁界を検出することにより、磁石１１が固定された反射体保持部材４の姿勢の変化を検出できる。

具体的には、磁石１１は、互いに離間して配置される左側磁石１１Ｌ及び右側磁石１１Ｒを含む。左側磁石１１Ｌ及び右側磁石１１Ｒは、形状、重量、及びサイズが互いに等しくなるように形成されている。可動側部材ＭＢの重量バランスに悪影響を与えないようにするためである。

固定側部材ＦＢは、可動側部材ＭＢを支持できるように構成されている。具体的には、固定側部材ＦＢは、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、配線基板３、第２支持部材６、固定側金属部材８、センサ１０、及び導電部材１２を含む。図４Ａ及び図４Ｂは、固定側部材ＦＢの詳細図を示す。具体的には、図４Ａは、固定側部材ＦＢの斜視図であり、図４Ｂは、固定側部材ＦＢの分解斜視図である。なお、図４Ａ及び図４Ｂでは、明瞭化のため、固定側金属部材８にはドットパターンが付され、導電部材１２にはクロスパターンが付され、且つ、カバー部材２の図示が省略されている。

配線基板３は、駆動機構ＭＤ及びセンサ１０のそれぞれと外部の電流供給機能を有する制御装置とを接続するための部材である。本実施形態では、配線基板３は、フレキシブル配線基板で構成されている。但し、配線基板３は、リジッド配線基板であってもよく、リジッドフレキシブル配線基板であってもよい。また、配線基板３は、接着剤により、第２支持部材６に固定されている。

第２支持部材６は、第１軸としての揺動軸ＳＡ１の軸線方向（Ｙ軸方向）に垂直な軸線方向（Ｚ軸方向）を有する第２軸としての揺動軸ＳＡ２の回りで第１支持部材５が揺動可能となるように第１支持部材５を支持できるように構成されている。また、第２支持部材６は、その後壁部に導電部材１２が埋設されるように構成されている。本実施形態では、導電部材１２は、インサート成形によって第２支持部材６に埋設された金属製の部材である。

固定側金属部材８は、駆動機構ＭＤを構成する部材である。本実施形態では、固定側金属部材８は、形状記憶合金ワイヤＷの他端（固定側端部）が取り付けられる金属部材であり、接着剤により第２支持部材６に固定されている。

具体的には、固定側金属部材８は、左固定側金属部材８Ｌ及び右固定側金属部材８Ｒを含む。左固定側金属部材８Ｌは、左上固定側金属部材８ＵＬ及び左下固定側金属部材８ＤＬを含む。右固定側金属部材８Ｒは、右上固定側金属部材８ＵＲ及び右下固定側金属部材８ＤＲを含む。左上固定側金属部材８ＵＬは、第２ワイヤＷ２（図３参照。）の他端（固定側端部）が取り付けられる金属部材であり、接着剤により第２支持部材６の左壁部に固定されている。左下固定側金属部材８ＤＬは、第１ワイヤＷ１（図３参照。）の他端（固定側端部）が取り付けられる金属部材であり、接着剤により第２支持部材６の左壁部に固定されている。右上固定側金属部材８ＵＲは、第４ワイヤＷ４（図３参照。）の他端（固定側端部）が取り付けられる金属部材であり、接着剤により第２支持部材６の右壁部に固定されている。右下固定側金属部材８ＤＲは、第３ワイヤＷ３（図３参照。）の他端（固定側端部）が取り付けられる金属部材であり、接着剤により第２支持部材６の右壁部に固定されている。

センサ１０は、可動側部材ＭＢの位置を検出できるように構成されている。本実施形態では、センサ１０は、磁石１１が発生させる磁界を検出可能な巨大磁気抵抗効果（Giant Magneto Resistive effect: GMR）素子で構成されている。但し、センサ１０は、半導体磁気抵抗（Semiconductor Magneto Resistive: SMR）素子、異方性磁気抵抗（Anisotropic Magneto Resistive: AMR）素子、又はトンネル磁気抵抗（Tunnel Magneto Resistive: TMR）素子等の他の磁気抵抗素子を利用して可動側部材ＭＢの位置を検出できるように構成されていてもよい。或いは、センサ１０は、ホール素子を利用して可動側部材ＭＢの位置を検出できるように構成されていてもよい。

具体的には、センサ１０は、第２支持部材６に固定される配線基板３に取り付けられ、第２支持部材６に関して相対移動不能となるように配置されている。そして、センサ１０は、左側磁石１１Ｌが発生させる磁界を検出可能な左側センサ１０Ｌと、右側磁石１１Ｒが発生させる磁界を検出可能な右側センサ１０Ｒと、を含む。左側センサ１０Ｌは、配線基板３に取り付けられた状態で、第２支持部材６の底壁部に形成された左側貫通部６ＨＬ内に嵌め込まれるように配置されている。また、右側センサ１０Ｒは、配線基板３に取り付けられた状態で、第２支持部材６の底壁部に形成された右側貫通部６ＨＲ内に嵌め込まれるように配置されている。

そして、センサ１０は、左側センサ１０Ｌ及び右側センサ１０Ｒのそれぞれの出力に基づき、不図示の制御装置が揺動軸ＳＡ１及び揺動軸ＳＡ２のそれぞれの回りで揺動する可動側部材ＭＢの位置を検出できるように構成されている。制御装置は、例えば、反射体駆動装置１０１の外部にある装置である。

付勢部材９は、駆動機構ＭＤを構成する部材である。本実施形態では、付勢部材９は、形状記憶合金ワイヤＷを流れる電流の導電路として機能するように構成されている。また、可動側部材ＭＢは、付勢部材９によって付勢され、固定側部材ＦＢに押し付けられるように構成されている。具体的には、付勢部材９は、Ｘ軸に平行な方向において、反射体保持部材４を第１支持部材５の側（Ｘ２側）に付勢する第１付勢部材と、第１支持部材５を第２支持部材６の側（Ｘ２側）に付勢する第２付勢部材と、を含むように構成されている。本実施形態では、付勢部材９は、ばね部材で形成されており、第１付勢部材と第２付勢部材とを兼ねている。

具体的には、付勢部材９は、一対のばね部材（左側ばね部材９Ｌ及び右側ばね部材９Ｒ）で構成され、反射体保持部材４をＸ２側（後側）に付勢する機能と、第１支持部材５をＸ２側（後側）に付勢する機能とを実現できるように構成されている。

しかしながら、第１付勢部材と第２付勢部材とは別個独立の部材であってもよい。例えば、第１付勢部材が一又は複数のばね部材で構成され、第２付勢部材が別の一又は複数のばね部材で構成されていてもよい。

この構成により、付勢部材９は、揺動軸ＳＡ１から離れる方向に反射体保持部材４が動いてしまうのを防止でき、且つ、揺動軸ＳＡ２から離れる方向に第１支持部材５が動いてしまうのを防止できる。

導電部材１２は、駆動機構ＭＤを構成する部材である。本実施形態では、導電部材１２は、図４Ｂに示すように、左導電部材１２Ｌ及び右導電部材１２Ｒを含む。左導電部材１２Ｌは、第１左導電部材１２Ｌ１、第２左導電部材１２Ｌ２、及び第３左導電部材１２Ｌ３を含む。右導電部材１２Ｒは、第１右導電部材１２Ｒ１、第２右導電部材１２Ｒ２、及び第３右導電部材１２Ｒ３を含む。

第１左導電部材１２Ｌ１は、一端（基端）が配線基板３に接続され、且つ、他端（先端）が左上固定側金属部材８ＵＬに接続されるように構成されている。第２左導電部材１２Ｌ２は、一端が配線基板３に接続され、且つ、他端が左側ばね部材９Ｌに接続されるように構成されている。第３左導電部材１２Ｌ３は、一端が配線基板３に接続され、且つ、他端が左下固定側金属部材８ＤＬに接続されるように構成されている。

同様に、第１右導電部材１２Ｒ１は、一端が配線基板３に接続され、且つ、他端が右上固定側金属部材８ＵＲに接続されるように構成されている。第２右導電部材１２Ｒ２は、一端が配線基板３に接続され、且つ、他端が右側ばね部材９Ｒに接続されるように構成されている。第３右導電部材１２Ｒ３は、一端が配線基板３に接続され、且つ、他端が右下固定側金属部材８ＤＲに接続されるように構成されている。

次に、図５を参照し、付勢部材９の詳細について説明する。図５は、付勢部材９の正面図である。

付勢部材９は、反射体保持部材４の側壁部の台座部４Ｐ（図３参照。）に固定される内側固定部９Ｍと、第２支持部材６の側壁部の台座部６Ｐ（図３参照。）に固定される外側固定部９Ｆと、内側固定部９Ｍと外側固定部９Ｆとを連結する弾性腕部９Ｇと、を有する。具体的には、付勢部材９は、離間して配置された右側ばね部材９Ｒと左側ばね部材９Ｌとを含む。右側ばね部材９Ｒ及び左側ばね部材９Ｌは板ばねによって構成されている。

より具体的には、右側ばね部材９Ｒは、反射体保持部材４の右壁部の右台座部４ＰＲ（図３参照。）に固定される右内側固定部９ＭＲと、第２支持部材６の右壁部の右台座部６ＰＲ（図３参照。）に固定される右外側固定部９ＦＲと、右内側固定部９ＭＲと右外側固定部９ＦＲとを連結する右弾性腕部９ＧＲと、を有する。そして、右弾性腕部９ＧＲは、右内側固定部９ＭＲの上端部と右外側固定部９ＦＲの上端部とを連結する右上弾性腕部９ＧＵＲと、右内側固定部９ＭＲの下端部と右外側固定部９ＦＲの下端部とを連結する右下弾性腕部９ＧＤＲと、を有する。なお、右内側固定部９ＭＲ及び右外側固定部９ＦＲの少なくとも一方は、上下に分割されていてもよい。

同様に、左側ばね部材９Ｌは、反射体保持部材４の左壁部の左台座部４ＰＬ（図３では不可視。）に固定される左内側固定部９ＭＬと、第２支持部材６の左壁部の左台座部６ＰＬ（図３参照。）に固定される左外側固定部９ＦＬと、左内側固定部９ＭＬと左外側固定部９ＦＬとを連結する左弾性腕部９ＧＬと、を有する。そして、左弾性腕部９ＧＬは、左内側固定部９ＭＬの上端部と左外側固定部９ＦＬの上端部とを連結する左上弾性腕部９ＧＵＬと、左内側固定部９ＭＬの下端部と左外側固定部９ＦＬの下端部とを連結する左下弾性腕部９ＧＤＬと、を有する。なお、左内側固定部９ＭＬ及び左外側固定部９ＦＬの少なくとも一方は、上下に分割されていてもよい。

また、本実施形態では、付勢部材９は、図５に示すように、正面視において、左上弾性腕部９ＧＵＬと左下弾性腕部９ＧＤＬとの間に揺動軸ＳＡ１が位置し、且つ、右上弾性腕部９ＧＵＲと右下弾性腕部９ＧＤＲとの間に揺動軸ＳＡ１が位置するように、反射体保持部材４及び第２支持部材６に取り付けられている。

次に、図６Ａ～図６Ｃを参照し、可動側部材ＭＢの詳細について説明する。図６Ａ～図６Ｃは、三つの異なる角度から見た可動側部材ＭＢの分解斜視図である。具体的には、図６Ａは、右斜め上前方から見た可動側部材ＭＢの分解斜視図である。図６Ｂは、右斜め上後方から見た可動側部材ＭＢの分解斜視図である。図６Ｃは、右斜め下後方から見た可動側部材ＭＢの分解斜視図である。なお、図６Ａ～図６Ｃでは、明瞭化のため、可動側金属部材７の図示が省略されている。

反射体保持部材４には、磁石１１を収容可能な凹部４Ｅが形成されている。具体的には、反射体保持部材４の底壁部には、図６Ｃに示すように、左側磁石１１Ｌを収容可能な左側凹部４ＥＬと右側磁石１１Ｒを収容可能な右側凹部４ＥＲが形成されている。

反射体保持部材４と第１支持部材５とは、第１軸部ＣＮ１により、反射体保持部材４が第１支持部材５に対して揺動可能となるように連結されている。

第１軸部ＣＮ１は、反射体保持部材４が第１支持部材５に対して揺動可能となるように反射体保持部材４と第１支持部材５とを連結する機構であり、反射体保持部材４に形成された凹部４Ｓと、第１支持部材５に形成された凸部５Ｔと、で構成されている。

具体的には、第１軸部ＣＮ１は、左側軸部ＣＮ１Ｌ及び右側軸部ＣＮ１Ｒを含む。左側軸部ＣＮ１Ｌは、反射体保持部材４の後壁部に形成された左側凹部４ＳＬと、第１支持部材５の左壁部の前端部に形成された左側凸部５ＴＬと、で構成されている。

同様に、右側軸部ＣＮ１Ｒは、反射体保持部材４の後壁部に形成された右側凹部４ＳＲと、第１支持部材５の右壁部の前端部に形成された右側凸部５ＴＲと、で構成されている。

ここで、図７Ａ～図７Ｃを参照し、反射体保持部材４と第１支持部材５とが組み合わされたときの第１軸部ＣＮ１の状態について説明する。図７Ａ～図７Ｃは、反射体保持部材４と第１支持部材５との組み合わせの詳細図である。具体的には、図７Ａは、反射体保持部材４と第１支持部材５との組み合わせの背面図である。図７Ｂは、図７Ａにおける線分Ｌ１を含むＸＹ平面に平行な仮想平面における反射体保持部材４と第１支持部材５との組み合わせの断面図である。図７Ｃは、図７Ａにおける線分Ｌ２を含むＸＺ平面に平行な仮想平面における反射体保持部材４と第１支持部材５との組み合わせの断面図である。なお、図７Ａ～図７Ｃでは、明瞭化のため、反射体保持部材４には粗いドットパターンが付され、第１支持部材５には細かいドットパターンが付されている。

図７Ｂ及び図７Ｃに示すように、左側凸部５ＴＬは、先端が略半球体となるように構成されており、左側凹部４ＳＬは、左側凸部５ＴＬとかみ合う略半円柱状の凹面を含むように構成されている。右側凹部４ＳＲ及び右側凸部５ＴＲについても同様である。

この構成は、反射体保持部材４が第１支持部材５に対して揺動したときに反射体保持部材４が上下方向にずれるのを抑制でき、且つ、左右方向にずれるのを抑制できる。

また、図４Ａ及び図６Ａ～図６Ｃに示すように、第１支持部材５と第２支持部材６とは、第２軸部ＣＮ２により、第１支持部材５が第２支持部材６に対して揺動可能となるように連結されている。

第２軸部ＣＮ２は、第１支持部材５が第２支持部材６に対して揺動可能となるように第１支持部材５と第２支持部材６とを連結する機構であり、第１支持部材５に形成された凸部５Ｖと、第２支持部材６に形成された凹部６Ｓ（図４Ａ参照。）と、で構成されている。

具体的には、第２軸部ＣＮ２は、上側軸部ＣＮ２Ｕ及び下側軸部ＣＮ２Ｄを含む。上側軸部ＣＮ２Ｕは、第１支持部材５の後壁部の外側（後側）の上端中央部に形成された上側凸部５ＶＵと、第２支持部材６の後壁部の内側（前側）の中央部に形成された凹部６Ｓと、で構成されている。

同様に、下側軸部ＣＮ２Ｄは、第１支持部材５の後壁部の外側（後側）の下端中央部に形成された下側凸部５ＶＤと、第２支持部材６の後壁部の内側（前側）の中央部に形成された凹部６Ｓと、で構成されている。

ここで、図８Ａ～図８Ｃを参照し、第１支持部材５と第２支持部材６とが組み合わされたときの第２軸部ＣＮ２の状態について説明する。図８Ａ～図８Ｃは、第１支持部材５と第２支持部材６との組み合わせの詳細図である。具体的には、図８Ａは、第１支持部材５と第２支持部材６との組み合わせの正面図である。図８Ｂは、図８Ａにおける線分Ｌ３を含むＸＹ平面に平行な仮想平面における第１支持部材５と第２支持部材６との組み合わせの断面図である。図８Ｃは、図８Ａにおける線分Ｌ４を含むＸＺ平面に平行な仮想平面における第１支持部材５と第２支持部材６との組み合わせの断面図である。なお、図８Ａ～図８Ｃでは、明瞭化のため、第１支持部材５には細かいドットパターンが付され、第２支持部材６に更に細かいドットパターンが付されている。

図８Ｂ及び図８Ｃに示すように、上側凸部５ＶＵ及び下側凸部５ＶＤのそれぞれは、先端が略半球体となるように構成されており、凹部６Ｓは、上側凸部５ＶＵ及び下側凸部５ＶＤとかみ合う略半円柱状の凹面を含むように構成されている。

この構成は、第１支持部材５が第２支持部材６に対して揺動したときに第１支持部材５が上下方向にずれるのを抑制でき、且つ、左右方向にずれるのを抑制できる。

次に、図９Ａ、図９Ｂ、及び図１０を参照し、付勢部材９の詳細について説明する。図９Ａ及び図９Ｂは、反射体保持部材４と第２支持部材６との間に配置された付勢部材９の斜視図である。具体的には、図９Ａは、右斜め上前方から見た斜視図であり、図９Ｂは、左斜め上前方から見た斜視図である。図１０は、反射体保持部材４と第２支持部材６との間に配置された付勢部材９の右側面図である。なお、図９Ａ、図９Ｂ、及び図１０では、明瞭化のため、反射体保持部材４には粗いドットパターンが付され、第２支持部材６には細かいドットパターンが付されている。

付勢部材９は、上述のように、離間して配置された右側ばね部材９Ｒと左側ばね部材９Ｌとを含む。具体的には、右側ばね部材９Ｒは、反射体保持部材４の右壁部の右台座部４ＰＲに固定される右内側固定部９ＭＲと、第２支持部材６の右壁部の右台座部６ＰＲに固定される右外側固定部９ＦＲと、右内側固定部９ＭＲの上端部と右外側固定部９ＦＲの上端部とを連結する右上弾性腕部９ＧＵＲと、右内側固定部９ＭＲの下端部と右外側固定部９ＦＲの下端部とを連結する右下弾性腕部９ＧＤＲと、を有する。

本実施形態では、反射体保持部材４の右壁部の右台座部４ＰＲは、前側（Ｘ１側）の面から前方（Ｘ１方向）に突出する丸形凸状の二つの突設部４ＡＲを含む。突設部４ＡＲは、右内側固定部９ＭＲに形成された二つの貫通孔に対応している。

具体的には、右内側固定部９ＭＲは、突設部４ＡＲが形成された右台座部４ＰＲに装着され且つ固定される。右台座部４ＰＲに対する右内側固定部９ＭＲの固定は、右内側固定部９ＭＲに形成された貫通孔に挿通された突設部４ＡＲに接着剤を塗布することによって実現される。

また、本実施形態では、第２支持部材６の右壁部の右台座部６ＰＲは、前側（Ｘ１側）の面から前方（Ｘ１方向）に突出する丸形凸状の二つの突設部６ＡＲを含む。突設部６ＡＲは、右外側固定部９ＦＲに形成された二つの貫通孔に対応している。

具体的には、右外側固定部９ＦＲは、突設部６ＡＲが形成された右台座部６ＰＲに装着され且つ固定される。右台座部６ＰＲに対する右外側固定部９ＦＲの固定は、右外側固定部９ＦＲに形成された貫通孔に挿通された突設部６ＡＲを熱かしめすることによって実現される。

図９Ａでは、突設部６ＡＲは、熱かしめされた後の先端が変形した状態で図示されている。突設部６ＡＲを図示する他の図においても同様である。

同様に、左側ばね部材９Ｌは、反射体保持部材４の左壁部の左台座部４ＰＬに固定される左内側固定部９ＭＬと、第２支持部材６の左壁部の左台座部６ＰＬに固定される左外側固定部９ＦＬと、左内側固定部９ＭＬの上端部と左外側固定部９ＦＬの上端部とを連結する左上弾性腕部９ＧＵＬと、左内側固定部９ＭＬの下端部と左外側固定部９ＦＬの下端部とを連結する左下弾性腕部９ＧＤＬと、を有する。

本実施形態では、反射体保持部材４の左壁部の左台座部４ＰＬは、前側（Ｘ１側）の面から前方（Ｘ１方向）に突出する丸形凸状の二つの突設部４ＡＬを含む。突設部４ＡＬは、左内側固定部９ＭＬに形成された二つの貫通孔に対応している。

具体的には、左内側固定部９ＭＬは、突設部４ＡＬが形成された左台座部４ＰＬに装着され且つ固定される。左台座部４ＰＬに対する左内側固定部９ＭＬの固定は、左内側固定部９ＭＬに形成された貫通孔に挿通された突設部４ＡＬに接着剤を塗布することによって実現される。

また、本実施形態では、第２支持部材６の左壁部の左台座部６ＰＬは、前側（Ｘ１側）の面から前方（Ｘ１方向）に突出する丸形凸状の二つの突設部６ＡＬを含む。突設部６ＡＬは、左外側固定部９ＦＬに形成された二つの貫通孔に対応している。

具体的には、左外側固定部９ＦＬは、突設部６ＡＬが形成された左台座部６ＰＬに装着され且つ固定される。左台座部６ＰＬに対する左外側固定部９ＦＬの固定は、左外側固定部９ＦＬに形成された貫通孔に挿通された突設部６ＡＬを熱かしめすることによって実現される。

図９Ｂでは、突設部６ＡＬは、熱かしめされた後の先端が変形した状態で図示されている。突設部６ＡＬを図示する他の図においても同様である。

また、右側ばね部材９Ｒは、図１０に示すように、駆動機構ＭＤが駆動されていない初期状態において、右内側固定部９ＭＲと右外側固定部９ＦＲとが略平行となるように反射体保持部材４及び第２支持部材６に固定されている。具体的には、初期状態において、右内側固定部９ＭＲと右外側固定部９ＦＲとは、Ｘ軸方向に間隔ＤＴ１を空けて配置され、且つ、Ｚ軸方向に沿って互いに略平行となるように反射体保持部材４及び第２支持部材６に固定されている。左側ばね部材９Ｌについても同様である。

この配置により、左側ばね部材９Ｌ及び右側ばね部材９Ｒによって構成される付勢部材９は、初期状態において、反射体保持部材４を後側（Ｘ２側）に付勢することができると同時に、第１支持部材５を後側（Ｘ２側）に付勢することができる。すなわち、付勢部材９は、第１付勢部材としての役割を担うと同時に第２付勢部材としての役割を担うことができる。換言すれば、付勢部材９は、第１付勢部材としての機能と第２付勢部材としての機能とを兼ねることができる。

駆動機構ＭＤは、形状記憶合金ワイヤＷを利用して固定側部材ＦＢに対して可動側部材ＭＢを揺動させるための機構である。駆動機構ＭＤは、図３に示すように、形状記憶合金ワイヤＷ、可動側金属部材７、固定側金属部材８、付勢部材９、及び導電部材１２で構成されている。具体的には、駆動機構ＭＤは、左駆動機構ＭＤＬ及び右駆動機構ＭＤＲを含む。

左駆動機構ＭＤＬは、第１ワイヤＷ１、第２ワイヤＷ２、左可動側金属部材７Ｌ、左固定側金属部材８Ｌ、左側ばね部材９Ｌ、及び左導電部材１２Ｌで構成されている。右駆動機構ＭＤＲは、第３ワイヤＷ３、第４ワイヤＷ４、右可動側金属部材７Ｒ、右固定側金属部材８Ｒ、右側ばね部材９Ｒ、及び右導電部材１２Ｒで構成されている。

ここで、図１１Ａ～図１１Ｄ、図１２Ａ、図１２Ｂ、図１３Ａ～図１３Ｄ、図１４、図１５Ａ、及び図１５Ｂを参照し、駆動機構ＭＤの詳細について説明する。図１１Ａ及び図１１Ｂは、駆動機構ＭＤを構成している可動側金属部材７の斜視図である。図１１Ｃ及び図１１Ｄは、駆動機構ＭＤを構成している固定側金属部材８の斜視図である。具体的には、図１１Ａ及び図１１Ｂは、反射体保持部材４に取り付けられた可動側金属部材７の斜視図である。図１１Ｃ及び図１１Ｄは、第２支持部材６に取り付けられた固定側金属部材８の斜視図である。

より具体的には、図１１Ａは、右斜め上前方から見た右可動側金属部材７Ｒの斜視図であり、図１１Ｂは、左斜め上前方から見た左可動側金属部材７Ｌの斜視図であり、図１１Ｃは、右斜め上前方から見た右固定側金属部材８Ｒの斜視図であり、図１１Ｄは、左斜め上前方から見た左固定側金属部材８Ｌの斜視図である。

図１２Ａ及び図１２Ｂは、駆動機構ＭＤを構成している形状記憶合金ワイヤＷ、可動側金属部材７、及び固定側金属部材８の斜視図である。具体的には、図１２Ａは、左駆動機構ＭＤＬを構成している第１ワイヤＷ１、第２ワイヤＷ２、左可動側金属部材７Ｌ、及び左固定側金属部材８Ｌの斜視図である。図１２Ｂは、右駆動機構ＭＤＲを構成している第３ワイヤＷ３、第４ワイヤＷ４、右可動側金属部材７Ｒ、及び右固定側金属部材８Ｒの斜視図である。

図１３Ａ～図１３Ｄは、駆動機構ＭＤを構成している導電部材１２の斜視図である。具体的には、図１３Ａ及び図１３Ｂは、導電部材１２の単体の斜視図である。また、図１３Ｃ及び図１３Ｄは、第２支持部材６に埋設された導電部材１２の斜視図である。

より具体的には、図１３Ａは、右斜め上前方から見た導電部材１２の単体の斜視図であり、図１３Ｂは、右斜め上後方から見た導電部材１２の単体の斜視図である。また、図１３Ｃは、右斜め上前方から見た第２支持部材６に埋設された導電部材１２の斜視図であり、図１３Ｄは、右斜め上後方から見た第２支持部材６に埋設された導電部材１２の斜視図である。

図１４は、右駆動機構ＭＤＲの斜視図である。図１５Ａ及び図１５Ｂは、右駆動機構ＭＤＲを構成している第３ワイヤＷ３、第４ワイヤＷ４、右可動側金属部材７Ｒ、及び右固定側金属部材８Ｒの右側面図である。

図１１Ａ～図１１Ｄ、図１２Ａ、図１２Ｂ、及び図１４では、明瞭化のため、可動側金属部材７及び固定側金属部材８には細かいドットパターンが付されている。また、図１３Ａ～図１３Ｄ及び図１４では、明瞭化のため、導電部材１２にはクロスパターンが付されている。

可動側金属部材７は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、左可動側金属部材７Ｌ及び右可動側金属部材７Ｒを含む。右可動側金属部材７Ｒは、図１１Ａに示すように、右上部７ＵＲ、右中央部７ＣＲ、及び右下部７ＤＲを含む。左可動側金属部材７Ｌは、図１１Ｂに示すように、左上部７ＵＬ、左中央部７ＣＬ、及び左下部７ＤＬを含む。

具体的には、図１１Ａに示すように、右上部７ＵＲは、反射体保持部材４の右壁部４Ｒの上部から右方に突出する右上突出部４ＵＲの端面に接着剤で固定され、右下部７ＤＲは、反射体保持部材４の右壁部４Ｒの下部から右方に突出する右下突出部４ＤＲの端面に接着剤で固定されている。また、右中央部７ＣＲは、反射体保持部材４における二つの右台座部４ＰＲの間に嵌め込まれている。

同様に、図１１Ｂに示すように、左上部７ＵＬは、反射体保持部材４の左壁部４Ｌの上部から左方に突出する左上突出部４ＵＬの端面に接着剤で固定され、左下部７ＤＬは、反射体保持部材４の左壁部４Ｌの下部から左方に突出する左下突出部４ＤＬの端面に接着剤で固定されている。また、左中央部７ＣＬは、反射体保持部材４における二つの左台座部４ＰＬの間に嵌め込まれている。

固定側金属部材８は、図１１Ｃ及び図１１Ｄに示すように、左固定側金属部材８Ｌ及び右固定側金属部材８Ｒを含む。右固定側金属部材８Ｒは、図１１Ｃに示すように、右上固定側金属部材８ＵＲ及び右下固定側金属部材８ＤＲを含む。左固定側金属部材８Ｌは、図１１Ｄに示すように、左上固定側金属部材８ＵＬ及び左下固定側金属部材８ＤＬを含む。

具体的には、図１１Ｃに示すように、右上固定側金属部材８ＵＲは、第２支持部材６の右壁部６Ｒの上部６ＵＲに接着剤で固定され、右下固定側金属部材８ＤＲは、第２支持部材６の右壁部６Ｒの下部６ＤＲに接着剤で固定されている。

同様に、図１１Ｄに示すように、左上固定側金属部材８ＵＬは、第２支持部材６の左壁部６Ｌの上部６ＵＬに接着剤で固定され、左下固定側金属部材８ＤＬは、第２支持部材６の左壁部６Ｌの下部６ＤＬに接着剤で固定されている。

反射体保持部材４に取り付けられた可動側金属部材７と、第２支持部材６に取り付けられた固定側金属部材８とは、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、形状記憶合金ワイヤＷによって互いに連結されている。

具体的には、図１２Ａに示すように、第１ワイヤＷ１の一端は、左可動側金属部材７Ｌの左上部７ＵＬに形成された保持部Ｊ１Ｌで左可動側金属部材７Ｌに固定され、第１ワイヤＷ１の他端は、左下固定側金属部材８ＤＬに形成された保持部Ｊ２Ｌで左下固定側金属部材８ＤＬに固定されている。同様に、第２ワイヤＷ２の一端は、左可動側金属部材７Ｌの左下部７ＤＬに形成された保持部Ｊ３Ｌで左可動側金属部材７Ｌに固定され、第２ワイヤＷ２の他端は、左上固定側金属部材８ＵＬに形成された保持部Ｊ４Ｌで左上固定側金属部材８ＵＬに固定されている。

保持部Ｊ１Ｌは、形状記憶合金ワイヤＷを保持するための部分である保持部Ｊの一つであり、左可動側金属部材７Ｌの左上部７ＵＬの一部を折り曲げることによって形成されている。具体的には、左可動側金属部材７Ｌの左上部７ＵＬの一部は、第１ワイヤＷ１の一端を挟み込んだ状態で折り曲げられることにより保持部Ｊ１Ｌを形成している。そして、第１ワイヤＷ１の一端は、溶接によって保持部Ｊ１Ｌに固定されている。保持部Ｊ２Ｌ～保持部Ｊ４Ｌについても同様である。

そして、第１ワイヤＷ１と第２ワイヤＷ２とは絶縁状態を保って互いに交差するように配置されている。本実施形態では、第１ワイヤＷ１と第２ワイヤＷ２とは、図１２Ａに示すように、互いにねじれの位置となるように配置されている。すなわち、第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２は、互いに接触しない（非接触となる）ように配置されている。

また、図１２Ｂに示すように、第３ワイヤＷ３の一端は、右可動側金属部材７Ｒの右上部７ＵＲに形成された保持部Ｊ１Ｒで右可動側金属部材７Ｒに固定され、第３ワイヤＷ３の他端は、右下固定側金属部材８ＤＲに形成された保持部Ｊ２Ｒで右下固定側金属部材８ＤＲに固定されている。同様に、第４ワイヤＷ４の一端は、右可動側金属部材７Ｒの右下部７ＤＲに形成された保持部Ｊ３Ｒで右可動側金属部材７Ｒに固定され、第４ワイヤＷ４の他端は、右上固定側金属部材８ＵＲに形成された保持部Ｊ４Ｒで右上固定側金属部材８ＵＲに固定されている。

保持部Ｊ１Ｒは、形状記憶合金ワイヤＷを保持するための部分である保持部Ｊの一つであり、右可動側金属部材７Ｒの右上部７ＵＲの一部を折り曲げることによって形成されている。具体的には、右可動側金属部材７Ｒの右上部７ＵＲの一部は、第３ワイヤＷ３の一端を挟み込んだ状態で折り曲げられることにより保持部Ｊ１Ｒを形成している。そして、第３ワイヤＷ３の一端は、溶接によって保持部Ｊ１Ｒに固定されている。保持部Ｊ２Ｒ～保持部Ｊ４Ｒについても同様である。

そして、第３ワイヤＷ３と第４ワイヤＷ４とは絶縁状態を保って互いに交差するように配置されている。本実施形態では、第３ワイヤＷ３と第４ワイヤＷ４とは、図１２Ｂに示すように、互いにねじれの位置となるように配置されている。すなわち、第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４は、互いに接触しない（非接触となる）ように配置されている。

導電部材１２は、図１３Ａ～図１３Ｄに示すように、左導電部材１２Ｌ及び右導電部材１２Ｒを含む。左導電部材１２Ｌは、互いに絶縁状態を保って第２支持部材６内に埋設される第１左導電部材１２Ｌ１、第２左導電部材１２Ｌ２、及び第３左導電部材１２Ｌ３を含む。また、右導電部材１２Ｒは、互いに絶縁状態を保って第２支持部材６内に埋設される第１右導電部材１２Ｒ１、第２右導電部材１２Ｒ２、及び第３右導電部材１２Ｒ３を含む。

具体的には、第１左導電部材１２Ｌ１は、基端に形成される端子部Ｔ１Ｌと先端に形成される接続部Ｐ１Ｌとが露出するように第２支持部材６に埋設されている。第２左導電部材１２Ｌ２は、基端に形成される端子部Ｔ２Ｌと先端に形成される接続部Ｐ２Ｌとが露出するように第２支持部材６に埋設されている。第３左導電部材１２Ｌ３は、基端に形成される端子部Ｔ３Ｌと先端に形成される接続部Ｐ３Ｌとが露出するように第２支持部材６に埋設されている。

同様に、第１右導電部材１２Ｒ１は、基端に形成される端子部Ｔ１Ｒと先端に形成される接続部Ｐ１Ｒとが露出するように第２支持部材６に埋設されている。第２右導電部材１２Ｒ２は、基端に形成される端子部Ｔ２Ｒと、先端に形成される接続部Ｐ２Ｒとが露出するように第２支持部材６に埋設されている。第３右導電部材１２Ｒ３は、基端に形成される端子部Ｔ３Ｒと、先端に形成される接続部Ｐ３Ｒとが露出するように第２支持部材６に埋設されている。

図１４は、第３ワイヤＷ３、第４ワイヤＷ４、右可動側金属部材７Ｒ、右固定側金属部材８Ｒ、右側ばね部材９Ｒ、及び右導電部材１２Ｒの接続関係を示している。

具体的には、図１４に示すように、第１右導電部材１２Ｒ１の接続部Ｐ１Ｒは、右上固定側金属部材８ＵＲと接触するように構成され、第２右導電部材１２Ｒ２の接続部Ｐ２Ｒは、右側ばね部材９Ｒの右外側固定部９ＦＲと接触するように構成され、第３右導電部材１２Ｒ３の接続部Ｐ３Ｒは、右下固定側金属部材８ＤＲと接触するように構成されている。そして、接続部Ｐ１Ｒ、接続部Ｐ２Ｒ、及び接続部Ｐ３Ｒは、導電性接着剤又は半田等の接合材によって、或いは、溶接によって、対応する部材に接続されている。なお、第１右導電部材１２Ｒ１の端子部Ｔ１Ｒ、第２右導電部材１２Ｒ２の端子部Ｔ２Ｒ、及び第３右導電部材１２Ｒ３の端子部Ｔ３Ｒは何れも、配線基板３に形成された不図示の導電パターンに接合材によって接続されている。また、右側ばね部材９Ｒの右内側固定部９ＭＲは、接合材によって或いは溶接によって右可動側金属部材７Ｒの右中央部７ＣＲに接続されている。

図１４では図示されていない左導電部材１２Ｌについても同様である。具体的には、第１左導電部材１２Ｌ１の接続部Ｐ１Ｌは、左上固定側金属部材８ＵＬと接触するように構成され、第２左導電部材１２Ｌ２の接続部Ｐ２Ｌは、左側ばね部材９Ｌの左外側固定部９ＦＬと接触するように構成され、第３左導電部材１２Ｌ３の接続部Ｐ３Ｌは、左下固定側金属部材８ＤＬと接触するように構成されている。そして、接続部Ｐ１Ｌ、接続部Ｐ２Ｌ、及び接続部Ｐ３Ｌは、接合材によって、或いは、溶接によって、対応する部材に接続されている。なお、第１左導電部材１２Ｌ１の端子部Ｔ１Ｌ、第２左導電部材１２Ｌ２の端子部Ｔ２Ｌ、及び第３左導電部材１２Ｌ３の端子部Ｔ３Ｌは何れも、配線基板３に形成された不図示の導電パターンに接合材によって接続されている。また、左側ばね部材９Ｌの左内側固定部９ＭＬは、接合材によって或いは溶接によって左可動側金属部材７Ｌの左中央部７ＣＬに接続されている。

図１４は、形状記憶合金ワイヤＷにおける電流の流れの一例を示している。具体的には、図１４の点線矢印は、第３ワイヤＷ３を流れる電流の向きを表している。

より具体的には、図１４に示すように、右駆動機構ＭＤＲは、第３右導電部材１２Ｒ３の端子部Ｔ３Ｒが高電位になり且つ第２右導電部材１２Ｒ２の端子部Ｔ２Ｒが低電位になると、端子部Ｔ３Ｒから、第３右導電部材１２Ｒ３の接続部Ｐ３Ｒ、右下固定側金属部材８ＤＲ、第３ワイヤＷ３、右可動側金属部材７Ｒの右上部７ＵＲ、右可動側金属部材７Ｒの右中央部７ＣＲ、右側ばね部材９Ｒの右内側固定部９ＭＲ、右側ばね部材９Ｒの右弾性腕部９ＧＲ、右側ばね部材９Ｒの右外側固定部９ＦＲ、第２右導電部材１２Ｒ２の接続部Ｐ２Ｒを通じ、第２右導電部材１２Ｒ２の端子部Ｔ２Ｒに電流が流れるように構成されている。

また、右駆動機構ＭＤＲは、第１右導電部材１２Ｒ１の端子部Ｔ１Ｒが高電位になり且つ第２右導電部材１２Ｒ２の端子部Ｔ２Ｒが低電位になると、端子部Ｔ１Ｒから、第１右導電部材１２Ｒ１の接続部Ｐ１Ｒ、右上固定側金属部材８ＵＲ、第４ワイヤＷ４、右可動側金属部材７Ｒの右下部７ＤＲ、右可動側金属部材７Ｒの右中央部７ＣＲ、右側ばね部材９Ｒの右内側固定部９ＭＲ、右側ばね部材９Ｒの右弾性腕部９ＧＲ、右側ばね部材９Ｒの右外側固定部９ＦＲ、第２右導電部材１２Ｒ２の接続部Ｐ２Ｒを通じ、第２右導電部材１２Ｒ２の端子部Ｔ２Ｒに電流が流れるように構成されている。

また、右駆動機構ＭＤＲは、第１右導電部材１２Ｒ１の端子部Ｔ１Ｒと第３右導電部材１２Ｒ３の端子部Ｔ３Ｒとが高電位になり且つ第２右導電部材１２Ｒ２の端子部Ｔ２Ｒが低電位になると、端子部Ｔ３Ｒから第３ワイヤＷ３を通じて端子部Ｔ２Ｒに電流が流れ、且つ、端子部Ｔ１Ｒから第４ワイヤＷ４を通じて端子部Ｔ２Ｒに電流が流れるように構成されている。

なお、図１４を参照する上述の説明は、右駆動機構ＭＤＲに関するものであるが、左駆動機構ＭＤＬにも同様に適用される。左駆動機構ＭＤＬと右駆動機構ＭＤＲとは左右対称となるように構成されているためである。

図１５Ａ及び図１５Ｂは、駆動機構ＭＤが初期状態にあるときの右可動側金属部材７Ｒの状態を実線で示している。初期状態は、左駆動機構ＭＤＬ及び右駆動機構ＭＤＲが何れも駆動されていない状態、すなわち、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４の何れにも電流が供給されていないときの駆動機構ＭＤの状態である。

図１５Ａは、上面視において、揺動軸ＳＡ２の回りで第１支持部材５が時計回りに揺動したときの右可動側金属部材７Ｒ、第３ワイヤＷ３、及び第４ワイヤＷ４の状態を破線で表し、揺動軸ＳＡ２の回りで第１支持部材５が反時計回りに揺動したときの右可動側金属部材７Ｒ、第３ワイヤＷ３、及び第４ワイヤＷ４の状態を点線で表している。

具体的には、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ２の回りにおいて第１支持部材５を上面視で時計回りに揺動させる場合には、図１５Ａの破線で表されたブロック矢印で示すように、反射体保持部材４の右壁部に取り付けられた右可動側金属部材７Ｒは前方に移動する。反射体保持部材４の左壁部に取り付けられた左可動側金属部材７Ｌが後方に移動するためである。より具体的には、図１５Ａでは図示されていない第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２の通電によって第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２が収縮し、反射体保持部材４の左壁部に取り付けられた左可動側金属部材７Ｌ（図１５Ａでは不図示。）が左固定側金属部材８Ｌ（図１５Ａでは不図示。）に引き寄せられる結果、反射体保持部材４が揺動軸ＳＡ２の回りにおいて上面視で時計回りに回転し、反射体保持部材４の右壁部が前方に移動するためである。

なお、本実施形態では、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ２の回りにおいて第１支持部材５を上面視で時計回りに揺動させる場合には、第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４には電流が供給されず、第１ワイヤＷ１を流れる電流の大きさと第２ワイヤＷ２を流れる電流の大きさとは略同じになるように調整される。

反対に、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ２の回りで第１支持部材５を反時計回りに揺動させる場合には、図１５Ａの点線で表されたブロック矢印で示すように、反射体保持部材４の右壁部に取り付けられた右可動側金属部材７Ｒは後方に移動する。第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４の通電によって第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４が収縮し、反射体保持部材４の右壁部に取り付けられた右可動側金属部材７Ｒが右固定側金属部材８Ｒに引き寄せられる結果、反射体保持部材４が揺動軸ＳＡ２の回りにおいて上面視で反時計回りに回転するためである。この場合、反射体保持部材４の左壁部に取り付けられた左可動側金属部材７Ｌ（図１５Ａでは不図示。）は前方に移動する。反射体保持部材４の左壁部が前方に移動するためである。

なお、本実施形態では、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ２の回りにおいて第１支持部材５を上面視で反時計回りに揺動させる場合には、第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２には電流が供給されず、第３ワイヤＷ３を流れる電流の大きさと第４ワイヤＷ４を流れる電流の大きさとは略同じになるように調整される。

図１５Ｂは、右側面視において、揺動軸ＳＡ１の回りで反射体保持部材４が時計回りに揺動したときの右可動側金属部材７Ｒ、第３ワイヤＷ３、及び第４ワイヤＷ４の状態を点線で表し、揺動軸ＳＡ１の回りで反射体保持部材４が反時計回りに揺動したときの右可動側金属部材７Ｒ、第３ワイヤＷ３、及び第４ワイヤＷ４の状態を破線で表している。

具体的には、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ１の回りにおいて反射体保持部材４を右側面視で時計回りに揺動させる場合には、図１５Ｂの点線矢印で示すように、反射体保持部材４の左壁部に取り付けられた左可動側金属部材７Ｌ（図１５Ｂでは不図示。）と、反射体保持部材４の右壁部に取り付けられた右可動側金属部材７Ｒとは、揺動軸ＳＡ１の回りにおいて右側面視で時計回りに回転する。すなわち、反射体保持部材４の左下突出部４ＤＬに取り付けられた左下部７ＤＬ（図１５Ｂでは不図示。）と、反射体保持部材４の右下突出部４ＤＲに取り付けられた右下部７ＤＲとが前方に移動する一方で、反射体保持部材４の左上突出部４ＵＬに取り付けられた左上部７ＵＬ（図１５Ｂでは不図示。）と、反射体保持部材４の右上突出部４ＵＲに取り付けられた右上部７ＵＲとが後方に移動する。第１ワイヤＷ１（図１５Ｂでは不図示。）及び第３ワイヤＷ３の通電によって第１ワイヤＷ１及び第３ワイヤＷ３が収縮し、反射体保持部材４の左上突出部４ＵＬに取り付けられた左上部７ＵＬが左上固定側金属部材８ＵＬの側に引き寄せられ、且つ、反射体保持部材４の右上突出部４ＵＲに取り付けられた右上部７ＵＲが右上固定側金属部材８ＵＲの側に引き寄せられるためである。この場合、反射体保持部材４の左下突出部４ＤＬに取り付けられた左下部７ＤＬと、反射体保持部材４の右下突出部４ＤＲに取り付けられた右下部７ＤＲとは上述のように前方に移動する。左上部７ＵＬが左上固定側金属部材８ＵＬの側に引き寄せられ、且つ、右上部７ＵＲが右上固定側金属部材８ＵＲの側に引き寄せられる結果、反射体保持部材４が揺動軸ＳＡ１の回りにおいて右側面視で時計回りに回転し、反射体保持部材４の前端部の下端が前方に移動するためである。

なお、本実施形態では、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ１の回りにおいて反射体保持部材４を右側面視で時計回りに揺動させる場合には、第２ワイヤＷ２及び第４ワイヤＷ４には電流が供給されず、第１ワイヤＷ１を流れる電流の大きさと第３ワイヤＷ３を流れる電流の大きさとは略同じになるように調整される。

反対に、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ１の回りで反射体保持部材４を反時計回りに揺動させる場合には、図１５Ｂの破線矢印で示すように、反射体保持部材４の左壁部に取り付けられた左可動側金属部材７Ｌ（図１５Ｂでは不図示。）と、反射体保持部材４の右壁部に取り付けられた右可動側金属部材７Ｒとは、揺動軸ＳＡ１の回りにおいて右側面視で反時計回りに回転する。すなわち、反射体保持部材４の左上突出部４ＵＬに取り付けられた左上部７ＵＬ（図１５Ｂでは不図示。）と、反射体保持部材４の右上突出部４ＵＲに取り付けられた右上部７ＵＲとが前方に移動する一方で、反射体保持部材４の左下突出部４ＤＬに取り付けられた左下部７ＤＬ（図１５Ｂでは不図示。）と、反射体保持部材４の右下突出部４ＤＲに取り付けられた右下部７ＤＲとが後方に移動する。第２ワイヤＷ２（図１５Ｂでは不図示。）及び第４ワイヤＷ４の通電によって第２ワイヤＷ２及び第４ワイヤＷ４が収縮し、反射体保持部材４の左下突出部４ＤＬに取り付けられた左下部７ＤＬが左下固定側金属部材８ＤＬの側に引き寄せられ、且つ、反射体保持部材４の右下突出部４ＤＲに取り付けられた右下部７ＤＲが右下固定側金属部材８ＤＲの側に引き寄せられるためである。この場合、反射体保持部材４の左上突出部４ＵＬに取り付けられた左上部７ＵＬと、反射体保持部材４の右上突出部４ＵＲに取り付けられた右上部７ＵＲとは上述のように前方に移動する。左下部７ＤＬが左下固定側金属部材８ＤＬの側に引き寄せられ、且つ、右下部７ＤＲが右下固定側金属部材８ＤＲの側に引き寄せられる結果、反射体保持部材４が揺動軸ＳＡ１の回りにおいて右側面視で反時計回りに回転し、反射体保持部材４の前端部の上端が前方に移動するためである。

なお、本実施形態では、駆動機構ＭＤが揺動軸ＳＡ１の回りにおいて反射体保持部材４を右側面視で反時計回りに揺動させる場合には、第１ワイヤＷ１及び第３ワイヤＷ３には電流が供給されず、第２ワイヤＷ２を流れる電流の大きさと第４ワイヤＷ４を流れる電流の大きさとは略同じになるように調整される。

また、揺動軸ＳＡ１の回りにおける反射体保持部材４の揺動と揺動軸ＳＡ２の回りにおける第１支持部材５の揺動とが同時に行われる場合には、典型的には、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４のそれぞれを流れる電流の大きさは互いに異なるように調整される。すなわち、反射体駆動装置１０１は、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４のそれぞれを流れる電流の大きさを互いに異ならせることで、揺動軸ＳＡ１の回りにおける反射体保持部材４の揺動と揺動軸ＳＡ２の回りにおける第１支持部材５の揺動とを同時に実現できる。

上述の通り、本実施形態に係る反射体駆動装置１０１は、例えば図３に示すように、光を屈曲させる反射体１を保持可能な反射体保持部材４と、反射体保持部材４を第１軸としての揺動軸ＳＡ１の回りに揺動可能に支持する第１支持部材５と、第１支持部材５を揺動軸ＳＡ１の軸線方向（Ｙ軸方向）に垂直な軸線方向（Ｚ軸方向）を有する第２軸としての揺動軸ＳＡ２の回りに揺動可能に支持する第２支持部材６と、反射体保持部材４を含む可動側部材ＭＢを、第２支持部材６を含む固定側部材ＦＢに対して揺動させる駆動機構ＭＤと、を備えている。そして、駆動機構ＭＤは、固定側部材ＦＢと可動側部材ＭＢとの間に設けられた複数の形状記憶合金ワイヤＷを含んで構成されており、反射体保持部材４は、形状記憶合金ワイヤＷへの通電によって揺動されるように構成されている。なお、揺動軸ＳＡ１の軸線方向（Ｙ軸方向）と揺動軸ＳＡ２の軸線方向（Ｚ軸方向）とが垂直であることは、ねじれの位置の関係にある揺動軸ＳＡ１と揺動軸ＳＡ２とのそれぞれの軸線方向が垂直であること、揺動軸ＳＡ１と揺動軸ＳＡ２とが直交すること、又は、揺動軸ＳＡ１若しくは揺動軸ＳＡ１の延長線と揺動軸ＳＡ２若しくは揺動軸ＳＡ２の延長線とが直交することを含む。

この構成は、駆動機構ＭＤが磁石とコイルの組み合わせではなく、形状記憶合金ワイヤＷによって構成されているため、反射体駆動装置１０１の軽量化を実現できる。また、この構成は、反射体駆動装置１０１の小型化を実現できる。更に、この構成は、強い磁界を発生させることもないため、周囲に設置される他の装置に電磁的な悪影響を及ぼすことを抑制できる。

複数の形状記憶合金ワイヤＷは、図８Ａ～図８Ｃ、図９Ａ、及び図９Ｂに示すように、第１領域ＺＮ１に配置された第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２と、第１領域ＺＮ１と離間して対向する第２領域ＺＮ２に配置された第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４とを含んでいてもよい。具体的には、第１領域ＺＮ１は、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、第２支持部材６の左壁部の左側にある領域であってもよい。また、第２領域ＺＮ２は、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、第２支持部材６の右壁部の右側にある領域であってもよい。そして、第１ワイヤＷ１乃至第４ワイヤＷ４のそれぞれは、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、一端が可動側部材ＭＢに固定され、他端が固定側部材ＦＢに固定されていてもよい。

より具体的には、第１ワイヤＷ１と第２ワイヤＷ２とは、図９Ｂに示すように、揺動軸ＳＡ１の軸線方向（Ｙ軸方向）に沿って見た場合に、互いに交差するように配置されていてもよい。同様に、第３ワイヤＷ３と第４ワイヤＷ４とは、図９Ａに示すように、揺動軸ＳＡ１の軸線方向（Ｙ軸方向）に沿って見た場合に、互いに交差するように配置されていてもよい。

この構成は、四本の形状記憶合金ワイヤＷによって揺動軸ＳＡ１及び揺動軸ＳＡ２のそれぞれの回りにおける反射体保持部材４の揺動を実現できるようにする。

第１領域ＺＮ１と第２領域ＺＮ２とは、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、揺動軸ＳＡ１に垂直で且つ揺動軸ＳＡ２を通る第１平面ＰＳ１を挟んで互いに対向するように配置されていてもよい。この場合、第１領域ＺＮ１は、例えば、第２支持部材６の左壁部とカバー部材２の左側板部との間にある略直方体形状の空間であり、第２領域ＺＮ２は、例えば、第２支持部材６の右壁部とカバー部材２の右側板部との間にある略直方体形状の空間である。また、第１平面ＰＳ１は、例えば、線分Ｌ４を含むＸＺ平面に平行な仮想平面である。

この構成は、反射体保持部材４の特に揺動軸ＳＡ２回りの揺動をより確実なものとすることができる。

ここで、図１６を参照し、形状記憶合金ワイヤＷと揺動軸ＳＡ１及び揺動軸ＳＡ２との位置関係について説明する。図１６は、揺動軸ＳＡ２に垂直で且つ揺動軸ＳＡ１を通る第２平面ＰＳ２（図１０参照。）における反射体駆動装置１０１の断面図である。具体的には、図１６は、反射体駆動装置１０１を構成している第１支持部材５、可動側金属部材７、固定側金属部材８、及び形状記憶合金ワイヤＷの断面を示す。図１６では、明瞭化のため、第１支持部材５、可動側金属部材７、固定側金属部材８、及び形状記憶合金ワイヤＷ以外の部材の図示が省略されている。

反射体駆動装置１０１は、望ましくは、図１６に示すように、第２平面ＰＳ２（図１０参照。）において、形状記憶合金ワイヤＷへの通電の有無にかかわらず、第１交点Ｎ１～第４交点Ｎ４が何れも揺動軸ＳＡ１よりも揺動軸ＳＡ２の側（Ｘ２側）に位置するように構成されている。

図１６に示す例では、第１交点Ｎ１は、第１ワイヤＷ１（第１直線ＳＴ１）と第２平面ＰＳ２との交点であり、第２交点Ｎ２は、第２ワイヤＷ２（第２直線ＳＴ２）と第２平面ＰＳ２との交点であり、第３交点Ｎ３は、第３ワイヤＷ３（第３直線ＳＴ３）と第２平面ＰＳ２との交点であり、第４交点Ｎ４は、第４ワイヤＷ４（第４直線ＳＴ４）と第２平面ＰＳ２との交点である。

厳密には、図１２Ａに示すように、第１直線ＳＴ１は、第１ワイヤＷ１の一端が可動側部材（左可動側金属部材７Ｌの左上部７ＵＬの保持部Ｊ１Ｌ）に固定される位置Ｘ１Ｕと第１ワイヤＷ１の他端が固定側部材（左下固定側金属部材８ＤＬの保持部Ｊ２Ｌ）に固定される位置Ｘ１Ｄとを通る直線である。また、第２直線ＳＴ２は、第２ワイヤＷ２の一端が可動側部材（左可動側金属部材７Ｌの左下部７ＤＬの保持部Ｊ３Ｌ）に固定される位置Ｘ２Ｄと第２ワイヤＷ２の他端が固定側部材（左上固定側金属部材８ＵＬの保持部Ｊ４Ｌ）に固定される位置Ｘ２Ｕとを通る直線である。

また、図１２Ｂに示すように、第３直線ＳＴ３は、第３ワイヤＷ３の一端が可動側部材（右可動側金属部材７Ｒの右上部７ＵＲの保持部Ｊ１Ｒ）に固定される位置Ｘ３Ｕと第３ワイヤＷ３の他端が固定側部材（右下固定側金属部材８ＤＲの保持部Ｊ２Ｒ）に固定される位置Ｘ３Ｄとを通る直線である。また、第４直線ＳＴ４は、第４ワイヤＷ４の一端が可動側部材（右可動側金属部材７Ｒの右下部７ＤＲの保持部Ｊ３Ｒ）に固定される位置Ｘ４Ｄと第４ワイヤＷ４の他端が固定側部材（右上固定側金属部材８ＵＲの保持部Ｊ４Ｒ）に固定される位置Ｘ４Ｕとを通る直線である。

より具体的には、反射体駆動装置１０１は、図１６に示すように、形状記憶合金ワイヤＷへの通電の有無にかかわらず、第２平面ＰＳ２において、第１交点Ｎ１～第４交点Ｎ４及び揺動軸ＳＡ２が何れも揺動軸ＳＡ１よりも後側（Ｘ２側）に位置するように構成されている。また、反射体駆動装置１０１は、形状記憶合金ワイヤＷへの通電の有無にかかわらず、第１交点Ｎ１と揺動軸ＳＡ１との間の距離ＤＳ１、第２交点Ｎ２と揺動軸ＳＡ１との間の距離ＤＳ２、第３交点Ｎ３と揺動軸ＳＡ１との間の距離ＤＳ３、及び、第４交点Ｎ４と揺動軸ＳＡ１との間の距離ＤＳ４が何れも揺動軸ＳＡ２と揺動軸ＳＡ１との間の距離ＤＳ５よりも小さくなるように構成されている。なお、距離ＤＳ１～距離ＤＳ５は何れも、前後方向（Ｘ軸に平行な方向）における距離である。

このように、図１６に示す例では、反射体駆動装置１０１は、形状記憶合金ワイヤＷに電流が供給されて形状記憶合金ワイヤＷが収縮した場合であっても、第２平面ＰＳ２において形状記憶合金ワイヤＷが揺動軸ＳＡ１よりも前側に移動しないように構成されている。この構成は、反射体保持部材４の特に揺動軸ＳＡ１回りの揺動をより確実なものとすることができる。

可動側部材ＭＢは、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、反射体保持部材４に固定される第１可動側金属部材（左可動側金属部材７Ｌ）及び第２可動側金属部材（右可動側金属部材７Ｒ）を含んでいてもよい。この場合、第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２の一端（可動側端部）のそれぞれは、図１２Ａに示すように、第１可動側金属部材（左可動側金属部材７Ｌ）に固定されていてもよく、第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４の一端（可動側端部）のそれぞれは、図１２Ｂに示すように、第２可動側金属部材（右可動側金属部材７Ｒ）に固定されていてもよい。

この構成は、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４のそれぞれの一端（可動側端部）が確実に可動側部材ＭＢに固定されるようにする。また、この構成は、第１ワイヤＷ１の一端（可動側端部）と第２ワイヤＷ２の一端（可動側端部）とが左可動側金属部材７Ｌを介して電気的に接続されようにするため、第１ワイヤＷ１及び第２ワイヤＷ２のそれぞれへの導電路の確保が容易になるという効果をもたらす。第３ワイヤＷ３及び第４ワイヤＷ４についても同様である。

また、図１２Ａに示すように、第１ワイヤＷ１の他端（固定側端部）は、固定側部材ＦＢを構成する第１固定側金属部材（左下固定側金属部材８ＤＬ）に固定されていてもよく、第２ワイヤＷ２の他端（固定側端部）は、固定側部材ＦＢを構成する第２固定側金属部材（左上固定側金属部材８ＵＬ）に固定されていてもよい。

また、図１２Ｂに示すように、第３ワイヤＷ３の他端（固定側端部）は、固定側部材ＦＢを構成する第３固定側金属部材（右下固定側金属部材８ＤＲ）に固定されていてもよく、第４ワイヤＷ４の他端（固定側端部）は、固定側部材ＦＢを構成する第４固定側金属部材（右上固定側金属部材８ＵＲ）に固定されていてもよい。

この構成は、第１ワイヤＷ１～第４ワイヤＷ４のそれぞれの他端（固定側端部）が確実に固定側部材ＦＢに固定されるようにする。

反射体保持部材４と第２支持部材６との間には、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、少なくとも第１板ばね（左側ばね部材９Ｌ）と第２板ばね（右側ばね部材９Ｒ）とが設けられていてもよい。この場合、第１可動側金属部材（左可動側金属部材７Ｌ）は、左側ばね部材９Ｌに機械的且つ電気的に接続されていてもよい。また、第２可動側金属部材（右可動側金属部材７Ｒ）は、図１４に示すように、右側ばね部材９Ｒに機械的且つ電気的に接続されていてもよい。

この構成は、板ばねが導電路として利用されるのを可能にするため、形状記憶合金ワイヤＷへの給電が容易になるという効果をもたらす。

第２支持部材６は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、第１導電部材（第２左導電部材１２Ｌ２）及び第２導電部材（第２右導電部材１２Ｒ２）を有していてもよい。また、左側ばね部材９Ｌ及び右側ばね部材９Ｒのそれぞれは、図５に示すように、反射体保持部材４に固定される第１固定部（内側固定部９Ｍ）と、第２支持部材６に固定される第２固定部（外側固定部９Ｆ）と、内側固定部９Ｍと外側固定部９Ｆとを連結する弾性腕部９Ｇとを有していてもよい。この場合、図１４に示すように、右側ばね部材９Ｒの第１固定部（右内側固定部９ＭＲ）は、第２可動側金属部材（右可動側金属部材７Ｒ）に接続されていてもよく、右側ばね部材９Ｒの第２固定部（右外側固定部９ＦＲ）は、第２導電部材（第２右導電部材１２Ｒ２）に接続されていてもよい。同様に、左側ばね部材９Ｌの第１固定部（左内側固定部９ＭＬ）は、第１可動側金属部材（左可動側金属部材７Ｌ）に接続されていてもよく、左側ばね部材９Ｌの第２固定部（左外側固定部９ＦＬ）は、第１導電部材（第２左導電部材１２Ｌ２）に接続されていてもよい。

この構成は、第２支持部材６に埋設された導電部材１２が導電路として利用されるのを可能にするため、形状記憶合金ワイヤＷへの給電が更に容易になるという効果をもたらす。

反射体保持部材４と第２支持部材６との間には、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、少なくとも第１板ばね（左側ばね部材９Ｌ）と第２板ばね（右側ばね部材９Ｒ）とが設けられていてもよい。この場合、左側ばね部材９Ｌ及び右側ばね部材９Ｒは、反射体保持部材４を第１支持部材５側に付勢するとともに、第１支持部材５を第２支持部材６側に付勢するように配置されていてもよい。

この構成は、反射体保持部材４を揺動軸ＳＡ１に継続的に押し付けながら第１支持部材５を揺動軸ＳＡ２に継続的に押し付けることができるため、反射体保持部材４を安定して揺動可能に支持することができるという効果をもたらす。

第１板ばね（左側ばね部材９Ｌ）及び第２板ばね（右側ばね部材９Ｒ）のそれぞれは、図５に示すように、反射体保持部材４に固定される第１固定部（内側固定部９Ｍ（左内側固定部９ＭＬ及び右内側固定部９ＭＲ））と、第２支持部材６に固定される第２固定部（外側固定部９Ｆ（左外側固定部９ＦＬ及び右外側固定部９ＦＲ））と、第１固定部（内側固定部９Ｍ）と第２固定部（外側固定部９Ｆ）とを連結する弾性腕部９Ｇとを有していてもよい。この場合、第１ワイヤＷ１の一端は、左側ばね部材９Ｌの左内側固定部９ＭＬに電気的に接続されており、第２ワイヤＷ２の一端は、左側ばね部材９Ｌの左内側固定部９ＭＬに電気的に接続されており、第３ワイヤＷ３の一端は、右側ばね部材９Ｒの右内側固定部９ＭＲに電気的に接続されており、第４ワイヤＷ４の一端は、右側ばね部材９Ｒの右内側固定部９ＭＲに電気的に接続されていてもよい。

この構成は、板ばねが導電路として利用されるのを可能にするため、形状記憶合金ワイヤＷへの給電が容易になるという効果をもたらす。

可動側部材ＭＢには、複数の磁石が取り付けられていてもよい。この場合、固定側部材ＦＢには、複数の磁石に対向するように複数の磁気センサが取り付けられていてもよい。具体的には、図３に示すように、可動側部材ＭＢを構成する反射体保持部材４には左側磁石１１Ｌ及び右側磁石１１Ｒが取り付けられていてもよい。この場合、固定側部材ＦＢを構成する第２支持部材６に取り付けられる配線基板３には、上下方向において左側磁石１１Ｌと対向するように左側センサ１０Ｌが取り付けられ、且つ、上下方向において右側磁石１１Ｒと対向するように右側センサ１０Ｒが取り付けられていてもよい。

この構成は、一つの磁気センサによって反射体保持部材４の姿勢を検出する構成に比べ、反射体保持部材４の姿勢の検出精度を高めることができる。具体的には、この構成は、揺動軸ＳＡ１回りの反射体保持部材４の揺動の大きさと揺動軸ＳＡ２回りの反射体保持部材４の揺動の大きさとが高精度に特定されるようにするという効果をもたらす。

また、本発明の実施形態に係る反射体駆動装置１０１は、例えば図３に示すように、光を屈曲させる反射体１を保持可能な反射体保持部材４と、反射体保持部材４を第１軸としての揺動軸ＳＡ１の回りに揺動可能に支持する第１支持部材５と、第１支持部材５を揺動軸ＳＡ１の軸線方向に非平行（垂直）な軸線方向を有する第２軸としての揺動軸ＳＡ２の回りに揺動可能に支持する第２支持部材６と、反射体保持部材４を揺動軸ＳＡ１の回りに揺動させ、且つ、第１支持部材５を揺動軸ＳＡ２の回りに揺動させる駆動機構ＭＤと、を備えている。そして、反射体駆動装置１０１は、更に、反射体保持部材４を第１支持部材５側に付勢する第１付勢部材と、第１支持部材５を第２支持部材６側に付勢する第２付勢部材と、を有する。図３に示す例では、第１付勢部材として機能する付勢部材９は、揺動軸ＳＡ１の軸線方向に非平行（垂直）な方向（Ｘ軸に平行な方向）において、反射体保持部材４を第１支持部材５側（Ｘ２側）に付勢し、第２付勢部材として機能する付勢部材９は、揺動軸ＳＡ２の軸線方向に非平行（垂直）な方向（Ｘ軸に平行な方向）において、第１支持部材５を第２支持部材６側（Ｘ２側）に付勢している。

この構成では、反射体駆動装置１０１は、反射体保持部材４を第１支持部材５側に付勢し、且つ、第１支持部材５を第２支持部材６側に付勢することにより、反射体保持部材４と第１支持部材５との間のガタつき、及び、第１支持部材５と第２支持部材６との間のガタつきを抑制することができる。その結果、反射体駆動装置１０１は、反射体１をより安定的に揺動させることができる。

図３に示す例では、第１付勢部材が反射体保持部材４を付勢する向きである第１向きと第２付勢部材が第１支持部材５を付勢する向きである第２向きとは同じである。そして、第１向き及び第２向きは、揺動軸ＳＡ１及び揺動軸ＳＡ２のそれぞれの軸線方向に垂直である。すなわち、第１付勢部材として機能する付勢部材９は、Ｘ軸に平行な方向において反射体保持部材４を後方に付勢し、第２付勢部材として機能する付勢部材９は、Ｘ軸に平行な方向において第１支持部材５を後方に付勢している。この構成は、反射体保持部材４と第１支持部材５との間のガタつきをより確実に抑制できる。また、この構成は、反射体駆動装置１０１の組立性を高めることができる。

第１付勢部材と第２付勢部材とは、反射体保持部材４と第２支持部材６との間に設けられた同じばね部材によって構成されていてもよい。すなわち、ばね部材としての付勢部材９は、第１付勢部材と第２付勢部材とを兼ねていてもよい。換言すれば、第１付勢部材は、第２付勢部材としても機能するように構成されていてもよい。この構成は、第１付勢部材と第２付勢部材とが別々のばね部材によって実現される場合に比べ、反射体駆動装置１０１の部品点数を削減できる。

ばね部材としての付勢部材９は、図５に示すように、板ばねで構成され、反射体保持部材４に固定される第１固定部としての内側固定部９Ｍと、第２支持部材６に固定される第２固定部としての外側固定部９Ｆと、内側固定部９Ｍと外側固定部９Ｆとを連結する弾性腕部９Ｇと、を有していてもよい。板ばねは、例えば、銅合金、チタン銅系合金（チタン銅）、又は銅ニッケル合金（ニッケルすず銅）等を主な材料とした金属板から作製されている。この場合、駆動機構が駆動されていない初期状態において、内側固定部９Ｍと外側固定部９Ｆとは略平行である。具体的には、図１０に示すように、初期状態において、内側固定部９Ｍと外側固定部９Ｆとは、Ｘ軸方向に間隔ＤＴ１を空けて配置され、且つ、Ｚ軸方向に沿って互いに略平行となるように配置されている。この構成は、可動側部材ＭＢに対する付勢部材９の取り付けの容易化を実現できる。

ばね部材としての付勢部材９は、図５に示すように、離間して配置された第１ばね部材としての左側ばね部材９Ｌと第２ばね部材としての右側ばね部材９Ｒとを含んでいてもよい。この場合、左側ばね部材９Ｌ及び右側ばね部材９Ｒのそれぞれは、内側固定部９Ｍと外側固定部９Ｆとを連結する二つの弾性腕部９Ｇを有する。具体的には、左側ばね部材９Ｌは、左内側固定部９ＭＬと左外側固定部９ＦＬとを連結する二つの左弾性腕部９ＧＬを有する。また、右側ばね部材９Ｒは、右内側固定部９ＭＲと右外側固定部９ＦＲとを連結する二つの右弾性腕部９ＧＲを有する。そして、正面視において、揺動軸ＳＡ１は、左側ばね部材９Ｌの二つの左弾性腕部９ＧＬ（左上弾性腕部９ＧＵＬ及び左下弾性腕部９ＧＤＬ）の間に位置し、且つ、右側ばね部材９Ｒの二つの右弾性腕部９ＧＲ（右上弾性腕部９ＧＵＲ及び右下弾性腕部９ＧＤＲ）の間に位置している。図５に示す例では、左側ばね部材９Ｌ及び右側ばね部材９Ｒのそれぞれは、正面視において、揺動軸ＳＡ１に関して上下対称である。また、図５に示す例では、左側ばね部材９Ｌと右側ばね部材９Ｒとは、正面視において、揺動軸ＳＡ２に関して左右対称である。この構成では、揺動軸ＳＡ１が左側ばね部材９Ｌの二つの左弾性腕部９ＧＬの間に位置していない場合、或いは、揺動軸ＳＡ１が右側ばね部材９Ｒの二つの右弾性腕部９ＧＲの間に位置していない場合に比べ、付勢部材９は、よりバランス良く反射体保持部材４を揺動軸ＳＡ１に向けて付勢できる。そのため、反射体駆動装置１０１は、反射体１をより安定的に揺動させることができる。

反射体駆動装置１０１は、図４Ａ及び図６Ａ～図６Ｃに示すように、反射体保持部材４を揺動軸ＳＡ１の回りに揺動可能に連結する第１軸部ＣＮ１と、第１支持部材５を揺動軸ＳＡ２の回りに揺動可能に連結する第２軸部ＣＮ２と、を有していてもよい。この場合、第１付勢部材としての付勢部材９が反射体保持部材４を付勢する方向（Ｘ軸に平行な方向）において、第１軸部ＣＮ１の位置と第２軸部ＣＮ２の位置とは異なっている。図４Ａ及び図６Ａ～図６Ｃに示す例では、Ｘ軸に平行な方向における第１軸部ＣＮ１の位置は、第２軸部ＣＮ２の位置よりも前方（Ｘ１側）に位置している。この構成は、揺動軸ＳＡ１の回りの反射体保持部材４の揺動と揺動軸ＳＡ２の回りの第１支持部材５の揺動とが干渉してしまうのを確実に防止でき、二つの揺動のそれぞれが確実に実現されるようにする。

具体的には、第１軸部ＣＮ１は、反射体保持部材４に一体的に形成された部分と第１支持部材５に一体的に形成された部分とによって構成され、且つ／或いは、第２軸部ＣＮ２は、第１支持部材５に一体的に形成された部分と第２支持部材６に一体的に形成された部分とによって構成されていてもよい。図４Ａ及び図６Ａ～図６Ｃに示す例では、第１軸部ＣＮ１は、反射体保持部材４に一体的に形成された凹部４Ｓと第１支持部材５に一体的に形成された凸部５Ｔとによって構成され、且つ、第２軸部ＣＮ２は、第１支持部材５に一体的に形成された凸部５Ｖと第２支持部材６に一体的に形成された凹部６Ｓとによって構成されている。この構成は、ボールを利用して軸部を構成する場合に比べ、軸部の製造コストを低減させることができる。

なお、図２に示すように、揺動軸ＳＡ１は、反射体１に入射する入射光（光ＬＴ）の光軸と反射体１で反射される反射光の光軸とを含む平面（ＸＺ平面に平行な平面）と直交し、揺動軸ＳＡ２は、入射光の光軸に平行である。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳説した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態に限定されることはない。上述した実施形態は、本発明の範囲を逸脱することなしに、種々の変形及び置換等が適用され得る。また、上述の実施形態を参照して説明された特徴のそれぞれは、技術的に矛盾しない限り、適宜に組み合わされてもよい。

例えば、上述の実施形態では、第１軸部ＣＮ１は、反射体保持部材４に形成された凹部４Ｓと第１支持部材５に形成された凸部５Ｔとで構成されている。しかしながら、第１軸部ＣＮ１は、反射体保持部材４に形成された凸部と第１支持部材５に形成された凹部とで構成されていてもよい。

同様に、第２軸部ＣＮ２は、第１支持部材５に形成された凸部５Ｖと第２支持部材６に形成された凹部６Ｓとで構成されている。しかしながら、第２軸部ＣＮ２は、第１支持部材５に形成された凹部と第２支持部材６に形成された凸部とで構成されていてもよい。

なお、凹部及び凸部の少なくとも一方には潤滑用コーティングが施されていてもよく、或いは、グリスが塗布されていてもよい。

また、上述の実施形態では、第１支持部材５に形成された凸部５Ｔは、先端が四半球体となるように構成され、第１支持部材５に形成された凸部５Ｖは、先端が半球体となるように構成されている。しかしながら、凸部５Ｔ及び凸部５Ｖの少なくとも一方は、先端が部分円柱形状を有するように構成されていてもよい。この場合、部分円柱形状を有する凸部に対応する凹部は、部分円柱状の凹面を有するように構成されていてもよい。

また、反射体保持部材４と第１支持部材５との間、第１支持部材５と第２支持部材６との間、及び、反射体保持部材４と第２支持部材６との間の少なくとも一つには一又は複数の制振材が設けられていてもよい。制振材は、例えば、流動性のある接着剤を紫外線又は熱で硬化させることで形成されるゲル状ダンパー材である。但し、制振材は、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性シリコーンゴム、又は紫外線硬化性シリコーンゴム等の他の材料で形成されてもよい。

例えば、制振材は、反射体保持部材４の側壁部の外面と第１支持部材５の側壁部の内面との間に設けられていてもよい。或いは、制振材は、反射体保持部材４の側壁部の外面と第２支持部材６の側壁部の内面との間に設けられていてもよい。

また、上述の実施形態では、導電部材１２は、インサート成形によって第２支持部材６に埋設されているが、真空蒸着又はスパッタリング等の他の技術を用いて第２支持部材６に一体的に形成されていてもよい。

本願は、２０２１年３月９日に出願した日本国特許出願２０２１－０３７６４０号に基づく優先権を主張するものであり、この日本国特許出願の全内容を本願に参照により援用する。

１・・・反射体 ２・・・カバー部材 ３・・・配線基板 ４・・・反射体保持部材 ４ＡＬ、４ＡＲ・・・突設部 ４ＤＬ・・・左下突出部 ４ＤＲ・・・右下突出部 ４Ｅ・・・凹部 ４ＥＬ・・・左側凹部 ４ＥＲ・・・右側凹部 ４Ｌ・・・左壁部 ４Ｐ・・・台座部 ４ＰＬ・・・左台座部 ４ＰＲ・・・右台座部 ４Ｒ・・・右壁部 ４Ｓ・・・凹部 ４ＳＬ・・・左側凹部 ４ＳＲ・・・右側凹部 ４ＵＬ・・・左上突出部 ４ＵＲ・・・右上突出部 ５・・・第１支持部材 ５Ｔ・・・凸部 ５ＴＬ・・・左側凸部 ５ＴＲ・・・右側凸部 ５Ｖ・・・凸部 ５ＶＤ・・・下側凸部 ５ＶＵ・・・上側凸部 ６・・・第２支持部材 ６ＡＬ、６ＡＲ・・・突設部 ６ＤＬ、６ＤＲ・・・下部 ６ＨＬ・・・左側貫通部 ６ＨＲ・・・右側貫通部 ６Ｐ・・・台座部 ６ＰＬ・・・左台座部 ６ＰＲ・・・右台座部 ６Ｓ・・・凹部 ６ＵＬ、６ＵＲ・・・上部 ７・・・可動側金属部材 ７ＣＬ・・・左中央部 ７ＣＲ・・・右中央部 ７ＤＬ・・・左下部 ７ＤＲ・・・右下部 ７Ｌ・・・左可動側金属部材 ７Ｒ・・・右可動側金属部材 ７ＵＬ・・・左上部 ７ＵＲ・・・右上部 ８・・・固定側金属部材 ８ＤＬ・・・左下固定側金属部材 ８ＤＲ・・・右下固定側金属部材 ８Ｌ・・・左固定側金属部材 ８Ｒ・・・右固定側金属部材 ８ＵＬ・・・左上固定側金属部材 ８ＵＲ・・・右上固定側金属部材 ９・・・付勢部材 ９Ｆ・・・外側固定部 ９ＦＬ・・・左外側固定部 ９ＦＲ・・・右外側固定部 ９Ｇ・・・弾性腕部 ９ＧＬ・・・左弾性腕部 ９ＧＤＬ・・・左下弾性腕部 ９ＧＵＬ・・・左上弾性腕部 ９ＧＲ・・・右弾性腕部 ９ＧＤＲ・・・右下弾性腕部 ９ＧＵＲ・・・右上弾性腕部 ９Ｌ・・・左側ばね部材 ９Ｍ・・・内側固定部 ９ＭＬ・・・左内側固定部 ９ＭＲ・・・右内側固定部 ９Ｒ・・・右側ばね部材 １０・・・センサ １０Ｌ・・・左側センサ １０Ｒ・・・右側センサ １１・・・磁石 １１Ｌ・・・左側磁石 １１Ｒ・・・右側磁石 １２・・・導電部材 １２Ｌ・・・左導電部材 １２Ｌ１・・・第１左導電部材 １２Ｌ２・・・第２左導電部材 １２Ｌ３・・・第３左導電部材 １２Ｒ・・・右導電部材 １２Ｒ１・・・第１右導電部材 １２Ｒ２・・・第２右導電部材 １２Ｒ３・・・第３右導電部材 １０１・・・反射体駆動装置 ＣＮ１・・・第１軸部 ＣＮ１Ｌ・・・左側軸部 ＣＮ１Ｒ・・・右側軸部 ＣＮ２・・・第２軸部 ＣＮ２Ｄ・・・下側軸部 ＣＮ２Ｕ・・・上側軸部 ＦＢ・・・固定側部材 ＩＳ・・・撮像素子 Ｊ、Ｊ１Ｌ、Ｊ１Ｒ、Ｊ２Ｌ、Ｊ２Ｒ、Ｊ３Ｌ、Ｊ３Ｒ、Ｊ４Ｌ、Ｊ４Ｒ・・・保持部 ＬＴ・・・光 ＬＵ・・・レンズユニット ＭＢ・・・可動側部材 ＭＤ・・・駆動機構 ＭＤＬ・・・左駆動機構 ＭＤＲ・・・右駆動機構 Ｎ１・・・第１交点 Ｎ２・・・第２交点 Ｎ３・・・第３交点 Ｎ４・・・第４交点 Ｐ１Ｌ、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｌ、Ｐ２Ｒ、Ｐ３Ｌ、Ｐ３Ｒ・・・接続部 ＰＳ１・・・第１平面 ＰＳ２・・・第２平面 ＳＡ１、ＳＡ２・・・揺動軸 ＳＴ１・・・第１直線 ＳＴ２・・・第２直線 ＳＴ３・・・第３直線 ＳＴ４・・・第４直線 Ｔ１Ｌ、Ｔ１Ｒ、Ｔ２Ｌ、Ｔ２Ｒ、Ｔ３Ｌ、Ｔ３Ｒ・・・端子部 Ｗ・・・形状記憶合金ワイヤ Ｗ１・・・第１ワイヤ Ｗ２・・・第２ワイヤ Ｗ３・・・第３ワイヤ Ｗ４・・・第４ワイヤ Ｘ１Ｄ、Ｘ１Ｕ、Ｘ２Ｄ、Ｘ２Ｕ、Ｘ３Ｄ、Ｘ３Ｕ、Ｘ４Ｄ、Ｘ４Ｕ・・・位置

Claims (13)

1. 光を屈曲させる反射体を保持可能な反射体保持部材と、
   前記反射体保持部材を第１軸の回りに揺動可能に支持する第１支持部材と、
   前記第１支持部材を前記第１軸の軸線方向に垂直な軸線方向を有する第２軸の回りに揺動可能に支持する第２支持部材と、
   前記反射体保持部材を含む可動側部材を、前記第２支持部材を含む固定側部材に対して揺動させる駆動機構と、を備えた反射体駆動装置において、
   前記第１支持部材は、前記反射体保持部材と前記第２支持部材との間に配置され、
   前記駆動機構は、前記固定側部材と前記反射体保持部材との間に設けられた複数の形状記憶合金ワイヤを含んで構成され、
   前記反射体保持部材は、前記形状記憶合金ワイヤへの通電によって揺動されるように構成されていることを特徴とする反射体駆動装置。
2. 複数の前記形状記憶合金ワイヤは、第１領域に配置された第１ワイヤ及び第２ワイヤと、前記第１領域と離間して対向する第２領域に配置された第３ワイヤ及び第４ワイヤとを含み、
   前記第１ワイヤ乃至第４ワイヤのそれぞれは、一端が前記反射体保持部材に固定され、他端が前記固定側部材に固定されている、
   請求項１に記載の反射体駆動装置。
3. 前記第１ワイヤと前記第２ワイヤとは互いに交差するように配置されており、
   前記第３ワイヤと前記第４ワイヤとは互いに交差するように配置されている、
   請求項２に記載の反射体駆動装置。
4. 前記第１領域と前記第２領域とは、前記第１軸に垂直で且つ前記第２軸を通る第１平面を挟んで互いに対向している、
   請求項２又は請求項３に記載の反射体駆動装置。
5. 光を屈曲させる反射体を保持可能な反射体保持部材と、
   前記反射体保持部材を第１軸の回りに揺動可能に支持する第１支持部材と、
   前記第１支持部材を前記第１軸の軸線方向に垂直な軸線方向を有する第２軸の回りに揺動可能に支持する第２支持部材と、
   前記反射体保持部材を含む可動側部材を、前記第２支持部材を含む固定側部材に対して揺動させる駆動機構と、を備えた反射体駆動装置において、
   前記駆動機構は、前記固定側部材と前記可動側部材との間に設けられた複数の形状記憶合金ワイヤを含んで構成され、
   前記反射体保持部材は、前記形状記憶合金ワイヤへの通電によって揺動されるように構成され、
   複数の前記形状記憶合金ワイヤは、第１領域に配置された第１ワイヤ及び第２ワイヤと、前記第１領域と離間して対向する第２領域に配置された第３ワイヤ及び第４ワイヤとを含み、
   前記第１ワイヤ乃至第４ワイヤのそれぞれは、一端が前記可動側部材に固定され、他端が前記固定側部材に固定され、
   前記第１領域と前記第２領域とは、前記第１軸に垂直で且つ前記第２軸を通る第１平面を挟んで互いに対向しており、
   前記第２軸に垂直で且つ前記第１軸を通る第２平面において、
   前記第１ワイヤの一端が前記可動側部材に固定される位置と前記第１ワイヤの他端が前記固定側部材に固定される位置とを通る第１直線と前記第２平面との第１交点、
   前記第２ワイヤの一端が前記可動側部材に固定される位置と前記第２ワイヤの他端が前記固定側部材に固定される位置とを通る第２直線と前記第２平面との第２交点、
   前記第３ワイヤの一端が前記可動側部材に固定される位置と前記第３ワイヤの他端が前記固定側部材に固定される位置とを通る第３直線と前記第２平面との第３交点、及び
   前記第４ワイヤの一端が前記可動側部材に固定される位置と前記第４ワイヤの他端が前記固定側部材に固定される位置とを通る第４直線と前記第２平面との第４交点が何れも、前記第１軸よりも前記第２軸の側に位置するように構成されている、
   ことを特徴とする反射体駆動装置。
6. 前記可動側部材は、前記反射体保持部材に固定される第１可動側金属部材及び第２可動側金属部材を含み、
   前記第１ワイヤ及び前記第２ワイヤの一端のそれぞれは、前記第１可動側金属部材に固定されており、
   前記第３ワイヤ及び前記第４ワイヤの一端のそれぞれは、前記第２可動側金属部材に固定されている、
   請求項２乃至請求項５の何れかに記載の反射体駆動装置。
7. 前記第１ワイヤの他端は、前記固定側部材を構成する第１固定側金属部材に固定されており、
   前記第２ワイヤの他端は、前記固定側部材を構成する第２固定側金属部材に固定されており、
   前記第３ワイヤの他端は、前記固定側部材を構成する第３固定側金属部材に固定されており、
   前記第４ワイヤの他端は、前記固定側部材を構成する第４固定側金属部材に固定されている、
   請求項６に記載の反射体駆動装置。
8. 前記反射体保持部材と前記第２支持部材との間には少なくとも第１板ばねと第２板ばねとが設けられており、
   前記第１可動側金属部材は、前記第１板ばねに機械的且つ電気的に接続されており、
   前記第２可動側金属部材は、前記第２板ばねに機械的且つ電気的に接続されている、
   請求項６又は請求項７に記載の反射体駆動装置。
9. 前記第２支持部材は、第１導電部材及び第２導電部材を有し、
   前記第１板ばね及び前記第２板ばねのそれぞれは、前記反射体保持部材に固定される第１固定部と、前記第２支持部材に固定される第２固定部と、前記第１固定部と前記第２固定部とを連結する弾性腕部とを有し、
   前記第１板ばねの前記第１固定部は、前記第１可動側金属部材に接続されており、
   前記第１板ばねの前記第２固定部は、前記第１導電部材に接続されており、
   前記第２板ばねの前記第１固定部は、前記第２可動側金属部材に接続されており、
   前記第２板ばねの前記第２固定部は、前記第２導電部材に接続されている、
   請求項８に記載の反射体駆動装置。
10. 前記反射体保持部材と前記第２支持部材との間には少なくとも第１板ばねと第２板ばねとが設けられており、
    前記第１板ばね及び前記第２板ばねは、前記反射体保持部材を前記第１支持部材側に付勢するとともに、前記第１支持部材を前記第２支持部材側に付勢するように配置されている、
    請求項２乃至請求項７の何れかに記載の反射体駆動装置。
11. 前記第１板ばね及び前記第２板ばねのそれぞれは、前記反射体保持部材に固定される第１固定部と、前記第２支持部材に固定される第２固定部と、前記第１固定部と前記第２固定部とを連結する弾性腕部とを有し、
    前記第１ワイヤの一端は、前記第１板ばねの前記第１固定部に電気的に接続されており、
    前記第２ワイヤの一端は、前記第１板ばねの前記第１固定部に電気的に接続されており、
    前記第３ワイヤの一端は、前記第２板ばねの前記第１固定部に電気的に接続されており、
    前記第４ワイヤの一端は、前記第２板ばねの前記第１固定部に電気的に接続されている、
    請求項１０に記載の反射体駆動装置。
12. 前記可動側部材には、複数の磁石が取り付けられており、
    前記固定側部材には、複数の前記磁石に対向するように複数の磁気センサが取り付けられている、
    請求項１乃至請求項１１の何れかに記載の反射体駆動装置。
13. 前記第１軸は、前記反射体に入射する入射光の光軸と前記反射体で反射される反射光の光軸とを含む平面と直交し、
    前記第２軸は、前記入射光の光軸に平行である、
    請求項１乃至請求項１２の何れかに記載の反射体駆動装置。

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