JP7463595B2 - マルチパルス増幅 - Google Patents
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Description
本願は、2017年7月25日出願の米国特許出願第62/536634号の発明の名称「MULTI-PULSE AMPLIFICATION」の優先権の利益を主張し、その内容がその全体においてここに参照として取り込まれる。
超短パルスレーザは、そのパルス幅τ0を10-15~10-11秒のオーダとすることができ、レーザ加工などの多くの用途において、さらに長いτ0(例えば、ナノ秒)のレーザと比較して優れた効果を実証してきた。
マルチパルスを生成する方法の1つは、発振器のうちのパルス列における単一のパルスではなく複数のパルスを選択することである。しかしながら、隣接パルス間の遅延は、通常、ナノ秒以上の範囲にあり、発振器におけるパルスの往復によって決定される。一般的に、遅延値の調節は発振器キャビティの変更を必要とし、それはこの技術が用いられる場合に、実際のところ容易な実施とはならない。
ある技術はパルス形態の変化を回避するように設計され得るが、そのようなパルス形態の変化はまた、数百フェムト秒から数ナノ秒の範囲の時間遅延を有する複数のパルスの形成をもたらし得る。パルス形成の詳細は、ファイバにおける光学的非線形相互作用、例えばとりわけ、パルスエネルギー、ピークパワー、ファイバのモードフィールド径に依存する。このアプローチにおける複数のパルスの生成はまた、レーザアプリケーションに依存して有用となり得る。個々のパルスは非線形光学パラメータの詳細に対してより影響を受けることが観察され、それはモデリングを複雑にするが、全体として高密度パルスパックは非常に安定的であり、分割する前の元のパルスの安定性とは異なっていないことが観察される。
上記の説明は、パルス間に特定の時間遅延を有するスプリットシードパルスを作成するための技術の例を与える。ファイバベースの分割器及び結合器、例えば3dBカプラを異なる長さのファイバと組み合わせて利用するパルス遅延部700の例を図7に示す。このパルス遅延では、パルスの波長は分割されない。シードパルス701は、第1のファイバカプラ705aを用いて2つのパルス702、703にまず分割され、スプリットパルス702、703はパルス遅延部の異なるアームで伝搬する。スプリットパルス702、703を、図7の三角形として概略的に示す。2つのスプリットパルス702、703の間の遅延は、各アームにおいて異なる長さのファイバを用いることによって導入される。例えば、図7に示す遅延部700の上側アームは、遅延線を提供するようにファイバの追加長ΔLを含む。そして、2つのアームからのスプリットパルスは、第2のカプラ705bを用いて単一ファイバに結合され得る。上側アームの遅延ΔLに起因して、上側アームに伝搬するパルス702は下側アームに伝搬するパルス703に対してnΔL/cだけ遅延され、ここでnはパルス702が伝搬するファイバの屈折率であり、cは真空における光の速度である。したがって、上側アームのパルス702は、図7に示すように、結合後に下側アームのパルス703に続く。遅延ΔLの量(及びそれによる時間遅延nΔL/cの量)は、ある実施形態では、例えば可変光ファイバ遅延線を用いることによって調節可能となり得る。
第1の態様では、チャープパルス増幅システムがシード光パルスを増幅するように構成され、シード光パルスが複数のパルスに分割され、各隣接パルス間に遅延が適用され、圧縮後の隣接パルス間の遅延は、チャープパルス増幅システムの利得媒体内部の伸張パルス持続時間よりも小さい。
このように、本発明が、いくつかの非限定的な実施形態で説明されてきた。実施形態は相互に排他的でなく、1つの実施形態に関連して説明される要素は、所望の設計目標を達成する適切な方法で他の実施形態と組み合わされ、再配置され又は他の実施形態から削除されてもよいことが理解される。いずれかの単一の特徴又は特徴のグループも、各実施形態には必要でなく又は要件とはされない。要素のすべての可能な組合せ及び部分的組合せが、この開示の範囲内に含まれる。
Claims (24)
- シード光パルスを増幅するように構成されたチャープパルス増幅システムであって、
前記シード光パルスが複数のパルスに分割され、各隣接パルス間に遅延が適用され、
圧縮後の隣接パルス間の前記遅延が、前記チャープパルス増幅システムの利得媒体の内部の伸張パルス持続時間よりも小さく、
前記シード光パルスを分割するために波長選択的構成要素が用いられ、
前記波長選択的構成要素が回折格子を備える、
チャープパルス増幅システム。 - 前記利得媒体が光ファイバを備える、請求項1に記載のチャープパルス増幅システム。
- フェムト秒からピコ秒の範囲のパルス持続時間を有する超短パルスである圧縮パルスを出力するように構成されたパルス圧縮器をさらに備える、請求項1に記載のチャープパルス増幅システム。
- 数十ピコ秒から数ナノ秒の範囲の伸張パルス持続時間を有する伸張パルスを出力するように構成されたパルス伸張器をさらに備える、請求項1に記載のチャープパルス増幅システム。
- 前記遅延が数百フェムト秒から数ナノ秒の範囲にある、請求項1に記載のチャープパルス増幅システム。
- 前記チャープパルス増幅システムの出力が、入力シード光パルスの数よりも多くのパルスを有するパルスパックを備える、請求項1に記載のチャープパルス増幅システム。
- 前記パルスパックの形態が、隣接シード光パルス間の遅延によって制御される、請求項6に記載のチャープパルス増幅システム。
- 前記パルスパックの形態が、増幅パルス間の相互作用によって制御される、請求項6に記載のチャープパルス増幅システム。
- 前記波長選択的構成要素がフィルタを備える、請求項1に記載のチャープパルス増幅システム。
- 前記波長選択的構成要素が光ファイバの入力及び出力を備える、請求項9に記載のチャープパルス増幅システム。
- チャープパルス増幅システムにおいて複数のパルスを生成するための方法であって、
レーザ源からシードパルスを受信するステップであって、前記シードパルスは光群遅延分散D(λ)を有し、ここでλが波長である、受信するステップと、
伸張パルス幅を有する伸張パルスを生成するように前記シードパルスを伸張するステップと、
前記伸張パルスを、異なる波長を有する複数のパルスを備えるパルスパックに分割するステップと、
前記パルスパックにおける前記複数のパルスの各々に時間遅延を適用するステップであって、前記時間遅延は前記光群遅延分散と同じ符号を有する、適用するステップと、
前記パルスパックにおける前記複数のパルスの各々を増幅するステップと、
前記パルスパックにおける前記複数のパルスの各々を圧縮するステップと
を備える、方法。 - 前記時間遅延がΔλ*D(λ)より大きく、ここでΔλが隣接伸張パルス間の波長重複部である、請求項11に記載の方法。
- 前記伸張パルスを前記パルスパックに分割するステップが、
前記伸張パルス又は前記パルスパックにおけるパルスを一対のパルスに分割するステップと、
前記一対のパルスにおける第1のパルスを前記一対のパルスにおける第2のパルスに対して遅延させるステップと
を備える、請求項11に記載の方法。 - 前記一対のパルスにおける前記第1のパルス及び前記第2のパルスが異なる波長を有する、請求項13に記載の方法。
- シードパルスを出力するように構成されたシードレーザ源と、
前記シードパルスを伸張して伸張パルスを出力するように構成された伸張器と、
前記伸張パルスの各々を複数のスプリットパルスに分割するように構成された分割器と、
前記複数のスプリットパルスの各々に遅延を適用するように構成された遅延部と、
前記遅延が適用されたスプリットパルスの各々を増幅するように構成された増幅器と、
増幅された、前記遅延が適用されたスプリットパルスの各々を圧縮して複数の光パルスを出力するように構成された圧縮器と
を備え、
前記遅延部がカプラ、第1のアーム及び第2のアームを備え、前記第1のアームの長さは前記第2のアームよりも長く、前記カプラが前記第1のアームおよび前記第2のアームの間でパルスを分割するように構成される、チャープパルス増幅(CPA)システム。 - 前記シードレーザ源がファイバレーザを備える、請求項15に記載のCPAシステム。
- 前記伸張器がファイバベースの伸張器を備える、請求項15に記載のCPAシステム。
- 前記分割器が、前記伸張パルスを異なる波長を有する前記複数のスプリットパルスに分割するように構成された波長選択的構成要素を備える、請求項15に記載のCPAシステム。
- 前記カプラが波長分割マルチプレクサを備える、請求項15に記載のCPAシステム。
- 前記遅延部が偏光保持(PM)光ファイバの複数の連結区画を備える、請求項15に記載のCPAシステム。
- 前記遅延部が、等比数列状の時間遅延を有するパルスを生成するように構成された複数のファイバベースのカプラを備える、請求項15に記載のCPAシステム。
- 複数の変調器をさらに備える、請求項21に記載のCPAシステム。
- 前記遅延が適用されたスプリットパルスが時間的に分離される、請求項15に記載のCPAシステム。
- 前記遅延が適用されたスプリットパルスが少なくとも部分的に重複し、前記CPAシステムによって出力された前記複数の光パルスが高密度光パルスパックを備える、請求項15に記載のCPAシステム。
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CN114498258B (zh) * | 2021-12-10 | 2024-04-12 | 东莞市莱普特科技有限公司 | 一种时域光学分离放大锁模激光器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006526896A (ja) | 2003-06-03 | 2006-11-24 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | インライン、高エネルギファイバチャープパルス増幅システム |
US20090273828A1 (en) | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Raydiance, Inc. | High average power ultra-short pulsed laser based on an optical amplification system |
US20120262772A1 (en) | 2009-11-17 | 2012-10-18 | Centre National De La Recherche Scientifique | Device and Process for Forming Laser Pulses |
JP2014522097A (ja) | 2011-03-07 | 2014-08-28 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 増加したピーク電力を有する光パルス源 |
US20150063380A1 (en) | 2013-08-31 | 2015-03-05 | Jian Liu | Method and Apparatus for Generating Ultrafast, High Energy, High Power Laser Pulses |
US20150146748A1 (en) | 2013-11-25 | 2015-05-28 | The Government Of The Us, As Represented By The Secretary Of The Navy | Pulse-Shaping Interferometer for Chirped-Pulsed Amplification Laser |
JP2016065948A (ja) | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 光パルス波形整形装置および光パルス波形整形方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5696782A (en) | 1995-05-19 | 1997-12-09 | Imra America, Inc. | High power fiber chirped pulse amplification systems based on cladding pumped rare-earth doped fibers |
US5847863A (en) * | 1996-04-25 | 1998-12-08 | Imra America, Inc. | Hybrid short-pulse amplifiers with phase-mismatch compensated pulse stretchers and compressors |
US7671295B2 (en) | 2000-01-10 | 2010-03-02 | Electro Scientific Industries, Inc. | Processing a memory link with a set of at least two laser pulses |
US6552301B2 (en) | 2000-01-25 | 2003-04-22 | Peter R. Herman | Burst-ultrafast laser machining method |
US6885683B1 (en) * | 2000-05-23 | 2005-04-26 | Imra America, Inc. | Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source |
US6770544B2 (en) | 2001-02-21 | 2004-08-03 | Nec Machinery Corporation | Substrate cutting method |
US7027155B2 (en) | 2001-03-29 | 2006-04-11 | Gsi Lumonics Corporation | Methods and systems for precisely relatively positioning a waist of a pulsed laser beam and method and system for controlling energy delivered to a target structure |
US6664498B2 (en) | 2001-12-04 | 2003-12-16 | General Atomics | Method and apparatus for increasing the material removal rate in laser machining |
TWI372463B (en) | 2003-12-02 | 2012-09-11 | Semiconductor Energy Lab | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device |
US7486705B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-02-03 | Imra America, Inc. | Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback |
US7491909B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-02-17 | Imra America, Inc. | Pulsed laser processing with controlled thermal and physical alterations |
US9138913B2 (en) | 2005-09-08 | 2015-09-22 | Imra America, Inc. | Transparent material processing with an ultrashort pulse laser |
US9153928B2 (en) * | 2006-03-10 | 2015-10-06 | Imra America, Inc. | Optical signal processing with modelocked lasers |
WO2009117451A1 (en) | 2008-03-21 | 2009-09-24 | Imra America, Inc. | Laser-based material processing methods and systems |
GB2459669A (en) | 2008-04-30 | 2009-11-04 | Xsil Technology Ltd | Dielectric layer pulsed laser scribing and metal layer and semiconductor wafer dicing |
JP5120847B2 (ja) * | 2008-10-30 | 2013-01-16 | 国立大学法人 宮崎大学 | パルス幅制御装置およびレーザー照射装置 |
JP2013046924A (ja) | 2011-07-27 | 2013-03-07 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング方法 |
US9166355B2 (en) * | 2011-09-12 | 2015-10-20 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Directly driven source of multi-gigahertz, sub-picosecond optical pulses |
JP5967405B2 (ja) | 2012-01-17 | 2016-08-10 | アイシン精機株式会社 | レーザによる割断方法、及びレーザ割断装置 |
US9077150B2 (en) * | 2012-08-07 | 2015-07-07 | Ipg Photonics Corporation | High power ultra-compact, lightweight multi-kilowatt fiber laser system based on coherent and spectral beam combining |
JP2014090011A (ja) | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Ledパターン付き基板の加工方法 |
JP6136908B2 (ja) | 2013-12-12 | 2017-05-31 | 豊田合成株式会社 | 発光素子の製造方法 |
TWI633678B (zh) | 2014-01-27 | 2018-08-21 | Glo公司 | 具有布拉格反射器之led裝置及單分led晶圓基板為具有該裝置之晶粒之方法 |
JP6260601B2 (ja) | 2015-10-02 | 2018-01-17 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
-
2018
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-
2019
- 2019-12-17 US US16/717,979 patent/US11201447B2/en active Active
-
2023
- 2023-04-20 JP JP2023069348A patent/JP7463595B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006526896A (ja) | 2003-06-03 | 2006-11-24 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | インライン、高エネルギファイバチャープパルス増幅システム |
US20090273828A1 (en) | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Raydiance, Inc. | High average power ultra-short pulsed laser based on an optical amplification system |
US20120262772A1 (en) | 2009-11-17 | 2012-10-18 | Centre National De La Recherche Scientifique | Device and Process for Forming Laser Pulses |
JP2014522097A (ja) | 2011-03-07 | 2014-08-28 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 増加したピーク電力を有する光パルス源 |
US20150063380A1 (en) | 2013-08-31 | 2015-03-05 | Jian Liu | Method and Apparatus for Generating Ultrafast, High Energy, High Power Laser Pulses |
US20150146748A1 (en) | 2013-11-25 | 2015-05-28 | The Government Of The Us, As Represented By The Secretary Of The Navy | Pulse-Shaping Interferometer for Chirped-Pulsed Amplification Laser |
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