JP7463036B2 - シート貼着方法及びシート貼着装置 - Google Patents
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Description
ポリプロピレン製のシート :160℃以上180℃以下
ポリスチレン製のシート :220℃以上240℃以下
ポリエチレンテレフタラート製のシート:250℃以上270℃以下
ポリエチレンナフタレート製のシート :160℃以上180℃以下
6:枠体、6a:溝、6b:凹部、8:ポーラス板、10:発熱体
11:ウェーハ、11a:表面、11b:裏面、13:分割予定ライン、15:デバイス
12:第1加熱ユニット
14:ローラー、14a:回転軸、14b:筐体、16:シート貼着機構
17a:デバイス領域、17b:外周余剰領域
18:シート切断機構、20:切り刃、20a:側面
19:シート、19a:中央部分、19b:外周部分
22:温風ヒーター、22a:温風、22b:発熱体、22c:筐体、22d:開口部
24:第2加熱ユニット、28:切断機構、30:腕部、32:切り刃固定部
34:温風ヒーター、34a:温風、36:ノズルヒーター、38:エアブローノズル
Z:垂直方向
Claims (4)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域の外側を囲む環状の外周余剰領域と、を表面側に有する板状の被加工物の該表面側に、熱可塑性のシートを貼着するシート貼着方法であって、
該被加工物の該表面側の全体を覆うことが可能な大きさを有する該シートを準備するシート準備工程と、
テーブル上に配置された該被加工物又は該シートを加熱する第1加熱工程と、
該第1加熱工程で加熱された状態の該被加工物の該表面側全体に該シートを押し付けて貼着する、又は、該第1加熱工程で加熱された状態の該シートに該被加工物の該表面側全体を押し付けて貼着する、シート貼着工程と、
該被加工物の該外周余剰領域に対応する該シートの外周部分を、該第1加熱工程で該被加工物又は該シートを加熱した温度より高い温度に加熱する第2加熱工程と、を備えることを特徴とするシート貼着方法。 - 該第2加熱工程では、温風ヒーターを用いて該温風ヒーターから該シートの外周部分へ温風を当てることにより、該シートの外周部分を加熱することを特徴とする請求項1記載のシート貼着方法。
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域の外側を囲む環状の外周余剰領域と、を表面側に有する板状の被加工物の該表面側に、熱可塑性のシートを貼着するシート貼着装置であって、
テーブルと、該テーブルに設けられた第1の発熱体とを有し、該第1の発熱体からの熱で該被加工物又は該シートを加熱する第1加熱ユニットと、
押圧体を有し、該第1加熱ユニットで加熱された該被加工物の該表面側全体に該シートを押し付けて貼着する、又は、該第1加熱ユニットで加熱された該シートに該被加工物の該表面側全体を押し付けて貼着するシート貼着機構と、
第2の発熱体を有し、該被加工物の該外周余剰領域に対応する該シートの外周部分が、該第1加熱ユニットで該被加工物又は該シートを加熱した温度より高い温度になる様に該外周部分を加熱する第2加熱ユニットと、を備えることを特徴とするシート貼着装置。 - 該第2加熱ユニットは、温風ヒーターを有することを特徴とする請求項3記載のシート貼着装置。
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