JP7447517B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。

特許文献１に記載のように、従来から、圧力室内の液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドに関する技術が知られている。

特開２０１７－０１３３９０号公報

しかし、従来の技術においては、圧力室からノズルに至る流路において気泡が滞留し、ノズルから液体を吐出しにくくなる吐出異常が生じる恐れがある。

以上の問題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、を備え、前記第２圧力室の壁面は、前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第１壁面を含み、前記第２連通流路の壁面は、前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第２壁面と、前記第１方向において前記第２壁面とは反対側の第３壁面と、を含み、前記第１壁面と前記第３壁面との間には、第１傾斜部が設けられ、前記第１傾斜部は、前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第１構成面を有する、ことを特徴とする。

本発明の好適な態様に係る液体吐出装置は、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、を備え、前記第２圧力室の壁面は、前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第１壁面を含み、前記第２連通流路の壁面は、前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第２壁面と、前記第１方向において前記第２壁面とは反対側の第３壁面と、を含み、前記第１壁面と前記第３壁面との間には、第１傾斜部が設けられ、前記第１傾斜部は、前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第１構成面を有する、ことを特徴とする。

本発明の実施形態に係る液体吐出装置１００の一例を示す構成図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す分解斜視図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す断面図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す平面図である。 圧電素子ＰZqの構成の一例を示す断面図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す断面図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す断面図である。 参考例に係る液体吐出ヘッド１Zの構成の一例を示す断面図である。 変形例１に係る循環流路ＲJAの構成の一例を示す平面図である。 変形例２に係る液体吐出装置１００Bの一例を示す構成図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。但し、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

＜＜Ａ．実施形態＞＞
以下、図１を参照しつつ、本実施形態に係る液体吐出装置１００について説明する。

＜＜１．液体吐出装置の概要＞＞
図１は、本実施形態に係る液体吐出装置１００の一例を示す説明図である。本実施形態に係る液体吐出装置１００は、インクを媒体ＰPに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体ＰPは、例えば、印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体ＰPとして利用され得る。
図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器９３を備える。液体容器９３としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンク等を採用することができる。液体容器９３には、色彩が相違する複数種のインクが貯留される。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御装置９０と移動機構９１と搬送機構９２と循環機構９４と、を備える。
このうち、制御装置９０は、例えばＣＰＵまたはＦＰＧＡ等の処理回路と、半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を制御する。ここで、ＣＰＵとは、Central Processing Unitの略称であり、ＦＰＧＡとは、Field Programmable Gate Arrayの略称である。
また、移動機構９１は、制御装置９０による制御のもとで、媒体ＰPを＋Ｙ方向に搬送する。なお、以下では、＋Ｙ方向と、＋Ｙ方向とは反対の方向である－Ｙ方向とを、Ｙ軸方向と総称する。
また、搬送機構９２は、制御装置９０による制御のもとで、複数の液体吐出ヘッド１を、＋Ｘ方向、及び、＋Ｘ方向とは反対の方向である－Ｘ方向に往復動させる。なお、以下では、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向をＸ軸方向と総称する。ここで、＋Ｘ方向とは、＋Ｙ方向に交差する方向である。例えば、＋Ｘ方向とは、＋Ｙ方向に直交する方向である。搬送機構９２は、複数の液体吐出ヘッド１を収容する収納ケース９２１と、収納ケース９２１が固定された無端ベルト９２２とを具備する。なお、液体容器９３及び循環機構９４を液体吐出ヘッド１とともに収納ケース９２１に収納してもよい。
また、循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体容器９３に貯留されたインクを、液体吐出ヘッド１に設けられた供給流路ＲB1に供給する。更に、循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体吐出ヘッド１に設けられた排出流路ＲB2に貯留されたインクを回収し、当該回収したインクを、供給流路ＲB1に還流させる。なお、供給流路ＲB1及び排出流路ＲB2については、図３で後述する。

図１に例示される通り、液体吐出ヘッド１には、制御装置９０から、液体吐出ヘッド１を駆動するための駆動信号Ｃomと、液体吐出ヘッド１を制御するための制御信号ＳIと、が供給される。そして、液体吐出ヘッド１は、制御信号ＳIによる制御のもとで駆動信号Ｃomにより駆動され、液体吐出ヘッド１に設けられたＭ個のノズルＮの一部または全部から、＋Ｚ方向にインクを吐出させる。ここで、値Ｍは、１以上の自然数である。また、＋Ｚ方向は、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に交差する方向である。例えば、＋Ｚ方向は、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に直交する方向である。以下では、＋Ｚ方向と、＋Ｚ方向とは反対の方向である－Ｚ方向とを、Ｚ軸方向と総称する場合がある。なお、ノズルＮについては、図２乃至図４において後述する。
液体吐出ヘッド１は、移動機構９１による媒体ＰPの搬送と、搬送機構９２による液体吐出ヘッド１の往復動とに連動して、Ｍ個のノズルＮの一部又は全部からインクを吐出させて、当該吐出されたインクを媒体ＰPの表面に着弾させることで、媒体ＰPの表面に所望の画像を形成する。

＜＜２．液体吐出ヘッドの概要＞＞
以下、図２乃至図５を参照しつつ、液体吐出ヘッド１の概要を説明する。
なお、図２は、液体吐出ヘッド１の分解斜視図であり、図３は、図２におけるIII－III線の断面図であり、図４は、液体吐出ヘッド１を－Ｚ方向から見た平面図である。

図２及び図３に例示される通り、液体吐出ヘッド１は、ノズル基板６０と、コンプライアンスシート６１及びコンプライアンスシート６２と、連通板２と、圧力室基板３と、振動板４と、貯留室形成基板５と、配線基板８と、を備える。

図２に例示される通り、ノズル基板６０は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、Ｍ個のノズルＮが形成される。ここで、「略平行」とは、完全に平行である場合の他に、誤差を考慮すれば平行であると看做せる場合を含む概念である。ノズル基板６０は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、ノズル基板６０の製造には公知の材料及び製法が任意に採用され得る。また、ノズルＮは、ノズル基板６０に設けられた貫通孔である。本実施形態では、一例として、ノズル基板６０において、Ｍ個のノズルＮが、Ｙ軸方向に延在するノズル列Ｌnを形成するように設けられた場合を想定する。

図２及び図３に例示される通り、ノズル基板６０の－Ｚ側には、連通板２が設けられる。連通板２は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、連通板２には、１個の供給流路ＲA1と、１個の排出流路ＲA2とが形成される。このうち、供給流路ＲA1は、後述する供給流路ＲB1と連通し、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。また、排出流路ＲA2は、後述する排出流路ＲB2と連通し、供給流路ＲA1から見て－Ｘ方向においてＹ軸方向に延在するように設けられる。
また、連通板２には、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個のノズル流路ＲNと、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲR1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲR2と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲK1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲK2と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲX1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲX2と、が形成される。なお、連通板２には、Ｍ個のノズルＮに共通する１個の連通流路ＲX1が設けられてもよいし、Ｍ個のノズルＮに共通する１個の連通流路ＲX2が設けられてもよい。
このうち、連通流路ＲX1は、供給流路ＲA1と連通し、供給流路ＲA1から見て－Ｘ方向においてＸ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲK1は、連通流路ＲX1と連通し、連通流路ＲX1から見て－Ｘ方向においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲR1は、連通流路ＲK1から見て－Ｘ方向においてＺ軸方向に延在するように設けられる。
また、連通流路ＲX2は、排出流路ＲA2と連通し、排出流路ＲA2から見て＋Ｘ方向においてＸ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲK2は、連通流路ＲX2と連通し、連通流路ＲX2から見て＋Ｘ方向においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲR2は、連通流路ＲK2から見て＋Ｘ方向であって、連通流路ＲR1から見て－Ｘ方向において、Ｚ軸方向に延在するように設けられる。
また、ノズル流路ＲNは、連通流路ＲR1及び連通流路ＲR2を連通し、連通流路ＲR1から見て－Ｘ方向であって、連通流路ＲR2から見て＋Ｘ方向において、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。ノズル流路ＲNは、当該ノズル流路ＲNに対応するノズルＮに連通する。
なお、連通板２は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、連通板２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２及び図３に例示される通り、連通板２の－Ｚ側には、圧力室基板３が設けられる。圧力室基板３は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、圧力室基板３には、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の圧力室ＣB1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の圧力室ＣB2と、が形成される。このうち、圧力室ＣB1は、連通流路ＲK1及び連通流路ＲR1を連通し、Ｚ軸方向から見た場合に、連通流路ＲK1の＋Ｘ側の端部と、連通流路ＲR1の－Ｘ側の端部とを結び、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。また、圧力室ＣB2は、連通流路ＲK2及び連通流路ＲR2を連通し、Ｚ軸方向から見た場合に、連通流路ＲK2の－Ｘ側の端部と、連通流路ＲR2の＋Ｘ側の端部とを結び、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。
なお、圧力室基板３は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、圧力室基板３の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。
また、詳細は後述するが、圧力室基板３には、圧力室ＣB1に対応して傾斜部ＴP1A及び傾斜部ＴP1Bが設けられ、圧力室ＣB2に対応して傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP2Bが設けられる。

なお、以下では、供給流路ＲA1及び排出流路ＲA2を連通するインクの流路を、循環流路ＲJと称する。
図４に例示される通り、供給流路ＲA1及び排出流路ＲA2は、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の循環流路ＲJにより連通される。各循環流路ＲJは、上述のとおり、供給流路ＲA1に連通する連通流路ＲX1と、連通流路ＲX1に連通する連通流路ＲK1と、連通流路ＲK1に連通する圧力室ＣB1と、圧力室ＣB1に連通する連通流路ＲR1と、連通流路ＲR1に連通するノズル流路ＲNと、ノズル流路ＲNに連通する連通流路ＲR2と、連通流路ＲR2に連通する圧力室ＣB2と、圧力室ＣB2に連通する連通流路ＲK2と、連通流路ＲK2及び排出流路ＲA2を連通する連通流路ＲX2と、を含む。なお、本実施形態では、一例として、各循環流路ＲJが、Ｘ軸方向に延在する場合を想定する。

図２及び図３に例示される通り、圧力室基板３の－Ｚ側には、振動板４が設けられる。振動板４は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であって、弾性的に振動可能な部材である。

図２及び図３に例示される通り、振動板４の－Ｚ側には、Ｍ個の圧力室ＣB1に１対１に対応するＭ個の圧電素子ＰZ1と、Ｍ個の圧力室ＣB2に１対１に対応するＭ個の圧電素子ＰZ2と、が設けられる。以下では、圧電素子ＰZ1及び圧電素子ＰZ2を、圧電素子ＰZqと総称する。圧電素子ＰZqは、駆動信号Ｃomの電位変化に応じて変形する受動素子である。換言すれば、圧電素子ＰZqは、駆動信号Ｃomの電気エネルギーを運動エネルギーに変換する、エネルギー変換素子の一例である。なお、以下では、液体吐出ヘッド１のうち、圧電素子ＰZqに対応する構成要素または信号を示す符号に、添え字「ｑ」を付する場合がある。

図５は、圧電素子ＰZqの近傍を拡大した断面図である。
図５に例示される通り、圧電素子ＰZqは、所定の基準電位ＶBSが供給される下部電極ＺDqと、駆動信号Ｃomが供給される上部電極ＺUqとの間に、圧電体ＺMqを介在させた積層体である。圧電素子ＰZqは、例えば、－Ｚ方向から見たときに、下部電極ＺDqと上部電極ＺUqと圧電体ＺMqとが重なる部分である。また、圧電素子ＰZqの＋Ｚ方向には、圧力室ＣBqが設けられる。
上述の通り、圧電素子ＰZqは、駆動信号Ｃomの電位変化に応じて駆動されて変形する。振動板４は、圧電素子ＰZqの変形に連動して振動する。振動板４が振動すると、圧力室ＣBq内の圧力が変動する。そして、圧力室ＣBq内の圧力が変動することで、圧力室ＣBqの内部に充填されたインクが、連通流路ＲRq及びノズル流路ＲNを経由して、ノズルＮから吐出される。

図２及び図３に例示される通り、振動板４の－Ｚ側の面には、配線基板８が実装される。配線基板８は、制御装置９０及び液体吐出ヘッド１を電気的に接続するための部品である。配線基板８としては、例えば、ＦＰＣまたはＦＦＣ等の可撓性の配線基板が好適に採用される。ここで、ＦＰＣとは、Flexible Printed Circuitの略称であり、また、ＦＦＣとは、Flexible Flat Cableの略称である。配線基板８には、駆動回路８１が実装される。駆動回路８１は、制御信号ＳIによる制御のもとで、圧電素子ＰZqに対して、駆動信号Ｃomを供給するか否かを切り替える電気回路である。図５に例示される通り、駆動回路８１は、配線８１０を介して、圧電素子ＰZqの有する上部電極ＺUqに対して駆動信号Ｃomを供給する。
なお、以下では、圧電素子ＰZ1に供給される駆動信号Ｃomを、駆動信号Ｃom1と称し、圧電素子ＰZ2に供給される駆動信号Ｃomを、駆動信号Ｃom2と称する場合がある。本実施形態では、ノズルＮからインクを吐出させる際に、駆動回路８１がノズルＮに対応する圧電素子ＰZ1に供給する駆動信号Ｃom1の波形と、駆動回路８１がノズルＮに対応する圧電素子ＰZ2に供給する駆動信号Ｃom2の波形とが、略同じである場合を想定する。ここで、「略同じ」とは、完全に同一である場合の他に、誤差を考慮すれば同一であると看做せる場合を含む概念である。

図２及び図３に例示される通り、連通板２の－Ｚ側には、貯留室形成基板５が設けられる。貯留室形成基板５は、Ｙ軸方向に長尺な部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、貯留室形成基板５には、１個の供給流路ＲB1と、１個の排出流路ＲB2とが形成される。このうち、供給流路ＲB1は、供給流路ＲA1と連通し、供給流路ＲA1から見て－Ｚ方向において、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。また、排出流路ＲB2は、排出流路ＲA2と連通し、排出流路ＲA2から見て－Ｚ方向であって、供給流路ＲB1から見て－Ｘ方向において、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。
また、貯留室形成基板５には、供給流路ＲB1と連通する導入口５１と、排出流路ＲB2と連通する排出口５２とが設けられる。そして、供給流路ＲB1には、液体容器９３から、導入口５１を介してインクが供給される。また、排出流路ＲB2に貯留されたインクは、排出口５２を介して回収される。
また、貯留室形成基板５には、開口５０が設けられる。開口５０の内側には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８とが設けられる。
なお、貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。但し、貯留室形成基板５の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

本実施形態において、液体容器９３から導入口５１に供給されたインクは、供給流路ＲB1を経由して、供給流路ＲA1に流入する。そして、供給流路ＲA1に流入したインクの一部は、連通流路ＲX1及び連通流路ＲK1を経由して、圧力室ＣB1に流入する。また、圧力室ＣB1に流入したインクの一部は、連通流路ＲR1とノズル流路ＲNと連通流路ＲR2とを経由して、圧力室ＣB2に流入する。そして、圧力室ＣB2に流入したインクの一部は、連通流路ＲK2と連通流路ＲX2と排出流路ＲA2と排出流路ＲB2とを経由して、排出口５２から排出される。
なお、駆動信号Ｃom1により圧電素子ＰZ1が駆動される場合、圧力室ＣB1内部に充填されているインクの一部は、連通流路ＲR1とノズル流路ＲNとを経由して、ノズルＮから吐出される。また、駆動信号Ｃom2により圧電素子ＰZ2が駆動される場合、圧力室ＣB2内部に充填されているインクの一部は、連通流路ＲR2とノズル流路ＲNとを経由して、ノズルＮから吐出される。

図２及び図３に例示される通り、連通板２の＋Ｚ側の面上には、供給流路ＲA1と連通流路ＲX1と連通流路ＲK1とを閉塞するように、コンプライアンスシート６１が設けられる。コンプライアンスシート６１は、弾性材料から形成されており、供給流路ＲA1、連通流路ＲX1、及び、連通流路ＲK1内のインクの圧力変動を吸収する。また、連通板２の＋Ｚ側の面上には、排出流路ＲA2と連通流路ＲX2と連通流路ＲK2とを閉塞するように、コンプライアンスシート６２が設けられる。コンプライアンスシート６２は、弾性材料から形成されており、排出流路ＲA2、連通流路ＲX2、及び、連通流路ＲK2内のインクの圧力変動を吸収する。

以上のように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、供給流路ＲA1から循環流路ＲJを経由して排出流路ＲA2へと、インクを循環させる。このため、本実施形態では、圧力室ＣBq内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣBq内部及びノズル流路ＲN等において、インクが滞留した状態が継続することを防止できる。よって、本実施形態では、圧力室ＣBq内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣBq内部のインクが増粘することを抑制することが可能となり、インクの増粘に起因してノズルＮからインクが吐出できなくなる吐出異常の発生を予防することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1内部に充填されているインクと、圧力室ＣB2内部に充填されているインクとを、ノズルＮから吐出することができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、例えば、１個の圧力室ＣBq内部に充填されているインクのみをノズルＮから吐出する態様と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることが可能となる。

＜＜３．圧力室の形状＞＞
以下、図６及び図７を参照しつつ、圧力室ＣBqの形状を説明する。

図６は、循環流路ＲJのうち、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、圧力室ＣB1、連通流路ＲK1、及び、連通流路ＲX1の断面図である。
図６に例示されるように、連通流路ＲR1は、Ｙ軸方向から見た場合に、＋Ｘ側の壁面ＨRa1と、－Ｘ側の壁面ＨRb1とを有する。ここで、壁面ＨRa1は、連通流路ＲR1を構成する壁面のうち、Ｘ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。なお、本実施形態において、「一の物体と他の物体との距離」とは、一の物体と他の物体との間の最短距離を意味することとする。また、壁面ＨRb1は、Ｙ軸方向から見た場合に連通流路ＲR1を構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、壁面ＨRa1とは反対側の壁面である。
また、連通流路ＲK1は、Ｙ軸方向から見た場合に、－Ｘ側の壁面ＨKa1と、＋Ｘ側の壁面ＨKb1とを有する。ここで、壁面ＨKb1は、連通流路ＲK1を構成する壁面のうち、Ｘ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨKa1は、Ｙ軸方向から見た場合に連通流路ＲK1を構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、壁面ＨKb1とは反対側の壁面である。
また、圧力室ＣB1は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨC1を有する。ここで、壁面ＨC1は、圧力室ＣB1を構成する壁面のうち、Ｚ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合にＸ軸方向に延在する壁面である。

図６に例示されるように、圧力室基板３には、壁面ＨRb1と壁面ＨC1との間において、傾斜部ＴP1Aが設けられる。ここで、傾斜部ＴP1Aは、壁面ＨP11、壁面ＨP12、及び、壁面ＨP13を有する。
このうち、壁面ＨP11は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ11方向に延在し、壁面ＨC1に接続される。ここで、Ｗ11方向とは、＋Ｘ方向及び－Ｚ方向の間の方向である。具体的には、Ｗ11方向とは、＋Ｙ方向から見て、＋Ｘ方向を角度θ11だけ反時計回りに回転させた方向である。ここで、角度θ11とは、０度よりも大きく９０度よりも小さい角度であり、好ましくは、３０度よりも大きく６０度よりも小さい角度である。
また、壁面ＨP13は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ11方向に延在し、壁面ＨRb1に接続される。また、壁面ＨP12は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ12方向に延在し、壁面ＨP11及び壁面ＨP13を接続する。ここで、Ｗ12方向とは、＋Ｘ方向及びＷ11方向の間の方向である。具体的には、Ｗ12方向とは、＋Ｙ方向から見て、＋Ｘ方向を角度θ12だけ反時計回りに回転させた方向である。ここで、角度θ12とは、０度よりも大きく角度θ11よりも小さい角度である。なお、壁面ＨP12は、Ｙ軸方向から見た場合に、＋Ｘ方向に延在してもよい。

図６に例示されるように、圧力室基板３には、壁面ＨKb1と壁面ＨC1との間において、傾斜部ＴP1Bが設けられる。ここで、傾斜部ＴP1Bは、壁面ＨP14を有する。壁面ＨP14は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ13方向に延在し、壁面ＨKb1及び壁面ＨC1を接続する。ここで、Ｗ13方向とは、－Ｘ方向及び－Ｚ方向の間の方向である。具体的には、Ｗ13方向とは、＋Ｙ方向から見て、－Ｘ方向を角度θ13だけ時計回りに回転させた方向である。ここで、角度θ13とは、０度よりも大きく９０度よりも小さい角度であり、好ましくは、３０度よりも大きく６０度よりも小さい角度である。例えば、角度θ13は角度θ11と略同じであってもよい。

図７は、循環流路ＲJのうち、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR2、圧力室ＣB2、連通流路ＲK2、及び、連通流路ＲX2の断面図である。
図７に例示されるように、連通流路ＲR2は、Ｙ軸方向から見た場合に、－Ｘ側の壁面ＨRa2と、＋Ｘ側の壁面ＨRb2とを有する。ここで、壁面ＨRa2は、連通流路ＲR2を構成する壁面のうち、Ｘ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨRb2は、Ｙ軸方向から見た場合に連通流路ＲR2を構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、壁面ＨRa2とは反対側の壁面である。
また、連通流路ＲK2は、Ｙ軸方向から見た場合に、＋Ｘ側の壁面ＨKa2と、－Ｘ側の壁面ＨKb2とを有する。ここで、壁面ＨKb2は、連通流路ＲK2を構成する壁面のうち、Ｘ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨKa2は、Ｙ軸方向から見た場合に連通流路ＲK2を構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、壁面ＨKb2とは反対側の壁面である。
また、圧力室ＣB2は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨC2を有する。ここで、壁面ＨC2は、圧力室ＣB2を構成する壁面のうち、Ｚ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合にＸ軸方向に延在する壁面である。

図７に例示されるように、圧力室基板３には、壁面ＨRb2と壁面ＨC2との間において、傾斜部ＴP2Aが設けられる。ここで、傾斜部ＴP2Aは、壁面ＨP21、壁面ＨP22、及び、壁面ＨP23を有する。
このうち、壁面ＨP21は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ21方向に延在し、壁面ＨC2に接続される。ここで、Ｗ21方向とは、－Ｘ方向及び－Ｚ方向の間の方向である。具体的には、Ｗ21方向とは、＋Ｙ方向から見て、－Ｘ方向を角度θ21だけ時計回りに回転させた方向である。ここで、角度θ21とは、０度よりも大きく９０度よりも小さい角度であり、好ましくは、３０度よりも大きく６０度よりも小さい角度である。例えば、角度θ21は角度θ11と略同じであってもよい。
また、壁面ＨP23は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ21方向に延在し、壁面ＨRb2に接続される。また、壁面ＨP22は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ22方向に延在し、壁面ＨP21及び壁面ＨP23を接続する。ここで、Ｗ22方向とは、－Ｘ方向及びＷ21方向の間の方向である。具体的には、Ｗ22方向とは、＋Ｙ方向から見て、－Ｘ方向を角度θ22だけ時計回りに回転させた方向である。ここで、角度θ22とは、０度よりも大きく角度θ21よりも小さい角度である。例えば、角度θ22は角度θ12と略同じであってもよい。
なお、壁面ＨP22は、Ｙ軸方向から見た場合に、－Ｘ方向に延在してもよい。また、傾斜部ＴP2Aは、傾斜部ＴP1Aと略同じ形状を有していてもよい。具体的には、傾斜部ＴP1A及び傾斜部ＴP2Aは、例えば、ノズルＮを通りＹＺ平面に平行な平面を基準として面対称となるように設けられてもよい。

図７に例示されるように、圧力室基板３には、壁面ＨKb2と壁面ＨC2との間において、傾斜部ＴP2Bが設けられる。ここで、傾斜部ＴP2Bは、壁面ＨP24を有する。壁面ＨP24は、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ23方向に延在し、壁面ＨKb2及び壁面ＨC2を接続する。ここで、Ｗ23方向とは、＋Ｘ方向及び－Ｚ方向の間の方向である。具体的には、Ｗ23方向とは、＋Ｙ方向から見て、＋Ｘ方向を角度θ23だけ反時計回りに回転させた方向である。ここで、角度θ23とは、０度よりも大きく９０度よりも小さい角度であり、好ましくは、３０度よりも大きく６０度よりも小さい角度である。例えば、角度θ23は角度θ21と略同じであってもよい。また、例えば、角度θ23は角度θ13と略同じであってもよい。
また、傾斜部ＴP2Bは、傾斜部ＴP1Bと略同じ形状を有していてもよい。具体的には、傾斜部ＴP1B及び傾斜部ＴP2Bは、例えば、ノズルＮを通りＹＺ平面に平行な平面を基準として面対称となるように設けられてもよい。

なお、本実施形態において、ノズルＮは、ノズル流路ＲNの略中央に設けられる。例えば、Ｘ軸方向におけるノズルＮから壁面ＨRb1までの距離と、Ｘ軸方向におけるノズルＮから壁面ＨRb2までの距離とは、略同じであってもよい。ここで、「略中央」とは、厳密に同一である場合の他に、誤差を考慮すれば中央であると看做せる場合を含む概念である。

＜＜４．参考例＞＞
以下、本実施形態の効果を明確化するために、図８を参照しつつ、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zについて説明する。なお、液体吐出ヘッド１Zは、圧力室基板３の代わりに、圧力室基板３Zを備える点を除き、実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に構成されている。また、圧力室基板３Zは、傾斜部ＴP1A、傾斜部ＴP1B、傾斜部ＴP2A、及び、傾斜部ＴP2Bが設けられていない点を除き、実施形態に係る圧力室基板３と同様に構成されている。また、液体吐出ヘッド１Zの有する循環流路ＲJZは、圧力室ＣB1の代わりに圧力室ＣB1Zが設けられ、圧力室ＣB2の代わりに圧力室ＣB2Zが設けられている点において、実施形態に係る循環流路ＲJと相違する。

図８は、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zに設けられた循環流路ＲJZのうち、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR2、圧力室ＣB2Z、連通流路ＲK2、及び、連通流路ＲX2の断面図である。
図８に例示されるように、圧力室ＣB2Zは、圧力室ＣB2Zを構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面ＨC21及び壁面ＨC22を備える。ここで、壁面ＨC21は、圧力室ＣB2Zを構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、＋Ｘ側の壁面であり、壁面ＨC2及び壁面ＨRb2を接続する。また、壁面ＨC22は、圧力室ＣB2Zを構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、－Ｘ側の壁面であり、壁面ＨC2及び壁面ＨKb2を接続する。

参考例に係る液体吐出ヘッド１Zにおいて、供給流路ＲA1から循環流路ＲJZを経由して排出流路ＲA2へとインクが流れる場合、壁面ＨC2及び壁面ＨC21の境界の領域Ａr1と、壁面ＨC2及び壁面ＨC22の境界の領域Ａr2とにおいて、インクの流速が低下し、インクが滞留する。このため、循環流路ＲJZ内で発生した気泡が、領域Ａr1及び領域Ａr2において滞留する可能性が高くなる。そして、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zにおいて、圧電素子ＰZ2が駆動信号Ｃom2により駆動され、圧力室ＣB2Z内のインクを、ノズルＮから吐出しようとする場合においても、圧電素子ＰZ2がインクを押し出そうとする圧力が、圧力室ＣB2Zのうち領域Ａr1及び領域Ａr2に滞留する気泡により吸収され、ノズルＮからインクを吐出し難くなる、所謂吐出異常が発生する。そして、吐出異常が発生する場合、媒体ＰPに対して形成される画像の画質が低下する。
同様に、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zでは、圧電素子ＰZ1がインクを押し出そうとする圧力が、圧力室ＣB1Zに滞留する気泡により吸収され、ノズルＮからインクを吐出し難くなる場合も存在しうる。

これに対して、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、圧力室ＣB2において、傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP2Bが設けられる。よって、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、液体吐出ヘッド１Zと比較して、圧力室ＣB2において気泡が滞留する可能性を低減することができる。また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、液体吐出ヘッド１Zと比較して、圧力室ＣB1において、傾斜部ＴP1A及び傾斜部ＴP1Bが設けられる。よって、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、液体吐出ヘッド１Zと比較して、圧力室ＣB1において気泡が滞留する可能性を低減することができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、液体吐出ヘッド１Zと比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、液体吐出ヘッド１Zと比較して、媒体ＰPに対してより高画質の画像を形成することが可能となる。

＜＜５．実施形態の纏め＞＞
以上において説明したように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、－Ｘ方向に延在し、インクに圧力を付与する圧力室ＣB1と、－Ｘ方向に延在し、インクに圧力を付与する圧力室ＣB2と、－Ｘ方向に延在し、インクを吐出するノズルＮに連通するノズル流路ＲNと、－Ｘ方向と交差する－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB1及びノズル流路ＲNを連通する連通流路ＲR1と、－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB2及びノズル流路ＲNを連通する連通流路ＲR2と、圧力室ＣB1にインクを供給する供給流路ＲA1と、圧力室ＣB2からインクが排出される排出流路ＲA2と、を備え、圧力室ＣB2の壁面は、－Ｘ方向に延在し、－Ｚ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨC2を含み、連通流路ＲR2の壁面は、－Ｚ方向に延在し、－Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨRa2と、－Ｘ方向において壁面ＨRa2とは反対側の壁面ＨRb2と、を含み、壁面ＨC2と壁面ＨRb2との間には、傾斜部ＴP2Aが設けられ、傾斜部ＴP2Aは、＋Ｘ方向及び－Ｚ方向の間のＷ21方向に延在する壁面ＨP21を有する、ことを特徴とする。
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Aが設けられるため、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Aが設けられない態様と比較して、連通流路ＲR2から圧力室ＣB2へと向かうインクの流れ、及び、圧力室ＣB2から連通流路ＲR2へと向かうインクの流れを、円滑にすることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Aが設けられない態様と比較して、連通流路ＲR2及び圧力室ＣB2において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Aが設けられない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が、連通流路ＲR1、ノズル流路ＲN、及び、連通流路ＲR2を介して連通しているため、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2の間において、インクの流れを生じさせることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が連通していない態様と比較して、ノズル流路ＲN等において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が連通していない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
なお、本実施形態において、圧力室ＣB1は「第１圧力室」の一例であり、圧力室ＣB2は「第２圧力室」の一例であり、連通流路ＲR1は「第１連通流路」の一例であり、連通流路ＲR2は「第２連通流路」の一例であり、壁面ＨC2は「第１壁面」の一例であり、壁面ＨRa2は「第２壁面」の一例であり、壁面ＨRb2は「第３壁面」の一例であり、傾斜部ＴP2Aは「第１傾斜部」の一例であり、壁面ＨP21は「第１構成面」の一例であり、インクは「液体」の一例であり、－Ｘ方向は「第１方向」の一例であり、－Ｚ方向は「第２方向」の一例であり、Ｗ21方向は「第３方向」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、－Ｚ方向に延在し、連通流路ＲR2及び排出流路ＲA2を連通する連通流路ＲK2を備え、連通流路ＲK2の壁面は、－Ｚ方向に延在し、－Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨKb2を含み、壁面ＨKb2と壁面ＨC2との間には、傾斜部ＴP2Bが設けられ、傾斜部ＴP2Bは、＋Ｘ方向及び－Ｚ方向の間のＷ23方向に延在する壁面ＨP24を有する、ことを特徴とする。
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Bが設けられるため、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Bが設けられない態様と比較して、連通流路ＲK2から圧力室ＣB2へと向かうインクの流れ、及び、圧力室ＣB2から連通流路ＲK2へと向かうインクの流れを、円滑にすることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Bが設けられない態様と比較して、連通流路ＲK2及び圧力室ＣB2において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB2において傾斜部ＴP2Bが設けられない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
なお、本実施形態において、連通流路ＲK2は「第３連通流路」の一例であり、壁面ＨKb2は「第４壁面」の一例であり、傾斜部ＴP2Bは「第２傾斜部」の一例であり、壁面ＨP24は「第２構成面」の一例であり、＋Ｘ方向は「第４方向」の一例であり、Ｗ23方向は「第５方向」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、－Ｘ方向及びＷ21方向のなす角度θ21は、＋Ｘ方向及びＷ23方向のなす角度θ23と略同じであってもよい。
この場合、本実施形態によれば、角度θ21及び角度θ23が異なる角度である場合と比較して、液体吐出ヘッド１の製造が容易となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、傾斜部ＴP2Aは、－Ｘ方向、または、－Ｘ方向及びＷ21方向の間のＷ22方向に延在する壁面ＨP22を有する、ことを特徴とする。この場合、壁面ＨP22は、壁面ＨP21及び壁面ＨRb2の間に設けられてもよい。また、この場合、壁面ＨP22及び壁面ＨRb2の間には、Ｗ21方向に延在する壁面ＨP23が設けられてもよい。
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、傾斜部ＴP2Aにおいて壁面ＨP22が設けられるため、傾斜部ＴP2Aにおいて壁面ＨP22が設けられない態様と比較して、連通流路ＲR2から圧力室ＣB2へと向かうインクの流れ、及び、圧力室ＣB2から連通流路ＲR2へと向かうインクの流れを、円滑にすることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、傾斜部ＴP2Aにおいて壁面ＨP22が設けられない態様と比較して、連通流路ＲR2及び圧力室ＣB2において気泡が滞留する可能性を低減することができる。
特に、傾斜部ＴP2Aは、ノズルＮからインクを吐出するときには、インクが流れる方向を、＋Ｘ方向から－Ｚ方向に切り替える一方で、ノズルＮからインクを吐出させずに循環流路ＲJにおいてインクを循環させるときには、インクが流れる方向を、＋Ｚ方向から－Ｘ方向に切り替えるための構成要素である。本実施形態では、傾斜部ＴP2Aにおいて、Ｘ軸方向に対する傾斜が比較的小さいＷ22方向に延在する壁面ＨP22を設けることで、ノズルＮからインク吐出するときに、インクが流れる方向を、＋Ｘ方向から－Ｚ方向に円滑に切り替えることができる。また、本実施形態では、傾斜部ＴP2Aにおいて、Ｘ軸方向に対する傾斜が比較的大きいＷ21方向に延在する壁面ＨP23を設けることで、ノズルＮからインクを吐出させずに循環流路ＲJにおいてインクを循環させるときに、インクが流れる方向を、＋Ｚ方向から－Ｘ方向に円滑に切り替えることができる。
なお、本実施形態において、壁面ＨP22は「第３構成面」の一例であり、Ｗ22方向は「第６方向」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、圧力室ＣB1の壁面は、－Ｘ方向に延在し、－Ｚ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨC1を含み、連通流路ＲR1の壁面は、－Ｚ方向に延在し、＋Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨRa1と、－Ｘ方向において壁面ＨRa1とは反対側の壁面ＨRb1と、を含み、壁面ＨC1と壁面ＨRb1との間には、傾斜部ＴP1Aが設けられ、傾斜部ＴP1Aは、－Ｚ方向及び＋Ｘ方向の間のＷ11方向に延在する壁面ＨP11を有する、ことを特徴とする。
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Aが設けられるため、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Aが設けられない態様と比較して、連通流路ＲR1から圧力室ＣB1へと向かうインクの流れ、及び、圧力室ＣB1から連通流路ＲR1へと向かうインクの流れを、円滑にすることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Aが設けられない態様と比較して、連通流路ＲR1及び圧力室ＣB1において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Aが設けられない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
なお、本実施形態において、壁面ＨC1は「第５壁面」の一例であり、壁面ＨRa1は「第６壁面」の一例であり、壁面ＨRb1は「第７壁面」の一例であり、傾斜部ＴP1Aは「第３傾斜部」の一例であり、壁面ＨP11は「第４構成面」の一例であり、Ｗ11方向は「第５方向」の他の例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、傾斜部ＴP2Aと傾斜部ＴP1Aとは、略同じ形状を有してもよい。
本実施形態において、傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP1Aが略同じ形状の場合、傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP1Aが異なる形状の場合と比較して、液体吐出ヘッド１の製造が容易となる。
また、本実施形態において、傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP1Aが略同じ形状の場合、圧力室ＣB1から連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状と、圧力室ＣB2から連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状とを、略同じにすることができる。よって、本実施形態において、傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP1Aが略同じ形状の場合、傾斜部ＴP2A及び傾斜部ＴP1Aが異なる形状の場合と比較して、圧力室ＣB1に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御と、圧力室ＣB2に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御とを、簡素化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB1及び供給流路ＲA1を連通する連通流路ＲK1を備え、連通流路ＲK1の壁面は、－Ｚ方向に延在し、＋Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨKb1を含み、壁面ＨKb1と壁面ＨC1との間には、傾斜部ＴP1Bが設けられ、傾斜部ＴP1Bは、Ｗ13方向に延在する壁面ＨP14を有する、ことを特徴とする。
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Bが設けられるため、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Bが設けられない態様と比較して、連通流路ＲK1から圧力室ＣB1へと向かうインクの流れ、及び、圧力室ＣB1から連通流路ＲK1へと向かうインクの流れを、円滑にすることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Bが設けられない態様と比較して、連通流路ＲK1及び圧力室ＣB1において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1において傾斜部ＴP1Bが設けられない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
なお、本実施形態において、連通流路ＲK1は「第４連通流路」の一例であり、壁面ＨKb1は「第８壁面」の一例であり、傾斜部ＴP1Bは「第４傾斜部」の一例であり、壁面ＨP14は「第５構成面」の一例であり、Ｗ13方向は「第３方向」の他の例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が設けられた圧力室基板３と、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、連通流路ＲR2、供給流路ＲA1、及び、排出流路ＲA2が設けられた連通板２と、ノズルＮが設けられたノズル基板６０と、を備える、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1、圧力室ＣB2、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、連通流路ＲR2、供給流路ＲA1、排出流路ＲA2、及び、ノズルＮを、半導体製造技術を利用して製造することができる。これにより、本実施形態によれば、圧力室ＣB1、圧力室ＣB2、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、連通流路ＲR2、供給流路ＲA1、排出流路ＲA2、及び、ノズルＮを、微細化及び高密度化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、傾斜部ＴP2Aは、圧力室基板３に設けられる、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、傾斜部ＴP2Aを半導体製造技術を利用して製造することができる。これにより、本実施形態によれば、傾斜部ＴP2Aを微細化及び高密度化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、ノズルＮは、ノズル流路ＲNの略中央において、ノズル流路ＲNに連通する、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1から連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状と、圧力室ＣB2から連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状とを、略同じにすることができる。これにより、本実施形態によれば、例えば、ノズル流路ＲNの中央とは異なる位置においてノズルＮがノズル流路ＲNと連通する態様と比較して、圧力室ＣB1に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御と、圧力室ＣB2に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御とを、簡素化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、駆動信号Ｃom1の供給に応じて、圧力室ＣB1内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰZ1と、駆動信号Ｃom2の供給に応じて、圧力室ＣB2内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰZ2と、を備える、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、１個の圧力室ＣBq内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰZqのみを備える態様と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることが可能となる。
なお、本実施形態において、圧電素子ＰZ1は「第１素子」の一例であり、圧電素子ＰZ2は「第２素子」の一例であり、駆動信号Ｃom1は「第１駆動信号」の一例であり、駆動信号Ｃom2は「第２駆動信号」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、駆動信号Ｃom1の波形と、駆動信号Ｃom2の波形とは、略同じである、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、駆動信号Ｃom1の波形と駆動信号Ｃom2の波形とが異なる態様と比較して、圧力室ＣB1に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御と、圧力室ＣB2に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御とを、簡素化することが可能となる。

＜＜Ｂ．変形例＞＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

＜変形例１＞
上述した実施形態では、図４に示すように、圧力室ＣBqの形状が、Ｚ軸方向から見たときに矩形である態様を一例として示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。Ｚ軸方向から見たときの圧力室ＣBqの形状は任意であってもよい。例えば、Ｚ軸方向から見たときの圧力室ＣBqの形状として、平行四辺形または台形を採用してもよい。また、Ｚ軸方向から見たときの循環流路ＲJの形状も、図４に示す形状に限定されるものではない。Ｚ軸方向から見たときの循環流路ＲJの形状は任意であってもよい。

図９は、本変形例に係る循環流路ＲJAを、Ｚ軸方向から見たときの平面図である。
図９に示すように、本変形例において、循環流路ＲJAは、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2の代わりに、圧力室ＣB1A及び圧力室ＣB2Aを備える点において、実施形態に係る循環流路ＲJと相違する。圧力室ＣB1Aは、連通流路ＲK1の－Ｚ側におけるＹ軸方向の幅ｄY1Aが、連通流路ＲR1の－Ｚ側におけるＹ軸方向の幅ｄY1Bよりも広くなるように設けられている。また、圧力室ＣB2Aは、連通流路ＲK2の－Ｚ側におけるＹ軸方向の幅ｄY2Aが、連通流路ＲR2の－Ｚ側におけるＹ軸方向の幅ｄY2Bよりも広くなるように設けられている。ここで、幅ｄY2Aは、幅ｄY1Aと略同じであってもよいし、幅ｄY2Bは、幅ｄY1Bと略同じであってもよい。

本変形例によれば、連通流路ＲKqに近い位置における圧力室ＣBqのＹ軸方向の幅ｄYqAよりも、連通流路ＲRqに近い位置における圧力室ＣBqのＹ軸方向の幅ｄYqBの方が狭いため、連通流路ＲKqにおけるインクの流速よりも、連通流路ＲRqにおけるインクの流速を速くすることができる。このため、本変形例によれば、圧力室ＣBqから連通流路ＲRq及びノズル流路ＲNを経由してノズルＮに至るまでの経路において、気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本変形例によれば、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。

＜変形例２＞
上述した実施形態及び変形例１では、液体吐出ヘッド１を搭載した無端ベルト９２２を、Ｙ軸方向に往復動させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。液体吐出装置は、複数のノズルＮが、媒体ＰPの全幅に亘り分布する、ライン方式の液体吐出装置であってもよい。

図１０は、本変形例に係る液体吐出装置１００Bの構成の一例を示す図である。液体吐出装置１００Bは、制御装置９０の代わりに制御装置９０Bを備える点と、収納ケース９２１の代わりに収納ケース９２１Bを備える点と、無端ベルト９２２を備えない点とにおいて、実施形態に係る液体吐出装置１００と相違する。制御装置９０Bは、無端ベルト９２２を制御する信号を出力しない点において、制御装置９０と相違する。収納ケース９２１Bは、Ｙ軸方向を長手方向とする複数の液体吐出ヘッド１が、媒体ＰPの全幅に亘り分布するように設けられている。なお、収納ケース９２１Bには、液体吐出ヘッド１の代わりに、液体吐出ヘッド１Aまたは液体吐出ヘッド１Bが搭載されてもよい。

＜変形例３＞
上述した実施形態並びに変形例１及び２では、圧力室ＣBの内部に圧力を付与するエネルギー変換素子として、電気エネルギーを運動エネルギーに変換する圧電素子ＰZを例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。圧力室ＣBの内部に圧力を付与するエネルギー変換素子としては、例えば、電気エネルギーを熱エネルギーに変換し、加熱により圧力室ＣBの内部に気泡を発生させて、圧力室ＣBの内部の圧力を変動させる発熱素子を採用してもよい。発熱素子は、例えば、駆動信号Ｃomの供給により発熱体が発熱する素子であってもよい。

＜変形例４＞
上述した実施形態及び変形例１乃至３で例示した液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置及びコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線及び電極を形成する製造装置として利用される。

１…液体吐出ヘッド、２…連通板、３…圧力室基板、４…振動板、５…貯留室形成基板、８…配線基板、６０…ノズル基板、１００…液体吐出装置、ＣB1…圧力室、ＣB2…圧力室、ＨC1…壁面、ＨC2…壁面、ＨKa1…壁面、ＨKa2…壁面、ＨKb1…壁面、ＨKb2…壁面、Ｎ…ノズル、ＰZ1…圧電素子、ＰZ2…圧電素子、ＲA1…供給流路、ＲA2…排出流路、ＲK1…連通流路、ＲK2…連通流路、ＲN…ノズル流路、ＲR1…連通流路、ＲR2…連通流路、ＴP1A…傾斜部、ＴP1B…傾斜部、ＴP2A…傾斜部、ＴP2B…傾斜部。

Claims (16)

1. 第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、
   前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、
   前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、
   前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、
   前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、
   前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、
   前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、
   前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記排出流路を連通する第３連通流路と、
   を備え、
   前記第２圧力室の壁面は、
   前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第１壁面を含み、
   前記第２連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第２壁面と、前記第１方向において前記第２壁面とは反対側の第３壁面と、を含み、
   前記第１壁面と前記第３壁面との間には、第１傾斜部が設けられ、
   前記第１傾斜部は、
   前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第１構成面を有し、
   前記第３連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第４壁面を含み、
   前記第１壁面と前記第４壁面の間には、第２傾斜部が設けられ、
   前記第２傾斜部は、
   前記第１方向と反対の第４方向及び前記第２方向の間の第５方向に延在する第２構成面を有する、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、
   前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、
   前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、
   前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、
   前記第１方向と交差する第２方向に延在し、一端が前記第１圧力室に連通する第１連通流路と、
   前記第２方向に延在し、一端が前記第２圧力室に連通する第２連通流路と、
   前記第２方向に延在し、一端が前記第２圧力室に連通し、他端が前記排出流路に連通する第３連通流路と、
   前記第１連通流路の他端と、前記第２連通流路の他端と、液体を吐出するノズルと、を連通するノズル流路と、
   を備え、
   前記第２圧力室の壁面は、
   前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第１壁面を含み、
   前記第２連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第２壁面と、前記第１方向において前記第２壁面とは反対側の第３壁面と、を含み、
   前記第１壁面と前記第３壁面との間には、第１傾斜部が設けられ、
   前記第１傾斜部は、
   前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第１構成面を有し、
   前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記排出流路を連通する第３連通流路を更に備え、
   前記第３連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第４壁面を含み、
   前記第１壁面と前記第４壁面の間には、第２傾斜部が設けられ、
   前記第２傾斜部は、
   前記第１方向と反対の第４方向及び前記第２方向の間の第５方向に延在する第２構成面を有する、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 前記第１方向及び前記第３方向のなす角度は、
   前記第４方向及び前記第５方向のなす角度と略同じである、
   ことを特徴とする、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１傾斜部は、
   前記第１方向及び前記第３方向の間の第６方向に延在する第３構成面を有する、
   ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１傾斜部は、
   前記第１方向に延在する第３構成面を有する、
   ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第３構成面は、
   前記第１構成面と前記第３壁面との間に設けられる、
   ことを特徴とする、請求項４または５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１圧力室の壁面は、
   前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第５壁面を含み、
   前記第１連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向と反対の第４方向において前記ノズルから最も遠い第６壁面と、前記第１方向において前記第６壁面とは反対側の第７壁面と、を含み、
   前記第５壁面と前記第７壁面の間には、第３傾斜部が設けられ、
   前記第３傾斜部は、
   前記第２方向及び前記第４方向の間の第５方向に延在する第４構成面を有する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至６のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１傾斜部と前記第３傾斜部とは、略同じ形状を有する、
   ことを特徴とする、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記供給流路を連通する第４連通流路を更に備え、
   前記第４連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第４方向において前記ノズルから最も遠い第８壁面を含み、
   前記第５壁面と前記第８壁面の間には、第４傾斜部が設けられ、
   前記第４傾斜部は、
   前記第３方向に延在する第５構成面を有する、
   ことを特徴とする、請求項７または８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１圧力室、及び、前記第２圧力室が設けられた圧力室基板と、
    前記ノズル流路、前記第１連通流路、前記第２連通流路、前記供給流路、及び、前記排出流路が設けられた連通板と、
    前記ノズルが設けられたノズル基板と、
    を備える、
    ことを特徴とする、請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１傾斜部は、前記圧力室基板に設けられる、
    ことを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記ノズルは、
    前記ノズル流路の略中央において、前記ノズル流路に連通する、
    ことを特徴とする、請求項１乃至１１のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 第１駆動信号の供給に応じて、前記第１圧力室内の液体に圧力を付与する第１素子と、
    第２駆動信号の供給に応じて、前記第２圧力室内の液体に圧力を付与する第２素子と、
    を備える、
    ことを特徴とする、請求項１乃至１２のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第１駆動信号の波形と、
    前記第２駆動信号の波形とは、略同じである、
    ことを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
15. 第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、
    前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、
    前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記供給流路を連通する第４連通流路と、
    を備え、
    前記第２圧力室の壁面は、
    前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第１壁面を含み、
    前記第２連通流路の壁面は、
    前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第２壁面と、前記第１方向において前記第２壁面とは反対側の第３壁面と、を含み、
    前記第１壁面と前記第３壁面との間には、第１傾斜部が設けられ、
    前記第１傾斜部は、
    前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第１構成面を有し、
    前記第１圧力室の壁面は、
    前記第１方向に延在し、前記第２方向において前記ノズルから最も遠い第５壁面を含み、
    前記第１連通流路の壁面は、
    前記第２方向に延在し、前記第１方向と反対の第４方向において前記ノズルから最も遠い第６壁面と、前記第１方向において前記第６壁面とは反対側の第７壁面と、を含み、
    前記第５壁面と前記第７壁面の間には、第３傾斜部が設けられ、
    前記第３傾斜部は、
    前記第２方向及び前記第４方向の間の第５方向に延在する第４構成面を有し、
    前記第４連通流路の壁面は、
    前記第２方向に延在し、前記第４方向において前記ノズルから最も遠い第８壁面を含み、
    前記第５壁面と前記第８壁面の間には、第４傾斜部が設けられ、
    前記第４傾斜部は、
    前記第３方向に延在する第５構成面を有する、
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えた
    ことを特徴とする液体吐出装置。

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