JP7441091B2 - 多段光フィルタ装置、及び、多段光フィルタ装置の製造方法 - Google Patents
多段光フィルタ装置、及び、多段光フィルタ装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7441091B2 JP7441091B2 JP2020054911A JP2020054911A JP7441091B2 JP 7441091 B2 JP7441091 B2 JP 7441091B2 JP 2020054911 A JP2020054911 A JP 2020054911A JP 2020054911 A JP2020054911 A JP 2020054911A JP 7441091 B2 JP7441091 B2 JP 7441091B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical filter
- planar optical
- reflective surface
- filter device
- planar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 231
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 40
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 24
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
本発明の一実施形態に係る多段光フィルタ装置1の構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、多段光フィルタ装置1の構成を示す斜視図であり、図2は、多段光フィルタ装置1のAA’断面を示す断面図である。
多段光フィルタ装置1が備える平面状光フィルタ11aiの具体例について、図3を参照して説明する。図3は、本具体例に係る平面状光フィルタ11aiの斜視図である。
多段光フィルタ装置1の変形例(以下、「多段光フィルタ装置1A」と記載)について、図4及び図5を参照して説明する。図4は、多段光フィルタ装置1Aの構成を示す斜視図であり、図5は、多段光フィルタ装置1AのBB’断面を示す断面図である。
多段光フィルタ装置1の製造方法について、図6を参照して説明する。図6は、本製造方法の各段階を模式的に示す図である。
なお、直角プリズムミラー13a1~13a3は、図6に示すように、予め成形されたものを透明基板12に接着固定することにより実装してもよいし、図7に示すように、透明基板12上で成形することにより実装してもよい。後者の場合、直角プリズムミラー13a1の成形は、例えば、以下のように行う。直角プリズムミラー13a2,12a3の成形も同様である。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものでなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、上述した実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても、本発明の技術的範囲に含まれる。
11 光フィルタ群
11ai 平面状光フィルタ
11bi フレーム部
12 透明基板
12a ガラス層
12b 樹脂層
13 ミラー構造
13a1~13a3 直角プリズムミラー
13b1~13b6 反射面
21 光源
22 イメージセンサ
Claims (10)
- 少なくとも2つの平面状光フィルタを含む光フィルタ群と、前記光フィルタ群に属する第1の平面状光フィルタを透過した光を反射することによって、前記光フィルタ群に属する第2の平面状光フィルタに導くミラー構造と、を備えており、
前記光フィルタ群には、屈折率が個別に設定された複数のマイクロセルを有する平面状光フィルタが少なくとも一つ含まれている、
ことを特徴とする多段光フィルタ装置。 - 前記第1の平面状光フィルタ及び前記第2の平面状光フィルタは、同一の平面上に配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の多段光フィルタ装置。 - 前記ミラー構造は、(1)前記第1の平面状光フィルタを透過した光を反射する第1の反射面であって、前記平面の第1の側に配置され、前記平面との成す角が45°である第1の反射面と、(2)前記第1の反射面にて反射された光を更に反射し、前記第2の平面状光フィルタに導く第2の反射面であって、前記平面の前記第1の側に配置され、前記平面との成す角が45°である第2の反射面と、を含んでいる、
ことを特徴とする請求項2に記載の多段光フィルタ装置。 - 前記第1の反射面及び前記第2の反射面は、直角プリズムミラーの互いに直交する2つの面に形成されている、
ことを特徴とする請求項3に記載の多段光フィルタ装置。 - 前記第1の反射面は、第1の直角プリズムミラーの互いに直交する2つの面の各々と45°で交わる斜面に形成されており、前記第2の反射面は、第2の直角プリズムミラーの互いに直交する2つの面の各々と45°で交わる斜面に形成されている、
ことを特徴とする請求項3に記載の多段光フィルタ装置。 - 前記光フィルタ群は、前記平面上に配置された第3の平面状光フィルタを更に含み、
前記ミラー構造は、(3)前記第2の平面状光フィルタを透過した光を反射する第3の反射面であって、前記平面の第2の側に配置され、前記平面との成す角が45°である第3の反射面と、(4)前記第3の反射面にて反射された光を更に反射し、前記第3の平面状光フィルタに導く第4の反射面であって、前記平面の前記第2の側に配置され、前記平面との成す角が45°である第4の反射面と、を含んでいる、
ことを特徴とする請求項3~5の何れか一項に記載の多段光フィルタ装置。 - 前記光フィルタ群に属する平面状光フィルタは、一体成形されている、
ことを特徴とする請求項1~6の何れか一項に記載の多段光フィルタ装置。 - 前記複数のマイクロセルは、高さが個別に設定された複数のピラーにより構成され、
前記平面状光フィルタは、前記複数のマイクロセルが形成された領域を取り囲む、前記ピラーよりも高さの高いフレーム部を有している、
ことを特徴とする請求項1~7の何れか一項に記載の多段光フィルタ装置。 - 請求項1~8の何れか一項に記載の多段光フィルタ装置の製造方法であって、
前記光フィルタ群に属する平面状光フィルタを一体成形する工程を含んでいる、
ことを特徴とする多段光フィルタ装置の製造方法。 - 請求項1~8の何れか一項に記載の多段光フィルタ装置の製造方法であって、
前記ミラー構造に含まれる反射面の位置及び方向の一方又は両方を、前記光フィルタ群に属する平面状光フィルタを透過した光をモニタしながら調整する工程を含んでいる、
ことを特徴とする多段光フィルタ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054911A JP7441091B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 多段光フィルタ装置、及び、多段光フィルタ装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054911A JP7441091B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 多段光フィルタ装置、及び、多段光フィルタ装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021156962A JP2021156962A (ja) | 2021-10-07 |
JP7441091B2 true JP7441091B2 (ja) | 2024-02-29 |
Family
ID=77919709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020054911A Active JP7441091B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 多段光フィルタ装置、及び、多段光フィルタ装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7441091B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005241996A (ja) | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nikon Corp | 光学フィルタモジュール |
JP2007210083A (ja) | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Hitachi Ltd | Mems素子及びその製造方法 |
-
2020
- 2020-03-25 JP JP2020054911A patent/JP7441091B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005241996A (ja) | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nikon Corp | 光学フィルタモジュール |
JP2007210083A (ja) | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Hitachi Ltd | Mems素子及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021156962A (ja) | 2021-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI709776B (zh) | 具有光線偏轉元件之光學構件,其製造方法及適合於光學構件之線偏轉元件 | |
JP4239822B2 (ja) | 回折光学素子およびその製造方法、並びに光学装置 | |
US7113336B2 (en) | Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture | |
US4784935A (en) | Method of producing a passive optical device including at least one reflection grating | |
US5359684A (en) | Optical lensed coupler for use with a planar waveguide | |
US20150029588A1 (en) | Control of Light Wavefronts | |
TWI764135B (zh) | 導光板、其製造方法、導光板模組及圖像顯示裝置 | |
US7742230B2 (en) | Projection display-use screen and projection display system optical system | |
KR20190019710A (ko) | 복수 패턴 영역을 가지는 모듈의 제조방법, 그 제조방법에 따른 복수 패턴 영역을 가지는 모듈, 및 회절격자모듈 또는 회절격자모듈용 몰드의 제조방법 | |
JPWO2018135136A1 (ja) | 光学部品および光学部品の製造方法 | |
JP7441091B2 (ja) | 多段光フィルタ装置、及び、多段光フィルタ装置の製造方法 | |
JP2015170780A (ja) | 露光方法、微細周期構造体の製造方法、グリッド偏光素子の製造方法及び露光装置 | |
JP2012252113A (ja) | ウェハレンズの製造方法 | |
TWI743188B (zh) | 光學裝置、具有此裝置之合成光學裝置及製造此裝置之方法 | |
US9035406B2 (en) | Wafer level optical packaging system, and associated method of aligning optical wafers | |
JP2003084158A (ja) | レーザービームの干渉によるダイヤモンド構造のフォトニック結晶の製造方法 | |
JP5371194B2 (ja) | 成形体およびその製造方法 | |
JP7462791B2 (ja) | 光回折素子ユニット、多段光回折装置、及び、多段光回折装置の製造方法 | |
WO2022130679A1 (ja) | 光演算装置、及び、光演算装置の製造方法 | |
CN113985700B (zh) | 光波导与显示装置的制作方法及其使用的光罩 | |
US6917474B2 (en) | Lens array and method for fabricating the lens array | |
WO2022176282A1 (ja) | 光回折素子、光演算装置、光回折素子の位置調整方法、及び、光演算装置の製造方法 | |
WO2021199761A1 (ja) | 光演算装置、及び、光演算装置の製造方法 | |
JPH03200106A (ja) | 光導波路レンズ | |
JP2023084865A (ja) | 光学素子および光照射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240216 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7441091 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |