JP7421436B2 - 位置検出装置 - Google Patents
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Description
Claims (12)
- 測定対象物の軸方向に垂直な方向の位置を検出する位置検出装置において、
前記測定対象物に向けて光を照射する発光手段と、前記発光手段から前記測定対象物に照射される出射光を受光する受光手段とを備え、
前記出射光は、その光軸に対する垂直な断面が略円形の光束であり、
前記出射光の光束のうち、前記出射光の光軸と前記測定対象物の軸方向の両方に垂直な方向におけるいずれか一方の端部から半分以下の領域を前記受光手段で受光し、
前記受光手段で受光する半分以下の領域に前記測定対象物を配置したことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置において、
前記出射光の光束のうち、前記出射光の光軸と前記測定対象物の軸方向の両方に垂直な方向におけるいずれか一方の端部から半分以上の領域を遮光する遮光部材を備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項2に記載の位置検出装置において、
前記遮光部材は、前記発光手段と前記受光手段の間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項3に記載の位置検出装置において、
前記発光手段と前記受光手段の間に前記出射光を集光するレンズを配置し、
前記遮光部材は、前記レンズと前記測定対象物の間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項3に記載の位置検出装置において、
前記発光手段と前記受光手段の間に前記出射光を集光するレンズを配置し、
前記遮光部材は、前記発光手段と前記レンズの間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項3に記載の位置検出装置において、
前記発光手段と前記受光手段の間に前記出射光を集光するレンズを配置し、
前記遮光部材は、前記測定対象物と前記受光手段の間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置において、
前記出射光の光束のうち、前記出射光の光軸と前記測定対象物の軸方向の両方に垂直な方向におけるいずれか一方の端部から半分以上の領域の光路を折り曲げる反射部材を備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項7に記載の位置検出装置において、
前記反射部材は、前記発光手段と前記受光手段の間に備えることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項8に記載の位置検出装置において、
前記発光手段と前記受光手段の間に前記出射光を集光するレンズを配置し、
前記反射部材は、前記レンズと前記測定対象物の間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項8に記載の位置検出装置において、
前記発光手段と前記受光手段の間に前記出射光を集光するレンズを配置し、
前記反射部材は、前記発光手段と前記レンズの間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項8に記載の位置検出装置において、
前記発光手段と前記受光手段の間に前記出射光を集光するレンズを配置し、
前記反射部材は、前記測定対象物と前記受光手段の間に備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置において、
前記受光手段の受光領域は、前記出射光の光軸に垂直な断面における前記測定対象物の軸方向に沿った中心線に対して、前記出射光の光軸と前記測定対象物の軸方向の両方に垂直な方向におけるいずれか一方側に設けたことを特徴とする位置検出装置。
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JPS6488516A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Shaken Kk | Detector for quantity of fluctuation of optical beam of optical scanner |
JPH07281083A (ja) * | 1994-04-11 | 1995-10-27 | Olympus Optical Co Ltd | 測距及び測光装置 |
JP6462209B2 (ja) * | 2013-12-03 | 2019-01-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | 計測装置及び計測方法 |
EP3502611B1 (en) * | 2017-12-21 | 2023-08-16 | Hexagon Technology Center GmbH | Machine geometry monitoring |
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