JP7416533B2

JP7416533B2 - Probe card storage case and method for manufacturing the lower case part of the probe card storage case

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Publication number: JP7416533B2
Application number: JP2019218627A
Authority: JP
Inventors: 守弘斉藤
Original assignee: Kyodo KK
Current assignee: Kyodo KK
Priority date: 2019-12-03
Filing date: 2019-12-03
Publication date: 2024-01-17
Anticipated expiration: 2039-12-03
Also published as: JP2021089175A; JP2024026616A

Description

本発明は、半導体ウエハ検査用のプローブカードを収納するケースに関するものである。 The present invention relates to a case for housing a probe card for testing semiconductor wafers.

（１．従来の説明） (1. Conventional explanation)

半導体チップ（ウエハ）製造の最終検査においては、プローブカードを用いて、半導体チップの良否を測定する。該半導体チップは、非常に精度の高い品質が求められており、プローブカードのプローブ（探針）も、精度の高いものとなる。 In the final inspection of semiconductor chip (wafer) manufacturing, a probe card is used to measure the quality of the semiconductor chip. The semiconductor chip is required to have extremely high precision quality, and the probes of the probe card must also be highly precise.

そして、このプローブカードを移動する際、ホコリなどから保護するために、プローブカード収納ケースが必要となる。 When moving this probe card, a probe card storage case is required to protect it from dust and the like.

図２２～図２９は、従来のプローブカード１と、該プローブカード１を収納するための従来のプローブカード収納ケース２を示す。 22 to 29 show a conventional probe card 1 and a conventional probe card storage case 2 for storing the probe card 1. FIG.

（１．１．プローブカード１の説明） (1.1. Description of probe card 1)

上記プローブカード１は、例えば、図２３及び図２４に示すように、円板状のセラミック製のプローブカード基板３と、該プローブカード基板３の下面の中央部に設けられた多数のプローブ（探針）４と、上記セラミック製のプローブカード基板３の上面に固定された、該プローブカード基板３の補強用のスティフナー（補強材）５とよりなる。該スティフナー５は、例えば、リング状に形成され、上記該プローブカード基板３よりも大きく形成されている。 For example, as shown in FIGS. 23 and 24, the probe card 1 includes a disk-shaped ceramic probe card board 3 and a large number of probes (probes) provided at the center of the lower surface of the probe card board 3. 4 and a stiffener (reinforcing material) 5 for reinforcing the probe card board 3, which is fixed to the top surface of the probe card board 3 made of ceramic. The stiffener 5 is formed into a ring shape, for example, and is formed larger than the probe card substrate 3.

また、上記スティフナー５の外周縁部の所望の位置に、半径方向外方に突出した板状のブリム部（突出板部）６が、所望の距離離間して複数形成される。該ブリム部６には、例えば、上記プローブカード収納ケース２に収納されたプローブカードに係合して取り出すためのプローブカード取出し具（図示せず）の雄ネジ部が螺合されるネジ孔２１が設けられると共に、該ブリム部６の外周縁６ａには、上記プローブカード収納ケース２に位置決めするための凹部などの一方の位置決め部７が形成されている。 Further, a plurality of plate-shaped brim portions (protruding plate portions) 6 that protrude radially outward are formed at desired positions on the outer peripheral edge of the stiffener 5 at desired distances. The brim portion 6 includes, for example, a screw hole 21 into which a male screw portion of a probe card extractor (not shown) for engaging and extracting the probe card stored in the probe card storage case 2 is screwed. At the same time, one positioning part 7 such as a recess for positioning in the probe card storage case 2 is formed on the outer peripheral edge 6a of the brim part 6.

なお、上記プローブカード取出し具は、収納されたプローブカードを安定して持ち上げるために、互いに離間した、少なくとも３つの雄ネジ部を有すると共に、上記プローブカードには、該雄ネジ部に螺合されるネジ孔２１を有するブリム部６が、上記雄ネジ部の位置と数に対応して設けられている。 The probe card extractor has at least three male threaded portions spaced apart from each other in order to stably lift the stored probe card, and the probe card has at least three male threaded portions that are screwed into the male threaded portions. Brim portions 6 having screw holes 21 are provided corresponding to the positions and numbers of the male screw portions.

また、上記ブリム部６には、ネジ孔２１や一方の位置決め部７を有せず、例えば、バーコードなどの識別標識などが設けられる場合もある。 Further, the brim portion 6 may not have the screw hole 21 or one of the positioning portions 7, but may be provided with an identification mark such as a bar code.

（１．２．従来のプローブカード収納ケース２の説明） (1.2. Description of conventional probe card storage case 2)

また、上記従来のプローブカード収納ケース２は、例えば、図２５及び図２６に示すように、プローブカード挿入用の上面開口部を有する箱状の下側ケース部８と、該下側ケース部８の上面開口部を開閉自在に塞ぐ上側ケース部９とよりなる。そして、上記下側ケース部８及び上記上側ケース部９は、それぞれ形状精度を良くする関係上、アルミ製で形成され、または、合成樹脂板（プラスチック製板）を貼り合わせて形成されている。 Further, as shown in FIGS. 25 and 26, for example, the conventional probe card storage case 2 includes a box-shaped lower case portion 8 having an upper surface opening for insertion of a probe card, and a box-shaped lower case portion 8. It consists of an upper case part 9 that can open and close the upper opening of the housing. The lower case part 8 and the upper case part 9 are each made of aluminum or made of synthetic resin plates (plastic plates) bonded together in order to improve shape accuracy.

そして、上記下側ケース部８は、例えば、矩形板状の底板８ａと、該底板８ａの外周縁から立設した矩形板状の側壁部８ｂとよりなり、該底板８ａの上面の所望の位置に、プローブカードの位置決め用の載置台１０が、例えば、３箇所、所望の距離離間して、上記底板８ａにネジ又は接着等により固定して設けられる。 The lower case portion 8 includes, for example, a rectangular plate-shaped bottom plate 8a and a rectangular plate-shaped side wall portion 8b that stands upright from the outer peripheral edge of the bottom plate 8a, and is positioned at a desired position on the upper surface of the bottom plate 8a. In addition, mounting stands 10 for positioning the probe card are provided, for example, in three locations, spaced apart from each other by a desired distance, and fixed to the bottom plate 8a by screws, adhesive, or the like.

また、該位置決め用の載置台１０は、上記プローブカード１を上記底板８ａから所望の高さで載置する平坦状の載置面１１を有する載置部１０ａと、上記載置面１１の外側部分に上方に突出して形成された、内側面に、上記一方の位置決め部７に係合する、例えば凸部などの他方の位置決め部１２を有する突出部１０ｂとよりなる。 Further, the mounting table 10 for positioning includes a mounting section 10a having a flat mounting surface 11 on which the probe card 1 is mounted at a desired height from the bottom plate 8a, and an outer side of the mounting surface 11. It consists of a protruding part 10b that is formed to protrude upward in the part and has the other positioning part 12, such as a convex part, on the inner surface thereof, which engages with the one positioning part 7.

なお、上記突出部１０ｂの内側面は、上記ブリム部６の外周縁６ａの面に合致した形状に形成されている。 Note that the inner surface of the protruding portion 10b is formed in a shape that matches the surface of the outer peripheral edge 6a of the brim portion 6.

また、上記上側ケース部９は、例えば、矩形板状の天井板９ａと、該天井板９ａの外周縁から垂下した矩形板状の側壁部９ｂとよりなる。そして、上記下側ケース部８の側壁部８ｂの上端と、上記上側ケース部９の側壁部９ｂの下端とが当接することにより、上記下側ケース部８の上面開口部が、上記上側ケース部９により塞がれるようになる。 Further, the upper case portion 9 includes, for example, a rectangular plate-shaped ceiling plate 9a and a rectangular plate-shaped side wall portion 9b hanging from the outer peripheral edge of the ceiling plate 9a. When the upper end of the side wall 8b of the lower case part 8 and the lower end of the side wall 9b of the upper case part 9 come into contact with each other, the upper surface opening of the lower case part 8 opens into the upper case part. It becomes blocked by 9.

なお、１３は、上記上側ケース部９の天井板９ａの下面に設けた、下方に突出した、棒状の押さえ部材を示す。そして、上記プローブカード１を収納した上記下側ケース部８に、上記上側ケース部９により塞いだ時に、上記プローブカード１のブリム部６を、上記載置台１０の載置面１１と上記押さえ部材１３の下端により挟持することにより、上記プローブカード１を上記収納ケース２に固定できるようになる。 Note that 13 indicates a bar-shaped pressing member that is provided on the lower surface of the ceiling plate 9a of the upper case portion 9 and projects downward. When the lower case part 8 housing the probe card 1 is closed with the upper case part 9, the brim part 6 of the probe card 1 is connected to the mounting surface 11 of the mounting table 10 and the pressing member. By holding the probe card 1 by the lower end of the probe card 13, the probe card 1 can be fixed to the storage case 2.

なお、１３ａは、上記押え部材１３の下端に設けた弾性部材であり、１０ｃは、上記載置台１０の上端に形成した弾性部材を示す。なお、この場合、該弾性部材１０ｃの上面が載置面１１を形成する。 Note that 13a is an elastic member provided at the lower end of the pressing member 13, and 10c is an elastic member formed at the upper end of the mounting table 10. In this case, the upper surface of the elastic member 10c forms the mounting surface 11.

また、２ａは、上記下側ケース部８の一方の側辺と、上記上側ケース部９の一方の側辺とを傾動自在に連結したヒンジ部である。 Further, 2a is a hinge portion that connects one side of the lower case portion 8 and one side of the upper case portion 9 so as to be tiltable.

例えば、従来のプローブカード収納ケースとしては、特許文献１がある。 For example, as a conventional probe card storage case, there is Patent Document 1.

実用新案登録第３１７１６８７号公報Utility model registration No. 3171687

（２．従来のプローブカード収納ケースの欠点の説明） (2. Explanation of drawbacks of conventional probe card storage cases)

上記従来のプローブカード収納ケース２は、形状精度を良くする関係上、アルミ製で形成され、または、合成樹脂板（プラスチック製板）を貼り合わせて形成され、重量が重かった。 The conventional probe card storage case 2 is made of aluminum or made of synthetic resin plates (plastic plates) bonded together in order to improve shape accuracy, and is therefore heavy.

そのため、射出成型による一体成型で、合成樹脂製のプローブカード収納ケースを形成することが提案されている。 Therefore, it has been proposed to form a probe card storage case made of synthetic resin by integral molding using injection molding.

また、上記プローブカード１も重いため、スティフナー５を用いないプローブカード１４が提案されている。 Furthermore, since the probe card 1 is also heavy, a probe card 14 that does not use the stiffener 5 has been proposed.

なお、図２７～図２９は、上記スティフナー５のないプローブカード１４を示す。該プローブカード１４は、セラミック製のプローブカード基板３の外周縁部の所望の位置に、半径方向外方に突出した、別体で形成した複数の板状のブリム部１５が、ネジ止めや接着等により固定されて形成される。 Note that FIGS. 27 to 29 show the probe card 14 without the stiffener 5 described above. The probe card 14 has a plurality of separately formed plate-shaped brim portions 15 that protrude outward in the radial direction at desired positions on the outer peripheral edge of the ceramic probe card substrate 3, and are fastened with screws or adhesive. It is fixed and formed by etc.

しかしながら、例えば、射出成型により、４３０ｍｍ×４３０ｍｍ×６８ｍｍ、板厚５ｍｍの合成樹脂製のプローブカード収納ケースを作成した場合、０．２ｍｍもの形状誤差が生じ、形状誤差が大きいため、プローブカードを正確に位置決めすることができず、使用に耐えられないものであった。 However, for example, when a synthetic resin probe card storage case with dimensions of 430 mm x 430 mm x 68 mm and a plate thickness of 5 mm is made by injection molding, a shape error of as much as 0.2 mm occurs. This made it impossible to position the device, making it unusable.

また、上記プローブカード取出し具は、まず、下側ケース部に位置決めし、そして、該プローブカード取出し具の雄ネジ部を、収納されたプローブカードのネジ孔に螺合して固定するようにするが、下側ケース部の形状誤差が大きいと、雄ネジ部の位置と、ネジ孔の位置が一致せず、螺合できない場合があった。 Further, the probe card extractor is first positioned in the lower case part, and then the male screw part of the probe card extractor is screwed into the screw hole of the housed probe card to be fixed. However, if the shape error of the lower case part is large, the position of the male screw part and the position of the screw hole may not match, and screwing may not be possible.

また、上記のように形成されたプローブカード収納ケース２に、スティフナーのないプローブカード１４を収納した場合、正確に位置決めされないため、移動中にガタツキがあり、プローブカード基板３が振動し、プローブカード基板３が割れたり、ブリム部１５が上記プローブカード基板から取れてしまうそれがあった。 Furthermore, when the probe card 14 without a stiffener is stored in the probe card storage case 2 formed as described above, the probe card 14 is not positioned accurately, so there is wobbling during movement, the probe card board 3 vibrates, and the probe card The board 3 may be broken or the brim portion 15 may come off from the probe card board.

本発明は、形状誤差の少ないプローブカード収納ケースを提供することを目的とする。また、スティフナーを有しないプローブカードであっても収納できる、射出成型により成形した合成樹脂製のプローブカード収納ケースを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a probe card storage case with less shape error. Another object of the present invention is to provide a probe card storage case made of synthetic resin molded by injection molding and capable of storing even probe cards without a stiffener.

また、射出成型により成形した合成樹脂製のプローブカード収納ケースであっても、プローブカード取出し具により、収納されたプローブカードを容易に取り出せることを目的とする。 Another object of the present invention is to make it possible to easily take out a stored probe card using a probe card take-out tool even if the probe card storage case is made of synthetic resin and is molded by injection molding.

（３．本発明の構成要件の説明） (3. Description of constituent elements of the present invention)

本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部は、底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、上記一方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とする。 The probe card storage case of the present invention consists of one case part made of synthetic resin that stores the probe card, and the other case part that closes the one case part. It is characterized by comprising a side wall part standing up from the outer peripheral edge of the bottom plate and a plurality of rib parts connecting the bottom plate and the side wall part, and one of the case parts is molded by injection molding. shall be.

また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ合成樹脂製の他方のケース部とよりなり、上記他方のケース部は、天井板と、該天井板の外周縁部から垂下した側壁部と、上記天井板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、上記他方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とする。 Further, the probe card storage case of the present invention includes one case part that stores the probe card, and another case part made of synthetic resin that closes the one case part, and the other case part is made of a ceiling board. , a side wall part hanging down from the outer peripheral edge of the ceiling plate, and a plurality of rib parts connecting the ceiling plate and the side wall part, and the other case part is formed by injection molding. It is characterized by the presence of

また、上記底板に、収納されるプローブカードを載置すると共に位置決めする載置台を有し、該載置台は、上記プローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する合成樹脂製の載置部と、該載置部に、該載置部に対して移動自在に設けられた、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部と、上記載置台に上記突出部を固定する固定手段とよりなり、上記載置部は、上記底板と共に射出成型により形成されることを特徴とする。 Further, the bottom plate has a mounting table on which the probe card to be stored is placed and positioned, and the mounting table is made of synthetic resin and has a mounting surface on which the probe card is placed at a desired height. A placing part, and the other positioning part positioned on one positioning part formed on the probe card, which is provided on the placing part so as to be movable with respect to the placing part, is located on the inner periphery thereof. The device is characterized by comprising a protruding portion formed on a side surface and a fixing means for fixing the protruding portion to the mounting table, and the mounting portion is formed together with the bottom plate by injection molding.

また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部の底板に、収納されるプローブカードを載置すると共に位置決めする載置台を有し、該載置台は、上記プローブカードを所望の高さに載置する載置面を有すると共に、貫通孔を有する合成樹脂製の載置部と、上記載置面上に設けると共に、収納されるプローブカードの半径方向に延びる長孔を有し、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部と、上記長孔及び上記貫通孔を貫通して、その先端部にナットが螺合されるネジ部とよりなる、上記載置部に、半径方向に移動自在に設けられた上記突出部を、上記収納されるプローブカードを位置決めする所望の位置で固定する固定手段とよりなり、上記突出部は、上記ナットを上記ネジ部に強く締め付けない状態においては、上記載置部に対して、収納されるプローブカードの半径方向に移動自在であり、上記ナットを上記ネジ部に強く締め付けた状態においては、上記載置部に対して固定できるように構成され、上記載置部は、上記底板と共に射出成型により形成されることを特徴とする。 Further, the probe card storage case of the present invention includes one case part made of synthetic resin that stores the probe card, and the other case part that closes the one case part, and the bottom plate of the one case part has a It has a mounting table on which the probe card to be stored is placed and positioned, and the mounting table is made of synthetic resin and has a mounting surface on which the probe card is placed at a desired height, and has a through hole. a placing part, and another positioning part that is provided on the above-mentioned placing surface and has a long hole extending in the radial direction of the probe card to be accommodated , and is positioned in one positioning part formed in the probe card. radially in the mounting portion, which is comprised of a protrusion formed on the inner circumferential surface thereof, and a threaded portion that passes through the elongated hole and the through hole and into which a nut is screwed . The protrusion is movably provided at a desired position for positioning the housed probe card. is movable in the radial direction of the probe card to be housed with respect to the above-mentioned mounting section, and is configured such that it can be fixed to the above-mentioned mounting section when the nut is strongly tightened on the threaded section. The mounting portion is formed by injection molding together with the bottom plate.

また、上記突出部の内側縁に凹部が形成され、該凹部は、下端に折曲部が形成された、軸周りに回動自在な棒状の係合杆を有するプローブカードの取出し具の、該係合杆の折曲部の一部が挿入可能であることを特徴とする。 Further, a recess is formed on the inner edge of the protrusion, and the recess is used for the probe card extraction tool which has a rod-shaped engagement rod that is rotatable around an axis and has a bent portion at the lower end. A feature is that a part of the bent portion of the engaging rod can be inserted.

また、本発明のプローブカードのブリム部は、外周縁に、半径方向内側に延びる切り欠き部を有し、該切り欠き部は、下端に折曲部が形成された、軸周りに回動自在な棒状の係合杆を有するプローブカード取出し具の、該折曲部が挿入されることを特徴とする。 Further, the brim portion of the probe card of the present invention has a notch portion extending radially inward on the outer peripheral edge, and the notch portion is rotatable around an axis with a bent portion formed at the lower end. The bent portion of the probe card extractor having a rod-shaped engagement rod is inserted into the probe card extractor.

本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法は、底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部と、収納されるローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する載置部とを樹脂により射出成型により一体に成型する第一の工程と、
上記成型された載置部に、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部を載置する第二の工程と、上記載置部の載置面に、プローブカードを載置する第三の工程と、上記突出部を、上記プローブカードの一方の位置決め部に、上記突出部の他方の位置決め部が一致するように移動させる第四の工程と、上記突出部を、上記載置部に上記固定手段により固定する第五の工程と、上記載置されたプローブカードを取り出す第六の工程とよりなることを特徴とする。 A method for manufacturing a lower case part of a probe card storage case of the present invention includes a bottom plate, a side wall part standing from an outer peripheral edge of the bottom plate, and a plurality of rib parts connecting the bottom plate and the side wall part. A first step of integrally molding the robe card and the placing part having a placing surface for placing the stored Robe Card at a desired height by injection molding using resin;
a second step of placing a protrusion formed on the inner circumferential side surface of the other positioning part, which is positioned on one positioning part formed on the probe card, on the molded placing part; , a third step of placing the probe card on the placement surface of the placement section, and placing the protrusion so that one positioning section of the probe card matches the other positioning section of the protrusion. a fifth step of fixing the protrusion to the placement section by the fixing means; and a sixth step of taking out the placed probe card. shall be.

（４．本発明の効果の説明） (4. Explanation of effects of the present invention)

本発明によれば、射出成型による樹脂製のプローブカード収納ケースであっても、形状誤差を少なく製作することができる。 According to the present invention, even if the probe card storage case is made of resin by injection molding, it can be manufactured with less shape error.

また、突出部を半径方向に移動自在に設けたので、収納するプローブカードを正確に位置決めすることができるようになる。 Furthermore, since the protrusion is provided so as to be movable in the radial direction, the probe card to be housed can be accurately positioned.

本発明のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional side view of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する平面図である。FIG. 3 is a plan view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。FIG. 3 is a longitudinal side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal cross-sectional side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。FIG. 3 is a longitudinal side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal cross-sectional side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal cross-sectional side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。FIG. 3 is a longitudinal side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal cross-sectional side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。FIG. 3 is a longitudinal side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal cross-sectional side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。FIG. 3 is a longitudinal side view illustrating a method of manufacturing the lower case portion of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカードの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a probe card of the present invention. 本発明の他のプローブカードの平面図である。FIG. 3 is a plan view of another probe card of the present invention. 本発明のプローブカード取外し具の側面図である。FIG. 3 is a side view of the probe card removal tool of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースのプローブカード取外し具の使用方法の説明用拡大平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view for explaining how to use the probe card removal tool of the probe card storage case of the present invention. 本発明のプローブカード収納ケースのプローブカード取外し具の使用方法の説明用拡大平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view for explaining how to use the probe card removal tool of the probe card storage case of the present invention. 従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。FIG. 3 is a vertical side view of a conventional probe card storage case. プローブカードの縦断側面図である。FIG. 3 is a longitudinal side view of the probe card. プローブカードの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the probe card. 従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。FIG. 3 is a vertical side view of a conventional probe card storage case. 従来のプローブカード収納ケースの下側ケース部の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a lower case portion of a conventional probe card storage case. 他のプローブカードの平面図である。FIG. 7 is a plan view of another probe card. 他のプローブカードの縦断側面図である。FIG. 7 is a longitudinal side view of another probe card. 従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。FIG. 3 is a vertical side view of a conventional probe card storage case.

以下図面によって本発明の実施例を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

なお、特に説明しない部分は、上記従来例と同じであり、説明を省略する。 Note that portions that are not particularly explained are the same as those in the conventional example, and the explanation will be omitted.

（５．１．本発明のリブ部１７の説明） (5.1. Description of rib portion 17 of the present invention)

図１及び図２は、本発明の射出成型により一体に成型したプローブカード収納ケース１６を示す。該プローブカード収納ケース１６においては、従来の下側ケース部８において、側壁部８ｂの内側面と上記底板８ａの上面とを連結する、所望の距離離間した複数のリブ部１７を設ける。 1 and 2 show a probe card storage case 16 integrally molded by injection molding of the present invention. In the probe card storage case 16, the conventional lower case portion 8 is provided with a plurality of rib portions 17 separated by a desired distance and connecting the inner surface of the side wall portion 8b and the upper surface of the bottom plate 8a.

また、同様に、従来の上側ケース部９において、側壁部９ｂの内側面と上記天井板９ａの下面とを連結する、所望の距離離間した複数のリブ部１７を設ける。 Similarly, in the conventional upper case portion 9, a plurality of rib portions 17 are provided at desired distances to connect the inner surface of the side wall portion 9b and the lower surface of the ceiling plate 9a.

従来、合成樹脂製のプローブカード収納ケースを射出成型により成型した場合、０．２ｍｍもの成形誤差が生じ、使用に耐えられないものであったが、本発明においては、リブ部１７を設けたことにより、形状誤差を小さくすることができるようになる。 Conventionally, when a probe card storage case made of synthetic resin was molded by injection molding, a molding error of as much as 0.2 mm occurred, making it unusable. However, in the present invention, the rib portion 17 is provided. This makes it possible to reduce shape errors.

また、上記リブ部１７がない場合、上側ケース部（又は下側ケース部）の側壁部厚さは、強度を高める必要性から、５ｍｍ以上とする必要があったが、リブ部１７を設けることにより、４ｍｍ以下とすることができ、その結果、重量を２０％以上軽量化することができるようになった。 In addition, in the case where the rib portion 17 is not provided, the side wall thickness of the upper case portion (or lower case portion) needs to be 5 mm or more due to the need to increase the strength. As a result, the thickness can be reduced to 4 mm or less, and as a result, the weight can be reduced by 20% or more.

また、該リブ部１７は、例えば、直角三角形状の板状に形成し、該リブ部１７の厚さは、上記側壁部の厚さよりも薄くなるようにし、例えば、厚さが半分以下となるように形成する。 Further, the rib portion 17 is formed, for example, in a right triangular plate shape, and the thickness of the rib portion 17 is made thinner than the thickness of the side wall portion, for example, the thickness is half or less. Form it like this.

該リブ部１７を薄くすることにより、特に、半分以下とすることにより、合成樹脂製の上記下側ケース部（又は下側ケース部）を射出成型により形成した時、側壁部を形成する原料供給量よりも、リブ部を形成する原料供給量を大幅に減らすようにすることにより、原料を供給した時、上記側壁部８ｂ側の原料供給量（供給圧）の不足による側壁部の上面が下方（又は下面が上方に）に撓むことを防止でき、形状精度を高めることができるようになる。 By making the rib portion 17 thinner, especially by making it half or less, when the lower case portion (or lower case portion) made of synthetic resin is formed by injection molding, the supply of raw materials for forming the side wall portion is reduced. By significantly reducing the amount of raw material supplied to form the rib portion than the amount, when the raw material is supplied, the upper surface of the side wall portion is lowered due to insufficient amount of raw material supplied (supply pressure) on the side wall portion 8b side. (or the lower surface is prevented from bending upward), and shape accuracy can be improved.

（５．２．本発明の載置台１８の説明） (5.2. Description of mounting table 18 of the present invention)

また、従来においては、載置部１０ａと突出部１０ｂとが一体に形成された載置台１０を床板８ａにネジ又は接着等により固定したのに対し、本発明においては、載置台１８を設け、該載置台１８は、図１～図１６に示すように、上記プローブカード１、１４を、上記下側ケース部８の底板８ａから所望の高さで載置する載置面１９を有する載置部１８ａと、該載置部１８ａとは別体に形成した、内側面に、上記プローブカード１、１４の一方の位置決め部７に係合する、例えば凸部などの他方の位置決め部１２を有する突出部１８ｂと、該突出部１８ｂを、上記載置部１８ａに固定するための固定手段２０とにより構成する。 Furthermore, in the past, the mounting table 10 in which the mounting section 10a and the protruding section 10b were integrally formed was fixed to the floor plate 8a with screws or adhesive, whereas in the present invention, the mounting table 18 is provided, As shown in FIGS. 1 to 16, the mounting table 18 has a mounting surface 19 on which the probe cards 1 and 14 are mounted at a desired height from the bottom plate 8a of the lower case section 8. part 18a, and the other positioning part 12, such as a convex part, which is formed separately from the mounting part 18a and engages with the positioning part 7 of one of the probe cards 1 and 14 on the inner surface thereof. It is composed of a protrusion 18b and a fixing means 20 for fixing the protrusion 18b to the mounting part 18a.

そして、合成樹脂製の載置部１８ａを、上記合成樹脂製の床板８ａと共に射出成型により一体に成型すると共に、該突出部１８ｂを、上記載置部１８ａとは別体で設け、そして、該突出部１８ｂを、上記載置面１９上に、半径方向に移動自在に設けると共に、該突出部１８ｂを、所望の位置で、上記載置部１８ａに上記固定手段２０により固定できるようにする。 Then, the synthetic resin placing portion 18a is integrally molded with the synthetic resin floor plate 8a by injection molding, and the protruding portion 18b is provided separately from the placing portion 18a. The protruding part 18b is provided on the mounting surface 19 so as to be movable in the radial direction, and the protruding part 18b can be fixed to the mounting part 18a at a desired position by the fixing means 20.

上記固定手段２０は、例えば、上記載置部１８ａの載置面１９の面に対して垂直方向に設けた、断面が円形状の貫通孔２０ａと、上記突出部１８ｂに、垂直方向に貫通して設けた、半径方向に延びる長孔２０ｂと、該長孔２０ｂ及び上記貫通孔２０ａを貫通して、その先端部にナット２０ｃが螺合されるネジ部２０ｄとよりなる。 The fixing means 20 vertically penetrates, for example, a through hole 20a having a circular cross section, which is provided perpendicularly to the surface of the mounting surface 19 of the mounting section 18a, and the protruding section 18b. The threaded portion 20d passes through the elongated hole 20b and the through hole 20a and has a nut 20c screwed onto its tip.

そして、上記長孔２０ｂの上方から該長孔２０ｂ、上記貫通孔２０ａに挿入した上記ネジ部２０ｄの先端部を、上記ナット２０ｃに螺合し、まだ、強く締め付けない状態で、上記突出部１８ｂを、上記載置部１８ａに対して、半径方向に移動させて、所望の場所に位置させて、そして、上記ナット２０ｃを強く締め付けることにより、上記突出部１８ｂが、上記ネジ部２０ｄの頭部２０ｅと上記載置部１８ａとに挟持されて、該突出部１８ｂが、所望の位置で上記載置部１８ａに固定されるようになる。 Then, the tip of the threaded portion 20d inserted into the long hole 20b and the through hole 20a from above the long hole 20b is screwed into the nut 20c, and without tightening it strongly yet, the protruding portion 18b is screwed into the nut 20c. is moved in the radial direction with respect to the mounting portion 18a, positioned at a desired location, and then strongly tightened the nut 20c, so that the protruding portion 18b is attached to the head of the threaded portion 20d. 20e and the mounting portion 18a, the protruding portion 18b is fixed to the mounting portion 18a at a desired position.

なお、上記ネジ部２０ｄの頭部２０ｅと、上記載置面１９との間には、楕円状の孔が形成されたワッシャー（図示せず）を介在させてもよい。 Note that a washer (not shown) having an elliptical hole may be interposed between the head 20e of the threaded portion 20d and the placement surface 19.

また、後述するように、上記載置台１８の突出部１８ｂの内周縁に、後述する切欠き部２２に対向する位置に、半径方向外側に凹んだ凹部２３を形成し、ケースに形状誤差があるような場合でも、後述する改良されたプローブカード取外し具の折れ曲った先端部を係合しやすくなる。 Furthermore, as will be described later, a recess 23 recessed outward in the radial direction is formed on the inner circumferential edge of the protruding part 18b of the mounting table 18 at a position opposite to the notch 22, which will be described later, so that there is a shape error in the case. Even in such a case, it becomes easier to engage the bent tip of the improved probe card removal tool described below.

（６．プローブカードのブリム部の説明） (6. Explanation of the brim part of the probe card)

また、従来のプローブカード１、１４のブリム部６、１５において設けた、上記プローブカード取出し具に係合されるネジ孔２１の代わりに、本発明のプローブカード１、１４においては、図１７、図１８に示すように、上記ブリム部６、１５の外周縁６ａ、１５ａに、例えば、半径方向内側に延びる長溝状の切り欠き部２２を設ける。 Furthermore, in place of the screw holes 21 provided in the brim portions 6, 15 of the conventional probe cards 1, 14, which are engaged with the probe card removal tool, in the probe cards 1, 14 of the present invention, the screw holes 21 shown in FIG. As shown in FIG. 18, the outer peripheral edges 6a, 15a of the brim parts 6, 15 are provided with, for example, long groove-shaped notches 22 extending inward in the radial direction.

また、本発明においては、従来の雄ネジ部を有するプローブカード取出し具の代わりに、図１９に示すように、改良されたプローブカード取出し具２４を用いる。該改良されたプローブカード取出し具２４は、取出し具本体２５と、該取出し具２５本体に下方に垂設された、該取出し具本体２５に対して、軸方向に上下スライド自在であると共に、軸周りに回動自在な、Ｌ字の棒状の係合杆２６とよりなり、該係合杆２６は、垂設棒１６ａと、該垂設棒１６ａの下端に、直角に折れ曲がって形成された折曲部２６ｂとよりなる。 Furthermore, in the present invention, an improved probe card extractor 24 is used as shown in FIG. 19 instead of the conventional probe card extractor having a male thread. The improved probe card extractor 24 can freely slide up and down in the axial direction with respect to the extractor main body 25 and the extractor main body 25, which is vertically disposed on the extractor 25 main body. It consists of an L-shaped rod-shaped engagement rod 26 that can freely rotate around the hanging rod 16a, and a fold formed by bending at a right angle at the lower end of the hanging rod 16a. It consists of a curved portion 26b.

そして、図２０に示すように、該改良されたプローブカード取出し具２４の折曲部２６ｂを、上記切り欠き部２２の長手方向に一致するよう回動させた状態で、上記切り欠き部２２の上方から下方に垂下させて、上記切り欠き部２２内に貫通させて、そして、上記折曲部２６ｂを、例えば、図２１に示すように、９０度回動させることにより、上記折曲部２６ｂが上記ブリム部６、１５の下面側に位置し、これにより、上記プローブカード取出し具２５を上方に持ち上げれば、上記プローブカード１、１４を上方に持ち上げることができるようになる。 As shown in FIG. 20, the bent portion 26b of the improved probe card extractor 24 is rotated so as to coincide with the longitudinal direction of the notched portion 22. The bent portion 26b is made to hang downward from above, penetrate into the notch portion 22, and rotate the bent portion 26b by 90 degrees as shown in FIG. 21, for example. is located on the lower surface side of the brim portions 6, 15, so that by lifting the probe card extractor 25 upward, the probe cards 1, 14 can be lifted upward.

上記のように、長溝よりなる切り欠き部２２とすることにより、ケースに多少の形状誤差があった場合でも、プローブカード取出し具とプローブカードとを係合させることができるようになる。 As described above, by forming the notch 22 in the form of a long groove, even if there is some shape error in the case, the probe card extracting tool and the probe card can be engaged with each other.

更に、上記載置台１８の突出部１８ｂの、上記切り欠き部２２に対向する部分が凹状に形成されているので、ケースに多少の形状誤差がある場合でも、プローブカード取出し具の折れ曲った折曲部の一部が、上記切り欠き部内に挿入可能とすることができるようになる。 Furthermore, since the portion of the protruding portion 18b of the mounting table 18 facing the notch portion 22 is formed in a concave shape, even if there is some shape error in the case, the bent portion of the probe card ejecting tool can be easily removed. A portion of the curved portion can now be inserted into the cutout.

（７．プローブカード収納ケース１６の製造方法の説明） (7. Description of manufacturing method of probe card storage case 16)

次に、本発明のプローブカード収納ケースの製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the probe card storage case of the present invention will be explained.

まず、本発明の下側ケース部８を製造するために、底板８ａと、側壁部８ｂと、リブ部１７と、上記底板８ａから所望の高さに形成された載置部１８ａとを形成するための金型に、熱可塑性樹脂等を射出圧を加えて押し込み、図３及び図４に示すように、突出部１８ｂを有しない下側ケース部を成形する。 First, in order to manufacture the lower case part 8 of the present invention, a bottom plate 8a, a side wall part 8b, a rib part 17, and a mounting part 18a formed at a desired height from the bottom plate 8a are formed. A thermoplastic resin or the like is injected into a mold under injection pressure to form a lower case portion having no protruding portion 18b, as shown in FIGS. 3 and 4.

なお、上記載置部１８ａに貫通孔２０ａが形成されていない場合には、図５に示すように、別途、貫通孔２０ａを形成する。 In addition, when the through-hole 20a is not formed in the said mounting part 18a, as shown in FIG. 5, the through-hole 20a is formed separately.

次に、図６～図８に示すように、別途作成された、他方の位置決め部１２を有する突出部１８ｂを、上記載置部１８ａの載置面１９に載置する。そして、図９に示すように、例えば、ネジ部２０ｄを、上記載置部１８ａに形成した長孔２０ｂ、載置部１８ａの貫通孔２０ａに貫通させて、上記ネジ部２０ｄの先端にナット２０ｃを若干螺合することにより、上記載置部１８ａに上記突出部１８ｂを固定手段２０により仮止めする。 Next, as shown in FIGS. 6 to 8, the separately produced protrusion 18b having the other positioning part 12 is placed on the placement surface 19 of the placement part 18a. As shown in FIG. 9, for example, the threaded part 20d is passed through the elongated hole 20b formed in the mounting part 18a and the through hole 20a of the mounting part 18a, and a nut 20c is attached to the tip of the threaded part 20d. By slightly screwing them together, the protruding part 18b is temporarily fixed to the mounting part 18a by the fixing means 20.

なお、上記突出部１８ｂは、後に、上記載置台上にプローブカード１、１４を載置できるようにするため、半径方向外側に位置させる。 Note that the protruding portion 18b is positioned on the outside in the radial direction so that the probe cards 1 and 14 can be placed on the mounting table later.

そして、図１０～図１２に示すように、収納されるべきプローブカード１、１４を、上記載置部１８ａの載置面１９ｂ上に載置させる。 Then, as shown in FIGS. 10 to 12, the probe cards 1 and 14 to be stored are placed on the placement surface 19b of the placement section 18a.

この時、上記突出部１８ｂは、半径方向外側に位置しているので、該突出部１８ｂの他方の位置決め部１２は、上記プローブカードの一方の位置決め部７に嵌合（一致）していない。 At this time, since the protruding part 18b is located on the outside in the radial direction, the other positioning part 12 of the protruding part 18b does not fit (match) with one of the positioning parts 7 of the probe card.

次に、図１３～図１５に示すように、上記各突出部１８ｂを、それぞれ長孔２０ｂに沿って、半径方向内側に移動させて、該突出部１８ｂの他方の位置決め部１２が、上記プローブカード１４の一方の位置決め部７に嵌合（一致）させる。 Next, as shown in FIGS. 13 to 15, each of the protrusions 18b is moved radially inward along the elongated hole 20b, so that the other positioning part 12 of the protrusion 18b is aligned with the probe. The card 14 is fitted (coinciding) with one of the positioning portions 7 .

なお、上記プローブカード収納ケースと、上記プローブカードとが位置決めできればいいので、全ての突出部１８ｂを半径方向に移動させる必要はなく、必要な突出部１８ｂのみ移動させてもよい。 Note that since it is sufficient that the probe card storage case and the probe card can be positioned, it is not necessary to move all the protrusions 18b in the radial direction, and only the necessary protrusions 18b may be moved.

そして、上記ネジ部２０ｄに上記ナット２０ｃを強く締め付けて、上記突出部１８ｂが、上記ネジ部２０ｄの頭部２０ｅと上記載置部１８ａとに挟持されて、上記突出部１８ｂが上記載置部１８ａに強固に固定されるようになる。 Then, the nut 20c is strongly tightened to the threaded portion 20d, and the protruding portion 18b is held between the head 20e of the threaded portion 20d and the placement portion 18a, so that the protrusion 18b is placed in the placement portion 18a. It becomes firmly fixed to 18a.

次に、図１６に示すように、上記プローブカード１、１４を上記プローブカード収納ケースから取り出すことにより、本発明の上側ケース部８を製作することができるようになる。 Next, as shown in FIG. 16, by taking out the probe cards 1 and 14 from the probe card storage case, the upper case section 8 of the present invention can be manufactured.

また、上側ケース部９も上記と同様に形成する。 Further, the upper case portion 9 is also formed in the same manner as described above.

なお、上記上側ケース部９の押え部材１３は、上記上側ケース部９と一体に金型により成形してもよく、または、別体で別途、上側ケース部９に取り付けるようにしてもよい。 Note that the holding member 13 of the upper case portion 9 may be molded integrally with the upper case portion 9 using a mold, or may be attached to the upper case portion 9 separately.

また、必要に応じて、弾性部材１０ｃ、１３ａを設けるようにする。 Further, elastic members 10c and 13a may be provided as necessary.

そして、上記上側ケース部８の一方の側辺と、上記下側ケース部９の一方の側辺とを、ヒンジ部２ａにより、傾動自在に連結するようにする。 One side of the upper case part 8 and one side of the lower case part 9 are connected by a hinge part 2a so as to be tiltable.

なお、上記載置部１８ａに対する上記突出部１８ｂの取り付けは、上記ヒンジ部２ｃを取り付けた後に行うようにしてもよい。 Note that the protruding portion 18b may be attached to the mounting portion 18a after the hinge portion 2c is attached.

本発明においては、合成樹脂製のプローブカード収納ケースを、射出成型により成型し、形状誤差があっても、成型後に、プローブカードと収納ケースとの位置決め設定を行うため、正確に位置決めできるプローブカード収納ケースを作成することができるようになる。 In the present invention, the probe card storage case made of synthetic resin is molded by injection molding, and even if there is a shape error, the positioning of the probe card and storage case is performed after molding, so the probe card can be positioned accurately. You will be able to create a storage case.

また、載置台１８において、載置部１８ａと、突出部１８ｂとを別体に成形し、位置合わせの時に、プローブカードを載置した載置部１８ａを動かす必要がないので、プローブカード１、１４の位置決めが容易で、また、上記プローブカード１、１４のブリム部６、１５に無理な力が働かず、該ブリム部６、１５の破損等を防ぐことができるようになる。 Further, in the mounting table 18, the mounting portion 18a and the protruding portion 18b are molded separately, and there is no need to move the mounting portion 18a on which the probe card is mounted during alignment. 14 is easy to position, and no excessive force is applied to the brim portions 6, 15 of the probe cards 1, 14, thereby preventing damage to the brim portions 6, 15.

なお、本発明においては、スティフナー５のないプローブカード１４の他、スティフナー５を有するプローブカード１も収納することができる。 In addition, in the present invention, in addition to the probe card 14 without the stiffener 5, the probe card 1 having the stiffener 5 can also be accommodated.

１プローブカード
２プローブカード収納ケース
２ａヒンジ部
３プローブカード基板
４プローブ
５スティフナー
６ブリム部
６ａ外周縁
７一方の位置決め部
８下側ケース部
８ａ底板
８ｂ側壁部
９上側ケース部
９ａ天井板
９ｂ側壁部
１０載置台
１０ａ載置部
１０ｂ突出部
１０ｃ弾性部材
１１載置面
１２他方の位置決め部
１３押さえ部材
１３ａ弾性部材
１４プローブカード
１５ブリム部
１５ａ外周縁
１６プローブカード収納ケース
１７リブ部
１８載置台
１８ａ載置部
１８ｂ突出部
１９載置面
２０固定手段
２０ａ貫通孔
２０ｂ長孔
２０ｃナット
２０ｄネジ部
２０ｅ頭部
２１ネジ孔
２２切欠き部
２３凹部
２４プローブカード取出し具
２５取出し具本体
２６係合杆
２６ａ垂設棒
２６ｂ折曲部 1 Probe card 2 Probe card storage case 2a Hinge part 3 Probe card board 4 Probe 5 Stiffener 6 Brim part 6a Outer periphery 7 One positioning part 8 Lower case part 8a Bottom plate 8b Side wall part 9 Upper case part 9a Ceiling plate 9b Side wall part 10 Placement table 10a Placement part 10b Projection part 10c Elastic member 11 Placement surface 12 Other positioning part 13 Pressing member 13a Elastic member 14 Probe card 15 Brim part 15a Outer periphery 16 Probe card storage case 17 Rib part 18 Placement table 18a Placement Placing part 18b Projecting part 19 Placing surface 20 Fixing means 20a Through hole 20b Elongated hole 20c Nut 20d Threaded part 20e Head 21 Screw hole 22 Notch part 23 Recessed part 24 Probe card extractor 25 Remover main body 26 Engagement rod 26a Vertical Installation rod 26b bent part

Claims

It consists of one case part made of synthetic resin that houses the probe card, and the other case part that closes the one case part,
The bottom plate of one of the case parts has a mounting table on which the probe card to be stored is placed and positioned;
The mounting table has a mounting surface for mounting the probe card at a desired height , and a synthetic resin mounting section having a through hole ;
A long hole is provided on the above-mentioned placement surface and extends in the radial direction of the probe card to be stored, and the other positioning part that is positioned in one positioning part formed in the probe card is located on the inner periphery thereof. a protrusion formed on the side;
The protruding part, which is movable in the radial direction, is inserted into the mounting part, which is formed of a screw part that penetrates the elongated hole and the through-hole and into which a nut is screwed. a fixing means for fixing the probe card at a desired position;
The protruding portion is movable in the radial direction of the probe card to be housed with respect to the mounting portion when the nut is not strongly tightened to the threaded portion, and when the nut is not strongly tightened to the threaded portion. in a state where it can be fixed to the above-mentioned mounting section,
The probe card storage case is characterized in that the mounting portion is formed by injection molding together with the bottom plate.

The one case portion includes a bottom plate, a side wall portion standing up from the outer peripheral edge of the bottom plate, and a plurality of rib portions connecting the bottom plate and the side wall portion,
The probe card storage case according to claim 1, wherein the one case part is molded by injection molding.

The other case part is made of synthetic resin,
The other case part includes a ceiling plate, a side wall part hanging from the outer peripheral edge of the ceiling plate, and a plurality of rib parts connecting the ceiling plate and the side wall part,
3. The probe card storage case according to claim 1, wherein the other case part is molded by injection molding.

A recess is formed on the inner edge of the protrusion,
A part of the bent portion of the engagement rod of a probe card ejector having a rod-shaped engagement rod rotatable around an axis with a bent portion formed at the lower end can be inserted into the recess. 4. The probe card storage case according to claim 1, further comprising a probe card storage case.

A bottom plate, a side wall portion standing upright from the outer peripheral edge of the bottom plate, a plurality of rib portions connecting the bottom plate and the side wall portions, and a mount for placing the stored lobe card at a desired height. A first step of integrally molding a placing part having a placing surface using resin by injection molding;
a second step of placing a protrusion formed on the inner circumferential side surface of the other positioning part, which is positioned on one positioning part formed on the probe card, on the molded placing part; ,
a third step of placing the probe card on the placement surface of the placement section;
a fourth step of moving the protrusion so that the other positioning part of the protrusion matches one positioning part of the probe card;
a fifth step of fixing the protruding part to the mounting part by the fixing means;
A method for manufacturing a lower case portion of a probe card storage case, comprising a sixth step of taking out the probe card placed above.