JP7416056B2 - ワークセンシング装置およびロボット - Google Patents

Description

本開示は、ワークセンシング装置およびロボットに関する。

従来、作業内容に応じた適切なハンド（エンドエフェクタ）をアームの先端に装着し、ハンドで把持したワークをアームの駆動により移送する産業用ロボットが知られる。ロボットハンドには、形状又は姿勢等が異なる多様なワークそれぞれの情報を取得できるセンサが搭載される。このようなセンサの一例として、ワークの接近に伴う静電容量の変化を検出する静電容量型の近接センサが知られる。

静電容量の変化を検出する静電検出装置が知られている（例えば、日本国公開公報特開２０１８－３７３５２号公報）。この静電検出装置は、車両の固定部に設定された静電検出用の電極と、可動部である窓ガラスに設定され、該電極とは独立した導電体とを備えている。帯電物によるターゲットが導電体に接近すると、導電体の帯電物に近い側には帯電物の電荷と反対符号の電荷が現れ、導電体の帯電物から遠い側には帯電物の電荷と同符号の電荷が現れる現象が起こる。こうした現象は静電誘導と呼ばれる。電極は、導電体に生じる静電誘導に伴う静電容量の変化を直接検出しつつ、ターゲットを間接的に検出する。

日本国公開公報特開２０１８－３７３５２号公報の静電検出装置によれば、導電体に比べて小さい電極が導電体から間接的に影響を受けるために、フロアノイズを小さくできる。また、この静電検出装置は、独立した導電体が電波をカットするため、外来ノイズに対して強いとされる。

日本国公開公報：特開２０１８－３７３５２号公報

ロボットハンドの周辺には、多くの部材が存在することが想定される。また、日本国公開公報特開２０１８－３７３５２号公報の静電検出装置においては、ターゲットを検出するための導電体が占める面積が大きくなり易い。このために、日本国公開公報特開２０１８－３７３５２号公報の静電検出装置がロボットハンドに搭載された場合、検出すべきワーク以外の物体によって導電体の静電誘導が生じる可能性が高くなり、検出対象のワーク以外の物体を誤って検出する虞がある。

本開示は、検出対象となるワーク以外の物体を誤検出する可能性を低減することができるワークセンシング技術を提供することを目的とする。

本開示の例示的なワークセンシング装置は、ワークの接近を検出するワークセンシング装置であって、検出電極を有する静電容量センサと、前記検出電極に対して少なくとも一部が移動可能に設けられる構造体とを有する。前記構造体は、絶縁性を有するベースと、前記ベースに設けられ、当該構造体の前記検出電極に対する移動時において前記検出電極との間の静電容量を一定に保つ導体とを有する。前記導体は、前記ベースの前記検出電極と対向する位置に設けられる第１電極部と、前記第１電極部との間に前記ベースの一部と空間とのうち少なくとも一方を介在させて配置され、前記ベースの前記ワークと対向する位置に設けられる第２電極部と、前記第１電極部と前記第２電極部とを電気的に接続する接続部とを有する。

また、本開示の例示的なロボットは、上記構成のワークセンシング装置と、前記ワークを把持可能に設けられるハンドとを有する。前記構造体は、前記ハンドを用いて構成され、前記ハンドは、前記第１電極部と、前記第２電極部と、前記接続部とのうち、少なくとも前記第２電極部と前記接続部の一部とを有する。

例示的な本開示によれば、検出対象となるワーク以外の物体を誤検出する可能性を低減することができる。

図１は、本開示の実施形態に係るワークセンシング装置の構成を示す模式図である。 図２は、本開示の実施形態に係る構造体の詳細例を示す概略斜視図である。 図３は、図２示す構造体の可動機構が設けられる部分周辺を分解して示した模式図である。 図４は、第１変形例の構造体の構成の一部を示す概略斜視図である。 図５は、図４示す構造体の可動機構が設けられる部分周辺を分解して示した模式図である。 図６は、第２変形例の構造体の構成の一部を示す概略斜視図である。 図７は、図６示す構造体の可動機構が設けられる部分周辺を分解して示した模式図である。 図８は、第３変形例の構造体の構成を示す概略斜視図である。 図９は、図８示す構造体を分解して示した模式図である。 図１０は、本開示の実施形態に係るロボットの構成を示す模式図である。

以下、本開示の例示的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本明細書では、ワークセンシング装置１００の説明において、検出電極１１と第１電極部２２１とが互いに向き合う方向を上下方向とし、検出電極１１が第１電極部に対して上側にあるとして方向を定義する。また、図面中におけるＸ方向およびＹ方向は、上下方向に直交する平面上において互いに直交する方向とし、Ｘ方向を左右方向、Ｙ方向を前後方向と称して、各部の形状や位置関係を説明する。これらの方向は単に説明のために用いられる名称であって、実際の位置関係及び方向を限定する意図はない。

また、本明細書では、ロボット３００の説明において、図１０に示す支持台３０１に対して旋回台３０２が上側として上下方向を定義して、各部の形状や位置関係を説明する。この方向は単に説明のために用いられる名称であって、実際の位置関係及び方向を限定する意図はない。

＜１．ワークセンシング装置の概要＞



図１は、本開示の実施形態に係るワークセンシング装置１００の構成を示す模式図である。図１には、ワークセンシング装置１００の他に、ワーク２００も示されている。ワーク２００は、生産現場において加工又は検査等の処理の対象となる物体である。ワーク２００は、例えばロボットハンドによって把持される物体である。ワーク２００の形状は、多種多様であってよい。ワークセンシング装置１００は、ワーク２００の接近を検出する。図１に示すように、ワークセンシング装置１００は、静電容量センサ１と、構造体２とを有する。

静電容量センサ１は、静電容量の変化を検出する。静電容量センサ１は、検出電極１１を有する。検出電極１１は、例えば銅又は銅合金等の金属により構成される。本実施形態では、検出電極１１は、上下方向に直交する方向に広がる板状又は薄膜状である。ただし、検出電極１１は、湾曲形状等の他の形状であってもよい。

静電容量センサ１は、ケース１２と、回路部１３と、リード線１４とを更に有する。ケース１２は、例えば樹脂で構成され、検出電極１１および回路部１３を収容する。本実施形態では、検出電極１１は、ケース１２の底部に配置される。このために、ケース１２の下面が、静電容量センサ１の検出面になる。ケース１２の上面には、不図示の開口が設けられており、リード線１４がケース１２の外部に引き出し可能になっている。リード線１４には、例えば電源線および信号線が含まれる。

回路部１３は、検出電極１１と電気的に接続される。回路部１３は、検出電極１１とともに、静電容量の変化を検出する検出回路を構成する。回路部１３は、検出回路により静電容量の変化を検出すると、リード線１４を介して検出信号を静電容量センサ１の外部に出力する。回路部１３は、例えば、銅箔等により回路パターンが形成されたプリント基板により構成される。本実施形態では、回路部１３を構成するプリント基板は、検出電極１１の上側に配置され、不図示の接続線により検出電極１１と電気的に接続される。

構造体２は、検出電極１１に対して少なくとも一部が移動可能に設けられる。本実施形態では、構造体２は、検出電極１１に対して一部が移動可能に設けられる。この構成では、静電容量センサ１は、構造体２の一部に取り付けられてよい。ただし、構造体２は、検出電極１１に対して全体が移動可能に設けられてもよく、この場合には、静電容量センサ１は構造体２とは離間して配置される。なお、構造体２の一部が検出電極１１に対して移動可能に設けられる場合においても、静電容量センサ１は構造体２とは離間した別の部材に配置されてよい。

構造体２は、ベース２１と導体２２とを有する。ベース２１は絶縁性を有する。絶縁性のベース２１は、例えば樹脂により構成される。ベース２１は、構造体２を構成する主要部材である。本実施形態では、ベース２１は、第１ベース部２１１と第２ベース部２１２とを有する。すなわち、ベース２１は、第１ベース部２１１と第２ベース部２１２とに分割されている。

第２ベース部２１２は、可動機構２０により第１ベース部２１１に対して移動可能に設けられる。構造体２には、可動機構２０を駆動する駆動部が設けられることが好ましい。第１ベース部２１１は、検出電極１１に対して動かない。静電容量センサ１は、第１ベース部２１１に取り付けられてよい。第２ベース部２１２は、検出電極１１に対して移動可能に設けられる。

可動機構２０は、第１ベース部２１１に対して第２ベース部２１２を回転可能とする回転機構であってよい。また、可動機構２０は、第１ベース部２１１に対して第２ベース部２１２を直線的に移動可能とする直動機構であってもよい。なお、構造体２は、可動機構２０を複数有してもよい。この場合、構造体２は、互いに分離した３つ以上のベース部を有してよい。

導体２２は、電気伝導体であり、例えば銅又は銅合金等の金属で構成される。導体２２は、ベース２１に設けられる。本実施形態では、導体２２の一部が第１ベース部２１１に設けられる。導体２２の残りの一部が第２ベース部２１２に設けられる。

導体２２は、構造体２の検出電極１１に対する移動時において検出電極１１との間の静電容量を一定に保つ。なお、一定には略一定が含まれる。本実施形態では、導体２２は、第２ベース部２１２の検出電極１１に対する移動時において検出電極１１との間の静電容量を一定に保つ。すなわち、第２ベース部２１２が検出電極１１に対して移動しても、当該移動により検出電極１１と導体２２との間の静電容量は変化せず一定である。

導体２２は、第１電極部２２１と、第２電極部２２２と、接続部２２３とを有する。第１電極部２２１は、ベース２１の検出電極１１と対向する位置に設けられる。本実施形態では、第１電極部２２１は、第１ベース部２１１の検出電極１１と対向する位置に設けられる。第１電極部２２１は、検出電極１１と上下方向に離間して配置される。第１電極部２２１は、上下方向と直交する方向に広がる板状又は薄膜状である。ただし、第１電極部２２１は、湾曲形状等の他の形状であってもよい。第１電極部２２１と検出電極１１とは、面積を同じくして対向してもよいし、一方に対して他方の面積を大きくして対向してもよい。

第２電極部２２２は、ベース２１のワーク２００と対向する位置に設けられる。第２電極部２２２は、検出対象となるワーク２００が所定の領域に接近したことを検出できる位置に適宜配置される。本実施形態では、第２電極部２２２は、第２ベース部２１２に設けられる。第２電極部２２２は、ワーク２００との対向方向と直交する方向に広がる板状又は薄膜状である。ただし、第２電極部２２２は、湾曲形状等の他の形状であってもよい。第２電極部２２２とワーク２００とは、面積を同じくして対向してもよいし、一方に対して他方の面積を大きくして対向してもよい。

第２電極部２２２は、第１電極部２２１との間にベース２１の一部と空間とのうち少なくとも一方を介在させて配置される。すなわち、第１電極部２２１と第２電極部２２２とは、例えば、一枚の導体の表面部分と裏面部分のような関係ではない。本実施形態では、第２電極部２２２は、第１電極部２２１とは独立して配置することができる。また、第２電極部２２２は、第１電極部２２１から離して配置することができる。

なお、第１電極部２２１および第２電極部２２２は、ベース２１の表面又は表面近傍に配置されることが好ましい。これにより、検出電極１１と第１電極部２２１、および、ワーク２００と第２電極部２２２をそれぞれ接近させることができるために、ワーク２００の接近を検出するための感度を向上することができる。なお、第１電極部２２１および第２電極部２２２がベース２１の表面に配置される場合において、各電極部２２１、２２２は、ベース２１とは異なる保護材により覆われてもよい。

接続部２２３は、第１電極部２２１と第２電極部２２２とを電気的に接続する。接続部２２３は、第１電極部２２１と第２電極部２２２とを物理的に途切れることなく接続する構成であってよい。本実施形態においては、構造体２が可動機構２０を有するために、接続部２２３は、第１ベース部２１１と第２ベース部２１２とに分断されて配置される。ただし、第１ベース部２１１に形成される接続部２２３と、第２ベース部２１２に形成される接続部２２３とは、後述のように意図的に容量結合されている。本明細書においては、意図的に容量結合されている部分は、電気的に接続されている部分に含まれる。なお、構造体２が可動機構２０を有する場合においても、接続部２２３は、可動接点を有することにより、第１電極部２２１と第２電極部２２２とを途切れることなく接続してよい。

ワークセンシング装置１００においては、第２電極部２２２にワーク２００が接近することにより導体２２に静電誘導が生じる。これにより、検出電極１１が静電容量の変化を検出する。検出電極１１による静電容量の変化の検出により、ワークセンシング装置１００は、ワーク２００の接近を検出する。

本実施形態においては、構造体２の少なくとも一部が検出電極１１に対して移動する場合においても検出電極１１と導体２２との間の静電容量が一定に保たれるために、静電容量センサ１をワーク２００の検出位置から離して配置してもワーク２００の接近を正確に検出することができる。この結果、ワーク２００の検出箇所の設計の自由度を向上することができる。また、本実施形態によれば、静電容量センサ１をワーク２００の検出位置から離して配置するにあたって、導体２２を１枚の大きな導電性部材で形成することを避けることができる。このために、導体２２の面積について、ワーク２００を検出すべき位置において大きくして、ワーク２００を検出すべき位置から離れた箇所において小さくすることができる。この結果、検出すべきワーク２００以外の物体を誤って検出する可能性を低減することができる。

なお、接続部２２３の少なくとも一部は線状であることが好ましい。本構成によれば、接続部２２３の幅を狭くすることができるために、接続部２２３において物体の接近に伴って静電誘導が起きる可能性を低減することができる。すなわち、本構成によれば、ワーク２００の接近を誤検出する可能性を低減することができる。

また、接続部２２３の少なくとも一部は、ベース２１の内部に配置されてよい。本構成によれば、接続部２２３の少なくとも一部をベース２１の表面から離れた位置に配置できるために、接続部２２３において物体の接近に伴って静電誘導が起きる可能性を低減することができる。すなわち、本構成によれば、ワーク２００の接近を誤検出する可能性を低減することができる。なお、接続部２２３の少なくとも一部は、ベース２１の表面に配置されてよい。ベース２１の表面に配置される接続部２２３は、ベース２１とは異なる保護材により覆われてもよい。

構造体２は、例えば、公知のＭＩＤ（Molded Interconnect Device）工法によって形成されてよい。ＭＩＤ工法として、射出成形法により形成された立体成形物の表面に、スパッタリングなどにより金属薄膜を成形した後、レーザ加工によって金属薄膜を部分的に除去することにより、立体成形物の表面に金属配線を形成する工法が例示される。

また、構造体２は、ＭＩＤ工法と付加製造法（ＡＭ：Additive Manufacturing）とを組み合わせた技術（ＡＭ－ＭＩＤ技術）により製造されてもよい。すなわち、構造体２は、ＭＩＤ工法における射出成形法の代わりに、付加製造法における粉末床溶融結合法が用いられてよい。粉末床溶融結合法は、粉末材料を１層ごとに積層し、断面形状をレーザ又は電子ビームなどのエネルギー源で溶融してから固化させ造形する工法である。粉末床溶融結合法における造形の最中に、粉末材料中に添加された金属錯体をレーザ光により活性化させ、めっき処理を行うことにより、造形を行いながら金属配線の形成も進めることができる。

構造体２をＡＭ－ＭＩＤ技術により製造することにより、構造体２の表面のみならず内部に所定の形状の導体２２を自由に形成することができる。なお、本実施形態において、第１電極部２２１と接続部２２３の一部とを有する第１ベース部２１１と、第２電極部２２２と接続部２２３の一部とを有する第２ベース部２１２とは、別々に製造される。

＜２．構造体の詳細例＞



図２は、本開示の実施形態に係る構造体２の詳細例を示す概略斜視図である。図２に示すように、構造体２は、第１電極部２２１と第２電極部２２２との間に、一方の部材に対して他方の部材を移動可能とする可動機構２０を少なくとも１つ有する。詳細には、図２に示す例において、可動機構２０の数は１つである。また、一方の部材は第１ベース部２１１であり、他方の部材は第２ベース部２１２である。

図３は、図２示す構造体２の可動機構２０が設けられる部分周辺を分解して示した模式図である。図２および図３に示すように、構造体２は、第１ベース部２１１と第２ベース部２１２とで構成される。

第１ベース部２１１は、本体部２１１１と、上連結部２１１２と、下連結部２１１３とを有する。本体部２１１１と、上連結部２１１２と、下連結部２１１３とは、別々に準備され、製造の途中で一体化されて第１ベース部２１１を構成する。なお、本例では、本体部２１１１および上連結部２１１２は、それぞれ、ＡＭ－ＭＩＤ技術により導体２２の一部を含んで形成されてよい。また、本体部２１１１および上連結部２１１２、或いは、本体部２１１１および下連結部２１１３は、ＡＭ－ＭＩＤ技術により一体的に形成されてよい。

本体部２１１１は、左右方向に延びる角柱状である。上連結部２１１２は、左右方向に延びる板状であり、本体部２１１１の上側に配置される。上連結部２１１２は、下面の右端側に上方に向けて凹む連結部凹部２１１２ａを有する。連結部凹部２１１２ａは、上下方向からの平面視において円形状である。下連結部２１１３は、左右方向に延びる板状であり、本体部２１１１の下側に配置される。下連結部２１１３は、上面の右端側に上方に向けて突出する連結部凸部２１１３ａを有する。連結部凸部２１１３ａは、上下方向に延びる円柱状である。

上連結部２１１２は、本体部２１１１の右端部に一部が重ねられ、本体部２１１１に固定される。連結部凹部２１１２ａは、本体部２１１１の右端よりも右側に配置され、本体部２１１１に覆われることなく露出する。下連結部２１１３は、本体部２１１１の右端部に一部が重ねられ、本体部２１１１に固定される。連結部凸部２１１３ａは、本体部２１１１の右端よりも右側に配置され、本体部２１１１とは重ならない。円形状の連結部凹部２１１２ａと、円柱状の連結部凸部２１１３ａとは、中心位置を同じとして、上下方向に並ぶ。連結部凸部２１１３ａの上部は、連結部凹部２１１２ａに挿入される。

なお、本体部２１１１と、各連結部２１１２、２１１３とは、例えば接着剤によって固定されたり、螺子によって固定されたりしてよい。接着剤又は螺子による固定以外の固定方法が用いられてもよい。

第２ベース部２１２は、角柱部２１２１と筒状部２１２２とを有する。角柱部２１２１と筒状部２１２２とは単一部材である。角柱部２１２１は、左右方向に延びる四角柱状である。筒状部２１２２は、上下方向に延びる円筒状である。筒状部２１２２は、角柱部２１２１の左側に配置される。

筒状部２１２２は、本体部２１１１の右側に隙間をあけて配置される。筒状部２１２２の貫通孔２１２２ａには、連結部凸部２１１３ａが挿入される。これにより、第２ベース部２１２は、第１ベース部２１１に中心軸Ｃを中心として回転可能に支持される。構造体２は、第１ベース部２１１に対して第２ベース部２１２を回転させる不図示の駆動部を有してよい。駆動部は、例えばモータ等であってよい。第２ベース部２１２の右端部は、回転により、前後方向に移動可能である。

上連結部２１１２と、下連結部２１１３と、筒状部２１２２とは、可動機構２０を構成する。本例では、可動機構２０は回転機構である。上述のように、可動機構２０は、一方の部材２１１に対して他方の部材２１２を移動可能とする。このために、別の言い方をすると、他方の部材２１２は、一方の部材２１１に対して中心軸Ｃを中心として回転可能に設けられる。

図２に示すように、本体部２１１１の上面には、第１電極部２２１が設けられる。すなわち、第１ベース部２１１は第１電極部２２１を有する。第１電極部２２１は、円形状の薄膜であり、本体部２１１１の左端部に配置される。第１電極部２２１は、例えば矩形状等の他の形状であってよい。

また、角柱部２１２１の前側面には、第２電極部２２２が設けられる。すなわち、第２ベース部２１２は第２電極部２２２を有する。第２電極部２２２は、矩形状の薄膜であり、角柱部２１２１の右端部に配置される。第２電極部２２２は、例えば円形状等の他の形状であってよい。本例では、第１電極部２２１と第２電極部２２２との間には、第１ベース部２１１の一部と、第１ベース部２１１と第２ベース部２１２との左右方向間の隙間と、第２ベース部２１２の一部とが介在する。すなわち、第２電極部２２２は、第１電極部２２１との間にベース２１の一部と空間とを介在させて配置される。

図３に示すように、接続部２２３は、第１ベース部２１１が有する第１カップリング電極部２２３１と、第２ベース部２１２が有する第２カップリング電極部２２３２とを有する。上述のように、可動機構２０は、一方の部材２１１に対して他方の部材２１２を移動可能とする可動機構２０を有する。このために、別の言い方をすると、接続部２２３は、一方の部材２１１が有する第１カップリング電極部２２３１と、他方の部材２１２が有する第２カップリング電極部２２３２とを有する。

詳細には、接続部２２３は、第１カップリング電極部２２３１および第２カップリング電極部２２３２の他に、線状の接続線部２２３０を有する。本例において、接続線部２２３０、第１カップリング電極部２２３１、および、第２カップリング電極部２２３２は薄膜である。

図２および図３に示すように、本体部２１１１の上面には、第１電極部２２１から本体部２１１１の右端まで延びる接続線部２２３０が設けられる。上連結部２１１２の下面には、接続線部２２３０および第１カップリング電極部２２３１が設けられる。第１カップリング電極部２２３１は、中心軸Ｃを中心とする環状の電極である。第１カップリング電極部２２３１は、連結部凹部２１１２ａを囲む。上連結部２１１２に設けられる接続線部２２３０は、上連結部２１１２の左端から第１カップリング電極部２２３１まで延びる。上連結部２１１２に設けられる接続線部２２３０は、本体部２１１１に設けられる接続線部２２３０に接触した状態で重なる。

また、第２ベース部２１２の上面には、第２カップリング電極部２２３２が設けられる。第２カップリング電極部２２３２は、筒状部２１２２の貫通孔２１２２ａを囲み、中心軸Ｃを中心とする環状である。第２ベース部２１２には、第２カップリング電極部２２３２と第２電極部２２２とを接続する接続線部２２３０が設けられる。当該接続線部２２３０は、詳細には、第１接続線部２２３０ａと、第２接続線部２２３０ｂと、第３接続線部２２３０ｃとで構成される。第１接続線部２２３０ａは、第２ベース部２１２の上面において、第２カップリング電極部２２３２から角柱部２１２１の右端より少し手前の位置まで左右方向に延びる。第２接続線部２２３０ｂは、第２ベース部２１２の上面において、第１接続線部２２３０ａの右端部から前方に延びる。第３接続線部２２３０ｃは、角柱部２１２１の前側面において上下に延び、上端が第２接続線部２２３０ｂと接続され、下端が第２電極部２２２と接続される。

第２カップリング電極部２２３２は、第１カップリング電極部２２３１と中心軸Ｃが延びる方向に一定の間隙を介して対向する環状の電極である。本例では、第１カップリング電極部２２３１と第２カップリング電極部２２３２とは合同である。ただし、両者は合同でなくてもよい。第２カップリング電極部２２３２は、第２ベース部２１２が第１ベース部２１１に対して回転する際に、第１カップリング電極部２２３１との対向面積およびギャップが変動しなければよい。

第２カップリング電極部２２３２は、可動機構２０の動きにかかわらず第１カップリング電極部２２３１との間の静電容量を一定に保つ。このために、構造体２の第１電極部２２１と第２電極部２２２との間に可動機構２０が存在する場合においても、可動機構２０の動きに影響を受けることなく導体２２と検出電極１１との間の静電容量を一定に保つことができる。本例では、可動機構２０による回転動作の影響を受けることなく、導体２２と検出電極１１との間の静電容量を一定に保つことができる。

また、接続部２２３の少なくとも一部は、第２電極部２２２とワーク２００とが対向する方向からの平面視において、所定方向の幅が第２電極部２２２より狭いことが好ましい。本例では、接続部２２３の一部は、前後方向からの平面視において、左右方向の幅が第２電極部２２２より狭い。詳細には、前後方向からの平面視において、第２接続線部２２３０ｂおよび第３接続線部２２３０ｃは、左右方向の幅が第２電極部２２２より狭い。なお、本例では、接続部２２３の一部は、上下方向から平面視における前後方向の幅が、前後方向からの平面視における第２電極部２２２の左右方向の幅より狭い。詳細には、第１接続線部２２３０ａの前後方向の幅が、第２電極部２２２の左右方向の幅より狭い。

本構成によれば、接続部２２３の少なくとも一部が第２電極部２２２よりも幅が狭い部分を有するために、接続部２２３において物体の接近に伴って静電誘導が起きる可能性を低減することができる。一方で、ワーク２００を検出すための第２電極部２２２は広い面積にすることができるために、ワーク２００の接近に対する感度を高めることができる。すなわち、本構成によれば、ワーク２００の接近を誤検出することなく正確に検出することができる。

＜３．構造体の変形例＞



以下、上述した構造体２の変形例について説明する。変形例の説明に際しては、上述の構造体２と異なる部分を中心として説明を行う。上述の構造体２と重複する部分については、適宜説明を省略する。

（３－１．第１変形例）



図４は、第１変形例の構造体２Ａの構成の一部を示す概略斜視図である。図５は、図４示す構造体２Ａの可動機構２０Ａが設けられる部分周辺を分解して示した模式図である。構造体２Ａは、不図示の第１電極部と第２電極部との間に、一方の部材２１１Ａに対して他方の部材２１２Ａを移動可能とする可動機構２０Ａを有する。他方の部材２１２Ａは、一方の部材２１１Ａに対して中心軸Ｃを中心として回転可能に向けられる。第１変形例においても、一方の部材２１１Ａは第１ベース部であり、他方の部材２１２Ａは第２ベース部である。第２ベース部２１２Ａは、中心軸Ｃを中心として回転可能に第１ベース部２１１Ａに支持される。

第１ベース部２１１Ａは、本体部２１１１Ａと、上連結部２１１２Ａと、下連結部２１１３Ａとを有する。第２ベース部２１２Ａは、角柱部２１２１Ａと筒状部２１２２Ａとを有する。上連結部２１１２Ａ、下連結部２１１３Ａ、角柱部２１２１Ａ、および、筒状部２１２２Ａの構成は、上述した構造体２と同様であるために、詳細な説明は省略する。

本体部２１１１Ａは、右端部に前後方向の幅を広げる拡大部２１１１ｘを有する。拡大部２１１１ｘの右端面には、上下方向に貫通し、且つ、左方に向けて凹む切欠き部２１１１ｙが設けられる。切欠き部２１１１ｙにより、拡大部２１１１ｘの右端面の一部は、上下方向からの平面視において、中心軸Ｃを中心とする半円状の凹面になっている。第２ベース部２１２Ａは、筒状部２１２２Ａの一部が切欠き部２１１１ｙ内に入れられ、第１ベース部２１１Ａに回転可能に支持される。

第１ベース部２１１Ａと第２ベース部２１２Ａとには、不図示の第１電極部と第２電極部とを電気的に接続する接続部２２３Ａが設けられる。図５に示すように、接続部２２３Ａは、第１ベース部２１１Ａが有する第１カップリング電極部２２３１Ａと、第２ベース部２１２Ａが有する第２カップリング電極部２２３２Ａとを有する。

第１カップリング電極部２２３１Ａは、中心軸Ｃを中心とする周方向に延びる面状の電極である。第１カップリング電極部２２３１Ａは、切欠き部２１１１ｙにより形成される半円状の凹面上に、銅等の金属薄膜を配置することにより形成できる。なお、第１カップリング電極部２２３１Ａは、第１ベース部２１１Ａの上面に設けられる左右方向に延びる接続線部２２３０Ａにより不図示の第１電極部に接続される。第１変形例では、上連結部２１１２Ａには接続部２２３は形成されていない。

第２カップリング電極部２２３２Ａは、中心軸Ｃと平行な方向に延びる線状の電極である。第２カップリング電極部２２３２Ａは、筒状部２１２２Ａの側面に設けられる。第１変形例では、第２カップリング電極部２２３２Ａは、筒状部２１２２Ａの下端から上端まで延びるが、これより短くてもよく、必ずしも、下端および上端まで延びる必要はない。なお、第２カップリング電極部２２３２Ａは、第２ベース部２１２Ａに設けられる接続線部２２３０Ａによって不図示の第２電極部に接続される。

第２カップリング電極部２２３２Ａは、第１カップリング電極部２２３１Ａと中心軸Ｃを中心とする径方向に一定の間隙を介して対向する。第２カップリング電極部２２３２Ａは、第２ベース部２１２Ａが第１ベース部２１１Ａに対して回転する際に、第１カップリング電極部２２３１Ａとの対向面積およびギャップを一定に保つ。このために、第２カップリング電極部２２３２Ａは、可動機構２０Ａの動きにかかわらず第１カップリング電極部２２３１Ａとの間の静電容量を一定に保つ。すなわち、可動機構２０Ａによる回転動作の影響を受けることなく、導体２２Ａと不図示の静電容量センサの検出電極との間の静電容量を一定に保つことができる。

（３－２．第２変形例）



図６は、第２変形例の構造体２Ｂの構成の一部を示す概略斜視図である。図７は、図６示す構造体２Ｂの可動機構２０Ｂが設けられる部分周辺を分解して示した模式図である。構造体２Ｂは、不図示の第１電極部と第２電極部との間に、一方の部材２１１Ｂに対して他方の部材２１２Ｂを移動可能とする可動機構２０Ｂを有する。他方の部材２１２Ｂは、一方の部材２１１Ｂに対して中心軸Ｃを中心として回転可能に向けられる。第２変形例においても、一方の部材２１１Ｂは第１ベース部であり、他方の部材２１２Ｂは第２ベース部である。第２ベース部２１２Ｂは、中心軸Ｃを中心として回転可能に第１ベース部２１１Ｂに支持される。

第１ベース部２１１Ｂは、上連結部２１１２および下連結部２１１３を有さず、本体部２１１１Ｂのみで構成される。本体部２１１１Ｂは、右端部に、中心軸Ｃを中心とする柱状部２１１１ｚを有する。換言すると、一方の部材２１１Ｂは、中心軸Ｃを中心とする柱状部２１１１ｚを有する。柱状部２１１１ｚは、詳細には円柱状である。

第２ベース部２１２Ｂは、上述の構造体２と同様に、角柱部２１２１Ｂと筒状部２１２２Ｂとを有する。柱状部２１１１ｚは、筒状部２１２２Ｂの貫通孔２１２２ａＢに挿入される。換言すると、他方の部材２１２Ｂは、柱状部２１１１ｚの中心軸Ｃを中心とする径方向外方に配置される筒状部２１２２Ｂを有する。柱状部２１１１ｚが貫通孔２１２２ａＢに挿入されることにより、第２ベース部２１２Ｂは、第１ベース部２１１Ｂに回転可能に支持される。柱状部２１１１ｚと筒状部２１２２Ｂとは、可動機構２０Ｂを構成する。

第１ベース部２１１Ｂと第２ベース部２１２Ｂとには、不図示の第１電極部と第２電極部とを電気的に接続する接続部２２３Ｂが設けられる。図７に示すように、接続部２２３Ｂは、第１ベース部２１１Ｂが有する第１カップリング電極部２２３１Ｂと、第２ベース部２１２Ｂが有する第２カップリング電極部２２３２Ｂとを有する。

第１カップリング電極部２２３１Ｂは、柱状部２１１１ｚの外周面に配置される環状の電極である。第１カップリング電極部２２３１Ｂは、柱状部２１１１ｚの外周面に、銅等の金属薄膜を配置することにより形成できる。第１カップリング電極部２２３１Ｂは、柱状部２１１１ｚの下端から上端まで延びてもよいが、第１カップリング電極部２２３１Ｂの上端と下端とのうち少なくとも一方は、柱状部２１１１ｚの上下方向の端まで延びなくてもよい。図７に示す例では、第１カップリング電極部２２３１Ｂの上端と下端とは、柱状部２１１１ｚの上下方向の端まで延びていない。なお、第１カップリング電極部２２３１Ｂは、第１ベース部２１１Ｂに設けられる接続線部２２３０Ｂによって不図示の第１電極部に接続される。

第２カップリング電極部２２３２Ｂは、筒状部２１２２Ｂの内周面に配置される環状の電極である。第２カップリング電極部２２３２Ｂは、筒状部２１２２Ｂの内周面に、銅等の金属薄膜を配置することにより形成できる。第２カップリング電極部２２３２Ｂは、筒状部２１２２Ｂの下端から上端まで延びてもよいが、第２カップリング電極部２２３２Ｂの上端と下端とのうち少なくとも一方は、筒状部２１２２Ｂの上下方向の端まで延びなくてもよい。図７に示す例では、第２カップリング電極部２２３２Ｂの上端と下端とは、筒状部２１２２Ｂの上下方向の端まで延びていない。なお、第２カップリング電極部２２３２Ｂは、第２ベース部２１２Ｂに設けられる接続線部２２３０Ｂによって不図示の第２電極部に接続される。

本例では、第２カップリング電極部２２３２Ｂは、第１カップリング電極部２２３１Ｂと中心軸Ｃを中心とする径方向に一定の間隙を介して対向する。例えば、筒状部２１２２Ｂの貫通孔２１２２ａＢは、上部と下部とに比べて中間部分の直径が大きく形成される。第２カップリング電極部２２３２Ｂは、この直径が大きい部分に設けられる。これにより、第１カップリング電極部２２３１Ｂと第２カップリング電極部２２３２Ｂとを径方向に離して配置することができる。第２カップリング電極部２２３２Ｂは、第２ベース部２１２Ｂが第１ベース部２１１Ｂに対して回転する際に、第１カップリング電極部２２３１Ｂとの対向面積およびギャップを一定に保つ。このために、第２カップリング電極部２２３２Ｂは、可動機構２０Ｂの動きにかかわらず第１カップリング電極部２２３１Ｂとの間の静電容量を一定に保つ。すなわち、可動機構２０Ｂによる回転動作の影響を受けることなく、導体２２Ｂと不図示の静電容量センサの検出電極との間の静電容量を一定に保つことができる。

なお、貫通孔２１２２ａＢの直径を上端から下端まで一定として、第１カップリング電極部２２３１Ｂと第２カップリング電極部２２３２Ｂとが接触する構成としてもよい。この場合には、第１カップリング電極部２２３１Ｂと第２カップリング電極部２２３２Ｂとは可動接点を構成し、容量結合ではなく直接的に電気的に接続された状態になる。

（３－３．第３変形例）



図８は、第３変形例の構造体２Ｃの構成を示す概略斜視図である。図９は、図８示す構造体２Ｃを分解して示した模式図である。図８および図９に示すように、構造体２Ｃは、第１電極部２２１Ｃと第２電極部２２２Ｃとの間に、一方の部材２１１Ｃに対して他方の部材２１２Ｃを移動可能とする可動機構２０Ｃを有する。一方の部材２１１Ｃは第１ベース部であり、他方の部材２１２Ｃは第２ベース部である。

第１ベース部２１１Ｃは、左右方向に延びる四角柱状である。第１ベース部２１１Ｃは、右端面に、左方に延びるベース穴部２１１４を有する。第２ベース部２１２Ｃは、直方体状のベース本体部２１２３と、ベース本体部２１２３の左端面から左方に延びる四角柱状のベース突出部２１２４とを有する。ベース突出部２１２４がベース穴部２１１４に挿入されることにより、第１ベース部２１１Ｃは、第２ベース部２１２Ｃに対して左右方向に直線移動可能に支持される。ベース穴部２１１４とベース突出部２１２４とは可動機構２０Ｃを構成する。可動機構２０Ｃは直動機構である。

第１ベース部２１１Ｃの上面左端側には、薄膜状の第１電極部２２１Ｃが設けられる。第２ベース部２１２Ｃの上面中央部には、薄膜状の第２電極部２２２Ｃが設けられる。本例では、第１電極部２２１Ｃと第２電極部２２２Ｃとは、同じ高さ位置に形成される。第２電極部２２２Ｃは、第１電極部２２１Ｃとの間に空間を介在させて配置される。

接続部２２３Ｃは、第１ベース部２１１Ｃが有する第１カップリング電極部２２３１Ｃと、第２ベース部２１２Ｃが有する第２カップリング電極部２２３２Ｃとを有する。接続部２２３Ｃは、この他に、上述した構造体２と同様に、接続線部２２３０Ｃを有する。

第１カップリング電極部２２３１Ｃは、第１ベース部２１１Ｃの内部に設けられる。第１カップリング電極部２２３１Ｃは、ベース穴部２１１４を構成する４つの側面のうち、前方側の側面上に設けられる矩形薄膜状の電極である。なお、第１カップリング電極部２２３１Ｃは、第１ベース部２１１Ｃの上面および内部に配置される接続線部２２３０Ｃにより第１電極部２２１Ｃに接続される。

第２カップリング電極部２２３２Ｃは、ベース突出部２１２４の前側面の左端部に設けられる。第２カップリング電極部２２３２Ｃは、左右方向に延びる矩形薄膜状の電極である。第２カップリング電極部２２３２Ｃは、左右方向の幅が第１カップリング電極部な２２３１Ｃより大きい。本例では、好ましい構成として、第２カップリング電極部２２３２Ｃは、第１カップリング電極２２３１Ｃに対して前後方向に一定の間隙を介して対向する。例えば、ベース突出部２１２４に凹部又は段差を形成することにより、第１カップリング電極部２２３１Ｃと第２カップリング電極部２２３２Ｃとの前後方向間に間隙を形成できる。第２カップリング電極部２２３２Ｃは、ベース突出部２１２４の前側面およびベース本体部２１２３の内部に配置される接続線部２２３０Ｃにより第２電極部２２２Ｃに接続される。

第２カップリング電極部２２３２Ｃは、第２ベース部２１２Ｃが第１ベース部２１１Ｃに対して直線移動を行う際に、第１カップリング電極部２２３１Ｃとの対向面積およびギャップを一定に保つ。このために、第２カップリング電極部２２３２Ｃは、可動機構２０Ｃの動きにかかわらず第１カップリング電極部２２３１Ｃとの間の静電容量を一定に保つ。すなわち、第１電極部２２１Ｃと第２電極部２２２Ｃとの間に存在する可動機構２０Ｃの動きの影響を受けることなく、導体２２Ｃと不図示の静電容量センサ１の検出電極との間の静電容量を一定に保つことができる。

なお、第１カップリング電極部２２３１Ｃと第２カップリング電極部２２３２Ｃとが接触する構成としてもよい。この場合には、第１カップリング電極部２２３１Ｃと第２カップリング電極部２２３２Ｃとは可動接点を構成し、容量結合ではなく直接的に電気的に接続された状態になる。

本変形例の場合においても、回転機構を有する構造体２、２Ａ、２Ｂを用いる構成の場合と同様に、静電容量センサ１をワーク２００の検出位置から離して配置してもワーク２００の接近を正確に検出することができる。この結果、ワーク２００の検出箇所の設計の自由度を向上することができる。また、本変形例の場合も、回転機構を有する構造体２、２Ａ、２Ｂを用いる構成の場合と同様に、静電容量センサ１をワーク２００の検出位置から離して配置するにあたって、導体２２Ｃを１枚の大きな導電性部材で形成することを避けることができる。このために、導体２２Ｃの面積について、ワーク２００を検出すべき位置において大きくして、ワーク２００を検出すべき位置から離れた箇所において小さくすることができる。この結果、検出すべきワーク２００以外の物体を誤って検出する可能性を低減することができる。

＜４．ロボット＞



次に、ワークセンシング装置１００Ｄが適用されたロボット３００の実施形態について説明する。図１０は、本開示の実施形態に係るロボット３００の構成を示す模式図である。ロボット３００は、人間の代わりに、工場での組み立てなどの作業を行う産業用ロボットである。ロボット３００は、ワークセンシング装置１００Ｄと、ハンド３０４とを有する。ロボット３００は、支持台３０１と、旋回台３０２と、アーム３０３とを更に有する。ロボット３００は、その他、ロボット３００の動きを制御する不図示のコントローラを有する。

なお、ワークセンシング装置１００Ｄは、上述したワークセンシング装置１００と概ね同様の構成である。ただし、構造体２Ｄの構成において、上述の構造体２と差異を有する。構造体２Ｄは、上述の構造体２と形状が異なる。構造体２Ｄは、可動機構２０Ｄを２つ有する点で、上述の構造体２と異なる。また、構造体２Ｄは、２つの可動機構２０Ｄを有するために、接続部２２３Ｄの構成が上述の接続部２２３と異なる。可動機構２０Ｄは、上述の可動機構２０と同様の構成であってよい。

支持台３０１は、これ自体は動かず、地面又は床等に固定される。旋回台３０２は、支持台３０１の上に回転可能に支持される。旋回台３０２は、上下方向に延びる軸を中心として回転可能に設けられる。旋回台３０２の回転は、例えば不図示のサーボモータにより行われる。旋回台３０２の回転により、アーム３０３およびハンド３０４の位置を旋回方向に移動させることができる。

アーム３０３は、上下方向と直交する方向に延びる第１回転軸Ｒ１を中心として回転可能に旋回台３０２に支持される。本実施形態では、アーム３０３は、１つのアーム関節部３０３１を有し、第１アーム３０３ａと第２アーム３０３ｂとに分かれている。アーム関節部３０３１は、第１アーム３０３ａに対して第２アーム３０３ｂを移動可能とする機構を有する。当該機構は、例えば不図示のサーボモータにより駆動される。

詳細には、第１アーム３０３ａは、旋回台３０２に第１回転軸Ｒ１を中心として回転可能に支持される。旋回台３０２に対する第１アーム３０３ａの回転は、例えば不図示のサーボモータにより行われる。第２アーム３０３ｂは、アーム関節部３０３１にて、第１アーム３０３ａに対して第１回転軸Ｒ１と平行な方向に延びる第２回転軸Ｒ２を中心として回転可能に支持される。なお、アーム３０３が有するアーム関節部３０３１の数は、１つに限らず、複数であってよい。アーム関節部３０３１の数の増加により、アーム３０３は３つ以上に分割される。

ハンド３０４は、アーム－ハンド関節部３０５を介してアーム３０３に対して回転可能に支持される。アーム－ハンド関節部３０５は、第２アーム３０３ｂに対してハンド３０４を回転可能とする可動機構２０Ｄを有する。可動機構２０Ｄは、例えば不図示のサーボモータにより駆動される。本実施形態では、ハンド３０４は、第２アーム３０３ｂに対して第１回転軸Ｒ１と平行な方向に延びる第３回転軸Ｒ３を中心として回転可能に設けられる。

なお、ハンド３０４は、第２アーム３０３ｂに対して回転可能でなくてもよい。また、ハンド３０４の第２アーム３０３ｂに対する回転方向は別の方向であってよい。例えば、ハンド３０４は、第２アーム３０３ｂに対して第２アーム３０３ｂが延びる方向と平行な方向に延びる回転軸を中心として回転可能に設けられてもよい。

ハンド３０４は、ワーク２００を把持可能に設けられる。ハンド３０４は、ハンド本体部３０４１と、指部３０４２と、指関節部３０４３とを有する。指部３０４２は、指関節部３０４３を介してハンド本体部３０４１に対して回転可能に支持される。指関節部３０４３は、ハンド本体部３０４１に対してハンド３０４を回転可能とする可動機構２０Ｄを有する。可動機構２０Ｄは、例えば不図示のサーボモータにより駆動される。本実施形態では、指部３０４２は、ハンド本体部３０４１に対して第１回転軸Ｒ１と平行な方向に延びる第４回転軸Ｒ４を中心として回転可能に設けられる。ハンド本体部３０４１に対して回転可能に設けられる２本の指部３０４２により、ワーク２００を把持することができる。

ワークセンシング装置１００Ｄが有する構造体２Ｄは、ハンド３０４を用いて構成される。本実施形態では、静電容量センサ１Ｄは、第２アーム３０３ｂに取り付けられている。このために、構造体２Ｄは、ハンド３０４に加えて第２アーム３０３ｂも用いて構成される。なお、アーム３０３およびハンド３０４は、絶縁部材を主体として構成され、ベースを兼ねる。また、静電容量センサ１Ｄは、例えば、第１アーム３０３ａ、旋回台３０２、又は、支持台３０１に取り付けられてもよい。また、静電容量センサ１Ｄは、ハンド３０４に取り付けられてもよい。この場合には、構造体２は、ハンド３０４のみによって構成される。

ハンド３０４は、第１電極部２２１Ｄと、第２電極部２２２Ｄと、接続部２２３Ｄとのうち、少なくとも第２電極部２２２Ｄと接続部２２３Ｄの一部とを有する。本実施形態では、ハンド３０４は、第２電極部２２２Ｄと接続部２２３Ｄの一部とを有する。第２電極部２２２Ｄは、指部３０４２の先端に設けられる。第１電極部２２１Ｄは、第２アーム３０３ｂに設けられる。接続部２２３Ｄは、第２アーム３０３ｂとハンド３０４とに設けられる。

なお、接続部２２３Ｄは、アーム－ハンド関節部３０５と指関節部３０４３とにおいて、それぞれ、不図示の第１カップリング電極部と第２カップリング電極部との組を有する。

本実施形態によれば、ワーク２００を検出すべき位置から静電容量センサ１Ｄを離して配置することができる。例えば、ハンド３０４に搭載することができる物の重量および大きさには、制限がある。本実施形態によれば、静電容量センサ１Ｄをハンド３０４に比べて積載物の重量等の制限が小さなアーム３０３等に配置することができる。すなわち、本実施形態によれば、ワーク２００の接近を検出するワークセンシング装置１００Ｄのロボット３００への適用の自由度を大きくすることができる。

また、本実施形態によれば、互いに離れた位置に配置される第１電極部２２１Ｄと第２電極部２２２Ｄとを線状等の幅の狭い接続部２２３Ｄを用いて電気的に接続することができる。すなわち、本実施形態では、ワーク２００を検出すべき位置から離れた箇所におい導体２２の面積を小さくして、物体の検出感度を小さくすることができる。ロボット３００の周辺には、ワーク２００以外の物体が多く存在することがあるが、本実施形態によれば、ワーク２００以外の物体を誤検出する可能性が低く、ロボット３００の動きの正確さを向上することができる。

＜５．その他＞



本明細書中に開示されている種々の技術的特徴は、その技術的創作の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。また、本明細書中に示される複数の実施形態および変形例は可能な範囲で組み合わせて実施されてよい。

本開示は、産業用ロボットに利用することができる。

１ 静電容量センサ ２ 構造体 １１ 検出電極 ２０ 可動機構 ２１ ベース ２２ 導体 １００ ワークセンシング装置 ２００ ワーク ２１１ 第１ベース部（第１の部材） ２１２ 第２ベース部（第２の部材） ２２１ 第１電極部 ２２２ 第２電極部 ２２３ 接続部 ３００ ロボット ３０４ ハンド ２１１１ｚ 柱状部 ２１２２ 筒状部 ２２３１ 第１カップリング電極部 ２２３２ 第２カップリング電極部 Ｃ 中心軸

Claims (10)

1. ワークの接近を検出するワークセンシング装置であって、
   検出電極を有する静電容量センサと、前記検出電極に対して少なくとも一部が移動可能に設けられる構造体と、を有し、
   前記構造体は、絶縁性を有するベースと、前記ベースに設けられ、当該構造体の前記検出電極に対する移動時において前記検出電極との間の静電容量を一定に保つ導体と、を有し、
   前記導体は、前記ベースの前記検出電極と対向する位置に設けられる第１電極部と、前記第１電極部との間に前記ベースの一部と空間とのうち少なくとも一方を介在させて配置され、前記ベースの前記ワークと対向する位置に設けられる第２電極部と、前記第１電極部と前記第２電極部とを電気的に接続する接続部と、を有する、
   ワークセンシング装置。
2. 前記第１電極部および前記第２電極部は、前記ベースの表面又は表面近傍に配置される、
   請求項１に記載のワークセンシング装置。
3. 前記接続部の前記第２電極部と接続される部分の幅が前記第２電極部よりも狭い、
   請求項１又は２に記載のワークセンシング装置。
4. 前記接続部の少なくとも一部は線状である、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のワークセンシング装置。
5. 前記接続部の少なくとも一部は、前記ベースの内部に配置されている、
   請求項１から４のいずれか１項に記載のワークセンシング装置。
6. 前記構造体は、前記第１電極部と前記第２電極部との間に、一方の部材に対して他方の部材を移動可能とする可動機構を少なくとも１つ有し、
   前記接続部は、前記一方の部材が有する第１カップリング電極部と、前記他方の部材が有し、前記可動機構による動きにかかわらず前記第１カップリング電極部と間の静電容量を一定に保つ第２カップリング電極部と、を有する、
   請求項１から５のいずれか１項に記載のワークセンシング装置。
7. 前記他方の部材は、前記一方の部材に対して中心軸を中心として回転可能に設けられ、
   前記第１カップリング電極部は、前記中心軸を中心とする環状の電極であり、
   前記第２カップリング電極部は、前記第１カップリング電極部と前記中心軸が延びる方向に一定の間隙を介して対向する環状の電極である、
   請求項６に記載のワークセンシング装置。
8. 前記他方の部材は、前記一方の部材に対して中心軸を中心として回転可能に設けられ、
   前記第１カップリング電極部は、前記中心軸を中心とする周方向に延びる面状の電極であり、
   前記第２カップリング電極部は、前記第１カップリング電極部と前記中心軸を中心とする径方向に一定の間隙を介して対向し、前記中心軸と平行な方向に延びる線状の電極である、
   請求項６に記載のワークセンシング装置。
9. 前記他方の部材は、前記一方の部材に対して中心軸を中心として回転可能に設けられ、
   前記一方の部材は、前記中心軸を中心とする柱状部を有し、
   前記他方の部材は、前記柱状部の前記中心軸を中心とする径方向外方に配置される筒状部を有し、
   前記第１カップリング電極部は、前記柱状部の外周面に配置される環状の電極であり、
   前記第２カップリング電極部は、前記第１カップリング電極部と前記中心軸を中心とする径方向に一定の間隙を介して対向し、前記筒状部の内周面に配置される環状の電極である、
   請求項６に記載のワークセンシング装置。
10. 請求項１から９のいずれか１項に記載のワークセンシング装置と、
    前記ワークを把持可能に設けられるハンドと、
    を有し、
    前記構造体は、前記ハンドを用いて構成され、
    前記ハンドは、前記第１電極部と、前記第２電極部と、前記接続部とのうち、少なくとも前記第２電極部と前記接続部の一部とを有する、
    ロボット。

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