JP7407994B2 - Pipe inner surface inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、管内面検査方法に関する。 The present invention relates to a tube inner surface inspection method.
管の内径を測定する際、レーザー方式の測定装置を用いることができる。レーザーを用いることによって非接触式で測定できることから、接触式の測定方法において必要である芯出し作業や位置調整作業等の手間を省くことができる。特に、耐震管の受口内面は、構造上複雑な凹凸を有しており、その内径測定は、マイクロメータ等で作業者が直接測定を行っているが、効率が悪く、また測定ミス等も生じやすいという問題があることから、レーザー式の内径測定手段の開発が求められている。 When measuring the inner diameter of the tube, a laser type measuring device can be used. Since measurement can be performed in a non-contact manner by using a laser, it is possible to eliminate the labor of centering work, position adjustment work, etc. that is required in contact-type measurement methods. In particular, the inner surface of the socket of an earthquake-resistant pipe has complex irregularities due to its structure, and the inner diameter is measured directly by a worker using a micrometer, etc., but this is inefficient and is prone to measurement errors. Because of this problem, there is a need for the development of a laser-type inner diameter measuring means.
レーザー式の内径測定装置としては、例えば特許文献1~3に開示されている装置がある。
As laser-type inner diameter measuring devices, there are, for example, devices disclosed in
しかしながら、従来技術は何れも内径測定に要する時間について課題がある。例えば特許文献2の内径検査装置は、管軸方向と平行に発光されたレーザー光を、反射板にて管軸方向に対して直角方向に方向転換するが、管内面の一点のみの測定しかできない。そのため、検査時間が長時間に及ぶという問題がある。
However, all of the conventional techniques have problems regarding the time required to measure the inner diameter. For example, the inner diameter inspection device disclosed in
本発明の一態様は、管軸方向に沿って広範囲を測定対象として、従前の技術よりも効率的に管の受口の内径を測定することができる管内面検査方法を提供することを目的とする。 One aspect of the present invention is to provide a pipe inner surface inspection method that can measure the inner diameter of a pipe socket more efficiently than conventional techniques, targeting a wide range of measurement targets along the pipe axis direction. do.
前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る管内面検査方法は、凹凸形状が受口の内面に形成された管の内面を検査する管内面検査方法であって、発光部から発せられる、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光の光路を、前記管の内部に設けられた反射板によって、前記管の受口の内面に向かう方向に進むように変更する第1工程と、前記第1工程によって光路が変更した前記レーザー光を前記管の受口の内面において管軸に沿って広げ、前記凹凸形状に含まれる1つの環状溝の溝幅よりも広い幅を少なくとも有する領域に照射して反射した反射光を、受光部によって受光して、当該領域の内面形状を測定する第2工程と、を含む。 In order to solve the above-mentioned problems, a tube inner surface inspection method according to one aspect of the present invention is a tube inner surface inspection method for inspecting the inner surface of a tube in which an uneven shape is formed on the inner surface of a socket. The optical path of the emitted band-shaped laser beam that gradually becomes wider along the traveling direction of the laser beam is changed by a reflector provided inside the tube so that it travels in the direction toward the inner surface of the socket of the tube. a first step of spreading the laser beam whose optical path has been changed in the first step along the tube axis on the inner surface of the socket of the tube to be wider than the groove width of one annular groove included in the uneven shape; The method includes a second step of measuring the inner surface shape of the region by receiving the reflected light that is irradiated onto a region having at least the width and reflected by the light receiving section.
本発明の一態様に係る管内面検査方法は、前記の構成において、前記管の内部における所定の第1位置に、前記反射板を含む光路変更部を配置する第1配置工程と、前記所定の第1位置に配置された前記光路変更部を、前記管の管軸に平行な軸を中心に回転させる第1回転工程と、前記第1回転工程の後に、前記光路変更部を前記管軸に沿って所定の第2位置まで移動させる第2配置工程と、前記所定の第2位置に配置された前記光路変更部を、前記管軸に平行な軸を中心に前記第1回転工程における回転方向とは反対方向に回転させる第2回転工程と、を含み、前記第1回転工程および前記第2回転工程の各工程において、前記第1工程と前記第2工程とをこの順で所定回数繰り返す構成であってもよい。 In the tube inner surface inspection method according to one aspect of the present invention, in the above structure, a first arrangement step of arranging an optical path changing section including the reflector at a predetermined first position inside the tube; a first rotation step of rotating the optical path changing section disposed at a first position around an axis parallel to the tube axis of the tube; and after the first rotation step, the optical path changing section is rotated around an axis parallel to the tube axis of the tube; a second positioning step of moving the optical path changing unit located at the second position along the axis to a predetermined second position; and a rotation direction in the first rotation step about an axis parallel to the tube axis. a second rotation step of rotating in the opposite direction, and in each step of the first rotation step and the second rotation step, the first step and the second step are repeated in this order a predetermined number of times. It may be.
本発明の一態様に係る管内面検査方法は、前記の構成において、前記第1工程において前記反射板によって変更されたレーザー光が進む方向は、前記管の受口の内面に対して略垂直となる方向であってもよい。 In the pipe inner surface inspection method according to one aspect of the present invention, in the above structure, the direction in which the laser light modified by the reflection plate in the first step advances is approximately perpendicular to the inner surface of the socket of the pipe. It may be in the same direction.
本発明の一態様によれば管の管軸方向に沿って比較的広い範囲にレーザー光を照射することで、管の受口の内面を広範囲に検査することができる。例えば、管軸方向に沿った広範囲において管の内径測定が可能であることから、管の内面形状を迅速に検査することができる。 According to one aspect of the present invention, by irradiating a relatively wide range with laser light along the axial direction of the pipe, the inner surface of the socket of the pipe can be inspected over a wide range. For example, since the inner diameter of the tube can be measured over a wide range along the tube axis, the inner shape of the tube can be quickly inspected.
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る管内面検査装置を或る角度から見たときの図であり、説明の便宜上、管は管軸方向に沿った断面で示した図である。図2は、図1に示す管内面検査装置を、管内面検査装置が具備する発光部から発せられるレーザー光の光軸を中心に90°回転した方向から見たときの図である。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail. FIG. 1 is a diagram of a tube inner surface inspection device according to an embodiment of the present invention viewed from a certain angle, and for convenience of explanation, the tube is shown in a cross section along the tube axis direction. FIG. 2 is a view of the tube inner surface inspection apparatus shown in FIG. 1, as viewed from a direction rotated by 90 degrees around the optical axis of a laser beam emitted from a light emitting section included in the tube inner surface inspection apparatus.
本実施形態の管内面検査装置1は、管100の内面110を検査する管内面検査装置である。管100の内面110を検査するとは、管100の内径を測定するとともに、内径の値に基づいて管100の内面形状を測定することを示す。管100の内面形状とは、例えば鋳鉄管の受口部101の内面に設けられた凹凸形状が一例としてある。
The tube inner
(管内面検査装置)
図1に示す管内面検査装置1は、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光を発する発光部2と、発光部2が発したレーザー光の光路を管100の内面110に向かって変更し、レーザー光を管100の内面110において管軸100Cに沿って広がった領域Aに照射する光路変更部3と、内面110の領域Aから反射したレーザー光の反射光を受光する受光部4と、を備える。この構成によれば、管100の管軸方向に沿って比較的広い範囲にレーザー光を照射することで、管100の内面110を広範囲に検査することができる。すなわち、管軸方向に沿った広範囲において管の内径測定が可能であることから、管の内面形状を迅速に検査することができる。
(Pipe inner surface inspection device)
The tube inner
ここで、管100は、例えば水道用管等として利用されるダクタイル鋳鉄管であってよい。ダクタイル鋳鉄管は、鉄管同士を連結する際に、或る鉄管の一端部に設けられた受口に、別の鉄管の他端部に設けられた挿し口を挿入する態様をとることができる。そして、この連結にあたり、鉄管の受口の内面には、連結のための段部や、管同士の水密性確保手段(ゴム輪)装着のための段部や環状溝の凹凸形状を有するものがある。本実施形態で検査対象とする管100にも、受口部101の内面110に、そのような環状溝を含む凹凸形状が形成されている。
Here, the
なお、管100は、図示しない管支持装置によって支持されている。本実施形態では、管100は、管軸100Cが略水平になるよう管支持装置によって支持されている。
Note that the
発光部2は、図1に示すようにレーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光を発する。この帯状のレーザー光は、複数のレーザー光を進行方向を平行にして合わせて成り、各レーザー光は同一波長である。波長は特に制限はないが、青色レーザー光であることが好ましい。なお、以下の説明では、発光部2から発せられ、受光部4に受光されるまでの一連の光路を、4つのブロックに分けて説明する。具体的には、発光部2から発せられて光路変更部3に入射するまでの間の光路にある帯状のレーザー光を20aとする。また、レーザー光20aが光路変更部3にて光路変更してから、管100の内面110の領域Aに照射されるまでの間の光路にある帯状のレーザー光を20bとする。また、領域Aにおいて反射して光路変更部3に入射するまでの間の光路にある反射光である帯状のレーザー光を20cとする。そして、反射光20cが光路変更部3にて光路変更してから、受光部4に受光されるまでの間の光路にある帯状のレーザー光を20dとする。
As shown in FIG. 1, the
光路変更部3は、図1に示すように、管100の内部に位置した状態で、発光部2が発したレーザー光20aの光路を管100の内面110に向かって変更し、レーザー光20bを管の内面において管軸に沿って広がった領域Aに照射する。領域Aとは、管軸に沿った長さが、管の内面にレーザー照射する一般的な技術において使用するレーザー光による照射領域の管軸に沿った長さよりも長い領域である。例えば、領域Aの管軸に沿った長さは、凹凸形状に含まれる1つの環状溝の溝幅よりも広い幅(長さ)を少なくとも有していることが好ましい。
As shown in FIG. 1, the optical
受光部4は、図2に示すように、発光部2が管軸100Cに近い位置にある状態において、管軸100Cから離れた位置に設けられている。管100の内面110の領域Aにおいて反射した反射光、詳細には帯状のレーザー光20dを受光する。受光部4は、撮像素子CMOSを具備しており、受光したレーザー光に基づいた信号を出力する。出力信号は、演算部6が取得する。なお、図2では、管100の内面110に向かって進むレーザー光20bは、紙面奥側に向かって進んでいる。
As shown in FIG. 2, the
ここで、受光部4は、領域Aからの反射光を高さデータとして取得することができる。受光部4は、その高さデータを出力信号とする。これにより、後述する演算部6によって、管の内径を特定することができる。なお、これに限らず、受光部4から領域A内の特定の位置までの距離を、レーザー光を用いた周知の距離計測技術に基づいて計測することができる。例えば、レーザー光の到達飛行時間によって計測することができる。また、他の例として、領域Aの表面形状の凹凸に起因する陰影を捉えたパターン投影画像を受光部4が生成できるように構成されており、その画像から領域Aまでの距離を特定する態様であってもよい。
Here, the
ここで、発光部2および受光部4と、光路変更部3とは、管100の内部に挿入可能な先端部51を含むアーム部5に取り付けられている。具体的には、発光部2および受光部4は、アーム部5の基部52に配設されており、光路変更部3が先端部51に固定されている。アーム部5によって、発光部2と受光部4と光路変更部3とは、一体的に位置を変えることができ、光路変更部3と発光部2との距離、および光路変更部3と受光部4との距離がそれぞれ一定であることから、管の内面の検査を行う工程において、両者の位置決めの制御を行う必要がなく、制御機構を簡素化することができる。
Here, the
アーム部5は、ロボットアーム500の先端に固定されており、ロボットアーム500の駆動によって、アーム部5の位置および姿勢が調整される。ロボットアーム500は、アーム部5を介して、発光部2から発せられるレーザー光20aの進行方向に沿った軸20Lが管軸100Cに平行となるように、アーム部5の位置を調整している。また、管100の内面110の検査を行う工程において、ロボットアーム500は、アーム部5を、管軸100Cを中心に回転させる。これについては、後述する。アーム部5は、発光部2のレーザー光を遮ることがない位置に設けられていれば設置態様は図1に示す例に限らない。
The
(光路変更部の詳細)
光路変更部3は、アーム部5の先端部51に固定された反射板31を含む。反射板31は、発光部2が発したレーザー光20aを反射させることにより光路を調整するとともに、内面110において反射した反射光20cが受光部4に向くように反射光20cを反射させて反射光の光路を調整する。
(Details of optical path changing part)
The optical
具体的には、光路変更部3は、図1に示すように、発光部2より発せられ、帯状のレーザー光20aの幅を規定する両端の一方を進行し、反射板31において反射し管100の内面110に入射する光路を第1光路(i)とし、発光部2より発せられ、帯状のレーザー光の幅を規定する両端の他方を進行し、反射板31において反射して管100の内面110に入射する光路を第2光路(ii)とすると、反射板31は、第1光路(i)を進行するレーザー光および第2光路(ii)を進行するレーザー光の両方について管100の内面110で反射したレーザー光20cを受光するとともに反射させ、受光部4に導くよう、発光部2および受光部4に対して反射面32が向けられている。ここで、第1光路(i)は、発光部2から発せられ、受光部4に受光されるまでの一連の光路において、帯状のレーザー光20aの幅を規定する両端の一方に規定される。また、第2光路(ii)は、発光部2から発せられ、受光部4に受光されるまでの一連の光路において、帯状のレーザー光20aの幅を規定する両端の他方に規定される。
Specifically, as shown in FIG. 1, the optical
反射面32は、発光部2より発せられた帯状のレーザー光20aを光路変更する。このとき、帯状のレーザー光20aの光軸の中心では、反射面32によって光路が直角に変更する。このときの光路変更部3に受光する前の帯状のレーザー光20aの幅方向を含む平面と、反射面32によって反射された後の帯状のレーザー光20bの幅方向を含む平面とは、同一平面にある。これについて、図3を用いて説明する。
The
図3は、図1に示した管内面検査装置1が具備する反射板31を、管端から管奥に向かって見たとき、つまり本実施形態では受口側から挿し口側に向かって見たとき、の図であり、管内面検査装置1が具備する発光部2から発せられるレーザー光20aが反射面32に入射して反射してレーザー光20bとなり、管100の内面110に照射して反射し、反射光20cとして反射板31の反射面32に受光されるまでの光路を示す図である。
FIG. 3 shows the
図2および図3では、発光部2より発せられた帯状のレーザー光20aの第1光路(i)のレーザー光が反射面32に入射する入射位置をP1で示す。また、発光部2より発せられた帯状のレーザー光20aの第2光路(ii)のレーザー光が反射面32に入射する入射位置をP2で示す。入射位置P1、P2に入射したレーザー光は、反射して光路が変わり、レーザー光20bとして管100の内面110に向かって進行し、内面110に照射される(領域A)。このように光路を変えるために、反射面32は、第2光路(ii)のレーザー光の反射面32への入射位置P2側を管奥(挿し口側)にして、第1光路(i)のレーザー光の反射面32への入射位置P1側から入射位置P2側が、発光部2から発せられるレーザー光20aの進行方向に沿った軸20Lに対して傾斜している。
In FIGS. 2 and 3, the incident position at which the laser beam on the first optical path (i) of the band-shaped
管100の内面110において領域Aに照射されたレーザー光20bは、内面110において拡散反射して反射光20cとなる。ここで、反射光20cは、領域Aに入射したレーザー光20bに対して所定の傾斜角度を有する。所定の傾斜角度は、例えば24.2°である。本実施形態では、領域Aに入射したレーザー光20bに対して24.2°の角度を有した反射光を生成する指向性を有したレーザー光を使用することで、これを実現することができる。すなわち、帯状のレーザー光20bの第1光路(i)のレーザー光が領域Aに照射されると、このレーザー光に対して24.2°の角度を有する反射光(反射光20cである帯状のレーザー光の第1光路(i))となる。また、帯状のレーザー光20bの第2光路(ii)のレーザー光が領域Aに照射されると、このレーザー光に対して24.2°の角度を有する反射光(反射光20cである帯状のレーザー光の第2光路(ii))となる。なお、レーザー光20bに対する反射光20cの傾斜角度は、或る範囲の傾斜角度を有するものであってよく、例えば先述のように24.2°というピンポイントの値に限られない。すなわち、24.2°は、傾斜角度の平均値または中央値であってよく、ピンポイントの角度で傾斜する指向性を有したレーザー光であるということではない。
The
図2および図3に示す、領域Aからの反射光20cは、再び反射面32に受光され反射して、受光部4に向かう。図2および図3では、反射光20cである帯状のレーザー光の第1光路(i)のレーザー光が反射面32に入射する入射位置をP1rで示し、第2光路(ii)のレーザー光が反射面32に入射する入射位置をP2rで示す。
The reflected light 20c from the area A shown in FIGS. 2 and 3 is again received by the
受光部4に向くように反射面32において反射したレーザー光20dは、受光部4に受光される。以上が、光路変更部3の詳細である。本発明の発明者らは、本実施形態で使用する帯状のレーザー光を、管の内面の領域Aに導いて照射させ、且つ領域Aからの反射光を管の外に導いて受光部4に受光されるよう、鋭意工夫を重ねた末に、上述の構成を具備する光路変更部3を実現するに至った。
The
演算部6は、受光部4の出力信号と、発光部2の位置情報とに基づいて、管の内径を特定する。なお、発光部2の位置情報は、アーム部5の位置情報によって代替できる。発光部2から発せられた帯状のレーザー光の第1光路(i)だけを取りあげて説明すれば、第1光路の発光部から受光部までの光路長と、発光部2の位置情報とから、第1光路のレーザー光が照射された位置(領域A内の一箇所)の管の内径(半径)を特定することができる。また、発光部2から発せられた帯状のレーザー光の第2光路(ii)だけを取りあげて説明すれば、第2光路の発光部から受光部までの光路長と、発光部2の位置情報とから、第2光路のレーザー光が照射された位置(領域A内の一箇所)の管の内径(半径)を特定することができる。演算部6は、帯状のレーザーの幅の全域において、同様に処理することで、領域Aの全域について、管100の内径(半径)を一度に特定することができる。
The
本実施形態では、光路変更部3(反射板31)を用いることにより、空間的に制限されている管100の内部に、管外において発した帯状のレーザー光を入れる機構を実現することができ、且つ、その帯状のレーザー光を、管軸に沿って広がった領域Aに照射することができる。また、光路変更部3(反射板31)を用いることにより、領域Aから反射した反射光を、管外に向けて光路変更することができる。これにより、帯状のレーザー光を照射して、その照射領域からの反射光に基づいて照射領域の面の形状などを特定する機器を用いて、管の内面の検査を行うことが可能となる。
In this embodiment, by using the optical path changing unit 3 (reflector plate 31), it is possible to realize a mechanism for introducing a band-shaped laser beam emitted outside the tube into the spatially restricted interior of the
また、このように領域Aの内径を一度に特定することができることにより、帯状に構成されていない、いわゆる一本のレーザー光を用い、その照射位置を管軸に沿って変えながら測定を繰り返す態様に比べ、内径の測定スピードが飛躍的に向上する。これは、管を製造する製造ライン等において管の内径を迅速に計測する必要がある場面において優位である。 In addition, by being able to specify the inner diameter of area A at once in this way, it is possible to repeat measurements while changing the irradiation position along the tube axis using a so-called single laser beam that is not configured in a band shape. The inner diameter measurement speed is dramatically improved compared to the conventional method. This is advantageous in situations where it is necessary to quickly measure the inner diameter of a tube, such as on a production line for manufacturing tubes.
なお、空間的に制限された管内に配置するため、反射板31は、管奥に向かって先細った直角台形の反射面32を有している。なお、この形状に限定されず、正方形または長方形の反射面を有していても良い。
In order to be disposed in a spatially restricted pipe, the reflecting
ここで、領域Aは、管軸方向に沿って広がった領域であり、管の内周に沿って広がった領域ではないことから、内周面に沿った複数箇所を計測することができるよう、発光部2と、光路変更部3と、受光部4とは、管100の管軸100Cと平行な軸を回転中心として一体的に回転可能である。これは、アーム部5がロボットアーム500の駆動を受けて、管100の管軸100Cと平行な軸(管軸100Cと同一であってもよい)を回転中心として一体的に回転することにより実現される。
Here, since area A is an area that extends along the tube axis direction and is not an area that extends along the inner circumference of the tube, so that it is possible to measure multiple locations along the inner circumferential surface, The
(内径測定以外の用途)
本実施形態の管内面検査装置1は、領域Aの全域に及んで内径を測定することができるため、領域Aの内面110の形状を測定することも可能である。すなわち、管100の受口部101に設けられた凹凸形状の溝の幅および溝の深さを測定することができる。この測定によれは、管100の製造ラインにおいて、凹凸形状が適切なサイズで形成されているか否かの検査が可能である。
(Applications other than inner diameter measurement)
Since the tube inner
(管内面検査方法)
本実施形態に係る管内面検査方法は、管の内面を検査する管内面検査方法であって、発光部2から発せられる、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光20aの光路を、管100の内面110に向かって変更する第1工程と、前記第1工程によって光路が変更したレーザー光20bを管100の内面110において管軸に沿って広がった領域Aに照射して反射した反射光20cを、受光部4によって受光して、当該領域Aの内面形状を測定する第2工程と、を含む。この方法によれば、管100の管軸方向に沿って比較的広い範囲にレーザー光を照射することで、管100の内面110を広範囲に検査することができる。すなわち、管軸方向に沿った広範囲において管の内径測定が可能であることから、管の内面形状を迅速に検査することができる。
(Pipe inner surface inspection method)
The tube inner surface inspection method according to the present embodiment is a tube inner surface inspection method for inspecting the inner surface of a tube, in which a band-shaped
第1工程の前工程として、図1に示した管100と、発光部2および受光部4との位置決めを行う。一例としては、管端に接触することで管の位置を決める位置決め機を、管支持装置に具備させる。この例では、管を管支持装置によって暫定的に支持させた後に、位置決め機に管端が接触するよう管の位置を移動させる。管の移動は、管支持装置に具備される移動機構を用いる。このようにして管の位置を決めることで、管100と、発光部2および受光部4との位置関係が一定となり、ロボットアーム500によってアーム部5を正確な位置に配置することができる。これにより、演算部6による管100の内径の計測も正確に行うことができる。
As a pre-step to the first step, the
以下では、管100の内周面に沿って異なる複数の箇所に帯状のレーザー光20bを照射して、各箇所において内面形状を測定する場合の管内面検査方法の一例を、図4および図5を用いて説明する。
Below, an example of a tube inner surface inspection method in which a plurality of different locations along the inner circumferential surface of the
図4は、管内面検査方法の一例を示すフロー図である。図5は、図5中の左側が管軸100Cを紙面左右方向に配置したときの管100の内部の様子を模式的に示した図であり、図5中の右側が、発光部2および受光部4越しに管外から管端部分を見たときの平面図である。
FIG. 4 is a flow diagram showing an example of a tube inner surface inspection method. 5 is a diagram schematically showing the inside of the
図4の例では、管100の内部における所定の第1位置に光路変更部3を配置する第1配置工程S1と、所定の第1位置に配置された光路変更部3を、管100の管軸100Cに平行な軸を中心に回転させる第1回転工程S2と、第1回転工程S2の後に、光路変更部3を管軸100Cに沿って所定の第2位置まで移動させる第2配置工程S3と、所定の第2位置に配置された光路変更部3を、管軸100に平行な軸を中心に第1回転工程S2における回転方向とは反対方向に回転させる第2回転工程S4と、を含む。第1回転工程S2および第2回転工程S4の各工程では、先述の第1工程と第2工程とをこの順で所定回数繰り返す。
In the example of FIG. 4, a first arrangement step S1 of arranging the optical
第1配置工程S1に先立って、先述した管100と、発光部2および受光部4並びに光路変更部3(ロボットアーム500(図1および図2))との位置決めを行う。これにより、ロボットアーム500を所定のプログラムに従って移動させることにより、所定の位置に光路変更部3を配置することができる。
Prior to the first arrangement step S1, the
第1配置工程S1では、管100内の所定の第1位置に光路変更部3を配置する。これを例えば図5を用いて説明する。図5の左には、管100内の第1位置100Aに光路変更部3を配置している様子を示している。発光部2および受光部4と、光路変更部3とは所定の長さ(例えば100mm)で離間しており、光路変更部3の反射面32の中心位置から基準位置までの距離を所定の距離(例えば100mm)とする。なお、基準位置は、設計寸法を示し、+側または-側に変更可能である。
In the first arrangement step S1, the optical
第1回転工程S2では、第1配置工程S1によって第1位置100Aに配置された光路変更部3を、管100の管軸100Cを中心に回転させる。これは、アーム部5を、管軸100Cを中心に回転させることによって実現できる。図5の右側には、光路変更部3の位置を、図5の左側に示した光路変更部3の配置を0°として、管軸100Cを中心に管100の内周に沿って0°~360°の範囲で特定している。なお、光路変更部3は、管100の管軸100Cを中心に回転してもよいが、管100の管軸100Cに平行な軸であれば、管100の管軸100Cと同一軸でなくてもよい。アーム部5と管100との位置関係を正確に特定しておくことで、光路変更部3の回転中心は管100の管軸100Cからずれていても、内径を正確に計測することができる。また、例えば管の呼び径が大きい場合などには、管の径方向に受光部2の位置を調整する必要がある。その場合に対応するべく、受光部2(アーム部5)の位置を管の径方向に調整する機構をすることも可能である。一例としては、ロボットアームによって、受光部2(アーム部5)の位置を管の径方向に調整する態様が有り得る。
In the first rotation step S2, the optical
第1回転工程S2では、光路変更部3の回転を0°の位置から開始し、90°、180°、および270°の順で図5の右側に示すように反時計回りに光路変更部3を回転させる。
In the first rotation step S2, the optical
また、第1回転工程S2では、光路変更部3を間欠的に回転させる。一例では、図5の右側に示すように、0°の位置、90°の位置、180°の位置、および270°の位置の各位置において、アーム部5の回転を一時停止する。換言すれば、ロボットアームは90°の回転角度毎に回転を一時停止する。そして、一時停止している間に、光路変更部3を用いて先述の第1工程および第2工程を行う。
Moreover, in the first rotation step S2, the optical
0°の位置を例に挙げて説明すれば、第1工程において0°の位置にある発光部2から発せられる、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光20aの光路を、0°の位置にある光路変更部3によって管100の内面110の0°の位置に向かって変更する。そして、第2工程において、レーザー光を管100の内面110の0°の位置において管軸に沿って広がった領域Aに照射して反射して、光路変更部3によって光路変更した反射光20dを、受光部4によって受光して、当該領域Aの内面形状を測定する。
Taking the 0° position as an example, the optical path of the band-shaped
これら第1工程と第2工程を、90°の位置、180°の位置、および270°の位置の各位置においても行う。第1回転工程S2では、270°の位置まで回転すると回転を終了(停止)してよい。 These first and second steps are also performed at the 90° position, the 180° position, and the 270° position. In the first rotation step S2, the rotation may be terminated (stopped) when the rotation reaches the 270° position.
以上の第1回転工程S2までの工程によって、管100の内径は、次のように求めることができる;
「0°の位置」から「180°の位置」の間の管の内径 =
R+0°の位置の受光部の受光結果+180°の位置の受光部の受光結果
また、
「90°の位置」から「270°の位置」の間の管の内径 =
R+90°の位置での受光部の受光結果+270°の位置での受光部の受光結果
なお、式中のRは、図5の右側に示すアーム部5の回転直径Rである。
Through the above steps up to the first rotation step S2, the inner diameter of the
Inner diameter of the tube between “0° position” and “180° position” =
Light reception result of the light receiving section at the position of R+0° + Light receiving result of the light receiving section at the position of 180°
Inner diameter of tube between “90° position” and “270° position” =
Result of light reception by the light receiver at the position R+90° Result of light reception by the light receiver at the position +270° Note that R in the formula is the rotational diameter R of the
なお、光路変更部3の回転を一時停止する位置は、例示したものに限らない。また、一時停止する回数も2回以上、好ましくは図5の右側に例示するように4回以上で適宜設定可能である。図5の右側に例示するように、管軸100Cを中心として対称(180°)である2つの位置(例えば0°の位置と180°の位置)を1つの組として複数の組を回転方向に沿って設定すればよい。アーム部5の回転角度を60°毎に一時停止するように制御した場合には、0°の位置、60°の位置、120°の位置、180°の位置、240°の位置、300°の位置で回転を一時停止して、各位置において先述の第1工程と第2工程を行っても良い。
Note that the position at which the rotation of the optical
図4の例では、更に、第1回転工程S2の後に、光路変更部3を管軸100Cに沿って所定の第2位置まで管奥に向かって移動させる第2配置工程S3を行う。図6は、管100内の所定の第2位置100Bに光路変更部3を配置した状態の図である。なお、第1位置100A(図5)から第2位置100Bへの移動は、アーム部5を管軸100Cと平行な方向に移動させることによって実現できる。先述した第1回転工程S2は、図5の右側に示す270°の位置において回転を終了している。そのため、270°の位置に光路変更部3がある状態において、第2配置工程S3を行う。第2配置工程S3が完了すると、第2回転工程S4を行う。
In the example of FIG. 4, further, after the first rotation step S2, a second placement step S3 is performed in which the optical
第2回転工程S4では、図6の左側に示す第2位置100Bに配置された光路変更部3を、管100の管軸100Cを中心に回転させる。回転機構については、第1回転工程S2と同一であるが、回転方向を第1回転工程S2の回転方向とは反対方向にする点において相違する。すなわち、第2回転工程S4では、光路変更部3の回転を270°の位置から開始し、180°の位置、90°の位置、および0°の位置の順で時計回りに光路変更部3を図6の右側に示す矢印方向に回転させ、第1回転工程S2と同様に各位置において回転を一次停止する。そして、一時停止している間に、光路変更部3を用いて先述の第1工程および第2工程を行う。これについては、第1回転工程S2において説明しているため、説明を省略する。
In the second rotation step S4, the optical
以上の第2回転工程S4において、最後の0°の位置において受光部から受光結果が得られると、ロボットアームが、アーム部5を介して、光路変更部3を管外に移動させる。このとき、0°の位置に光路変更部3がある状態において管軸100Cに沿って管外方向に引き出された光路変更部3は、再び所定の位置に配置された新たな管の管端から、管軸に沿って管内に挿入されることで、無駄な動きをせずに、第1配置工程S1を開始することができる。これは、管の製造ラインの途中で管の内面を検査する場合において、効率的にアーム部を移動させることができ、検査効率の向上に寄与する。
In the above second rotation step S4, when the light receiving result is obtained from the light receiving section at the final 0° position, the robot arm moves the optical
上述のように管軸に沿った複数の箇所(第1位置および第2位置)で、管の内径を測定することにより、管軸方向に沿った広い範囲で連続して内径を取得でき、内径の値を管軸方向に沿って繋ぎ合わせることにより、管の内面の形状を測定することができる。図7は、このようにして内径の値を管軸方向に沿って繋ぎ合わせることにより得られる管の内面の形状のプロファイルである。図7は、先述した鋳鉄管の受口部の内面を検査対象としたものであり、内面に設けられている凹凸形状がプロファイル上で良好に示されている。このプロファイルデータを用いることによって、凹凸形状を構成する環状溝の深さおよび幅を計測することが可能である。このため、受口部の内面が設計通りに形成されているかを検査することも可能である。 By measuring the inner diameter of the tube at multiple locations along the tube axis (first position and second position) as described above, the inner diameter can be continuously obtained over a wide range along the tube axis, and the inner diameter By connecting the values along the tube axis direction, the shape of the inner surface of the tube can be measured. FIG. 7 shows a profile of the shape of the inner surface of the tube obtained by connecting the inner diameter values along the tube axis direction in this manner. In FIG. 7, the inner surface of the socket of the cast iron pipe described above was inspected, and the uneven shape provided on the inner surface is clearly shown on the profile. By using this profile data, it is possible to measure the depth and width of the annular groove forming the uneven shape. Therefore, it is also possible to inspect whether the inner surface of the socket part is formed as designed.
なお、本発明の一態様は、管の内面を検査する管内面検査装置であって、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光を発する発光部と、前記発光部が発した前記レーザー光の光路を前記管の内面に向かって変更し、前記レーザー光を前記管の内面において管軸に沿って広がった領域に照射する光路変更部と、前記内面の前記領域から反射した前記レーザー光の反射光を受光する受光部と、を備える管内面検査装置を含む。 Note that one aspect of the present invention is a tube inner surface inspection device for inspecting the inner surface of a tube, which includes: a light emitting section that emits a band-shaped laser beam that gradually becomes wider along the direction in which the laser beam travels; and the light emitting section emitting light. an optical path changing unit that changes the optical path of the laser beam toward the inner surface of the tube and irradiates the laser beam to a region spread along the tube axis on the inner surface of the tube; A tube inner surface inspection device includes a light receiving section that receives reflected light of the laser beam.
前記の構成によれば、管の管軸方向に沿って比較的広い範囲にレーザー光を照射することで、管の内面を広範囲に検査することができる。例えば、管軸方向に沿った広範囲において管の内径測定が可能であることから、管の内面形状を迅速に検査することができる。 According to the above configuration, the inner surface of the tube can be inspected over a wide range by irradiating the laser beam over a relatively wide range along the axial direction of the tube. For example, since the inner diameter of the tube can be measured over a wide range along the tube axis, the inner shape of the tube can be quickly inspected.
本発明の一態様に係る管内面検査装置は、前記の構成において、前記管の内部に挿入可能な先端部を含むアーム部を更に備え、前記光路変更部は、前記先端部に固定された反射板を含み、前記反射板は、前記発光部が発した前記レーザー光を反射させることにより前記光路を調整するとともに、前記内面において反射した前記反射光が前記受光部に向くように当該反射光を反射させて当該反射光の光路を調整する構成となっており、前記発光部および前記受光部は、前記アーム部における基部に配設されていてもよい。 In the tube inner surface inspection device according to one aspect of the present invention, in the above configuration, the arm section includes a distal end section that can be inserted into the inside of the tube, and the optical path changing section is a reflective tube fixed to the distal end section. The reflecting plate adjusts the optical path by reflecting the laser light emitted by the light emitting section, and also directs the reflected light so that the reflected light reflected on the inner surface is directed toward the light receiving section. The light emitting section and the light receiving section may be arranged at a base of the arm section.
前記の構成によれば、反射板と発光部との距離、および反射板と受光部との距離がそれぞれ一定であることから、内面の検査工程において、両者の位置決めの制御を行う必要がなく、制御機構を簡素化することができる。 According to the above configuration, since the distance between the reflecting plate and the light emitting part and the distance between the reflecting plate and the light receiving part are each constant, there is no need to control the positioning of both in the inner surface inspection process. The control mechanism can be simplified.
本発明の一態様に係る管内面検査装置は、前記の構成において、前記発光部より発せられ、前記帯状のレーザー光の幅を規定する両端の一方を進行し、前記反射板において反射し前記管の内面に入射する光路を第1光路とし、前記発光部より発せられ、前記帯状のレーザー光の幅を規定する両端の他方を進行し、前記反射板において反射して前記管の内面に入射する光路を第2光路とすると、前記反射板は、前記第1光路を進行するレーザー光および前記第2光路を進行するレーザー光の両方について前記管の内面で反射したレーザー光を受光するとともに反射させ、前記受光部に導くよう、前記発光部および前記受光部に対して反射面が向けられていてもよい。 In the pipe inner surface inspection device according to one aspect of the present invention, in the above configuration, the band-shaped laser light is emitted from the light emitting part, travels along one of both ends defining the width, is reflected on the reflector plate, and is reflected on the tube A first optical path is defined as an optical path that enters the inner surface of the tube, and is emitted from the light emitting part, travels through the other of the two ends that define the width of the band-shaped laser beam, is reflected by the reflector, and enters the inner surface of the tube. When the optical path is a second optical path, the reflecting plate receives and reflects the laser beam reflected on the inner surface of the tube for both the laser beam traveling in the first optical path and the laser beam traveling in the second optical path. , a reflective surface may be oriented toward the light emitting section and the light receiving section so as to guide the light to the light receiving section.
前記の構成によれば、前記反射板の反射面によって、帯状のレーザー光を管の管軸方向に沿って比較的広い範囲に照射することができ、管の内面に広範囲に照射されて反射したレーザー光を受光部に受光させることができる。 According to the above configuration, the reflective surface of the reflector plate allows the band-shaped laser beam to be irradiated over a relatively wide range along the tube axis direction of the tube, and the inner surface of the tube is irradiated over a wide range and reflected. Laser light can be received by the light receiving section.
本発明の一態様に係る管内面検査装置は、前記の構成において、前記発光部の位置と、前記受光部の受光結果とを用いて、前記管の内径を特定する演算部を更に備えてもよい。 In the tube inner surface inspection device according to one aspect of the present invention, in the above configuration, the tube inner surface inspection device may further include a calculation section that specifies the inner diameter of the tube using the position of the light emitting section and the light reception result of the light receiving section. good.
前記の構成によれば、管の内径を評価することができる。 According to the above configuration, the inner diameter of the tube can be evaluated.
本発明の一態様に係る管内面検査装置は、前記の構成において、前記発光部と、前記光路変更部と、前記受光部とは、前記管の管軸と平行な軸を回転中心として一体的に回転可能であってよい。 In the tube inner surface inspection device according to one aspect of the present invention, in the above configuration, the light emitting section, the optical path changing section, and the light receiving section are integrally rotated about an axis parallel to the tube axis of the tube. It may be rotatable.
前記の構成によれば、管の内面全周を測定することができる。 According to the above configuration, the entire inner circumference of the tube can be measured.
また、前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る管内面検査方法は、管の内面を検査する管内面検査方法であって、発光部から発せられる、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光の光路を、管の内面に向かって変更する第1工程と、前記第1工程によって光路が変更した前記レーザー光を前記管の内面において管軸に沿って広がった領域に照射して反射した反射光を、受光部によって受光して、当該領域の内面形状を測定する第2工程と、を含む。 Further, in order to solve the above-mentioned problems, a tube inner surface inspection method according to one aspect of the present invention is a tube inner surface inspection method for inspecting the inner surface of a tube. a first step of changing the optical path of a band-shaped laser beam that gradually becomes wider along the tube axis toward the inner surface of the tube; The method includes a second step of measuring the inner surface shape of the region by receiving the reflected light that has been irradiated onto the expanded region and reflected by the light receiving section.
前記の構成によれば、管の管軸方向に沿って比較的広い範囲にレーザー光を照射することで、管の内面を広範囲に検査することができる。例えば、管軸方向に沿った広範囲において管の内径測定が可能であることから、管の内面形状を迅速に検査することができる。 According to the above configuration, the inner surface of the tube can be inspected over a wide range by irradiating the laser beam over a relatively wide range along the axial direction of the tube. For example, since the inner diameter of the tube can be measured over a wide range along the tube axis, the inner shape of the tube can be quickly inspected.
本発明の一態様に係る管内面検査方法は、前記の構成において、前記第1工程は、前記発光部から発せられる前記帯状のレーザー光の光路を光路変更部によって変更するものであり、前記管内面検査方法は、前記管の内部における所定の第1位置に前記光路変更部を配置する第1配置工程と、前記所定の第1位置に配置された前記光路変更部を、前記管の管軸に平行な軸を中心に回転させる第1回転工程と、前記第1回転工程の後に、前記光路変更部を前記管軸に沿って所定の第2位置まで移動させる第2配置工程と、前記所定の第2位置に配置された前記光路変更部を、前記管軸に平行な軸を中心に前記第1回転工程における回転方向とは反対方向に回転させる第2回転工程と、を含み、前記第1回転工程および前記第2回転工程の各工程において、前記第1工程と前記第2工程とをこの順で所定回数繰り返す構成であってもよい。 In the pipe inner surface inspection method according to one aspect of the present invention, in the above structure, the first step is to change the optical path of the band-shaped laser beam emitted from the light emitting part by an optical path changing part, and the inside of the pipe The surface inspection method includes a first arranging step of arranging the optical path changing section at a predetermined first position inside the tube; a first rotation step of rotating around an axis parallel to the tube; a second positioning step of moving the optical path changing section to a predetermined second position along the tube axis after the first rotation step; a second rotation step of rotating the optical path changing section disposed at a second position of the optical path changing section around an axis parallel to the tube axis in a direction opposite to the rotation direction in the first rotation step; In each of the one rotation step and the second rotation step, the first step and the second step may be repeated a predetermined number of times in this order.
前記の構成によれば、第1回転工程の回転方向と、第2回転工程の回転方向とを反対方向にしているため、受光部等に繋がっている配線が回転によって絡まる事態を回避することができる。 According to the above configuration, since the rotation direction of the first rotation step and the rotation direction of the second rotation step are opposite to each other, it is possible to avoid a situation in which the wiring connected to the light receiving section etc. becomes tangled due to rotation. can.
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。 The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made within the scope of the claims.
1 管内面検査装置
2 発光部
3 光路変更部
4 受光部
5 アーム部
6 演算部
20a、20b、20c、20d 帯状のレーザー光
20c、20d 反射光
31 反射板
32 反射面
51 先端部
52 基部
100、100C 管軸
100A 第1位置
101 受口部(受口)
110 内面
500 ロボットアーム
S1 第1配置工程
S2 第1回転工程
S3 第2配置工程
S4 第2回転工程
(i)第1光路
(ii)第2光路
1 Pipe inner
110
Claims (3)
発光部から発せられる、レーザー光の進行方向に沿って次第に幅広となる帯状のレーザー光の光路を、前記管の内部に設けられた反射板によって、前記管の受口の内面に向かう方向に進むように変更する第1工程と、
前記第1工程によって光路が変更した前記レーザー光を前記管の受口の内面において管軸に沿って広げ、前記凹凸形状に含まれる1つの環状溝の溝幅よりも広い幅を少なくとも有する領域に照射して反射した反射光を、受光部によって受光して、当該領域の内面形状を測定する第2工程と、を含む、ことを特徴とする管内面検査方法。 A tube inner surface inspection method for inspecting the inner surface of a tube in which an uneven shape is formed on the inner surface of a socket,
A band-shaped laser beam emitted from a light emitting part that gradually becomes wider along the direction of travel of the laser beam is guided along an optical path toward the inner surface of the socket of the tube by a reflector provided inside the tube. The first step of changing the
Spreading the laser beam whose optical path has been changed in the first step along the tube axis on the inner surface of the socket of the tube to a region having at least a width wider than the groove width of one annular groove included in the uneven shape. A method for inspecting an inner surface of a tube, comprising: a second step of receiving reflected light that has been irradiated and reflected by a light receiving section, and measuring the inner surface shape of the region.
前記所定の第1位置に配置された前記光路変更部を、前記管の管軸に平行な軸を中心に回転させる第1回転工程と、
前記第1回転工程の後に、前記光路変更部を前記管軸に沿って所定の第2位置まで移動させる第2配置工程と、
前記所定の第2位置に配置された前記光路変更部を、前記管軸に平行な軸を中心に前記第1回転工程における回転方向とは反対方向に回転させる第2回転工程と、
を含み、
前記第1回転工程および前記第2回転工程の各工程において、前記第1工程と前記第2工程とをこの順で所定回数繰り返す、ことを特徴とする請求項1に記載の管内面検査方法。 a first arranging step of arranging an optical path changing section including the reflector at a predetermined first position inside the tube;
a first rotation step of rotating the optical path changing unit disposed at the predetermined first position about an axis parallel to the tube axis of the tube;
a second positioning step of moving the optical path changing unit to a predetermined second position along the tube axis after the first rotation step;
a second rotation step of rotating the optical path changing unit disposed at the predetermined second position about an axis parallel to the tube axis in a direction opposite to the rotation direction in the first rotation step;
including;
2. The tube inner surface inspection method according to claim 1, wherein in each of the first rotation step and the second rotation step, the first step and the second step are repeated in this order a predetermined number of times.
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
DE102023105395B4 (en) | 2022-03-15 | 2024-04-25 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | CENTRIFUGAL COMPRESSOR |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4391526A (en) | 1981-08-24 | 1983-07-05 | Itek Corporation | Interferometric surface contour measuring arrangement |
JP2004264054A (en) | 2003-02-12 | 2004-09-24 | Hitachi Ltd | Flaw inspection device and method for using it |
JP2008304407A (en) | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Techno System Kk | Inner diameter measuring device |
JP2011196899A (en) | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Kurimoto Ltd | Inner diameter measuring device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5658917B2 (en) * | 2010-06-16 | 2015-01-28 | ユキ技研株式会社 | Imaging device |
JP2013024754A (en) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Daido Steel Co Ltd | Object diameter measurement method |
-
2021
- 2021-11-30 JP JP2021194593A patent/JP7256858B1/en active Active
-
2023
- 2023-03-31 JP JP2023059176A patent/JP7407994B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4391526A (en) | 1981-08-24 | 1983-07-05 | Itek Corporation | Interferometric surface contour measuring arrangement |
JP2004264054A (en) | 2003-02-12 | 2004-09-24 | Hitachi Ltd | Flaw inspection device and method for using it |
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