JP7407846B2 - 集束イオンビーム装置及びイオンビームの視野ズレ補正方法 - Google Patents
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Description
)を求め、求めた位置ズレ量(ΔX,ΔY)の符号を反転した値(-ΔX,-ΔY)を視野ズレの補正値とする。この補正値(-ΔX,-ΔY)を偏向器22に供給することでイオンビームの視野ズレを補正する。なお、中心位置CPとスポット痕SMとの距離(Δx,Δy)は、スポット痕SMを画像認識してその位置を特定することで求めてもよいし、基準スポット痕RSを含む二次電子像(図3)とスポット痕SMを含む二次電子像SIとのパターンマッチングにより求めてもよい。ここで、図5、図6に示すように、二次電子像SIには、直前の(現在の電流値での)焦点調整時に形成されたスポット痕SMの他に、過去の(現在の電流値とは異なる電流値での)焦点調整時に形成されたスポット痕の像が含まれている場合がある。図5に示す例では、過去の焦点調整時に形成されたスポット痕SM'の大きさがスポット痕SMに比べて十分に小さい。そのため、画像認識やパターンマッチングにおいてスポット痕SM'は無視され問題なく距離(Δx,Δy)を求めることができる。また、図6に示す例では、過去の焦点調整時に形成されたスポット痕SM''の大きさはスポット痕SMと同等であるが、スポット痕SM''の輝度がスポット痕SMに比べて低い。そのため、画像認識やパターンマッチングにおいて輝度の高いスポット痕SMが認識され問題なく距離(Δx,Δy)を求めることができる。
Claims (4)
- 試料に集束イオンビームを照射して加工する集束イオンビーム装置であって、
イオンビームを発生するイオン源と、
イオンビームを試料に集束させるレンズ系と、
試料から発生する二次電子を検出する検出器と、
前記レンズ系を制御する制御部とを含み、
前記制御部は、
試料上にイオンビームを走査せずに照射させ、前記イオンビームの照射中に対物レンズの強度を変化させて前記イオンビームの焦点を変化させる制御を行い、前記対物レンズの強度を変化させている間に前記試料から発生する二次電子の信号強度を測定し、測定された二次電子の信号強度が最小となるときの前記対物レンズの強度に基づいて前記イオンビームの焦点調整を行い、前記イオンビームの焦点調整を行ったときに試料上に形成されるスポット痕の像を含む二次電子像を取得し、前記二次電子像における基準位置と前記スポット痕の位置との差に基づいて前記イオンビームの視野ズレを補正することを特徴とする集束イオンビーム装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、
所与の電流値のイオンビームの焦点調整を行った後、試料上に当該イオンビームよりも小電流の基準ビームを走査することで、当該イオンビームの焦点調整を行ったときに形成される前記スポット痕の像を含む前記二次電子像を取得することを特徴とする集束イオンビーム装置。 - 請求項2において、
前記制御部は、
所与の電流値のイオンビームの焦点調整を行った後、前記基準ビームを当該イオンビームの電流値に応じた倍率で走査することで、当該イオンビームの焦点調整を行ったときに形成される前記スポット痕の像を含む前記二次電子像を取得することを特徴とする集束イオンビーム装置。 - 集束イオンビーム装置におけるイオンビームの視野ズレ補正方法であって、
試料上にイオンビームを走査せずに照射させ、前記イオンビームの照射中に対物レンズの強度を変化させて前記イオンビームの焦点を変化させ、前記対物レンズの強度を変化させている間に前記試料から発生する二次電子の信号強度を測定し、測定された二次電子の信号強度が最小となるときの前記対物レンズの強度に基づいて前記イオンビームの焦点調整を行うステップと、
前記イオンビームの焦点調整を行ったときに試料上に形成されるスポット痕の像を含む二次電子像を取得し、前記二次電子像における基準位置と前記スポット痕の位置との差に基づいて前記イオンビームの視野ズレを補正するステップとを含むことを特徴とするイオンビームの視野ズレ補正方法。
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