JP7402713B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
また、蓋体が取り付けられた容器本体内を概ね気密状態とし、内部に収納した基板を空気中の微小なパーティクルによる汚染から保護するために、容器本体の開口周縁部と蓋体の周縁部との間をシールするパッキン等のシール部材が設けられている。
これに対して例えば特許文献1には、容器本体に取り付けた蓋体を保持するための施錠機構を備える場合に、この施錠機構の解錠操作に連動してシール部材を部分的に変形させ、隙間を形成することによって気圧差を解消する構造が開示されている。
(2)上記(1)の態様において、前記操作部は、前記蓋体の周縁部に回動可能に設けられ、前記ロック機構は、前記操作部に設けられた係合爪と、この係合爪を係止可能に前記容器本体の側壁部に設けられた係止部と、を有し、前記係止部が、前記側壁部において前記貫通穴を挟んで一対、設けられ、前記操作部が、前記一対の係止部に対応する一対の係合爪と、この一対の係合爪同士を連繋する梁部と、を有し、前記開閉手段は、前記梁部から前記貫通穴に向かって突出する凸栓部を有し、前記操作部は、前記凸栓部が前記貫通穴を閉塞するロック位置と、前記貫通穴を開放するロック解除位置との間を回動するように構成されてもよい。
(3)上記(2)の態様において、前記開閉手段は、前記操作部がロック位置からロック解除位置に向かって操作されるとき、ロック解除位置よりも手前で、前記梁部の撓みによって前記凸栓部が前記貫通穴から離れるように構成されてもよい。
(4)上記(3)の態様において、前記容器本体の開口の周縁部には、開口面積が広がるようにリム部が屈曲形成され、前記ロック解除位置にある操作部の係合爪および凸栓部がいずれも、前記容器本体の開口方向に見て前記リム部よりも外方に位置してもよい。
(5)上記(2)~(4)のいずれかの態様において、前記貫通穴の断面が円形状であり、前記凸栓部が、前記貫通穴の断面よりも大きな半径の球面を有してもよい。
(6)上記(2)~(5)のいずれかの態様において、前記容器本体には、収納された基板と前記貫通穴との間に位置するように部品が配設されてもよい。
(7)上記(2)~(5)のいずれかの態様において、前記容器本体には、収納された基板と前記貫通穴との間に位置するように壁部が設けられてもよい。
(8)上記(2)~(7)のいずれかの態様において、前記操作部には、その回動の軸線に近づくように前記梁部から延出する延出部が設けられ、この延出部に前記凸栓部が設けられてもよい。
(9)上記(2)~(7)のいずれかの態様において、前記操作部には、その回動の軸線から遠ざかるように前記梁部から延出する延出部が設けられ、この延出部に前記凸栓部が設けられてもよい。
(10)上記(1)の態様において、前記操作部は、前記蓋体の周縁部に回動可能に設けられ、前記ロック機構は、前記操作部に設けられた係合爪と、この係合爪を係止可能に前記容器本体の側壁部に設けられた係止部と、を有し、前記係止部が、前記側壁部において前記貫通穴を挟んで一対、設けられ、前記操作部が、前記一対の係止部に対応する一対の係合爪と、この一対の係合爪同士を連繋する梁部と、を有し、前記開閉手段は、前記貫通穴に開閉可能に配設されたバルブを有し、前記操作部は、前記バルブを押圧して閉状態とするロック位置と、バルブから離れる方向に回動して開状態に切り替えるロック解除位置との間で回動するように構成されてもよい。
基板収納容器1は、図示しない基板をカセット30(図2参照)を介して収納する容器本体10と、この容器本体10の上部に取り付けられる蓋体20と、を備えている。そして、蓋体20を取り外して図2に示すように、一例として容器本体10は上方に開口する四角形の箱状体であり、四隅にそれぞれ柱状部11が形成されて剛性を高めている。
10 容器本体、12 開口、13 リム部、14 側壁部、15 貫通穴
20 蓋体
30 カセット、31 側壁部(部品)
40 パッキン(シール部材)
50 ロック機構、51 操作部、52 係合爪、53 係止部、55 梁部、
56 凸栓部(開閉手段)、57 バルブ(開閉手段)
Claims (8)
- 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体との間をシールするシール部材と、
前記容器本体に取り付けた前記蓋体を保持するためのロック機構と、を備える基板収納容器において、
前記容器本体の側壁部に設けられた貫通穴と、
前記ロック機構の操作部に設けられ、前記ロック機構のロック操作に伴い前記貫通穴を閉塞する一方、ロック解除操作に伴い前記貫通穴を開放する開閉手段と、を備え、
前記操作部は、前記蓋体の周縁部に回動可能に設けられ、
前記ロック機構は、前記操作部に設けられた係合爪と、この係合爪を係止可能に前記容器本体の側壁部に設けられた係止部と、を有し、
前記係止部が、前記側壁部において前記貫通穴を挟んで一対、設けられ、
前記操作部が、前記一対の係止部に対応する一対の係合爪と、この一対の係合爪同士を連繋する梁部と、を有し、
前記開閉手段は、前記梁部から前記貫通穴に向かって突出する凸栓部を有し、
前記操作部は、前記凸栓部が前記貫通穴を閉塞するロック位置と、前記貫通穴を開放するロック解除位置との間を回動するように構成されている、
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記開閉手段は、前記操作部がロック位置からロック解除位置に向かって操作されるとき、ロック解除位置よりも手前で、前記梁部の撓みによって前記凸栓部が前記貫通穴から離れるように構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記容器本体の開口の周縁部には、開口面積が広がるようにリム部が屈曲形成され、
前記ロック解除位置にある操作部の係合爪および凸栓部がいずれも、前記容器本体の開口方向に見て前記リム部よりも外方に位置している、
ことを特徴とする請求項2に記載の基板収納容器。 - 前記貫通穴の断面が円形状であり、
前記凸栓部が、前記貫通穴の断面よりも大きな半径の球面を有する、
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記容器本体には、収納された基板と前記貫通穴との間に位置するように部品が配設されている、ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
- 前記容器本体には、収納された基板と前記貫通穴との間に位置するように壁部が設けられている、ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
- 前記操作部には、その回動の軸線に近づくように前記梁部から延出する延出部が設けられ、この延出部に前記凸栓部が設けられている、
ことを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記操作部には、その回動の軸線から遠ざかるように前記梁部から延出する延出部が設けられ、この延出部に前記凸栓部が設けられている、
ことを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
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