JP7398557B2 - レーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定装置及び粒子測定方法 - Google Patents
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Description
ここで、Iscatは、散乱光の強度、Rは、散乱光の発生地点から検出器までの距離、
は、粒子サイズに対する関数である。
ni[Pk]=0、(i<k)、
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)である。
ni[Pk]=0、(i<k)、
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)である。
500~700nmサイズの粒子の個数:750個
700nm以上である粒子の個数:2,250個である。
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)である。
n2[P1]=(100/80)× 1,000=1,250であり、
n1[P1]=2,000-1,250=750(n1[P1]+n2[P1]=2,000であるので)であり、
n2[P2]=1,000(n1[P2]+n2[P2]=1,000であるので)である。
ni=ni[P1]+ni[P2]+…+ni[Pk]、
ni[Pk]=0、(i<k)、
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)
等の関係を用いて、それぞれのサイズ範囲の粒子の個数を測定することができる。
40 粒子測定空間
100 粒子測定装置
110 光照射部
120 測定部
Claims (13)
- 複数個の互いに異なる粒子サイズ(R1、R2、...、Rm)にそれぞれ対応して、当該サイズ以上の粒子のみを測定可能な最小パワーのレーザーを、粒子測定空間に一定の時間の間照射する光照射部と、
前記光照射部から照射されたレーザーが、前記粒子測定空間の粒子から散乱された光を検出して、粒子のサイズ別の個数を測定する測定部と、を含み、
前記光照射部が前記異なる粒子サイズにそれぞれ対応して照射するレーザーのパワーは異なり、
前記光照射部は、前記異なる粒子サイズにそれぞれ対応するレーザーをパワーの順番に照射し、
前記測定部は、各パワーのレーザー照射により測定された粒子の個数を用いて、粒子サイズの特定区間に属する粒子の個数を算出する、レーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定装置。 - 前記光照射部は、前記互いに異なる粒子サイズにそれぞれ対応する最小パワーのレーザーを連続して照射し続けることを特徴とする、請求項1に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定装置。
- 前記光照射部は、前記互いに異なる粒子サイズにそれぞれ対応するレーザーを、パワーが小さいものから順次に照射することを特徴とする、請求項2に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定装置。
- 前記特定区間に属する粒子の個数は、測定される粒子の個数と照射されるレーザーパワーの比例関係を用いて、アルゴリズムにより算出されることを特徴とする、請求項1に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定装置。
- 前記測定部は、
niが、算出しようとするサイズ範囲Ai(Ri≦Ai<R(i+1))の粒子の個数、Pkが、サイズRkの粒子を測定可能な最小のレーザーパワー、ni[Pk]が、Pkのパワーを有するレーザーを照射したときに測定されるサイズ範囲Aiの粒子の個数、N[Pk]が、Pkのパワーを有するレーザーを照射したときに測定された粒子の総個数であるとするとき、
ni=ni[P1]+ni[P2]+...+ni[Pk]の式により、それぞれのサイズ範囲の粒子の個数を測定するが、
ここで、
ni[Pk]=0、(i<k)、
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)であることを特徴とする、請求項1に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定装置。 - 複数個の互いに異なる粒子サイズ(R1、R2、 ...、Rm)にそれぞれ対応して、光照射部が、当該サイズ以上の粒子のみを測定可能な最小パワーのレーザーを、粒子測定空間に一定の時間の間照射する第1ステップと、測定部が前記粒子測定空間の粒子から散乱された光を検出して、粒子の個数を測定する第2ステップと、を行い、
前記第1ステップにおいて、前記光照射部が前記異なる粒子サイズにそれぞれ対応して照射するレーザーのパワーは異なり、
前記第2ステップにおいて、前記測定部は、各パワーのレーザー照射に対応してそれぞれの粒子サイズの粒子の個数を測定し、
前記測定部が前記第1ステップ及び第2ステップを通じて測定された粒子の個数を用いて、粒子サイズの特定区間に属する粒子の個数を算出する、レーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。 - 前記第1ステップ及び第2ステップは、前記互いに異なる粒子サイズにそれぞれ対応するパワーのレーザーに対して連続して行われ続けることを特徴とする、請求項6に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。
- 前記第1ステップにおけるレーザー照射は、パワーが小さいものから行われることを特徴とする、請求項7に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。
- 前記特定区間に属する粒子の個数は、測定される粒子の個数と照射されるレーザーパワーの比例関係を用いて、アルゴリズムにより算出されることを特徴とする、請求項6に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。
- 前記測定部は、
niが、算出しようとするサイズ範囲Ai(Ri≦Ai<R(i+1))の粒子の個数、Pkが、サイズRkの粒子を測定可能な最小のレーザーパワー、ni[Pk]が、Pkのパワーを有するレーザーを照射したときに測定されるサイズ範囲Aiの粒子の個数、N[Pk]が、Pkのパワーを有するレーザーを照射したときに測定された粒子の総個数であるとするとき、
ni=ni[P1]+ni[P2]+...+ni[Pk]の式により、それぞれのサイズ範囲の粒子の個数を測定するが、
ここで、
ni[Pk]=0、(i<k)、
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)であることを特徴とする、請求項6に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。 - 複数個の互いに異なる粒子サイズ(R1、R2、 ...、Rm)にそれぞれ対応して測定された粒子個数実測値を入力される入力ステップ-前記粒子個数実測値は、前記それぞれのサイズに対応して、それ以上の粒子のみを測定可能な最小パワーのレーザーを、粒子測定空間に一定の時間の間照射し、前記粒子測定空間の粒子から散乱された光を検出して測定した粒子の個数であるステップと、
前記入力された粒子個数実測値を用いて、粒子サイズの特定区間に属する粒子の個数を算出する算出ステップと、を含み、
前記異なる粒子サイズにそれぞれ対応して照射するレーザーのパワーは異なり、
前記粒子個数実測値は、各パワーのレーザー照射に対応してそれぞれ測定された粒子の個数であり、
前記算出ステップは、
niが、算出しようとするサイズ範囲Ai(Ri≦Ai<R(i+1))の粒子の個数、Pkが、サイズRkの粒子を測定可能な最小のレーザーパワー、ni[Pk]が、Pkのパワーを有するレーザーを照射したときに測定されるサイズ範囲Aiの粒子の個数、N[Pk]が、Pkのパワーを有するレーザーを照射したときに測定された粒子の総個数であるとするとき、
ni=ni[P1]+ni[P2]+...+ni[Pk]の式により、それぞれのサイズ範囲の粒子の個数を測定するが、
ni[Pk]=0、(i<k)、
ni[Pk]=ni[Pk]、(i=k)、
ni[Pk]=(Pi/Pk)× ni[Pi]、(i>k)であることを特徴とする、レーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。 - 前記入力ステップ及び算出ステップは、前記請求項1に記載の測定部、または測定部と連動するコンピュータ装置で実行されることを特徴とする、請求項11に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法。
- 請求項11または請求項12に記載のレーザーパワースキャニングを用いた高精度光学式の粒子測定方法を、コンピュータで実行するためのプログラムが記録された、コンピュータで読み取り可能な記録媒体。
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