JP7396876B2 - 内面画像検査装置及び内面画像検査システム - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 61
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 67
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 16
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 13
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/954—Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
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- G02B23/24—Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
- G02B23/2407—Optical details
- G02B23/2461—Illumination
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- G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
- G02B23/24—Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
- G02B23/2476—Non-optical details, e.g. housings, mountings, supports
- G02B23/2484—Arrangements in relation to a camera or imaging device
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- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
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Description
Claims (10)
- 検査対象の孔の内面を検査する内面画像検査装置において、
撮像部と、
前記撮像部の前方に取り付けられ、光学系を収容する鏡筒と、
前記鏡筒に対して着脱可能な光源ユニットと、
前記光源ユニットからの照明光を前記光学系の光軸と平行な方向に反射するビームスプリッタと、
前記鏡筒の先端に取り付けられ、前記検査対象の孔に挿入される筒形状の挿入部と、
前記挿入部の内部において、前記光学系の光軸に対して反射面が傾斜するよう配置されるミラーと、
前記ミラーを前記光軸と平行に移動する直動機構とを具備し、
前記光学系のレンズ前面から前記検査対象の孔の内面までの距離が前記検査対象の孔の内径に関わらず一定になるように前記ミラーを移動させるために前記直動機構を制御する直動制御部をさらに備える内面画像検査装置。 - 前記距離は前記光学系の作動距離に一致する請求項1記載の内面画像検査装置。
- 前記光学系の光軸から前記検査対象の孔の内面までの距離又はそれを導出可能な距離を計測するための距離センサをさらに備える請求項1記載の内面画像検査装置。
- 前記直動制御部は、前記光学系の光軸から前記検査対象の孔の内面までの距離の変動に追従して前記ミラーを動的に移動させる請求項3記載の内面画像検査装置。
- 前記光源ユニットはテレセントリックレンズを含む請求項1記載の内面画像検査装置。
- 前記光学系はテレセントリックレンズを含む請求項1記載の内面画像検査装置。
- 前記ミラーは直角プリズムミラー又は前記光軸に対して45°傾けて取付けられた平面ミラーである請求項1記載の内面画像検査装置。
- 前記ミラーはコーンミラーである請求項1記載の内面画像検査装置。
- 前記直動制御部は、前記距離センサにより計測された距離の変動に追従して前記ミラーを動的に移動させるために前記直動機構を制御する請求項3記載の内面画像検査装置。
- 検査対象の孔の内面を検査する内面画像検査装置と、前記内面画像検査装置をアームの先端に軸回転自在に取り付けるロボット装置とを備える内面画像検査システムであって、
前記内面画像検査装置は、
撮像部と、
前記撮像部の前方に取り付けられ、光学系を収容する鏡筒と、
前記鏡筒に対して着脱可能な光源ユニットと、
前記光源ユニットからの照明光を前記光学系の光軸と平行な方向に反射するビームスプリッタと、
前記鏡筒の先端に取り付けられ、前記検査対象の孔に挿入される筒形状の挿入部と、
前記挿入部の内部において、前記光学系の光軸に対して反射面が傾斜するよう配置されるミラーと、
前記ミラーを前記光軸と平行に移動する直動機構とを具備し、
前記内面画像検査装置は、前記軸回転にともなう前記光学系の光軸から前記検査対象の孔の内面までの距離の変動に追従して、前記ミラーを動的に移動させるために前記直動機構を制御する制御部をさらに備える、内面画像検査システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019214523A JP7396876B2 (ja) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 内面画像検査装置及び内面画像検査システム |
US17/064,227 US11320645B2 (en) | 2019-11-27 | 2020-10-06 | Inner surface image inspection apparatus |
DE102020128223.0A DE102020128223A1 (de) | 2019-11-27 | 2020-10-27 | Innenflächen-Bildinspektionsvorrichtung |
CN202011230308.7A CN112858166A (zh) | 2019-11-27 | 2020-11-06 | 内表面图像检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019214523A JP7396876B2 (ja) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 内面画像検査装置及び内面画像検査システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021085744A JP2021085744A (ja) | 2021-06-03 |
JP7396876B2 true JP7396876B2 (ja) | 2023-12-12 |
Family
ID=75784339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019214523A Active JP7396876B2 (ja) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 内面画像検査装置及び内面画像検査システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11320645B2 (ja) |
JP (1) | JP7396876B2 (ja) |
CN (1) | CN112858166A (ja) |
DE (1) | DE102020128223A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115508383A (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-23 | 广东利元亨智能装备股份有限公司 | 壳体外观检测方法及装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011185629A (ja) | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Nishimatsu Constr Co Ltd | 検査具および検査方法 |
JP2012220341A (ja) | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Nikon Corp | 形状測定装置、形状測定方法、及びそのプログラム |
JP2016183941A (ja) | 2015-03-27 | 2016-10-20 | 日本電産トーソク株式会社 | 内面検査装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5640270A (en) * | 1996-03-11 | 1997-06-17 | Wyko Corporation | Orthogonal-scanning microscope objective for vertical-scanning and phase-shifting interferometry |
CN101558281B (zh) * | 2006-12-13 | 2012-02-01 | 株式会社尼康 | 测量装置和测量方法 |
-
2019
- 2019-11-27 JP JP2019214523A patent/JP7396876B2/ja active Active
-
2020
- 2020-10-06 US US17/064,227 patent/US11320645B2/en active Active
- 2020-10-27 DE DE102020128223.0A patent/DE102020128223A1/de active Pending
- 2020-11-06 CN CN202011230308.7A patent/CN112858166A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002022089A (ja) | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Toshiba Corp | 管内面の検査補修装置 |
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JP2016183941A (ja) | 2015-03-27 | 2016-10-20 | 日本電産トーソク株式会社 | 内面検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112858166A (zh) | 2021-05-28 |
JP2021085744A (ja) | 2021-06-03 |
DE102020128223A1 (de) | 2021-05-27 |
US20210157121A1 (en) | 2021-05-27 |
US11320645B2 (en) | 2022-05-03 |
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