JP7394271B1 - X線発生装置、x線撮像装置、および、x線発生装置の調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 電子銃および前記電子銃から放射される電子線を受けてX線を発生させるターゲットを含むX線発生管と、
前記電子線を偏向させる偏向器と、
前記電子銃のカソードと前記ターゲットとの間に加速電圧を与える駆動回路と、
前記加速電圧の変化による前記ターゲットへの前記電子線の入射位置の変化を低減するように、前記加速電圧又は前記加速電圧の変化量に応じて前記偏向器による前記電子線の偏向を調整するための調整部と、
を備え、
前記偏向器は、永久磁石を含み、
前記調整部は、前記加速電圧又は前記加速電圧の変化量に応じて前記永久磁石の位置を調整するための調整機構を含み、
前記調整機構による前記永久磁石の位置の調整は、前記電子銃の中心軸に平行な方向における前記永久磁石の位置の調整を含む、
ことを特徴とするX線発生装置。 - 前記永久磁石は、前記X線発生管を介して互いに対向するように配置された第1磁石および第2磁石を含み、
前記調整機構による前記永久磁石の位置の調整によって、前記電子線が前記偏向器によって偏向される量が変更される、
ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記第1磁石および前記第2磁石は、前記第1磁石の第1磁極と前記第2磁石の第2磁極とが前記X線発生管を介して互いに対向するように配置され、前記第1磁極と前記第2磁極とは、互いに反対の磁極であり、
前記調整機構による前記永久磁石の位置の調整によって、前記電子線が前記偏向器によって偏向される量が変更される、
ことを特徴とする請求項2に記載のX線発生装置。 - 前記調整機構は、前記偏向器を駆動するアクチュエータを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記調整機構は、前記偏向器をガイドするガイドを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記調整機構は、前記偏向器を固定する固定機構を含む、
ことを特徴とする請求項4に記載のX線発生装置。 - 前記調整機構は、前記加速電圧の変化による前記ターゲットへの前記電子線の入射位置の変化が低減されるように、前記加速電圧又は前記加速電圧の変化量に応じて前記永久磁石の回転角を調整する機構を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記調整機構による前記永久磁石の回転角の調整は、前記電子銃の中心軸に直交する軸の周りでの前記永久磁石の回転角の調整を含む、
ことを特徴とする請求項7に記載のX線発生装置。 - 前記偏向器は、電磁石を更に含む、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のX線発生装置。 - 前記入射位置は、前記ターゲットにおける前記電子線の径の3倍以下の径の領域内である、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のX線発生装置。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のX線発生装置と、
前記X線発生装置から放射されたX線を検出するX線検出器と、
を備えることを特徴とするX線撮像装置。 - 電子銃および前記電子銃から放射される電子線を受けてX線を発生させるターゲットを含むX線発生管と、前記電子線を偏向させる偏向器と、前記電子銃のカソードと前記ターゲットとの間に加速電圧を与える駆動回路と、を備えるX線発生装置の調整方法であって、
前記加速電圧の変化による前記ターゲットへの前記電子線の入射位置の変化を低減するように、前記加速電圧又は前記加速電圧の変化量に応じて前記偏向器による前記電子線の偏向を調整する工程を含み、
前記偏向器は、永久磁石を含み、
前記工程では、前記加速電圧又は前記加速電圧の変化量に応じて前記永久磁石の位置の調整を行い、
前記調整は、前記電子銃の中心軸に平行な方向における前記永久磁石の位置の調整を含む、
ことを特徴とするX線発生装置の調整方法。
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---|---|---|---|---|
JP2002195961A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Shimadzu Corp | X線撮像装置 |
JP2004265602A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | X線装置 |
US20040208287A1 (en) * | 2003-01-14 | 2004-10-21 | Josef Deuringer | Power source for regulated operation of the deflection coil of an x-ray tube |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4433133C1 (de) * | 1994-09-16 | 1995-12-07 | Siemens Ag | Röntgenstrahler mit einer Elektronenquelle zum Senden eines Bündels von Elektronen entlang einer langgestreckten Anode |
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---|---|---|---|---|
JP2002195961A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Shimadzu Corp | X線撮像装置 |
JP2004265602A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | X線装置 |
US20040208287A1 (en) * | 2003-01-14 | 2004-10-21 | Josef Deuringer | Power source for regulated operation of the deflection coil of an x-ray tube |
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