JP7389350B2 - 90度光ハイブリッド - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 340
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 97
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 54
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 21
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 34
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 34
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 33
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 20
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 14
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000192308 Agrostis hyemalis Species 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29344—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by modal interference or beating, i.e. of transverse modes, e.g. zero-gap directional coupler, MMI
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2808—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using a mixing element which evenly distributes an input signal over a number of outputs
- G02B6/2813—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using a mixing element which evenly distributes an input signal over a number of outputs based on multimode interference effect, i.e. self-imaging
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12035—Materials
- G02B2006/12061—Silicon
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12133—Functions
- G02B2006/1215—Splitter
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12166—Manufacturing methods
- G02B2006/12176—Etching
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- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12166—Manufacturing methods
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Description
(1)90度光ハイブリッド
図1は、90度光ハイブリッド2の特徴を説明する図である。90度光ハイブリッド2は、波長が同じ2つの光4,6が入力されると、2つの光4,6を混合して、互いの位相が90°ずつ異なる4つの干渉光Ip,In,Qp,Qnを出力するように構成された装置である。干渉光Ipと干渉光Inの位相差は180°である。干渉光Qpと干渉光Qnの位相差は180°である。干渉光Ipと干渉光Qpの位相差は90°である。干渉光Inと干渉光Qnの位相差は90°である。干渉光の位相差とは、干渉光の光強度(すなわち、パワー)の位相差のことである。実施の形態1の90度光ハイブリッドもこれらの特性を有する。
図2は、実施の形態1の90度光ハイブリッド8の一例を示す平面図である。
図7は、図3のアーム導波路14の幅W(z)(実線33)および図4のアーム導波路14の幅W(z)(破線35)を一つのグラフに示した図である。
光スプリッタ10の一方には信号光S(図1参照)が入力され、他方には波長が信号光の波長と略同じ参照光LOが入力される。2つの光スプリッタ10はそれぞれ、信号光Sまたは参照光LOを分割し、分割された信号光Sまたは分割された参照光LOをアーム導波路14を介して2つの光コンバイナ12のいずれかに入力する。2つの光コンバイナ12はそれぞれ、分割された信号光Sと分割された参照光LOとを混合し、位相が略90度ずつ異なる4つの干渉光Ip,In,Qp,Qnを出力する。
図8は、図2のVIII-VIII線に沿った90度光ハイブリッド8の断面図の一例を示す図である。90度光ハイブリッド8は、コア34とコアを囲むクラッド36とを有する。90度光ハイブリッド8のコア34は、例えば、SOI(Silicon-On-Insulator)ウェハの上部Si層を、エッチングマスクを介してエッチングすることで形成される。エッチングマスクは、フォトリソグラフィにより形成される。形成されたコア34は、帯状のシリコンである。コア34の厚さ44は例えば、100~1000nmである。
(5-1)光スプリッタ10、光コンバイナ12および曲げ導波路16の低損失化
光スプリッタ10は例えば、1×2 MMIまたはY分岐光導波路である。光コンバイナ12は例えば、2×2 MMIである。MMIの挿入損失は、入出力ポート(すなわち、光が入力または出力される領域)の幅が広いほど低くなる(例えば、非特許文献2参照)。
図11は、位相シフト導波路56の幅が伝搬導波路57の幅より広い90度光ハイブリッド108の平面図の一例である。
アーム導波路14,114が伝搬光の電界に与える位相は、アーム導波路14,114の幅に依存する。従って、エッチング等により形成されるコアの幅が設計値からずれと、アーム導波路14,114が伝搬光の電界に与える位相も設計値からずれる。
実施の形態2は、実施の形態1に類似している。従って、実施の形態1と同じ構成等については、説明を省略または簡単にする。
図15は、実施の形態2の90度光ハイブリッド208の一例を説明する図である。90度光ハイブリッド208の各光導波路(すわち、テーパ導波路18、直線導波路22、曲げ導波路16)の数および配置は、図2~4を参照して説明した実施の形態1の90度光ハイブリッド8と同じである。
90°-Δ+360°×m≦|θ|≦90°+Δ+360°×m ・・・(2)
第1光スプリッタ10aは第2分割光304bの電界に、第1分割光304aの電界に与える位相よりA12(例えば、0°または±180°)だけ大きい位相を与える。第2光スプリッタ10bは第3分割光304cの電界に、第4分割光304dの電界に与える位相よりA34(例えば、0°または±180°)だけ大きい位相を与える。第1光スプリッタ10aおよび第2光スプリッタ10bは例えば、1×2 MMIにより実現される。
(3-1)変形例1
ここまでに例示された光スプリッタ10は、1×2 MMIである。しかし光スプリッタ10は、2x2 MMI、方向性結合器またはY分岐導波路等であってもよい。
図16は、変形例2の90度光ハイブリッドM2の一例を示す平面図である。図2~4に示された例では、各アーム導波路14に位相シフト導波路222が設けられる。一方、変形例2では図16に示すように、位相シフト導波路222は4つのアーム導波路のうちの2つだけに設けられる。変形例2によれば、位相シフト導波路の配置方法のバリエーションが増えるので、90度光ハイブリッドの設計の自由度が増す。
図17~18は、変形例3の90度光ハイブリッドを説明する平面図である。図2~4に示された例では、一つのアーム導波路14に一つの位相シフト導波路222が設けられる。一方、変形例3では図17~18に示すように、一つのアーム導波路14に複数の位相シフト導波路222が設けられる。
図19は、変形例4の90度光ハイブリッドを説明する平面図である。図2~4に示された例では、位相シフト導波路222は直線導波路22である。一方、変形例4の位相シフト導波路218はテーパ導波路18である。
図20は、変形例5の90度光ハイブリッドM5を示す平面図である。図2~4に示された例では、位相シフト導波路222は直線導波路22である。一方、変形例5の位相シフト導波路216は曲げ導波路16である。
光スプリッタ10の分割光にアーム導波路14が与える位相差φ1~φ4は、式(3)~(4)で表すことができる。
φ02-φ01+φ04-φ03=0 ・・・・・ (4)
ここでiは、1以上4以下の整数である。
各アーム導波路14が配置される位置は、図15に示される位置には限られない。例えば、第1アーム導波路14aと第2アーム導波路14bとを入れ替え更に、第3アーム導波路14cと第4アーム導波路14dとを入れ替えてもよい。これらの入れ替えにより、干渉光Qp,Qnが出力される位置と干渉光Ip,Inが出力される位置が入れ替わるので、90度光ハイブリッドの周辺回路(バランス光検出器等)の配置方法の自由度が増す。
実施の形態3は、実施の形態1および2に類似している。従って、実施の形態1および2と同じ構成等については、説明を省略または簡単にする。
=(4π/λ)×L2×{N2-N1×(L1/L2)} ・・・ (6)
dθ/dλ=(1/λ)×[4π×L2×{(dN2/dλ)-(dN1/dλ)×(L1/L2)}-θ]
・・・ (7)
0=4π×L2×{(dN2/dλ)-(dN1/dλ)×(L1/L2)}-π/2 ・・・ (9)
実施の形態4は、実施の形態2~3に類似している。従って、実施の形態2~3と同じ構成等については、説明を省略または簡単にする。
=(4π/λ)×L2×{N2-N1×(L1/L2)} ・・・ (10)
dθ(Δw)/dΔW=(4π/λ)×L2×{dN2/dΔW-(dN1/dΔW)×(L1/L2)}
・・・ (11)
0=dN2/dΔW-dN1/dΔW×(L1/L2) ・・・ (13)
実施の形態5は、実施の形態1~4(特に、実施の形態1)に類似している。従って、実施の形態1~4と同じ構成等については、説明を省略または簡単にする。
実施の形態6は、実施の形態1~4(特に、実施の形態1)に類似している。従って、実施の形態1~4と同じ構成等については、説明を省略または簡単にする。
10 :光スプリッタ
12 :光コンバイナ
14 :アーム導波路
14a :第1アーム導波路
14b :第2アーム導波路
14c :第3アーム導波路
14d :第4アーム導波路
16 :曲げ導波路
18 :テーパ導波路
20 :光導波路
22 :直線導波路
If1,If3,If3,If4 :干渉光
In,Ip,Qp,Qn :干渉光
Claims (8)
- 入力された第1光を、第1分割光と第2分割光とに分割する第1光スプリッタと、
前記第1光スプリッタとは異なる光スプリッタであって、入力された第2光を第3分割光と第4分割光とに分割する第2光スプリッタと、
前記第1分割光と前記第4分割光とが入力され、入力された前記第1分割光と入力された前記第4分割光とを合波して2つの干渉光を出力する第1光コンバイナと、
前記第1光コンバイナとは異なる光コンバイナであって、前記第2分割光と前記第3分割光とが入力され、入力された前記第2分割光と入力された前記第3分割光を合波して2つの干渉光を出力する第2光コンバイナと、
前記第1光コンバイナに前記第1分割光を入力する第1アーム導波路と、
前記第2光コンバイナに前記第2分割光を入力する第2アーム導波路と、
前記第2光コンバイナに前記第3分割光を入力する第3アーム導波路と、
前記第1光コンバイナに前記第4分割光を入力する第4アーム導波路とを有し、
前記第1~第4アーム導波路は、互いに分離され、
前記第1~第4アーム導波路それぞれは、それぞれの中央に配置された曲げ導波路と、前記曲げ導波路に向かって幅が減少するテーパ導波路を含む複数の光導波路とを有し、
前記各光導波路の両端はそれぞれ、前記第1および第2光スプリッタ、前記第1および第2光コンバイナ、前記曲げ導波路、および前記複数の光導波路のいずれか一つの第1端面に接し、
前記各光導波路は、前記テーパ導波路または幅が一定の直線導波路であり、
前記第1~第4アーム導波路のうちの少なくとも一つは、前記テーパ導波路が一端に接し別の前記テーパ導波路が他端に接する前記直線導波路を有する
90度光ハイブリッド。 - 前記第1アーム導波路が前記第1分割光の電界に与える位相をφ1とし、前記第2アーム導波路が前記第2分割光の電界に与える位相をφ2とし、前記第3アーム導波路が前記第3分割光の電界に与える位相をφ3とし、前記第4アーム導波路が前記第4分割光の電界に与える位相をφ4とし、mを零以上の整数とすると、前記第1光および前記第2光それぞれの波長が特定の第1波長である場合に、
位相差θが、
θ=(φ2-φ1)+(φ4-φ3)および
85°+360°×m≦|θ|≦95°+360°×m
を満たすことを
特徴とする請求項1に記載の90度光ハイブリッド。 - 前記第1アーム導波路は、前記直線導波路であって前記位相差θに零以外の値を与える第1位相シフト導波路を有し、
前記第2アーム導波路は、前記直線導波路であって前記位相差θに零以外の値を与える第2位相シフト導波路を有し、
前記第1位相シフト導波路および前記第2位相シフト導波路それぞれの長さおよび幅は、前記第1~第4分割光それぞれの波長が第2波長である場合に前記第2波長に対する前記位相差θの平均変化率の絶対値が前記第1波長を含む前記第2波長の特定の範囲において0.14度/nm以下になるように定められ、
前記特定の範囲は、Oバンド、Eバンド、Sバンド、Cバンド、LバンドおよびUバンドのいずれかであることを
特徴とする請求項2に記載の90度光ハイブリッド。 - 前記第1アーム導波路は、前記直線導波路であって前記位相差θに零以外の値を与える第1位相シフト導波路を有し、
前記第2アーム導波路は、前記直線導波路であって前記位相差θに零以外の値を与える第2位相シフト導波路を有し、
前記第1位相シフト導波路および前記第2位相シフト導波路それぞれの長さおよび幅は、前記第1位相シフト導波路の幅の目標値からの第1誤差が前記第2位相シフト導波路の幅の目標値からの第2誤差である場合、前記第1誤差に対する前記位相差θの平均変化率の絶対値が式(1)で定められる範囲において、0.2度/nm以下になるように定められることを
特徴とする請求項2に記載の90度光ハイブリッド。
-10nm≦ΔW≦10nm ・・・・・ (1)
ただしΔWは、前記第1誤差である。 - 前記曲げ導波路の第1側面の曲率半径は、前記曲げ導波路の第2側面の曲率半径より大きく、
前記第1側面は、前記複数の光導波路のいずれか一つの第2端面に接し、
前記第2側面は、前記第2端面から離隔していることを
特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の90度光ハイブリッド。 - 前記曲げ導波路の各側面の曲率半径は、一端から中央部に向かって連続的に減少し更に、他端から前記中央部に向かって連続的に減少することを
特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の90度光ハイブリッド。 - 入力された第1光を、第1分割光と第2分割光とに分割する第1光スプリッタと、
前記第1光スプリッタとは異なる光スプリッタであって、入力された第2光を第3分割光と第4分割光とに分割する第2光スプリッタと、
前記第1分割光と前記第4分割光とが入力され、入力された前記第1分割光と入力された前記第4分割光とを合波して2つの干渉光を出力する第1光コンバイナと、
前記第1光コンバイナとは異なる光コンバイナであって、前記第2分割光と前記第3分割光とが入力され、入力された前記第2分割光と入力された前記第3分割光を合波して2つの干渉光を出力する第2光コンバイナと、
前記第1光コンバイナに前記第1分割光を入力する第1アーム導波路と、
前記第2光コンバイナに前記第2分割光を入力する第2アーム導波路と、
前記第2光コンバイナに前記第3分割光を入力する第3アーム導波路と、
前記第1光コンバイナに前記第4分割光を入力する第4アーム導波路とを有し、
前記第1~第4アーム導波路は、互いに分離され、
前記第1~第4アーム導波路それぞれは、それぞれの中央に配置された曲げ導波路と、前記曲げ導波路に向かって幅が減少するテーパ導波路を含む複数の光導波路とを有し、
前記各光導波路の両端はそれぞれ、前記第1および第2光スプリッタ、前記第1および第2光コンバイナ、前記曲げ導波路、および前記複数の光導波路のいずれか一つの第1端面に接し、
前記各光導波路は、前記テーパ導波路または幅が一定の直線導波路であり、
前記第1アーム導波路は、前記直線導波路であって式(1)で与えられる位相差θに零以外の値を与える第1位相シフト導波路を有し、
前記第2アーム導波路は、前記直線導波路であって前記位相差θに零以外の値を与える第2位相シフト導波路を有し、
前記第1位相シフト導波路および前記第2位相シフト導波路それぞれの長さおよび幅は、前記第1位相シフト導波路の幅の目標値からの第1誤差が前記第2位相シフト導波路の幅の目標値からの第2誤差である第1場合に、前記第1誤差に対する前記位相差θの平均変化率の絶対値が式(2)で定められる範囲において、0.2度/nm以下になるように定められた
90度光ハイブリッド。
θ=(φ2-φ1)+(φ4-φ3) ・・・・・ (1)
-10nm≦ΔW≦10nm ・・・・・ (2)
ただし、φ1は、前記第1光および前記第2光それぞれの波長が特定の第1波長である第2場合に前記第1アーム導波路が前記第1分割光の電界に与える位相であり、φ2は、前記第2場合に前記第2アーム導波路が前記第2分割光の電界に与える位相であり、φ3は、前記第2場合に前記第3アーム導波路が前記第3分割光の電界に与える位相であり、φ4は、前記第2場合に前記第4アーム導波路が前記第4分割光の電界に与える位相であり、mは零以上の整数であり、ΔWは、前記第1誤差である。 - 前記位相差θが
85°+360°×m≦|θ|≦95°+360°×m
を満たすことを
特徴とする請求項7に記載の90度光ハイブリッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020049117A JP7389350B2 (ja) | 2020-03-19 | 2020-03-19 | 90度光ハイブリッド |
US17/178,743 US11307355B2 (en) | 2020-03-19 | 2021-02-18 | 90-degree optical hybrid |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020049117A JP7389350B2 (ja) | 2020-03-19 | 2020-03-19 | 90度光ハイブリッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021148965A JP2021148965A (ja) | 2021-09-27 |
JP7389350B2 true JP7389350B2 (ja) | 2023-11-30 |
Family
ID=77747967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020049117A Active JP7389350B2 (ja) | 2020-03-19 | 2020-03-19 | 90度光ハイブリッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11307355B2 (ja) |
JP (1) | JP7389350B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7380329B2 (ja) * | 2020-02-28 | 2023-11-15 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光回路デバイス、及び光受信機 |
US11333831B2 (en) * | 2020-09-21 | 2022-05-17 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Optical couplers and hybrids |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011018002A (ja) | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光90度ハイブリッド回路 |
WO2011010469A1 (ja) | 2009-07-22 | 2011-01-27 | 日本電信電話株式会社 | 光90度ハイブリッド回路 |
US20110229069A1 (en) | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Francesca Bontempi | Planar Waveguide Circuit and Optical Receiver |
JP2011257513A (ja) | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光90度ハイブリッド |
JP2012013886A (ja) | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Fujitsu Ltd | 光導波路素子、光ハイブリッド回路及び光受信機 |
WO2012086846A1 (ja) | 2010-12-21 | 2012-06-28 | 日本電気株式会社 | 光導波路デバイス及び光導波路デバイスの製造方法 |
JP2013007808A (ja) | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光集積回路 |
JP2016009015A (ja) | 2014-06-23 | 2016-01-18 | 株式会社フジクラ | 光受信回路およびその調整方法 |
US10126498B1 (en) | 2017-07-25 | 2018-11-13 | Elenion Technologies, Llc | Optical hybrid |
JP2020020890A (ja) | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108415123A (zh) * | 2013-02-18 | 2018-08-17 | 日本电气株式会社 | 偏振分束器和光器件 |
CN105829930B (zh) * | 2014-10-24 | 2019-04-26 | 华为技术有限公司 | 模式复用解复用器和交换节点 |
US9746609B2 (en) * | 2015-06-30 | 2017-08-29 | Elenion Technologies, Llc | Integrated on-chip polarizer |
US10677987B1 (en) * | 2019-05-13 | 2020-06-09 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Polarization independent photonic device having multimode component |
-
2020
- 2020-03-19 JP JP2020049117A patent/JP7389350B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-18 US US17/178,743 patent/US11307355B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011018002A (ja) | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光90度ハイブリッド回路 |
WO2011010469A1 (ja) | 2009-07-22 | 2011-01-27 | 日本電信電話株式会社 | 光90度ハイブリッド回路 |
US20110229069A1 (en) | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Francesca Bontempi | Planar Waveguide Circuit and Optical Receiver |
JP2011257513A (ja) | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光90度ハイブリッド |
JP2012013886A (ja) | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Fujitsu Ltd | 光導波路素子、光ハイブリッド回路及び光受信機 |
WO2012086846A1 (ja) | 2010-12-21 | 2012-06-28 | 日本電気株式会社 | 光導波路デバイス及び光導波路デバイスの製造方法 |
JP2013007808A (ja) | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光集積回路 |
JP2016009015A (ja) | 2014-06-23 | 2016-01-18 | 株式会社フジクラ | 光受信回路およびその調整方法 |
US10126498B1 (en) | 2017-07-25 | 2018-11-13 | Elenion Technologies, Llc | Optical hybrid |
JP2020020890A (ja) | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11307355B2 (en) | 2022-04-19 |
JP2021148965A (ja) | 2021-09-27 |
US20210294038A1 (en) | 2021-09-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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