JP7380522B2 - 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスクの製造方法、及び位相シフトマスク - Google Patents
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Description
1.透光性基板と、該透光性基板上に形成されたエッチング保護膜と、該エッチング保護膜に接して形成された位相シフト膜とを備え、ArFエキシマレーザー光を露光光とする位相シフトマスクブランクであって、
上記エッチング保護膜が、ハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料からなり、上記エッチング保護膜の膜厚が1~30nmであり、かつ上記エッチング保護膜の上記露光光に対する透過率が85%以上であり、
上記位相シフト膜が、ケイ素を含有し、ハフニウムを含有しない材料からなり、かつ膜厚が50~90nmである
ことを特徴とする位相シフトマスクブランク。
2.上記エッチング保護膜のハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有されるハフニウム及びケイ素の合計に対するケイ素の比率が0.1~99原子%であることを特徴とする1に記載の位相シフトマスクブランク。
3.上記エッチング保護膜及び位相シフト膜が、
同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける位相シフト膜及びエッチング保護膜のエッチングレートを、各々、Rps[nm/sec]及びRep[nm/sec]、エッチング保護膜の厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度をODsとしたとき、下記式(1)
ODs×Rep/Rps (1)
により算出される値が0.002以下であることを特徴とする1又は2に記載の位相シフトマスクブランク。
4.上記透光性基板が石英基板であることを特徴とする1乃至3のいずれかに記載の位相シフトマスクブランク。
5.上記エッチング保護膜が上記透光性基板に接して形成されていることを特徴とする1乃至4のいずれかに記載の位相シフトマスクブランク。
6.上記エッチング保護膜のハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有される酸素の含有率が60原子%以上であることを特徴とする1乃至5のいずれかに記載の位相シフトマスクブランク。
7.同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記位相シフト膜のエッチング選択比が1.5以上であることを特徴とする1乃至6のいずれかに記載の位相シフトマスクブランク。
8.上記位相シフト膜の上記露光光に対する位相差が、150~210度であることを特徴とする1乃至7のいずれかに記載の位相シフトマスクブランク。
9.上記位相シフト膜上に、更に、クロムを含有する材料からなる第3の膜を備え、同一条件の塩素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記第3の膜のエッチング選択比が10以上であることを特徴とする1乃至8のいずれかに記載の位相シフトマスクブランク。
10.1乃至8のいずれかに記載の位相シフトマスクブランクを用いて位相シフトマスクを製造する方法であって、
上記位相シフト膜をフッ素系ガスによりドライエッチングする工程
を含むことを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
11.9に記載の位相シフトマスクブランクを用いて位相シフトマスクを製造する方法であって、
上記位相シフト膜をフッ素系ガスによりドライエッチングする工程、及び
上記第3の膜を塩素系ガスによりドライエッチングする工程
を含むことを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
12.透光性基板と、該透光性基板上に形成されたエッチング保護膜と、該エッチング保護膜に接して形成された位相シフト膜のパターンとを備え、ArFエキシマレーザー光を露光光とする位相シフトマスクであって、
上記エッチング保護膜が、ハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料からなり、上記透光性基板と、上記エッチング保護膜の上記位相シフト膜のパターンとの間の膜厚が1~30nmであり、かつ上記エッチング保護膜の上記露光光に対する透過率が85%以上であり、
上記位相シフト膜のパターンが、ケイ素を含有し、ハフニウムを含有しない材料からなり、かつ膜厚が50~90nmである
ことを特徴とする位相シフトマスク。
13.上記エッチング保護膜のハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有されるハフニウム及びケイ素の合計に対するケイ素の比率が0.1~99原子%であることを特徴とする12に記載の位相シフトマスク。
14.上記エッチング保護膜及び位相シフト膜が、
同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける位相シフト膜及びエッチング保護膜のエッチングレートを、各々、Rps[nm/sec]及びRep[nm/sec]、エッチング保護膜の厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度をODsとしたとき、下記式(1)
ODs×Rep/Rps (1)
により算出される値が0.002以下であることを特徴とする12又は13に記載の位相シフトマスク。
15.上記透光性基板が石英基板であることを特徴とする12乃至14のいずれかに記載の位相シフトマスク。
16.上記エッチング保護膜が上記透光性基板に接して形成されていることを特徴とする12乃至15のいずれかに記載の位相シフトマスク。
17.上記エッチング保護膜のハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有される酸素の含有率が60原子%以上であることを特徴とする12乃至16のいずれかに記載の位相シフトマスク。
18.同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記位相シフト膜のエッチング選択比が1.5以上であることを特徴とする12乃至17のいずれかに記載の位相シフトマスク。
19.上記位相シフト膜の上記露光光に対する位相差が、150~210度であることを特徴とする12乃至18のいずれかに記載の位相シフトマスク。
20.上記位相シフト膜上に、更に、クロムを含有する材料からなる第3の膜のパターンを備え、同一条件の塩素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記第3の膜のエッチング選択比が10以上であることを特徴とする12乃至19のいずれかに記載の位相シフトマスク。
[位相シフトマスクブランクの第1の態様]
本発明の位相シフトマスクブランクは、透光性基板と、透光性基板上に形成されたエッチング保護膜と、エッチング保護膜上に形成された位相シフト膜とを備える。
本発明において、透光性基板としては、特に限定されるものではないが、例えば、SEMI規格において規定されている、6インチ角、厚さ0.25インチの6025基板と呼ばれるものが好適であり、SI単位系を用いた場合、通常、152mm角、厚さ6.35mmの基板と表記される。透光性基板としては、石英基板が好ましい。
エッチング保護膜は、ハフニウム及び酸素、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料からなる。ケイ素及び酸素を含有する材料は、露光光、特に、ArFエキシマレーザー光に対する透過率が高いが、透光性基板、例えば石英基板のように、フッ素系ガスによるドライエッチングでエッチングされやすい。これに対して、本発明のエッチング保護膜を構成するハフニウム及び酸素を含有する材料、及びハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料は、いずれも、露光光に対する透過率が高く、フッ素系ガスによるドライエッチングでは多少エッチングされるが、そのエッチング特性は、位相シフト膜と異なるため、位相シフト膜のエッチングが、透光性基板におよび難い。また、ハフニウム及び酸素、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料は、塩素系ガスによるドライエッチングには耐性を有する。
ODs×Rep/Rps (1)
により算出される値が0.002以下であることが有効である。上記式(1)により算出される値は、エッチング保護膜が、位相シフト膜が膜厚1nm分エッチングされる時間エッチングされたときに、エッチング保護膜においてエッチングにより減少する光学濃度に相当する。上記式(1)により算出される値が小さいほど、エッチング保護膜の面内での透過率の分布を均一にすることができる。上記式(1)により算出される値は、好ましくは0.002未満、より好ましくは0.0015以下である。
本発明におけるエッチング保護膜及び位相シフト膜は、位相シフトマスクブランクの製造における公知の成膜手法を適用して成膜することができるが、均質性に優れた膜が容易に得られるスパッタ法により成膜することが好ましく、DCスパッタ、RFスパッタのいずれの方法をも用いることができるが、マグネトロンスパッタがより好ましい。ターゲットとスパッタガスは、層構成や組成に応じて適宜選択される。
本発明の位相シフトマスクブランクの位相シフト膜の上には、位相シフト膜側から順に、第3の膜、第4の膜及び第5の膜を形成してもよい。位相シフト膜の上に、第3の膜を設けた位相シフトマスクブランク(第2の態様)として具体的には、図2に示されるものが挙げられる。図2は、本発明の位相シフトマスクブランクの第2の態様の一例を示す断面図であり、この位相シフトマスクブランク1は、透光性基板10と、透光性基板10上に形成されたエッチング保護膜11と、エッチング保護膜11上に形成された位相シフト膜12と、位相シフト膜12上に形成された第3の膜13とを備える。
本発明の位相シフトマスクブランクの位相シフト膜の上には、単層又は複数層からなる第3の膜を設けることができる。第3の膜は、通常、位相シフト膜に隣接して設けられる。この第3の膜として具体的には、遮光膜、遮光膜と反射防止膜との組み合わせ、位相シフト膜のパターン形成においてハードマスクとして機能する加工補助膜(エッチングマスク膜)などが挙げられる。また、第4の膜を設ける場合、この第3の膜を、第4の膜のパターン形成においてエッチングストッパーとして機能する加工補助膜(エッチングストッパ膜)として利用することもできる。第3の膜の材料としては、クロムを含む材料が好適である。
遮光膜を含む第3の膜を設けることにより、位相シフトマスクに、露光光を完全に遮光する領域を設けることができる。この遮光膜を含む第3の膜は、エッチングにおける加工補助膜として利用することもできる。
第3の膜が加工補助膜である場合、位相シフト膜のパターン形成においてハードマスクとして機能する加工補助膜(エッチングマスク膜)として利用することができ、また、第4の膜のパターン形成においてエッチングストッパーとして機能する加工補助膜(エッチングストッパ膜)として利用することもできる。
本発明の位相シフトマスクブランクの第3の膜の上には、単層又は複数層からなる第4の膜を設けることができる。第4の膜は、通常、第3の膜に隣接して設けられる。この第4の膜として具体的には、加工補助膜、遮光膜、遮光膜と反射防止膜との組み合わせなどが挙げられる。第4の膜の材料としては、ケイ素を含む材料が好適であり、特に、クロムを含まないものが好ましい。
第3の膜が遮光膜、若しくは遮光膜と反射防止膜との組み合わせである場合、又は位相シフト膜のパターン形成においてハードマスクとして機能する加工補助膜である場合、第4の膜として、第3の膜のパターン形成においてハードマスクとして機能する加工補助膜(エッチングマスク膜)を設けることができる。また、第5の膜を設ける場合、この第4の膜を、第5の膜のパターン形成においてエッチングストッパーとして機能する加工補助膜(エッチングストッパ膜)として利用することもできる。
第3の膜が加工補助膜である場合、第4の膜として、遮光膜を設けることができる。また、第4の膜として、遮光膜と反射防止膜とを組み合わせて設けることもできる。
本発明の位相シフトマスクブランクの第4の膜の上には、単層又は複数層からなる第5の膜を設けることができる。第5の膜は、通常、第4の膜に隣接して設けられる。この第5の膜として具体的には、第4の膜のパターン形成においてハードマスクとして機能する加工補助膜などが挙げられる。第5の膜の材料としては、クロムを含む材料が好適である。
第4の膜が遮光膜、又は遮光膜と反射防止膜との組み合わせである場合、第5の膜として、第4の膜のパターン形成においてハードマスクとして機能する加工補助膜(エッチングマスク膜)を設けることができる。
第3の膜及び第5の膜のクロムを含む材料で構成された膜は、クロムターゲット、クロムに酸素、窒素及び炭素から選ばれるいずれか1種又は2種以上を添加したターゲットなどを用い、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスなどの希ガスに、成膜する膜の組成に応じて、酸素含有ガス、窒素含有ガス、炭素含有ガスなどから選ばれる反応性ガスを適宜添加したスパッタガスを用いた反応性スパッタにより成膜することができる。
位相シフトマスクブランクから、常法により位相シフトマスクを製造することができる。本発明の位相シフトマスクは、位相シフトマスクブランクを用い、位相シフト膜をフッ素系ガスによりドライエッチングする工程を含む方法により製造することができる。特に、第3の膜を備える第2~第4の態様の位相シフトマスクブランクを用いる場合は、位相シフト膜をフッ素系ガスによりドライエッチングする工程と、第3の膜を塩素系ガスによりドライエッチングする工程とを含む方法により製造することができる。以下に、位相シフトマスクの製造方法の具体例を示す。
第1の態様の位相シフトマスクブランクから位相シフトマスクを製造する例としては、透明基板上に、エッチング保護膜及び位相シフト膜がこの順に形成されている位相シフトマスクブランクでは、例えば、下記の工程で位相シフトマスクを製造することができる。
第2の態様の位相シフトマスクブランクから位相シフトマスクを製造する例としては、透明基板上に、エッチング保護膜、位相シフト膜及び第3の膜がこの順に形成されており、第3の膜が、クロムを含む材料の膜である位相シフトマスクブランクでは、例えば、下記の工程で位相シフトマスクを製造することができる。
第3の態様の位相シフトマスクブランクから位相シフトマスクを製造する例としては、透明基板上に、エッチング保護膜、位相シフト膜、第3の膜及び第4の膜がこの順に形成されており、第3の膜が、クロムを含む材料の遮光膜、又はクロムを含む材料の、遮光膜と反射防止膜との組み合わせ、第4の膜が、ケイ素を含む材料の加工補助膜である位相シフトマスクブランクでは、例えば、下記の工程で位相シフトマスクを製造することができる。
第3の態様の位相シフトマスクブランクから位相シフトマスクを製造する他の例としては、透明基板上に、エッチング保護膜、位相シフト膜、第3の膜及び第4の膜がこの順に形成されており、第3の膜が、クロムを含む材料の加工補助膜、第4の膜が、ケイ素を含む材料の遮光膜、又はケイ素を含む材料の、遮光膜と反射防止膜との組み合わせである位相シフトマスクブランクでは、例えば、下記の工程で位相シフトマスクを製造することができる。
第4の態様の位相シフトマスクブランクから位相シフトマスクを製造する例としては、透明基板上に、エッチング保護膜、位相シフト膜、第3の膜、第4の膜及び第5の膜がこの順に形成されており、第3の膜が、クロムを含む材料の加工補助膜、第4の膜が、ケイ素を含む材料の遮光膜、又はケイ素を含む材料の、遮光膜と反射防止膜との組み合わせ、第5の膜が、クロムを含む材料の加工補助膜である位相シフトマスクブランクでは、例えば、下記の工程で位相シフトマスクを製造することができる。
位相シフトマスクは、透光性基板の上に、マスクパターン(フォトマスクパターン)を備える。本発明の位相シフトマスクは、透光性基板と、透光性基板上に、好ましくは透光性基板に接して形成されたエッチング保護膜と、エッチング保護膜に接して形成された位相シフト膜のパターンとを備える。位相シフトマスクは、位相シフト膜のパターンの上には、第3の膜(特に、遮光膜、又は遮光膜と反射防止膜との組み合わせ)のパターンを備えていてもよく、更に、第4の膜のパターン、又は第4の膜のパターン及び第5の膜のパターンを備えていてもよい。
スパッタ装置のチャンバー内に、152mm角、厚さ6.35mmの6025石英基板を設置し、スパッタターゲットとしてHfターゲット、スパッタガスとしてアルゴンガス及び酸素ガスを用い、石英基板上に、HfOからなるエッチング保護膜を2.0nmの膜厚で成膜した。石英基板上にエッチング保護膜を成膜した状態で、波長193nmの光に対する透過率(透光性基板を透過した露光光に対する、透光性基板及びエッチング保護膜を透過した露光光の割合)を測定したところ、95.3%(光学濃度は0.021)であった。一方、エッチング保護膜自体の、厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度(ODs)は0.0105であった。また、エッチング保護膜の組成をXPSにて測定したところ、Hfが36.2原子%、Oが63.8原子%であった。この場合、HfとSiの合計に対するSiの比率は0原子%である。
ODs×Rep/Rps (1)
により算出される値は0.00049であった。
RF1(RIE:リアクティブイオンエッチング):CW(連続放電)700V
RF2(ICP:誘導結合プラズマ):CW(連続放電)400W
圧力:6mTorr
Cl2:185sccm
O2:55sccm
He:9.25sccm
RF1(RIE:リアクティブイオンエッチング):CW(連続放電)54W
RF2(ICP:誘導結合プラズマ):CW(連続放電)325W
圧力:5mTorr
SF6:18sccm
O2:45sccm
スパッタ装置のチャンバー内に、152mm角、厚さ6.35mmの6025石英基板を設置し、スパッタターゲットとしてHfターゲット及びSiターゲット、スパッタガスとしてアルゴンガス及び酸素ガスを用い、石英基板上に、HfSiOからなるエッチング保護膜を7.3nmの膜厚で成膜した。石英基板上にエッチング保護膜を成膜した状態で、波長193nmの光に対する透過率(透光性基板を透過した露光光に対する、透光性基板及びエッチング保護膜を透過した露光光の割合)を測定したところ、96.2%(光学濃度は0.017)であった。一方、エッチング保護膜自体の、厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度(ODs)は0.0023であった。また、エッチング保護膜の組成をXPSにて測定したところ、Hfが13.2原子%、Siが21.4原子%、Oが65.4原子%であった。この場合、HfとSiの合計に対するSiの比率は61.8原子%である。
Hfターゲット及びSiターゲットの印加電力を変更した以外は実施例2と同様にして、石英基板上に、HfSiOからなるエッチング保護膜を21nmの膜厚で成膜した。石英基板上にエッチング保護膜を成膜した状態で、波長193nmの光に対する透過率(透光性基板を透過した露光光に対する、透光性基板及びエッチング保護膜を透過した露光光の割合)を測定したところ、89.3%(光学濃度は0.049)であった。一方、エッチング保護膜自体の、厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度(ODs)は0.0023であった。また、エッチング保護膜の組成をXPSにて測定したところ、Hfが3.4原子%、Siが30.8原子%、Oが65.8原子%であった。この場合、HfとSiの合計に対するSiの比率は90.1原子%である。
Hfターゲット及びSiターゲットの印加電力を変更した以外は実施例2と同様にして、石英基板上に、HfSiOからなるエッチング保護膜を24nmの膜厚で成膜した。石英基板上にエッチング保護膜を成膜した状態で、波長193nmの光に対する透過率(透光性基板を透過した露光光に対する、透光性基板及びエッチング保護膜を透過した露光光の割合)を測定したところ、88.6%(光学濃度は0.053)であった。一方、エッチング保護膜自体の、厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度(ODs)は0.0022であった。また、エッチング保護膜の組成をXPSにて測定したところ、Hfが2.0原子%、Siが32.1原子%、Oが65.9原子%であった。この場合、HfとSiの合計に対するSiの比率は94.1原子%である。
Hfターゲット及びSiターゲットの印加電力を変更した以外は実施例2と同様にして、石英基板上に、HfSiOからなるエッチング保護膜を25nmの膜厚で成膜した。石英基板上にエッチング保護膜を成膜した状態で、波長193nmの光に対する透過率(透光性基板を透過した露光光に対する、透光性基板及びエッチング保護膜を透過した露光光の割合)を測定したところ、88.0%(光学濃度は0.056)であった。一方、エッチング保護膜自体の、厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度(ODs)は0.0022であった。また、エッチング保護膜の組成をXPSにて測定したところ、Hfが0.6原子%、Siが33.4原子%、Oが66.0原子%であった。この場合、HfとSiの合計に対するSiの比率は98.2原子%である。
スパッタ装置のチャンバー内に、152mm角、厚さ6.35mmの6025石英基板を設置し、スパッタターゲットとしてCrターゲット及びSiターゲット、スパッタガスとしてアルゴンガス、酸素ガス及び窒素ガスを用い、石英基板上に、CrSiONからなるエッチング保護膜を3.4nmの膜厚で成膜した。石英基板上にエッチング保護膜を成膜した状態で、波長193nmの光に対する透過率(透光性基板を透過した露光光に対する、透光性基板及びエッチング保護膜を透過した露光光の割合)を測定したところ、79.6%(光学濃度は0.099)であった。一方、エッチング保護膜自体の、厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度(ODs)は0.0291であった。また、エッチング保護膜の組成をXPSにて測定したところ、Crが43原子%、Siが7原子%、Oが20原子%、Nが30原子%であった。
10 透光性基板
11 エッチング保護膜
12 位相シフト膜
13 第3の膜
14 第4の膜
15 第5の膜
100 ドライエッチング装置
101 チャンバー
102 アース
103 下部電極
104 アンテナコイル、
105 被処理基板(位相シフトマスクブランク)
RF1、RF2 高周波電源
Claims (20)
- 透光性基板と、該透光性基板上に形成されたエッチング保護膜と、該エッチング保護膜に接して形成された位相シフト膜とを備え、ArFエキシマレーザー光を露光光とする位相シフトマスクブランクであって、
上記エッチング保護膜が、ハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料からなり、上記エッチング保護膜の膜厚が1~30nmであり、かつ上記エッチング保護膜の上記露光光に対する透過率が85%以上であり、
上記位相シフト膜が、ケイ素を含有し、ハフニウムを含有しない材料からなり、かつ膜厚が50~90nmであることを特徴とする位相シフトマスクブランク。 - 上記エッチング保護膜のハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有されるハフニウム及びケイ素の合計に対するケイ素の比率が0.1~99原子%であることを特徴とする請求項1に記載の位相シフトマスクブランク。
- 上記エッチング保護膜及び位相シフト膜が、
同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける位相シフト膜及びエッチング保護膜のエッチングレートを、各々、Rps[nm/sec]及びRep[nm/sec]、エッチング保護膜の厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度をODsとしたとき、下記式(1)
ODs×Rep/Rps (1)
により算出される値が0.002以下である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の位相シフトマスクブランク。 - 上記透光性基板が石英基板であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランク。
- 上記エッチング保護膜が上記透光性基板に接して形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランク。
- 上記エッチング保護膜のハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有される酸素の含有率が60原子%以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランク。
- 同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記位相シフト膜のエッチング選択比が1.5以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランク。
- 上記位相シフト膜の上記露光光に対する位相差が、150~210度であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランク。
- 上記位相シフト膜上に、更に、クロムを含有する材料からなる第3の膜を備え、同一条件の塩素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記第3の膜のエッチング選択比が10以上であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランク。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位相シフトマスクブランクを用いて位相シフトマスクを製造する方法であって、
上記位相シフト膜をフッ素系ガスによりドライエッチングする工程
を含むことを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。 - 請求項9に記載の位相シフトマスクブランクを用いて位相シフトマスクを製造する方法であって、
上記位相シフト膜をフッ素系ガスによりドライエッチングする工程、及び
上記第3の膜を塩素系ガスによりドライエッチングする工程
を含むことを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。 - 透光性基板と、該透光性基板上に形成されたエッチング保護膜と、該エッチング保護膜に接して形成された位相シフト膜のパターンとを備え、ArFエキシマレーザー光を露光光とする位相シフトマスクであって、
上記エッチング保護膜が、ハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料からなり、上記透光性基板と、上記エッチング保護膜の上記位相シフト膜のパターンとの間の膜厚が1~30nmであり、かつ上記エッチング保護膜の上記露光光に対する透過率が85%以上であり、
上記位相シフト膜のパターンが、ケイ素を含有し、ハフニウムを含有しない材料からなり、かつ膜厚が50~90nmである
ことを特徴とする位相シフトマスク。 - 上記エッチング保護膜のハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有されるハフニウム及びケイ素の合計に対するケイ素の比率が0.1~99原子%であることを特徴とする請求項12に記載の位相シフトマスク。
- 上記エッチング保護膜及び位相シフト膜が、
同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける位相シフト膜及びエッチング保護膜のエッチングレートを、各々、Rps[nm/sec]及びRep[nm/sec]、エッチング保護膜の厚さ1nmあたりの露光光に対する光学濃度をODsとしたとき、下記式(1)
ODs×Rep/Rps (1)
により算出される値が0.002以下である
ことを特徴とする請求項12又は13に記載の位相シフトマスク。 - 上記透光性基板が石英基板であることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の位相シフトマスク。
- 上記エッチング保護膜が上記透光性基板に接して形成されていることを特徴とする請求項12乃至15のいずれか1項に記載の位相シフトマスク。
- 上記エッチング保護膜のハフニウム及び酸素のみからなる材料、又はハフニウム、ケイ素及び酸素を含有する材料に含有される酸素の含有率が60原子%以上であることを特徴とする請求項12乃至16のいずれか1項に記載の位相シフトマスク。
- 同一条件のフッ素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記位相シフト膜のエッチング選択比が1.5以上であることを特徴とする請求項12乃至17のいずれか1項に記載の位相シフトマスク。
- 上記位相シフト膜の上記露光光に対する位相差が、150~210度であることを特徴とする請求項12乃至18のいずれか1項に記載の位相シフトマスク。
- 上記位相シフト膜上に、更に、クロムを含有する材料からなる第3の膜のパターンを備え、同一条件の塩素系ガスによるドライエッチングにおける上記エッチング保護膜に対する上記第3の膜のエッチング選択比が10以上であることを特徴とする請求項12乃至19のいずれか1項に記載の位相シフトマスク。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003322948A (ja) | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク |
JP2013228579A (ja) | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | フォトマスクブランクおよびその製造方法 |
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Family Cites Families (8)
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JP3301556B2 (ja) * | 1993-07-20 | 2002-07-15 | 大日本印刷株式会社 | 位相シフトフォトマスク用ブランク及び位相シフトフォトマスク |
US6902969B2 (en) * | 2003-07-31 | 2005-06-07 | Freescale Semiconductor, Inc. | Process for forming dual metal gate structures |
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