JP7362013B1

JP7362013B1 - 位置検出装置

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Publication number: JP7362013B1
Application number: JP2023075708A
Authority: JP
Inventors: 孝慶田中
Original assignee: Ueno Seiki Co Ltd
Current assignee: Ueno Seiki Co Ltd
Priority date: 2023-05-01
Filing date: 2023-05-01
Publication date: 2023-10-17
Anticipated expiration: 2043-05-01

Abstract

【課題】電子部品を許容範囲内に停止させるために、一時停止した支持部材の位置を検出する位置検出装置を提供する。
【解決手段】接触部を接触させて電子部品を支持する支持部材１２が一時停止した際の接触部の位置を検出する位置検出装置であって、一時停止した支持部材１２まで距離を有する位置に配された通電ユニット３４と、一時停止した支持部材１２の接触部と通電ユニット３４の間で通電ユニット３４まで距離を有する位置に配され、通電ユニット３４に非接触で通電ユニット３４を非通電状態にし、通電ユニット３４に接触して通電ユニット３４を通電状態にする導電体３５と、支持部材１２を移動させ、支持部材１２の接触部及び通電ユニット３４に導電体３５を挟ませる移動手段と、非通電状態の通電ユニット３４が通電状態となるまでの支持部材１２の移動距離を基に一時停止した支持部材１２の接触部の位置を導出する位置導出手段とを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、電子部品を支持する支持部材の位置を検出する位置検出装置に関する。

電子部品は、搬送ユニットが備える支持部材に支持された状態で支持部材と共に一時停止位置まで移動して外観検査や電気特性検査等の各種検査やレーザによるマーキング等、所定の処理がなされた後に出荷される（特許文献１、２参照）。また、設備によっては、一の搬送ユニットの支持部材に支持されていた電子部品が一時停止位置で他の搬送ユニットの支持部材に引き渡される。

一時停止した電子部品はその電子部品に所定の処理を行う処理ユニットやその電子部品が引き渡される支持部材に対して適切な位置に配される必要があるところ、一時停止した電子部品の位置はその電子部品を支持している支持部材によって決定される。この点、搬送ユニットが複数の支持部材を有する場合、全ての支持部材に同じ設計の製品が使用されることから、基本的に各支持部材は形状及び大きさが等しい。そのため、支持部材の一時停止位置として共通の位置を定めて設備全体の設計がなされていた。

特開２０１８－０９８３３２号公報特開２０２１－００４１０９号公報

しかしながら、近年、電子部品の小型化等により、支持部材の一時停止位置を全ての支持部材について等しくした場合、支持部材の製造時に生じる個体差や搬送ユニットの組立て時に生じる出来上がりの寸法誤差のため、電子部品を許容範囲内に一時停止させることができないという課題があった。これにより、例えば、電子部品を受け渡す２つの支持部材間の間隔が一定にならず、電子部品の受け渡しを行う際に電子部品が落下する等のトラブルが招来する。また、支持部材が一つの場合であっても、支持部材を交換した際には同様の課題が生じ得る。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、電子部品を許容範囲内に停止させるために、一時停止した支持部材の位置を検出する位置検出装置を提供することを目的とする。

前記目的に沿う第１の発明に係る位置検出装置は、電子部品に接触部を接触させて該電子部品を支持した状態で、一時停止位置まで移動する支持部材に対して、一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を検出する位置検出装置であって、一時停止した前記支持部材まで距離を有する位置に配された通電状態及び非通電状態が切り替わる通電ユニットと、一時停止した前記支持部材の前記接触部と前記通電ユニットの間で該通電ユニットまで距離を有する位置に配され、該通電ユニットに非接触で該通電ユニットを非通電状態にし、該通電ユニットに接触して該通電ユニットを通電状態にする導電体と、一時停止した前記支持部材を前記通電ユニットに対し相対的に移動させ、該支持部材の前記接触部及び該通電ユニットに前記導電体を挟ませる移動手段と、前記通電ユニットの非通電状態及び通電状態を検出する検出手段と、非通電状態の前記通電ユニットが通電状態となるまでの前記支持部材の前記通電ユニットに対する相対的な移動距離を基に一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を導出する位置導出手段とを備え、前記通電ユニットは互いに非接触な正極部及び負極部を有し、前記通電ユニットは、該正極部及び該負極部が前記導電体に接触し該導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となる。

前記目的に沿う第２の発明に係る位置検出装置は、電子部品に接触部を接触させて該電子部品を支持した状態で、一時停止位置まで移動する支持部材に対して、一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を検出する位置検出装置であって、一時停止した前記支持部材まで距離を有する位置に配された導電体と、一時停止した前記支持部材の前記接触部と前記導電体の間で該導電体まで距離を有する位置に非通電状態で配され、該導電体に接触して通電状態となる通電ユニットと、一時停止した前記支持部材を前記導電体に対し相対的に移動させ、該支持部材の前記接触部及び該導電体に前記通電ユニットを挟ませる移動手段と、前記通電ユニットの非通電状態及び通電状態を検出する検出手段と、非通電状態の前記通電ユニットが通電状態となるまでの前記支持部材の前記導電体に対する相対的な移動距離を基に一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を導出する位置導出手段とを備え、前記通電ユニットは互いに非接触な正極部及び負極部を有し、前記通電ユニットは、該正極部及び該負極部が前記導電体に接触し該導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となる。

第１の発明に係る位置検出装置は、一時停止した支持部材まで距離を有する位置に配された通電状態及び非通電状態が切り替わる通電ユニットと、一時停止した支持部材の接触部と通電ユニットの間で通電ユニットまで距離を有する位置に配され、通電ユニットに非接触で通電ユニットを非通電状態にし、通電ユニットに接触して通電ユニットを通電状態にする導電体と、一時停止した支持部材を通電ユニットに対し相対的に移動させ、支持部材の接触部及び通電ユニットに導電体を挟ませる移動手段と、通電ユニットの非通電状態及び通電状態を検出する検出手段と、非通電状態の通電ユニットが通電状態となるまでの支持部材の通電ユニットに対する相対的な移動距離を基に一時停止した支持部材の接触部の位置を導出する位置導出手段とを備え、通電ユニットは互いに非接触な正極部及び負極部を有し、通電ユニットは、正極部及び負極部が導電体に接触し導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となるので、一時停止した支持部材の位置を検出可能である。

また、第２の発明に係る位置検出装置は、一時停止した支持部材まで距離を有する位置に配された導電体と、一時停止した支持部材の接触部と導電体の間で導電体まで距離を有する位置に非通電状態で配され、導電体に接触して通電状態となる通電ユニットと、一時停止した支持部材を導電体に対し相対的に移動させ、支持部材の接触部及び導電体に通電ユニットを挟ませる移動手段と、通電ユニットの非通電状態及び通電状態を検出する検出手段と、非通電状態の通電ユニットが通電状態となるまでの支持部材の導電体に対する相対的な移動距離を基に一時停止した支持部材の接触部の位置を導出する位置導出手段とを備え、通電ユニットは互いに非接触な正極部及び負極部を有し、通電ユニットは、正極部及び負極部が導電体に接触し導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となるので、一時停止した支持部材の位置を検出可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る位置検出装置を使用する対象の部品処理設備の説明図である。検出手段、通電ユニット及び位置導出手段の接続を示すブロック図である。通電ユニット及び導電体の説明図である。導電体を通電ユニットに接触させる様子を示す説明図である。第１の変形例に係る通電ユニットの説明図である。第２の変形例に係る通電ユニットの説明図である。第３の変形例に係る通電ユニットの説明図である。本発明の第２の実施の形態に係る位置検出装置の説明図である。本発明の第３の実施の形態に係る位置検出装置の説明図である。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１～図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る位置検出装置１０は、電子部品Ｗに接触部を接触させて電子部品Ｗを支持した状態で、一時停止位置まで移動する支持部材１２に対して、一時停止した支持部材１２の接触部の位置を検出する装置である。以下、詳細に説明する。

本実施の形態において、位置検出装置１０が使用される対象は、図１に示すように、外部から取得した電子部品Ｗに対し所定の処理を行い、電子部品Ｗをキャリアテープのポケット等に収容する部品処理設備１３である。電子部品Ｗとして、ダイオード、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等が挙げられる。本実施の形態では、電子部品Ｗが矩形の板状であるが、電子部品Ｗの形状はこれに限定されない。

部品処理設備１３は、それぞれ電子部品Ｗを吸着する複数の支持部材１４が昇降可能（進退可能の一例）に取り付けられ、間欠的に所定角度回転する回転体１５と、支持部材１４を押して回転体１５に対し支持部材１４を電子部品Ｗと共に下降（前進の一例）させる押圧機構１６と、下降した電子部品Ｗを支持部材１２で取得して、電子部品Ｗに所定の処理を行う処理ユニット１７に引き渡す部品搬送ユニット１８を備えている。

回転体１５は水平配置された円盤であり、複数の支持部材１４は回転体１５の外周に等ピッチで取り付けられている。回転体１５は回転体１５に連結されたモータ１９の間欠的な作動によって回転体１５の中心を基準に間欠的に回転して、各支持部材１４を移動させる。各支持部材１４は回転体１５の一度の回転によって、支持部材１４の配置ピッチ分移動して一時停止する。本実施の形態において、各支持部材１４は、鉛直方向に長く、下端部で電子部品Ｗを吸着（支持の一例）する吸着ノズルである。各支持部材１４には、基準位置から下降した支持部材１４に対し上向き（後退方向の一例）の力を作用させるコイルばね２０が装着されている。

押圧機構１６は支持部材１４の一部の一時停止位置の上側に配されている。押圧機構１６は支持部材１４の一時停止位置の真上に昇降（進退の一例）可能に設けられた可動部材２１、可動部材２１を下降（前進の一例）させる力を発生させるモータ２２、及び、基準位置から下降した可動部材２１に対して上向き（後退方向の一例）の力を作用させるコイルばね２３を有している。可動部材２１の下降長はモータ２２によって制御される。

部品搬送ユニット１８は、可動部材２１が真上に配された支持部材１４の一時停止位置の下側に設けられ、下降した可動部材２１から電子部品Ｗを取得する。部品搬送ユニット１８は、図２、図３に示すように、図示しない部材に取り付けられた水平な回転軸２５を中心に回転する円盤状の回転体２６と、回転体２６に固定された複数のアーム２７にそれぞれ取り付けられた複数（本実施の形態では、８個）の支持部材１２を備えている。各支持部材１２は、回転体２６の半径方向に長く、回転体２６を中心に放射状に配置され、回転体２６の半径方向に進退可能である。

各支持部材１２は、等ピッチで配置され、吸引力により一端部（回転体２６の中心から遠い側の端部）で電子部品Ｗを吸着（支持の一例）することができる。本実施の形態では、支持部材１２の一端部が電子部品Ｗに接触する接触部である。以下、支持部材１２の一端部を接触部と記載することもある。

回転体２６は、図２に示すモータ２８の作動によって間欠的に回転し、各支持部材１２は、回転体２６の一度の回転により、支持部材１２の配置ピッチ分移動して一時停止する。支持部材１２は、１２時の一時停止位置で、基準位置から下降した支持部材１４から電子部品Ｗを取得し、６時の一時停止位置で、図２に示すモータ２９の駆動力を与えられて下降（前進の一例）し、処理ユニット１７に電子部品Ｗを与える。なお、図１、図３では、モータ２８、２９の記載を省略している。

下降した支持部材１２は、部品搬送ユニット１８が具備するコイルばね３０の復元力によって上昇（後退の一例）する。６時位置で一時停止した支持部材１２が下降する距離はモータ２９によって制御される。モータ２８、２９には、図２に示すように、モータ２８を制御する制御部３１及びモータ２９を制御する制御部３２がそれぞれ接続されている。
本実施の形態では、支持部材１２が絶縁体によって形成されている。

ここで、各支持部材１２には、支持部材１２自体の形状や大きさに僅かではあるが個体差があり、更に、部品搬送ユニット１８における支持部材１２の取り付け位置にも僅かではあるが個体差がある。そのため、厳密には、６時位置で一時停止した支持部材１２の接触部の高さ位置は支持部材１２ごとに異なっている。６時位置で一時停止した支持部材１２の接触部の高さ位置とは、６時位置に配された支持部材１２の接触部の処理ユニット１７に対する相対的な支持部材１２の前進方向の位置を意味する。

従って、仮に、６時位置で一時停止した全ての支持部材１２の下降距離を統一した場合、支持部材１２に吸着された電子部品Ｗが処理ユニット１７まで届かなかったり、支持部材１２と処理ユニット１７に挟まれた電子部品Ｗに過度の力が生じたりする可能性がある。そこで、本実施の形態では、位置検出装置１０を用いて、各支持部材１２について６時位置に一時停止した際の接触部の高さ位置を事前に検出し、検出した高さ位置に応じた距離だけそれぞれの支持部材１２を下降させて処理ユニット１７に電子部品Ｗを引き渡すようにしている。

位置検出装置１０は、図２、図３に示すように、６時位置で一時停止した支持部材１２まで距離を有する位置に配された通電状態及び非通電状態が切り替わる通電ユニット３４と、６時位置で一時停止した支持部材１２の接触部と通電ユニット３４の間に配された導電体３５と、６時位置で一時停止した支持部材１２を通電ユニット３４に対して相対的に移動させるモータ２９（移動手段の一例）と、通電ユニット３４の非通電状態及び通電状態を検出する検出手段３６を備えている。なお、本実施の形態では、部品搬送ユニット１８が具備するモータ２９を位置検出装置１０の一部としても利用しているが、モータ２９とは別に独立した移動手段を設けて支持部材１２を移動させるようにしてもよい。

本実施の形態において、通電ユニット３４は、図３に示すように、複数（本実施の形態では３つ）の正極部３７が直線状の正極基部材３８から櫛歯状に突出して形成され、複数（本実施の形態では３つ）の負極部３９が直線状の負極基部材４０から櫛歯状に突出して形成された櫛歯電極４１を具備している。櫛歯電極４１は、絶縁板４２の一側の面に固定され、図２、図３に示すように、平行に配された正極基部材３８及び負極基部材４０がそれぞれ検出手段３６に接続されている。通電ユニット３４は、図３に示すように、櫛歯電極４１が上側（６時位置で一時停止した支持部材１２に対向する側）に配されるように図示しない部材によって固定される。

各正極部３７及び各負極部３９は直線状の金属線であり、正極部３７及び負極部３９は交互に等ピッチで平行に配されている。正極基部材３８及び負極基部材４０もそれぞれ金属線である。正極基部材３８及び複数の正極部３７からなる金属線群と負極基部材４０及び複数の負極部３９からなる金属線群とは互いに接触していない。よって、各正極部３７及び各負極部３９は隣り合って配された正極部３７及び負極部３９が互いに非接触である。

本実施の形態において、導電体３５は支持部材１２と同数（即ち複数）あって、それぞれ支持部材１２の接触部に接触した状態で支持部材１２に吸着されている。各導電体３５は、導電性の素材からなり、形状及び大きさが等しい。本実施の形態では、導電体３５の形状及び大きさが電子部品Ｗの形状及び大きさと同じであり、導電体３５は矩形の板状物である。導電体３５は、その導電体３５を吸着した支持部材１２が６時位置に配されて、通電ユニット３４まで距離を有する位置に配される。

導電体３５は、支持部材１２の接触部に接触する側とは反対側（支持部材１２が６時位置に配された際、下側）に正極部３７及び負極部３９に接触する平面（平面Ａの一例、以下、「平面Ａ」と言う）を有し、隣り合う正極部３７間の距離（隣り合う正極部３７の一方の正極部３７の幅方向中心と他方の正極部３７の幅方向中心間の距離から正極部３７の幅１つ分を引いた長さ）は、６時位置に配された支持部材１２に吸着された導電体３５の平面Ａの正極基部材３８の長手方向の長さより短く、隣り合う負極部３９間の距離（隣り合う負極部３９の一方の負極部３９の幅方向中心と他方の負極部３９の幅方向中心間の距離から負極部３９の幅１つ分を引いた長さ）は、６時位置に配された支持部材１２に吸着された導電体３５の平面Ａの負極基部材４０の長手方向の長さより短い。

本実施の形態では、６時位置に配された支持部材１２に吸着されている導電体３５の真下に複数の正極部３７及び複数の負極部３９が交互に配された領域が位置するように通電ユニット３４が配置される。
検出手段３６は、各種チップを含む電気回路を有し、図２に示すように、制御部３２に接続され制御部３２との間で信号の送受信ができ、外部から印可された電圧を正極基部材３８に印可できるように設計されている。

６時位置に配された支持部材１２の接触部の高さ位置を検出する際、正極基部材３８には検出手段３６から所定の電圧が印可される。モータ２９は、制御部３２から指令信号を送信され、図４に示すように、６時位置に配された支持部材１２を吸着している導電体３５と共に通電ユニット３４に向けて移動させ、導電体３５を櫛歯電極４１（１つ以上の正極部３７及び１つ以上の負極部３９）に接触させて、支持部材１２の接触部及び通電ユニット３４に導電体３５を挟ませる。

ここで、本実施の形態では、隣り合う正極部３７間の距離が６時位置に配された支持部材１２に吸着された導電体３５の平面Ａの正極基部材３８の長手方向の長さより短く、かつ、隣り合う負極部３９間の距離が同導電体３５の平面Ａの負極基部材４０の長手方向の長さより短いことから、６時位置に配された支持部材１２に吸着された導電体３５が基準位置から正極基部材３８（負極基部材４０）の長手方向に多少ずれていたとしても、導電体３５を１つ以上の正極部３７及び１つ以上の負極部３９に確実に接触させることができる。

本実施の形態では、隣り合う正極部３７と負極部３９の各組み合わせの間隔が全て等しいが、異なっていてもよい（即ち、正極部及び負極部がそれぞれ複数あって、交互に配された正極部及び負極部の配置ピッチが異なっていてもよい）。正極部及び負極部がそれぞれ３つ以上あって、交互に配された正極部及び負極部の配置ピッチが異なっている場合、隣り合う正極部間の距離が最も短い正極部間が６時位置に配された支持部材１２に吸着された導電体の平面Ａの正極基部材の長手方向の長さより短く、更に、隣り合う負極部間の距離が最も短い負極部間が同導電体３５の平面Ａの負極基部材の長手方向の長さより短ければ、導電体を１つ以上の正極部及び１つ以上の負極部に安定して接触させることができる。

通電ユニット３４は、導電体３５が櫛歯電極４１に接触するまで、正極基部材３８に通電された電流が正極部３７から負極部３９及び負極基部材４０に通電されることはなく（通電ユニット３４は非通電状態であり）、導電体３５が櫛歯電極４１に接触することによって、正極基部材３８に通電された電流が正極部３７及び導電体３５を介して負極部３９及び負極基部材４０に通電される（通電ユニット３４は正極部３７及び負極部３９が導電体３５に接触し導電体３５経由で電気的に接続されて通電状態になる）。

よって、導電体３５は通電ユニット３４に非接触で通電ユニット３４を非通電状態にし、通電ユニット３４に接触して通電ユニット３４を通電状態にする。
検出手段３６によって通電ユニット３４が通電状態になったことが検出されると、制御部３２はモータ２９を停止させる。櫛歯電極４１に接触した導電体３５を吸着している支持部材１２は、モータ２９の停止により下降を停止し、コイルばね３０の復元力により上昇して櫛歯電極４１に非接触となる。

また、検出手段３６には、図２に示すように、制御部３１、３２に接続された位置導出手段４３が接続されている。位置導出手段４３は、例えば、ＣＰＵ及び記憶デバイス等によって構成され、検出手段３６から取得する信号によって通電ユニット３４が非通電状態であるか通電状態であるかを検知できる。更に、位置導出手段４３は、制御部３１から信号を取得して６時位置に配されている支持部材１２を検知でき、制御部３２から取得する信号を基にモータ２９が６時位置の支持部材１２を移動させた距離を検出できる。

位置導出手段４３は、非通電状態の通電ユニット３４が通電状態になったことを検知すると、６時位置の支持部材１２が非通電状態であった通電ユニット３４を通電状態にするまでに下降した距離（支持部材１２の通電ユニット３４に対する相対的な移動距離）を検出し、検出した距離を基にして６時位置で一時停止した支持部材１２が下降する前の支持部材１２の接触部の高さ位置を導出して記憶する。

位置導出手段４３が一の支持部材１２の６時位置における接触部の高さ位置を導出した後、制御部３１はモータ２８を作動させて回転体２６を回転させて別の支持部材１２を６時位置に一時停止させる。６時位置に一時停止した支持部材１２に対しても同様の処理がなされて当該支持部材１２の接触部の高さ位置が導出され、位置導出手段４３に記憶される。同様の処理によって、全ての支持部材１２について６時位置における接触部の高さ位置が導出され位置導出手段４３に記憶される。

本実施の形態では、６時位置で一時停止した支持部材１２を下降させて支持部材１２に吸着された導電体３５を通電ユニット３４に接触させるようにしているが、これに限定されない。例えば、６時位置に一時停止した部品搬送ユニット１８の支持部材１２の接触部に対向して処理ユニット１７が配されている本設備において、９時位置に一時停止した支持部材１２の接触部に対向する位置に通電ユニット３４を配し、９時位置に一時停止した支持部材１２を前進（移動）させて通電ユニット３４に接触させ、９時位置における支持部材１２の接触部の位置を検出し、検出した位置から６時位置における支持部材１２の接触部の位置を算出するようにしてもよい。
更に、全体が導電性物質から形成された導電体３５を支持部材１２に吸着させる代わりに、一部が導電体で残りが非導電性の物質からなる部材を支持部材１２に吸着させるようにしてもよい。その場合、当該部材は、導電体が通電ユニット３４に接触する側に配されるように、支持部材１２に吸着させる。

ここで、位置検出装置１０と同様の位置検出装置を用いて、各支持部材１４の接触部（電子部Ｗに接触する部分）の高さ位置（即ち、各支持部材１４の位置）を検出できることは言うまでもない。よって、２つの部品搬送ユニット間で電子部品を受け渡す設備において、それぞれの部品搬送ユニットの各支持部材の接触部の位置も位置検出装置１０と同様の位置検出装置によって検出できる。

また、支持部材を移動させる代わりに、通電ユニットを一時停止している支持部材に向けて移動させて支持部材に支持されている導電体に接触させ、通電ユニットの移動距離を基に一時停止位置における支持部材の接触部の位置を導出するようにしてもよい。
更に、櫛歯電極を有さない通電ユニットを採用することができる。例えば、図５に示すように、渦巻き状の正極部４５及び同じく渦巻き状の負極部４６が絶縁板４７上に設けられた通電ユニット４８を用いてもよい。

正極部４５及び負極部４６はお互いに非接触であり、正極部４５と負極部４６の間の距離は導電体３５の幅（導電体３５が長方形の板状物であれば、短手方向の長さ）より短く、導電体３５を安定して正極部４５及び負極部４６の双方に接触させることができる。導電体３５が正極部４５及び負極部４６に接触することによって、非通電状態であった通電ユニット４８は、正極部４５及び負極部４６が導電体３５経由で電気的に接続されて通電状態となる。

また、図６に示すように、異方性導電シート４９を有する通電ユニット５０を採用してもよい。通電ユニット５０は、異方性導電シート４９及び異方性導電シート４９が固定された板状の電極部材５１を備え、電極部材５１は検出手段５２に固定されている。異方性導電シート４９は多数の導電粒子５３が内側に分布した板状の樹脂５４を具備し、樹脂５４は外部から力を与えられて変形する。なお、電極部材５１、樹脂５４及び検出手段５２はそれぞれ板状でなくてもよく、電極部材５１及び検出手段５２が一つとなった基板を設けてもよい。

電極部材５１は互いに非接触で異方性導電シート４９に接した正極部及び負極部を有している。なお、電極部材５１の正極部及び負極部の図示は省略する。検出手段５２は電極部材５１の正極部に電圧を印可でき、電極部材５１の正極部及び負極部が通電されているか否かを検出可能である。通電ユニット５０と共に使用される導電体５５は、支持部材５６の接触部に接触する側とは反対側に複数の突出部５７を具備している。支持部材５６は支持部材５６が支持している導電体５５と共に所定位置に一時停止し、導電体５５を異方性導電シート４９まで距離を有する位置に配する。

一時停止した導電体５５は、支持部材５６と一体となって前進（異方性導電シート４９に向けて移動）し、各突出部５７が異方性導電シート４９に接触して、異方性導電シート４９を厚み方向に収縮させる。異方性導電シート４９は厚み方向に収縮して、電極部材５１の正極部及び負極部を複数の導電粒子５３及び導電体５５経由で電気的に接続し、電極部材５１を正極部及び負極部が通電した状態にする（非通電状態であった通電ユニット５０を通電状態にする）。

更に、図７に示すように、正極部５８及び負極部５８ａがそれぞれプローブ型（針状）の通電ユニット５９を使用することもできる。正極部５８及び負極部５８ａは、それぞれ一端が、通電ユニット５９に向けて移動する導電体５９ａに接触する位置に配される。通電ユニット５９は導電体５９ａが正極部５８の一端及び負極部５８ａの一端に接触することによって、通電状態となる。なお、図７では、導電体５９ａを支持している支持部材の記載を省略している。正極部及び負極部としてフラット型や積層型等も採用できることは言うまでもない。

ここまで説明した形態は全て導電体が支持部材に支持されていたが、これに限定されない。
本発明の第２の実施の形態に係る位置検出装置６０は、図８に示すように、導電体６１が電子部品を吸着（支持）する支持部材６２には支持されていない。位置検出装置６０は所定位置に一時停止した支持部材６２まで距離を有する位置で導電体６１を支持する導電体支持ユニット６３及び導電体６１を基準として支持部材６２の反対側に配された通電ユニット６４を備えている。通電ユニット６４は、導電体６１に接触していない位置で検出手段６５に固定されている。

一時停止位置に配された支持部材６２は前進することによって導電体６１に接触する。導電体６１は支持部材６２の更なる前進により通電ユニット６４に接触して支持部材６２と通電ユニット６４に挟まれ、通電ユニット６４が備える図示しない正極部及び負極部が導電体６１経由で電気的に接続する。支持部材６２と通電ユニット６４に挟まれた導電体６１は、支持部材６２の後退に伴って、導電体支持ユニット６３が有するばね６６の復元力によって、通電ユニット６４まで距離を有する位置に戻る。
本実施の形態において、導電体６１の代わりに、通電ユニット６４に接触する側に導電体を有し、導電体を除く部分（例えば、支持部材６２に接触する側）が非導電体により形成された部材を導電体支持ユニット６３に支持させるようにしてもよい。

また、支持部材と通電ユニットによって導電体を挟む代わりに、支持部材と導電体によって通電ユニットを挟んで非通電状態の通電ユニットを通電状態にすることもできる。
本発明の第３の実施の形態に係る位置検出装置７０は、図９に示すように、それぞれ電子部品に接触部を接触させて電子部品を支持した状態で順次所定の一時停止位置まで移動する複数の支持部材７１に対して使用され、一時停止した支持部材７１の接触部の位置を検出する。

位置検出装置７０は、所定位置に一時停止した支持部材７１まで距離を有する位置に配された導電体７２と、所定位置に一時停止した支持部材７１の接触部と導電体７２の間で導電体７２まで距離を有する位置に非通電状態で配された通電ユニット７３と、所定位置に一時停止した支持部材７１を導電体７２に対し相対的に移動させ、支持部材７１の接触部及び導電体７２に通電ユニット７３を挟ませる図示しないモータ（移動手段の一例）と、通電ユニット７３の非通電状態及び通電状態を検出する図示しない検出手段と、非通電状態の通電ユニット７３が通電状態となるまでの支持部材７１の導電体７２に対する相対的な移動距離を基に所定位置に一時停止した支持部材７１の接触部の位置を導出する図示しない位置導出手段とを備える。

本実施の形態では、導電体７２が図示しない部材に支持された搭載ステージ７４に固定されている。導電体７２は所定位置で一時停止した支持部材７１が前進して導電体７２に接触する位置（本実施の形態では、所定位置で一時停止した支持部材７１の下方）に配されている。各支持部材７１は回転体７５に進退自在に取り付けられ、回転体７５の間欠的な回転により一時停止及び移動を繰り返しながら所定位置まで移動する。各支持部材７１には一端部が通電ユニット７３に接続された導電線が取り付けられ、通電ユニット７３は正極部及び負極部を有し、正極部にはスリップリング、回転体７５及び導電線を経由して外部から電圧が印可される。

正極部に電圧を印可されている通電ユニット７３は、導電体７２に接触することで、正極部及び負極部が導電体７２経由で電気的に接続されて通電状態となる。なお、本実施の形態では、通電ユニット７３が支持部材７１の接触部に接触しているが、通電ユニット７３を所定位置で一時停止した支持部材７１まで距離を有する位置で当該支持部材７１と導電体７２との間に通電ユニット７３を配するようにしてもよく、その場合、外部からの電圧は回転体７５を経由せず、直接、通電ユニット７３に印可される。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、支持部材を一つだけ有する部品処理設備に対して位置検出手段を用いることができる。当該部品処理設備は支持部材が交換等された際に、一時停止位置に配された支持部材の接触部の位置が位置検出装置によって検出され、その検出された位置に応じて支持部材の一時停止位置での前進長が決定される。
また、支持部材として、電子部品を吸着以外の方法、例えば、把持によって電子部品を支持する部材を採用することができる。

１０：位置検出装置、１２：支持部材、１３：部品処理設備、１４：支持部材、１５：回転体、１６：押圧機構、１７：処理ユニット、１８：部品搬送ユニット、１９：モータ、２０：コイルばね、２１：可動部材、２２：モータ、２３：コイルばね、２５：回転軸、２６：回転体、２７：アーム、２８、２９：モータ、３０：コイルばね、３１、３２：制御部、３４：通電ユニット、３５：導電体、３６：検出手段、３７：正極部、３８：正極基部材、３９：負極部、４０：負極基部材、４１：櫛歯電極、４２：絶縁板、４３：位置導出手段、４５：正極部、４６：負極部、４７：絶縁板、４８：通電ユニット、４９：異方性導電シート、５０：通電ユニット、５１：電極部材、５２：検出手段、５３：導電粒子、５４：樹脂、５５：導電体、５６：支持部材、５７：突出部、５８：正極部、５８ａ：負極部、５９：通電ユニット、５９ａ：導電体、６０：位置検出装置、６１：導電体、６２：支持部材、６３：導電体支持ユニット、６４：通電ユニット、６５：検出手段、６６：ばね、７０：位置検出装置、７１：支持部材、７２：導電体、７３：通電ユニット、７４：搭載ステージ、７５：回転体、Ｗ：電子部品

Claims

電子部品に接触部を接触させて該電子部品を支持した状態で、一時停止位置まで移動する支持部材に対して、一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を検出する位置検出装置であって、
一時停止した前記支持部材まで距離を有する位置に配された通電状態及び非通電状態が切り替わる通電ユニットと、
一時停止した前記支持部材の前記接触部と前記通電ユニットの間で該通電ユニットまで距離を有する位置に配され、該通電ユニットに非接触で該通電ユニットを非通電状態にし、該通電ユニットに接触して該通電ユニットを通電状態にする導電体と、
一時停止した前記支持部材を前記通電ユニットに対し相対的に移動させ、該支持部材の前記接触部及び該通電ユニットに前記導電体を挟ませる移動手段と、
前記通電ユニットの非通電状態及び通電状態を検出する検出手段と、
非通電状態の前記通電ユニットが通電状態となるまでの前記支持部材の前記通電ユニットに対する相対的な移動距離を基に一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を導出する位置導出手段とを備え、
前記通電ユニットは互いに非接触な正極部及び負極部を有し、前記通電ユニットは、該正極部及び該負極部が前記導電体に接触し該導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となることを特徴とする位置検出装置。
電子部品に接触部を接触させて該電子部品を支持した状態で、一時停止位置まで移動する支持部材に対して、一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を検出する位置検出装置であって、
一時停止した前記支持部材まで距離を有する位置に配された導電体と、
一時停止した前記支持部材の前記接触部と前記導電体の間で該導電体まで距離を有する位置に非通電状態で配され、該導電体に接触して通電状態となる通電ユニットと、
一時停止した前記支持部材を前記導電体に対し相対的に移動させ、該支持部材の前記接触部及び該導電体に前記通電ユニットを挟ませる移動手段と、
前記通電ユニットの非通電状態及び通電状態を検出する検出手段と、
非通電状態の前記通電ユニットが通電状態となるまでの前記支持部材の前記導電体に対する相対的な移動距離を基に一時停止した該支持部材の前記接触部の位置を導出する位置導出手段とを備え、
前記通電ユニットは互いに非接触な正極部及び負極部を有し、前記通電ユニットは、該正極部及び該負極部が前記導電体に接触し該導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となることを特徴とする位置検出装置。
請求項１又は２記載の位置検出装置において、前記正極部及び前記負極部はそれぞれ複数あって、該正極部及び該負極部が交互に等ピッチで配されていることを特徴とする位置検出装置。
請求項３記載の位置検出装置において、前記通電ユニットは、前記複数の正極部が直線状の正極基部材から櫛歯状に突出して形成され、前記複数の負極部が直線状の負極基部材から櫛歯状に突出して形成された櫛歯電極を具備し、前記導電体は、前記正極部及び前記負極部に接触する平面Ａを有し、隣り合う前記正極部間の距離は前記導電体の平面Ａの前記正極基部材の長手方向の長さより短く、隣り合う前記負極部間の距離は前記導電体の平面Ａの前記負極基部材の長手方向の長さより短いことを特徴とする位置検出装置。
請求項１又は２記載の位置検出装置において、前記正極部及び前記負極部はそれぞれ複数あって、該正極部及び該負極部が交互に異なるピッチで配されていることを特徴とする位置検出装置。
請求項１又は２記載の位置検出装置において、前記通電ユニットは、異方性導電シート並びに互いに非接触でそれぞれ該異方性導電シートに接した正極部及び負極部を有し、前記通電ユニットは、前記異方性導電シートが前記導電体に接触し前記正極部及び前記負極部が該異方性導電シート及び該導電体経由で電気的に接続されて、通電状態となることを特徴とする位置検出装置。