JP7360624B2 - 光処理装置及びその使用方法 - Google Patents
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Description
光源が収容されると共に、前記光源から出射される紫外光の光取り出し面を有する光源収容室と、
壁体に取り囲まれた収容領域であって、前記光源収容室の外側で前記光取り出し面に対向して位置し、前記光取り出し面を介して前記紫外光が照射される処理室と、
前記壁体の外側に形成され、前記処理室内の雰囲気ガスを外部に排気するための通気路とを備え、
前記処理室は、
前記壁体の一部箇所に形成され、所定のガスを前記処理室内に導入するガス導入口と、
前記壁体の一部箇所であって前記ガス導入口が形成されている箇所とは異なる箇所に形成され、前記処理室と前記通気路とを連絡する連絡口とを有し、
前記通気路は、
前記連絡口とは異なる箇所において、前記処理室外の外気を前記通気路内に導入するための外気導入口と、
前記外気導入口から導入された前記外気と、前記連絡口を通じて前記処理室から流出された前記雰囲気ガスとの混合ガスを排気する排気口とを有することを特徴とする。
前記処理室内を前記雰囲気ガスによって陽圧にした状態で、前記排気口から外部に排気することで、前記外気導入口から前記通気路内に導入された前記外気と共に、前記連絡口を通じて前記処理室から流出された前記雰囲気ガスを、前記排気口から排気することを特徴とする。
以下、別実施形態につき説明する。
3 :光源
5 :光源収容室
5a :光取り出し面
7 :ワーク
9 :ステージ
10 :処理室
13 :上部カバー
15 :下部カバー
21 :ガス導入口
22 :連絡口
30 :壁体
30a :壁面
30b :壁面
30c :壁面
31 :底部
40 :通気路
41 :外気導入口
43 :排気口
50 :遮蔽壁
90 :処理室
91 :ガス導入口
92 :排気口
93 :孔
Claims (6)
- 光源が収容されると共に、前記光源から出射される紫外光の光取り出し面を有する光源収容室と、
壁体に取り囲まれた有底筒状体を呈する収容領域であって、前記光源収容室の外側で前記光取り出し面に対向して位置し、前記光取り出し面を介して前記紫外光が照射される処理室と、
前記壁体の外側に形成され、前記処理室内の雰囲気ガスを外部に排気するための通気路とを備え、
前記処理室は、
前記壁体の一部箇所に形成され、所定のガスを前記処理室内に導入するガス導入口と、
前記壁体の一部箇所であって前記ガス導入口が形成されている箇所とは異なる箇所に形成され、前記処理室と前記通気路とを連絡する連絡口とを有し、
前記通気路は、
前記連絡口とは異なる箇所において、前記処理室外の外気を前記通気路内に導入するための外気導入口と、
前記外気導入口から導入された前記外気と、前記連絡口を通じて前記処理室から流出された前記雰囲気ガスとの混合ガスを排気する排気口とを有し、
前記光源収容室が前記処理室の底部に対向する開放面に隣接して前記処理室の前記開放面を閉塞することを特徴とする、光処理装置。 - 前記連絡口は、前記外気導入口よりも前記排気口に近い位置に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の光処理装置。
- 前記通気路は、前記連絡口が形成されている箇所に対向する箇所、及び、前記連絡口から見て前記外気導入口の側に位置する箇所を閉塞する遮蔽壁を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載の光処理装置。
- 前記通気路は、前記処理室の前記壁体の外側面に連結されてなる筒状空間であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか1項に記載の光処理装置。
- 前記連絡口の開口面積は、前記外気導入口の開口面積よりも小さいことを特徴とする、請求項1~4のいずれか1項に記載の光処理装置。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の光処理装置の使用方法であって、
前記処理室内を前記雰囲気ガスによって陽圧にした状態で、前記排気口から外部に排気することで、前記外気導入口から前記通気路内に導入された前記外気と共に、前記連絡口を通じて前記処理室から流出された前記雰囲気ガスを、前記排気口から排気することを特徴とする、光処理装置の使用方法。
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JP2010075888A (ja) | 2008-09-27 | 2010-04-08 | Gs Yuasa Corporation | 紫外線照射処理装置 |
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