JP7359949B2 - 圧電変換器の状態監視 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- プロセス変数を検知するための工業プロセスフィールド装置であって、
圧電変換器と、
前記圧電変換器を検知モードで動作させるように構成されたセンサ回路であって、前記圧電変換器の両端間の電圧に基づいて前記プロセス変数を示すセンサ信号を生成する、センサ回路と、
前記圧電変換器をテストモードで動作させるように構成されたテスト回路であって、前記圧電変換器を変形させるパルス電圧を有する電圧パルスを前記圧電変換器に印加して前記圧電変換器から応答信号を誘起し、前記応答信号のピーク正電圧を捕捉し、前記応答信号のピーク負電圧を捕捉する、テスト回路と、
前記ピーク正電圧、前記ピーク負電圧、及び前記パルス電圧に基づいて前記圧電変換器の現在状態値を計算し、前記現在状態値と正常に動作している圧電変換器に対応する基準状態値との比較に基づいて診断テスト結果を生成する、コントローラと、
前記プロセス変数及び前記診断テスト結果を、プロセス制御ループを介して外部の制御ユニットに送信するように構成された通信回路と、
を備えるフィールド装置。 - 前記応答信号の前記ピーク正電圧は、前記電圧パルスの立ち上がり時間に対応し、
前記応答信号の前記ピーク負電圧は、前記電圧パルスの立ち下がり時間に対応する、
請求項1に記載のフィールド装置。 - 前記テスト回路は、
前記電圧パルスを生成するように構成されたパルス発生器と、
前記応答信号が通過する基準抵抗と、
前記基準抵抗にかかるピーク正電圧を捕捉するように構成されたピーク正電圧検出器と、
前記基準抵抗にかかるピーク負電圧を捕捉するように構成されたピーク負電圧検出器と、
を備える、請求項1に記載のフィールド装置。 - 前記現在状態値は、前記ピーク正電圧及び前記ピーク負電圧の絶対値の合計と前記パルス電圧との比に基づいて計算される、請求項3に記載のフィールド装置。
- 前記テスト回路は、
前記ピーク負電圧を反転させるように構成されたインバータと、
前記ピーク正電圧を反転された前記ピーク負電圧に加算するように構成された加算器と、
を備える、請求項4に記載のフィールド装置。 - 前記診断テスト結果は、前記現在状態値と前記基準状態値との間の差が閾値を超える場合に、前記圧電変換器の状態が異常であることを示す、請求項4に記載のフィールド装置。
- 前記閾値及び前記基準状態値は、前記コントローラによってアクセス可能なコンピュータ可読媒体に格納されている、請求項6に記載のフィールド装置。
- 前記検知モードと前記テストモードとの間で装置を遷移させるように構成されたスイッチをさらに備え、
前記スイッチは、前記検知モードにある場合には、前記圧電変換器の第1の端子を前記センサ回路に結合し、前記圧電変換器の第2端子を電気接地に結合し、
前記スイッチは、前記テストモードにある場合には、前記圧電変換器の第1の端子を前記パルス発生器に結合し、前記圧電変換器の第2端子を前記基準抵抗、前記ピーク正電圧検出器、及び前記ピーク負電圧検出器に結合する、
請求項3に記載のフィールド装置。 - 工業プロセスの前記プロセス変数は、プロセス媒体の流量を含む、請求項1に記載のフィールド装置。
- 工業プロセスフィールド装置の圧電変換器の状態をテストするための方法であって、
前記圧電変換器の両端間の電圧に基づいてプロセス変数を示すセンサ信号を生成することを含むフィールド装置のセンサ回路を使用して、前記圧電変換器を検知モードで動作させるステップと、
前記フィールド装置のテスト回路を使用して、前記圧電変換器をテストモードで動作させるステップであって、前記圧電変換器を変形させるパルス電圧を有する電圧パルスを前記圧電変換器に印加することと、前記電圧パルスに応答して前記圧電変換器から応答信号を生成することと、前記テスト回路を使用して前記応答信号のピーク正電圧を捕捉することと、前記テスト回路を使用して前記応答信号のピーク負電圧を捕捉することと、を含むステップと、
前記フィールド装置のコントローラを使用して前記圧電変換器の診断テスト結果を生成するステップであって、前記ピーク正電圧、前記ピーク負電圧、及び前記パルス電圧に基づいて前記圧電変換器の現在状態値を計算することと、前記現在状態値と、正常に動作している前記圧電変換器に対応する基準状態値との比較に基づいて診断テスト結果を生成することとを含む、ステップと、
前記フィールド装置の通信回路を使用して、前記プロセス変数及び前記診断テスト結果を、プロセス制御ループを介して外部の制御ユニットに送信するステップと、
を含む方法。 - 前記応答信号の前記ピーク正電圧は、前記電圧パルスの立ち上がり時間に対応し、
前記応答信号の前記ピーク負電圧は、前記電圧パルスの立ち下がり時間に対応する、
請求項10に記載の方法。 - テスト回路を使用して前記圧電変換器をテストモードで動作させることは、
パルス発生器を使用して前記電圧パルスを発生させることと、
基準抵抗を通して前記応答信号を導くことと、
ピーク正電圧検出器を使用して前記基準抵抗にかかるピーク正電圧を捕捉することと、
ピーク負電圧検出器を使用して前記基準抵抗にかかるピーク負電圧を捕捉することと、
を含む、請求項10に記載の方法。 - 前記圧電変換器の前記現在状態値を計算することは、
前記ピーク正電圧及び前記ピーク負電圧の絶対値の合計と、前記パルス電圧との比に基づいて、前記現在状態値を計算することを含む、請求項12に記載の方法。 - テスト回路を使用して前記圧電変換器をテストモードで動作させることは、
インバータを使用して前記ピーク負電圧を反転させることと、
加算器を使用して前記ピーク正電圧を反転させた前記ピーク負電圧に加算することと、
を含む、請求項13に記載の方法。 - 前記コントローラを使用して前記圧電変換器の診断テスト結果を生成することは、前記現在状態値と前記基準状態値との差を閾値と比較することを含み、
前記診断テスト結果は、前記差が前記閾値を超えたときに前記圧電変換器の状態が異常であることを示す、請求項13に記載の方法。 - 前記コントローラを使用してコンピュータ可読媒体から前記閾値及び前記基準状態値を取得することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- スイッチを使用して、前記検知モードと前記テストモードとの間で切り替えることをさらに含み、
前記検知モードにある場合には、前記圧電変換器の第1の端子を前記センサ回路に結合し、前記圧電変換器の第2端子を電気接地に結合し、
前記テストモードにある場合には、前記圧電変換器の第1の端子を前記パルス発生器に結合し、前記圧電変換器の第2端子を前記基準抵抗、前記ピーク正電圧検出器、及び前記ピーク負電圧検出器に結合する、
請求項12に記載の方法。 - 前記プロセス変数は、プロセス媒体の流量を含む、請求項10に記載の方法。
- 流体流の流量を測定するように構成された渦流量計であって、
管状内部キャビティを含むハウジングと、
前記ハウジングによって支持され、前記管状内部キャビティ内に延在する渦発生体と、
前記流体流に対して前記渦発生体の下流側で前記ハウジングによって支持され、かつ、前記渦発生体によって発生された渦に応答して振動するように構成された前記管状内部キャビティの壁から延在するビームと、圧電変換器とを含む、渦周波数センサと、
前記圧電変換器を検知モードで動作させるように構成されたセンサ回路であって、前記圧電変換器の両端間の電圧に基づいて前記ビームの振動運動の周波数を示すセンサ信号を生成する、センサ回路と、
前記圧電変換器をテストモードで動作させるように構成されたテスト回路であって、前記圧電変換器を変形させるパルス電圧を有する電圧パルスを前記圧電変換器に印加して前記圧電変換器からの応答信号を誘起し、前記応答信号のピーク正電圧を捕捉し、前記応答信号のピーク負電圧を捕捉する、テスト回路と、
前記センサ信号に基づいて前記流体流の流量を計算し、前記ピーク正電圧、前記ピーク負電圧、及び前記パルス電圧に基づいて前記圧電変換器の現在状態値を計算し、前記現在状態値と正常に動作する前記圧電変換器に対応する基準状態値との比較に基づいて診断テスト結果を生成すように構成された、コントローラと、
前記流量及び前記診断テスト結果を、プロセス制御ループを介して外部の制御ユニットに送信するように構成された通信回路と、
を含む渦流量計。 - 前記テスト回路が、
前記電圧パルスを生成するように構成されたパルス発生器と、前記応答信号が通過する基準抵抗と、前記基準抵抗の両端の前記ピーク正電圧を捕捉するように構成されたピーク正電圧検出器と、前記基準抵抗の両端の前記ピーク負電圧を捕捉するように構成されたピーク負電圧検出器と、を備え、
前記現在状態値が、前記ピーク正電圧及び前記ピーク負電圧の絶対値の合計と前記パルス電圧との比に基づいて計算され、
前記診断テスト結果が、前記現在状態値と前記基準状態値との差が閾値を超えたときに前記圧電変換器の状態が異常であることを示す、
請求項19に記載の渦流量計。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019129177A1 (de) * | 2019-10-29 | 2021-04-29 | Krohne Messtechnik Gmbh | Wirbeldurchflussmessgerät und Verfahren zum Betreiben eines Wirbeldurchflussmessgeräts |
FI20215120A1 (en) * | 2021-02-04 | 2022-08-05 | Aito Bv | Piezoelectric sensor device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009236596A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Jfe Steel Corp | 振動センサ及び振動センサの状態判別方法 |
JP2015504169A (ja) | 2012-01-20 | 2015-02-05 | ローズマウント インコーポレイテッド | 圧電型トランスデューサの自己検査機能を有したフィールドデバイス |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4546651A (en) * | 1984-04-02 | 1985-10-15 | Hewlett-Packard Co. | Transducer coupling |
US5247838A (en) * | 1991-12-19 | 1993-09-28 | Badger Meter, Inc. | Double wing vortex flowmeter |
US5447051A (en) | 1993-08-05 | 1995-09-05 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for testing a piezoelectric force sensor |
AU7530994A (en) * | 1993-08-24 | 1995-03-21 | A/S Bruel & Kjaer | An apparatus for detecting the malfunctioning of an accelerometer |
US6754601B1 (en) * | 1996-11-07 | 2004-06-22 | Rosemount Inc. | Diagnostics for resistive elements of process devices |
JPH10142017A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Saginomiya Seisakusho Inc | カルマン渦流量計 |
EP0962749A1 (de) * | 1998-05-14 | 1999-12-08 | Endress + Hauser Flowtec AG | Verfahren zum Trockenkalibrieren von Wirbel-Durchflussmessern |
US6352000B1 (en) * | 1998-08-12 | 2002-03-05 | Flowtec Ag | Vortex flow sensor |
US6556028B1 (en) | 2001-05-07 | 2003-04-29 | Storage Test Solutions, Inc. | Method and apparatus for detecting defects in piezoelectric actuators |
US6531884B1 (en) | 2001-08-27 | 2003-03-11 | Rosemount Inc. | Diagnostics for piezoelectric sensor |
JP4153721B2 (ja) * | 2002-05-14 | 2008-09-24 | 松下電器産業株式会社 | 超音波流量計および超音波流量計の自己診断方法 |
US7523667B2 (en) * | 2003-12-23 | 2009-04-28 | Rosemount Inc. | Diagnostics of impulse piping in an industrial process |
US7882751B2 (en) * | 2007-07-19 | 2011-02-08 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Measuring system with a flow conditioner for flow profile stabilization |
US8401820B2 (en) | 2008-10-03 | 2013-03-19 | United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | In situ health monitoring of piezoelectric sensors |
US8387463B2 (en) | 2008-10-06 | 2013-03-05 | Rosemount Inc. | Pressure-based diagnostic system for process transmitter |
CN101451864B (zh) * | 2008-12-22 | 2012-12-26 | 合肥工业大学 | 改进的低功耗两线制涡街流量计 |
DE102009001525A1 (de) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Verfahren und Wirbelströmungsmessgerät zum Überwachen und/oder Messen einer Wandströmung eines in einer Rohrleitung strömenden, zwei- oder mehrphasigen Mediums |
EP2246984B1 (de) * | 2009-04-28 | 2013-07-03 | VEGA Grieshaber KG | Diagnoseschaltung zur Überwachung einer Analog-Digital-Wandlungsschaltung |
US9091613B2 (en) * | 2012-06-27 | 2015-07-28 | General Monitors, Inc. | Multi-spectral ultrasonic gas leak detector |
US9222844B2 (en) * | 2013-02-25 | 2015-12-29 | Rosemount Inc. | Process temperature transmitter with improved sensor diagnostics |
CN104535140B (zh) * | 2014-12-23 | 2017-12-29 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 超声波流量计换能器的谐振频率测试方法 |
US11269067B2 (en) * | 2017-09-12 | 2022-03-08 | Semiconductor Components Industries, Llc | Response-based determination of piezoelectric transducer state |
EP4421497A2 (en) * | 2018-02-12 | 2024-08-28 | Honeywell International Inc. | Functional self-test for a piezoelectric element deployed in an end-product |
-
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009236596A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Jfe Steel Corp | 振動センサ及び振動センサの状態判別方法 |
JP2015504169A (ja) | 2012-01-20 | 2015-02-05 | ローズマウント インコーポレイテッド | 圧電型トランスデューサの自己検査機能を有したフィールドデバイス |
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---|---|
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