JP7353601B2 - 結晶方位解析装置、結晶方位解析方法および学習済みモデル生成方法 - Google Patents
結晶方位解析装置、結晶方位解析方法および学習済みモデル生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7353601B2 JP7353601B2 JP2020020828A JP2020020828A JP7353601B2 JP 7353601 B2 JP7353601 B2 JP 7353601B2 JP 2020020828 A JP2020020828 A JP 2020020828A JP 2020020828 A JP2020020828 A JP 2020020828A JP 7353601 B2 JP7353601 B2 JP 7353601B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brightness
- crystal orientation
- sample
- vector
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Claims (10)
- 試料の表面に対して特定の入射角および方位角を有する照明光束を照射するよう構成され、前記照明光束の方位角が可変となるよう構成される照明装置と、
前記照明光束の方位角が異なる複数の照明条件において前記試料の表面を撮像し、前記複数の照明条件のそれぞれにおいて前記試料の表面を撮像した複数の輝度画像を生成する撮像装置と、
前記複数の輝度画像を用いて、前記試料の表面における結晶粒の分布および結晶方位を推定する計算装置と、を備え、
前記計算装置は、前記複数の輝度画像の各画素の輝度値をベクトル要素とし、前記複数の照明条件の条件数に対応した次元数を有する輝度ベクトルを画素ごとに算出し、
前記計算装置は、輝度ベクトルを入力とし、結晶方位を出力とする教師データを用いて機械学習させた学習済みモデルを用いて、前記試料の表面における結晶粒の結晶方位を推定することを特徴とする結晶方位解析装置。 - 前記学習済みモデルは、結晶粒の結晶方位を示す回転クォータニオンを出力するよう構築されることを特徴とする請求項1に記載の結晶方位解析装置。
- 試料の表面に対して特定の入射角および方位角を有する照明光束を照射するよう構成され、前記照明光束の方位角が可変となるよう構成される照明装置と、
前記照明光束の方位角が異なる複数の照明条件において前記試料の表面を撮像し、前記複数の照明条件のそれぞれにおいて前記試料の表面を撮像した複数の輝度画像を生成する撮像装置と、
前記複数の輝度画像を用いて、前記試料の表面における結晶粒の分布および結晶方位を推定する計算装置と、を備え、
前記計算装置は、前記複数の輝度画像の各画素の輝度値をベクトル要素とし、前記複数の照明条件の条件数に対応した次元数を有する輝度ベクトルを画素ごとに算出し、前記輝度ベクトルを用いて前記試料の表面における結晶粒の分布および結晶方位を推定し、
前記計算装置は、前記撮像装置に対する各結晶粒の相対位置に基づいて、各結晶粒の結晶方位の推定値を補正することを特徴とする結晶方位解析装置。 - 前記計算装置は、推定した結晶粒の分布に基づいて各結晶粒に対応する輝度ベクトルの代表値を算出し、前記輝度ベクトルの代表値を用いて各結晶粒の結晶方位を推定することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の結晶方位解析装置。
- 試料の表面に対して特定の入射角および方位角を有する照明光束を照射するよう構成され、前記照明光束の方位角が可変となるよう構成される照明装置と、
前記照明光束の方位角が異なる複数の照明条件において前記試料の表面を撮像し、前記複数の照明条件のそれぞれにおいて前記試料の表面を撮像した複数の輝度画像を生成する撮像装置と、
前記複数の輝度画像を用いて、前記試料の表面における結晶粒の分布および結晶方位を推定する計算装置と、を備え、
前記計算装置は、前記複数の輝度画像の各画素の輝度値をベクトル要素とし、前記複数の照明条件の条件数に対応した次元数を有する輝度ベクトルを画素ごとに算出し、前記輝度ベクトルを用いて前記試料の表面における結晶粒の分布および結晶方位を推定し、
前記計算装置は、推定した結晶粒の分布に基づいて各結晶粒に対応する輝度ベクトルの代表値を算出し、前記輝度ベクトルの代表値を用いて各結晶粒の結晶方位を推定し、
前記計算装置は、前記照明装置に対する各結晶粒の相対位置に基づいて、各結晶粒に対応する輝度ベクトルの代表値を補正することを特徴する結晶方位解析装置。 - 前記計算装置は、前記輝度ベクトルをクラスタリングすることにより、前記試料の表面における結晶粒の分布を推定することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の結晶方位解析装置。
- 試料の表面に対して特定の入射角および方位角を有する照明光束であって前記方位角が可変となる照明光束を前記試料の表面に照射し、前記照明光束の方位角が異なる複数の照明条件のそれぞれにおいて前記試料の表面を撮像した複数の輝度画像を取得するステップと、
前記複数の輝度画像の各画素の輝度値をベクトル要素とし、前記複数の照明条件の条件数に対応した次元数を有する輝度ベクトルを画素ごとに算出するステップと、
前記輝度ベクトルをクラスタリングすることにより、前記試料の表面における結晶粒の分布を推定するステップと、
前記輝度ベクトルを入力とし、結晶方位を出力とする教師データを用いて機械学習させた学習済みモデルを用いて、前記試料の表面における結晶粒の結晶方位を推定するステップと、を備えることを特徴とする結晶方位解析方法。 - 試料の表面に露出する結晶粒についてX線または電子線を用いて特定された結晶方位を示すデータを取得するステップと、
前記結晶粒の表面に対して特定の入射角および方位角を有する照明光束を照射したときに測定された前記結晶粒の表面の輝度値であって、前記照明光束の方位角が異なる複数の照明条件のそれぞれにおいて測定された複数の輝度値を示すデータを取得するステップと、
前記複数の輝度値をベクトル要素とする輝度ベクトルを入力とし、前記結晶方位を示す回転クォータニオンを出力とする教師データを用いて、前記輝度ベクトルを入力として前記結晶方位の推定値を出力する学習済みモデルをコンピュータに構築させるステップと、を備えることを特徴とする学習済みモデル生成方法。 - 前記学習済みモデルは、前記結晶方位の真値を示す第1回転クォータニオンと前記結晶方位の推定値を示す第2回転クォータニオンとの間の回転を示す誤差回転クォータニオンに基づく損失関数を用いて構築されることを特徴とする請求項8に記載の学習済みモデル生成方法。
- 前記輝度ベクトルは、前記複数の照明条件における前記照明光束の方位角の大きさ順にベクトル要素が配列されており、
前記学習済みモデルは、前記輝度ベクトルを時系列順に要素が配列された時系列データとして入力を受け付けるリカレントニューラルネットワーク層を備えることを特徴とする請求項8または9に記載の学習済みモデル生成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020020828A JP7353601B2 (ja) | 2020-02-10 | 2020-02-10 | 結晶方位解析装置、結晶方位解析方法および学習済みモデル生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020020828A JP7353601B2 (ja) | 2020-02-10 | 2020-02-10 | 結晶方位解析装置、結晶方位解析方法および学習済みモデル生成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021127994A JP2021127994A (ja) | 2021-09-02 |
JP7353601B2 true JP7353601B2 (ja) | 2023-10-02 |
Family
ID=77488331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020020828A Active JP7353601B2 (ja) | 2020-02-10 | 2020-02-10 | 結晶方位解析装置、結晶方位解析方法および学習済みモデル生成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7353601B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017181382A (ja) | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 三菱重工業株式会社 | 一方向性凝固物の異結晶検査装置および検査方法 |
JP2018133174A (ja) | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 株式会社日立製作所 | 画像形成装置 |
JP2019012037A (ja) | 2017-06-30 | 2019-01-24 | Jfeスチール株式会社 | 材料特性推定装置及び材料特性推定方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02271241A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Nippon Steel Corp | 結晶方位測定方法 |
FR2988841A1 (fr) * | 2012-04-02 | 2013-10-04 | Commissariat Energie Atomique | Procede optique de cartographie de l'orientation cristalline d'un echantillon. |
-
2020
- 2020-02-10 JP JP2020020828A patent/JP7353601B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017181382A (ja) | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 三菱重工業株式会社 | 一方向性凝固物の異結晶検査装置および検査方法 |
JP2018133174A (ja) | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 株式会社日立製作所 | 画像形成装置 |
JP2019012037A (ja) | 2017-06-30 | 2019-01-24 | Jfeスチール株式会社 | 材料特性推定装置及び材料特性推定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021127994A (ja) | 2021-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110555889B (zh) | 一种基于CALTag和点云信息的深度相机手眼标定方法 | |
CN107424894B (zh) | 使用衍射图案定向样品的系统 | |
CN105069743B (zh) | 探测器拼接实时图像配准的方法 | |
CN104729422B (zh) | 用于校正激光测量装置的方法及其系统 | |
US7995098B2 (en) | Systems and methods for measuring spatial and angular performance of a visual display | |
CN105579809B (zh) | 测量方法、测量装置以及计算机可读记录介质 | |
CN107727364A (zh) | 测试3d成像系统 | |
CN110672037A (zh) | 基于相移法的线性光源光栅投影三维测量系统及方法 | |
Ogawa et al. | Comparison with accuracy of terrestrial laser scanner by using point cloud aligned with shape matching and best fitting methods | |
JP5842242B2 (ja) | 回折環分析方法および回折環分析装置 | |
JP2012002596A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
CN109506629B (zh) | 一种水下核燃料组件检测装置旋转中心标定的方法 | |
CN113544498A (zh) | 用于进行电子背散射衍射样品表征的方法和设备 | |
CN113447241B (zh) | 分割投影成像系统的快速定标方法及装置 | |
JP7353601B2 (ja) | 結晶方位解析装置、結晶方位解析方法および学習済みモデル生成方法 | |
KR20220095100A (ko) | 매끄러운 표면을 지닌 측정 대상물의 광학 측정 영상 처리 방법 및 그 측정 시스템 | |
CN114812407B (zh) | 基于光度立体3d重建的芯片锡球三维高度检测方法及系统 | |
CN114241059B (zh) | 一种光度立体视觉系统中相机和光源的同步标定方法 | |
JP6486010B2 (ja) | 形状計測装置および形状計測方法 | |
CN111612071A (zh) | 一种从曲面零件阴影图生成深度图的深度学习方法 | |
US20240187565A1 (en) | Provision of real world and image sensor correspondence points for use in calibration of an imaging system for three dimensional imaging based on light triangulation | |
US20240027374A1 (en) | Analysis of X-ray Scatterometry Data using Deep Learning | |
Ji et al. | A Machine Vision Measurement Method for Large Plates Based on Reference Point Assistance | |
CN112269177B (zh) | 一种基于多圈次轨道观测的isar三维成像方法 | |
EP4328539A1 (en) | Information processing system, information processing method, and program |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20200219 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220816 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230620 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7353601 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |