JP7353253B2 - 半導体装置の電気特性を解析する方法およびシステム - Google Patents

Description

本開示は、半導体装置の電気特性を解析する方法およびシステムに関するものである。

パワーデバイスとして、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）、ＭＯＳＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor）等によって構成される単位セルを半導体基板上に並列に配置させた半導体装置が知られている。従来、半導体装置の開発効率の向上を目的として、ＳＰＩＣＥ（Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis）等の回路シミュレーションプログラムを用いて、半導体装置の電気特性が解析されている。

回路シミュレーションの実行のために、半導体装置のモデルを作成する必要がある。特開２００３－２７１６９５号公報（特許文献１）は、半導体基板を複数の領域に分割し、各領域を抵抗素子、キャパシタンス素子等に模擬して、半導体基板を等価回路でモデル化する技術を開示している。

特開２００３－２７１６９５号公報

パワーデバイスでは数万個～数百万個の単位セルが半導体基板に配置される。特許文献１に記載の技術を用いたとしても、数万個～数百万個の単位セルに対応する等価回路をモデル化するための時間を十分に削減できない。すなわち、回路シミュレーションの実行に必要な情報の生成に要する時間が長い。

本開示は上記の課題に鑑みなされたものであり、回路シミュレーションの実行に必要な情報の生成に要する時間を短縮可能な、半導体装置の電気特性を解析する方法およびシステムを提供することである。

本開示のある局面の方法は、複数の単位セルが周期的に形成される半導体基板と、半導体基板の主面に形成され、単位セルと接続される電極とを含む半導体装置の電気特性を解析する方法である。方法は、半導体装置を構成する複数の構成要素の各々について、主面において当該構成要素の投影される領域を設定するステップと、領域を分割して複数のメッシュを生成するステップとを備える。複数のメッシュの各々は、複数のノードを頂点とする多角形である。方法は、さらに、複数のメッシュの複数のノードから選択される２つ以上のノード間に、複数の構成要素に応じて選択される回路素子を配置したときの、回路素子と２つ以上のノードとの接続関係を示す第１ネットリストを作成するステップを備える。方法は、さらに、第１ネットリストを用いて回路シミュレーションを実行するステップと、回路シミュレーションの結果を出力するステップとを備える。

本開示のある局面のシステムは、複数の単位セルが周期的に形成される半導体基板と、半導体基板の主面に形成され、単位セルと接続される電極とを含む半導体装置の電気特性を解析するシステムである。システムは、１つ以上のプロセッサと、１つ以上のプロセッサによって実行される１つ以上のプログラムを格納する記憶装置とを備える。１つ以上のプログラムは、半導体装置を構成する複数の構成要素の各々について、主面において当該構成要素の投影される領域を設定する命令と、領域を分割して複数のメッシュを生成する命令とを備える。複数のメッシュの各々は、複数のノードを頂点とする多角形である。１つ以上のプログラムは、さらに、複数のメッシュの複数のノードから選択される２つ以上のノード間に、複数の構成要素に応じて選択される回路素子を配置したときの、回路素子と２つ以上のノードとの接続関係を示すネットリストを作成する命令を備える。１つ以上のプログラムは、さらに、ネットリストを用いて回路シミュレーションを実行する命令と、回路シミュレーションの結果を出力する命令とを備える。

本開示によれば、半導体基板の主面への各構成要素の投影領域を分割することにより得られる複数のメッシュの複数のノードから選択される２つ以上のノード間に構成要素に応じた回路素子を配置したときのネットリストが作成される。選択された２つ以上のノード間に構成要素に応じた回路素子が配置されることにより、回路素子とノードとは、半導体装置のモデルを表す。投影領域の複数のメッシュへの分割は、公知の様々な手法を用いることができる。そのため、半導体装置のモデルを容易に作成できる。すなわち、回路シミュレーションの実行に必要な情報の生成に要する時間を短縮できる。

実施の形態に係る、半導体装置の電気特性を解析する方法の流れを示すフローチャートである。 図１に示す解析方法に用いられる解析システムのハードウェア構成を示す図である。 解析対象となる半導体装置の一例を示す平面図である。 図３のＡ－Ａ線に沿った矢視断面図である。 図４の点線Ｂによって囲まれる部分の拡大図である。 図１に示すステップＳ１のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。 ステップＳ１１において作成された等価回路の一例を示す図である。 図３～図５に示される半導体装置のゲート電極を示す平面図である。 図３～図５に示される半導体装置の複数の構成要素にそれぞれ対応する投影領域の一例を示す図である。 構成要素「ゲートワイヤ」に対応するＣＡＤレイヤーを示す図である。 構成要素「ソースワイヤ」に対応するＣＡＤレイヤーを示す図である。 構成要素「ソース電極」、「ゲート電極（異方性）」、「絶縁層」および「ＭＯＳＦＥＴ」に対応するＣＡＤレイヤーを示す図である。 構成要素「ゲート配線」に対応するＣＡＤレイヤーを示す図である。 構成要素「ゲート電極（等方性）」に対応するＣＡＤレイヤーを示す図である。 図１２に示す投影領域から図１１に示す投影領域を除外した領域の形状および位置を示すＣＡＤレイヤーを示す図である。 図１３に示す投影領域から図１０に示す投影領域を除外した領域の形状および位置を示すＣＡＤレイヤーを示す図である。 図１４に示す投影領域から図１３に示す投影領域を除外した領域の形状および位置を示すＣＡＤレイヤーを示す図である。 図１に示すステップＳ２のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。 ＣＡＤレイヤーを複数のメッシュに分割した結果の一例を示す図である。 図１１に示すＣＡＤレイヤーと図１２に示すＣＡＤレイヤーとを分割することにより得られるメッシュの一例を示す図である。 単位セルのサイズとメッシュサイズとの関係の一例を示す図である。 単位セルのサイズとメッシュサイズとの関係の別の例を示す図である。 回路シミュレーションの演算時間およびシミュレーション結果とメッシュサイズとの相関関係を示す図である。 電流の流れる方向とメッシュとの関係の一例を示す図である。 電流の流れる方向とメッシュとの関係の他の例を示す図である。 図１に示すステップＳ３のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。 半導体装置の構成と、等価回路と、等価回路レイヤーとの関係を示す図である。 等価回路レイヤーに抵抗素子を配置する例を示す図である。 等価回路レイヤーに抵抗素子を配置する別の例を示す図である。 等価回路レイヤーにキャパシタンス素子を配置する例を示す図である。 等価回路レイヤーにＭＯＳＦＥＴ素子を配置する例を示す図である。 ネットリスト生成プログラムの構成例を示す図である。 ネットリスト生成プログラムを用いたときのステップＳ３２のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。 構成要素「ゲート電極（異方性）」，「ゲート電極（等方性）」に対応する等価回路レイヤーのノードの一例を示す図である。 図１に示すステップＳ４のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。 半導体装置に接続される外部回路の一例を示す図である。 図１に示すステップＳ５のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。 ノード名の設定方法の一例を示す図である。 ドレイン領域を分割することにより得られる複数の構成要素にそれぞれ対応する複数の等価回路レイヤーの一例を示す図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一又は相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。以下で説明する実施の形態および変形例は、適宜選択的に組み合わされてもよい。

（解析方法の流れ）
図１は、実施の形態に係る、半導体装置の電気特性を解析する方法の流れを示すフローチャートである。半導体装置は、典型的にはパワーデバイスであり、ＩＧＢＴ、ＭＯＳＦＥＴ等の複数の単位セルが周期的に形成される半導体基板と、半導体基板の主面に形成され、単位セルと接続される電極とを含む。図１に示されるように、半導体装置の電気特性を解析する方法（以下、「解析方法」と称する。）は、ステップＳ１～Ｓ５を備える。

ステップＳ１は、半導体装置を構成する複数の構成要素の各々について、半導体基板の主面において当該構成要素の投影される領域（以下、「投影領域」と称する。）を設定するステップである。

ステップＳ２は、ステップＳ１において設定された投影領域を複数のメッシュに分割するステップである。複数のメッシュの各々は、複数のノードを頂点とする多角形で構成される。

ステップＳ３は、複数のメッシュの複数のノードから選択される２つ以上のノード間に、複数の構成要素に応じて選択される回路素子を配置したときの、回路素子と２つ以上のノードとの接続関係を示すネットリストを作成するステップである。

ステップＳ４は、ネットリストを用いて回路シミュレーションを実行するステップである。ステップＳ５は、回路シミュレーションの結果を出力するステップである。

（解析システムの構成）
図２は、図１に示す解析方法に用いられる解析システムのハードウェア構成を示す図である。図２に示される解析システム１は、たとえば汎用のコンピュータによって実現される。

解析システム１は、主たるコンポーネントとして、プロセッサ１０２と、メモリ１０４と、入力装置１０６と、表示装置１０８と、ストレージ１１０と、光学ドライブ１１２と、ネットワークインターフェイス１１６とを含む。これらのコンポーネントは、バス１１８などを介してデータ通信可能に接続される。

プロセッサ１０２は、ストレージ１１０に格納された各種プログラムを実行する。メモリ１０４は、プロセッサ１０２のプログラム実行に必要なデータを格納するための作業領域を提供する。入力装置１０６は、たとえばキーボード、マウス、タッチパネルなどを含む。表示装置１０８は、たとえば液晶ディスプレイを含む。

光学ドライブ１１２は、コンピュータ読取可能なプログラムを非一過的に格納する記録媒体１１４から、各種プログラムを読取ってストレージ１１０などにインストールする。記録媒体１１４は、コンピュータ読み取り可能な媒体であり、たとえば、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等である。

ネットワークインターフェイス１１６は、各種ネットワークに接続される。ネットワークインターフェイス１１６は、ネットワーク上の図示しないサーバ装置などから各種プログラムをインストールしてもよい。

ストレージ１１０は、たとえばＨＤＤ（Hard Disk Drive）またはＳＳＤ（Flash Solid State Drive）などで構成され、プロセッサ１０２で実行されるプログラムを記憶する。

ストレージ１１０は、ＣＡＤ（Computer-Aided Design）プログラム１２０と、メッシュ生成プログラム１２１と、ネットリスト生成プログラム１２２と、シミュレーションプログラム１２５と、結果出力プログラム１２６とを記憶する。

ＣＡＤプログラム１２０は、構造物の形状モデルを設計するためのプログラムである。ＣＡＤプログラム１２０として、公知の各種ＣＡＤツールが採用され得る。

ＣＡＤプログラム１２０は、２次元モデルの設計を支援し、２次元形状を示すレイヤー（以下、「ＣＡＤレイヤー」と称する。）を作成する。

メッシュ生成プログラム１２１は、指定された領域を分割して、複数のメッシュを生成するためのプログラムである。メッシュ生成プログラム１２１は、たとえばＰｙｔｈｏｎ等のプログラム言語のライブラリを用いて作成される。

なお、公知のＣＡＤツールの中には、メッシュ生成機能を有するものも存在する。このようなＣＡＤツールをＣＡＤプログラム１２０として使用する場合、メッシュ生成プログラム１２１は省略されてもよい。

複数のメッシュの各々は、たとえば三角形、四角形のような多角形である。以下、各メッシュの頂点を「ノード」と称し、辺を「ライン」と称する。

メッシュ生成プログラム１２１は、メッシュに関する情報（以下、「メッシュ情報」と称する。）を示すメッシュ情報ファイルを作成する命令を含む。メッシュ情報は、たとえば、各ノードについて、当該ノードを識別する情報、当該ノードを含むメッシュの面積、当該ノードにおける電流経路の断面積等を含む。

ネットリスト生成プログラム１２２は、電子回路における端子間の接続関係を示すネットリストを生成するプログラムである。ネットリスト生成プログラム１２２は、たとえばＰｙｔｈｏｎ等のプログラム言語で作成される。ネットリストは、電子回路を構成する回路素子毎の要素行を含む。要素行には、回路素子の名前（素子名）、回路素子に接続されるノードの名前（ノード名）、および、回路素子の電気的特性を決定するパラメータの値が記述される。回路素子は、たとえば抵抗素子、キャパシタンス素子、ＭＯＳＦＥＴ素子、ダイオードなどを含む。

ネットリスト生成プログラム１２２は、メインプログラム１２３と、プロシージャ群１２４とを含む。プロシージャ群１２４は、回路素子の種類に応じた複数のプロシージャを含む。プロシージャは、複数の命令の集合であり、メインプログラム１２３から呼び出される。メインプログラム１２３は、対象となる回路素子の種類に応じてプロシージャ群１２４のうちの指定されたプロシージャを用いて、当該回路素子に対応する要素行を記述する。以下、ネットリスト生成プログラム１２２によって生成されたネットリストを「第１ネットリスト」と称する。

シミュレーションプログラム１２５は、対象となる電子回路の動作をシミュレーションするプログラムである。シミュレーションプログラム１２５の実行により、回路シミュレーションの結果データが生成される。シミュレーションプログラム１２５として、たとえばＳＰＩＣＥ等の公知の回路シミュレータが採用され得る。

対象となる電子回路の動作をシミュレーションするためには、当該電子回路に電力を供給する電源回路、グランドなどを含む外部回路と当該電子回路との接続関係を規定する必要がある。そのため、シミュレーションプログラム１２５は、解析者の入力に従って、対象となる電子回路と外部回路との接続関係を示すネットリスト（以下、「第２ネットリスト」と称する。）を作成する機能を有する。なお、第２ネットリストは、シミュレーションプログラム１２５とは別のソフトウェアを用いて作成されてもよい。

なお、公知の回路シミュレータの中には、メッシュ生成機能を有するものも存在する。このような回路シミュレータをシミュレーションプログラム１２５として使用する場合、メッシュ生成プログラム１２１は省略されてもよい。

結果出力プログラム１２６は、シミュレーション結果を出力するためのプログラムである。結果出力プログラム１２６は、たとえば電子回路上の各ノードにおける電流密度、熱量などの物理量を演算する命令、当該物理量を示す図（たとえばコンター図）を表示装置１０８に表示させるための命令などを含む。

結果出力プログラム１２６として、公知のビューアーが採用され得る。たとえば、熱応力モデル、デバイスモデル、電磁界モデルのシミュレーションを行なう装置に付属されているビューアーを結果出力プログラム１２６として用いてもよい。あるいは、結果出力プログラム１２６は、Ｐｙｔｈｏｎ等のライブラリを用いて作成されてもよい。

さらに、ストレージ１１０は、プログラムの実行によって生成される各種データを記憶する。たとえば、ストレージ１１０は、ＣＡＤプログラム１２０の実行によって生成された１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１を記憶する。ストレージ１１０は、メッシュ生成プログラム１２１の実行によって生成されるメッシュ情報ファイル１３２を記憶する。ストレージ１１０は、ネットリスト生成プログラム１２２の実行によって生成される第１ネットリスト１３３を記憶する。ストレージ１１０は、シミュレーションプログラム１２５の実行によって生成される第２ネットリスト１３４および結果データ１３５を記憶する。

図２に例示される解析システム１は、１つのプロセッサ１０２を備える。しかしながら、解析システム１は、複数のプロセッサ１０２を備えてもよい。この場合、ＣＡＤプログラム１２０、メッシュ生成プログラム１２１、ネットリスト生成プログラム１２２、シミュレーションプログラム１２５および結果出力プログラム１２６は、互いに異なるプロセッサ１０２で実行されてもよい。

解析システム１は、１台のコンピュータによって構成されてもよいし、複数台のコンピュータによって構成されてもよい。

（半導体装置の例）
図３は、解析対象となる半導体装置の一例を示す平面図である。図４は、図３のＡ－Ａ線に沿った矢視断面図である。図５は、図４の点線Ｂによって囲まれる部分の拡大図である。

図３から図５に例示される半導体装置２は、半導体基板２０と、ゲート電極２１と、ソース電極２２と、ドレイン電極２３と、ゲート配線２４と、ソースワイヤ２５と、ゲートワイヤ２６と、絶縁膜２７とを含む。なお、図４において、絶縁膜２７の図示は省略されている。さらに、図４において、ゲート電極２１およびソース電極２２の形状は、簡略化されている。

半導体基板２０は、たとえば、ＳｉＣの単結晶基体と単結晶基体上に形成されたエピタキシャル層とを有する基板である。半導体基板２０の第１主面２０ａにおいて、不純物としてアルミニウムイオンを含有する複数のｐ型のベース領域２８（図５参照）が選択的に形成される。各ベース領域２８内の表層部には、不純物として窒素イオンを含有するｎ型のソース領域２９（図５参照）が選択的に形成される。ソース領域２９は、ベース領域２８よりも浅く形成される。ベース領域２８およびソース領域２９は、半導体基板２０におけるソース電極２２に対向する領域に形成される。半導体基板２０は、さらに、不純物の注入されないドレイン領域３０を含む。

図４に示されるように、半導体基板２０の第１主面２０ａ全体の上方にゲート電極２１が形成される。図５に示されるように、ゲート電極２１と第１主面２０ａとの間には絶縁膜２７が形成される。ゲート電極２１の材料は、たとえばポリシリコンである。ゲート電極２１は、隣り合うソース領域２９間に跨がるような形状パターンを有する。絶縁膜２７の材料は、たとえば酸化膜である。

図４に示されるように、ゲート電極２１の上方にソース電極２２が形成される。図５に示されるように、ゲート電極２１とソース電極２２との間には絶縁膜２７が形成される。図３に示されるように、ソース電極２２は、平面視において、一辺に切り欠きが形成された略矩形状である。ソース電極２２の材料は、たとえばアルミニウムである。

図４および図５に示されるように、半導体基板２０の第２主面２０ｂ全体の上にはドレイン電極２３が形成される。ドレイン電極２３の材料は、たとえばアルミニウムである。

図５に示されるように、半導体基板２０において、隣り合う一対のソース領域２９を含む単位セルＣが１つのＭＯＳＦＥＴを構成する。

単位セルＣは、第１主面２０ａに沿って周期的に形成される。ゲート電極２１およびソース電極２２は、単位セルＣと電気的に接続されるように、半導体基板２０の第１主面２０ａに形成される。ドレイン電極２３は、単位セルＣと電気的に接続されるように、半導体基板２０の第２主面２０ｂに形成される。ドレイン電極２３に電圧を印加した上で、ゲート電極２１に電圧を印加することにより、方向Ｅに沿って電流が流れる。

図３および図４に示されるように、ゲート配線２４は、ゲート電極２１上に形成される。ゲート配線２４は、平面視において、ソース電極２２を囲む角リング形状を有する。ゲート配線２４の材料は、たとえばアルミニウムである。

図３および図４に示されるように、ソースワイヤ２５は、ソース電極２２の中央付近の領域上に形成される。図３に示されるように、ゲートワイヤ２６は、ゲート配線２４の一部の領域上に形成される。ソースワイヤ２５およびゲートワイヤ２６は、たとえばＡｌワイヤ、Ｃｕワイヤである。

以上のように、半導体装置２は、構造物として、ゲート電極２１、ソース電極２２、ドレイン電極２３、ゲート配線２４、ソースワイヤ２５、ゲートワイヤ２６、絶縁膜２７、ベース領域２８、ソース領域２９およびドレイン領域３０を含む。

なお、本実施の形態に係る解析方法の対象となる半導体装置は、図３から図５に例示される半導体装置２に限定されず、他の構造を有していてもよい。

（ステップＳ１のサブルーチン）
図６から図１７を参照して、図１に示すステップＳ１のサブルーチンおよび具体的処理例について説明する。図６は、図１に示すステップＳ１のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。

（ステップＳ１１）
まず、解析者は、解析対象となる半導体装置の等価回路を作成する（ステップＳ１１）。ステップＳ１１は、コンピュータを用いて実施されてもよい。あるいは、解析者は、用紙上に、等価回路を示す模式図を描いてもよい。

図７は、ステップＳ１１において作成された等価回路の一例を示す図である。図７には、図３から図５に示される半導体装置２に対応する等価回路が示される。

図７に例示される等価回路は、端子９０～９２と、抵抗９３～９５と、キャパシタ９６と、ＭＯＳＦＥＴ９７とを含む。

端子９０～９２は、図３～図５に示されるソースワイヤ２５、ゲートワイヤ２６およびドレイン電極２３にそれぞれ対応する。

抵抗９３は、端子９０とＭＯＳＦＥＴ９７のソース端子との間に接続される。抵抗９３は、図３～図５に示されるソース電極２２の抵抗成分に対応する。

抵抗９４，９５は、端子９１とＭＯＳＦＥＴ９７のゲート端子との間に直列に接続される。抵抗９４は、図３～図５に示されるゲート配線２４の抵抗成分に対応する。抵抗９５は、図３～図５に示されるゲート電極２１の抵抗成分に対応する。

キャパシタ９６は、ＭＯＳＦＥＴ９７のゲート端子とソース端子との間に接続される。キャパシタ９６は、図５に示される絶縁膜２７の容量成分に対応する。

ＭＯＳＦＥＴ９７は、抵抗９３を介して端子９０に接続されるソース端子と、抵抗９４，９５を介して端子９１に接続されるゲート端子と、端子９２に接続されるドレイン端子とを有する。ＭＯＳＦＥＴ９７のバルク端子は、ソース端子に直結される。ＭＯＳＦＥＴ９７は、図５に示される半導体基板２０のベース領域２８、ソース領域２９およびドレイン領域３０に対応する。

（ステップＳ１２）
次に、解析者は、等価回路および解析対象の半導体装置の構造に参考にして、半導体装置を複数の構成要素に細分化する（ステップＳ１２）。

複数の構成要素への細分化の方法は、解析の目的に応じて行なわれる。たとえば、複数の構造物が合わさって１つの機能を発揮する場合、解析者は、当該複数の構造物をまとめて１つの構成要素として分類すればよい。

図３～図５に示される半導体装置２について、ゲート電極２１の抵抗成分によるスイッチング特性の遅延とソースワイヤ２５の配置による電流のアンバランスとを解析する場合、半導体基板２０内の複雑な構造は無視されてもよい。そのため、解析者は、半導体基板２０のベース領域２８、ソース領域２９およびドレイン領域３０をまとめて１つの構成要素「ＭＯＳＦＥＴ」として分類すればよい。

解析者は、１つの構造物における部分ごとの形状や機能に応じて、当該構造物を複数の構成要素に分割してもよい。

図８は、図３～図５に示される半導体装置のゲート電極を示す平面図である。図８に示されるように、ゲート電極２１の形状は、領域６０の内外において異なる。領域６０は、図５に示すベース領域２８、ソース領域２９およびソース電極２２の形成される領域である。ゲート電極２１のうち領域６０内の第１部分２１ａは、方向Ｄに沿って櫛歯状に形成される。なお、図８では、第１部分２１ａが櫛歯状であることを理解しやすいために、各ラインの幅が実際よりも大きく描かれている。ゲート電極２１のうち領域６０の周囲の第２部分２１ｂは、均一に形成される。

第１部分２１ａにおいて、電流は、主に方向Ｄに沿って流れる。これに対し、第２部分２１ｂにおいて、電流は、様々な方向に流れ得る。このように、第１部分２１ａは異方性を有し、第２部分２１ｂは等方性を有する。すなわち、第１部分２１ａと第２部分２１ｂとは、異なる電気特性を有する。そのため、解析者は、ゲート電極２１を２つの構成要素、つまり、第１部分２１ａに対応する構成要素「ゲート電極（異方性）」と、第２部分２１ｂに対応する構成要素「ゲート電極（等方性）」とに分割すればよい。

解析者は、残りの各構造物を１つの構成要素として分類すればよい。すなわち、解析者は、図３～図５に示されるソース電極２２、ゲート配線２４、ソースワイヤ２５、ゲートワイヤ２６および絶縁膜２７を構成要素「ソース電極」、「ゲート配線」、「ソースワイヤ」、「ゲートワイヤ」および「絶縁膜」にそれぞれ分類すればよい。

（ステップＳ１３）
次に、解析者は、複数の構成要素の各々について、半導体基板の主面における当該構成要素の投影領域を特定する（ステップＳ１３）。

図９は、図３～図５に示される半導体装置の複数の構成要素にそれぞれ対応する投影領域の一例を示す図である。図９には、半導体基板２０の第１主面２０ａにおける構成要素の投影領域が示される。

投影領域３１は、構成要素「ゲートワイヤ」に対応する。投影領域３２は、構成要素「ソースワイヤ」に対応する。投影領域３３は、構成要素「ソース電極」に対応する。投影領域３４は、構成要素「ゲート配線」に対応する。投影領域３５は、構成要素「ゲート電極（異方性）」に対応する。投影領域３６は、構成要素「ゲート電極（等方性）」に対応する。投影領域３７は、構成要素「絶縁膜」に対応する。投影領域３８は、構成要素「ＭＯＳＦＥＴ」に対応する。

なお、図８に示されるように、ゲート電極２１の第１部分２１ａは櫛歯状である。ただし、線間の隙間を考慮する必要がない場合には、第１部分２１ａを取り囲む領域６０（図８参照）を半導体基板２０の第１主面２０ａに投影した領域が、構成要素「ゲート電極（異方性）」に対応する投影領域３５として特定されてもよい。このため、図９に示されるように、投影領域３５は、投影領域３３，３７，３８と同一である。

なお、ソース電極２２の形成される領域と、ベース領域２８およびソース領域２９の形成される領域とは厳密には異なる。しかしながら、ここでは簡略化して同じ領域に形成されるものとして模擬する。

（ステップＳ１４）
次に、解析者は、解析システム１に備えられるＣＡＤプログラム１２０を起動させる（ステップＳ１４）。

（ステップＳ１５）
次に、解析者は、ＣＡＤプログラム１２０を用いて、構成要素毎に１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１を作成する（ステップＳ１５）。ＣＡＤレイヤー１３１は、ステップＳ１３において特定された、半導体基板の主面における構成要素の投影領域の形状および位置を示す。

半導体基板の主面において２つ以上の構成要素の投影領域が一致する場合、当該２つ以上の構成要素に対して共通のＣＡＤレイヤー１３１が作成されてもよい。あるいは、半導体基板の主面における構成要素の投影領域を複数の部分に分割し、当該複数の部分をそれぞれ示す複数のＣＡＤレイヤー１３１が作成されてもよい。

一般に、半導体装置の製造のために様々な形状のフォトマスクが使用される。解析者は、フォトマスクの形状を示すＣＡＤファイルそのものをＣＡＤレイヤー１３１として作成してもよい。あるいは、解析者は、フォトマスクの形状を示すＣＡＤファイルを編集して、ＣＡＤレイヤー１３１を作成してもよい。

図１０～図１４には、図３～図５に示される半導体装置の複数の構成要素に対応するＣＡＤレイヤー１３１の例が示される。

図１０は、構成要素「ゲートワイヤ」に対応するＣＡＤレイヤー１３１ａを示す図である。ＣＡＤレイヤー１３１ａは、構成要素「ゲートワイヤ」の投影領域３１の形状および位置を示す。

図１１は、構成要素「ソースワイヤ」に対応するＣＡＤレイヤー１３１ｂを示す図である。ＣＡＤレイヤー１３１ｂは、構成要素「ソースワイヤ」の投影領域３２の形状および位置を示す。

図１２は、構成要素「ソース電極」、「ゲート電極（異方性）」、「絶縁層」および「ＭＯＳＦＥＴ」に対応するＣＡＤレイヤー１３１ｃを示す図である。ＣＡＤレイヤー１３１ｃは、構成要素「ソース電極」、「ゲート電極（異方性）」、「絶縁層」および「ＭＯＳＦＥＴ」それぞれの投影領域３３，３５，３７，３８の形状および位置を示す。

図１３は、構成要素「ゲート配線」に対応するＣＡＤレイヤー１３１ｄを示す図である。ＣＡＤレイヤー１３１ｄは、構成要素「ゲート配線」の投影領域３４の形状および位置を示す。

図１４は、構成要素「ゲート電極（等方性）」に対応するＣＡＤレイヤー１３１ｅを示す図である。ＣＡＤレイヤー１３１ｅは、構成要素「ゲート電極（等方性）」の投影領域３６の形状および位置を示す。

図１２に示されるＣＡＤレイヤー１３１ｃは、図１１に示されるＣＡＤレイヤー１３１ｂと重複する部分を含む。図１３に示されるＣＡＤレイヤー１３１ｄは、図１０に示されるＣＡＤレイヤー１３１ａと重複する部分を含む。図１４に示されるＣＡＤレイヤー１３１ｅは、図１０に示されるＣＡＤレイヤー１３１ａおよび図１３に示されるＣＡＤレイヤー１３１ｄと重複する部分を含む。

公知のＣＡＤツールの中には、複数のＣＡＤレイヤー間で重複する部分を、当該複数のＣＡＤレイヤーのうち１つのＣＡＤレイヤーを除くＣＡＤレイヤーから削除する機能（以下、「重複部分の削除機能」と称する。）を有するものがある。ＣＡＤプログラム１２０が重複部分の削除機能を有する場合、解析者は、当該機能を有効に設定することが好ましい。これにより、あるＣＡＤレイヤーにおいて、他のＣＡＤレイヤーと重複する部分が自動的に削除される。

なお、２つのＣＡＤレイヤーのうち第１のＣＡＤレイヤーの全体が第２のＣＡＤレイヤーとの重複する部分である場合、第１のＣＡＤレイヤーは変更されず、第２ＣＡＤレイヤーから重複する部分が削除される。

図１５～図１７には、重複部分の削除機能が有効に設定されたときに作成されるＣＡＤレイヤーの例が示される。

図１５は、図１２に示す投影領域３３，３５，３７，３８から図１１に示す投影領域３２を除外した領域３９の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｆを示す図である。図１６は、図１３に示す投影領域３４から図１０に示す投影領域３１を除外した領域４０の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｇを示す図である。図１７は、図１４に示す投影領域３６から図１３に示す投影領域３４を除外した領域４１の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｈを示す図である。

重複部分の削除機能が有効に設定されている場合、いくつかの構成要素に対応して、複数のＣＡＤレイヤー１３１が作成され得る。

たとえば、構成要素「ソース電極」、「ゲート電極（異方性）」、「絶縁層」および「ＭＯＳＦＥＴ」それぞれの投影領域３３，３５，３７，３８（図１２参照）は、図１１に示す投影領域３２と、図１５に示す領域３９との組み合わせである。そのため、構成要素「ソース電極」、「ゲート電極（異方性）」、「絶縁層」および「ＭＯＳＦＥＴ」に対応して、投影領域３２の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｂと、領域３９の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｆとが作成される。

構成要素「ゲート配線」の投影領域３４（図１３参照）は、図１０に示す投影領域３１と、図１６に示す領域４０との組み合わせである。そのため、構成要素「ゲート配線」に対応して、投影領域３１の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ａと、領域４０の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｇとが作成される。

構成要素「ゲート電極（等方性）」の投影領域３６（図１４参照）は、図１０に示す投影領域３１と、図１６に示す領域４０と、図１７に示す領域４１との組み合わせである。そのため、構成要素「ゲート電極（等方性）」に対応して、投影領域３１の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ａと、領域４０の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｇと、領域４１の形状および位置を示すＣＡＤレイヤー１３１ｈとが作成される。

（ステップＳ１６，Ｓ１７）
次に、プロセッサ１０２は、作成したＣＡＤレイヤー１３１を保存する（ステップＳ１６）。その後、解析者は、ＣＡＤプログラム１２０を終了する（ステップＳ１７）。

（ステップＳ２のサブルーチン）
図１８から図２５を参照して、図１に示すステップＳ２のサブルーチンおよび具体的処理例について説明する。図１８は、図１に示すステップＳ２のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。

（ステップＳ２１）
解析者は、解析システム１に備えられるメッシュ生成プログラム１２１を起動させる（ステップＳ２１）。

（ステップＳ２２）
解析者は、メッシュ生成の対象として、ステップＳ１６において保存されたＣＡＤレイヤー１３１を指定する（ステップＳ２２）。

（ステップＳ２３）
プロセッサ１０２は、メッシュ生成プログラム１２１に従って、指定されたＣＡＤレイヤー１３１を複数のメッシュに分割する（ステップＳ２３）。

図１９は、ＣＡＤレイヤー１３１を複数のメッシュに分割した結果の一例を示す図である。図１９には、図１０、図１１、図１５、図１６および図１７にそれぞれ示すＣＡＤレイヤー１３１ａ，１３１ｂ，１３１ｆ，１３１ｇ，１３１ｈを複数のメッシュに分割した結果の一例が示される。

図２０は、図１１に示すＣＡＤレイヤー１３１ｂと図１２に示すＣＡＤレイヤー１３１ｃとを分割することにより得られるメッシュの一例を示す図である。

図２０に示されるように、メッシュＭは、複数のノードＮを頂点とし、隣り合うノードＮを結ぶラインＬを辺とする多角形である。

ＣＡＤプログラム１２０が重複部分の削除機能を有さない場合、または、重複部分の削除機能が無効に設定された場合、複数のＣＡＤレイヤー１３１は互いに重複する部分を有し得る。たとえば、ＣＡＤレイヤー１３１ｂによって示される投影領域３２（図１１参照）は、ＣＡＤレイヤー１３１ｃによって示される投影領域３３，３５，３７，３８（図１２参照）と重複する。

図２０には、重複する部分に対して生成されたメッシュＭが示される。ＣＡＤレイヤー１３１ｂ，１３１ｃに対して、互いに独立してメッシュＭが生成される。そのため、ＣＡＤレイヤー１３１ｂ，１３１ｃの重複する部分であっても、ＣＡＤレイヤー１３１ｂから生成されるノードＮの位置は、通常、ＣＡＤレイヤー１３１ｃから生成されるノードＮの位置と一致しない。その結果、ＣＡＤレイヤー１３１ｂ，１３１ｃの重複する部分において、生成されるノードＮの個数が増大する。ノードＮの個数が増大すると、回路シミュレーションの計算時間が長くなる。そのため、ＣＡＤレイヤー１３１ｂ，１３１ｃの重複する部分において、ＣＡＤレイヤー１３１ｂ，１３１ｃの一方から生成されるノードＮの位置は、他方から生成されるノードＮの位置と一致するように調整されることが好ましい。あるいは、位置の調整を行なわない場合、ノードＮ間に配置される回路素子の特性値を算出するために、ノードＮ間の距離を計算しておく必要がある。

ＣＡＤプログラム１２０における重複部分の削除機能が有効に設定された場合、ステップＳ１６で保存される複数のＣＡＤレイヤー１３１は互いに重複しない。たとえば、図１０に示す投影領域３１、図１１に示す投影領域３２、図１５に示す領域３９、図１６に示す領域４０および図１７に示す領域４１は互いに重複しない。そのため、上記のようなノードＮの位置調整またはノードＮ間の距離の計算の手間を省略できる。さらに、重複部分の削除機能が有効に設定されることにより、ＣＡＤレイヤー１３１から生成されるメッシュＭの個数も削減される。

プロセッサ１０２は、指定されたメッシュサイズに従って、ＣＡＤレイヤー１３１を複数のメッシュに分割する。解析者は、図５に示す単位セルＣよりも大きいサイズをメッシュサイズとして指定することが好ましい。これにより、ノードＮの個数が減少し、回路シミュレーションの計算時間が短縮される。

図２１は、単位セルＣのサイズとメッシュサイズとの関係の一例を示す図である。図２２は、単位セルＣのサイズとメッシュサイズとの関係の別の例を示す図である。図２１には、２個の単位セルＣの合計サイズをメッシュサイズに指定したときに生成されるメッシュＭが示される。図２２には、２０個の単位セルＣの合計サイズをメッシュサイズに指定したときに生成されるメッシュＭが示される。なお、Ｍ個の単位セルＣの合計サイズとは、半導体基板２０の第１主面２０ａにおけるＭ個の単位セルＣの投影される部分の合計サイズである。

図２３は、回路シミュレーションの演算時間およびシミュレーション結果とメッシュサイズとの相関関係を示す図である。図２３には、シミュレーション結果として、半導体装置２の飽和電流値Ｉｓａｔが示される。図２３において、メッシュサイズは、正方形であるメッシュＭの一辺の長さで表される。メッシュＭの一辺の長さが２μｍのとき、１個のメッシュＭは、１個の単位セルＣと同じサイズである。

図２３に示されるように、メッシュＭの一辺の長さを１０μｍにすることにより、シミュレーション結果が変化しないにもかかわらず、演算時間が大幅に短縮される。メッシュＭの一辺の長さが１０μｍであるとき、１個のメッシュＭは、２５個の単位セルＣと同じサイズである。

さらに、メッシュＭの一辺の長さを５００μｍにすることにより、メッシュＭの一辺の長さが２μｍのときと比較して、演算時間が約１／１０００に短縮される。ただし、シミュレーション結果である飽和電流値Ｉｓａｔの変動率は約３％である。

このように、メッシュＭのサイズを単位セルＣのサイズよりも大きくすることにより、回路シミュレーションの演算時間を短縮できる。たとえば、１個のメッシュＭのサイズは、１０個の単位セルＣの合計サイズよりも大きくなるように設定される。

図８に示されるように、ゲート電極２１の第１部分２１ａでは、電流は、主に方向Ｄに沿って流れる。ステップＳ３では、メッシュＭのノードＮ間に回路素子が配置される。そのため、構成要素「ゲート電極（異方性）」の投影領域３４は、メッシュＭの一辺が方向Ｄと平行になるように、複数のメッシュに分割されることが好ましい。これにより、ステップＳ３において、電流の流れる方向Ｄと平行なラインＬ上に回路素子を配置できる。

図２４は、電流の流れる方向ＤとメッシュＭとの関係の一例を示す図である。図２５は、電流の流れる方向ＤとメッシュＭとの関係の他の例を示す図である。図２４および図２５に示されるように、メッシュＭの一辺は方向Ｄと平行となる。

指定された方向にメッシュＭの一辺を平行にさせる機能をメッシュ生成プログラム１２１が有する場合、解析者は、電流の流れる方向Ｄを指定してメッシュＭを生成させればよい。

あるいは、解析者は、ＣＡＤプログラム１２０を用いて、生成されるメッシュＭの少なくとも１つのラインＬが方向Ｄに平行になるように、ＣＡＤレイヤー１３１を回転させてもよい。

（ステップＳ２４）
次に、プロセッサ１０２は、各ノードＮに対して、当該ノードＮの位置に応じてユニークに決定される識別情報（たとえば、ノード番号）を付与する（ステップＳ２４）。複数のＣＡＤレイヤー１３１にそれぞれ対応する複数のノードＮの位置（座標）が同一である場合、当該複数のノードＮに対して同一のノード番号が付与される。ノード番号は、単一の番号で表されてもよいし、複数のサブ番号の組み合わせで表されてもよい。

たとえば、メッシュＭが矩形である場合、メッシュＭの互いに直交する２辺にそれぞれ平行な２軸の位置に応じて、２つのサブ番号がそれぞれ付与される。そして、ノード番号は、当該２つのサブ番号の組み合わせで表される。

（ステップＳ２５，Ｓ２６）
次に、プロセッサ１０２は、生成した各メッシュに関するメッシュ情報を示すメッシュ情報ファイル１３２を生成し、ストレージ１１０にメッシュ情報ファイル１３２を保存する（ステップＳ２５）。その後、解析者は、メッシュ生成プログラム１２１を終了する（ステップＳ２６）。

メッシュ情報は、各ノードＮについて、当該ノードＮのノード番号、当該ノードＮを含むメッシュＭの面積、当該ノードＮにおける電流経路の断面積、当該ノードＮの位置（座標）などを対応付けた情報である。なお、ノードＮは、複数のメッシュＭの境界に位置する。そのため、メッシュ情報に含まれるメッシュＭの面積として、対応するノードＮを含む複数のメッシュＭの面積の平均値が設定されてもよい。あるいは、メッシュ情報に含まれるメッシュＭの面積として、対応するノードＮを最も座標値の小さい頂点として含むメッシュＭの面積が設定されてもよい。電流経路の断面積は、メッシュＭのラインＬの長さと、対応する構成要素の膜厚とを用いて予め算出される。メッシュ情報ファイルは、たとえば、コンター図表示用データを格納できるファイル形式（たとえば、tif形式）を有する。

（ステップＳ３のサブルーチン）
図２６から図３４を参照して、図１に示すステップＳ３のサブルーチンおよび具体的処理例について説明する。図２６は、図１に示すステップＳ３のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。

（ステップＳ３１）
まず、各構成要素について、メッシュＭが生成された、当該構成要素に対応する１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１を用いて、等価回路レイヤーが設定される（ステップＳ３１）。プロセッサ１０２は、１つのＣＡＤレイヤー１３１にのみ対応する構成要素について、当該１つのＣＡＤレイヤー１３１を当該構成要素の等価回路レイヤーとして設定すればよい。プロセッサ１０２は、複数のＣＡＤレイヤー１３１に対応する構成要素について、当該複数のＣＡＤレイヤー１３１を組み合わせることにより、当該構成要素の等価回路レイヤーを作成すればよい。等価回路レイヤーは、メッシュＭが生成されたＣＡＤレイヤー１３１を用いて作成されるため、複数のノードＮを含む。

（ステップＳ３２）
次に、等価回路レイヤー毎に構成要素に応じた回路素子を配置したときの、回路素子と２つ以上のノードとの接続関係を示す第１ネットリストが作成される（ステップＳ３２）。

ネットリストの書式は、以下のような構造を有する。
Xname node1 node2 ... nodeN value Parameters
上記の構造において、「Xname」は、素子名を示す。「X」には、回路素子の種類を示すアルファベットが設定される。たとえば、抵抗の場合、「X」にRが設定される。キャパシタの場合、「X」にCが設定される。トランジスタの場合、「X」にMが設定される。「name」には、回路素子に対してユニークに付与された名前が設定される。「node1」～「nodeN」には、回路素子に接続されるノードに対してユニークに付与された名前（ノード名）が設定される。「value」には、回路素子の値が設定される。たとえば、抵抗の場合、抵抗値が設定される。「Parameters」は、必要に応じて設定される。たとえば、「Parameters」には、トランジスタのサイズなどが設定され得る。

図２７は、半導体装置の構成と、等価回路レイヤーと、等価回路との関係を示す図である。図２７には、半導体装置２のうち図４のＢ部の構成が示される。

ソース電極２２に対応する構成要素「ソース電極」に対して等価回路レイヤー７０が作成される。構成要素「ソース電極」は、等価回路において、端子９０とＭＯＳＦＥＴ９７のソース端子との間の抵抗９３に対応する。そのため、等価回路レイヤー７０には抵抗素子が配置される。

絶縁膜２７に対応する構成要素「絶縁膜」に対して等価回路レイヤー７１が作成される。構成要素「絶縁膜」は、等価回路において、ＭＯＳＦＥＴ９７のソース端子とゲート端子との間のキャパシタ９６に対応する。そのため、等価回路レイヤー７１にはキャパシタンス素子が配置される。

ゲート電極２１の第１部分２１ａに対応する構成要素「ゲート電極（異方性）」に対して等価回路レイヤー７２が作成される。構成要素「ゲート電極（異方性）」は、等価回路において、端子９１とＭＯＳＦＥＴ９７のゲート端子との間の抵抗９５に対応する。そのため、等価回路レイヤー７２には抵抗素子が配置される。

ベース領域２８、ソース領域２９およびドレイン領域３０に対応する構成要素「ＭＯＳＦＥＴ」に対して等価回路レイヤー７３が作成される。構成要素「ＭＯＳＦＥＴ」は、等価回路において、ＭＯＳＦＥＴ９７に対応する。そのため、等価回路レイヤー７３にはＭＯＳＦＥＴ素子が配置される。

図２８は、等価回路レイヤーに抵抗素子を配置する例を示す図である。図２８には、等価回路レイヤー７０に含まれる１つのメッシュＭのノードＮａ_１～Ｎａ_４が示される。ノードＮａ_１～Ｎａ_４のノード番号は、それぞれ（ｍ，ｎ）、（ｍ，ｎ＋１）、（ｍ＋１，ｎ）および（ｍ＋１，ｎ＋１）である。「ｍ」，「ｍ＋１」は、第１主面２０ａ上の互いに直交する２軸の一方の軸上の位置に応じて付与されるサブ番号である。「ｎ」，「ｎ＋１」は、他方の軸上の位置に応じて付与されるサブ番号である。

電流は、ソース電極２２において様々な方向に流れ得る。そのため、抵抗素子は、等価回路レイヤー７０に含まれるノードＮ間に配置される。具体的には、抵抗素子は、等価回路レイヤー７０に含まれる各メッシュＭの各ラインＬ上に配置される。言い換えると、抵抗素子は、等価回路レイヤー７０に含まれる隣り合うノードＮ間に配置される。

たとえば、図２８に示されるように、等価回路レイヤー７０において、ノードＮａ_１とノードＮａ_２との間に抵抗素子Ｒａ_１_２が配置される。ノードＮａ_１とノードＮａ_３との間に抵抗素子Ｒａ_１_３が配置される。ノードＮａ_２とノードＮａ_４との間に抵抗素子Ｒａ_２_４が配置される。ノードＮａ_３とノードＮａ_４との間に抵抗素子Ｒａ_３_４が配置される。

等価回路レイヤー７０に抵抗素子が配置されると、各抵抗素子とノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３が作成される。

たとえば、等価回路レイヤー７０に対応する第１ネットリスト１３３は、以下のような４つの要素行を含む。
R(ソース電極レイヤーm,nノード-m,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m,nノード) ソース電極レイヤー(m,n+1ノード） 抵抗値(m,nノード-m, n+1ノード）
Rソース電極レイヤー(m,nノード-m+1,nノード) ソース電極レイヤー(m,nノード) ソース電極レイヤー(m+1,nノード） 抵抗値(m,nノード-m+1,nノード）
R(ソース電極レイヤーm,n+1ノード-m+1,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m+1,n+1ノード） 抵抗値(m,n+1ノード-m+1,n+1ノード）
Rソース電極レイヤー(m+1,nノード-m+1,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m+1,nノード) ソース電極レイヤー(m+1,n+1ノード） 抵抗値(m+1,nノード-m+1,n+1ノード）

１行目の要素行は、図２８に示す抵抗素子Ｒａ_１_２とノードＮａ_１，Ｎａ_２との接続関係を示す。「ソース電極レイヤーm,nノード-m,n+1ノード」は、抵抗素子Ｒａ_１_２に付与された素子名である。「ソース電極レイヤー(m,nノード)」は、構成要素「ソース電極」に対応する等価回路レイヤー７０の座標（ｍ、ｎ）のノードＮａ_１に付与されたノード名である。「ソース電極レイヤー(m,n+1ノード)」は、構成要素「ソース電極」に対応する等価回路レイヤー７０の座標（ｍ、ｎ＋１）のノードＮａ_２に付与されたノード名である。同様に、２行目の要素行は、図２８に示す抵抗素子Ｒａ_１_３とノードＮａ_１，Ｎａ_３との接続関係を示す。３行目の要素行は、図２８に示す抵抗素子Ｒａ_２_４とノードＮａ_２，Ｎａ_４との接続関係を示す。４行目の要素行は、図２８に示す抵抗素子Ｒａ_３_４とノードＮａ_３，Ｎａ_４との接続関係を示す。

図２９は、等価回路レイヤーに抵抗素子を配置する別の例を示す図である。図２９には、等価回路レイヤー７２に含まれる１つのメッシュＭのノードＮｂ_１～Ｎｂ_４が示される。ノードＮｂ_１～Ｎｂ_４のノード番号は、それぞれ（ｍ，ｎ）、（ｍ，ｎ＋１）、（ｍ＋１，ｎ）および（ｍ＋１，ｎ＋１）である。

ゲート電極２１の第１部分２１ａにおいて、電流は主に方向Ｄに沿って流れる（図８参照）。そのため、抵抗素子は、等価回路レイヤー７２において、方向Ｄに沿って並ぶノードＮ間に配置される。言い換えると、抵抗素子は、等価回路レイヤー７２に含まれる各メッシュＭの方向Ｄに平行なラインＬ上に配置される。

たとえば、図２９に示されるように、等価回路レイヤー７２において、ノードＮｂ_１とノードＮｂ_２との間に抵抗素子Ｒｂ_１_２が配置される。ノードＮｂ_３とノードＮｂ_４との間に抵抗素子Ｒｂ_３_４が配置される。

等価回路レイヤー７２に抵抗が配置されると、各抵抗素子とノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３が作成される。

たとえば、等価回路レイヤー７２に対応する第１ネットリスト１３３は、以下のような２つの要素行を含む。
R(ゲート電極レイヤーm,nノード-m,n+1ノード) ゲート電極レイヤー(m,nノード) ゲート電極レイヤー(m,n+1ノード） 抵抗値(m,nノード-m, n+1ノード）
R(ゲート電極レイヤーm+1,nノード-m+1,n+1ノード) ゲート電極レイヤー(m+1,nノード) ゲート電極レイヤー(m+1,n+1ノード） 抵抗値(m+1,nノード-m+1,n+1ノード）

１行目の要素行は、図２９に示す抵抗素子Ｒｂ_１_２とノードＮｂ_１，Ｎｂ_２との接続関係を示す。２行目の要素行は、図２９に示す抵抗素子Ｒｂ_３_４とノードＮｂ_３，Ｎｂ_４との接続関係を示す。

図３０は、等価回路レイヤー７１にキャパシタンス素子を配置する例を示す図である。図３０には、等価回路レイヤー７１に含まれる１つのメッシュＭのノードＮｃ_１～Ｎｃ_４が示される。ノードＮｃ_１～Ｎｃ_４のノード番号は、それぞれ（ｍ，ｎ）、（ｍ，ｎ＋１）、（ｍ＋１，ｎ）および（ｍ＋１，ｎ＋１）である。

絶縁膜２７は、ソース電極２２とゲート電極２１の第１部分２１ａとの間において、半導体基板２０の第１主面２０ａに直交する方向に沿った容量成分を提供する（図５参照）。そのため、キャパシタンス素子は、等価回路レイヤー７１の各ノードＮｃに配置される。さらに、等価回路レイヤー７１のノードＮｃに配置されるキャパシタンス素子は、当該ノードＮｃと同じ位置（座標）である、等価回路レイヤー７０のノードＮａと等価回路レイヤー７２のノードＮｂとに接続される。

たとえば、図３０に示されるように、等価回路レイヤー７１において、ノードＮｃ_１～Ｎｃ_４にキャパシタンス素子Ｃｃ_１～Ｃｃ_４がそれぞれ配置される。キャパシタンス素子Ｃｃ_１は、ノードＮｃ_１と同じ位置である、等価回路レイヤー７０のノードＮａ_１と等価回路レイヤー７２のノードＮｂ_１とに接続される。キャパシタンス素子Ｃｃ_２は、ノードＮｃ_２と同じ位置である、等価回路レイヤー７０のノードＮａ_２と等価回路レイヤー７２のノードＮｂ_２とに接続される。キャパシタンス素子Ｃｃ_３は、ノードＮｃ_３と同じ位置である、等価回路レイヤー７０のノードＮａ_３と等価回路レイヤー７２のノードＮｂ_３とに接続される。キャパシタンス素子Ｃｃ_４は、ノードＮｃ_４と同じ位置である、等価回路レイヤー７０のノードＮａ_１と等価回路レイヤー７２のノードＮｂ_１とに接続される。

等価回路レイヤー７１にキャパシタンス素子が配置されると、各キャパシタンス素子とノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３が作成される。

たとえば、等価回路レイヤー７１に対応する第１ネットリスト１３３は、以下のような４つの要素行を含む。
C(絶縁膜レイヤーm,nノード) ゲート電極レイヤー(m,nノード) ソース電極レイヤー(m,nノード） Capacitance(m,nノード）
C(絶縁膜レイヤーm,n+1ノード) ゲート電極レイヤー(m,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m,n+1ノード） Capacitance(m,n+1ノード）
C(絶縁膜レイヤーm+1,nノード) ゲート電極レイヤー(m+1,nノード) ソース電極レイヤー(m+1,nノード） Capacitance(m+1,nノード）
C(絶縁膜レイヤーm+1,n+1ノード) ゲート電極レイヤー(m+1,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m+1,n+1ノード） Capacitance(m+1,n+1ノード）

１行目の要素行は、図３０に示すキャパシタンス素子Ｃｃ_１とノードＮａ_１，Ｎｂ_１との接続関係を示す。なお、「絶縁膜レイヤーm,nノード」は、キャパシタンス素子Ｃｃ_１に付与された素子名である。同様に、２行目の要素行は、図３０に示すキャパシタンス素子Ｃｃ_２とノードＮａ_２，Ｎｂ_２との接続関係を示す。３行目の要素行は、図３０に示すキャパシタンス素子Ｃｃ_３とノードＮａ_３，Ｎｂ_３との接続関係を示す。４行目の要素行は、図３０に示すキャパシタンス素子Ｃｃ_４とノードＮａ_４，Ｎｂ_４との接続関係を示す。

図３１は、等価回路レイヤー７３にＭＯＳＦＥＴ素子を配置する例を示す図である。図３１には、等価回路レイヤー７３に含まれる１つのメッシュＭのノードＮｄ_１～Ｎｄ_４が示される。ノードＮｄ_１～Ｎｄ_４のノード番号は、それぞれ（ｍ，ｎ）、（ｍ，ｎ＋１）、（ｍ＋１，ｎ）および（ｍ＋１，ｎ＋１）である。

ベース領域２８、ソース領域２９およびドレイン領域３０は、ソース電極２２とゲート電極２１の第１部分２１ａとドレイン電極２３との間に配置される（図５参照）。さらに、ベース領域２８、ソース領域２９およびドレイン領域３０において、主に、半導体基板２０の第１主面２０ａに略直交する方向Ｅに沿って電流が流れる。そのため、ＭＯＳＦＥＴ素子は、等価回路レイヤー７３の各ノードＮｄに配置される。さらに、等価回路レイヤー７３のノードＮｄに配置されるＭＯＳＦＥＴ素子は、当該ノードＮｄと同じ位置（座標）である、等価回路レイヤー７０のノードＮａと等価回路レイヤー７２のノードＮｂとに接続される。

ドレイン電極２３は、半導体基板２０の第２主面２０ｂ上の全面に均一に形成される。そのため、ドレイン電極２３に対応するノードとして、単一のノード「drain1」が設定される。そして、等価回路レイヤー７３のノードＮｄに配置されるＭＯＳＦＥＴ素子は、ノード「drain1」にさらに接続される。

たとえば、図３１に示されるように、等価回路レイヤー７３において、ノードＮｄ_１～Ｎｄ_４にＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_１～Ｑｄ_４がそれぞれ配置される。ＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_１～Ｑｄ_４のソース端子およびバルク端子は、ノードＮｄ_１～Ｎｄ_４と同じ位置である、等価回路レイヤー７０のノードＮａ_１～Ｎａ_４にそれぞれ接続される。ＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_１～Ｑｄ_４のゲート端子は、ノードＮｄ_１～Ｎｄ_４と同じ位置である、等価回路レイヤー７２のノードＮｂ_１～Ｎｂ_４にそれぞれ接続される。ＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_１～Ｑｄ_４のドレイン端子は、ノード「drain1」に接続される。

等価回路レイヤー７３にＭＯＳＦＥＴ素子が配置されると、各ＭＯＳＦＥＴ素子とノードとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３が作成される。

たとえば、等価回路レイヤー７３に対応する第１ネットリスト１３３は、以下のような４つの要素行を含む。
M(ＭＯＳＦＥＴレイヤーm,nノード) drain1 ゲート電極レイヤー(m,nノード) ソース電極レイヤー(m,nノード） ソース電極レイヤー(m,nノード） 増幅率(m,nノード）
M(ＭＯＳＦＥＴレイヤーm,n+1ノード) drain1 ゲート電極レイヤー(m,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m,n+1ノード） ソース電極レイヤー(m,n+1ノード） 増幅率(m,n+1ノード）
M(ＭＯＳＦＥＴレイヤーm+1,nノード) drain1 ゲート電極レイヤー(m+1,nノード) ソース電極レイヤー(m+1,nノード） ソース電極レイヤー(m+1,nノード） 増幅率(m+1,nノード）
M(ＭＯＳＦＥＴレイヤーm+1,n+1ノード) drain1 ゲート電極レイヤー(m+1,n+1ノード) ソース電極レイヤー(m+1,n+1ノード） ソース電極レイヤー(m+1,n+1ノード） 増幅率(m+1,n+1ノード）

１行目の要素行は、図３１に示すＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_１とノードＮａ_１，Ｎｂ_１とノード「drai1」との接続関係を示す。なお、「ＭＯＳＦＥＴレイヤーm,nノード」は、ＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_１に付与された素子名である。同様に、２行目の要素行は、図３１に示すＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_２とノードＮａ_２，Ｎｂ_２とノード「drai1」との接続関係を示す。３行目の要素行は、図３１に示すＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_３とノードＮａ_３，Ｎｂ_３とノード「drai1」との接続関係を示す。４行目の要素行は、図３１に示すＭＯＳＦＥＴ素子Ｑｄ_４とノードＮａ_４，Ｎｂ_４とノード「drai1」との接続関係を示す。

このようにして、他の等価回路レイヤーについても回路素子が配置され、当該回路素子とノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３が作成される。

（ネットリスト生成プログラム）
解析者は、テキストエディタ等の編集ソフトを用いて、第１ネットリスト１３３を作成してもよい。あるいは、第１ネットリスト１３３は、ネットリスト生成プログラム１２２を用いて自動的に作成されてもよい。ネットリスト生成プログラム１２２を用いることにより、第１ネットリスト１３３の作成効率が向上する。

図３２は、ネットリスト生成プログラム１２２の構成例を示す図である。図３２に示されるように、ネットリスト生成プログラム１２２は、メインプログラム１２３とプロシージャ群１２４とを含む。プロシージャ群１２４は、回路素子の種類ごとに予め作成された複数のプロシージャを含む。

メインプログラム１２３は、プロシージャ群１２４の中からプロシージャの指定を受け付ける命令を含む。さらに、メインプログラム１２３は、指定されたプロシージャを呼び出す命令と、呼び出されたプロシージャの実行によって生成された第１ネットリスト１３３をストレージ１１０に保存する命令とを含む。

図３２に示す例では、プロシージャ群１２４は、プロシージャ１２４ａ～１２４ｇを含む。各プロシージャは、第１ネットリスト１３３を作成するための引数の入力を促すＧＵＩ（Graphical User Interface）を提供する。各プロシージャは、入力された引数に従って第１ネットリスト１３３を作成する。以下、代表的なプロシージャ１２４ａ～１２４ｄの詳細について説明する。

（プロシージャ１２４ａ）
プロシージャ１２４ａは、等価回路レイヤーに配置される抵抗素子とノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３を作成するための命令群である。

プロシージャ１２４ａは、引数として、抵抗素子が配置される等価回路レイヤーと、当該等価回路レイヤーに付与された識別情報（以下、「等価回路レイヤー名」と称する。）と、当該等価回路レイヤーに対応する構成要素の比抵抗および膜厚とを受ける。すなわち、プロシージャ１２４ａは、抵抗素子が配置される等価回路レイヤーの指定を受け付ける命令と、等価回路レイヤー名を受け付ける命令と、比抵抗および膜厚の値を受け付ける命令とを含む。等価回路レイヤー名は、解析者によって任意に設定される。

さらに、プロシージャ１２４ａは、指定された等価回路レイヤーにおいて隣り合うノードＮ間に抵抗素子を配置する命令、配置した抵抗素子にユニークな素子名を付与する命令とを含む。素子名は、たとえば、等価回路レイヤー名とユニークに付与された番号との組み合わせである。あるいは、素子名は、等価回路レイヤー名と、接続される２つのノードＮの各々のノード番号との組み合わせであってもよい。

さらに、プロシージャ１２４ａは、配置した抵抗素子に接続される２つのノードＮの各々のノード名を設定する命令を含む。ノード名は、たとえば、等価回路レイヤー名と、ノードＮのノード番号との組み合わせである。抵抗素子は、等価回路レイヤーにおいて隣り合うノードＮ間に配置される。そのため、等価回路レイヤー名は、抵抗素子に接続されるノードＮを含むメッシュＭの生成された投影領域に対応する構成要素を識別する。

さらに、プロシージャ１２４ａは、比抵抗および膜厚を用いて、配置した抵抗素子の抵抗値を算出し、算出した抵抗値を第１ネットリストの「value」に設定する命令を含む。

たとえば、メッシュＭが正方形である場合、メッシュＭの面積の平方根がメッシュＭの各ラインＬの長さとなる。そのため、プロシージャ１２４ａは、メッシュ情報ファイル１３２から、メッシュＭの面積を読み出し、当該面積から各メッシュＭのラインＬの長さｌを算出する命令と、算出された長さｌと膜厚との積Ｓを算出する命令とを含んでもよい。長さｌは、抵抗素子の電気経路長である。積Ｓは、抵抗素子の断面積である。そのため、プロシージャ１２４ａは、比抵抗と電気経路長との積を断面積Ｓで割った値を抵抗値として算出する命令をさらに含む。

（プロシージャ１２４ｂ）
プロシージャ１２４ｂは、異方性を有する等価回路レイヤーに配置される抵抗素子とノードとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３を作成するための命令群である。

プロシージャ１２４ｂは、プロシージャ１２４ａと比較して、電流の流れる方向Ｄの指定を受け付ける命令と、指定された方向Ｄに沿って隣り合うノードＮ間にのみ抵抗素子を配置する命令とを含む点で相違する。

プロシージャ１２４ｂは、プロシージャ１２４ａと同様に、比抵抗および膜厚を用いて、配置した抵抗素子の抵抗値を算出する命令を含む。ただし、図８に示されるように、ゲート電極２１の第１部分２１ａは、櫛歯状に形成される。図８の領域６０内において、第１部分２１ａの形成されていない部分が存在する。そのため、プロシージャ１２４ｂは、プロシージャ１２４ａと同じ方法で算出される抵抗値に対して（領域６０の幅）／（櫛歯状の第１部分２１ａの幅の合計）を乗算した値を抵抗値とする命令を含む。

（プロシージャ１２４ｃ）
プロシージャ１２４ｃは、等価回路レイヤーに配置されるキャパシタンス素子とノードとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３を作成するための命令群である。

ある等価回路レイヤーに配置されるキャパシタンス素子は、別の２つの等価回路レイヤーにそれぞれ含まれる２つのノードＮ間に接続される。プロシージャ１２４ｃは、引数として、キャパシタンス素子が配置される等価回路レイヤー（以下、「第１等価回路レイヤー」と称する。）と、第１等価回路レイヤーを識別する識別情報（以下、「第１等価回路レイヤー名」と称する。）とを受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｃは、第１等価回路レイヤーの指定を受け付ける命令と、第１等価回路レイヤー名を受け付ける命令とを含む。第１等価回路レイヤー名は、解析者によって任意に設定される。

さらに、プロシージャ１２４ｃは、引数として、２つのノードＮをそれぞれ含む２つの等価回路レイヤー（以下、「第２等価回路レイヤー」および「第３等価回路レイヤー」と称する。）を受ける。さらに、プロシージャ１２４ｃは、引数として、第２等価回路レイヤーを識別する識別情報（以下、「第２等価回路レイヤー名」と称する。）と、第３等価回路レイヤーを識別する識別情報（以下、「第３等価回路レイヤー名」と称する。）とを受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｃは、第２等価回路レイヤーおよび第３等価回路レイヤーの指定を受け付ける命令と、第２等価回路レイヤー名を受け付ける命令と、第３等価回路レイヤー名を受け付ける命令とを含む。第２，第３等価回路レイヤー名は、解析者によって任意に設定される。

さらに、プロシージャ１２４ｃは、引数として、単位面積当たりの静電容量値を受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｃは、単位面積当たりの静電容量値を受け付ける命令を含む。

さらに、プロシージャ１２４ｃは、指定された第１等価回路レイヤーの各ノードＮにキャパシタンス素子を配置する命令、配置したキャパシタンス素子にユニークな素子名を付与する命令とを含む。素子名は、たとえば、第１等価回路レイヤー名とユニークに付与された番号との組み合わせである。あるいは、素子名は、第１等価回路レイヤー名と、キャパシタンス素子の配置されるノードＮのノード番号との組み合わせである。

さらに、プロシージャ１２４ｃは、各キャパシタンス素子の配置されたノードＮと同じ位置（座標）を有する、第２等価回路レイヤーに含まれるノードＮのノード名を第１ネットリストの「node1」に設定する命令を含む。ノード名は、たとえば、第２等価回路レイヤー名と、ノードＮのノード番号との組み合わせである。

プロシージャ１２４ｃは、各キャパシタンス素子の配置されたノードＮと同じ位置（座標）を有する、第３等価回路レイヤーに含まれるノードＮのノード名を第１ネットリストの「node2」に設定する命令を含む。ノード名は、たとえば、第３等価回路レイヤー名と、ノードＮのノード番号との組み合わせである。

さらに、プロシージャ１２４ｃは、単位面積当たりの静電容量値を用いて、配置したキャパシタンス素子の静電容量値を算出し、算出した静電容量値を第１ネットリストの「value」に設定する命令を含む。具体的には、プロシージャ１２４ｃは、メッシュ情報ファイル１３２から、各メッシュＭの面積を読み出す命令を含む。さらに、プロシージャ１２４ｃは、各メッシュＭの面積と単位面積当たりの静電容量値との積を、当該メッシュＭの１つのノードＮ（たとえば、四角形のメッシュＭの左上のノードＮ）に配置されたキャパシタンス素子の静電容量値として算出する命令を含む。

（プロシージャ１２４ｄ）
プロシージャ１２４ｄは、等価回路レイヤーに配置されるＭＯＳＦＥＴ素子とノードとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３を作成するための命令群である。

ある等価回路レイヤーに配置されるＭＯＳＦＥＴ素子は、別の等価回路レイヤーに含まれる４つのノードＮ間に接続される。プロシージャ１２４ｄは、引数として、ＭＯＳＦＥＴ素子が配置される等価回路レイヤー（以下、「第４等価回路レイヤー」と称する。）と、第４等価回路レイヤーを識別する識別情報（以下、「第４等価回路レイヤー名」と称する。）とを受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｄは、第４等価回路レイヤーの指定を受け付ける命令と、第４等価回路レイヤー名を受け付ける命令とを含む。第４等価回路レイヤー名は、解析者によって任意に設定される。

さらに、プロシージャ１２４ｄは、引数として、４つのノードＮをそれぞれ含む４つの等価回路レイヤー（以下、「第５～８等価回路レイヤー」と称する。）を受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｄは、第５～８等価回路レイヤーの指定を受け付ける命令を含む。第５等価回路レイヤーとして、ドレイン端子に対応するノードＮを含む等価回路レイヤーが指定される。第６等価回路レイヤーとして、ゲート端子に対応するノードＮを含む等価回路レイヤーが指定される。第７等価回路レイヤーとして、ソース端子に対応するノードＮを含む等価回路レイヤーが指定される。第８等価回路レイヤーとして、バルク端子に対応するノードＮを含む等価回路レイヤーが指定される。

なお、図７に示されるように、ＭＯＳＦＥＴ９７のソース端子およびバルク端子は直結される。そのため、通常、第７等価回路レイヤーおよび第８等価回路レイヤーとして、同じ等価回路レイヤーが指定される。

さらに、プロシージャ１２４ｄは、引数として、第５～８等価回路レイヤーを識別する識別情報（以下、「第５～８等価回路レイヤー名」と称する。）を受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｄは、第５～８等価回路レイヤー名を受け付ける命令とを含む。第５～８等価回路レイヤー名は、解析者によって任意に設定される。

なお、上述したように、ドレイン電極２３に対して等価回路レイヤーが設定されない場合が有り得る。そのため、プロシージャ１２４ｄは、第５等価回路レイヤーおよび第５等価回路レイヤー名の代わりに単一のノードＮのノード名の指定を受け付ける命令を含んでもよい。

さらに、プロシージャ１２４ｄは、引数として、単位面積当たりの増幅率を受ける。すなわち、プロシージャ１２４ｄは、単位面積当たりの増幅率を受け付ける命令を含む。

さらに、プロシージャ１２４ｄは、指定された第４等価回路レイヤーの各ノードＮにＭＯＳＦＥＴ素子を配置する命令と、配置したＭＯＳＦＥＴ素子にユニークな素子名を付与する命令とを含む。素子名は、たとえば、第４等価回路レイヤー名とユニークに付与された番号との組み合わせである。あるいは、素子名は、第４等価回路レイヤー名と、ＭＯＳＦＥＴ素子の配置されるノードＮのノード番号との組み合わせであってもよい。

さらに、プロシージャ１２４ｄは、各ＭＯＳＦＥＴ素子の配置されたノードＮと同じ位置（座標）を有する、第５～８等価回路レイヤーにそれぞれ含まれるノードＮのノード名を第１ネットリストの「node1」～「node4」にそれぞれ設定する命令を含む。「node1」に設定されるノード名は、たとえば、第５等価回路レイヤー名とノードＮのノード番号との組み合わせである。「node2」に設定されるノード名は、たとえば、第６等価回路レイヤー名とノードＮのノード番号との組み合わせである。「node3」に設定されるノード名は、たとえば、第７等価回路レイヤー名とノードＮのノード番号との組み合わせである。「node4」に設定されるノード名は、たとえば、第８等価回路レイヤー名とノードＮのノード番号との組み合わせである。

なお、第５等価回路レイヤーおよび第５等価回路レイヤー名の代わりにノード名の指定を受け付けた場合、当該ノード名が「node1」に設定される。

さらに、プロシージャ１２４ｄは、各ノードＮについて、当該ノードＮを含むメッシュＭの面積と単位面積当たりの増倍率との積を第１ネットリストの「value」に設定する命令を含む。

（プロシージャ１２４ｅ）
プロシージャ１２４ｅは、等価回路レイヤー間の接続に用いられる。すなわち、プロシージャ１２４ｅは、等価回路レイヤー間の接続関係を示す第１ネットリストを作成するための命令群である。

プロシージャ１２４ｅは、２つの等価回路レイヤーの指定を受け付ける命令と、指定された２つの等価回路レイヤーの同一座標のノードＮ間のコンタクト抵抗値を受け付ける命令とを含む。

さらに、プロシージャ１２４ｅは、受け付けた情報に従って、指定された２つの等価回路レイヤーの同一座標のノード間にコンタクト抵抗を配置したときの、コンタクト抵抗に関する第１ネットリスト１３３を生成する命令を含む。具体的には、プロシージャ１２４ｅは、コンタクト抵抗にユニークな素子名を付与する命令と、同一座標の２つのノードのノード名を「node1」および「node2」に設定する命令と、コンタクト抵抗値を「value」に設定する命令とを含む。

たとえば、図２７に示す回路に従って、等価回路レイヤー７３と等価回路レイヤー７０とを接続させる場合、解析者は、等価回路レイヤー７３と等価回路レイヤー７０とを指定すればよい。さらに、解析者は、ＳｉＣ、アルミニウム、チタン等の材料間のコンテクト抵抗を考慮して、コンタクト抵抗値を入力すればよい。

ソースワイヤ２５は，ソース電極２２上に直接形成される。そのため、解析者は、構成要素「ソースワイヤ」に対応する等価回路レイヤーと構成要素「ソース電極」に対応する等価回路レイヤー７０とを指定して、プロシージャ１２４ｅを実行させればよい。この場合、ノードＮ間を短絡させればよいため、解析者は、コンタクト抵抗値として０Ωを入力すればよい。

なお、公知の回路シミュレータは、ノード間を短絡させるコマンドを生成する機能を有する。そのため、公知の回路シミュレータをシミュレーションプログラム１２５として用いる場合、シミュレーションプログラム１２５を用いて、ノードＮ間を短絡させるコマンドが生成されてもよい。

（プロシージャ１２４ｆ，１２４ｇ）
プロシージャ１２４ｆ，１２４ｇは、ダイオードおよびＩＧＢＴに関する第１ネットリスト１３３をそれぞれ生成するための命令群である。プロシージャ１２４ａ～１２４ｅと同様に、プロシージャ１２４ｆ，１２４ｇは、対応する回路素子に応じて予め作成される。

（ステップＳ３２のサブルーチン）
図３３は、ネットリスト生成プログラムを用いたときのステップＳ３２のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。図３３には、図３～図５に示される半導体装置２に対する第１ネットリスト１３３の生成例が示される。半導体装置２の等価回路（図７参照）は、抵抗、キャパシタ、ＭＯＳＦＥＴを含む。そのため、プロシージャ群１２４の中から、抵抗、キャパシタおよびＭＯＳＦＥＴに対応するプロシージャが指定される。

図３３に示されるように、プロセッサ１０２は、メインプログラム１２３を起動する（ステップＳ３２１）。次に、プロセッサ１０２は、プロシージャ群１２４のうちの指定されたプロシージャをロードする（ステップＳ３２２）。ここでは、抵抗素子用のプロシージャ１２４ａ，１２４ｂ、キャパシタンス素子用のプロシージャ１２４ｃおよびＭＯＳＦＥＴ素子用のプロシージャ１２４ｄがロードされる。

その後、プロセッサ１０２は、ロードした各プロシージャに従って第１ネットリスト１３３を作成する（ステップＳ３２３～Ｓ３２６）。

ステップＳ３２３では、プロシージャ１２４ａに従って、構成要素「ゲートワイヤ」，「ソースワイヤ」，「ゲート配線」，「ゲート電極（等方性）」，「ソース電極」の各々に対応する等価回路レイヤーに配置された抵抗素子に関する第１ネットリスト１３３が作成される。このとき、構成要素に応じた比抵抗および膜厚が入力される。たとえば、ソース電極２２およびゲート配線２４の材料はアルミニウムであり、ゲート電極２１の材料がポリシリコンである。さらに、ソース電極２２およびゲート配線２４の厚みＤ１は同じであり、ゲート電極２１の厚みＤ２は厚みＤ１と異なる。そのため、構成要素「ゲート配線」，「ソース電極」の各々に対応する等価回路レイヤーに配置される抵抗素子の抵抗値は、アルミニウムの比抵抗および厚みＤ１に応じて算出される。構成要素「ゲート電極（等方性）」に対応する等価回路レイヤーに配置される抵抗素子の抵抗値は、ポリシリコンの比抵抗および厚みＤ２に応じて算出される。

ステップＳ３２４では、プロシージャ１２４ｂに従って、構成要素「ゲート電極（異方性）」に対応する等価回路レイヤーに配置された抵抗素子に関する第１ネットリスト１３３が作成される。ステップＳ３２５では、プロシージャ１２４ｃに従って、構成要素「絶縁膜」に対応する等価回路レイヤーに配置されたキャパシタンス素子に関する第１ネットリスト１３３が作成される。ステップＳ３２４では、プロシージャ１２４ｄに従って、構成要素「ＭＯＳＦＥＴ」に対応する等価回路レイヤーに配置されたＭＯＳＦＥＴ素子に関する第１ネットリスト１３３が作成される。

指定されたプロシージャの全ての実行が終了すると、プロセッサ１０２は、作成された第１ネットリスト１３３をストレージ１１０に保存する（ステップＳ３２７）。

（等価回路レイヤー名の指定）
上述したように、プロシージャ群１２４のプロシージャは、第１ネットリスト１３３のノード名として、解析者によって指定された等価回路レイヤー名と、ノードＮのノード番号との組み合わせを設定する。

１つの構造物を２つの構成要素に分ける場合、当該２つの構成要素にそれぞれ対応する２つの等価回路レイヤーに対して、解析者は、同一の等価回路レイヤー名を指定することが好ましい。

図３４は、構成要素「ゲート電極（異方性）」，「ゲート電極（等方性）」に対応する等価回路レイヤーのノードの一例を示す図である。構成要素「ゲート電極（異方性）」は、図８に示すように、ゲート電極２１のうち領域６０内の第１部分２１ａである。構成要素「ゲート電極（等方性）」は、ゲート電極２１のうち領域６０の周囲の第２部分２１ｂである。そのため、構成要素「ゲート電極（異方性）」に対応する等価回路レイヤー７２の外周上のノードＮｂ_１０～Ｎｂ_１７は、構成要素「ゲート電極（等方性）」に対応する等価回路レイヤー７４の内周上のノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７とそれぞれ一致する。

等価回路レイヤー７２，７４に対して異なる等価回路レイヤー名が指定された場合、第１ネットリスト１３３において、ノードＮｂ_１０～Ｎｂ_１７のノード名は、ノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７のノード名と異なる。この場合、第１ネットリスト１３３を用いた回路シミュレーションを実行すると、ノードＮｂ_１０～１７は、ノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７と異なるノードとして扱われてしまう。そのため、ノードＮｂ_１０～Ｎｂ_１７のノード名をノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７のノード名に変更する処理が必要となる。あるいは、ノードＮｂ_１０～Ｎｂ_１７とノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７とをそれぞれ短絡させる処理が必要となる。

これに対し、等価回路レイヤー７２，７４に対して同じ等価回路レイヤー名が指定された場合、第１ネットリスト１３３において、ノードＮｂ_１０～Ｎｂ_１７のノード名は、ノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７のノード名と同一となる。たとえば、等価回路レイヤー７２，７４に対して等価回路レイヤー名「ゲート電極レイヤー」が指定されると、ノード番号（ｍ１６，ｎ１６）のノードＮｂ_１６およびノードＮｅ_１６のノード名として、「ゲート電極レイヤー（ｍ１６，ｎ１６ノード）」が設定される。このように、ノードＮｂ_１６のノード名は、ノードＮｅ_１６のノード名と一致する。これにより、第１ネットリスト１３３を用いた回路シミュレーションを実行すると、ノードＮｂ_１０～Ｎｂ_１７は、ノードＮｅ_１０～Ｎｅ_１７と同じノードとして扱われる。

（ステップＳ４のサブルーチン）
図３５および図３６を参照して、図１に示すステップＳ４のサブルーチンおよび具体的処理例について説明する。図３５は、図１に示すステップＳ４のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。

（ステップＳ４１）
解析者は、解析システム１に備えられるシミュレーションプログラム１２５を起動させる（ステップＳ４１）。

（ステップＳ４２）
プロセッサ１０２は、解析者の入力に従って、複数の構成要素にそれぞれ対応する複数の等価回路レイヤーのうちの少なくとも１つのノードＮと外部回路との接続関係を示す第２ネットリストを作成する（ステップＳ４２）。外部回路は、解析対象の半導体装置に接続され、電力を半導体装置に供給する回路である。

図３６は、半導体装置に接続される外部回路の一例を示す図である。図３６には、図３～図５に示す半導体装置２に接続される外部回路８が示される。外部回路８は、ゲート電源８１と、抵抗８２，８３と、ダイオード８４と、インダクタンス８５と、ドレイン電源８６とを含む。

グランドと半導体装置２のゲートワイヤ２６との間に、ゲート電源８１と抵抗８２とが直列に接続される。グランドと半導体装置２のソースワイヤ２５との間に、抵抗８３が直列に接続される。グランドと半導体装置２のドレイン電極２３との間に、ドレイン電源８６とインダクタンス８５とが直列に接続される。ダイオード８４は，インダクタンス８５に並列に接続される。

たとえば、プロセッサ１０２は、構成要素「ゲートワイヤ」に対応する等価回路レイヤーのノードＮとグランドとの間に抵抗８２およびゲート電源８１を直列接続させる指示の入力を受け、抵抗８２およびゲート電源８１に関する第２ネットリスト１３４を作成する。同様にして、プロセッサ１０２は、外部回路８の残りの素子に関する第２ネットリスト１３４を作成する。

（ステップＳ４３～Ｓ４６）
プロセッサ１０２は、第１ネットリスト１３３および第２ネットリスト１３４をロードする（ステップＳ４３）。プロセッサ１０２は、第１ネットリスト１３３および第２ネットリスト１３４に基づいて、外部回路から半導体装置に電力を供給したときの回路シミュレーションを実行する（ステップＳ４４）。プロセッサ１０２は、回路シミュレーションの結果データ１３５をストレージ１１０に保存する（ステップＳ４５）。結果データ１３５は、たとえば、各ノードＮの電流値を示す。その後、解析者は、シミュレーションプログラム１２５を終了する（ステップＳ４６）。

（ステップＳ５のサブルーチン）
図３７を参照して、図１に示すステップＳ５のサブルーチンについて説明する。図３７は、図１に示すステップＳ５のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。

（ステップＳ５１）
解析者は、解析システム１に備えられる結果出力プログラム１２６を起動させる（ステップＳ５１）。

（ステップＳ５２）
プロセッサ１０２は、シミュレーションの結果データ１３５をロードする（ステップＳ５２）。

（ステップＳ５３）
プロセッサ１０２は、解析者の入力に従って、各種物理量を計算する（ステップＳ５３）。たとえば、プロセッサ１０２は、各ノードＮの電流密度を計算する。

プロセッサ１０２は、物理量の計算のためにメッシュＭの面積または電流経路の断面積が必要である場合、メッシュ情報ファイル１３２を読み込み、メッシュ情報ファイル１３２によって示されるメッシュＭの面積または電流経路の断面積を用いて物理量を計算する。

たとえば、結果データ１３５が各ノードＮの電流値を示す場合、プロセッサ１０２は、各ノードＮについて、当該ノードＮを含むメッシュＭの面積を用いて、当該ノードＮにおける電流密度を計算する。

（ステップＳ５４、Ｓ５５）
次に、プロセッサ１０２は、計算結果を表示装置１０８に表示する（ステップＳ５４）。たとえば、プロセッサ１０２は、ノード毎の電流密度の分布を示すコンター図を作成し、作成したコンター図を表示装置１０８に表示する。その後、解析者は、結果出力プログラム１２６を終了する（ステップＳ５５）。

コンター図を作成するためには、ノードＮの位置（座標）が必要である。そのため、プロセッサ１０２は、メッシュ情報ファイル１３２から各ノードＮの位置（座標）を読み出し、読み出した位置（座標）を用いてコンター図を作成する。たとえば、プロセッサ１０２は、構成要素「ゲート電極（異方性）」，「ゲート電極（等方性）」に対応する等価回路レイヤーの平面図を表示装置１０８に表示させる。さらに、プロセッサ１０２は、当該平面図において、各ノードＮの位置（座標）に当該ノードＮの電流密度に応じた色を付ける。これにより、解析者は、ゲート電極２１における電流密度の分布を把握できる。

なお、読み出された位置（座標）は、半導体基板の主面に沿った平面上の位置であり、半導体基板の主面に直交する方向（以下、「Ｚ方向」と称する。）の高さを表さない。そのため、プロセッサ１０２は、ノード名に含まれる等価回路レイヤー名に従って、同一の等価回路レイヤー名のノードＮのＺ方向の位置を設定してもよい。たとえば、プロセッサ１０２は、等価回路レイヤー名毎に入力されたＺ座標に従って、各ノードＮのＺ方向の位置を設定すればよい。Ｚ座標は、構成要素の膜厚を考慮して設定される。これにより、コンター図は、半導体装置を３次元で模したモデルにおける物理量（たとえば電流密度）の分布を表す。

（変形例）
上記の説明では、プロシージャ群１２４のプロシージャは、第１ネットリスト１３３のノード名として、解析者によって指定された等価回路レイヤー名と、ノードＮのノード番号との組み合わせを設定するものとした。しかしながら、ノード名の設定方法は、これに限定されるものではない。

図３８は、ノード名の設定方法の一例を示す図である。図３８に示す例では、第１ネットリスト１３３は、各ノードＮのノード名として、当該ノードＮの座標を含む。ノードＮの座標も、ノードＮの位置に応じてユニークに決定される識別情報の１つである。これにより、第１ネットリスト１３３を確認することにより、ノードＮの位置を把握できる。そのため、プロセッサ１０２は、ステップＳ５４において、メッシュ情報ファイル１３２を参照することなく、第１ネットリスト１３３に含まれるノードＮの位置（座標）を用いて、コンター図を作成できる。

さらに、第１ネットリスト１３３は、各ノードＮのノード名として、当該ノードＮに対応するメッシュＭの面積、当該ノードＮにおける電流経路の断面積などを含んでもよい。あるいは、第１ネットリスト１３３は、素子名として、回路素子の配置されるノードＮに対応するメッシュＭ（たとえば、当該ノードＮを最も座標値の小さい頂点として含むメッシュＭ）の面積、当該ノードＮにおける電流経路の断面積などを含んでもよい。これにより、プロセッサ１０２は、ステップＳ５３において、第１ネットリスト１３３から各メッシュＭの面積または各ノードＮにおける電流経路の断面積を読み出し、読み出した情報を用いて、各ノードＮにおける電流密度を計算できる。

上記の説明では、１つの構造物を複数の構成要素に分割する例として、ゲート電極２１を第１主面２０ａに沿って第１部分２１ａと第２部分２１ｂとに分割することを挙げた。しかしながら、第１主面２０ａに直交する方向（深さ方向）に沿って、１つの構造物を複数の構成要素に分割してもよい。たとえば、図５に示す半導体装置のドレイン領域３０における３次元の電流密度分布を確認したい場合、深さ方向に沿ってドレイン領域３０が複数の構成要素に分割される。

図３９は、ドレイン領域を分割することにより得られる複数の構成要素にそれぞれ対応する複数の等価回路レイヤーの一例を示す図である。図３９に示す例では、ドレイン領域３０は、深さ方向に沿ってｎ個の領域６２_１～６２_ｎに等分割される。そして、領域６２_１～６２_ｎの各々が１つの構成要素として設定される。さらに、領域６２_１～６２_ｎにそれぞれ対応する等価回路レイヤー７５_１～７５_ｎが設定される。図３９には、等価回路レイヤー７５_１～７５_ｎの各々について、１つのメッシュＭのみが示される。

等価回路レイヤー７５_１～７５_ｎの各々において、プロシージャ１２４ａを用いて、ノードＮ間に抵抗素子を配置したときの第１ネットリスト１３３が生成される。たとえば、等価回路レイヤー７５_１において、隣り合うノードＮｅ間に抵抗素子Ｒｅを配置したときの第１ネットリスト１３３が生成される。同様に、等価回路レイヤー７５_２において、隣り合うノードＮｆ間に抵抗素子Ｒｆを配置したときの第１ネットリスト１３３が生成される。等価回路レイヤー７５_ｎにおいて、隣り合うノードＮｚ間に抵抗素子Ｒｚを配置したときの第１ネットリスト１３３が生成される。

さらに、プロシージャ１２４ｅを用いて、隣接する２つの領域６２_（ｋ－１)，６２_ｋにそれぞれ対応する等価回路レイヤー７５_（ｋ－１），７５_ｋの同一座標のノードＮ間にコンタクト抵抗を配置したときの第１ネットリスト１３３が生成される。たとえば、等価回路レイヤー７５_１のノードＮｅと等価回路レイヤー７５_２のノードＮｆとの間にコンタクト抵抗Ｒ_ｅ_ｆを配置したときの第１ネットリスト１３３が生成される。コンタクト抵抗値は、ドレイン領域３０の材料に応じて設定される。

図３９に示されるような等価回路レイヤー７５_１～７５_ｎを用いて第１ネットリスト１３３を生成することにより、ドレイン領域３０における３次元の電流密度分布をシミュレートできる。

（作用・効果）
以上のように、本実施の形態に係る解析方法は、ステップＳ１～Ｓ５を備える。ステップＳ１は、半導体装置を構成する複数の構成要素の各々について、半導体基板の主面において当該構成要素の投影領域を設定するステップである。ステップＳ２は、投影領域を分割して複数のメッシュＭを生成するステップである。複数のメッシュＭの各々は、複数のノードＮを頂点とする多角形である。ステップＳ３は、複数のメッシュＭの複数のノードＮから選択される２つ以上のノードＮ間に、複数の構成要素に応じて選択される回路素子を配置したときの、回路素子と２つ以上のノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３を作成するステップである。ステップＳ４は、第１ネットリスト１３３を用いて回路シミュレーションを実行するステップである。ステップＳ５は、回路シミュレーションの結果を出力するステップである。

上記の構成によれば、半導体基板の主面への各構成要素の投影領域を分割することにより得られる複数のメッシュＭの複数のノードＮから選択される２つ以上のノードＮ間に回路素子を配置したときの第１ネットリスト１３３が作成される。回路素子は、構成要素に応じて選択される。選択された２つ以上のノードＮ間に構成要素に応じた回路素子が配置されることにより、回路素子とノードＮとは、半導体装置のモデルを表す。投影領域の複数のメッシュＭへの分割は、公知の様々な手法を用いることができる。そのため、半導体装置のモデルを容易に作成できる。すなわち、回路シミュレーションプログラムの実行に必要な情報の生成に要する時間を短縮できる。

ステップＳ１は、ＣＡＤプログラム１２０を用いて、投影領域の形状および位置を示す１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１を作成するステップＳ１５を含むことが好ましい。さらに、ステップＳ２は、１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１を複数のメッシュＭに分割するステップＳ２３を含むことが好ましい。

半導体装置は、通常、様々なフォトマスクを用いて製造される。フォトマスクのＣＡＤファイルを編集することにより、投影領域の形状および位置を示す１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１を容易に作成できる。そして、ＣＡＤレイヤー１３１を分割することにより、容易に複数のメッシュＭが生成される。

ＣＡＤプログラム１２０は、複数のＣＡＤレイヤー１３１間で重複する部分を、複数のＣＡＤレイヤー１３１のうち１つのＣＡＤレイヤー１３１を除くＣＡＤレイヤー１３１から削除する機能（重複部分の削除機能）を有することが好ましい。投影領域の形状および位置を示す１つ以上のＣＡＤレイヤー１３１は、重複部分の削除機能を有効にして作成されることが好ましい。

重複部分の削除機能を有さない場合、または、重複部分の削除機能が無効に設定された場合、複数のＣＡＤレイヤー１３１は互いに重複する部分を有し得る。この場合、たとえば２つのＣＡＤレイヤー１３１の重複する部分において、通常、一方のＣＡＤレイヤー１３１から生成されるノードＮの位置は、他方のＣＡＤレイヤー１３１から生成されるノードＮの位置と一致しない。そのため、両者のノードＮの位置が一致するように調整されることが好ましい。あるいは、位置の調整を行なわない場合、ノードＮ間に配置される回路素子の特性値を算出するために、ノードＮ間の距離を計算しておく必要がある。

しかしながら、上記の構成によれば、複数の構成要素にそれぞれ対応する複数の投影領域が重複する部分を有していたとしても、当該複数の投影領域にそれぞれ対応する複数のＣＡＤレイヤー１３１のうち１つを除いて、重複する部分が削除される。そのため、位置調整またはノードＮ間の距離の計算の手間を省略できる。さらに、重複部分の削除機能が有効に設定されることにより、ＣＡＤレイヤー１３１から生成されるメッシュＭの個数も削減される。その結果、回路シミュレーションの演算時間も短縮される。

複数のメッシュＭの各々のサイズは、半導体基板の主面において１０個の単位セルの投影される部分の合計サイズよりも大きいことが好ましい。

上記の構成によれば、ノードＮの個数が削減され、回路シミュレーションの演算時間が短縮される。

ステップＳ４は、複数のメッシュＭの複数のノードＮの少なくとも１つのノードＮと半導体装置に接続される外部回路との接続関係を示す第２ネットリスト１３４を作成するステップＳ４２を含む。さらに、ステップＳ４は、第２ネットリスト１３４を用いて回路シミュレーションを実行するステップＳ４３，Ｓ４４を含む。これにより、外部回路から半導体装置に電力が供給されたときの半導体装置の動作をシミュレーションできる。

複数の構成要素は、半導体基板の主面に平行な１つの方向Ｄに電流を流す異方性構成要素を含む。異方性構成要素は、たとえば図８に示すゲート電極２１の第１部分２１ａに対応する構成要素「ゲート電極（異方性）」である。ステップＳ３は、異方性構成要素に対応する投影領域を分割することにより得られる複数のメッシュＭの複数のノードＮのうち、方向Ｄに並ぶノードＮ間に回路素子を配置するステップＳ３２４（Ｓ３２）を含む。

異方性構成要素では、電流は、主に方向Ｄに沿って流れる。上記の構成によれば、異方性構成要素に応じた位置に回路素子を配置できる。

ステップＳ２は、異方性構成要素に対応する投影領域において、多角形の少なくとも１つの辺が方向Ｄに平行となるように複数のメッシュＭを生成するステップＳ２３を含む。上記の構成によれば、方向Ｄに並ぶノードＮ間に回路素子を配置しやすくなる。

ステップＳ２は、複数のノードＮの各々に対して、当該ノードＮの位置に応じてユニークに決定される第１識別情報（たとえばノード番号、座標）を付与するステップＳ２４を含むことが好ましい。さらに、ステップＳ３は、プロシージャ１２４ａ～１２４ｇを用いて、回路素子と２つ以上のノードＮとの接続関係を示す第１ネットリスト１３３を作成するステップＳ３２３～Ｓ３２６を含む。プロシージャ１２４ａ～１２４ｇは、２つ以上のノードＮの各々について、当該ノードＮを含むメッシュＭが生成された投影領域に対応する構成要素を識別する第２識別情報（たとえば「等価回路レイヤー名」）を受け付ける命令を含む。さらに、プロシージャ１２４ａ～１２４ｇは、第１ネットリスト１３３において、２つ以上のノードＮの各々のノード名として、当該ノードＮに付与された第１識別情報と当該ノードＮについて受け付けられた第２識別情報との組み合わせを設定する命令とを含む。

上記の構成によれば、解析者は、たとえば、第２識別情報である等価回路レイヤー名を入力することにより、ノード名を所望のものに設定できる。たとえば、同一の構造物を２つの構成要素に分割している場合、解析者は、当該２つの構成要素に対して同じ等価回路レイヤー名を入力してもよい。これにより、一方の構成要素の投影領域を分割することにより得られる複数のノードＮと、他方の構成要素の投影領域を分割することにより得られる複数のノードＮとのうち、２つの構成要素の境界の同じ位置するノードＮのノード名は、同一となる。そのため、同じ位置の２つのノードＮが異なるノードとして扱われることを回避できる。

ステップＳ２は、複数のノードＮの各々について、当該ノードＮを含むメッシュＭの面積および当該ノードＮにおける電流経路の断面積の少なくとも一方を示すメッシュ情報ファイル１３２を生成するステップＳ２５を含むことが好ましい。ステップＳ５は、シミュレーション結果とメッシュ情報ファイル１３２とを用いて、複数のノードＮの各々の電流密度を計算するステップＳ５３と、複数のノードＮの各々の電流密度を表示するステップＳ５４とを含む。

あるいは、プロシージャは、回路素子に接続される２つ以上のノードＮの各々について、当該ノードＮを含むメッシュＭの面積および当該ノードＮにおける電流経路の断面積の少なくとも一方を示すメッシュ情報を第１ネットリスト１３３に含ませる命令を含んでもよい。ステップＳ５は、第１ネットリスト１３３からメッシュ情報を読み出すステップと、シミュレーション結果とメッシュ情報とを用いて、複数のノードＮの各々の電流密度を計算するステップと、複数のノードＮの各々の電流密度を表示するステップとを含んでもよい。

これらの構成によれば、メッシュ情報ファイル１３２を用いることにより、複数のノードＮの各々の電流密度を精度良く計算できる。

今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 解析システム、２ 半導体装置、８ 外部回路、２０ 半導体基板、２０ａ 第１主面、２０ｂ 第２主面、２１ ゲート電極、２１ａ 第１部分、２１ｂ 第２部分、２２ ソース電極、２３ ドレイン電極、２４ ゲート配線、２５ ソースワイヤ、２６ ゲートワイヤ、２７ 絶縁膜、２８ ベース領域、２９ ソース領域、３０ ドレイン領域、３１～３８ 投影領域、３９～４１，６０，６２_１～６２_ｎ 領域、７０～７４，７５_１～７５_ｎ 等価回路レイヤー、８１ ゲート電源、８２，８３，９３～９５ 抵抗、８４ ダイオード、８５ インダクタンス、８６ ドレイン電源、９０～９２ 端子、９６ キャパシタ、９７ ＭＯＳＦＥＴ、１０２ プロセッサ、１０４ メモリ、１０６ 入力装置、１０８ 表示装置、１１０ ストレージ、１１２ 光学ドライブ、１１４ 記録媒体、１１６ ネットワークインターフェイス、１１８ バス、１２０ ＣＡＤプログラム、１２１ メッシュ生成プログラム、１２２ ネットリスト生成プログラム、１２３ メインプログラム、１２４ プロシージャ群、１２４ａ～１２４ｇ プロシージャ、１２５ シミュレーションプログラム、１２６ 結果出力プログラム、１３１，１３１ａ～１３１ｈ ＣＡＤレイヤー、１３２ メッシュ情報ファイル、１３３ 第１ネットリスト、１３４ 第２ネットリスト、１３５ 結果データ、Ｃ 単位セル、Ｄ，Ｅ 方向、Ｌ ライン、Ｍ メッシュ、Ｎ，Ｎａ～Ｎｆ，Ｎｚ ノード。

Claims (11)

1. 複数の単位セルが周期的に形成される半導体基板と、前記半導体基板の主面に形成され、前記単位セルと接続される電極とを含む半導体装置の電気特性を解析する方法であって、
   前記半導体装置を構成する複数の構成要素の各々について、前記主面において当該構成要素の投影される領域を設定するステップと、
   前記領域を分割して複数のメッシュを生成するステップとを備え、前記複数のメッシュの各々は、複数のノードを頂点とする多角形であり、前記方法は、さらに、
   前記複数のメッシュの前記複数のノードから選択される２つ以上のノード間に、前記複数の構成要素に応じて選択される回路素子を配置したときの、前記回路素子と前記２つ以上のノードとの接続関係を示す第１ネットリストを作成するステップと、
   前記第１ネットリストを用いて回路シミュレーションを実行するステップと、
   前記回路シミュレーションの結果を出力するステップとを備える方法。
2. 前記設定するステップは、ＣＡＤプログラムを用いて、前記領域の形状および位置を示す１つ以上のＣＡＤレイヤーを作成するステップを含み、
   前記生成するステップは、前記１つ以上のＣＡＤレイヤーを前記複数のメッシュに分割するステップを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記ＣＡＤプログラムは、複数のＣＡＤレイヤー間で重複する部分を、前記複数のＣＡＤレイヤーのうち１つのＣＡＤレイヤー以外のＣＡＤレイヤーから削除する機能を有し、
   前記１つ以上のＣＡＤレイヤーは、前記機能を有効にして作成される、請求項２に記載の方法。
4. 前記複数のメッシュの各々のサイズは、前記主面において前記複数の単位セルのうちの１０個の単位セルの投影される部分の合計サイズよりも大きい、請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
5. 前記実行するステップは、
   前記複数のメッシュの前記複数のノードのうちの少なくとも１つのノードと前記半導体装置に接続される外部回路との接続関係を示す第２ネットリストを作成するステップと、
   前記第２ネットリストを用いて前記回路シミュレーションを実行するステップとを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
6. 前記複数の構成要素は、前記主面に平行な１つの方向に電流を流す異方性構成要素を含み、
   前記回路素子は、前記異方性構成要素に対応する前記領域を分割することにより得られる前記複数のメッシュの前記複数のノードのうち、前記１つの方向に並ぶノード間に配置される、請求項１から５のいずれか１項に記載の方法。
7. 前記生成するステップは、前記異方性構成要素に対応する前記領域において、前記多角形の少なくとも１つの辺が前記１つの方向に平行となるように前記複数のメッシュを生成するステップを含む、請求項６に記載の方法。
8. 前記生成するステップは、前記複数のノードの各々に対して、当該ノードの位置に応じてユニークに決定される第１識別情報を付与するステップを含み、
   前記作成するステップは、プロシージャを用いて前記第１ネットリストを作成するステップを含み、
   前記プロシージャは、
   前記２つ以上のノードの各々について、当該ノードを含むメッシュが生成された前記領域に対応する構成要素を識別する第２識別情報を受け付ける命令と、
   前記第１ネットリストにおいて、前記２つ以上のノードの各々の名称として、当該ノードに付与された前記第１識別情報と当該ノードについて受け付けられた前記第２識別情報との組み合わせを設定する命令とを含む、請求項１に記載の方法。
9. 前記生成するステップは、前記複数のノードの各々について、当該ノードを含むメッシュの面積および当該ノードにおける電流経路の断面積の少なくとも一方を示すメッシュ情報を生成するステップをさらに含み、
   前記出力するステップは、
   前記回路シミュレーションの結果と前記メッシュ情報とを用いて、前記複数のノードの各々の電流密度を計算するステップと、
   前記複数のノードの各々の電流密度を表示するステップとを含む、請求項１に記載の方法。
10. 前記作成するステップは、プロシージャを用いて前記第１ネットリストを作成するステップを含み、
    前記プロシージャは、前記２つ以上のノードの各々について、当該ノードを含むメッシュの面積および当該ノードにおける電流経路の断面積の少なくとも一方を示すメッシュ情報を前記第１ネットリストに含ませる命令を含み、
    前記出力するステップは、
    前記第１ネットリストから前記メッシュ情報を読み出すステップと、
    前記回路シミュレーションの結果と前記メッシュ情報とを用いて、前記複数のノードの各々の電流密度を計算するステップと、
    前記複数のノードの各々の電流密度を表示するステップとを含む、請求項１に記載の方法。
11. 複数の単位セルが周期的に形成される半導体基板と、前記半導体基板の主面に形成され、前記単位セルと接続される電極とを含む半導体装置の電気特性を解析するシステムであって、
    １つ以上のプロセッサと、
    前記１つ以上のプロセッサによって実行される１つ以上のプログラムを格納する記憶装置とを備え、
    前記１つ以上のプログラムは、
    前記半導体装置を構成する複数の構成要素の各々について、前記主面において当該構成要素の投影される領域を設定する命令と、
    前記領域を分割して複数のメッシュを生成する命令とを備え、前記複数のメッシュの各々は、複数のノードを頂点とする多角形であり、前記１つ以上のプログラムは、さらに、
    前記複数のメッシュの前記複数のノードから選択される２つ以上のノード間に、前記複数の構成要素に応じて選択される回路素子を配置したときの、前記回路素子と前記２つ以上のノードとの接続関係を示すネットリストを作成する命令と、
    前記ネットリストを用いて回路シミュレーションを実行する命令と、
    前記回路シミュレーションの結果を出力する命令とを備えるシステム。
    

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