JP7349697B2 - 減圧弁 - Google Patents

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Description

本発明は、減圧弁に関する。
排出ガス削減の観点から、圧縮天然ガス(以下CNGという)を燃料とする自動車用エンジンが注目されている。また、水素ガスを酸素と反応させる燃料電池により電力を発生させ、その電力でモータを駆動して走行する自動車も既に実用化されている。
ここで、CNGや水素ガスは高圧の状態でボンベに貯蔵され、必要に応じてエンジンや燃料電池に供給される。したがって、ボンベ内のCNGや水素ガスを所定圧に減圧するために、特許文献1に示すようなレギュレータが従来から使用されている。
特開2000-249000号公報
ところで、特許文献1に記載のレギュレータでは、カバー内において、大気に開放した大気室と、減圧室とを仕切るゴム製のダイアフラムを含む受圧部が設けられている。また、受圧部には調圧バルブが連結されており、ダイアフラムの上昇により調圧バルブが上動してガスの流れを遮断し、ダイアフラムの下降により調圧バルブが下動してガスの流れを許容するようになっている。
ここで、特許文献1では、ゴム製のダイアフラムをフランジで挟持し、かかるフランジをボルト固定しているため、受圧部を開弁方向に付勢するコイルバネを設けたことと相まって、カバーが大型化・重量化するという問題がある。また、ゴム製のダイアフラムを、大気に開放した大気室に面して配置しているために、大気圧の変動により調圧バルブの開弁タイミングが変わる虞れもある。加えて、外部より進入した異物が、ゴム製のダイアフラムを傷つける虞れがある。
そこで本発明は、大気圧の影響を受けることなく、精度よく動作する小型の減圧弁を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明による減圧弁は、
高圧ガス源に接続可能な高圧室と、外部の消費装置に接続可能な減圧室と、前記高圧室と前記減圧室との間に設けられた中間室とを備えた弁本体と、
前記高圧室と前記中間室との間の第1流路を遮断する第1遮断位置と、前記第1流路を開放する第1開放位置との間で変位可能な第1弁と、
前記第1弁を前記第1遮断位置に向かって付勢する第1駆動装置と、
前記中間室と前記減圧室との間の第2流路を遮断する第2遮断位置と、前記第2流路を開放する第2開放位置との間で変位可能な第2弁と、
前記第2弁を前記第2遮断位置又は前記第2開放位置に駆動する第2駆動装置と、を有し、
前記第1駆動装置は、不活性ガスを封入した圧力室と、前記中間室に連通した受圧室と、前記圧力室と前記受圧室とを仕切る山谷形状金属材とを備え、
前記山谷形状金属材は、前記圧力室と前記受圧室との圧力差に応じて変形し、前記第1弁を変位させ、
前記弁本体において、前記第2流路に隣接して、不凍液を流す通路を並行して形成した、ことを特徴とする。
本発明により、大気圧の影響を受けることなく、精度よく動作する小型の減圧弁を提供することができる。
図1は、第1の実施形態における減圧弁1の上面図である。 図2は、図1のA-A線における断面を側面視した断面図である。 図3は、図1のB-B線における断面を側面視した断面図である。 図4は、弁座組立体の周辺を示す拡大断面図であり、(a)は電磁弁体が第2遮断位置にある状態を示し、(b)は電磁弁体が第2開放位置にある状態を示す。 図5は、変形例にかかる弁座組立体の周辺を示す拡大断面図である。 図6は、第2の実施形態にかかる減圧弁における図2と同様な断面を側面視した断面図である。
以下、図面を参照して、本発明にかかる実施形態について説明する。なお、本明細書中「山谷形状金属材」とは、少なくとも一部に山谷形状が形成された薄肉の金属材であって、山谷の間隔或いは起伏が変化するように弾性変形可能なものをいう。
[第1の実施形態]
図面を参照して、第1の実施形態における減圧弁1の概要について説明する。図1は、本実施形態における減圧弁1の上面図である。図2は、図1のA-A線における断面を側面視した断面図である。図3は、図1のB-B線における断面を側面視した断面図であるが、電磁弁機構は省略している。
減圧弁1は高圧ガスの減圧に用いられると好適である。ここで、高圧ガスとは、高圧ボンベに貯蔵され高圧に維持されたCNG(ボンベ圧:20MPa以下)、又は水素ガス(ボンベ圧:35~70MPa)をいう。
図2において、減圧弁1は、弁本体2と、機械弁機構3と、電磁弁機構4とを備える。ここで、機械弁機構3の軸線をLとし、電磁弁機構4の軸線をOとする。ここで、それぞれ第1弁、第2弁の変位方向となる軸線L,Oは互いに直交している。
弁本体2は、軸線L方向に延在する第1孔21と、軸線O方向に延在する第2孔22とを有する。第1孔21は、図2で左端側の大径円筒孔21aと、図2で右端側の中径円筒孔21bと、大径円筒孔21aと中径円筒孔21bとを連通する小径円筒孔21cとを有する。小径円筒孔21cに連通するようにして開口21eが形成され、開口21eは、入側ガスコネクタGIC(図1)を介して外部のボンベなどの高圧ガス源(不図示)に接続されている。
第2孔22は、第2流路である連通孔22aを介して中径円筒孔21bに連通している。また第2孔22に連通するようにして開口22bが形成され、開口22bは、出側ガスコネクタGOC(図1)を介して外部の消費装置(不図示)に接続されている。消費装置とはガスを消費する装置であり、CNGの場合には内燃機関、水素ガスの場合には燃料電池が相当する。ここで、小径円筒孔21cの内部が高圧室を構成し、中径円筒孔21bの内部が中圧室を構成し、第2孔22の内部が減圧室を構成する。
(機械弁機構)
機械弁機構3は、パワーエレメント31と、作動棒32と、コイルばね33と、ばね受け部材34とを有する。
大径円筒孔21aには、小径円筒孔21cに隣接して、環状のシール部材23と、段付き環状の抜け止め部材24と、パワーエレメント31が配置されている。抜け止め部材24は、その周囲に雄ねじ24aが形成されており、大径円筒孔21aの内周に形成された雌ねじ21dに螺合し、シール部材23の抜け止めの役割を果たしている。シール部材23はリップパッキンとすることで、作動棒32が摺動する際の摺動抵抗を減少できる。
次に、パワーエレメント31について説明する。第1駆動装置を構成するパワーエレメント31は、栓311と、上蓋部材312と、ダイアフラム313と、ストッパ部材314と、受け部材315とを有する。
上蓋部材312は、中央の円錐部312aと、円錐部312aの下端から外周に広がる環状のフランジ部312bとを有する。円錐部312aの頂部には開口312cが形成され、栓311により封止可能となっている。
ダイアフラム313は、SUS製であり、同心円の凹凸形状(山谷形状)を複数個形成した薄い板材からなる。ストッパ部材314は、ダイアフラム313と、作動棒32との間に配置されている。
受け部材315は、上蓋部材312のフランジ部312bの外径とほぼ同じ外径を持つフランジ部315aと、軸線Lと略直交する環状の支持面を持つ段差部315bと、中空円筒部315cとを有している。中空円筒部315cの外周には雄ねじ315dが形成されている。
上蓋部材312のフランジ部312bと、ダイアフラム313と、受け部材315のフランジ部315aとは、外周部が例えばTIG溶接やレーザ溶接、プラズマ溶接等により周溶接されて一体化されている。
上蓋部材312とダイアフラム313とで囲われる空間(圧力室PO)内には、不活性ガスが封入されており、上蓋部材312に形成された開口312cが栓311により封止され、更にプロジェクション溶接等を用いて栓311は上蓋部材312に固定されている。
パワーエレメント31は、弁本体2への組み込む前の状態において、圧力室POに封入された作動ガスによりダイアフラム313が受け部材315側に張り出す形で圧力を受ける。このため、ダイアフラム313は、ストッパ部材314の片面に当接して支持される。
パワーエレメント31を弁本体2に組み付けることにより、受け部材315と弁本体2の端面とは、パッキンPKにより封止される。
略円筒状の作動棒32は、小径円筒孔21cとほぼ同径の円筒部32aと、小径円筒孔21cより小径の縮径部32bと、小径円筒孔21cより大径の弁部32cとを連設してなり、軸線方向に貫通したバイパス孔32dを有している。また、バイパス孔32dから径方向に延在し、受圧室PDに開口する副孔32gが形成されている。バイパス孔32d及び副孔32gがバイパス流路を構成する。
バイパス孔32d及び副孔32gを介して、中径円筒孔21b内(中間室)と、受圧室PDとが連通するようになっている。受圧室PDと小径円筒孔21c内(高圧室)との間は、シール部材23によりシールされている。
第1弁を構成する弁部32cは、円錐面32eと、環状のばね受け部32fとを有する。円錐面32eは、弁本体2における小径円筒孔21cと中径円筒孔21bとの間に形成された環状の弁座21fに当接可能となっている。弁座21fと円錐面32eとの間が第1流路を構成する。
中径円筒孔21bの端部には、雌ねじ21gが形成されている。略円柱状のばね受け部材34は、外周の一部に雄ねじ34aが形成されており、雄ねじ34aを雌ねじ21gに螺合させることにより、中径円筒孔21bにばね受け部材34が取り付けられる。中径円筒孔21bと、ばね受け部材34との間は、O-リングOR1によりシールされる。
作動棒32の弁部32cのばね受け部32fと、ばね受け部材34との間には、コイルばね33が配置され、作動棒32をパワーエレメント31側に向かって付勢している。
(不凍液流路構造)
図3において、弁本体2には、入口側通路21hと、出口側通路21iと、入口側通路21hと出口側通路21iとを接続する中間通路21jとが形成されている。入口側通路21hには入側液コネクタLICが接続され、出口側通路21iには出側液コネクタLOCが接続されている。入側液コネクタLICと出側液コネクタLOCは、不図示の不凍液循環路に接続されており、入側液コネクタLICからは比較的液温の高い不凍液が供給され、弁本体2内を通って出側液コネクタLOCから流出するようになっている。
図1~3に示すように、中間通路21jは、連通孔22aに隣接して並行して配置されている。また、入口側通路21hが中間室に近く、出口側通路21iが減圧室に近くなっている。
(電磁弁機構)
図2において、比例式の電磁弁機構4は、ハウジング41と、ハウジング41内に配置され外部の電源に接続された環状の電磁コイル42と、ハウジング41にねじ止めされてこれを支持する円筒状の支持部材43と、電磁コイル42の内部に配置されたプランジャ44と、支持部材43とプランジャ44との間に配置されたコイルばね45と、プランジャ44に連結された円柱状の電磁弁体46と、第2孔22を封止しつつ支持部材43を弁本体2に取り付けるとともにプランジャ44をガイドする中空円筒状のガイド部材47とを有する。電磁コイル42が第2駆動装置を構成する。本実施形態では、電磁弁機構4は遮断弁を兼ねる。
第2弁を構成する電磁弁体46は、軸線Oに沿って第2孔22内を延在しており、その下端はテーパ部46aとなっている。第2孔22の奥端において、連通孔22aの周囲に弁座組立体26が配置されている。
図4は、弁座組立体26の周辺を示す拡大断面図である。弁座組立体26は、連通孔22aの端部周囲に配置された樹脂シート26aと、第2孔22にカシメ固定され樹脂シート26aを保持する環状板26bとを有する。樹脂シート26aと弁本体2との間を封止すべく、O-リングOR2が配置されている。
樹脂シート26aは、円形の中央開口26cと、中央開口26cの第2孔22側に形成された円錐部26dとを有する。円錐部26dは、電磁弁体46のテーパ部46aが接したときに調心作用を発揮して、偏当たりによるガス漏れを抑制する機能を有する。なお、電磁弁を用いた電磁弁機構の代わりに、アクチュエータにより弁体を駆動する電動弁を用いることもできる。
(減圧弁の動作)
次に、減圧弁1の動作について説明する。図1、2において、外部の高圧ガス源から、入側ガスコネクタGIC及び弁本体2の開口21eを介して、作動棒32の縮径部32bと、小径円筒孔21cとの間の環状空間に高圧ガスが導入されている。まず、パワーエレメント31内の圧力室PO内のガス圧が、コイルばね33の付勢力と、受圧室PD内のガス圧の合力よりも大きい(すなわち中径円筒孔21b内のガス圧が所定値以下である)と、作動棒32は軸線Lに沿って中径円筒孔21b側へと変位する。すると、弁座21fから弁部32cの円錐面32eが離間し、その間を通って、高圧ガスが小径円筒孔21cから中径円筒孔21bへと移動する。この時の作動棒32の位置を第1開放位置という。
中径円筒孔21b内に進入した高圧ガスは、バイパス孔32d及び副孔32gを通って、受圧室PD内へと進入し、受圧室PD内のガス圧が増大する。ここで中径円筒孔21b内のガス圧が所定値を超えると、ダイアフラム313が図2で左方へと押圧される。それにより、作動棒32がパワーエレメント31側へと変位し、弁座21fに円錐面32eが着座することで、小径円筒孔21cから中径円筒孔21bへの高圧ガスの流れが遮断される。この時の作動棒32の位置を、第1遮断位置という。かかる状態では、小径円筒孔21cのガス圧よりも、中径円筒孔21b内のガス圧の方が一段低くなる。中径円筒孔21bから、第2孔22への高圧ガスの移動がなければ、弁座21fに円錐面32eが着座した状態が維持される。
一方、外部の電源から電磁弁機構4の電磁コイル42に電力が供給されない場合、プランジャ44がコイルばね45の付勢力によって、弁座組立体26側に変位し、電磁弁体46が樹脂シート26aに押し付けられた状態になる。この時の電磁弁体46の位置を、第2遮断位置(図4(a)参照)という。このため、高圧ガスが中径円筒孔21bから第2孔22へと移動せず、減圧弁1の動作はガスを遮断した状態を維持する。
これに対し、外部の電源から電磁弁機構4の電磁コイル42に電力が供給された場合、電磁コイル42から発生した電磁力により、コイルばね45の付勢力に抗してプランジャ44が引き戻され、電磁弁体46が樹脂シート26aから離間する。この時の電磁弁体46の位置を、第2開放位置(図4(b)参照)という。
それにより、連通孔22a及び電磁弁体46と樹脂シート26aとの間を通って、高圧ガスが中径円筒孔21bから第2孔22へと移動し、さらに開口22b及び出側ガスコネクタGOCを通って外部の消費装置へと供給される。この高圧ガスの移動により、中径円筒孔21b内のガス圧が所定値以下となれば、上述の通り作動棒32が変位して、高圧ガスが小径円筒孔21cから中径円筒孔21bへと移動する。電磁弁機構4は、電磁弁体46の開度を調整可能となっており、その開度を調整することで、第2孔22内のガス圧を、中径円筒孔21b内のガス圧より低い規定値に設定する。
本実施の形態によれば、山谷形状金属材であるダイアフラム313を用いて作動棒32を駆動しているため、ゴム製のダイアフラムを用いる場合と比べ、減圧弁1の小型化・軽量化が可能になる。また、パワーエレメント31の内部が大気に開放されていないため、ダイアフラム313の作動が大気圧の変動の影響を受けることはなく、また外部から異物が侵入することもない。さらに、金属製のダイアフラム313は耐久性に優れるため、長期間にわたって安定した減圧機能を発揮することができる。
更に本実施形態によれば、不凍液が流れる中間通路21jが、連通孔22aに隣接して並行して配置されているため、十分な伝熱面積を確保できる。このため、高圧ガスが中径円筒孔21bから第2孔22へと移動する際に膨張して周囲の熱を奪ったとしても、中間通路21jを通過する不凍液により加温することで、弁の凍結などを抑制することができる。特に、入口側通路21hが中間室に近く、出口側通路21iが減圧室に近くなっているため、弁の凍結防止効果は高くなっている。
また、本実施の形態においては、パワーエレメント31のダイアフラム313を、中径円筒孔21bから、メイン流路となる連通孔22aに比して小径のバイパス孔32dを介して連通した受圧室PDに面して配置している。このため、電磁弁体46の開閉時に連通孔22a周辺でガス圧が急激に上昇した場合でも、ダイアフラム313の破損などの不具合を抑制できる。
(変形例)
図5は、変形例にかかる弁座組立体26Aの周辺を示す拡大断面図である。弁座組立体26Aは、樹脂シート体27と、O-リングOR3とを有する。例えばPPS製である樹脂シート体27は、環状のシート部27aと、連通孔22aに嵌合するガイド部27bと、シート部27aとガイド部27bとの間に形成された周溝27cとを有する。ガイド部27bは、軸線O方向に延在する3本の爪27dを有している。また、O-リングOR3が周溝27c内に配置されている。
電磁弁体46Aの先端46Aeは部分球状となっており、またシート部27aの対向面27eは円錐状となっている。連通孔22aにおける第2孔22との境界部には、テーパ状の面取り部22cが形成されており、O-リングOR3が当接可能となっている。
電磁弁体46Aが、連通孔22aに接近したときは、電磁弁体46Aの先端がシート部27aの対向面27eに当接し、これによりセンタリング機能を発揮する。また、電磁弁体46Aの先端がシート部27aを押圧することで、シート部27aが面取り部22cの周囲における第2孔22の底面に着座して、連通孔22aから第2孔22に向かうガスの流れを遮断する。このとき、周溝27cが連通孔22aに向かって変位することで、O-リングOR3が面取り部22cに当接し、これによりガス漏れ防止を補強できる。
一方、電磁弁体46Aが連通孔22aから遠ざかるときは、連通孔22a内のガス圧により樹脂シート体27が押されて電磁弁体46Aに追従して変位する。これにより、O-リングOR3が面取り部22cから離間するため、連通孔22a内の高圧ガスは、O-リングOR3と面取り部22cとの隙間、及びシート部27aと第2孔22の底面との隙間を介して、第2孔22側に移動することとなる。なお、ガイド部27bは連通孔22aに対して摺動抵抗を付与することで、開弁時における樹脂シート体27の急激な変位を抑制するように機能する。
[第2の実施形態]
次に、第2の実施形態における減圧弁1Bについて説明する。図6は、減圧弁1Bにおける図2と同様な断面を側面視した断面図である。本実施形態の減圧弁1Bは、上述した減圧弁1に対し、機械弁機構3Bと、それに対応した弁本体2Bの構成のみが異なる。それ以外の構成は上述した実施の形態と同様であるため、同じ符号を付して重複説明を省略する。
弁本体2Bは、軸線L方向に延在する第1孔21Bと、軸線O方向に延在する第2孔22とを有する。第1孔21Bは、図6で左端側の大径円筒孔21Baと、図6で右端側の中径円筒孔21Bbと、大径円筒孔21Baと中径円筒孔21Bbとを連通する小径円筒孔21Bcとを有する。小径円筒孔21Bcに連通するようにして開口(不図示)が形成されており、この開口は外部のボンベなどの高圧ガス源(不図示)に接続されている。ここで、小径円筒孔21Bc内が高圧室を構成し、中径円筒孔21Bb内が中圧室を構成する。
(機械弁機構)
機械弁機構3Bは、ベローズ組立体31Bと、作動棒32と、コイルばね33と、ばね受け部材34Bと、円柱状の雄ねじ部材35Bを有する。
大径円筒孔21Baには、小径円筒孔21Bcに隣接して、環状のシール部材23と、段付き環状の抜け止め部材24と、ベローズ組立体31Bが配置されている。抜け止め部材24の周囲に形成された雄ねじは、大径円筒孔21Baの内周に形成された雌ねじに螺合している。
ベローズ組立体31Bは、作動板31Baと、支持板31Bbと、作動板31Baと支持板31Bbとを連結するベローズ31Bcと、ベローズ31Bc内に配置され作動板31Baと支持板31Bbとを離間する方向に付勢する補助ばね31Bdとを有する。薄肉筒状のベローズ31BcはSUS製である。ベローズ31Bcの内部に不活性ガスが封入された状態で、ベローズ31Bcの端部がそれぞれ作動板31Baと支持板31Bbの外周に溶接されている。山谷形状金属材であるベローズ31Bcの内部が、圧力室POを構成する。
作動板31Baは、抜け止め部材24の外向き面に対向して配置され、その中央には有底筒状の受け部31Beを形成している。受け部31Beは、抜け止め部材24を貫通した作動棒32の一端を支持している。
支持板31Bbは、雄ねじ部材35Bの内向き面に取り付けられている。雄ねじ部材35Bの周囲に形成された雄ねじ35Baは、大径円筒孔21Baの端部内周に形成された雌ねじ21Bkに螺合している。大径円筒孔21Baと雄ねじ部材35Bとの間は、O-リングOR4によりシールされている。大径円筒孔21Baの内側でベローズ31Bcの外側であって且つ雄ねじ部材35Bと抜け止め部材24との間が、受圧室PDを構成する。作動棒32の副孔32gは、受圧室PD内で開口している。
作動棒32との間でコイルばね33を保持するばね受け部材34Bは、円盤形状であって、中径円筒孔21Bbの端部外周に設けられたカシメ部CKをカシメることで、O-リングOR3を介在させつつ弁本体2Bに取り付けられている。
(減圧弁の動作)
次に、減圧弁1Bの動作について説明する。図6において、外部の高圧ガス源から小径円筒孔21Bc内に高圧ガスが導入されている。まず、補助ばね31Bdの付勢力と、圧力室PO内のガス圧の合力が、コイルばね33の付勢力と、受圧室PD内のガス圧の合力よりも大きい(すなわち中径円筒孔21Bb内のガス圧が所定値以下である)と、ベローズ31Bcが拡張して作動板31Baが図6で右方へと押圧され、作動棒32は軸線Lに沿って中径円筒孔21Bb側へと変位する。すると、弁座21fから弁部32cの円錐面32eが離間し、その間を通って、高圧ガスが小径円筒孔21Bcから中径円筒孔21Bbへと移動する。この状態を第1開放位置という。
中径円筒孔21Bb内に進入した高圧ガスは、作動棒32のバイパス孔32d及び副孔32gを通って、受圧室PD内へと進入し、受圧室PD内のガス圧が増大する。中径円筒孔21Bb内のガス圧が所定値を超えると、ベローズ31Bcが収縮して作動板31Baが図6で左方へと押圧される。
それにより、作動棒32が雄ねじ部材35B側へと変位し、弁座21fに円錐面32eが着座することで、小径円筒孔21Bcから中径円筒孔21Bbへの高圧ガスの流れが遮断される。これを第1遮断位置という。かかる状態では、小径円筒孔21Bcのガス圧よりも、中径円筒孔21Bb内のガス圧の方が一段低くなる。中径円筒孔21Bbから、第2孔22への高圧ガスの移動がなければ、弁座21fに円錐面32eが着座した状態が維持される。電磁弁機構4の動作は、上述した実施の形態と同様である。
本実施形態においては、第1の実施形態に対して、機械弁機構の軸線Lに直交する方向の寸法を抑えることができ、また作動棒32のストローク量を大きく確保できる。
なお、本発明は、上述の実施形態に限定されない。本発明の範囲内において、上述の実施形態の任意の構成要素の変形が可能であり、また上述の実施形態における任意の構成要素の追加または省略が可能である。
1,1B 減圧弁
2,2B 弁本体
3、3B 機械弁機構
4 電磁弁機構
21 第1孔
22 第2孔
26 弁座組立体
31 パワーエレメント
31B ベローズ組立体
31Bc ベローズ
32 作動棒

Claims (7)

  1. 高圧ガス源に接続可能な高圧室と、外部の消費装置に接続可能な減圧室と、前記高圧室と前記減圧室との間に設けられた中間室とを備えた弁本体と、
    前記高圧室と前記中間室との間の第1流路を遮断する第1遮断位置と、前記第1流路を開放する第1開放位置との間で変位可能な第1弁と、
    前記第1弁を駆動する第1駆動装置と、
    前記中間室と前記減圧室との間の第2流路を遮断する第2遮断位置と、前記第2流路を開放する第2開放位置との間で変位可能な第2弁と、
    前記第2弁を前記第2遮断位置と前記第2開放位置との間で駆動する第2駆動装置と、を有し、
    前記第1駆動装置は、不活性ガスを封入した圧力室と、前記中間室に連通した受圧室と、前記圧力室と前記受圧室とを仕切る山谷形状金属材とを備え
    前記山谷形状金属材は、前記圧力室と前記受圧室との圧力差に応じて変形し、前記第1弁を変位させ、
    前記弁本体において、前記第2流路に隣接して、不凍液を流す通路を並行して形成した、
    ことを特徴とする減圧弁。
  2. 前記山谷形状金属材はダイアフラムである、
    ことを特徴とする請求項1に記載の減圧弁。
  3. 前記山谷形状金属材はベローズである、
    ことを特徴とする請求項1に記載の減圧弁。
  4. 前記第2弁は電磁弁又は電動弁である、
    ことを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の減圧弁。
  5. 前記第1弁は、前記弁本体の前記高圧室から前記中間室まで延在する作動棒を備え、前記高圧室内における前記作動棒の外側に、前記高圧ガス源から高圧ガスが導入される、
    ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の減圧弁。
  6. 前記作動棒の内部に形成されたバイパス流路を介して、前記中間室と前記受圧室とが連通している、
    ことを特徴とする請求項5に記載の減圧弁。
  7. 前記第1弁の変位方向と、前記第2弁の変位方向とは異なる、
    ことを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の減圧弁。
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