JP7346653B2 - Radiation shielding structure for electronic devices - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、電子デバイスの放射線遮蔽構造に関する。 Embodiments of the present invention relate to radiation shielding structures for electronic devices.

近年、宇宙産業にあっては、ベンチャー企業による小型衛星を用いたビジネスが立ち上がってきている。このようなビジネスにおいて、小型衛星に使用される電子デバイス(電子機器を含むものとする)も、宇宙向けの開発となると、時間、コストもかかるため、COTS(Commercial Off-The-Shelf)で市販されている市販品や既製品を取り入れることが増えてきている。 In recent years, in the space industry, businesses using small satellites have been launched by venture companies. In this type of business, electronic devices (including electronic equipment) used in small satellites are not commercially available on COTS (Commercial Off-The-Shelf) because it takes time and cost to develop them for use in space. The use of commercially available products and ready-made products is increasing.

但し、市販品、既製品に関しては、耐宇宙環境を想定した設計にはなっておらず、特にガンマ線等の放射線に対する耐性を保証するものではない。そのため、予め放射線照射施設を用いて、使用を想定する電子デバイスを放射線に曝露させ、性能劣化度、故障が発生しないか、スクリーニングする過程を設けている。 However, commercially available products and ready-made products are not designed to withstand space environments, and their resistance to radiation such as gamma rays cannot be guaranteed. For this reason, a process is established in advance to expose electronic devices to radiation using a radiation irradiation facility to screen for the degree of performance deterioration and the occurrence of failures.

さらに、衛星搭載の設計においては、遮蔽効果がある重金属(例えば、タングステン、鉛)を用いて電子機器、基板等を収める筐体、遮蔽構造を設けて対応している。 Furthermore, in the design of on-board satellites, heavy metals that have a shielding effect (e.g., tungsten, lead) are used to provide housings and shielding structures for housing electronic devices, circuit boards, etc.

特表2006-518112号公報Special Publication No. 2006-518112 特表2007-531981号公報Special Publication No. 2007-531981 特開2002-166899号公報Japanese Patent Application Publication No. 2002-166899

第3回宇宙セミナー「宇宙機の設計のための宇宙環境」、宇宙航空研究開発機構、松本晴久、2015年5月8日、京都大学総合博物館、本館3階講義室3rd Space Seminar "Space Environment for Spacecraft Design", Japan Aerospace Exploration Agency, Haruhisa Matsumoto, May 8, 2015, Kyoto University Museum, 3rd floor lecture room, Main Building

ところで、宇宙環境で電子デバイスを使用した場合に、電子デバイスのパッケージ内に封入された半導体(シリコン等)であるダイ(die、Dice)において、放射線、特に荷電粒子を持つガンマ線に曝露されることになる。 By the way, when electronic devices are used in the space environment, the die, which is a semiconductor (silicon, etc.) sealed inside the electronic device package, can be exposed to radiation, especially gamma rays containing charged particles. become.

放射線に曝露された場合、トータルドーズ効果といわれる、ダイの電位変動による、恒久的損傷、性能劣化の他、シングルイベント効果といわれる、荷電粒子がダイを通過することによる電子デバイスの一時的な誤動作が発生し、衛星不具合を発生させる。 When exposed to radiation, there are permanent damage and performance degradation due to potential fluctuations on the die, known as the total dose effect, as well as temporary malfunctions of electronic devices due to charged particles passing through the die, known as the single event effect. occurs, causing a satellite malfunction.

そこで、本実施形態は、電子デバイスを基板に実装した状態で、確実に電子デバイスへの放射線の暴露を遮蔽して放射線耐性を持たせることのできる電子デバイスの放射線遮蔽構造を提供することを目的とする。 Therefore, the present embodiment aims to provide a radiation shielding structure for an electronic device that can reliably shield the electronic device from exposure to radiation and provide radiation resistance when the electronic device is mounted on a board. shall be.

本実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造は、配線基板に搭載される電子デバイスを放射線から遮蔽するために、第1の遮蔽カバーと第2の遮蔽カバーとを備える。第1の遮蔽カバーは、放射線の遮蔽材によって配線基板の表面に搭載される電子デバイスを覆う形状に成形され、全縁部が配線基板に半田付けされる。また、第2の遮蔽カバーは、放射線の遮蔽材によって配線基板の電子デバイスの搭載箇所の裏面を覆う形状に成形され、全縁部が配線基板の裏面に半田付けされる。一方、配線基板には、銅箔による第1の接合パターン領域と第2の接合パターン領域が設けられる。第1の接合パターン領域は、配線基板の表面側で、電子デバイスの搭載箇所の周囲の、第1の遮蔽カバーの全縁部を半田付けする領域に形成される。また、第2の接合パターン領域は、配線基板の裏面側で、第2の遮蔽カバーの全縁部を半田付けする領域に形成される。 The radiation shielding structure for an electronic device according to this embodiment includes a first shielding cover and a second shielding cover in order to shield the electronic device mounted on the wiring board from radiation. The first shielding cover is formed into a shape that covers the electronic device mounted on the surface of the wiring board using a radiation shielding material, and its entire edge is soldered to the wiring board. Further, the second shielding cover is formed into a shape that covers the back surface of the wiring board where the electronic device is mounted using a radiation shielding material, and the entire edge portion is soldered to the back surface of the wiring board. On the other hand, the wiring board is provided with a first bonding pattern area and a second bonding pattern area made of copper foil. The first bonding pattern area is formed on the front side of the wiring board in an area where the entire edge of the first shielding cover around the mounting location of the electronic device is soldered. Further, the second bonding pattern area is formed on the back side of the wiring board in an area where the entire edge of the second shielding cover is soldered.

図1は、第1の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す上面図及び断面図である。FIG. 1 is a top view and a sectional view showing a radiation shielding structure of an electronic device according to a first embodiment. 図2は、第2の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a radiation shielding structure of an electronic device according to a second embodiment. 図3は、第2の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す上面図である。FIG. 3 is a top view showing the radiation shielding structure of the electronic device according to the second embodiment. 図4は、第2の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造に適用されるスルーホールの具体的な配置例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a specific arrangement example of through holes applied to the radiation shielding structure of an electronic device according to the second embodiment. 図5は、第1の実施形態の構造で、制約により遮蔽が十分でない場合の放射線入射の様子を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the state of radiation incidence when shielding is insufficient due to constraints in the structure of the first embodiment. 図6は、第3の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す上面図及び断面図である。FIG. 6 is a top view and a cross-sectional view showing a radiation shielding structure for an electronic device according to a third embodiment. 図7は、第3の実施形態の構造で、密閉空間による弊害を説明するための断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of the structure of the third embodiment for explaining the adverse effects caused by a closed space. 図8は、第4の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す上面図及び断面図である。FIG. 8 is a top view and a cross-sectional view showing a radiation shielding structure for an electronic device according to a fourth embodiment. 図9は、第5の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a radiation shielding structure of an electronic device according to a fifth embodiment.

以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態(以下、単に実施の形態と称する)について詳細に説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention (hereinafter simply referred to as an embodiment) will be described in detail with reference to the drawings. Note that the disclosure is merely an example, and any modifications that can be easily made by those skilled in the art while maintaining the spirit of the invention are naturally included within the scope of the present invention. In addition, in order to make the explanation clearer, the drawings may schematically represent the width, thickness, shape, etc. of each part compared to the actual aspect, but this is just an example, and the drawings are merely examples of the present invention. It does not limit interpretation. In addition, in this specification and each figure, the same reference numerals are given to components that perform the same or similar functions as those described above with respect to the existing figures, and overlapping detailed explanations may be omitted as appropriate. .

前述のように、宇宙環境で電子デバイスを使用した場合に、電子デバイスのパッケージ内に封入された半導体であるダイにおいて、放射線、特に荷電粒子を持つガンマ線に曝露されることになる。 As mentioned above, when an electronic device is used in a space environment, the semiconductor die encapsulated within the package of the electronic device is exposed to radiation, particularly gamma rays containing charged particles.

放射線に曝露された場合、トータルドーズ効果といわれる、ダイの電位変動による、恒久的損傷、性能劣化の他、シングルイベント効果といわれる、荷電粒子がダイを通過することによる電子デバイスの一時的な誤動作が発生し、衛星不具合を発生させる。 When exposed to radiation, there are permanent damage and performance degradation due to potential fluctuations on the die, known as the total dose effect, as well as temporary malfunctions of electronic devices due to charged particles passing through the die, known as the single event effect. occurs, causing a satellite malfunction.

このような半導体の放射線曝露を改善するために、従来では、特許文献1、特許文献2にあるような、半導体デバイス単体で、遮蔽効果を設けた構造が提案されている。しかしながら、これらの手法では、全ての電子デバイスが対応しているわけではなく、コスト高であること、市販品ではないことが多い。 In order to improve such radiation exposure of semiconductors, conventionally, a structure has been proposed in which a shielding effect is provided in a single semiconductor device, as in Patent Document 1 and Patent Document 2. However, these methods are not compatible with all electronic devices, are expensive, and are often not commercially available.

また、昨今、電子デバイスのパッケージングにおいては、デバイス内のダイと電気的に外部回路、電源及びグランドに接続するための外部接続端子をパッケージ四方から引出し配置したQFP(Quad Flat Package)パッケージといわれるものと、外部接続端子をパッケージ底面に、格子状に配置したBGA(Ball Grid Array)パッケージといわれるものが主流となっている。 In addition, in recent years, electronic device packaging has become known as a QFP (Quad Flat Package) package, in which external connection terminals are drawn out from all sides of the package to electrically connect the die inside the device to external circuits, power supplies, and ground. The mainstream is a BGA (Ball Grid Array) package in which external connection terminals are arranged in a grid pattern on the bottom of the package.

デバイスの小型化に伴い、この外部端子自体の配置間隔は、例えば0.65mm等、1~0.1mmオーダになってきており、デバイス単体での遮蔽対策は困難を極める。 As devices become smaller, the spacing between the external terminals themselves has become on the order of 1 to 0.1 mm, such as 0.65 mm, making it extremely difficult to take measures to shield the device alone.

そこで、以下の説明では、QFP(Quad Flat Package)パッケージの場合の実施形態と、BGA(Ball Grid Array)パッケージの場合の実施形態を取り上げる。 Therefore, in the following description, an embodiment in the case of a QFP (Quad Flat Package) package and an embodiment in the case of a BGA (Ball Grid Array) package will be discussed.

(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示すもので、(a)は上面図、(b)は断面図である。図1において、11はQFPパッケージの電子デバイス、12は電子デバイス11が実装される配線基板、131,132は銅箔による接合パターン領域、14はスルーホール、151,152は鉛による遮蔽カバーである。図1(a)では、電子デバイス11の実装面の上部より、遮蔽カバー151を透過した状態で図示し、図1(b)では、配線基板12の実装面を横から見た断面を図示している。
(First embodiment)
FIG. 1 shows a radiation shielding structure for an electronic device according to a first embodiment, in which (a) is a top view and (b) is a cross-sectional view. In FIG. 1, 11 is an electronic device in a QFP package, 12 is a wiring board on which the electronic device 11 is mounted, 131 and 132 are bonding pattern areas made of copper foil, 14 is a through hole, and 151 and 152 are shielding covers made of lead. . 1(a) shows a state where the shielding cover 151 is seen from above the mounting surface of the electronic device 11, and FIG. 1(b) shows a cross section of the mounting surface of the wiring board 12 seen from the side. ing.

図1(a)、(b)に示すように、電子デバイス11は、ダイ111をモールド材によるパッケージ112に収容し、パッケージ112の四方側面から複数の外部接続端子113を所定の間隔で引き出した構成である。 As shown in FIGS. 1A and 1B, the electronic device 11 includes a die 111 housed in a package 112 made of a molding material, and a plurality of external connection terminals 113 pulled out at predetermined intervals from the four sides of the package 112. It is the composition.

配線基板12は、内部に配線路を形成した構造であり、電子デバイス11の搭載位置には、端子113の対向位置に接続用のランド121が形成され、基板内にはグランド層122が形成される。配線基板12において、電子デバイス11の搭載位置の表面周囲とその対向する裏面周囲には、互いに対抗するように、銅箔(パッド)による接合パターン領域131,132が設けられる。接合パターン領域131,132の銅箔間には所定の間隔でスルーホール14が形成される。スルーホール14は、配線基板12の内部に形成されているグランド層122と接続される。 The wiring board 12 has a structure in which a wiring path is formed inside, and a connection land 121 is formed at a position opposite to the terminal 113 at the mounting position of the electronic device 11, and a ground layer 122 is formed inside the board. Ru. In the wiring board 12, bonding pattern areas 131 and 132 made of copper foil (pads) are provided around the front surface of the mounting position of the electronic device 11 and the opposite back surface so as to oppose each other. Through holes 14 are formed at predetermined intervals between the copper foils in the bonding pattern regions 131 and 132. The through hole 14 is connected to a ground layer 122 formed inside the wiring board 12.

上側の遮蔽カバー151は、その縁部が配線基板12の表面に形成される接合パターン領域131と対向する形状であり、電子デバイス11を上方から覆い、縁部を接合パターン領域131に接合した状態で半田付けにより固定される。また、下側の遮蔽カバー152は、その縁部が配線基板12の裏面に形成される接合パターン領域132と対向する形状であり、縁部を接合パターン領域132に接合した状態で半田付けにより固定される。 The upper shielding cover 151 has an edge facing the bonding pattern area 131 formed on the surface of the wiring board 12, covers the electronic device 11 from above, and has the edge bonded to the bonding pattern area 131. It is fixed by soldering. Further, the lower shielding cover 152 has an edge thereof facing the bonding pattern area 132 formed on the back surface of the wiring board 12, and is fixed by soldering with the edge bonded to the bonding pattern area 132. be done.

例えば、本実施形態では、遮蔽カバー151,152には、放射線を遮蔽する遮蔽材として、加工が容易である鉛を用いる。鉛は、電子デバイス11を配線基板12に実装する際に使用される半田と親和性が有り、半田付けによる遮蔽性が高い。 For example, in this embodiment, lead, which is easy to process, is used for the shielding covers 151 and 152 as a shielding material that shields radiation. Lead has an affinity with the solder used when mounting the electronic device 11 on the wiring board 12, and has high shielding properties by soldering.

この鉛を使用した遮蔽カバー151,152によって電子デバイス11を囲むように、電子デバイス11を実装する配線基板12に於いて、電子デバイスの実装位置における周囲の基板表面と基板裏面に、遮蔽カバー151,152が直接半田付けできるよう、銅箔(パッド)による接合パターン領域131,132を形成しておく。 In the wiring board 12 on which the electronic device 11 is mounted, the shielding covers 151 and 152 made of lead surround the electronic device 11 on the front surface and back surface of the board around the mounting position of the electronic device. , 152 can be directly soldered, bonding pattern regions 131 and 132 are formed using copper foil (pads).

電子デバイス11を配線基板12に実装後、配線基板12の接合パターン領域131、132に遮蔽カバー151,152を半田付けすることで、遮蔽カバー151,152を強固に固定する。 After mounting the electronic device 11 on the wiring board 12, the shielding covers 151, 152 are firmly fixed by soldering the shielding covers 151, 152 to the bonding pattern areas 131, 132 of the wiring board 12.

これにより、電子デバイス11は、配線基板12に実装した状態で、表面側と裏面側の双方から放射線が遮蔽されるようになり、確実に電子デバイスへの放射線の暴露を遮蔽して放射線耐性を持たせることができる。 As a result, the electronic device 11 is shielded from radiation from both the front side and the back side when mounted on the wiring board 12, and radiation exposure to the electronic device is reliably shielded and radiation resistance is improved. You can have it.

また、本実施形態では、遮蔽カバー151,152を固定するための銅箔(パッド)による接合パターン領域131,132の間に、配線基板11に設けたグランド層122と接続するスルーホール14を所定の間隔で多数形成するようにしている。この構造によれば、接合パターン領域131,132に半田付けされた遮蔽カバー151,152のそれ自体がグランド層と同電位となる。このため、電流リークパスが形成されようになり、放射線の遮蔽効果の他、電子デバイス11の帯電を防止する効果が得られる。 Further, in this embodiment, a through hole 14 connected to a ground layer 122 provided on the wiring board 11 is provided between bonding pattern areas 131 and 132 formed by copper foil (pads) for fixing the shielding covers 151 and 152. I try to form a large number of them at intervals of . According to this structure, the shielding covers 151 and 152 soldered to the bonding pattern regions 131 and 132 have the same potential as the ground layer. Therefore, a current leak path is formed, and in addition to the effect of shielding radiation, the effect of preventing charging of the electronic device 11 can be obtained.

また、電子デバイスで発生する熱が、配線基板12のグランド層122、スルーホール14を介在して遮蔽カバー151,152に伝達されるため、放熱効果が得られる。さらに、遮蔽カバー151,152に関し、電子デバイス11のパッケージ112に密着させる他、接合パターン領域131、132との接合面積、スルーホール14の個数を増やすことで、放熱効果を向上させることが可能である。 Furthermore, heat generated in the electronic device is transferred to the shielding covers 151 and 152 via the ground layer 122 of the wiring board 12 and the through holes 14, so that a heat dissipation effect can be obtained. Furthermore, regarding the shielding covers 151 and 152, in addition to bringing them into close contact with the package 112 of the electronic device 11, the heat dissipation effect can be improved by increasing the bonding area with the bonding pattern regions 131 and 132 and the number of through holes 14. be.

(第2の実施形態)
図2は第2の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す断面図、図3は同実施形態において、その構造を上方から見た場合の上面図、図4は同実施形態のスルーホール配置例を示す平面図である。図2乃至図4において、図1と同一部分には同一符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。
(Second embodiment)
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a radiation shielding structure of an electronic device according to the second embodiment, FIG. 3 is a top view of the structure when viewed from above in the same embodiment, and FIG. 4 is a through-hole in the same embodiment. FIG. 3 is a plan view showing an example of arrangement. 2 to 4, the same parts as in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and different parts will be explained here.

図2乃至図4において、16は配線基板12に多数形成されるスルーホールである。また、171,172はそれぞれ鉛より放射線遮蔽率が6倍高いタングステンによる遮蔽板である。遮蔽板171は、電子デバイス11のパッケージ112の上面と遮蔽カバー151の内部上面との間に配置され、両者と対峙させる。また、遮蔽板172は、配線基板12の裏面と下側の遮蔽カバー152の内部底面との間に配置され、両者と対峙される。このように、遮蔽板171,172を電子デバイス11及び配線基板12を挟むようにタングステンによる遮蔽板171,172を介在させた状態で、遮蔽カバー151、152を配線基板12の接合パターン領域131,132に半田付けすることで、加工が難しいタングステンによる遮蔽板171、172を容易に固定することができ、これによって、より一層の遮蔽効果を実現することができる。なお、遮蔽板171、172はいずれか一方でも遮蔽効果が得られる。 In FIGS. 2 to 4, reference numeral 16 indicates a large number of through holes formed in the wiring board 12. As shown in FIG. Moreover, 171 and 172 are respectively shielding plates made of tungsten, which has a radiation shielding rate six times higher than that of lead. The shielding plate 171 is disposed between the upper surface of the package 112 of the electronic device 11 and the inner upper surface of the shielding cover 151, and faces both. Further, the shielding plate 172 is disposed between the back surface of the wiring board 12 and the inner bottom surface of the lower shielding cover 152, and is opposed to both. In this way, with the shielding plates 171 and 172 made of tungsten interposed between the electronic device 11 and the wiring board 12, the shielding covers 151 and 152 are connected to the bonding pattern area 131 of the wiring board 12, By soldering to 132, the shielding plates 171 and 172 made of tungsten, which is difficult to process, can be easily fixed, thereby achieving a further shielding effect. Note that the shielding effect can be obtained with either one of the shielding plates 171 and 172.

また、本実施形態において、配線基板12には、接合パターン領域131、132だけでなく、電子デバイス近傍にて、千鳥状に多数のスルーホール16を形成し、スルーホール16の穴に半田を充填する。これにより、図2の放射線入射箇所おいて、配線基板12の側面から入射する放射線のダイ111への到達を軽減させ、放射線耐性を向上させることができる。 Further, in this embodiment, a large number of through holes 16 are formed in the wiring board 12 not only in the bonding pattern areas 131 and 132 but also in the vicinity of the electronic device in a staggered manner, and the holes of the through holes 16 are filled with solder. do. This makes it possible to reduce the amount of radiation incident from the side surface of the wiring board 12 reaching the die 111 at the radiation incident location in FIG. 2, thereby improving radiation resistance.

具体的には、入射する放射線に対して一定量の減衰効果を担保するために、スルーホール16を例えば図4に示すように配置する。すなわち、複数の六角形同士の辺を密接させた格子形状で、六角形の各頂点及び中心点を基準点にして、個々のスルーホール16を、その中点を基準点に合わせて配置する。さらに、個々のスルーホール16の穴径の半径:rは、六角形の辺:αの1/4以上とする。これにより、穴径以上の経路を必ず通過させる事ができ、ある一定量の減衰量を保証することが可能となる。 Specifically, in order to ensure a certain amount of attenuation effect on the incident radiation, the through holes 16 are arranged as shown in FIG. 4, for example. That is, in a lattice shape in which the sides of a plurality of hexagons are brought into close contact with each other, each apex and center point of the hexagons are used as reference points, and each through hole 16 is arranged with its midpoint aligned with the reference point. Further, the radius r of the hole diameter of each through hole 16 is set to be 1/4 or more of the side α of the hexagon. This makes it possible to pass through a path that is larger than the hole diameter without fail, and it becomes possible to guarantee a certain amount of attenuation.

また、スルーホール16に充填する半田の鉛含有量の比率より、例えば、含有量が60%、放射線減衰効果が期待できる鉛板厚が3mmである場合、スルーホール16の穴径の総和が倍の6mmをとるようにスルーホール数を増やすようにしてもよい。 In addition, from the ratio of the lead content of the solder filled in the through holes 16, for example, if the lead content is 60% and the thickness of the lead plate that can be expected to have a radiation attenuation effect is 3 mm, the total hole diameter of the through holes 16 will be doubled. The number of through holes may be increased to take 6 mm.

(第3の実施形態)
図5は、第1の実施形態の構造で、制約により遮蔽が十分でない場合の放射線入射の様子を示す断面図、図6は、図5に示す放射線入射を改善する、第3の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示すもので、(a)は上面図、(b)は断面図である。図6(a)では、電子デバイス11の実装面の上部より、遮蔽カバー151を透過した状態で図示し、図6(b)では、配線基板12の実装面を横から見た断面を図示している。図5、図6において、図1と同一部分には同一符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。
(Third embodiment)
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the structure of the first embodiment, showing how radiation enters when shielding is insufficient due to constraints. FIG. 6 shows the structure of the third embodiment, which improves the radiation entering shown in FIG. The radiation shielding structure of such an electronic device is shown, in which (a) is a top view and (b) is a cross-sectional view. 6(a) shows a state where the shielding cover 151 is seen from above the mounting surface of the electronic device 11, and FIG. 6(b) shows a cross section of the mounting surface of the wiring board 12 seen from the side. ing. In FIGS. 5 and 6, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and different parts will be explained here.

図1に示した第1の実施形態では、半田を充填した多数のスルーホール14を基板12に設けることで、外部からの放射線の入射を遮蔽するようにしているが、実際には、回路構成、基板面積、信号配線のためのパターン密度が高い等の物理的制約で、遮蔽するのに十分なスルーホール14を配置できない場合も想定される。この場合、図5に示すように、特に電子デバイス11が実装された面とは逆側の面の、図中斜め下側方向からの放射線入射箇所において、配線基板12の側面からダイ111に入射する放射線の遮蔽効果を担保することが難しい。 In the first embodiment shown in FIG. 1, a large number of through holes 14 filled with solder are provided in the substrate 12 to block the incidence of radiation from the outside, but in reality, the circuit configuration is There may also be cases where it is not possible to arrange enough through holes 14 for shielding due to physical constraints such as substrate area and high pattern density for signal wiring. In this case, as shown in FIG. 5, the radiation enters the die 111 from the side surface of the wiring board 12, particularly at the point where the radiation is incident from the diagonally downward direction in the figure, on the opposite side to the surface on which the electronic device 11 is mounted. It is difficult to ensure the effectiveness of shielding radiation.

そこで、第3の実施形態では、図6に示すように、配線基板12の裏面に配置する、図中下側の遮蔽カバー152及び接合パターン領域132による遮蔽領域を、電子デバイス11の実装面に配置した、図中上側の遮蔽カバー151及び接合パターン領域131による遮蔽領域の対向範囲より広くする。基板12の実装面側の接合パターン領域131には複数のスルーホール141を形成し、裏面側に形成されるランド133と接続する。また、基板12の裏面側の接合パターン領域132にも複数のスルーホール142を形成し、表面側に形成されるランド134と接続する。この構造によれば、配線基板12の裏面に配置する遮蔽カバー152による遮蔽範囲が、配線基板12の表面に配置する遮蔽カバー151による遮蔽範囲の対向面より広い範囲となっているので、十分なスルーホールを配置できない場合でも、配線基板12の斜め下側方向からダイ111に入射する放射線の遮蔽が可能となる。 Accordingly, in the third embodiment, as shown in FIG. It is made wider than the opposing range of the shielding area by the shielding cover 151 and the bonding pattern area 131 located on the upper side in the figure. A plurality of through holes 141 are formed in the bonding pattern area 131 on the mounting surface side of the substrate 12 and are connected to lands 133 formed on the back surface side. Further, a plurality of through holes 142 are also formed in the bonding pattern region 132 on the back side of the substrate 12, and are connected to lands 134 formed on the front side. According to this structure, the shielding range by the shielding cover 152 disposed on the back surface of the wiring board 12 is wider than the shielding range by the shielding cover 151 disposed on the front surface of the wiring board 12, so that sufficient Even if a through hole cannot be arranged, it is possible to shield radiation that enters the die 111 from the obliquely lower side of the wiring board 12.

(第4の実施形態)
図7は、第3の実施形態の構造で、密閉空間による弊害を説明するための断面図、図8は、図7に示す密閉空間による弊害を改善する、第4の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示すもので、(a)は上面図、(b)は断面図である。図8(a)では、電子デバイス11の実装面の上部より、遮蔽カバー151を透過した状態で図示し、図8(b)では、配線基板12の実装面を横から見た断面を図示している。図7、図8において、図6と同一部分には同一符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。
(Fourth embodiment)
FIG. 7 is a cross-sectional view of the structure of the third embodiment for explaining the adverse effects caused by the enclosed space, and FIG. 8 is an electronic device according to the fourth embodiment that improves the adverse effects caused by the enclosed space shown in FIG. FIG. 2 shows a radiation shielding structure, in which (a) is a top view and (b) is a cross-sectional view. 8(a) shows a state where the shielding cover 151 is seen from above the mounting surface of the electronic device 11, and FIG. 8(b) shows a cross section of the mounting surface of the wiring board 12 seen from the side. ing. In FIGS. 7 and 8, the same parts as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals, and different parts will be explained here.

宇宙空間等の真空環境で電子機器等を運用する際に、真空環境下において、有機材料等から放出されるアウトガスが凝縮して他の機器、特に光学機器等に付着し、その性能低下などの悪影響を及ぼすことが知られている。それを回避するために、脱ガス処理(真空ベーキング処理)といわれる手法が用いられる。この手法は、真空チャンバで真空にした空間に、対象機器を曝露し、ヒータなどを使って加熱、高温にすることで、予め、対象機器で使用している材料内部の吸蔵ガスを放出させる方法である。 When operating electronic devices in a vacuum environment such as outer space, outgas emitted from organic materials condenses and adheres to other devices, especially optical devices, resulting in a decrease in their performance. It is known to have negative effects. To avoid this, a technique called degassing treatment (vacuum baking treatment) is used. In this method, the target device is exposed to a vacuum created in a vacuum chamber, and the gas stored inside the material used in the target device is released in advance by heating the device to a high temperature using a heater etc. It is.

図7に示すように、図6に示した第3の実施形態の遮蔽構造においては、配線基板12に設けた表側の接合パターン領域131、裏側の接合パターン領域132に、それぞれ遮蔽カバー151及び遮蔽カバー152を半田付けすることで、表側、裏側にそれぞれ密閉された空間301、302が形成される。遮蔽カバー内で使用している材料によっては、アウトガスが発生することになるが、遮蔽により空間が密閉されているため、長期に渡って微量に漏洩した場合に、遮蔽カバー内の電子デバイス11を含め、他の機器に悪影響を与える恐れがある。また、気圧変動が発生する環境下に曝露された場合に、遮蔽カバー151、遮蔽カバー152、接合パターン領域131、接合パターン領域132、配線基板12に引張応力若しくは圧縮応力が加わり、破断等が発生する可能性もある。 As shown in FIG. 7, in the shielding structure of the third embodiment shown in FIG. 6, a shielding cover 151 and a shielding By soldering the cover 152, sealed spaces 301 and 302 are formed on the front and back sides, respectively. Depending on the material used inside the shielding cover, outgas will be generated, but since the space is sealed by the shielding, if a small amount leaks over a long period of time, the electronic device 11 inside the shielding cover will be damaged. This may have an adverse effect on other equipment. Furthermore, when exposed to an environment where atmospheric pressure changes occur, tensile stress or compressive stress is applied to the shielding cover 151, the shielding cover 152, the bonding pattern area 131, the bonding pattern area 132, and the wiring board 12, causing breakage, etc. There is a possibility that it will.

そこで、本実施形態では、図8に示すように、配線基板12の、遮蔽カバー151によって形成される内部空間301と遮蔽カバー152によって形成される内部空間302との間を連結して通気させる位置に中空のスルーホール(半田を充填しない)143を形成して裏面に形成されるランド133と接続し、遮蔽カバー152によって形成される内部空間302と配線基板12の表面側の外部空間との間を連結して通気させる位置に中空のスルーホール(半田を充填しない)144を形成して表面に形成されるランド134と接続するようにした。なお、本実施形態では、実装面側の接合パターン領域131、裏面側の接合パターン領域132をそれぞれ内部方向に拡張し、その拡張領域にスルーホール143,144を形成するようにした。この構造によれば、遮蔽カバー151による内部空間301と遮蔽カバー152による内部空間302と外部空間との間で、図中矢印で示すように、アウトガスの放出経路を確保すると共に、気圧変動環境下で発生する引張応力若しくは圧縮応力の発生を防止することが可能となる。 Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 8, a position of the wiring board 12 where the internal space 301 formed by the shielding cover 151 and the internal space 302 formed by the shielding cover 152 are connected and ventilated is provided. A hollow through hole 143 (not filled with solder) is formed in the hole to connect with the land 133 formed on the back surface, and between the internal space 302 formed by the shielding cover 152 and the external space on the front side of the wiring board 12. A hollow through hole (not filled with solder) 144 is formed at a position where the parts are connected and ventilated, and is connected to the land 134 formed on the surface. In this embodiment, the bonding pattern area 131 on the mounting surface side and the bonding pattern area 132 on the back side are each expanded inward, and through holes 143 and 144 are formed in the expanded areas. According to this structure, an outgas release path is secured between the internal space 301 formed by the shielding cover 151, the internal space 302 formed by the shielding cover 152, and the external space, as shown by the arrows in the figure, and also in an environment of pressure fluctuations. This makes it possible to prevent the generation of tensile stress or compressive stress that would otherwise occur.

(第5の実施形態)
図9は、第5の実施形態に係る電子デバイスの放射線遮蔽構造を示す断面図である。ここでは、BGAパッケージによる電子デバイス21をフレキシブル配線基板22に実装する場合の放射線遮蔽構造を示している。図9において、電子デバイス21は、ダイ211をBGAパッケージ212のモールド樹脂内に収容し、外部接続端子213としての半田ボールをパッケージ212の底面に、格子状に配置した構造となっている。
(Fifth embodiment)
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a radiation shielding structure of an electronic device according to a fifth embodiment. Here, a radiation shielding structure is shown when an electronic device 21 using a BGA package is mounted on a flexible wiring board 22. In FIG. 9, the electronic device 21 has a structure in which a die 211 is housed in a molded resin of a BGA package 212, and solder balls serving as external connection terminals 213 are arranged in a grid pattern on the bottom surface of the package 212.

本実施形態では、電子デバイス21の全周囲に対する放射線入射を確実に遮蔽する手段として、図9に示すように、電子デバイス21を搭載する配線基板22に、曲げることが可能なフレキシブル基板若しくはリジットフレキシブル基板を使用する。配線基板22の電子デバイス実装部には、電子デバイス21の外部接続端子213を内部配線路に接続するためのランド221が設けられる。 In this embodiment, as a means for reliably shielding radiation incident on the entire periphery of the electronic device 21, as shown in FIG. Use the board. The electronic device mounting portion of the wiring board 22 is provided with a land 221 for connecting the external connection terminal 213 of the electronic device 21 to the internal wiring path.

放射線遮蔽構造としては、放射線を遮蔽する鉛によって一方面が開放された箱型に形成された遮蔽カバー231を用いて、電子デバイス21が搭載されたフレキシブル配線基板22を、電子デバイス21の搭載範囲より外側を山折りに曲げた状態で、電子デバイス21の上側から配線基板22の折り曲げ側面を含めて収容する。また、放射線を遮蔽する鉛によって遮蔽カバー231の開口面より狭く、配線基板22を引き出し可能な隙間が確保されるように、凸型に形成された遮蔽ブロック232を用いて、箱型の遮蔽カバー231に収容される配線基板22を裏面側から押さえるようにしている。 As the radiation shielding structure, a box-shaped shielding cover 231 with one side open and made of lead that shields radiation is used to cover the flexible wiring board 22 on which the electronic device 21 is mounted, within the mounting range of the electronic device 21. The electronic device 21 is accommodated from above, including the bent side surface of the wiring board 22, with the outer side bent into a mountain fold. In addition, a box-shaped shielding cover is provided using a convex-shaped shielding block 232 so that a gap narrower than the opening surface of the shielding cover 231 and allowing the wiring board 22 to be pulled out is secured by the lead shielding radiation. The wiring board 22 housed in 231 is pressed from the back side.

上記配線基板22は、遮蔽カバー231の縁部に沿って谷折りに曲げられる。このとき、配線基板22の遮蔽カバー231との接合領域に、銅箔241,242を設けておき、遮蔽カバー231をその縁部が銅箔241,242に接合された状態で半田付けにより固定する。 The wiring board 22 is bent into a valley fold along the edge of the shielding cover 231. At this time, copper foils 241 and 242 are provided in the joining area of the wiring board 22 and the shielding cover 231, and the shielding cover 231 is fixed by soldering with its edges joined to the copper foils 241 and 242. .

また、配線基板22の遮蔽ブロック232との接合部分に、銅箔251,252を設けておき、遮蔽ブロック232を銅箔251、252に接合した状態ではんだ付けにより固定する。 Further, copper foils 251 and 252 are provided at the joint portions of the wiring board 22 and the shielding block 232, and the shielding block 232 is fixed to the copper foils 251 and 252 by soldering.

上記銅箔241、242、251、252は、いずれも配線基板22のグランドに接続しておくとよい。これにより、遮蔽カバー231及び遮蔽ブロック232のグランドとの半田付け接続により、電子デバイス21及び配線基板22自体の帯電を防止する効果と共に、放熱効果を合わせて得られるようになる。 All of the copper foils 241, 242, 251, and 252 are preferably connected to the ground of the wiring board 22. As a result, by soldering the shielding cover 231 and the shielding block 232 to the ground, it is possible to obtain a heat dissipation effect as well as an effect of preventing the electronic device 21 and the wiring board 22 from being charged.

すなわち、本実施形態では、電子デバイス21及び、電子デバイス21を搭載したフレキシブルな配線基板22の側面を収納可能な深さに設計した、一方面が開放された箱型に形成された遮蔽体カバー231を電子デバイス21の上面から被せ、電子デバイス21の下面に関しては、例えば、フレキシブル配線基板22を引出し可能な隙間を設けた状態で上面の遮蔽カバー231と篏合可能なサイズの鉛による凸型の遮蔽ブロック232を用いて、配線基板22の電子デバイス21の搭載部分を箱型の遮蔽カバー231と凸型の遮蔽ブロック232で挟み込むようにしている。 That is, in this embodiment, the shielding cover is formed in a box shape with one side open and designed to have a depth that can accommodate the sides of the electronic device 21 and the flexible wiring board 22 on which the electronic device 21 is mounted. 231 from the upper surface of the electronic device 21, and for the lower surface of the electronic device 21, for example, a convex lead made of lead is sized to fit with the shielding cover 231 on the upper surface with a gap that allows the flexible wiring board 22 to be pulled out. Using the shielding block 232, the part of the wiring board 22 where the electronic device 21 is mounted is sandwiched between the box-shaped shielding cover 231 and the convex-shaped shielding block 232.

このように、本実施形態の構造によれば、配線基板22の端部の斜め下方向からのダイ211に対する放射線入射含め、全周囲からの放射線の入射を確実に遮蔽することができる。 In this way, according to the structure of this embodiment, it is possible to reliably block radiation from entering the die 211 from all around, including radiation from diagonally below the end of the wiring board 22 .

さらに、弾性のあるフレキシブルな配線基板22を使用し、遮蔽カバー231と遮蔽ブロック232で挟み込む構造となっているので、気圧変動による引張応力若しくは圧縮応力を、フレキシブル基板の弾性と各遮蔽カバー231,232の間隙により緩衝する構造であり、アウトガスの放出経路を確保する効果も発揮する。 Furthermore, since the elastic flexible wiring board 22 is sandwiched between the shielding cover 231 and the shielding block 232, tensile stress or compressive stress due to atmospheric pressure fluctuations can be absorbed by the elasticity of the flexible board and each shielding cover 231, It has a structure that is buffered by a gap of 232, and also has the effect of securing a release path for outgas.

なお、上記実施形態では、いくつかの遮蔽構造を併用するようにしたが、個別に用いるようにしてもよい。その他、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。 In the above embodiment, several shielding structures are used together, but they may be used individually. In addition, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments as they are, and in the implementation stage, the constituent elements can be modified and embodied without departing from the spirit of the invention. Moreover, various inventions can be formed by appropriately combining the plurality of components disclosed in each of the above embodiments. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiments. Furthermore, components of different embodiments may be combined as appropriate.

11…電子デバイス、111…ダイ、112…パッケージ、113…外部接続端子、12…配線基板、121…ランド、122…グランド層、131,132,133,134…接合パターン領域(銅箔)、14,141,142,143,144…スルーホール、151,152…遮蔽カバー(鉛)、16…スルーホール、171,172…遮蔽板(タングステン)、21…電子デバイス、211…ダイ、212…パッケージ、213…外部接続端子(半田ボール)、22…フレキシブル配線基板、221…ランド、231…遮蔽カバー(鉛)、232…遮蔽ブロック(鉛)、241,242,251,252…銅箔、301,302…内部空間。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Electronic device, 111... Die, 112... Package, 113... External connection terminal, 12... Wiring board, 121... Land, 122... Ground layer, 131, 132, 133, 134... Bonding pattern area (copper foil), 14 , 141, 142, 143, 144... Through hole, 151, 152... Shielding cover (lead), 16... Through hole, 171, 172... Shielding plate (tungsten), 21... Electronic device, 211... Die, 212... Package, 213... External connection terminal (solder ball), 22... Flexible wiring board, 221... Land, 231... Shielding cover (lead), 232... Shielding block (lead), 241, 242, 251, 252... Copper foil, 301, 302 ...Inner space.

Claims (9)

配線基板に搭載される電子デバイスを放射線から遮蔽する電子デバイスの放射線遮蔽構造であって、
前記放射線の遮蔽材によって前記配線基板の表面に搭載される前記電子デバイスを覆う形状に成形され、全縁部が前記配線基板に半田付けされる第1の遮蔽体と、
前記放射線の遮蔽材によって前記配線基板の前記電子デバイスの搭載箇所の裏面を覆う形状に成形され、全縁部が前記配線基板の裏面に半田付けされる第2の遮蔽体と、
前記配線基板の表面側で、前記電子デバイスの搭載箇所の周囲の、前記配線基板の前記第1の遮蔽体の全縁部を半田付けする領域に形成される銅箔による第1の接合パターン領域と、
前記配線基板の裏面側で、前記第2の遮蔽体の全縁部を半田付けする領域に形成される銅箔による第2の接合パターン領域とを具備する電子デバイスの放射線遮蔽構造。
A radiation shielding structure for an electronic device that shields an electronic device mounted on a wiring board from radiation,
a first shield formed in a shape to cover the electronic device mounted on the surface of the wiring board by the radiation shielding material, and whose entire edge is soldered to the wiring board;
a second shield formed into a shape that covers the back surface of the mounting location of the electronic device of the wiring board with the radiation shielding material, and whose entire edge is soldered to the back surface of the wiring board;
A first bonding pattern area made of copper foil is formed on the front side of the wiring board in a region where the entire edge of the first shield of the wiring board is soldered around the mounting location of the electronic device. and,
A radiation shielding structure for an electronic device, comprising: a second bonding pattern region made of copper foil formed in a region where the entire edge of the second shield is soldered on the back side of the wiring board.
前記第1の接合パターン領域と前記第2の接合パターン領域は、共に前記配線基板のグランドに接続される請求項1記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 2. The radiation shielding structure for an electronic device according to claim 1, wherein the first bonding pattern area and the second bonding pattern area are both connected to the ground of the wiring board. 前記配線基板は、前記第1の接合パターン領域と前記第2の接合パターン領域を貫通して接続する複数のスルーホールを備え、前記電子デバイスで発生する熱を、前記複数のスルーホールを通じて前記第1の遮蔽体及び前記第2の遮蔽体に伝達する請求項1記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 The wiring board includes a plurality of through holes that penetrate and connect the first bonding pattern area and the second bonding pattern area, and heat generated in the electronic device is transferred to the first bonding pattern area through the plurality of through holes. The radiation shielding structure for an electronic device according to claim 1, wherein the radiation is transmitted to the first shielding body and the second shielding body. 前記電子デバイスと前記第1の遮蔽体との間、前記配線基板の前記電子デバイスの搭載位置に対向する面と前記第2の遮蔽体との間の少なくともいずれか一方に介在され、前記第1の遮蔽体及び前記第2の遮蔽体より遮蔽率の高い遮蔽材による遮蔽板を備える請求項1記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 The first shield is interposed between the electronic device and the first shield, or between the surface of the wiring board facing the mounting position of the electronic device and the second shield, and 2. The radiation shielding structure for an electronic device according to claim 1, comprising: a shielding body and a shielding plate made of a shielding material having a higher shielding rate than the second shielding body. 前記配線基板の前記電子デバイスの搭載位置の近傍に、複数のスルーホールを密集配置し、前記複数のスルーホールのそれぞれの穴に半田を充填するようにした請求項1記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 2. The radiation shielding for an electronic device according to claim 1, wherein a plurality of through holes are densely arranged in the vicinity of a mounting position of the electronic device on the wiring board, and each hole of the plurality of through holes is filled with solder. structure. 複数の六角形同士の辺を密接させた格子形状で、前記複数の六角形の各頂点及び前記複数の六角形の中心点を基準点とし、前記複数のスルーホールを、その中点を前記基準点に合わせて前記配線基板に形成し、さらに前記複数のスルーホールのそれぞれの穴の半径:rを、前記六角形の辺:αの1/4以上として、入射する放射線に対して一定量の減衰効果を担保する請求項記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 A lattice shape in which the sides of a plurality of hexagons are brought into close contact with each other, each vertex of the plurality of hexagons and the center point of the plurality of hexagons are used as reference points, and the plurality of through holes are set with the middle point as the reference point. The radius r of each of the plurality of through holes is set to be 1/4 or more of the side α of the hexagon so that a certain amount of radiation is absorbed by the incident radiation. The radiation shielding structure for an electronic device according to claim 5 , which ensures an attenuation effect. 前記配線基板の裏面に配置する前記第2の遮蔽体による遮蔽範囲は、前記配線基板の表面に配置する前記第1の遮蔽体による遮蔽範囲の対向面より広い範囲とする請求項1記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 The electronic device according to claim 1, wherein the shielding range by the second shielding body disposed on the back surface of the wiring board is wider than the shielding range by the first shielding body disposed on the front surface of the wiring board. Radiation shielding structure of the device. 前記配線基板の表面側の前記第1の遮蔽体によって形成される第1の内部空間と前記配線基板の裏面側の前記第2の遮蔽体によって形成される第2の内部空間との間を連結して通気状態とする位置と、前記第2の内部空間と前記配線基板の表面側の外部空間との間を連結して通気状態とする位置に、それぞれ中空のスルーホールを前記配線基板に形成するようにした請求項7記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。 A first internal space formed by the first shield on the front side of the wiring board and a second internal space formed by the second shield on the back side of the wiring board are connected. Hollow through holes are formed in the wiring board at a position where the second internal space and an external space on the front side of the wiring board are connected to create a ventilation state, respectively. 8. The radiation shielding structure for an electronic device according to claim 7. 前記配線基板は、フレキシブルな材料で形成され、
前記第1の遮蔽体は、前記放射線を遮蔽する遮蔽材によって一方面が開放された箱型に形成され、前記電子デバイスが搭載された前記配線基板を、前記電子デバイスの搭載範囲より外側を山折りに曲げた状態で、前記電子デバイスの上側から前記配線基板の折り曲げ側面を含めて収容し、
前記第2の遮蔽体は、前記放射線を遮蔽する遮蔽材によって前記第1の遮蔽体の開口面より狭い凸型に形成され、前記第1の遮蔽体に収容される前記配線基板を裏面側から前記凸型の上面が前記第1の遮蔽体の内部に収容される請求項1に記載の電子デバイスの放射線遮蔽構造。
The wiring board is made of a flexible material,
The first shielding body is formed into a box shape with one side open by a shielding material that shields the radiation, and the first shielding body is configured to cover the wiring board on which the electronic device is mounted so that the outside of the mounting area of the electronic device is mounted on a mountain. In a folded state, the electronic device is accommodated from above including the bent side surface of the wiring board,
The second shield is formed into a convex shape narrower than the opening surface of the first shield by a shielding material that shields the radiation, and the second shield has a convex shape that is narrower than the opening surface of the first shield, and the wiring board accommodated in the first shield is exposed to the wiring board from the back side. The radiation shielding structure for an electronic device according to claim 1, wherein the convex upper surface is housed inside the first shielding body.
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