JP7342171B1 - Mems素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明のMEMS素子の実施形態1を説明するための断面模式図である。図1に示すように、実施形態1に係るMEMS素子100は、支持基板として、例えばシリコン基板などにより構成される基板1上に、例えば熱酸化膜などにより構成される絶縁膜2が形成され、この絶縁膜2上に例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の可動電極を含む振動膜3が形成されている。さらに、例えばUSG(Undoped Silicate Glass)膜などにより構成される絶縁性のスペーサー4と、例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の固定電極5と例えば窒化シリコンなどにより構成される絶縁膜6とを含むバックプレート7が積層している。8はバックプレート7に形成されたアコースティックホール、9は基板1に形成されたバックチャンバーである。
次に、本発明のMEMS素子の実施形態2について説明する。図5は、本発明のMEMS素子の実施形態2を説明するための断面模式図である。図5に示すように、実施形態2に係るMEMS素子200は、上記実施形態1同様、支持基板として、例えばシリコン基板などにより構成される基板1上に、例えば熱酸化膜などにより構成される絶縁膜2が形成され、この絶縁膜2上に例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の可動電極を含む振動膜3が形成されている。さらに、この振動膜3の上には、例えばUSG(Undoped Silicate Glass)膜などにより構成される絶縁性のスペーサー4と、例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の固定電極5と例えば窒化シリコンなどにより構成される絶縁膜6とを含むバックプレート7が積層している。
次に、本発明のMEMS素子の実施形態3について説明する。図9は、本発明のMEMS素子の実施形態3を説明するための断面模式図である。図9に示すように、実施形態3に係るMEMS素子300は、上記実施形態1および2同様、支持基板1として、例えばシリコン基板などにより構成される基板1上に、例えば熱酸化膜などにより構成される絶縁膜2が形成され、この絶縁膜2上に例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の可動電極を含む振動膜3が形成されている。さらに、例えばUSG(Undoped Silicate Glass)膜などにより構成される絶縁性のスペーサー4と、例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の固定電極5と例えば窒化シリコンなどにより構成される絶縁膜6とを含むバックプレート7が積層している。
次に、本発明のMEMS素子の実施形態4について説明する。実施形態4に係るMEMS素子は、振動部が形成される領域、すなわち壁が形成される位置が上記実施形態1と類似し、壁に間隙が存在する点において上記実施形態3と類似する。具体的には、図12にその一部が示される振動膜を有するMEMS素子として説明すると、このMEMS素子の断面模式図は、壁10Dと振動膜3の中心を通る断面の場合、図1に示す第1の実施形態の断面模式図とスリット11a、11bが存在しない点のみ相違する。したがって、図1を参照して説明すると、上記実施形態1同様、支持基板1として、例えばシリコン基板などにより構成される基板1上に、例えば熱酸化膜などにより構成される絶縁膜2が形成され、この絶縁膜2上に例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の可動電極を含む振動膜3が形成されている。さらに、例えばUSG(Undoped Silicate Glass)膜などにより構成される絶縁性のスペーサー4と、例えばポリシリコンなどにより構成される導電性の固定電極5と例えば窒化シリコンなどにより構成される絶縁膜6とを含むバックプレート7が積層している。
(1)本発明のMEMS素子の一実施形態は、バックチャンバーを備えた基板と、前記基板上に接合された可動電極を含む振動膜と、前記可動電極に対向配置されている固定電極を含むバックプレートとを備え、前記振動膜は、前記バックプレートと前記振動膜とを連結する壁と、前記壁との接合部または前記振動膜の周縁部の少なくともいずれかに沿って配置されたスリットと、複数の振動部とを有し、前記複数の振動部は;それぞれ(i)前記壁と前記振動膜との接合部により取り囲まれた領域、または(ii)前記壁と前記振動膜との接合部と前記振動膜の周縁部との間の領域のいずれかに存在し、前記複数の振動部の少なくとも1つは前記(ii)の領域に存在する構成とすることができる。
2 絶縁膜
3 振動膜
4 スペーサー
5 固定電極
6 絶縁膜
7 バックプレート
8 アコースティックホール
9 バックチャンバー
10A~10D 壁
11a~11m スリット
12A~12K 振動部
13 間隙
Claims (2)
- バックチャンバーを備えた基板と、
前記基板上に接合された可動電極を含む振動膜と、
前記可動電極に対向配置されている固定電極を含むバックプレートと
を備え、
前記振動膜は、前記バックプレートと前記振動膜とを連結する壁と、前記壁との接合部または前記振動膜の周縁部の少なくともいずれかに沿って配置されたスリットと、複数の振動部とを有し、
前記複数の振動部は、
それぞれ
前記壁と前記振動膜との接合部と前記振動膜の周縁部との間の領域に存在し、かつ
前記壁は、前記振動膜の中心から、前記振動膜の周縁部に向かって相互に異なる方向に延出するように配置されている
MEMS素子。 - 前記壁は、間欠的に列をなすように配置されており、
前記スリットは、前記壁に沿って配置されている、
請求項1記載のMEMS素子。
Priority Applications (3)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2022033650A JP7342171B1 (ja) | 2022-03-04 | 2022-03-04 | Mems素子 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022033650A Active JP7342171B1 (ja) | 2022-03-04 | 2022-03-04 | Mems素子 |
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-
2023
- 2023-02-09 WO PCT/JP2023/004434 patent/WO2023166942A1/ja unknown
- 2023-02-13 TW TW112104974A patent/TW202342360A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1787693A (zh) | 2004-12-10 | 2006-06-14 | 美律实业股份有限公司 | 可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构 |
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Also Published As
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---|---|
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