JP7340872B2 - 計測装置 - Google Patents

Description

本発明は、計測装置に関し、特に蒸気や復水が流れるスチームトラップやスチーム配管等を計測対象とする計測装置に関する。

蒸気が流通する配管設備から復水（ドレン）のみを排出する用途に用いられるスチームトラップが知られている。また、当該スチームトラップやその入り口部分のスチーム配管の振動の強度および表面温度を計測し、それらの相互関係から蒸気漏れの有無を診断することが行われている。このような診断には、スチームトラップ等の振動の強度を計測するための振動プローブと、スチームトラップ等の表面温度を計測するための温度プローブとを備える計測装置が用いられる。

ここで、計測装置としては、作業者が携帯する可搬タイプのものと、スチームトラップ等に振動プローブや温度プローブが固定された設置タイプのものとがある。特許文献１には、設置タイプの計測装置が開示されている。特許文献１に開示の計測装置は、間にブロック状の座金が介挿された状態でスチーム配管に対してプローブが固定されている。特許文献１では、円環断面を有するスチーム配管に対してブロック状の座金を隙間なく密着させ、且つ、座金の反対側にプローブの先端を隙間なく当接させることができる、とされている。

特許第６３８９０９８号公報

上記特許文献１に開示の構造では、スチーム配管等の振動の強度および表面温度を正確に計測することが困難である、と考えられる。即ち、スチームトラップ等における蒸気漏れの有無を診断するためには、１０ｋＨｚ付近の振動の強度を得ることが重要となるが、上記特許文献１に開示の構造では、スチーム配管の表面とプローブの先端との間に座金が介挿されているために、当該座金の容積が原因で１０ｋＨｚ付近の共振周波数を得ることができない。よって、正確な振動の強度を計測することは困難である。

本願発明者は、上記のような問題の解決を図ろうと鋭意研究を行い、図５に示すような構造の計測装置を開発した。なお、図５では、計測装置９の構成の内のプローブ部９０だけを図示している。

図５に示すように、計測装置９は、振動プローブ９４および温度プローブ９５を収容してなるプローブ部９０を備える。プローブ部９０は、筒形状を有するケース部材９１と、ケース部材９１の開口を塞ぐ蓋部材９２および底部材９３を有する。振動プローブ９４および温度プローブ９５は、その一部が底部材９３の貫通孔９３ａ，９３ｂを挿通しており、先端９４ａ，９５ａがスチーム配管９５０の表面９５０ａに直に当接している。なお、温度プローブ９５の先端９５ａは、弾性部９５ｂによりスチーム配管９５０の表面９５０ａに弾性付勢されている。

振動プローブ９４および温度プローブ９５のそれぞれは、ケース部材９１における蓋部材９２の側の部分に台座部９６，９７を有し、当該台座部９６，９７でケース部材９１の内壁面に固定されている。振動プローブ９４は、台座部９６に隣接した箇所に振動センサ９４ｂを有している。

ところで、図５の矢印Ｂ１，Ｂ２で指し示すように、振動プローブ９４および温度プローブ９５は、底部材９３と非接触状態とされている。そして、矢印Ｂ３，Ｂ４で指し示すように、振動プローブ９４および温度プローブ９５は、底部材９３から蓋部材９２の側に離間した他端に近い箇所でケース部材９１に固定されている。このため、例えば強風が吹くような環境下において、振動プローブ９４および温度プローブ９５の各先端９４ａ，９５ａが振れてしまうという事態が生じ得る。このように振動プローブ９４および温度プローブ９５の各先端９４ａ，９５ａが振れてしまった場合には、振動の強度および表面温度を正確に計測することができないことになる。よって、図５に示す構造に対しては、より高精度な計測を行うことができるように改良の余地があると考えられる。

本発明は、上記のような問題の解決を図ろうとなされたものであって、強風が吹くような環境下においても高精度な計測が可能な計測装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る計測装置は、振動プローブと、温度プローブと、プローブケースとを備える。前記振動プローブは、長尺状の部材であって、一端が計測対象物に当接するように配され、他端に振動の強度を計測する振動センサを有する。前記温度プローブは、長尺状の部材であって、一端が前記計測対象物に当接するように配され、前記計測対象物の表面温度を計測する。前記プローブケースは、前記振動プローブにおける前記一端を含む一部と、前記温度プローブにおける前記一端を含む一部とのそれぞれを外部に延出させた状態で、前記振動プローブにおける前記振動センサを含む残りの部分と、前記温度プローブにおける残りの部分とのそれぞれを内方に収容する。

本態様に係る計測装置において、前記プローブケースは、前記振動プローブおよび前記温度プローブが挿通する部分に貫通孔が設けられた底部材を有する。また、前記振動プローブおよび前記温度プローブのそれぞれは、前記貫通孔を囲む周面に直に当接する状態で、前記底部材に対して固定されている。

上記態様に係る計測装置では、振動プローブの一端および温度プローブの一端がそれぞれ計測対象物の表面に直に当接する。よって、上記態様に係る計測装置では、プローブと計測対象物との間に座金が介挿された上記特許文献１に開示の構造よりも高精度に振動の強度および表面温度の計測が可能である。

また、上記態様に係る計測装置では、振動プローブおよび温度プローブが底部材に対して固定されているので、仮に強風が吹くような環境下においても振動プローブおよび温度プローブの各一端を計測対象物の表面にしっかり当接させた状態を維持することができる。即ち、振動プローブおよび温度プローブのそれぞれの固定箇所は各一端から距離が短く、例え強風が吹いて各一端が振れたとしても、その振れ幅は図５で示した構造よりも小さく抑えられる。よって、上記態様に係る計測装置では、強風が吹くような環境下においても高精度な計測が可能である。

上記態様に係る計測装置において、前記底部材は、前記振動プローブおよび前記温度プローブが挿通する方向に対して交差する方向に延び、前記貫通孔に連続する２つのネジ孔を有してもよく、該計測装置は、前記２つのネジ孔に螺合する２本の雄ネジをさらに備えてもよい。そして、上記態様に係る計測装置において、前記振動プローブおよび前記温度プローブのそれぞれは、前記２つのネジ孔に対して螺合する前記２本の雄ネジの各ネジ先端からの押圧を受けて前記底部材に固定されていてもよい。

上記態様に係る計測装置では、ネジ孔に螺合する雄ネジのネジ先端からの押圧により振動プローブおよび温度プローブが底部材に固定されているので、振動プローブおよび温度プローブのプローブケースからの延出長を調整した上でそれぞれを底部材に固定することができる。よって、上記態様に係る計測装置では、振動プローブの一端および温度プローブの一端を確実に計測対象物に対して直に当接させることができ、高精度な計測を行うのに好適である。

上記態様に係る計測装置において、前記プローブケースは、前記振動プローブおよび前記温度プローブの外側方を囲み、内周面が円断面形状で構成された筒状のケース部材をさらに有してもよい。また、前記底部材を前記振動プローブおよび前記温度プローブが延びる方向から平面視する場合に、当該底部材の外周は、前記ケース部材の前記内周面に当接するとともに互いに対向する２つの円弧部と、前記ケース部材の前記内周面から内側に離間するとともに互いに対向する２つの弦部とにより構成されていてもよい。

上記態様に係る計測装置では、底部材の外周が対向する２つの弦部を有しているので、２つの弦部を用いて底部材を万力で押さえた上で、底部材に振動プローブおよび温度プローブを固定することができ、高い組み立て性を実現するのに好適である。

上記態様に係る計測装置において、前記振動プローブは、前記一端と前記振動センサとの間に介挿されるとともに、前記一端から入力される前記計測対象物の振動を伝達可能であって、且つ、前記一端から伝わってくる前記計測対象物の熱を断熱する断熱部材をさらに有してもよい。

上記態様に係る計測装置では、振動プローブにおける上記一端と振動センサとの間に断熱部材が介挿されているので、計測対象物から上記一端を介して振動プローブに熱が伝達されてきても、振動センサまで熱が達するのを抑制することができる。よって、上記態様に係る計測装置では、高い耐熱性を有する高価な振動センサを採用しなくても計測対象物からの熱に起因する振動センサの故障・破損を抑制することができる。

なお、断熱部材は、上記一端から入力された計測対象物の振動を振動センサに伝達可能であるので、計測対象物の振動の強度を高精度に計測することができる。

上記の各態様に係る計測装置では、強風が吹くような環境下においても高精度な計測が可能である。

本発明の実施形態に係る計測装置の外観構成を示す斜視図である。 プローブ部の構成を示す断面図である。 プローブ部の底部材を示す断面図である。 振動プローブの構成を示す断面図である。 先行して開発した計測装置の一部を示す断面図である。

以下では、本発明の実施形態について、図面を参酌しながら説明する。なお、以下で説明の形態は、本発明の一例であって、本発明は、その本質的な構成を除き何ら以下の形態に限定を受けるものではない。

１．計測装置１の構成
本発明の実施形態に係る計測装置１の構成について、図１を用いて説明する。

図１に示すように、計測装置１は、プローブ部１０と、接続部１１と、本体部１２とを備える。プローブ部１０は、腕状に形成されたステー部１０１を有し、当該ステー部１０１を挿通するＵ字ボルト１３とナット１４との螺合によりスチーム配管（計測対象物）５００に固定されている。接続部１１は、外装がフレキシブルパイプにより形成されており、本体部１２の姿勢を所定の状態で維持可能である。接続部１１の内部には、プローブ部１０から本体部１２へと延びるリード線が収容されている。

なお、図１では図示を省略しているが、プローブ部１０は振動プローブおよび温度プローブを備えている。振動プローブと温度プローブとは、スチーム配管５００の管軸Ａｘ５００に沿って並び、且つ、各一端がスチーム配管５００の表面５００ａに直に当接している。なお、振動プローブおよび温度プローブは、各一端（スチーム配管５００に当接する先端）がスチーム配管５００の管軸を指向するように配されている。

なお、本実施形態に係る計測装置１は、スチームトラップの入り口部分に位置するスチーム配管５００に固定されている。

２．プローブ部１０の構成
プローブ部１０の構成について、図２を用いて説明する。

図２に示すように、プローブ部１０は、ケース部材１００、蓋部材１０２、底部材１０３、振動プローブ１０５、および温度プローブ１０６を備える。ケース部材１００は、円筒形状の部材であって、例えば、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合合成樹脂）から形成されている。蓋部材１０２は、円板形状を有する部材であって、ケース部材１００の一方の開口（スチーム配管５００から遠い側に開口）を閉じる部材である。蓋部材１０２も、例えば、ＡＢＳ樹脂から形成されている。底部材１０３は、ケース部材１００のもう一方の開口（スチーム配管５００側の開口）を閉じる部材であって、金属材料（例えば、ステンレス鋼）から形成されている。なお、図１に示したステー部材１０１は、ケース部材１００における外周面に固定されている。

底部材１０３は、複数（例えば、２本）のビス１０４によりケース部材１００の底部に固定されている。底部材１０３は、２つの貫通孔１０３ａ，１０３ｂを有する。貫通孔１０３ａ，１０３ｂは、底部材１０３の厚み方向を貫通するように設けられている。

振動プローブ１０５は、長尺状の部材であって、一端１０５ａを含む一部が底部材１０３の貫通孔１０３ａを挿通して外部に延出し、残りの部分がケース部材１００の内空間１００ａに収容されている。振動プローブ１０５は、底部材１０３の貫通孔１０３ａを挿通する部分で当該底部材１０３に固定され（矢印Ａ１）、上記残りの部分はケース部材１００に対して非接触の状態で配されている（矢印Ａ３）。振動プローブ１０５は、他端から延出するリード線１０５ｂを有する。リード線１０５ｂは、蓋部材１０２を挿通して、接続部１１から本体部１２へと配策されている。振動プローブ１０５は、一端１０５ａが当接するスチーム配管５００の振動の強度を計測する。

温度プローブ１０６は、長尺状の部材であって、一端１０６ａを含む一部が底部材１０３の貫通孔１０３ｂを挿通して外部に延出し、残りの部分がケース部材１００の内空間１００ａに収容されている。温度プローブ１０６は、底部材１０３の貫通孔１０３ｂを挿通する部分で当該底部材１０３に固定され（矢印Ａ２）、上記残りの部分はケース部材１００および振動プローブ１０５に対して非接触の状態で配されている（矢印Ａ４）。温度プローブ１０６は、他端から延出するリード線１０６ｂを有する。リード線１０６ｂは、蓋部材１０２を挿通して、接続部１１から本体部１２へと配策されている。温度プローブ１０６は、一端１０６ａが当接するスチーム配管５００の表面５００ａの温度を計測する。

３．底部材１０３の構造
底部材１０３の構造について、図３を用いて説明する。

図３に示すように、底部材１０３をケース部材１００の筒軸に直交する方向から下面視した場合に、互いに対向する２つの円弧部１０３ｉ，１０３ｊと、互いに対向する２つの弦部１０３ｇ，１０３ｈとで外周が構成されている。弦部１０３ｇと弦部１０３ｈとは、互いに並行する。円弧部１０３ｉ，１０３ｊは、円環断面を有するケース部材１００の内周面１００ｂに隙間なく当接する。

底部材１０３は、４つのネジ孔１０３ｃ～１０３ｆを有する。ネジ孔１０３ｃは、弦部１０３ｇ，１０３ｈが延びる方向に平行な中心軸Ａｘ１を有し、貫通孔１０３ａに連続する。ネジ孔１０３ｄは、弦部１０３ｇ，１０３ｈが延びる方向に平行な中心軸Ａｘ２を有し、貫通孔１０３ｂに連続する。ネジ孔１０３ｅは、弦部１０３ｇ，１０３ｈが延びる方向に対して直交する中心軸Ａｘ３を有し、貫通孔１０３ａに連続する。ネジ孔１０３ｆは、弦部１０３ｇ，１０３ｈが延びる方向に直交する中心軸Ａｘ４を有し、貫通孔１０３ｂに連続する。

底部材１０３は、ケース部材１００の端部開口に対して、２本のビス（雄ネジ）１０４により固定されている。具体的に、ケース部材１００には、底部材１０３を装着した際にネジ孔１０３ｃ，１０３ｄに連続する通し孔１００ｃ，１００ｄが形成されている。それぞれのビス１０４は、通し孔１００ｃ，１００ｄを挿通してネジ孔１０３ｃ，１０３ｄの雌ネジに螺合している。底部材１０３は、ケース部材１００に対して、ネジ孔１０３ｃ，１０３ｄへのビス１０４の螺合により固定されている。

振動プローブ１０５は、貫通孔１０３ａに一端１０５ａ側の一部が挿通された状態で、イモネジ（雄ネジ）１０７のネジ先端からの押圧を受けて貫通孔１０３ａの内周面に外周面の一部が押し付けられて当接している。振動プローブ１０５は、ネジ孔１０３ｅの雌ネジとイモネジ１０７との締結力により底部材１０３に固定されている。

温度プローブ１０６は、貫通孔１０３ｂに一端１０５ａ側の一部が挿通された状態で、イモネジ（雄ネジ）１０７のネジ先端からの押圧を受けて貫通孔１０３ｂの内周面に外周面の一部が押し付けられて当接している。温度プローブ１０６は、ネジ孔１０３ｆの雌ネジとイモネジ１０７との締結力により底部材１０３に固定されている。なお、本実施形態で用いるイモネジ１０７とは、「六角穴付き止めネジ」のことを指す。

４．振動プローブ１０５の詳細構造
振動プローブ１０５の詳細構造について、図４を用いて説明する。

図４に示すように、振動プローブ１０５は、探触棒１０５０、台座部１０５１、断熱部材１０５２、振動センサ１０５３、およびビス１０５４を有している。探触棒１０５０は、金属材料（例えば、ステンレス鋼）から形成された円筒状または円柱状の部材である。探触棒１０５０の先端が振動プローブ１０５の一端１０５ａであり、外凸の曲面で構成されている。

台座部１０５１は、金属材料（例えば、ステンレス鋼）から形成された円柱状の部材であって、振動プローブ１０５の中心軸Ａｘ１０５上に形成されたネジ孔１０５１ｂを有する。断熱部材１０５２は、アルミナセラミックスから形成された部材であって、円筒状を有する。断熱部材１０５２には、一方端側から探触棒１０５０の他端が嵌入され、他方端側から台座部１０５１が嵌入されている。

断熱部材１０５２に嵌入された探触棒１０５０と台座部１０５１とは、互いの端面１０５０ａ，１０５１ａ同士の間に隙間ＳＰが空くように配されている。なお、詳細な図示を省略しているが、断熱部材１０５２と探触棒１０５０および台座部１０５１とは、中心軸Ａｘ１０５に対して交差する方向の外方からのビスなどにより固定される。

振動センサ１０５３は、圧電素子として圧電型セラミックスが使用された圧電型加速度センサからなる。振動センサ１０５３は、ビス１０５４と台座部１０５１におけるネジ孔１０５１ｂの雌ネジとの螺合をもって台座部１０５１に隙間なく固定されている。

ここで、振動プローブ１０５のサイズ設定方法について、説明する。

蒸気および復水（ドレン）の何れか一方が流れるスチームトラップ等の計測対象物においてその振動を計測した場合、計測対象物内を流れる流体が蒸気であるか否かによって、特定の周波数成分が大きく異なり、特に、１０ｋＨｚ付近の振動周波数を調べることで、計測対象物内を流れる流体が蒸気であるか否かを比較的高い精度で判別できることが知られている（特開２０１６－１１９０４号公報）。そのため、スチームトラップ等の蒸気漏れの有無の診断を行う場合に使用する計測装置１の振動プローブ１０５については、１０ｋＨｚ付近の振動の強度を高精度に計測することができるように形成することが重要となる。

以上のような知見を基として、探触棒１０５０、台座部１０５１、および断熱部材１０５２のサイズ設定がなされている。具体的に、上記の流れの音響特性かの共振周波数をｆ、探触棒１０５０、台座部１０５１、および断熱部材１０５２の振動加速度をＣ、一端１０５ａから台座部１０５１における振動センサ１０５３の取付面までの長さをＬ、一端１０５ａから台座部１０５１における振動センサ１０５３の取付面までの断面サイズをＤとするとき、次に関係を満たすようにサイズ設定がなされている。
ｆ＝Ｃ×（Ｄ／Ｌ） ・・（式１）
上記関係式において、共振周波数ｆが１０ｋＨｚ付近としてサイズ設定がなされる。

５．効果
本実施形態に係る計測装置１では、振動プローブ１０５の一端１０５ａおよび温度プローブ１０６の一端１０６ａがそれぞれスチーム配管（計測対象物）５００の表面５００ａに直に当接する。よって、計測装置１では、プローブと計測対象物との間に座金が介挿された上記特許文献１に開示の構造よりも高精度に振動の強度および表面温度の計測が可能である。

また、本実施形態に係る計測装置１では、振動プローブ１０５および温度プローブ１０６が底部材１０３に対して固定されているので、仮に強風が吹くような環境下においても振動プローブ１０５および温度プローブ１０６の各一端１０５ａ，１０６ａをスチーム配管５００の表面５００ａにしっかり当接させた状態を維持することができる。即ち、振動プローブ１０５および温度プローブ１０６のそれぞれの固定箇所は各一端１０５ａ，１０６ａから距離が短いく、例え強風が吹いて各一端１０５ａ，１０６ａが振れたとしても、その振れ幅は図５で示した構造よりも小さく抑えられる。よって、計測装置１では、強風が吹くような環境下においても高精度な計測が可能である。

ここで、振動プローブ１０５を底部材１０３に固定した場合に計測できる振動の共振周波数を確認したところ、６ｋＨｚ付近、１０ｋＨｚ付近、１５ｋＨｚ付近の３つの共振ピークがあった。蒸気漏れの有無を診断する場合に重要となる１０ｋＨｚ付近にもピークを有するため、高精度な計測が可能である。

また、本実施形態に係る計測装置１では、底部材１０３のネジ孔１０３ｅ，１０３ｆに螺合するイモネジ（雄ネジ）１０７のネジ先端からの押圧により振動プローブ１０５および温度プローブ１０６が底部材１０３に固定されているので、振動プローブ１０５および温度プローブ１０６の底部材１０３からの延出長を調整した上でそれぞれを底部材１０３に固定することができる。よって、計測装置１では、振動プローブ１０５の一端１０５ａおよび温度プローブ１０６の一端１０６ａを確実にスチーム配管５００の表面５００ａに対して直に当接させることができ、高精度な計測を行うのに好適である。

また、本実施形態に係る計測装置１では、底部材１０３の外周が対向する２つの弦部１０３ｇ，１０３ｈを有しているので、２つの弦部１０３ｇ，１０３ｈを用いて底部材１０３を万力で押さえた上で、底部材１０３に振動プローブ１０５および温度プローブ１０６を固定することができ、高い組み立て性を実現するのに好適である。

また、本実施形態に係る計測装置１では、振動プローブ１０５における一端１０５ａと振動センサ１０５３との間（探触棒１０５０と台座部１０５１との間）に断熱部材１０５２が介挿されているので、スチーム配管５００から一端１０５ａを介して探触棒１０５０に熱が伝達されてきても、振動センサ１０５３まで熱が達するのを抑制することができる。よって、計測装置１では、高い耐熱性を有する高価な振動センサを採用しなくてもスチーム配管５００からの熱に起因する振動センサ１０５３の故障・破損を抑制することができる。

なお、断熱部材１０５２は、一端１０５ａから入力されたスチーム配管５００の振動を振動センサ１０５３に伝達可能であるので、スチーム配管５００の振動の強度を高精度に計測することができる。

以上のように、本実施形態に係る計測装置１では、強風が吹くような環境下においても高精度な計測が可能である。

［変形例］
振動プローブ１０５の探触棒１０５０については、中実の円柱体とすることも、中空の円筒体とすることも可能である。また、横断面形状（中心軸Ａｘ１０５に直交する方向の断面形状）は、円形に限定されず、多角形や長円形（楕円形を含む。）とすることも可能である。

上記実施形態では、探触棒１０５０をステンレス鋼などの金属材料から形成し、断熱部材１０５２をアルミナセラミックスから形成することとしたが、本発明は、これに限定を受けるものではない。例えば、探触棒１０５０をアルミナセラミックスから形成することや、断熱材料１０５２を樹脂材料から形成することも可能である。

上記実施形態では、振動プローブ１０５および温度プローブ１０６をイモネジ１０７を用いて底部材１０３に固定することとしたが、本発明では、頭を有するビスやボルトを用いて振動プローブ１０５および温度プローブ１０６を底部材１０３に固定してもよい。また、リベット止めや溶接、さらにはロウ付けなどを用いてもよい。

上記実施形態では、互いに別部材であるケース部材１００と底部材１０３とを接合することとしたが、本発明では、ケース部材と底部材とが一体形成された構成を採用することも可能である。

上記実施形態では、底部材１０３において、振動プローブ１０５が挿通する貫通孔１０３ａと、温度プローブ１０６が挿通する貫通孔１０３ｂとを別々に設けることとしたが、本発明では、１つの貫通孔に振動プローブ１０５および温度プローブ１０６を挿通させることとしてもよい。

１ 計測装置
１０ プローブ部
１００ ケース部材
１０３ 底部材
１０３ａ，１０３ｂ 貫通孔
１０３ｇ，１０３ｈ 弦部
１０３ｉ，１０３ｊ 円弧部
１０５ 振動プローブ
１０６ 温度プローブ
１０７ イモネジ（雄ネジ）
１０５０ 探触棒
１０５１ 台座部
１０５２ 断熱部材
１０５３ 振動センサ

Claims (4)

1. 長尺状の部材であって、一端が計測対象物に当接するように配され、他端に振動の強度を計測する振動センサを有する振動プローブと、
   長尺状の部材であって、一端が前記計測対象物に当接するように配され、前記計測対象物の表面温度を計測する温度プローブと、
   前記振動プローブにおける前記一端を含む一部と、前記温度プローブにおける前記一端を含む一部とのそれぞれを外部に延出させた状態で、前記振動プローブにおける前記振動センサを含む残りの部分と、前記温度プローブにおける残りの部分とのそれぞれを内方に収容するプローブケースと、
   を備え、
   前記プローブケースは、前記振動プローブおよび前記温度プローブが挿通する部分に貫通孔が設けられた底部材を有し、
   前記振動プローブおよび前記温度プローブのそれぞれは、前記貫通孔を囲む周面に直に当接する状態で、前記底部材に対して固定されている、
   計測装置。
2. 請求項１に記載の計測装置において、
   前記底部材は、前記振動プローブおよび前記温度プローブが挿通する方向に対して交差する方向に延び、前記貫通孔に連続する２つのネジ孔を有し、
   該計測装置は、前記２つのネジ孔に螺合する２本の雄ネジをさらに備え、
   前記振動プローブおよび前記温度プローブのそれぞれは、前記２つのネジ孔に対して螺合する前記２本の雄ネジの各ネジ先端からの押圧を受けて前記底部材に固定されている、
   計測装置。
3. 請求項２に記載の計測装置において、
   前記プローブケースは、前記振動プローブおよび前記温度プローブの外側方を囲み、内周面が円断面形状で構成された筒状のケース部材をさらに有し、
   前記底部材を前記振動プローブおよび前記温度プローブが延びる方向から平面視する場合に、当該底部材の外周は、前記ケース部材の前記内周面に当接するとともに互いに対向する２つの円弧部と、前記ケース部材の前記内周面から内側に離間するとともに互いに対向する２つの弦部とにより構成されている、
   計測装置。
4. 請求項１から請求項３の何れかに記載の計測装置において、
   前記振動プローブは、前記一端と前記振動センサとの間に介挿されるとともに、前記一端から入力される前記計測対象物の振動を伝達可能であって、且つ、前記一端から伝わってくる前記計測対象物の熱を断熱する断熱部材をさらに有する、
   計測装置。

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