JP7340331B2 - 化学的ガイディング構造を基板上に形成するための方法及び化学的エピタキシー方法 - Google Patents
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Description
- ブロック共重合体に対して第1の化学親和力を有する第1のポリマー材料から作製された機能化層を基板上に形成する工程と、
- 第1の化学親和力とは異なる、ブロック共重合体に対して第2の化学親和力を有する第2のポリマー材料から作製されたガイディングパターンを基板上に形成する工程と、
を含み、ガイディングパターンは、12.5nmよりも短い限界寸法を有し、スペーサを備えるマスクによって形成される。
- 機能化層を基板上に形成する工程と、
- 犠牲材料の層を機能化層上に堆積させる工程と、
- 基板に面しているキャビティを犠牲材料の層内及び機能化層内に形成する工程と、ここで各キャビティが底部と側壁とを備える、
- キャビティの側壁に対してスペーサを形成する工程と、
- 第2のポリマー材料をスペーサ間のキャビティの底部上へグラフト重合する工程と、
- スペーサ及び犠牲材料の層を除去する工程。
- 第2のポリマー材料の層を基板上に形成する工程と、
- スペーサを第2のポリマー材料の層上に形成する工程と、
- ガイディングパターンを形成するために、スペーサを通過して第2のポリマー材料の層をエッチングする工程と、
- 機能化層を形成するために、第1のポリマー材料をガイディングパターンの外側の基板上へグラフト重合する工程と、
- スペーサを除去する工程。
- PS-b-PMMA:ポリスチレン-block-ポリメタクリル酸メチル、2つのブロックのうちの少なくとも1つは化学的に修飾される。
- 共重合体のブロックのいずれかに対する優先的な親和力、又は
- ニュートラル、すなわち共重合体のブロックの各々に対して等価な親和力をもつ。
- 樹脂層の、又はハードマスクを形成することが意図されたいくつかの層、たとえば、遠心分離(「Spin On Carbon(スピンオンカーボン)」、SOC)によって堆積される炭素質層、シリコン含有反射防止コーティング(SiARC)、及び樹脂層を連続して含む3つの層のスタックの、第1の層110上での堆積、
- 樹脂層内でのアパーチャの作成と、適用可能である場合は、ハードマスクの下にある層へのアパーチャの移動(マスクの開口の工程)、及び
- 樹脂マスク又はハードマスクを通過する第1の層110及び中和層220の選択的エッチング。基板100は、エッチングに対して非感受性である、又はエッチングに対して非感受性の層によって保護される。
- PS-b-PMMA:ポリスチレン-block-ポリメタクリル酸メチル、2つのブロックのうちの少なくとも1つは化学的に修飾される。
11 架橋ポリスチレン薄膜
11’ 平行ライン、ポリスチレンライン、ライン
12 樹脂パターン、樹脂マスク、マスク
13 中和層
100 基板
110 第1の層
111 キャビティ
112 底部
113 側壁
120 第2の層
130 スペーサ
140 第1のポリマー
150 第2のポリマー
200 ガイディング構造、化学的ガイディング構造
200’ ガイディング構造
210 ガイディングパターン
220 中和層
220a 第1の部分
220b 第2の部分
300 メサ形パターン、マンドレル
301 第2のポリマー層、
302 犠牲材料層
310 エッチングマスク、マスク
311 スペーサ、スペーサパターン
400 エリア
410 UV線
500 ブロック共重合体
D1、D2 距離
H 深度
L0 固有周期、周期
LS 距離、ピッチ
P 周期
S11、S12、S13、S15、S16、S21、S22、S24、S25、S26、S27、S37 工程
W 限界寸法
Claims (11)
- 化学的エピタキシーによって、ブロック共重合体(500)の自己組織化のための化学的ガイディング構造(200、200’)を形成するための方法であって、
- ブロック共重合体(500)に対して第1の化学親和力を有する第1のポリマー材料(140)から作製された機能化層(220)を、基板(100)上に形成する工程と、
- ブロック共重合体に対して第1の化学親和力とは異なる第2の化学親和力を有する第2のポリマー材料(150)から作製されたガイディングパターン(210)を、前記基板上に形成する工程と、
を含む方法であって、
ガイディングパターン(210)が、12.5nmよりも短い限界寸法(W)を有し、スペーサ(130、311)を備えるマスク(310)によって境界が定められることを特徴とする、方法。 - 第1の化学親和力が、共重合体ブロックの各々に対して等価であり、第2の化学親和力が、共重合体のブロックのうちの1つに対して優先的である、請求項1に記載の方法。
- - 機能化層(220)を基板(100)上に形成する工程(S11)と、
- 犠牲材料の層(110)を機能化層上に堆積させる工程(S12)と、
- 基板(100)に面しているキャビティ(111)を犠牲材料の層(110)内及び機能化層(220)内に形成する工程(S12)と、ここで、各キャビティは底部(112)と側壁(113)とを備える、
- キャビティ(111)の側壁に対してスペーサ(130)を形成する工程(S13、S14)と、
- 第2のポリマー材料(150)をスペーサ(130)間のキャビティの底部上へグラフト重合する工程(S15)と、
- スペーサ(130)及び犠牲材料の層(110)を除去する工程(S16)と
を含む、請求項1及び又は2に記載の方法。 - - 第2のポリマー材料(150)の層(301)を基板(100)上に形成する工程(S22)と、
- スペーサ(311)を第2のポリマー材料の層上に形成する工程(S23-S24)と、
- ガイディングパターン(210)を形成するために、スペーサ(311)を通過して第2のポリマー材料の層(301)をエッチングする工程(S25)と、
- 機能化層(220)を形成するために、第1のポリマー材料(140)をガイディングパターンの外側の基板上へグラフト重合する工程(S26)と、
- スペーサ(311)を除去する工程(S27)と、
を含む、請求項1及び又は2に記載の方法。 - 紫外線(410)照射により、機能化層(220)の一部(220a)のみの第1の化学親和力を修正する工程(S37)をさらに含む、請求項4に記載の方法。
- - スペーサ(311)を除去する工程(S27)の前に、紫外線(410)照射が、基板(100)の表面全体にわたって実行され、
- 紫外線が、150nmから350nmの間に含まれる波長(λ)を有し、
- スペーサ(311)が、波長の半分以下の距離(D1、D2)で2つずつ分離される、請求項5に記載の方法。 - ガイディングパターン(210)の限界寸法(W)が、さらに、ブロック共重合体(500)の固有周期(L0)の半分に実質的に等しい、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- マスク(310)は、最初にトポグラフィックパターン(111、300)を形成し、その後に前記スペーサ(130、311)をトポグラフィックパターン(111、300)の側壁上に形成することによって得られる、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記スペーサ(130、311)を形成する工程は、
- トポグラフィックパターン(111、300)上に犠牲材料層(120、302)のコンフォーマル堆積を実行する工程と、
- 基板(100)に垂直な優先的なエッチング方向において、犠牲材料層(120、302)を異方性エッチングする工程と、
を含む、請求項8に記載の方法。 - - 請求項1から9のいずれか一項に記載の方法を使用して、化学的ガイディング構造(200、200’)を基板(100)上に形成する工程と、
- ブロック共重合体(500)を化学的ガイディング構造(200、200’)上に堆積させる工程と、
- ブロック共重合体(500)を組織化する工程と、
を含む化学的エピタキシー方法。 - ブロック共重合体(500)が、25nmよりも短い固有周期(L0)の共重合体である、請求項10に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1762863A FR3075774B1 (fr) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | Procede de formation d’une structure de guidage chimique sur un substrat et procede de chemo-epitaxie |
FR1762863 | 2017-12-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019114792A JP2019114792A (ja) | 2019-07-11 |
JP7340331B2 true JP7340331B2 (ja) | 2023-09-07 |
Family
ID=61802123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018239148A Active JP7340331B2 (ja) | 2017-12-21 | 2018-12-21 | 化学的ガイディング構造を基板上に形成するための方法及び化学的エピタキシー方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10845705B2 (ja) |
EP (1) | EP3503165B1 (ja) |
JP (1) | JP7340331B2 (ja) |
KR (1) | KR20190075857A (ja) |
FR (1) | FR3075774B1 (ja) |
TW (1) | TWI794377B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3051965A1 (fr) * | 2016-05-27 | 2017-12-01 | Commissariat Energie Atomique | Procede de formation d’un motif de guidage fonctionnalise pour un procede de grapho-epitaxie |
FR3075775B1 (fr) * | 2017-12-21 | 2020-01-17 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de formation d’une structure de guidage chimique sur un substrat et procede de chemo-epitaxie |
US10727058B2 (en) * | 2018-08-20 | 2020-07-28 | Applied Materials, Inc. | Methods for forming and etching structures for patterning processes |
US11676821B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Self-aligned double patterning |
DE102020123934A1 (de) * | 2019-10-29 | 2021-04-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Selbstausgerichtete doppelstrukturierung |
FR3134651A1 (fr) | 2022-04-13 | 2023-10-20 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procédé de fabrication d'un capteur de lumière |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005532682A (ja) | 2002-07-09 | 2005-10-27 | ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド | パターン形成方法 |
JP2015520510A (ja) | 2012-05-15 | 2015-07-16 | 東京エレクトロン株式会社 | ブロックコポリマーを用いたパターンの形成および物品 |
JP2016526183A (ja) | 2013-05-17 | 2016-09-01 | アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ | ポリマー型熱酸発生剤を含む組成物及びそれの方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2009002A (en) * | 2011-07-18 | 2013-01-21 | Asml Netherlands Bv | Method for providing a template for a self-assemblable polymer for use in device lithography. |
US9123541B2 (en) | 2013-04-03 | 2015-09-01 | Brewer Science Inc. | Highly etch-resistant polymer block for use in block copolymers for directed self-assembly |
KR102651697B1 (ko) * | 2015-09-07 | 2024-03-27 | 아이엠이씨 브이제트더블유 | 트렌치 보조 케모에피탁시(trac) dsa 흐름 |
-
2017
- 2017-12-21 FR FR1762863A patent/FR3075774B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2018
- 2018-12-20 EP EP18214862.7A patent/EP3503165B1/fr active Active
- 2018-12-20 US US16/227,101 patent/US10845705B2/en active Active
- 2018-12-21 KR KR1020180167262A patent/KR20190075857A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-12-21 JP JP2018239148A patent/JP7340331B2/ja active Active
- 2018-12-21 TW TW107146341A patent/TWI794377B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005532682A (ja) | 2002-07-09 | 2005-10-27 | ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド | パターン形成方法 |
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JP2016526183A (ja) | 2013-05-17 | 2016-09-01 | アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ | ポリマー型熱酸発生剤を含む組成物及びそれの方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190075857A (ko) | 2019-07-01 |
FR3075774B1 (fr) | 2021-07-30 |
US10845705B2 (en) | 2020-11-24 |
US20190196336A1 (en) | 2019-06-27 |
TWI794377B (zh) | 2023-03-01 |
FR3075774A1 (fr) | 2019-06-28 |
JP2019114792A (ja) | 2019-07-11 |
EP3503165B1 (fr) | 2021-03-03 |
TW201935521A (zh) | 2019-09-01 |
EP3503165A1 (fr) | 2019-06-26 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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