JP7339559B2 - light emitting element - Google Patents
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Description
本発明は、発光素子に関する。 The present invention relates to light emitting devices.
特許文献1には、n側半導体層の上に設けられたp側半導体層上に、p側半導体層を被覆し開口を有する絶縁膜を設け、n側電極を絶縁膜の開口内に設けてn側半導体層と導通させている発光素子が開示されている。
In
このような発光素子において、発光部における活性層の面積を確保しつつ発光分布を改善することが望まれる。 In such a light-emitting element, it is desired to improve the light emission distribution while securing the area of the active layer in the light-emitting portion.
本発明の一実施形態に係る発光素子は、上面視形状が四角形の基板と、前記基板上に設けられた第1発光部及び第2発光部であって、前記第1発光部及び前記第2発光部のそれぞれは、第1導電型の第1半導体層と、第2導電型の第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に位置する活性層と、を含む前記第1発光部及び前記第2発光部と、前記第1発光部及び前記第2発光部を覆い、前記第1発光部及び前記第2発光部それぞれに設けられた、前記第1半導体層上に位置する複数の第1開口部と、前記第2半導体層上に位置する少なくとも1つの第2開口部と、を含む絶縁層であって、上面視において、複数の前記第1開口部は、前記第2半導体層の外縁よりも外側に設けられた前記絶縁層と、前記絶縁層上に設けられ、前記第1発光部に設けられた複数の前記第1開口部にて前記第1発光部の前記第1半導体層と電気的に接続された第1電極と、前記第2発光部に設けられた前記第2開口部にて前記第2発光部の前記第2半導体層と電気的に接続された第2電極と、前記絶縁層上に設けられ、前記第1発光部に設けられた前記第2開口部にて前記第1発光部の前記第2半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第2発光部に設けられた複数の前記第1開口部にて前記第2発光部の前記第1半導体層と電気的に接続された第3電極と、を有し、前記基板は、前記第1発光部及び前記第2発光部から露出する露出部を有し、上面視において、前記露出部は、前記基板の中心を通る直線に重なって設けられている。 A light-emitting element according to one embodiment of the present invention includes a substrate having a rectangular top view shape, and a first light-emitting portion and a second light-emitting portion provided on the substrate, wherein the first light-emitting portion and the second light-emitting portion are provided on the substrate. Each of the light emitting portions includes a first semiconductor layer of a first conductivity type, a second semiconductor layer of a second conductivity type, and an active layer positioned between the first semiconductor layer and the second semiconductor layer. and the first semiconductor layer covering the first light emitting unit and the second light emitting unit and provided in each of the first light emitting unit and the second light emitting unit. An insulating layer including a plurality of first openings located thereabove and at least one second opening located on the second semiconductor layer, wherein in a top view, the plurality of first openings are , the insulating layer provided outside the outer edge of the second semiconductor layer, and the plurality of first openings provided on the insulating layer and provided in the first light emitting section to emit the first light. a first electrode electrically connected to the first semiconductor layer of the part, and the second semiconductor layer of the second light emitting part electrically connected to the second opening provided in the second light emitting part The connected second electrode is provided on the insulating layer, and is electrically connected to the second semiconductor layer of the first light emitting section through the second opening provided in the first light emitting section. and a third electrode electrically connected to the first semiconductor layer of the second light emitting section at the plurality of first openings provided in the second light emitting section, wherein the substrate is , an exposed portion exposed from the first light emitting portion and the second light emitting portion, and the exposed portion is provided so as to overlap a straight line passing through the center of the substrate when viewed from above.
本発明の一実施形態に係る発光素子によれば、発光部における活性層の面積を確保しつつ発光分布が改善された発光素子を提供できる。 According to the light emitting device according to one embodiment of the present invention, it is possible to provide a light emitting device in which the area of the active layer in the light emitting portion is secured and the light emission distribution is improved.
以下、本発明に係る発光素子及び発光装置の実施形態について説明する。
なお、以下の説明において参照する図面は、本発明を概略的に示したものであるため、各部材のスケールや間隔、位置関係などが誇張、あるいは、部材の一部の図示が省略されている場合がある。また、上面図、断面図の間において、各部材のスケールや間隔が一致しない場合もある。また、以下の説明では、同一の名称及び符号については原則として同一又は同質の部材を示しており、詳細な説明を適宜省略することとする。
Embodiments of a light-emitting element and a light-emitting device according to the present invention will be described below.
It should be noted that the drawings referred to in the following description schematically show the present invention, and therefore the scale, spacing, positional relationship, etc. of each member are exaggerated, or illustration of a part of the member is omitted. Sometimes. Also, the scale and spacing of each member may not match between the top view and cross-sectional view. In addition, in the following description, the same names and symbols basically indicate the same or homogeneous members, and detailed description thereof will be omitted as appropriate.
<第1実施形態>
図1、図2Aから図2Cを参照して、第1実施形態の発光素子10Aの構成について説明する。図1は、発光素子10Aの構成の詳細を説明するための模式上面図である。図2Aに示す断面図は、図1に示す上面図のIIA-IIA線における断面を模式的に示したものである。図2Bに示す断面図は、図1に示す上面図のIIB-IIB線における断面を模式的に示したものである。図2Cは、発光素子10Aの構成の詳細を説明するための模式上面図である。
<First embodiment>
The configuration of the
発光素子10Aは、基板11と、基板11上に設けられた第1発光部12A及び第2発光部12Bとを含む。第1発光部12A及び第2発光部12Bのそれぞれは、第1導電型の第1半導体層12nと、第2導電型の第2半導体層12pと、第1半導体層12nと第2半導体層との間に位置する活性層12aとを含んでいる。発光素子10Aは、第1発光部12A及び第2発光部12Bを覆う絶縁層14と、第1発光部12Aの第1半導体層12nと電気的に接続された第1電極15と、第2発光部12Bの第2半導体層12pと電気的に接続された第2電極16と、第1発光部12Aの第2半導体層12pと電気的に接続されるとともに、第2発光部12Bの第1半導体層12nと電気的に接続された第3電極17と、を含む。第1電極15は、第1配線部151と、第1配線部151上に設けられた第1外部接続部152と、を含んでもよい。第2電極16は、第2配線部161と、第2配線部161上に設けられた第2外部接続部162と、を含んでもよい。第1外部接続部152と第2外部接続部162との間に電圧を印加することで、第1電極15、第2電極16、及び第3電極17を介して、第1発光部12A及び第2発光部12Bに電流が供給され、第1発光部12A及び第2発光部12Bの活性層12aが発光する。第1発光部12A及び第2発光部12Bの活性層12aから発する光は、主に基板11の下面及び側面から外部に取り出される。
The light-emitting
基板11は、半導体をエピタキシャル成長させることができる基板材料であればよい。基板11には、例えば、絶縁性の基板を用いる。本実施形態においては、発光素子10Aの光取り出し効率を向上させる観点から透光性を有するサファイア基板を用いることが好ましい。基板11の上面視形状は四角形である。基板11の上面視形状は、例えば、矩形とすることができる。本実施形態において、基板11の上面視形状は、正方形である。基板11の一辺の長さは、例えば、100μm以上1500μm以下であり、好ましくは100μm以上500μm以下である。
基板11は、第1発光部12A及び第2発光部12Bから露出する露出部11Rを有している。上面視において、露出部11Rは、基板11の中心を通る直線に重なって設けられている。本実施形態においては、露出部11Rは、上面視における基板11の第1対角線21に重なって設けられている。露出部11Rは、上面視において、第1発光部12Aと第2発光部12Bとの間に位置している。露出部11Rは、基板11の一の角部から他の角部まで連続して設けられている。なお、上面視における基板11の対角線のうち第1対角線21とは異なる対角線を第2対角線22とする。基板11の中心は、第1対角線21と第2対角線22とが交差する部分である。露出部11Rの幅は、例えば、3μm以上10μm以下とすることできる。
The
第1発光部12A及び第2発光部12Bは、基板11の上に半導体層が積層された積層体である。基板11上に設けられた第1発光部12Aと第2発光部12Bとは電気的に絶縁している。第1発光部12A及び第2発光部12Bのそれぞれは、第1導電型の第1半導体層12nと、第2導電型の第2半導体層12pと、第1半導体層12nと第2半導体層12pとの間に位置する活性層12aと、含む。本実施形態において、第1導電型はn型であり、第2導電型はp型である。第1半導体層12n、活性層12a及び第2半導体層12pは、InXAlYGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y<1)等の半導体が好適に用いられる。また、これらの半導体層は、それぞれ単層構造でもよく、組成及び膜厚等の異なる複数の層の積層構造、超格子構造等であってもよい。特に、活性層12aは、量子効果が生じる薄膜を積層した単一量子井戸又は多重量子井戸構造であることが好ましい。半導体層にはSi、Ge等のn型不純物及び/又はMg、Zn等のp型不純物をドープすることができる。第1半導体層12nは、例えば、n型不純物がドープされた半導体層を含む。第2半導体層12pは、例えば、p型不純物がドープされた半導体層を含む。
The first
図1に示すように、第1発光部12A及び第2発光部12Bの第1半導体層12nの上面視形状は、例えば、略三角形である。上面視において、第1発光部12A及び第2発光部12Bは、直線状の露出部11Rによって離隔され、第1発光部12Aの面積と、第2発光部12Bの面積とは、略同じである。これにより、第1発光部12Aと第2発光部12Bとを直列に接続する場合に、第1発光部12A及び第2発光部12Bに印加される電圧のばらつきを低減でき、第1発光部12Aと第2発光部12Bとにおける発光のばらつきを抑制することができる。
As shown in FIG. 1, the top view shape of the
第1発光部12A及び第2発光部12Bの第1半導体層12nは、上面視において、第1部分12naと、第1部分12naよりも内側に位置する第2部分12nbとを有する。第1部分12naは、活性層12a及び第2半導体層12pが設けられておらず、活性層12a及び第2半導体層12pから第1半導体層12nが露出している部分である。第2部分12nbには、活性層12a及び第2半導体層12pが設けられる。上面視において、第1部分12naは、第2半導体層12pの外縁よりも外側に位置している。上面視において、第1部分12naは、第2部分12nb側に延出する複数の延出部を有し、第1部分12naの延出部に後述する絶縁層14の第1開口部14nが位置している。
The
光反射性電極13は、図1、図2Aから図2Cに示すように、第2半導体層12pの上面に設けられ、第2半導体層12pと電気的に接続される。光反射性電極13は、第2半導体層12pの上面の略全面を覆って設けられている。
The light-
光反射性電極13は、第2電極16及び第3電極17を介して供給される電流を、第2半導体層12pに拡散させることができる。光反射性電極13は、活性層12aからの光に対して高い光反射性を有することが好ましい。光反射性電極13は、活性層12aからの光に対して、例えば、70%以上、好ましくは80%以上の反射率を有することが好ましい。光反射性電極13は、良好な導電性と光反射性とを有する金属材料を用いることができる。光反射性電極13には、金属材料として、例えばAg、Al、Ni、Ti、Pt、Ta、Ru又はこれらの金属を主成分とする合金を好適に用いることができる。また、光反射性電極13は、これらの金属材料を単層で、又は積層したものを用いることができる。光反射性電極13の厚さは、例えば、300nm以上1μm以下とすることができる。
The light-
図1、図2Aから図2Cに示すように、絶縁層14は、第1発光部12A及び第2発光部12Bの表面と、基板11の露出部11Rの表面とを覆って設けられている。絶縁層14は、第1発光部12A及び第2発光部12Bそれぞれに設けられた、第1半導体層12n上に位置する複数の第1開口部14nと、第2半導体層12p上に位置する少なくとも1つの第2開口部14pと、を含む。上面視において、複数の第1開口部14nは、第2半導体層12pの外縁よりも外側に位置する第1部分12na上に位置している。上面視において、複数の第1開口部14nは、島状に設けられている。本実施形態では、第1発光部12A及び第2発光部12Bのそれぞれに3つの第1開口部14nが設けられている。また、第1発光部12Aには、2つの第2開口部14pが設けられ、第2発光部12Bには、1つの第2開口部14pが設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2A to 2C, the insulating
上面視において、第2発光部12Bに設けられた複数の第1開口部14nのうち少なくとも1つは、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間に位置している。これにより、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域に電流を供給させやすくし、発光素子10Aの発光分布を改善することができる。第2発光部12Bに設けられた複数の第1開口部14nのうち少なくとも1つは、第2対角線22上に位置していることが好ましい。これにより、発光素子10Aの発光分布をさらに改善することができる。
At least one of the plurality of
第1発光部12Aに設けられた複数の第1開口部14nのうち少なくとも1つは、第2対角線22上に位置している。本実施形態において、第1発光部12Aに設けられた第1開口部14nの1つは、上面視において、第2対角線22上における第1外部接続部152と基板11の外縁との間に位置している。これにより、第1外部接続部152と基板11の外縁との間に電流を供給させやすくし、発光素子10Aの発光分布を改善することできる。第1配線部151は、第2対角線22上における第1外部接続部152と基板11の外縁との間に設けられた第1開口部14nにて第1半導体層12nと電気的に接続されている。そのため、第2対角線22上における第1配線部151の外縁と基板11の外縁との間の距離は、第2対角線22上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の距離よりも短くなっている。
At least one of the plurality of
第1開口部14nの大きさは第1発光部12A及び第2発光部12Bの大きさによって適宜設定することができる。第1開口部14nの上面視での形状が、例えば円形の場合、第1開口部14nの直径は、例えば、5μm以上20μm以下とすることができる。第1開口部14nの直径を5μm以上とするにより、第1電極15及び第3電極17と第1半導体層12nとが接続される面積を増加させ順方向電圧Vfの上昇を抑制することができる。第1開口部14nの直径を20μm以下とすることにより、活性層12aを除去する領域を小さくし活性層12aの面積が小さくなることを抑制することができる。
The size of the
第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pは、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域以外に設けられている。第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域に位置する第1発光部12Aの第2半導体層12pの面積は小さくなりやすく、第2開口部14pを所望の形状に設けることが難しい。第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pを、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域以外に設けることで、第2開口部14pの形状を所望の形状に設けやすく、発光素子10Aの電気的特性を安定化させることができる。
The
上面視において、第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pの面積は、第1開口部14nの面積よりも大きい。例えば、第1発光部12Aに設けられた1つの第2開口部14pの面積は、第1発光部12Aに設けられた1つの第1開口部14nの面積の30倍以上50倍以下とすることができる。
When viewed from above, the area of the
絶縁層14としては、酸化物や窒化物を用いることができる。絶縁層14には、例えば、Si、Ti、Zr、Nb、Ta、Alからなる群より選択された少なくとも一種の材料を含む酸化物又は窒化物を好適に用いることができる。絶縁層14には、例えば、SiO2やSiNなどを用いる。また、絶縁層14は、これらの酸化物や窒化物を単層で、又は積層したものが利用できる。絶縁層14として、屈折率の異なる2種以上の誘電体層を用いて積層し、DBR(Distributed Bragg Reflector)膜を構成するようにしてもよい。
As the insulating
図1、図2Aから図2Cに示すように、第1電極15は、絶縁層14上に設けられ、第1発光部12Aに設けられた複数の第1開口部14nにて第1発光部12Aの第1半導体層12nと電気的に接続されている。第1電極15の一部は、絶縁層14を介して第2半導体層12pの上方に設けられている。第2電極16は、第2発光部12Bに設けられた第2開口部14pにて第2発光部12Bの第2半導体層12pと電気的に接続されている。第2電極16の一部は、絶縁層14上に設けられている。第3電極17は、絶縁層14上に設けられ、第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pにて第1発光部12Aの第2半導体層12pと電気的に接続されるとともに、第2発光部12Bに設けられた複数の第1開口部14nにて第2発光部12Bの第1半導体層と電気的に接続されている。第3電極17は、第1発光部12Aと、第2発光部12Bと、露出部11Rとを連続して覆っている。第1発光部12Aと第2発光部12Bとは、第1電極15、第2電極16、及び第3電極17により直列に接続されている。
As shown in FIGS. 1 and 2A to 2C, the
本実施形態において、第1電極15及び第3電極17は、第1半導体層12nの第1部分12na上に位置する第1開口部14nのみで第1半導体層12nと電気的に接続されている。つまり、第1電極15及び第3電極17は、第2半導体層12pの外縁よりも内側に位置する第1半導体層12nとは電気的に接続されていない。これにより、第1発光部12A及び第2発光部12Bの活性層12aの面積を広く確保することができる。第1電極15及び第3電極17を第2半導体層12pの外縁よりも内側に位置する第1半導体層12nと電気的に接続させる場合、部分的に活性層12aを除去する必要があり発光素子10Aの活性層12aの面積が小さくなってしまう。なお、第1電極15及び第3電極17は、発光分布を悪化させない程度に第2半導体層12pの外縁よりも内側に位置し第1半導体層12nが露出する第3部分と電気的に接続されていてもよい。上面視において、第3部分は、第2半導体層12pに囲まれた部分である。
In this embodiment, the
第1電極15は、第1半導体層12n上に設けられた第1配線部151と、第1配線部151上に設けられ、第1配線部151と電気的に接続された第1外部接続部152を含む。第1配線部151は、第1発光部12Aに設けられた複数の第1開口部14nにて第1半導体層12nと電気的に接続されている。第2電極16は、第2半導体層12p上に設けられた第2配線部161と、第2配線部161上に設けられ、第2配線部161と電気的に接続された第2外部接続部162を含む。第2配線部161は、第2発光部12Bに設けられた第2開口部14pにて光反射性電極13と電気的に接続されている。上面視において、第1配線部151と、第2配線部161と、第3電極17とは重ならないように設けられている。上面視において、第2配線部161は、第3電極17に囲まれている。第1対角線21上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の距離は、第2対角線22上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の距離と略同じである。
The
第1配線部151、第2配線部161、及び第3電極17には、金属材料を用いることができ、例えば、Ag、Al、Ni、Rh、Au、Cu、Ti、Pt、Pd、Mo、Cr、Wなどの単体金属又はこれらの金属を主成分とする合金などを好適に用いることができる。第1配線部151、第2配線部161、及び第3電極17として合金を用いる場合は、例えば、AlSiCu合金等を用いることができる。また、第1配線部151、第2配線部161、及び第3電極17は、これらの金属材料を単層で、又は積層したものを利用することができる。本実施形態において、第1配線部151、第2配線部161、及び第3電極17は同じ金属材料を用いた積層構造である。
A metal material can be used for the
図2Cに示すように、第1外部接続部152及び第2外部接続部162は、第2対角線22上に設けられている。第1対角線21に平行な方向において、第1外部接続部152と第2外部接続部162とは重ならないように設けられている。このように第1外部接続部152及び第2外部接続部162を配置することで、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の距離を、例えば、第1外部接続部152及び第2外部接続部162を基板11の一辺に平行な方向に対向して配置する場合よりも長くできる。その結果、第1外部接続部152及び第2外部接続部162を配線が設けられた基板に接合する際、導電性の異なる2つの配線に跨って第1外部接続部152又は第2外部接続部162が設けられることを抑制することができる。また、第1外部接続部152及び第2外部接続部162を半田などの導電性部材を用いて配線に接合する際、導電性部材によって第1外部接続部152及び第2外部接続部162が電気的に接続されることを抑制できる。つまり、第1外部接続部152と第2外部接続部162とが導電性部材により短絡されることを抑制できる。上面視において、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の最短距離は、例えば、基板11の一辺の30%以上60%以下とすることが好ましく、40%以上50%以下とすることがより好ましい。第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の最短距離は、例えば、120μm以上250μm以下である。
As shown in FIG. 2C , the first
第1外部接続部152及び第2外部接続部162の上面視形状は、略三角形である。本実施形態において、第1外部接続部152及び第2外部接続部162の上面視形状は、角部が丸まった三角形である。第1外部接続部152及び第2外部接続部162と配線との接合性や位置精度を向上させる観点から、第1外部接続部152及び第2外部接続部162の大きさを略同じとすることが好ましい。
The top view shape of the first
上面視において、第1外部接続部152及び第2外部接続部162は、第1対角線21に平行な直線部を含む。第1外部接続部152の直線部と第2外部接続部162の直線部との間の距離が、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の最短距離に相当する。第1外部接続部152及び第2外部接続部162は直線部の長さは、例えば、基板11の一辺の長さの20%以上40%以下とすることができる。第1外部接続部152及び第2外部接続部162がこのような直線部を有することで、第1外部接続部152の直線部と第2外部接続部162の直線部との間の距離が同じ領域を配置することできる。これにより、第1外部接続部152と第2外部接続部162とが部分的に近くなる部分がなくなり、基板に接合する際に第1外部接続部152と第2外部接続部162が電気的に接続されることを抑制できる。
When viewed from above, the first
第1外部接続部152及び第2外部接続部162の材料としては、Cu、Au、Niなどの金属を好適に用いることができる。また、第1外部接続部152及び第2外部接続部162は、これらの金属材料を単層で、又は積層したものを利用することができる。第1外部接続部152及び第2外部接続部162の厚さは、例えば、30μm以上70μm以下とすることできる。
Metals such as Cu, Au, and Ni can be suitably used as materials for the first
図1、図2Aから図2Cに示すように、保護膜30は、絶縁層14、第1電極15、第2電極16、及び第3電極17の表面を覆って設けられている。保護膜30は、第1発光部12A及び第2発光部12Bの表面を覆っている。保護膜30は、絶縁層14、第1電極15、第2電極16、及び第3電極17を保護するための部材である。保護膜30は、第1配線部151上に位置する第3開口部30nと、第2配線部161上に位置する第4開口部30pと、を含む。第3開口部30n及び第4開口部30pには、シード電極18が設けられている。第1配線部151と第1外部接続部152との間、第2配線部161と第2外部接続部162との間にはシード電極18が設けられている。例えば、第1外部接続部152及び第2外部接続部162をめっき法により形成する場合、第1外部接続部152及び第2外部接続部162はシード電極18を起点に成長することで形成される。
As shown in FIGS. 1 and 2A to 2C, the
以上説明したように、発光素子10Aは、第1部分12na上に位置する複数の第1開口部14nにて第1半導体層12nと電気的に接続される第1電極15及び第3電極17を有する。これにより、第1発光部12A及び第2発光部12Bの活性層12aの面積を比較的大きく確保しつつ、発光素子10Aの発光分布を改善することができる。また、発光素子10Aは、基板11の中心を通る第1対角線21に重なって設けられた露出部11Rによって隔離された第1発光部12A及び第2発光部12Bを有する。これにより、直列に接続された第1発光部12A及び第2発光部12Bに印加される電圧のばらつきを低減し発光分布を改善することができる。
As described above, the light-emitting
なお、本実施形態では、2つの発光部を含む発光素子10Aについて説明したが、3以上の発光部を含む発光素子としてもよい。また、本実施形態では、保護膜30が設けられた形態を説明したが、保護膜30は設けなくてもよい。また、本実施形態では、光反射性電極13が設けられた形態を説明したが、光反射性電極13は設けなくてもよい。また、シード電極18が設けられた形態を説明したが、シード電極18を設けず、第1外部接続部152を第1配線部151に直接設け、第2外部接続部162を第2配線部161に直接設けてもよい。また、本実施形態では、基板11に直線上の露出部11Rを設ける形態を説明したが、露出部11Rを設けずに高抵抗の半導体層を設けることで第1発光部12Aと第2発光部12Bを電気的に絶縁した形態としてもよい。また、上面視において、露出部11Rを直線のみで設ける形態を説明したが、露出部11Rの一部を曲線としてもよい。また、上面視において、露出部11Rを1つの直線で設ける形態を説明したが、複数の直線を含む露出部11Rとしてもよい。例えば、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域に位置し第1対角線21に重なる第1直線と、第1直線から連続し基板11の一辺に平行な第2直線と、を有する露出部11Rとしてもよい。
Although the light-emitting
<第2実施形態>
次に図3Aを参照して、第2実施形態の発光素子10Bの構成について説明する。
<Second embodiment>
Next, with reference to FIG. 3A, the configuration of the
発光素子10Bは、図3Aに示すように、第3電極17の配置が発光素子10Aと主に相違している。以下では、図1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
The
図3Aに示すように、本実施形態において、第1対角線21上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の第1距離は、第2対角線22上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の第2距離よりも長くなっている。つまり、露出部11Rが設けられている基板11の外縁から第3電極17の外縁までの距離を、露出部11Rが設けられていない基板11の外縁から第3電極17の外縁までの距離を長くしている。ここで、例えば、後述する発光装置100Bのように、透光部材60を発光素子10Aの外周部に設ける場合、透光部材60の一部が露出部11R上に這い上がるおそれがある。これは、露出部11Rには第1発光部12A及び第2発光部12Bが設けられておらず、発光素子10Aのうち露出部11Rが設けられている領域は他の領域よりも低くなっているためである。蛍光体を含有する透光部材60が第3電極17に接触すると、第3電極17が腐食し発光装置の信頼性を低下させるおそれがある。本実施形態によれば、第1距離を比較的長くしているため、露出部11Rに透光部材60が這い上がったとしても第3電極17に達することが抑制され、透光部材60により第3電極17が腐食等することを抑制することができる。その結果、発光装置の信頼性を高くすることができる。
As shown in FIG. 3A, in the present embodiment, the first distance between the outer edge of the
第1距離は、例えば、第2距離の1.5倍以上3倍以下とすることができる。第1距離を第2距離の1.5倍以上とすることで、第3電極17に透光部材60が達することを抑制しやすくできる。第1距離を第2距離の3倍以下とすることで、第3電極17を配置する領域を確保しやすくできる。第3電極17が配置される面積を確保する観点から、第1対角線21上における第3電極17の外縁は、第1発光部12Aと第2発光部12Bとの間の領域には位置しないように設けられている。
The first distance can be, for example, 1.5 to 3 times the second distance. By setting the first distance to be 1.5 times or more the second distance, it is possible to easily suppress the
本実施形態においては、第1距離を第2距離よりも長くしたことにより、第1実施形態の発光素子10Aに比べて、第3電極17が配置される領域は小さくなる。第1対角線21付近に位置する第3電極17の面積は、第1実施形態の発光素子10Aに比べて小さくなっている。後述する発光装置100Cに示すように、第3電極17が設けられていない領域上には、光反射性を有する第1反射部材50が設けられる。そのため、第3電極17が設けられていない領域において、発光素子10Aからの光は第1反射部材50により透光部材60側に反射される。
In this embodiment, since the first distance is longer than the second distance, the area where the
<第2実施形態の変形例>
次に、図3Bを参照して、第2実施形態の第1変形例である発光素子10B1の構成について説明する。図3Bは、発光素子10B1における、図1のIIB-IIB線に相当する位置の模式断面図である。
<Modification of Second Embodiment>
Next, with reference to FIG. 3B, the configuration of a light emitting element 10B1, which is a first modified example of the second embodiment, will be described. FIG. 3B is a schematic cross-sectional view of a position corresponding to line IIB-IIB in FIG. 1 in light emitting element 10B1.
発光素子10B1は、図3Bに示すように、第3電極17の一部を保護膜30から露出させていることが発光素子10Bと主に相違している。したがって、図3Aに示す発光素子10Bの図1のIIB-IIB線に相当する位置の模式断面図は、第3電極17の一部が保護膜30から露出していることを除いて、図3Bの模式断面図と同一である。以下では、図1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
The main difference between the light emitting element 10B1 and the light emitting element 10B1 is that part of the
図3Bに示すように、光反射性電極13、及び第3電極17の一部が上下方向に接触して配置されている。光反射性電極13と第3電極17の一部とが重なった位置において、光反射性電極13と接する側と反対側の第3電極17の一部が保護膜30から露出し、第3電極17に露出部17aが形成されている。露出部17aは、上面視においては、各第1開口部14pに1つずつ形成される。ここで、図3Cは、露出部17aを含む発光素子10B1の回路構成図である。図3Cに示すように、第1外部接続部152、第1発光部12A、第3電極17、第2発光部12B、及び第2外部接続部162が電気的に直列接続されている。第1発光部12Aにおいては、第1外部接続部152、シード電極18、第1配線部151、第1半導体層12n、活性層12a、第2半導体層12p、光反射性電極13、及び第3電極17が電気的に接続される。また、第2発光部12Bにおいては、第3電極17、第1半導体層12n、活性層12a、第2半導体層12p、光反射性電極13、第2配線部161、シード電極18、及び第2外部接続部162が電気的に接続される。第1発光部12Aと、第2発光部12Bとの間には第3電極17が電気的に接続され、各露出部17aは、同電位になる。
As shown in FIG. 3B, the light
発光素子10B1においては、第1外部接続部152、及び第2外部接続部162に、例えば、プローブを当接させて検査を行うことにより、第1発光部12A、及び第2発光部12Bの電気的特性を評価することができる。これにより、発光装置10B1においては、第1発光部12A、及び第2発光部12Bを合わせた電気的特性を評価することができる。これに加え、発光素子10B1においては、露出部17aのいずれか1つと、第1外部接続部152とを用いて、第1発光部12Aの電気的特性を評価することができる。さらに、露出部17aのいずれか1つと、第2外部接続部162とを用いて、第2発光部12Bの電気的特性を評価することができる。したがって、発光素子10B1においては、第1発光部12A、及び第2発光部12Bを合わせた電気的特性に加え、第1発光部12A、第2発光部12Bのそれぞれについて個別に電気的特性を評価することができる。また、第1発光部12A、及び第2発光部12Bの電気的特性を個別に評価できるため、発光素子10B1の評価の信頼性を向上させることができる。
In the light-emitting element 10B1, for example, a probe is brought into contact with the first
次に、図3Dを参照して、第2実施形態の第2変形例である発光素子10B2の構成について説明する。図3Dは、発光素子10B2における、図1のIIB-IIB線に相当する位置の模式断面図である。 Next, with reference to FIG. 3D, the configuration of a light emitting element 10B2, which is a second modification of the second embodiment, will be described. FIG. 3D is a schematic cross-sectional view of a position corresponding to line IIB-IIB in FIG. 1 in light emitting element 10B2.
発光素子10B2は、図3Dに示すように、第2実施形態の第1変形例の発光素子10B1の露出部17aの上側に金属層を配置したことが発光素子10B1と相違している。以下では、図10B1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
As shown in FIG. 3D, the light emitting element 10B2 differs from the light emitting element 10B1 in that a metal layer is arranged above the exposed
図3Dに示すように、露出部17aの上側に金属層18aが配置されている。金属層18aの材料は、例えば、シード電極18と同じ材料が用いられる。この場合、金属層18aは、例えば、シード電極18を形成するタイミングでシード電極18と同時に形成されてよい。金属層18aを設けることにより、プローブを金属層18aに当接させることができる。このように第3電極17の露出部17aに金属層18aを介してプローブを当接させることにより、第3電極17が損傷することを抑制できる。
As shown in FIG. 3D, a
<第3実施形態>
次に図4を参照して、第3実施形態の発光素子10Cの構成について説明する。
<Third Embodiment>
Next, with reference to FIG. 4, the configuration of the
発光素子10Cは、図4に示すように、第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pの配置が発光素子10Aと主に相違している。以下では、図1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
As shown in FIG. 4, the
図4に示すように、本実施形態において、1つの第2開口部14pが、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域と、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間以外の領域とに連続して設けられている。これにより、第3電極17と第1発光部12Aの第2半導体層12pとが電気的に接続される領域を第1実施形態の発光素子10Aよりも大きくすることできる。その結果、発光素子10Aの順方向電圧Vfを低減することができる。
As shown in FIG. 4, in the present embodiment, one
第2対角線22に平行な方向において、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域に設けられた第2開口部14pの幅は、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間以外の領域に設けられた第2開口部14pの幅よりも小さい。これにより、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の距離をより短くしつつ、第3電極17と第1発光部12Aの第2半導体層12pとが接続される面積を大きく確保しやすくすることができる。なお、本実施形態において、第1外部接続部152は、第1電極15としてもよい。また第2外部接続部162は、第2電極16としてもよい。
In the direction parallel to the second
<第4実施形態>
次に図5を参照して、第4実施形態の発光素子10Dの構成について説明する。以下では、図1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
<Fourth Embodiment>
Next, with reference to FIG. 5, the configuration of the
発光素子10Dは、図5に示すように、基板11の露出部11Rが基板11の中心を通り、基板11の一辺の長さを2等分する直線に重なって設けられている。露出部11Rに平行な方向に直交する方向において、第1外部接続部152と第2外部接続部162とは対向して設けられている。第1発光部12A及び第2発光部12Bの上面視形状は、略四角形である。上面視において、第1発光部12Aの面積と、第2発光部12Bの面積は略同じである。第1外部接続部152及び第2外部接続部162の上面視形状は、角部が丸まった四角形である。第1発光部12A及び第2発光部12Bにはそれぞれ4つの第1開口部14nが設けられている。第2発光部12Bに設けられた4つの第1開口部14nのうち2つの第1開口部14nは、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間に位置している。露出部11Rに平行な方向に直交する方向において、第1発光部12Aに設けられた4つの第1開口部14nのうち2つの第1開口部14nは、第1外部接続部152と基板11の外縁との間に位置している。第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pは、露出部11Rに沿って設けられている。第1発光部12Aに設けられた第2開口部14pは、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間の領域と、第1外部接続部152と第2外部接続部162との間以外の領域とに連続して設けられている。なお、本実施形態において、第1外部接続部152は、第1電極15としてもよい。また第2外部接続部162は、第2電極16としてもよい。
As shown in FIG. 5, the
本実施形態に係る発光素子10Dにおいても、上述した第1実施形態に係る発光素子10Aと同様に、第1発光部12A及び第2発光部12Bの活性層12aの面積を比較的大きく確保しつつ、発光素子10Dの発光分布を改善することができる。
In the light-emitting
<発光装置100A>
図6A、図6B、及び図7を参照して、発光素子10Aを用いた発光装置100Aの構成について説明する。図6A及び図6Bは、発光装置100Aを示す斜視図である。図7に示す断面図は、図6BのVII-VII線における断面を模式的に示したものである。
<
A configuration of a
発光装置100Aは、図6A、図6B、及び図7に示すように、発光素子10Aと、発光素子10Aの側面を覆う被覆部材40と、発光素子10Aの側面及び被覆部材40の表面を覆う第1反射部材50と、発光素子10Aの基板11の下面に設けられた透光部材60と、を有する。
As shown in FIGS. 6A, 6B, and 7, the
被覆部材40は、図7に示すように、発光素子10Aの側面の少なくとも一部と、透光部材60の上面とを覆っている。被覆部材40は、発光素子10Aの各側面の一部を覆っている。発光素子10Aの基板11は、被覆部材40により覆われている。被覆部材40は、第1反射部材50と接する部分に曲面を有している。被覆部材40を設けることで、発光素子10Aから出射される光を被覆部材40の曲面により透光部材60側に反射させ、光取り出し効率を向上させることができる。
The covering
第1反射部材50は、図7に示すように、発光素子10Aの上面の一部及び側面の一部、被覆部材40の曲面、及び透光部材60の上面を覆っている。第1反射部材50は、第1外部接続部152及び第2外部接続部162の側面を覆っている。第1反射部材50は、第1外部接続部152及び第2外部接続部162の一部は覆わないように設けられる。第1反射部材50から露出する第1外部接続部152及び第2外部接続部162の表面は外部との導通部として機能する。第1反射部材50の上面と、第1外部接続部152及び第2外部接続部162の上面とは略同一平面上に位置している。
The first reflecting
第1反射部材50には、光反射性を有する樹脂又はセラミックを用いる。第1反射部材50には、例えば、樹脂に光反射性の物質が含有された樹脂を用いることができる。例えば、樹脂としては、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等を用いる。光反射性の物質としては、酸化チタン、酸化ケイ素、アルミナ等を用いる。第1反射部材50が光反射性を有することで、発光素子10Aから出射される光を反射させ、光取り出し効率を向上させることができる。第1反射部材50は、例えば、発光素子10Aから出射される光の波長に対して、60%以上の反射率、好ましくは70%以上の反射率を有することが好ましい。
Resin or ceramic having light reflectivity is used for the first reflecting
透光部材60は、発光素子10Aの基板11の下面に設けられている。透光部材60は、光反射性物質や、発光素子10Aから出射される光の一部を波長変換可能な蛍光体を含有することができる。透光部材60は、例えば、樹脂、ガラス、セラミック等により形成することができる。また、蛍光体を含有する透光部材60は、例えば、蛍光体の焼結体、あるいは樹脂、ガラス、セラミックに蛍光体を含有させたものを用いることができる。
The
透光部材60に含有させる蛍光体には、公知の材料を適用することができる。透光部材60に含有させる蛍光体には、例えば、イットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えば、Y3(Al,Ga)5O12:Ce)、ルテチウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えば、Lu3(Al,Ga)5O12:Ce)、テルビウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えば、Tb3(Al,Ga)5O12:Ce)、CCA系蛍光体(例えば、Ca10(PO4)6Cl2:Eu)、SAE系蛍光体(例えば、Sr4Al14O25:Eu)、クロロシリケート系蛍光体(例えば、Ca8MgSi4O16Cl2:Eu)、βサイアロン系蛍光体(例えば、(Si,Al)3(O,N)4:Eu)、αサイアロン系蛍光体(例えば、Ca(Si,Al)12(O,N)16:Eu)、SLA系蛍光体(例えば、SrLiAl3N4:Eu)、CASN系蛍光体(例えば、CaAlSiN3:Eu)若しくはSCASN系蛍光体(例えば、(Sr,Ca)AlSiN3:Eu)等の窒化物系蛍光体、KSF系蛍光体(例えば、K2SiF6:Mn)、KSAF系蛍光体(例えば、K2(Si,Al)F6:Mn)若しくはMGF系蛍光体(例えば、3.5MgO・0.5MgF2・GeO2:Mn)等のフッ化物系蛍光体、ペロブスカイト構造を有する蛍光体(例えば、CsPb(F,Cl,Br,I)3)、又は、量子ドット蛍光体(例えば、CdSe、InP、AgInS2又はAgInSe2)等を用いることができる。これらの蛍光体と、発光素子からの光の波長の組み合わせにより、所望の発光色の発光装置を得ることができる。
A known material can be applied to the phosphor contained in the
透光部材60は、発光素子10Aの基板11の下面を被覆するように配置する場合、接着材を介して接合することができる。接着材は、例えば、エポキシ又はシリコーンのような透光性を有する樹脂を用いることができる。また、透光部材60と発光素子10Aの基板11の下面との接合には、例えば、表面活性化接合、原子拡散接合、水酸基接合等による直接接合法を用いてもよい。
When the
<発光装置100B>
図8A、図8B、及び図9を参照して、発光素子10Aを用いた発光装置100Bの構成について説明する。図8A及び図8Bは、発光装置100Bを示す斜視図である。図9に示す断面図は、図8BのIX-IX線における断面を模式的に示したものである。
<
A configuration of a
発光装置100Bは、図8A、図8B、及び図9に示すように、第1反射部材50、透光部材60、及び第2反射部材70の配置と、被覆部材40が配置されていないことが発光装置100Aと主に相違している。以下では、図6A、図6B、及び図7に示す発光装置100Aと同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
As shown in FIGS. 8A, 8B, and 9, the
発光装置100Bは、発光素子10Aと、発光素子10Aの上面の一部を覆う第1反射部材50と、発光素子10Aの基板11の側面及び下面を覆う透光部材60と、透光部材60の下面に設けられた第2反射部材70と、を有する。
The
第1反射部材50は、図9に示すように、発光素子10Aの上面の一部と、透光部材60の上面を覆っている。第1反射部材50は、基板11の側面及び下面には設けられていない。これにより、発光素子10Aから出射される光のうち第1反射部材50側に向かう光を透光部材60側に反射させるとともに、発光素子10Aから出射される光を透光部材60に効率よく入射させることができる。第1反射部材50の上面は、第1外部接続部152及び第2外部接続部162の上面よりも下方に位置している。第1外部接続部152と第2外部接続部162との間に位置する第1反射部材50の上面は、その他の領域に位置する第1反射部材50の上面よりも下方に位置している。
The first reflecting
透光部材60は、第1半導体層12nの側面、基板11の側面及び下面に設けられている。発光素子10Aから出射される光の一部は、透光部材60の側面から取り出される。
The
第2反射部材70は、透光部材60の下面に設けられている。透光部材60は、第1反射部材50と第2反射部材70の間に設けられている。第2反射部材70には、上述した第1反射部材50と同様の部材を用いることができる。また、第2反射部材70には、光反射性を有する金属部材、複数の誘電体層を含むDBR(Distributed Bragg Reflector)を用いることができる。
The second reflecting
<発光装置100C>
図10を参照して、発光素子10B2を用いた発光装置100Cの構成について説明する。図10は、発光素子10B2を用いた発光装置100Cを示す模式断面図である。より詳細には、図10は、発光装置100Cに含まれる発光素子10B2の図1のIIB-IIB線に相当する位置での模式断面図である。発光装置100Cの斜視図は、上述の図8A,図8Bと同様である。また、発光装置100Cは、発光素子10B2を用いているが、発光素子10B、100B1のいずれを用いてもよい。
<
A configuration of a light-emitting
発光装置100Cは、発光素子10B2において、第1対角線21上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の第1距離が、第2対角線22上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の第2距離よりも長くなっていることが発光装置100Bと主に相違している。以下では、図8A、図8B、及び図9に示す発光装置100Bと同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
In the
図10に示すように、発光装置100Cは、発光素子10B2と、発光素子10B2の上面の一部を覆う第1反射部材50と、発光素子10B1の基板11の側面、及び下面を覆う透光部材60と、透光部材60の下面に設けられた第2反射部材70と、を有する。
As shown in FIG. 10, the light-emitting
発光素子10B2において、第1対角線21上における第3電極17の外縁と基板11の外縁との間の第1距離が、発光装置100Bの第1距離と比較して短くなっている。つまり、発光素子10B2を用いた発光装置100Cは、発光素子10Aを用いた発光装置100Bと比較して、第3電極17が配置される領域が上面視において小さくなる。また、第3電極17が設けられていない領域上には、光反射性を有する第1反射部材50が設けられる。そのため、第3電極17が設けられていない領域において、発光素子10B2からの光は第1反射部材50により透光部材60側に反射される。これにより、上述の発光装置100Bと比較して、発光素子10B2から出射される光のうち第1反射部材50側に向かう光を透光部材60側にさらに多く反射させ、発光素子10B2から出射される光を透光部材60に効率よく入射させることができる。したがって、発光装置100Cは、発光装置100Bと比較して、発光分布をさらに改善することができる。
In the light emitting element 10B2, the first distance between the outer edge of the
以上、本発明に係る発光素子及び発光装置について、発明を実施するための形態によって具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変などしたものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。 As described above, the light-emitting element and the light-emitting device according to the present invention have been specifically described by the embodiments for carrying out the invention. should be interpreted broadly on the basis of In addition, it goes without saying that various changes and modifications based on these descriptions are also included in the gist of the present invention.
10A、10B、10B1、10B2、10C、10D 発光素子
11 基板
11R 露出部
12A 第1発光部
12B 第2発光部
12n 第1半導体層
12na 第1部分
12nb 第2部分
12a 活性層
12p 第2半導体層
13 光反射性電極
14 絶縁層
14n 第1開口部
14p 第2開口部
15 第1電極
151 第1配線部
152 第1外部接続部
16 第2電極
161 第2配線部
162 第2外部接続部
17 第3電極
17a 露出部
18 シード電極
18a 金属層
21 第1対角線
22 第2対角線
30 保護膜
30n 第3開口部
30p 第4開口部
40 被覆部材
50 第1反射部材
60 透光部材
70 第2反射部材
100A、100B、100C 発光装置
10A, 10B, 10B1, 10B2, 10C, 10D
Claims (6)
前記基板上に設けられた第1発光部及び第2発光部であって、前記第1発光部及び前記第2発光部のそれぞれは、第1導電型の第1半導体層と、第2導電型の第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に位置する活性層と、を含む前記第1発光部及び前記第2発光部と、
前記第1発光部及び前記第2発光部を覆い、前記第1発光部及び前記第2発光部それぞれに設けられた、前記第1半導体層上に位置する複数の第1開口部と、前記第2半導体層上に位置する少なくとも1つの第2開口部と、を含む絶縁層であって、上面視において、複数の前記第1開口部は、前記第2半導体層の外縁よりも外側に設けられた前記絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられ、前記第1発光部に設けられた複数の前記第1開口部にて前記第1発光部の前記第1半導体層と電気的に接続された第1電極と、
前記第2発光部に設けられた前記第2開口部にて前記第2発光部の前記第2半導体層と電気的に接続された第2電極と、
前記絶縁層上に設けられ、前記第1発光部に設けられた前記第2開口部にて前記第1発光部の前記第2半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第2発光部に設けられた複数の前記第1開口部にて前記第2発光部の前記第1半導体層と電気的に接続された第3電極と、を有し、
前記基板は、前記第1発光部及び前記第2発光部から露出する露出部を有し、
上面視において、前記露出部は、前記基板の中心を通る直線に重なって設けられ、
前記露出部は、上面視における前記基板の第1対角線上に位置し、
前記第1電極は、前記第1半導体層上に設けられた第1配線部と、前記第1配線部上に設けられ、前記第1配線部と電気的に接続された第1外部接続部を含み、
前記第2電極は、前記第2半導体層上に設けられた第2配線部と、前記第2配線部上に設けられ、前記第2配線部と電気的に接続された第2外部接続部を含み、
前記第1外部接続部及び前記第2外部接続部は、上面視における前記基板の対角線のうち前記第1対角線とは異なる第2対角線上に設けられ、
前記第1発光部に設けられた前記第2開口部は、前記第1外部接続部と前記第2外部接続部との間の領域以外に設けられ、
上面視において、前記第2発光部に設けられた複数の前記第1開口部のうち少なくとも1つは、前記第1外部接続部と前記第2外部接続部との間に位置すると共に、前記第2対角線上に位置する発光素子。 a substrate having a rectangular top view shape;
A first light-emitting portion and a second light-emitting portion provided on the substrate, wherein each of the first light-emitting portion and the second light-emitting portion includes a first semiconductor layer of a first conductivity type and a semiconductor layer of a second conductivity type. the first light emitting unit and the second light emitting unit including a second semiconductor layer of and an active layer located between the first semiconductor layer and the second semiconductor layer;
a plurality of first openings located on the first semiconductor layer, covering the first light-emitting portion and the second light-emitting portion and provided in the first light-emitting portion and the second light-emitting portion, respectively; and at least one second opening located on two semiconductor layers, wherein the plurality of first openings are provided outside an outer edge of the second semiconductor layer when viewed from above. the insulating layer;
a first electrode provided on the insulating layer and electrically connected to the first semiconductor layer of the first light emitting unit at the plurality of first openings provided in the first light emitting unit;
a second electrode electrically connected to the second semiconductor layer of the second light emitting unit at the second opening provided in the second light emitting unit;
is provided on the insulating layer and is electrically connected to the second semiconductor layer of the first light emitting section through the second opening provided in the first light emitting section; a third electrode electrically connected to the first semiconductor layer of the second light emitting section at the plurality of first openings provided;
The substrate has an exposed portion exposed from the first light emitting portion and the second light emitting portion,
When viewed from above, the exposed portion is provided so as to overlap a straight line passing through the center of the substrate ,
The exposed portion is positioned on a first diagonal line of the substrate in top view,
The first electrode includes a first wiring portion provided on the first semiconductor layer and a first external connection portion provided on the first wiring portion and electrically connected to the first wiring portion. including
The second electrode includes a second wiring portion provided on the second semiconductor layer and a second external connection portion provided on the second wiring portion and electrically connected to the second wiring portion. including
The first external connection portion and the second external connection portion are provided on a second diagonal line different from the first diagonal line among diagonal lines of the substrate in top view,
the second opening provided in the first light-emitting portion is provided in a region other than the region between the first external connection portion and the second external connection portion;
When viewed from above, at least one of the plurality of first openings provided in the second light emitting portion is positioned between the first external connection portion and the second external connection portion, and is located between the first external connection portion and the second external connection portion. Light-emitting elements located on two diagonal lines .
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