JP7324876B2 - 可動コネクトロジーを有するマニホールド - Google Patents

Description

関連出願の相互参照
本出願は、２０１９年５月２８日に出願された米国仮特許出願第６２／８５３，４６９号の米国特許法第１１９条に基づく利益を主張し、その開示は、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。

本開示は、マニホールドおよびマニホールドと共に使用するためのフィルタカートリッジ、特に、各端部でフランジを使用してマニホールドに接続するフィルタカートリッジ、および少なくとも１つのコネクタが可動なマニホールドに関する。

マニホールドは、例えば半導体製造などの製造プロセス中に、流体を濾過するために使用される交換可能なフィルタカートリッジを保持するために使用することができる。マニホールドは、流体をマニホールド内に導き、濾過された流体がマニホールドから流出する際に流体を受け取ることができる。

フィルタカートリッジは、圧力下で膨張する場合がある。この膨張に対応するために、マニホールドは、フィルタカートリッジコネクタの移動を可能にする１つのコネクタを含むことができる。コネクタはまた、マニホールドの本体に応力をかけ、加圧されたカートリッジはマニホールドを押圧する。

本開示は、マニホールドおよびマニホールドと共に使用するためのフィルタカートリッジ、特に、各端部でフランジを使用してマニホールドに接続するフィルタカートリッジ、および少なくとも１つのコネクタが可動なマニホールドに関する。

フランジおよび面シールを使用する接続は、ボールジョイントまたは直線部分よりも安全な接続およびより効果的な封止を提供するが、フィルタカートリッジの両端に使用すると、固着されたマニホールドブロックが過度の応力および膨張による反りにさらされるか、または異なるカートリッジが使用される場合に嵌合不良の危険性がある。フィルタブロックの少なくとも一端をフィルタカートリッジの長さ方向に摺動可能にすることにより、マニホールドブロックがフィルタカートリッジの膨張またはフィルタカートリッジの長さの変動を受け入れることが可能になる。次に、このマニホールドと共に使用するためのフィルタカートリッジは、両端にフランジおよび面シールを使用することができ、接続の安全性および封止の品質を向上させる。

さらに、突出部の周囲に沿ったシールと対向する面シールを使用することにより、フィルタカートリッジが膨張および収縮する際にシールが摩擦によってそれらの溝から変位することが防止され、フィルタおよびマニホールドの起こり得る故障位置が除去される。

一実施形態では、フィルタユニットは、フィルタ本体と、第１の開口部を有するフィルタ本体の第１の端部と、第１の端部に位置する第１のフランジとを含む。フィルタユニットはまた、第１の端部とは反対側の、フィルタ本体の第２の端部であって、第２の端部に位置する第２の開口部および第２のフランジを有する、第２の端部を有する。フィルタユニットは、マニホールドに挿入されてフィルタユニットが加圧されていない場合に、フィルタ本体の第１の端部からフィルタ本体の第２の端部までの第１の長さを有し、フィルタユニットがマニホールドに挿入されてフィルタユニットが加圧されている場合に、第１の長さよりも大きい、フィルタ本体の第１の端部からフィルタ本体の第２の端部までの第２の長さを有する。

一実施形態では、フィルタユニットは、第１の端部に第１のシールおよび第２の端部に第２のシールをさらに含む。一実施形態では、第１のシールおよび第２のシールはそれぞれ面シールである。一実施形態では、第１のシールは、第１のフランジに形成されている第１の溝に位置し、第２のシールは、第２のフランジに形成されている第２の溝に位置する。一実施形態では、第１の溝は、第１のフランジのフィルタ本体とは反対側の面に形成され、第２の溝は、第２のフランジのフィルタ本体とは反対側の面に形成される。

一実施形態では、フィルタ本体はスラリーフィルタを含む。

一実施形態では、フィルタマニホールドシステムは、フィルタユニットと、マニホールドブロックとを含む。フィルタユニットは、フィルタ本体と、第１の開口部を有するフィルタ本体の第１の端部と、第１の端部に位置する第１のフランジとを含む。フィルタユニットはまた、第１とは反対側の、フィルタ本体の第２の端部であって、第２の端部に位置する第２の開口部および第２のフランジを有する、第２の端部を有する。マニホールドブロックは、第１のブロック開口部、およびフィルタユニットの第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロックと、第２のブロック開口部、およびフィルタユニットの第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロックと、マニホールドブロック本体とを含む。第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成される。

一実施形態では、フィルタユニットは、第１の端部に第１のシールおよび第２の端部に第２のシールをさらに含み、第１のシールおよび第２のシールはそれぞれ面シールである。一実施形態では、第１のシールは、第１のフランジに形成されている第１の溝に位置し、第２のシールは、第２のフランジに形成されている第２の溝に位置する。

一実施形態では、フィルタユニットは、フィルタユニットが加圧されると、第１の端部から第２の端部までの距離が変化するように構成される。

一実施形態では、フィルタユニットがマニホールドブロック内に設置されて加圧されると、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化する。

一実施形態では、フィルタマニホールドシステムは、第１のフランジが第１のスロットによって受けられ、第２のフランジが第２のスロットによって受けられる場合に、第１のブロック開口部、第１のフィルタ開口部、フィルタ本体、第２のフィルタ開口部、および第２のブロック開口部によって流路が形成されるように構成される。

一実施形態では、第１の端部ブロックは第１のブロック開口部と連通する第１の流体ライン用のコネクタを含み、第２の端部ブロックは第２のブロック開口部と連通する第２の流体ライン用のコネクタを含む。

一実施形態では、マニホールドブロック本体はマニホールドブロック本体スロットを含み、可動であるように構成されている第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、マニホールドブロック本体スロット内に嵌合するように構成されている端部ブロックフランジを含む。

一実施形態では、第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、マニホールドブロック本体に固定される。

一実施形態では、マニホールドブロックは、第１のブロック開口部、および第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロックと、第２のブロック開口部、および第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロックと、マニホールドブロック本体とを含む。第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成される。

一実施形態では、第１の端部ブロックは第１のブロック開口部と連通する第１の流体ライン用のコネクタを含み、第２の端部ブロックは第２のブロック開口部と連通する第２の流体ライン用のコネクタを含む。

一実施形態では、マニホールドブロック本体は少なくとも１つのマニホールドブロック本体スロットを含み、可動であるように構成されている第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、少なくとも１つのマニホールドブロック本体スロットのうちの１つに嵌合するように構成されている端部ブロックフランジを含む。

一実施形態では、第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、マニホールドブロック本体に固定される。

一実施形態によるマニホールドおよびフィルタカートリッジの斜視図である。 図１に示す実施形態によるマニホールドおよびフィルタカートリッジの断面図である。 一実施形態によるフィルタカートリッジの断面図である。 一実施形態によるマニホールドブロックの断面図である。

本開示は、マニホールドおよびマニホールドと共に使用するためのフィルタカートリッジ、特に、各端部でフランジを使用してマニホールドに接続するフィルタカートリッジ、および少なくとも１つのコネクタが可動なマニホールドに関する。

図１は、一実施形態によるマニホールドおよびフィルタカートリッジシステム１００の斜視図を示す。マニホールドおよびフィルタカートリッジシステム１００は、マニホールドブロック１０２およびフィルタカートリッジ１０４を含む。

マニホールドブロック１０２は、マニホールドブロック本体１０６と、マニホールドブロック本体１０６に取り付けられた第１の端部ブロック１０８および第２の端部ブロック１１４とを含む。第１の端部ブロック１０８は、第１の流体流コネクタ１１０および第１のスロット１１２を含む。一実施形態では、第１の端部ブロック１０８は、マニホールドブロック本体１０６に固定されてもよい。第２の端部ブロック１１４は、第２の流体流コネクタ１１６および第２のスロット１１８を含む。マニホールドブロック本体１０６は、例えば、コネクタがマニホールドブロック本体１０６を表面に接合することを可能にするために、開口部１２６をさらに含むことができる。

第１の流体流コネクタ１１０は、流体ラインのための接続点を提供する。流体ラインは、例えば、マニホールドおよびフィルタカートリッジシステム１００との間で流体を搬送するチューブであってもよい。第１の流体流コネクタ１１０は、流体が第１の流体流コネクタ１１０の一方の端部から反対側の端部まで流れることを可能にする開口部を含む。第１の流体流コネクタ１１０は、流体ラインの機械的接続を可能にする係合機構など、流体ラインの接続を可能にする機構を含んでもよい。

第１のスロット１１２は、第１の端部ブロック１０８に形成されているスロットである。第１のスロット１１２は、フィルタカートリッジ１０４上の第１のフランジ１２８を受けるように構成される。第１のスロット１１２は、例えば、フィルタカートリッジ１０４の第１のフランジ１２８の挿入を容易にするために、第１の端部ブロック１０８の表面および／またはその近くで傾斜してもよい。第１のスロット１１２は、第１のフランジ１２８が第１のスロット１１２に完全に挿入された場合に、フィルタカートリッジ１０４の流体入口または出口開口部（図示せず）が第１の流体流コネクタ１１０と位置合わせされるような深さを有することができる。

第２の流体流コネクタ１１６は、流体ライン、例えば、マニホールドおよびフィルタカートリッジシステム１００との間で流体を搬送するホースのための第２の接続点を提供する。第２の流体流コネクタ１１６は、流体が第２の流体流コネクタ１１６の一方の端部から反対側の端部まで流れることを可能にする開口部を含む。第２の流体流コネクタ１１６は、流体ラインの機械的接続を可能にする係合機構など、流体ラインの接続を可能にする機構を含んでもよい。

第２のスロット１１８は、第２の端部ブロック１１４に形成されているスロットである。第２のスロット１１８は、フィルタカートリッジ１０４上の第２のフランジ１３０を受けるように構成される。第２のスロット１１８は、例えば、フィルタカートリッジ１０４の第２のフランジ１３０の挿入を容易にするために、第２の端部ブロック１１４の表面および／またはその近くで傾斜してもよい。第２のスロット１１８は、第２のフランジ１３０が第２のスロット１１８に完全に挿入された場合に、フィルタカートリッジ１０４の流体入口または出口開口部（図示せず）が第２の流体流コネクタ１１６と位置合わせされるような深さを有することができる。

第２の端部ブロック１１４は、タブ（図示せず）を含む。タブは、マニホールドブロック本体１０６の端部に形成されているマニホールドブロック本体スロット１２０に挿入することができる。タブおよびマニホールドブロック本体スロット１２０は、タブがマニホールドブロック本体スロット１２０内で摺動可能であるように、タブがマニホールドブロック本体スロット１２０内に嵌合するようなサイズである。したがって、第２の端部ブロック１１４は、マニホールドブロック本体１０６に沿って摺動可能であってもよく、それにより、第１の端部ブロック１０８から第２の端部ブロック１１４までの距離を変動させることができる。マニホールドブロック本体１０６は、マニホールドブロック本体１０６の外側の第２のブロック端部ユニット１１４の一部がタブと接合されることを可能にするスリット１２２および１２４をさらに含むことができる。一実施形態では、第１の端部ブロック１０８はまた、タブを含んでもよく、マニホールドブロック本体１０６は、第１の端部ブロック１０８のタブを収容するように構成されている第２のスロットを含んでもよい。一実施形態では、端部ブロック１０８、１１４はいずれも、それらの間の距離を変化させることができるように摺動可能であってもよい。

フィルタカートリッジ１０４は、第１のフランジ１２８と、第２のフランジ１３０と、フィルタカートリッジ本体１３２と、第１の端部１３４と、第２の端部１３６とを含む。

フィルタカートリッジ本体１３２は、フィルタカートリッジ１０４の本体であり、フィルタカートリッジ１０４の外面を提供する。フィルタカートリッジ１０４は、流体を濾過するためのフィルタ媒体を含有することができる。一実施形態では、フィルタ媒体はメルトブロー式ポリプロピレン材料である。一実施形態では、流体はスラリーである。一実施形態では、流体は、半導体製造に使用される流体である。一実施形態では、流体はスラリーである。

フィルタカートリッジ本体１３２は、第１の端部１３４を有する。第１の端部は、マニホールドブロック１０２の第１の端部ブロック１０８の第１のスロット１１２とインターフェースで接続するように構成されている第１のフランジ１２８を含むことができる。

フィルタカートリッジ本体１３２はまた、第１の端部１３４の反対側にある第２の端部１３６を含む。第２の端部１３６は、マニホールドブロック１０２の第２の端部ブロック１１４の第２のスロット１１８とインターフェースで接続するように構成されている第２のフランジ１３０を含むことができる。第１の端部１３４および第２の端部１３６はいずれも、マニホールドブロック１０２内にフィルタカートリッジ１０４を固着するためのフランジ１２８、１３０を含むことができる。

例えば、フィルタカートリッジを通して濾過される流体の流れによってフィルタカートリッジが加圧されると、第１の端部１３４および第２の端部１３６は、フィルタカートリッジ本体１３２内の圧力によって互いに押し退けられ、フィルタカートリッジ１０４の長さを第１の端部１３４から第２の端部１３６への方向に延ばすことができる。この膨張は、スロット１２０内のタブの移動を介した第２の端部ブロック１１４の移動によって可能になってもよい。

図２は、図１に示す実施形態によるマニホールドおよびフィルタカートリッジシステム１００の断面図である。

図２の断面図に見られるように、フィルタカートリッジ１０４はフィルタ媒体２０２を含有する。一実施形態では、フィルタ媒体はメルトブロー式ポリプロピレン材料である。フィルタ媒体は、流体を濾過するために使用することができる。流体の非限定的な例には、半導体製造に使用されるスラリーなどのスラリーが含まれる。

フィルタカートリッジ１０４の第１の端部１３４は、第１のフランジ１２８を含む。図２の断面図に見られるように、第１のフランジ１２８は第１の開口部２０４を含む。第１の開口部２０４は、流体がフィルタカートリッジ１０４に出入りして流れること、例えばフィルタ媒体２０２へと、およびフィルタ媒体２０２を通過して流れることを可能にするように構成される。第１のフランジ１２８が第１のスロット１１２に完全に挿入されると、第１の開口部２０４は第１の流体流コネクタ１１０の流路と位置合わせされて、フィルタカートリッジ１０４に出入りする流路を形成することができる。第１のシール２０６は、第１のフランジ１２８の面上に位置している。第１のシール２０６は、第１の開口部２０４を囲む。第１のシール２０６は、第１の流体流コネクタ１１０から第１の開口部２０４を介してフィルタカートリッジ１０４へ入る流路からの漏れ、または流路への汚染物の流入を防止するシールを形成する。一実施形態では、第１のシール２０６は、第１のフランジ１２８が第１のスロット１１２に完全に挿入された場合に、第１のスロット１１２の表面上で第１の端部ブロック１０８と面シールを形成してもよい。第１のシール２０６は、第１のフランジ１２８の第１の開口部２０４を有する面に形成されている第１の溝２１６内に配置されてもよい。

フィルタカートリッジ１０４の第２の端部１３６は、第２のフランジ１３０を含む。図２の断面図に見られるように、第２のフランジ１３０は第２の開口部２０８を含む。第２の開口部２０８は、流体がフィルタカートリッジ１０４に出入りして流れること、例えばフィルタ媒体２０２へと、およびフィルタ媒体２０２を通過して流れることを可能にするように構成される。第２のフランジ１３０が第２のスロット１１８に完全に挿入されると、第２の開口部２０８は第２の流体流コネクタ１１６の流路と位置合わせされて、フィルタカートリッジ１０４に出入りする流路を形成することができる。第２のシール２１０は、第２のフランジ１３０の面上に位置している。第２のシール２１０は、第２の開口部２０８を囲む。第２のシール２１０は、第２の流体流コネクタ１１６から第２の開口部２０８を介してフィルタカートリッジ１０４へ入る流路からの漏れ、または流路への汚染物の流入を防止する封止を形成する。一実施形態では、第２のシール２１０は、第２のフランジ１３０が第２のスロット１１８に完全に挿入された場合に、第２のスロット１１８の表面上で第２の端部ブロック１１４と面シールを形成してもよい。第２のシール２１０は、第２のフランジ１３０の第２の開口部２０８を有する面に形成されている第２の溝２１８内に配置されてもよい。

第１および第２のシール２０６、２１０の各々は、非限定的な例として、Ｏリング、フラットガスケット、または他のそのようなシールであってもよい。第１および第２のシール２０６、２１０は、ポリマーシールであってもよい。一実施形態では、第１および第２のシール２０６、２１０は、フルオロポリマーシールであってもよい。一実施形態では、第１および第２のシール２０６、２１０は、エラストマーシールであってもよい。第１および第２のシール２０６、２１０の材料は、用途ならびにマニホールドおよびフィルタカートリッジシステム１００を通過する流体に基づいて、ガス放出、粒子生成、揮発性などを含む設計態様に基づいて選択することができる。

マニホールドブロック１０２の断面図に見られるように、例えばマニホールドブロック１０２の取り付けを可能にするために、開口部１２６がマニホールドブロック本体１０６を貫通して延びているのが確認できる。

図２の断面図に見られるように、スロット１２０は、マニホールドブロック本体１０６内に延びる。第２の端部ブロック１１４は、スロット１２０内に配置されたタブ２１２を含む。第２の端部ブロック１１４は、１つまたは複数の梁２１４によってタブ２１２に接合されてもよい。図１を参照すると、１つまたは複数の梁は、スリット１２２、１２４を通って延びて第２の端部ブロックをタブ２１２に接合し、第２の端部ブロック１１４をスロット１２０内のタブ２１２の位置によって保持しながら、第２の端部ブロックを第１の端部ブロック１０８に対して移動させることを可能にしてもよい。

図３は、一実施形態によるフィルタカートリッジ３００の断面図である。フィルタカートリッジ３００は、第１の端部片３１０の一部として第１のフランジ３０２を含む。第１のフランジは、第１の開口部３０４を含む。第１のシール３０６は、第１の開口部を囲む。一実施形態では、第１のシールは、第１のフランジ３０２において第１の開口部３０４と同じ面に形成されている第１のシール溝３０８内に配置される。第１のシール３０６は、非限定的な例として、Ｏリング、平坦なガスケット、または別のそのようなシールであってもよい。第１のシールは、ポリマーシール、例えばフルオロポリマーおよび／またはエラストマーシールであってもよい。第１のシール３０６の材料は、用途およびフィルタカートリッジ３００を通過する流体に基づいて、ガス放出、粒子生成、揮発性などを含む設計態様に基づいて選択することができる。

第１の開口部３０４は、第１の開口部３０４に導入された流体がフィルタ媒体３２８まで、またはフィルタ媒体から第１の開口部まで通過することを可能にする流路を提供してもよい。フィルタ媒体３２８は、フィルタカートリッジ本体３１４によって画定された本体内に含有されてもよい。一実施形態では、フィルタカートリッジ本体３１４は、ほぼ円筒形の形状であってもよい。

第１の端部片３１０は、フィルタカートリッジ本体３１４の一端に位置してもよい。一実施形態では、第１の端部片３１０は、フィルタカートリッジ本体３１４の一部を収容するように構成されている第１の凹部３１２を含んでもよい。フィルタカートリッジ本体３１４は、フィルタカートリッジ３００が長手方向（図３に示す長さＬによって画定される）に膨張することができるように、第１の端部片３１０に対して可動であってもよい。

フィルタカートリッジ３００は、第２の端部片３１８の一部として第２のフランジ３２０を含む。第２のフランジは、第２の開口部３２２を含む。第２のシール３２４は、第２の開口部を囲む。一実施形態では、第２のシールは、第２のフランジ３２０において第２の開口部３２２と同じ面に形成されている第２のシール溝３２６内に配置される。第２のシール３２４は、非限定的な例として、Ｏリング、平坦なガスケット、または別のそのようなシールであってもよい。第２のシールは、ポリマーシール、例えばフルオロポリマーおよび／またはエラストマーシールであってもよい。第２のシール３２４の材料は、用途およびフィルタカートリッジ３００を通過する流体に基づいて、ガス放出、粒子生成、揮発性などを含む設計態様に基づいて選択することができる。第２のシール３２４は、第１のシール３０６と同じ形状を有してもよく、および／または同じ材料を使用してもよい。一実施形態では、第２のシール３２４は、第１のシール３０６とは異なる形状を有してもよく、および／または異なる材料を使用してもよい。

第２の開口部３２２は、第２の開口部３２２に導入された流体がフィルタ媒体３２８まで、またはフィルタ媒体から第２の開口部まで通過することを可能にする流路を提供してもよい。

第２の端部片３１８は、フィルタカートリッジ本体３１４の、第１の端部片３１０が位置する端部とは反対側の端部に位置してもよい。一実施形態では、第２の端部片３１８は、フィルタカートリッジ本体３１４の一部を収容するように構成されている第２の凹部３１６を含んでもよい。フィルタカートリッジ本体３１４は、フィルタカートリッジが長手方向（図３に示す長さＬによって画定される）に膨張することができるように、第２の端部片３１８に対して可動であってもよい。

フィルタカートリッジ３００は、第１のフランジ３０２から第２のフランジ３２０までの長さＬを有する。長さＬは、フィルタカートリッジが使用されていない場合には第１の値であってもよく、フィルタカートリッジがフィルタマニホールドに挿入され、第１または第２の開口部３０４、３２２の一方によってフィルタカートリッジに入る流体がフィルタカートリッジを加圧する場合には第２の長さＬ’（図示せず）であってもよい。フィルタカートリッジ３００が加圧された場合の第２の長さＬ’は、第１の長さＬよりも大きい。

図４は、一実施形態によるマニホールドブロック４００の断面図である。マニホールドブロック４００は、第１の端部ブロック４０２と、第２の端部ブロック４１４と、マニホールドブロック本体４２８とを有する。

第１の端部ブロック４０２は、第１の流体接続点４０４を有する。第１の流路４０６は、第１の流体接続点から第１の流体フィルタカートリッジインターフェース４０８まで延びる。第１の流体フィルタカートリッジインターフェース４０８は、フィルタカートリッジが第１の端部ブロック４０２の第１のスロット４１０に完全に挿入された場合に、フィルタカートリッジの開口部に対応するように位置決めされた開口部であってもよい。流体は、フィルタカートリッジがマニホールドブロック４００に設置されると、第１の流体フィルタカートリッジインターフェース４０８の開口部を通過して第１の流路４０６へと、または第１の流路４０６からフィルタカートリッジへと流れることができる。

第１の端部ブロック４０２はまた、第１のスロット４１０を含む。第１のスロット４１０は、図３に示し、上で詳述したフィルタカートリッジ３００の第１のフランジ３０２などのフランジを受けるように構成される。第１のスロット４１０は、第１の端部ブロック４０２の端部にある第１のスロットの開口部において、第１の傾斜面４１２を含むことができる。第１の傾斜面４１２は、例えば、第１のスロット４１０へのフランジの挿入を容易にすることができる。第１の傾斜面は、第１のスロットの最終高さに収束してもよい。第１のスロットの最終高さは、図３に示し、上で詳述したフィルタカートリッジ３００の第１のフランジ３０２などの、第１のスロットに挿入されるフランジの厚さに対応することができる。

第２の端部ブロック４１４は、第２の流体接続点４１８を有する。第２の流路４２０は、第２の流体接続点４１８から第２の流体フィルタカートリッジインターフェース４２２まで延びる。第２の流体フィルタカートリッジインターフェース４２２は、フィルタカートリッジが第２の端部ブロック４１４の第２のスロット４２４に完全に挿入されると、フィルタカートリッジの開口部に対応するように位置決めされた開口部であってもよい。流体は、フィルタカートリッジがマニホールドブロック４００に設置されると、第２の流体フィルタカートリッジインターフェース４２２の開口部を通過して第２の流路４２０へと、または第２の流路４２０からフィルタカートリッジへと流れることができる。

第２の端部ブロック４１４はまた、第２のスロット４２４を含む。第２のスロット４２４は、図３に示し、上で詳述したフィルタカートリッジ３００の第２のフランジ３２０などのフランジを受けるように構成される。第２のスロット４２４は、第２の端部ブロック４１４の端部にある第２のスロットの開口部において、第２の傾斜面４２６を含むことができる。第２の傾斜面は、例えば、第２のスロットへのフランジの挿入を容易にすることができる。第２の傾斜面４２６は、第２のスロット４２４の最終高さに収束してもよい。第２のスロットの最終高さは、図３に示し、上で詳述したフィルタカートリッジ３００の第２のフランジ３２０などの、第２のスロット４２４に挿入されるフランジの厚さに対応することができる。一実施形態では、第１のスロット４１０の最終高さと第２のスロット４２４の最終高さとは同じである。一実施形態では、第１のスロットの最終高さと第２のスロットの最終高さとは互いに異なる。

図４に示すような実施形態では、第１の端部ブロック４０２はマニホールドブロック本体４２８に固定されてもよく、その一方で、第２の端部ブロック４１４はマニホールドブロック本体４２８に沿って可動である。この実施形態では、第２の端部ブロック４１４は、マニホールドブロック本体に形成されているマニホールドブロックスロット４３０内にあるタブ４１６を介して接続される。タブは、マニホールドブロックスロット４３０内で摺動可能であってもよい。一実施形態では、第１および第２の端部ブロック４０２、４１４はいずれも、例えば、第１および第２の端部ブロック４０２、４１４の各々がマニホールドブロックスロット４３０などのスロットに配置されたタブ４１６などのタブを介して接続されることによって、マニホールドブロック本体４２８に沿って互いに対して可動であってもよい。

第１の端部ブロック４０２と第２の端部ブロック４１４との間の距離Ｄは、フィルタカートリッジがマニホールドブロック４００に挿入されていない場合に静止値を有してもよい。例えば、フィルタカートリッジがマニホールドブロック４００に挿入されていない場合、タブ４１６は、重力または非限定的な例として、弾性リテーナ、ばねなどの他の保持力源に起因して、スロット４３０の底部などの固定位置に静止することができる。一実施形態では、フィルタカートリッジがマニホールドブロック４００に挿入されると、距離Ｄは、フィルタカートリッジの第１のフランジから第２のフランジまでのフィルタカートリッジの最小長さに基づいて変化することができる。一実施形態では、距離Ｄは、フィルタカートリッジが使用される際に、例えば、フィルタカートリッジへの流体の導入、および第１または第２の流体接続点４０４、４１８の一方を介してその結果生じる加圧によってさらに変化することができる。距離Ｄは、例えば、マニホールドブロック４００およびフィルタカートリッジが使用される用途の過程における流体流量の変化に起因して、フィルタカートリッジ内の圧力変化として、マニホールドブロック４００および設置されたフィルタカートリッジの動作に対して連続的にさらに変動することができる。

態様：

態様１から６のいずれかは、態様７から１５のいずれかおよび／または態様１６から１９のいずれかと組み合わせ得ることが理解される。態様７から１５のいずれかは、態様１６から１９のいずれかと組み合わせ得ることが理解される。

態様１．フィルタ本体と、
第１の開口部を有するフィルタ本体の第１の端部と；
第１の端部に位置する第１のフランジと、；
第１の端部の反対側にあり、第２の開口部を有するフィルタ本体の第２の端部と；
第２の端部に位置する第２のフランジと；
を備え、
マニホールドに挿入されてフィルタユニットが加圧されていない時に、フィルタ本体の第１の端部から第２の端部までの第１の長さを有し、フィルタユニットがマニホールドに挿入されてフィルタユニットが加圧されている時に、第１の長さよりも大きい、フィルタ本体の第１の端部から第２の端部までの第２の長さを有する、フィルタユニット。

態様２．第１の端部に第１のシールをさらに備え、第２の端部に第２のシールをさらに備える、態様１に記載のフィルタユニット。

態様３．第１のシールおよび第２のシールがそれぞれ面シールである、態様２に記載のフィルタユニット。

態様４．第１のシールが、第１のフランジに形成されている第１の溝に位置し、第２のシールが、第２のフランジに形成されている第２の溝に位置する、態様２から３のいずれか一項に記載のフィルタユニット。

態様５．第１の溝は、第１のフランジの、フィルタ本体とは反対側の面に形成され、第２の溝は、第２のフランジの、フィルタ本体とは反対側の面に形成される、態様４に記載のフィルタユニット。

態様６．フィルタ本体がスラリーフィルタを含む、態様１から５のいずれか一項に記載のフィルタユニット。

態様７．フィルタ本体、
第１のフィルタ開口部を有する第１の端部；
第１の端部に位置する第１のフランジ；
第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタ開口部を有する第２の端部；および
第２の端部に位置する第２のフランジ；
を含むフィルタユニットと、
第１のブロック開口部、およびフィルタユニットの第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロック；および
第２のブロック開口部、およびフィルタユニットの第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロック；
を含むマニホールドブロックと；
マニホールドブロック本体と
を備え、
第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成される、フィルタマニホールドシステム。

態様８．フィルタユニットが、第１の端部に第１のシールをさらに備え、第２の端部に第２のシールをさらに備え、第１のシールおよび第２のシールはそれぞれ面シールである、態様７に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様９．第１のシールが、第１のフランジに形成されている第１の溝に位置し、第２のシールが、第２のフランジに形成されている第２の溝に位置している、態様８に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１０．フィルタユニットは、フィルタユニットが加圧されると、第１の端部から第２の端部までの距離が変化するように構成されている、態様７から９のいずれか一項に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１１．フィルタユニットがマニホールドブロック内に設置されて加圧されると、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化する、態様１０に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１２．第１のフランジが第１のスロットによって受けられ、第２のフランジが第２のスロットによって受けられると、第１のブロック開口部、第１のフィルタ開口部、フィルタ本体、第２のフィルタ開口部、および第２のブロック開口によって、流路が形成されるように構成される、態様７から１１のいずれか一項に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１３．第１の端部ブロックは、第１のブロック開口部と連通する第１の流体ライン用のコネクタを含み、第２の端部ブロックは、第２のブロック開口部と連通する第２の流体ライン用のコネクタを含む、態様７から１２のいずれか一項に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１４．マニホールドブロック本体はマニホールドブロック本体スロットを含み、可動であるように構成されている第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方が、マニホールドブロック本体スロット内に嵌合するように構成されている端部ブロックフランジを含む、態様７から１３のいずれか一項に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１５．第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方が、マニホールドブロック本体に固定される、態様７から１４のいずれか一項に記載のフィルタマニホールドシステム。

態様１６．第１のブロック開口部、および第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロックと、
第２のブロック開口部、および第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロックと、
マニホールドブロック本体と
を備え、
第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成される、マニホールドブロック。

態様１７．第１の端部ブロックは、第１のブロック開口部と連通する第１の流体ライン用のコネクタを含み、第２の端部ブロックは、第２のブロック開口部と連通する第２の流体ライン用のコネクタを含む、態様１６に記載のマニホールドブロック。

態様１８．マニホールドブロック本体は少なくとも１つのマニホールドブロック本体スロットを含み、可動であるように構成されている第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方が、少なくとも１つのマニホールドブロック本体スロットのうちの１つに嵌合するように構成されている端部ブロックフランジを含む、態様１６から１７のいずれか一項に記載のマニホールドブロック。

態様１９．第１の端部ブロックおよび第２の端部ブロックの少なくとも一方は、マニホールドブロック本体に固定される、態様１６から１８のいずれか一項に記載のマニホールドブロック。

本出願で開示される例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されることが意図されている。

Claims (10)

1. フィルタ本体と；
   第１の開口部を有するフィルタ本体の第１の端部と；
   第１の端部に位置する第１のフランジと；
   第１の端部の反対側にあり、第２の開口部を有するフィルタ本体の第２の端部と；
   第２の端部に位置する第２のフランジと；
   を備え、
   マニホールドブロックに挿入され、かつ、フィルタユニットが加圧されていない時に、フィルタ本体の第１の端部から第２の端部までの第１の長さを有し、フィルタユニットがマニホールドブロックに挿入されてフィルタユニットが加圧されている場合に、第１の長さよりも大きい、フィルタ本体の第１の端部から第２の端部までの第２の長さを有し、
   マニホールドブロックは、
   第１のブロック開口部、及びフィルタユニットの第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロックと；
   第２のブロック開口部、及びフィルタユニットの第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロックと；
   マニホールドブロック本体であって、端部にマニホールドブロック本体スロットが形成されている、マニホールドブロック本体と
   を備え、
   第１の端部ブロック及び第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成されている、
   フィルタユニット。
2. 第１の端部に第１のシールを、かつ、第２の端部に第２のシールを更に備える、請求項１に記載のフィルタユニット。
3. 第１のシール及び第２のシールがそれぞれ面シールである、請求項２に記載のフィルタユニット。
4. 第１のシールが、第１のフランジに形成されている第１の溝に位置し、第２のシールが、第２のフランジに形成されている第２の溝に位置している、請求項２に記載のフィルタユニット。
5. 第１の溝は、第１のフランジの、フィルタ本体とは反対側の面に形成され、第２の溝は、第２のフランジの、フィルタ本体とは反対側の面に形成されている、請求項４に記載のフィルタユニット。
6. フィルタ本体がスラリーフィルタを含む、請求項１に記載のフィルタユニット。
7. フィルタ本体、
   第１のフィルタ開口部を有する第１の端部；
   第１の端部に位置する第１のフランジ；
   第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタ開口部を有する第２の端部；及び
   第２の端部に位置する第２のフランジ；
   を含むフィルタユニットと；
   第１のブロック開口部、及びフィルタユニットの第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロック；及び
   第２のブロック開口部、及びフィルタユニットの第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロック；
   を含むマニホールドブロックと；
   マニホールドブロック本体であって、端部にマニホールドブロック本体スロットが形成されている、マニホールドブロック本体と
   を備え、
   第１の端部ブロック及び第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成されている、フィルタマニホールドシステム。
8. 第１のフランジが第１のスロットによって受けられ、第２のフランジが第２のスロットによって受けられると、第１のブロック開口部、第１のフィルタ開口部、フィルタ本体、第２のフィルタ開口部、及び第２のブロック開口によって、流路が形成されるように構成されている、請求項７に記載のフィルタマニホールドシステム。
9. 第１の端部ブロック及び第２の端部ブロックの少なくとも一方が、マニホールドブロック本体に固定される、請求項７に記載のフィルタマニホールドシステム。
10. 第１のブロック開口部、及びフィルタユニットの第１のフランジを受けるように構成されている第１のスロットを含む第１の端部ブロックと；
    第２のブロック開口部、及びフィルタユニットの第２のフランジを受けるように構成されている第２のスロットを有する第２の端部ブロックと；
    マニホールドブロック本体であって、端部にマニホールドブロック本体スロットが形成されている、マニホールドブロック本体と
    を備え、
    第１の端部ブロック及び第２の端部ブロックの少なくとも一方は、第１の端部ブロックから第２の端部ブロックまでの距離が変化可能であるように、マニホールドブロック本体に沿って可動であるように構成されている、マニホールドブロック。

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