JP7320721B2 - Mounting equipment - Google Patents
Mounting equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP7320721B2 JP7320721B2 JP2019103341A JP2019103341A JP7320721B2 JP 7320721 B2 JP7320721 B2 JP 7320721B2 JP 2019103341 A JP2019103341 A JP 2019103341A JP 2019103341 A JP2019103341 A JP 2019103341A JP 7320721 B2 JP7320721 B2 JP 7320721B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- magnet piece
- block
- pole
- mounting apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
本開示は、実装装置に関する。より詳細には、本開示は、リニア型モータを備える実装装置に関する。 The present disclosure relates to a mounting device. More particularly, the present disclosure relates to mounting apparatus with linear motors.
特許文献1には、電子部品を基板に実装する実装作業を行う電子部品搭載装置(実装装置)が記載されている。特許文献1に記載の電子部品搭載装置は、リニアモータ(リニア型モータ)によって駆動されるY直動機構と、リニアモータによって駆動されるX直動機構を内蔵する移動ビームと、を備える。Y直動機構は、リニアモータによって移動ビームをY方向に直線駆動する。移動ビームは、X直動機構によって搭載ヘッドをX方向に移動させる。
特許文献1に記載のような電子部品搭載装置では、実装作業における実装速度の更なる向上が望まれている。
In the electronic component mounting apparatus as disclosed in
本開示の目的は、実装作業における実装速度を更に向上させることができる実装装置を提供することにある。 An object of the present disclosure is to provide a mounting apparatus capable of further improving the mounting speed in mounting work.
本開示の一態様に係る実装装置は、第1移動ユニットと、第1移動装置と、を備える。前記第1移動装置は、前記第1移動ユニットを第1方向に沿って移動させる。前記第1移動ユニットは、第2移動ユニットと、第2移動装置と、を有する。前記第2移動装置は、前記第2移動ユニットを第2方向に沿って移動させる。前記第2方向は、前記第1方向と交差する方向である。前記第2移動ユニットは、捕捉部を有する。前記捕捉部は、第1対象物に実装される第2対象物を捕捉する。前記第1移動装置と前記第2移動装置との少なくとも一方は、リニア型モータを有する。前記リニア型モータは、コイルを含むコイルブロックと、励磁電流を流した状態の前記コイルとの間に磁力を作用させる永久磁石を含む磁石ブロックと、前記磁石ブロックの移動をガイドするリニアガイドと、を有する。前記磁石ブロックは、前記コイルブロックが前記磁石ブロックの内側に挿通された状態で、前記コイルブロックに対して相対的に移動可能である。前記永久磁石は、ハルバッハ配列で配置される。前記リニアガイドは、前記磁石ブロックの外側に配置され、前記ハルバッハ配列で配置された前記永久磁石による磁場強度が弱くなる位置に配置される。 A mounting apparatus according to an aspect of the present disclosure includes a first moving unit and a first moving device. The first moving device moves the first moving unit along a first direction. The first mobile unit comprises a second mobile unit and a second mobile device. The second moving device moves the second moving unit along a second direction. The second direction is a direction crossing the first direction. The second mobile unit has a catch. The capture unit captures a second object mounted on the first object. At least one of the first moving device and the second moving device has a linear motor. The linear motor includes a coil block including coils, a magnet block including permanent magnets that apply a magnetic force between the coils to which excitation current is applied , and a linear guide that guides movement of the magnet blocks. have The magnet block is relatively movable with respect to the coil block while the coil block is inserted inside the magnet block. The permanent magnets are arranged in a Halbach array. The linear guide is arranged outside the magnet block and is arranged at a position where the magnetic field strength of the permanent magnets arranged in the Halbach array is weakened.
本開示によれば、実装作業における実装速度を更に向上させることができる、という効果がある。 According to the present disclosure, there is an effect that the mounting speed in the mounting work can be further improved.
以下、実施形態に係る実装装置について、図面を参照して説明する。 A mounting apparatus according to an embodiment will be described below with reference to the drawings.
以下の実施形態等において参照する図1、図2、図4A、図4B、図5A、図5B、及び図6は、いずれも模式的な図である。したがって、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。 1, 2, 4A, 4B, 5A, 5B, and 6 referred to in the following embodiments and the like are schematic diagrams. Therefore, the ratio of the size and thickness of each component in the drawing does not necessarily reflect the actual dimensional ratio.
(実施形態)
(1)概要
以下、本実施形態に係る実装装置1の概要について、図1を参照して説明する。
(embodiment)
(1) Overview An overview of the
本実施形態に係る実装装置1は、例えば、第1対象物100に第2対象物200を実装するための装置である。つまり、本実施形態に係る実装装置1は、部品実装機(チップマウンター)である。
A
第1対象物100は、例えば、矩形状のプリント基板(以下、「基板100」ともいう)である。第2対象物200は、例えば、コンデンサ、抵抗、インダクタ、トランス、IC(Integrated Circuit)、コネクタ、又はスイッチ等の電子部品(以下、「部品200」ともいう)である。なお、部品200は、上記の電子部品に限らず、基板100に対して実装可能であれば他の部品であってもよい。
The
本実施形態に係る実装装置1は、図1に示すように、第1移動ユニット3と、第1移動装置2と、を備える。第1移動装置2は、第1移動ユニット3を第1方向に沿って移動させる。第1移動ユニット3は、第2移動ユニット5と、第2移動装置4と、を有する。第2移動装置4は、第2移動ユニット5を第2方向に沿って移動させる。第2方向は、第1方向と交差する方向である。第2移動ユニット5は、捕捉部51を有する。捕捉部51は、第1対象物100に実装される第2対象物200を捕捉する。第1移動装置2と第2移動装置4との少なくとも一方は、リニア型モータ(第1リニア型モータ21、第2リニア型モータ41)を有する。リニア型モータは、コイル24(図2参照)を含むコイルブロック22,42と、励磁電流を流した状態のコイル24との間に磁力を作用させる永久磁石25(図2参照)を含む磁石ブロック23,43と、を有する。永久磁石25は、ハルバッハ配列で配置される。本実施形態では、例えば、第1方向はY軸方向であり、第2方向はX軸方向である。
The
本実施形態に係る実装装置1では、リニア型モータの一部を構成する永久磁石25を、コイルブロック22,42側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置した場合には、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。
In the
ここで、ハルバッハ配列で配置された永久磁石25の適用対象は実装装置1に限らず、実装装置1を含む作業装置全般に適用可能である。本開示でいう「作業装置」は、製品の製造に際して作業対象物に対して種々の作業を行う装置であり、例えば、実装、塗装、印刷、プレス、切削、溶着、及び撮影等の作業を行う装置である。本開示でいう「作業対象物」は、作業装置により加工等の作業が施される物であって、例えば、第1対象物100に第2対象物200を実装する作業では、第1対象物100が作業対象物となる。この場合、第2移動ユニット5は、作業対象物に作用するツールを有する。
Here, the application target of the
(2)詳細
以下、本実施形態に係る実装装置1の詳細について、図1~図3を参照して説明する。
(2) Details Details of the
(2.1)実装装置の構造
まず、本実施形態に係る実装装置1の構造について、図1及び図2を参照して説明する。以下の説明では、第1移動ユニット3の移動方向をY軸方向、第2移動ユニット5の移動方向をX軸方向、第1移動ユニット3の移動方向及び第2移動ユニット5の移動方向の両方と直交する方向をZ軸方向と規定する。ただし、これらの方向は、実装装置1の使用方向を限定する趣旨ではない。また、図面中の矢印は説明のために表記しているに過ぎず、実体を伴わない。
(2.1) Structure of Mounting Apparatus First, the structure of a
本実施形態に係る実装装置1は、図1に示すように、第1移動装置2と、第1移動ユニット3と、を備える。第1移動装置2は、第1移動ユニット3を第1方向に沿って移動させる。本実施形態では、第1方向はY軸方向である。
The mounting
第1移動装置2は、図1に示すように、2つの第1リニア型モータ21(リニア型モータ)を有する。2つの第1リニア型モータ21の各々は、いわゆる円筒型のリニア型モータである。2つの第1リニア型モータ21は、X軸方向に所定の間隔を空けた状態で並んでいる。各第1リニア型モータ21は、コイルブロック22と、磁石ブロック23と、を有する。
The first moving
コイルブロック22は、図2に示すように、外筒221と、巻き芯222と、コイル24と、を有する。外筒221は、Y軸方向に長い円筒状である。巻き芯222は、Y軸方向に長い円筒状であり、外筒221の内部に配置される。巻き芯222の表面には、コイル24が巻かれている。コイル24は、複数の単位コイルを含む。複数の単位コイルの各々は、U相、V相、W相にそれぞれ対応する。各単位コイルは、Y軸回りに巻かれている。コイル24は、巻き芯222に巻かれた状態で、巻き芯222と共に外筒221内に収容される。
The
磁石ブロック23は、図2に示すように、永久磁石25を有する。永久磁石25は、励磁電流が流れているコイル24との間に磁力を発生させる。永久磁石25は、Y軸方向に長い円筒状である。永久磁石25は、複数の磁石片(第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、第6磁石片256)を有する。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。なお、永久磁石25の構成については、「(3)永久磁石の構成」の欄で詳しく説明する。
The
磁石ブロック23は、図2に示すように、フランジ部231を更に有する。フランジ部231は、Y軸方向に長い角筒状である(図1参照)。フランジ部231は、Y軸方向における両端部が開口している。フランジ部231は、収容空間233を有する。収容空間233は、Y軸方向から見た形状が円形であり、フランジ部231の全長に亘って形成されている。フランジ部231の収容空間233には、永久磁石25が収容される。
The
ここで、Y軸方向から見たときの収容空間233の外径は、永久磁石25の外径よりも小さくなっていることが好ましい。これにより、収容空間233に対して永久磁石25を圧入することができ、フランジ部231に永久磁石25を保持させることができる。また、Y軸方向におけるフランジ部231の両端部には、押さえ板232がそれぞれ取り付けられる。各押さえ板232の外形寸法は、Y軸方向から見たときのフランジ部231の外形寸法とほぼ同じである。各押さえ板232は、厚さ方向(Y軸方向)に貫通する貫通孔2321を有する。貫通孔2321は、Y軸方向から見た形状が円形である。貫通孔2321の外径は、コイルブロック22の外筒221の外径よりもわずかに大きい。例えば、Y軸方向から見たときの収容空間233の外径が永久磁石25の外径よりも大きい場合には、収容空間233に対して永久磁石25を圧入できないため、そのままでは永久磁石25を保持することができない。このような場合であっても、フランジ部231の両端部に押さえ板232をそれぞれ取り付けることで、永久磁石25を収容空間233側に押し込むことができ、その結果、フランジ部231と押さえ板232とで永久磁石25を保持することができる。
Here, it is preferable that the outer diameter of the
第1移動装置2は、2つの第1リニアガイド28(リニアガイド)を更に有する。各第1リニアガイド28は、第1リニアガイドレール26と、第1リニアガイドスライダ27と、を含む、いわゆるLMガイド(登録商標)である。第1リニアガイドレール26は、その長手方向がY軸方向と平行になるように配置される。また、2つの第1リニアガイドレール26は、X軸方向に所定の間隔を空けた状態で並んでいる。Y軸方向における第1リニアガイドレール26の断面形状は、例えば、逆T字状である(図1参照)。
The first moving
第1リニアガイドスライダ27は、第1リニアガイドレール26に嵌め合わされる。Y軸方向における第1リニアガイドスライダ27の断面形状は、第1リニアガイドレール26の形状と対応しており、第1リニアガイドスライダ27は、ほぼ隙間なく第1リニアガイドレール26に嵌め合わされる。
The first
第1リニアガイドスライダ27には、第1リニア型モータ21の磁石ブロック23が固定される。そして、第1リニアガイドスライダ27は、コイルブロック22に対して磁石ブロック23がY軸方向に沿って移動する際に、磁石ブロック23をガイドする。つまり、本実施形態では、リニア型モータ21のうち、コイルブロック22が固定子であり、磁石ブロック23が可動子である。したがって、本実施形態では、コイルブロック22に対して磁石ブロック23が移動可能である。
The
ここで、磁石ブロック23の永久磁石25は、図2に示すように、Y軸方向に長い円筒状である。永久磁石25は、内側空間250を有する。内側空間250は、Y軸方向から見た形状が円形であって、永久磁石25の全長に亘って形成されている。第1リニア型モータ21を組み立てた状態では、図2に示すように、永久磁石25の内側空間250にコイルブロック22が通される。そして、コイルブロック22のコイル24に励磁電流を流すことによって、コイルブロック22に対して磁石ブロック23がY軸方向に沿って移動する。つまり、コイルブロック22と磁石ブロック23(永久磁石25)とは、Y軸方向に沿って相対的に移動可能である。
Here, as shown in FIG. 2, the
第1移動ユニット3は、第2移動装置4と、第2移動ユニット5と、を有する。第2移動装置4は、第2移動ユニット5を第2方向に沿って移動させる。第2方向は、第1方向と交差する方向であって、本実施形態では、第2方向はX軸方向である。第1移動ユニット3は、2つの磁石ブロック23が2つの第1リニアガイド28によってガイドされることで、Y軸方向に沿って直線状に移動可能である。
The first
第2移動装置4は、図1に示すように、2つの第2リニア型モータ41(リニア型モータ)を有する。2つの第2リニア型モータ41の各々は、いわゆる円筒型のリニア型モータである。2つの第2リニア型モータ41は、Y軸方向に所定の間隔を空けた状態で並んでいる。各第2リニア型モータ41は、コイルブロック42と、磁石ブロック43と、を有する。ここで、第2リニア型モータ41は、第1リニア型モータ21と同じ円筒型のリニア型モータである。そのため、コイルブロック42は、コイルブロック22と同様の構成を有し、磁石ブロック43は、磁石ブロック23と同様の構成を有する。したがって、ここでは第2リニア型モータ41の説明を省略する。本実施形態では、第2リニア型モータ41のうち、コイルブロック42が固定子であり、磁石ブロック43が可動子である。そして、コイルブロック42に対して磁石ブロック43がX軸方向に沿って移動する。
The second moving
第2移動装置4は、2つの第2リニアガイド48(リニアガイド)を更に有する。各第2リニアガイド48は、第2リニアガイドレール46と、第2リニアガイドスライダ47と、を含む、いわゆるLMガイド(登録商標)である。ここで、第2リニアガイドレール46は第1リニアガイドレール26と同様であり、第2リニアガイドスライダ47は第1リニアガイドスライダ27と同様である。したがって、ここでは第2リニアガイド48(第2リニアガイドレール46及び第2リニアガイドスライダ47)の説明を省略する。
The second moving
第2移動ユニット5は、例えば、実装ヘッドユニットである。第2移動ユニット5は、捕捉部51を有する。捕捉部51は、例えば、第2対象物としての部品200を吸着(捕捉)する吸着ノズルである。第2移動ユニット5は、Y軸方向における両側から2つの磁石ブロック43,43に固定される。そして、第2移動ユニット5は、2つの磁石ブロック43がX軸方向に沿って移動することで、2つの磁石ブロック43と共にX軸方向に沿って移動する。また、第2移動ユニット5は、2つの磁石ブロック43が2つの第2リニアガイド48によってガイドされることで、X軸方向に沿って直線状に移動可能である。
The second moving
(2.2)実装装置の構成
次に、本実施形態に係る実装装置1の構成について、図3を参照して説明する。
(2.2) Configuration of Mounting Apparatus Next, the configuration of the mounting
本実施形態に係る実装装置1は、図3に示すように、制御回路11と、第1駆動回路12と、第2駆動回路13と、第1リニア型モータ21と、第2リニア型モータ41と、を備える。なお、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41については、「(2.1)実装装置の構造」の欄で既に説明しており、ここでは説明を省略する。
As shown in FIG. 3, the mounting
制御回路11は、第1駆動回路12及び第2駆動回路13を各別に制御するように構成されている。具体的には、制御回路11は、第2移動ユニット(実装ヘッドユニット)5の捕捉部(吸着ノズル)51が目標位置に到達するように、第1駆動回路12に対して第1制御信号を出力し、第2駆動回路13に対して第2制御信号を出力する。目標位置は、第1対象物としての基板100における、第2対象物としての部品200の実装位置である。第1制御信号には、目標位置の位置情報のうちY軸方向の位置情報が含まれている。第2制御信号には、目標位置の位置情報のうちX軸方向の位置情報が含まれている。
The
制御回路11は、例えば、1以上のプロセッサ及び1以上のメモリを有するコンピュータシステムを主構成とする。そして、コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムを、コンピュータシステムのプロセッサが実行することにより、制御回路11の機能が実現される。プログラムは、メモリに予め記録されていてもよいし、インターネット等の電気通信回線を通じて、又はメモリカード等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。
The
第1駆動回路12は、第1リニア型モータ21と一対一に対応しており、制御回路11からの第1制御信号に基づいて第1駆動信号を作成し、作成した第1駆動信号を第1リニア型モータ21に出力する。第1リニア型モータ21は、第1駆動回路12からの第1駆動信号に従ってY軸方向に沿って移動する。そして、第2移動ユニット5を含む第1移動ユニット3は、第1リニア型モータ21からの駆動力によってY軸方向に沿って移動し、捕捉部51がY軸方向における目標位置に到達する。
The
第2駆動回路13は、第2リニア型モータ41と一対一に対応しており、制御回路11からの第2制御信号に基づいて第2駆動信号を作成し、作成した第2駆動信号を第2リニア型モータ41に出力する。第2リニア型モータ41は、第2駆動回路13からの第2駆動信号に従ってX軸方向に沿って移動する。そして、第2移動ユニット5は、第2リニア型モータ41からの駆動力によってX軸方向に沿って移動し、捕捉部51がX軸方向における目標位置に到達する。
The
(3)永久磁石の構成
次に、第1リニア型モータ21の一部を構成する永久磁石25の構成について、図4A~図5Bを参照して説明する。以下では、比較例に係る永久磁石65と比較しながら説明する。また、第2リニア型モータ41の一部を構成する永久磁石は、第1リニア型モータ21の一部を構成する永久磁石25と同様の構成を有しているため、ここでは説明を省略する。なお、図4A~図5Bでは、各磁石片におけるS極部分に対してドットを施しており、各磁石片におけるS極とN極とを区別できるように図示している。
(3) Structure of Permanent Magnet Next, the structure of the
比較例に係る永久磁石65は、図4Aに示すように、複数(図4Aでは6個)の磁石片(第1磁石片651、第2磁石片652、第3磁石片653、第4磁石片654、第5磁石片655、第6磁石片656)を有する。第1磁石片651、第2磁石片652、第3磁石片653、第4磁石片654、第5磁石片655、及び第6磁石片656の各々は、Y軸方向を軸方向とする円筒状である。第1磁石片651、第2磁石片652、第3磁石片653、第4磁石片654、第5磁石片655、及び第6磁石片656は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。これにより、永久磁石65は、その長手方向がY軸方向と平行になるような円筒状に形成される(図4A参照)。
As shown in FIG. 4A, the
比較例に係る永久磁石65では、Y軸方向において、第1磁石片651のS極と第2磁石片652のS極とが対向し、第2磁石片652のN極と第3磁石片653のN極とが対向している。また、永久磁石65では、Y軸方向において、第3磁石片653のS極と第4磁石片654のS極とが対向し、第4磁石片654のN極と第5磁石片655のN極とが対向している。また、永久磁石65では、Y軸方向において、第5磁石片655のS極と第6磁石片656のS極とが対向している。つまり、比較例に係る永久磁石65は、隣接する磁石片の同極同士を対向させた、いわゆるN-S配列の永久磁石である。
In the
図4Bは、永久磁石65とコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との位置関係を示す模式図である。N-S配列の永久磁石65では、図4Bに示すように、各磁石片の磁極がY軸方向に沿って並んでいるため、各磁石片からの磁束はZ軸方向における両側にほぼ均等に拡がっている。この場合、永久磁石65から第1リニアガイドレール26側への漏れ磁束が大きくなり、その結果、第1リニア型モータ21と第1リニアガイド28との間に生じる摩擦抵抗が大きくなり、実装作業における実装精度が低下する可能性がある。また、永久磁石65から第1リニアガイドレール26側への漏れ磁束が大きくなることで、コイルブロック22側への磁束密度が相対的に小さくなり、その結果、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力が小さくなる。
FIG. 4B is a schematic diagram showing the positional relationship between the
本実施形態に係る永久磁石25は、図5Aに示すように、複数(図5Aでは6個)の磁石片(第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、第6磁石片256)を有する。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256の各々は、Y軸方向を軸方向とする円筒状である。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。これにより、永久磁石25は、その長手方向がY軸方向と平行になるような円筒状に形成される(図5A参照)。本実施形態では、第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256の配列方向はY軸方向である。
As shown in FIG. 5A, the
第1磁石片251は、Y軸方向から見て、内側の面である第1表面2511がS極であり、外側の面である第1裏面2512がN極である。言い換えると、第1磁石片251は、コイルブロック22と対向する面である第1表面2511がS極、第1表面2511と反対側の面である第1裏面2512がN極である。第2磁石片252は、Y軸方向から見て、第1磁石片251側の面である第2表面2521がS極、第2表面2521と反対側の面である第2裏面2522がN極である。第3磁石片253は、Y軸方向から見て、内側の面である第3表面2531がN極、外側の面である第3裏面2532がS極である。言い換えると、第3磁石片253は、コイルブロック22と対向する面である第3表面2531がN極、第3表面2531と反対側の面である第3裏面2532がS極である。第4磁石片254は、Y軸方向から見て、第3磁石片253側の面である第4表面2541がN極、第4表面2541と反対側の面である第4裏面2542がS極である。
The
ここで、第5磁石片255は、上述の第1磁石片251と同一の磁石片である。また、第6磁石片256は、上述の第2磁石片252と同一の磁石片である。つまり、本実施形態に係る永久磁石25は、着磁方向(磁場の向き)が互いに異なる第1磁石片251と第2磁石片252と第3磁石片253と第4磁石片254とを少なくとも有していればよい。また、本実施形態に係る永久磁石25では、第2磁石片252と第4磁石片254とは、Y軸方向においてS極とN極とが互いに反対側になっているだけであり、同一の磁石片である。
Here, the
図5Bは、永久磁石25とコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との位置関係を示す模式図である。永久磁石25では、図5Bに示すように、複数の磁石片の配列方向であるY軸方向と直交するZ軸方向における片側に磁界が集中する。図5Bに示すように、永久磁石25が円筒状である場合には、永久磁石25の内側空間250の内周面から内側に向かう磁束が大きくなり、永久磁石25の外周面から外側に向かう磁束が小さくなる。そのため、図5Bに示すように、永久磁石25の内側空間250にコイルブロック22を通すことで、コイルブロック22側への磁束密度を大きくすることができる。これにより、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力を大きくすることができる。コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力が大きくなることで、コイルブロック22に対する磁石ブロック23の加速度が大きくなり、その結果、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。
5B is a schematic diagram showing the positional relationship between the
また、図5Bに示すように、第1リニアガイドレール26を永久磁石25の外周面に沿って配置することで、第1リニアガイドレール26側への漏れ磁束を小さくすることができる。これにより、第1リニア型モータ21の磁石ブロック23と第1リニアガイド28の第1リニアガイドレール26との間に生じる摩擦抵抗を小さくすることができるので、実装作業における実装精度についても向上させることができる。
Further, as shown in FIG. 5B, by arranging the first
本実施形態に係る実装装置1では、永久磁石25は、上述のように、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置されている。本開示でいう「ハルバッハ配列」とは、磁極(S極及びN極)の方向を最適化することによって、特定の方向への磁場強度を最大化する磁気回路をいう。本実施形態では、特定の方向は、コイルブロック22の方向である。また、本実施形態に係る実装装置1では、第1リニアガイド28は、図5Bに示すように、ハルバッハ配列で配置された永久磁石25による磁場強度が弱くなる位置に配置されている。
In the mounting
ここで、永久磁石25,65を構成する各磁石片の内径が26mm、外径が36mm、Y軸方向における長さが30mmであると仮定する。この条件で、第1リニア型モータ21に永久磁石65を用いた場合、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力は、例えば、31.6N/Aである。また、第1リニア型モータ21に永久磁石25を用いた場合、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力は、例えば、43.7N/Aである。このように、ハルバッハ配列で配置された永久磁石25を第1リニア型モータ21に用いることで、N-S配列の永久磁石65に比べて約1.38倍の推進力を得ることができる。
Here, it is assumed that each magnet piece constituting the
本実施形態に係る実装装置1では、永久磁石25が、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置されている。これにより、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力を大きくすることができるので、コイルブロック22に対する磁石ブロック23の加速度を大きくすることができ、その結果、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。また、第1リニアガイド28が、永久磁石25からの漏れ磁束が小さくなる位置に配置されているので、第1リニア型モータ21と第1リニアガイド28との間に生じる摩擦抵抗を小さくすることができ、その結果、実装作業における実装精度についても向上させることができる。さらに、第1リニアガイド28側への漏れ磁束を小さくすることで、漏れ磁束が部品200に与える影響を低減することができる。
In the mounting
(4)変形例
上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下、上述の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。
(4) Modifications The above-described embodiment is just one of various embodiments of the present disclosure. The above-described embodiments can be modified in various ways according to design and the like as long as the object of the present disclosure can be achieved. Modifications of the above-described embodiment are listed below. Modifications described below can be applied in combination as appropriate.
本開示における実装装置1は、例えば、制御回路11に、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における実装装置1としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路(IC)又は大規模集積回路(LSI)を含む1ないし複数の電子回路で構成される。ここでいうIC又はLSI等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又はULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれる集積回路を含む。さらに、LSIの製造後にプログラムされる、FPGA(Field-Programmable Gate Array)、又はLSI内部の接合関係の再構成若しくはLSI内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、1つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、1つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、1以上のプロセッサ及び1以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む1ないし複数の電子回路で構成される。
The mounting
また、実装装置1の複数の構成要素が、1つの筐体内に集約されていることは実装装置1に必須の構成ではなく、実装装置1の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、実装装置1の少なくとも一部の機能(例えば、制御回路11)がクラウド(クラウドコンピューティング)等によって実現されてもよい。
In addition, it is not an essential configuration of the mounting
(4.1)変形例1
上述の実施形態では、永久磁石25を構成する第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256の各々が、Y軸方向を軸方向とする円筒状である。これに対して、図6に示すように、永久磁石25Aを構成する第1磁石片251A、第2磁石片252A、第3磁石片253A、及び第4磁石片254Aの各々が、板状であってもよい。なお、永久磁石25A以外の構成については上述の実施形態と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
(4.1)
In the above-described embodiment, each of the
第1磁石片251A、第2磁石片252A、第3磁石片253A、及び第4磁石片254は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。つまり、第1磁石片251A、第2磁石片252A、第3磁石片253A、及び第4磁石片254Aの配列方向がY軸方向である。
The
第1磁石片251Aは、その厚さ方向における一面(上面)側がS極、他面(下面)側がN極である。第2磁石片252Aは、Y軸方向(配列方向)における第1磁石片251A側がS極、第1磁石片251Aと反対側がN極である。第3磁石片253Aは、その厚さ方向における一面(上面)側がN極、他面(下面)側がS極である。第4磁石片254Aは、Y軸方向(配列方向)における第3磁石片253A側がN極、第3磁石片253Aと反対側がS極である。
The
このように構成された永久磁石25Aを、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に配置することで、コイルブロック22側への磁場強度を強くしながら、第1リニアガイドレール26側への磁場強度を弱くすることができる。つまり、変形例1に係る永久磁石25Aも、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置されている。また、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に永久磁石25Aを配置することで、永久磁石25Aによる磁場強度が弱くなる位置に第1リニアガイド28(第1リニアガイドレール26)が配置されることになる。
By arranging the
変形例1に係る実装装置1では、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で永久磁石25Aを配置しており、コイルブロック22側への磁束密度を大きくすることができる。これにより、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力を大きくすることができるので、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。また、永久磁石25Aによる第1リニアガイド28側への漏れ磁束を小さくすることができるので、磁石ブロック23と第1リニアガイド28との間に発生する摩擦抵抗を小さくすることができる。これにより、第1リニアガイド28に対して磁石ブロック23を滑らかに移動させることができるので、実装作業における実装精度を向上させることができる。また、変形例1に係る実装装置1のように、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に永久磁石25Aを配置することで、実装装置1の低背化を実現することができる。
In the mounting
なお、図6に示すハルバッハ配列は一例であり、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列であれば別のハルバッハ配列であってもよい。
The Halbach arrangement shown in FIG. 6 is an example, and another Halbach arrangement may be used as long as the Halbach arrangement increases the magnetic field intensity toward the
また、変形例1では、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に永久磁石25Aを配置しているが、例えば、コイルブロック22に対して第1リニアガイドレール26と反対側に永久磁石25Aを配置してもよい。さらに、コイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間、及びコイルブロック22に対して第1リニアガイドレール26と反対側の両方に永久磁石25Aを配置してもよい。
Further, in
(4.2)その他の変形例
以下、その他の変形例を列挙する。
(4.2) Other Modifications Other modifications are listed below.
上述の実施形態では、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の各々が円筒型のリニア型モータであるが、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の少なくとも一方は、例えば、円筒型ではない筒型のリニア型モータであってもよい。さらに、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の少なくとも一方は、例えば、平面型のリニア型モータであってもよい。
In the above-described embodiment, each of the first
上述の実施形態では、第1リニアガイド28及び第2リニアガイド48の各々がLMガイド(登録商標)であるが、第1リニアガイド28及び第2リニアガイド48の各々はLMガイド(登録商標)に限定されない。すなわち、第1リニアガイド28及び第2リニアガイド48の各々は、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の各々をガイドできる構成であれば別の構成であってもよい。
In the above-described embodiment, each of the first
上述の実施形態では、第1移動装置2が第1リニア型モータ21を有し、かつ第2移動装置4が第2リニア型モータ41を有している。これに対して、第1移動装置2のみが第1リニア型モータ21を有していてもよいし、第2移動装置4のみが第2リニア型モータ41を有していてもよい。すなわち、第1移動装置2と第2移動装置4との少なくとも一方がリニア型モータを有していればよい。また、第1移動装置2と第2移動装置4との一方が、リニア型モータではなく、回転型モータとボールねじとで構成される機構を有していてもよい。
In the embodiments described above, the first moving
上述の実施形態では、コイルブロック22,42が固定子で、磁石ブロック23,43が可動子であるが、コイルブロック22,42が可動子で、磁石ブロック23,43が固定子であってもよい。つまり、磁石ブロック23,43に対してコイルブロック22,42が移動するように構成されていてもよい。 In the above-described embodiment, the coil blocks 22 and 42 are the stators and the magnet blocks 23 and 43 are the movers. good. That is, the coil blocks 22 and 42 may be configured to move with respect to the magnet blocks 23 and 43 .
上述の実施形態では、永久磁石25が第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256で構成されている。ここで、図5Bに示すように、第5磁石片255は第1磁石片251と同一の磁石片であり、第6磁石片256は第2磁石片252と同一の磁石片である。したがって、永久磁石25は、少なくとも第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、及び第4磁石片254で構成されていればよい。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、及び第4磁石片254は、図5Bに示すように、磁場の向きが互いに異なる磁石片である。
In the above-described embodiment, the
上述の実施形態では、永久磁石25が円筒状であるが、永久磁石25は、例えば、角筒状であってもよい。この場合、Y軸方向から見たときのフランジ部231の収容空間233の形状は、矩形状になる。つまり、フランジ部231の収容空間233の形状は、収容空間233内に収容される永久磁石25の形状に応じた形状になる。
Although the
上述の実施形態では、磁場の向きが互いに異なる複数の磁石片を組み合わせることで永久磁石25を構成しているが、例えば、1つの磁石片に対して上述のようなハルバッハ配列に着磁することで永久磁石25を構成してもよい。
In the above-described embodiment, the
上述の実施形態で説明した図5A及び図5Bに示すハルバッハ配列は一例であり、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列であれば別のハルバッハ配列であってもよい。
The Halbach array shown in FIGS. 5A and 5B described in the above embodiment is an example, and another Halbach array may be used as long as the Halbach array increases the magnetic field intensity toward the
(まとめ)
以上説明したように、第1の態様に係る実装装置(1)は、第1移動ユニット(3)と、第1移動装置(2)と、を備える。第1移動装置(2)は、第1移動ユニット(3)を第1方向(例えばY軸方向)に沿って移動させる。第1移動ユニット(3)は、第2移動ユニット(5)と、第2移動装置(4)と、を有する。第2移動装置(4)は、第2移動ユニット(5)を第2方向(例えばX軸方向)に沿って移動させる。第2方向は、第1方向と交差する方向である。第2移動ユニット(5)は、捕捉部(51)を有する。捕捉部(51)は、第1対象物(100)に実装される第2対象物(200)を捕捉する。第1移動装置(2)と第2移動装置(4)との少なくとも一方は、リニア型モータ(21,41)を有する。リニア型モータ(21,41)は、コイル(24)を含むコイルブロック(22,42)と、励磁電流を流した状態のコイル(24)との間に磁力を作用させる永久磁石(25,25A)を含む磁石ブロック(23,43)と、を有する。永久磁石(25,25A)は、ハルバッハ配列で配置される。
(summary)
As described above, the mounting apparatus (1) according to the first aspect includes the first moving unit (3) and the first moving apparatus (2). The first moving device (2) moves the first moving unit (3) along a first direction (eg Y-axis direction). The first mobile unit (3) comprises a second mobile unit (5) and a second mobile device (4). A second moving device (4) moves a second moving unit (5) along a second direction (eg, the X-axis direction). The second direction is a direction crossing the first direction. The second mobile unit (5) has a catch (51). A capture unit (51) captures a second object (200) mounted on a first object (100). At least one of the first moving device (2) and the second moving device (4) has a linear motor (21, 41). A linear motor (21, 41) includes permanent magnets (25, 25A) that apply magnetic force between a coil block (22, 42) including a coil (24) and the coil (24) to which an exciting current is applied. ) and magnet blocks (23, 43). The permanent magnets (25, 25A) are arranged in a Halbach array.
この態様によれば、コイルブロック(22,42)側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で永久磁石(25,25A)を配置した場合には、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 According to this aspect, when the permanent magnets (25, 25A) are arranged in a Halbach arrangement that increases the magnetic field intensity toward the coil block (22, 42) side, the mounting speed in the mounting work can be further improved. can be done.
第2の態様に係る実装装置(1)では、第1の態様において、永久磁石(25,25A)は、コイルブロック(22,42)側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置される。 In the mounting apparatus (1) according to the second aspect, in the first aspect, the permanent magnets (25, 25A) are arranged in a Halbach array such that the magnetic field intensity toward the coil blocks (22, 42) is increased. be.
この態様によれば、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 According to this aspect, it is possible to further improve the mounting speed in the mounting work.
第3の態様に係る実装装置(1)では、第1又は2の態様において、磁石ブロック(23,43)は、収容空間(233)が設けられたフランジ部(231)を更に含む。永久磁石(25,25A)は、収容空間(233)内に配置される。 In the mounting apparatus (1) according to the third aspect, in the first or second aspect, the magnet blocks (23, 43) further include a flange portion (231) provided with an accommodation space (233). Permanent magnets (25, 25A) are arranged in the accommodation space (233).
この態様によれば、永久磁石(25,25A)を収容空間(233)に配置するだけで、永久磁石(25,25A)の位置合わせを行うことができる。 According to this aspect, the permanent magnets (25, 25A) can be aligned simply by arranging the permanent magnets (25, 25A) in the accommodation space (233).
第4の態様に係る実装装置(1)では、第3の態様において、永久磁石(25,25A)は、複数の磁石片(251~256,251A~254A)を有する。フランジ部(231)は、収容空間(233)内に配置された複数の磁石片(251~256,251A~254A)を収容空間(233)側に押し込む押さえ板(232)を有する。 In the mounting apparatus (1) according to the fourth aspect, in the third aspect, the permanent magnet (25, 25A) has a plurality of magnet pieces (251-256, 251A-254A). The flange portion (231) has a pressing plate (232) that pushes the plurality of magnet pieces (251-256, 251A-254A) arranged in the accommodation space (233) toward the accommodation space (233).
この態様によれば、フランジ部(231)と押さえ板(232)とで永久磁石(25,25A)を保持することができる。 According to this aspect, the permanent magnets (25, 25A) can be held by the flange (231) and the pressing plate (232).
第5の態様に係る実装装置(1)では、第1~4のいずれかの態様において、永久磁石(25)は筒状である。コイルブロック(22,42)と永久磁石(25)とは、永久磁石(25)の内側空間(250)にコイルブロック(22,42)を通した状態で相対的に移動可能である。 In the mounting apparatus (1) according to the fifth aspect, in any one of the first to fourth aspects, the permanent magnet (25) is tubular. The coil blocks (22, 42) and the permanent magnet (25) are relatively movable with the coil blocks (22, 42) passing through the inner space (250) of the permanent magnet (25).
この態様によれば、コイルブロック(22,42)と永久磁石(25)とを相対的に移動させることができる。 According to this aspect, the coil blocks (22, 42) and the permanent magnet (25) can be moved relatively.
第6の態様に係る実装装置(1)では、第1~5のいずれかの態様において、第1移動装置(2)と第2移動装置(4)との少なくとも一方は、リニアガイド(28,48)を更に有する。リニアガイド(28,48)は、リニア型モータ(21,41)をガイドする。リニアガイド(28,48)は、ハルバッハ配列で配置された永久磁石(25,25A)による磁場強度が弱くなる位置に配置される。 In the mounting apparatus (1) according to the sixth aspect, in any one of the first to fifth aspects, at least one of the first moving device (2) and the second moving device (4) includes a linear guide (28, 48). Linear guides (28, 48) guide linear motors (21, 41). The linear guides (28, 48) are arranged at positions where the strength of the magnetic field generated by the permanent magnets (25, 25A) arranged in the Halbach array is weakened.
この態様によれば、リニアガイド(28,48)とリニア型モータ(21,41)との間に生じる摩擦抵抗を低減することができるので、実装作業における実装精度を向上させることができる。 According to this aspect, it is possible to reduce the frictional resistance generated between the linear guides (28, 48) and the linear motors (21, 41), thereby improving the mounting accuracy in the mounting work.
第7の態様に係る実装装置(1)では、第1~6のいずれかの態様において、永久磁石(25,25A)は、第1磁石片(251,251A)と第2磁石片(252,252A)と第3磁石片(253,253A)と第4磁石片(254,254A)とが配列方向に沿って並んでいる。配列方向は、第1方向(例えばY軸方向)と第2方向(例えばX軸方向)との少なくとも一方である。第1磁石片(251,251A)は、コイルブロック(22,42)と対向する面である第1表面(2511)がS極、第1表面(2511)と反対側の面である第1裏面(2512)がN極である。第2磁石片(252,252A)は、上記配列方向における第1磁石片(251,251A)側の面である第2表面(2521)がS極、上記配列方向における第2表面(2521)と反対側の面である第2裏面(2522)がN極である。第3磁石片(253,253A)は、コイルブロック(22,42)と対向する面である第3表面(2531)がN極、第3表面(2531)と反対側の面である第3裏面(2532)がS極である。第4磁石片(254,254A)は、上記配列方向における第3磁石片(253,253A)側の面である第4表面(2541)がN極、上記配列方向における第4表面(2541)と反対側の面である第4裏面(2542)がS極である。 In the mounting apparatus (1) according to the seventh aspect, in any one of the first to sixth aspects, the permanent magnets (25, 25A) are composed of first magnet pieces (251, 251A) and second magnet pieces (252, 251A). 252A), the third magnet pieces (253, 253A), and the fourth magnet pieces (254, 254A) are arranged along the arrangement direction. The arrangement direction is at least one of a first direction (eg, Y-axis direction) and a second direction (eg, X-axis direction). The first magnet piece (251, 251A) has a first surface (2511) facing the coil block (22, 42) that is the south pole, and a first back surface that is the surface opposite to the first surface (2511). (2512) is the N pole. The second magnet piece (252, 252A) has a second surface (2521) on the side of the first magnet piece (251, 251A) in the arrangement direction that is the S pole, and a second surface (2521) in the arrangement direction. The opposite surface, the second back surface (2522), is the north pole. The third magnet piece (253, 253A) has a third surface (2531) that faces the coil block (22, 42) as the N pole, and a third back surface that is the surface opposite to the third surface (2531). (2532) is the south pole. The fourth magnet piece (254, 254A) has a fourth surface (2541), which is a surface on the side of the third magnet piece (253, 253A) in the arrangement direction, as the N pole, and a fourth surface (2541) in the arrangement direction. The opposite surface, the fourth rear surface (2542), is the south pole.
この態様によれば、コイルブロック(22,42)側への磁場強度を強くすることができ、これにより実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 According to this aspect, the magnetic field strength toward the coil block (22, 42) side can be increased, thereby further improving the mounting speed in the mounting work.
第8の態様に係る実装装置(1)では、第7の態様において、第2磁石片(252,252A)と第4磁石片(254,254A)とが同一の磁石片である。 In the mounting apparatus (1) according to the eighth aspect, in the seventh aspect, the second magnet pieces (252, 252A) and the fourth magnet pieces (254, 254A) are the same magnet pieces.
この態様によれば、永久磁石(25,25A)を構成する磁石片の種類を少なくすることができる。 According to this aspect, the number of types of magnet pieces constituting the permanent magnets (25, 25A) can be reduced.
第9の態様に係る実装装置(1)では、第1~8のいずれかの態様において、コイルブロック(22,42)に対して磁石ブロック(23,43)が移動可能である。 In the mounting apparatus (1) according to the ninth aspect, in any one of the first to eighth aspects, the magnet blocks (23, 43) are movable with respect to the coil blocks (22, 42).
この態様によれば、磁石ブロック(23,43)に対してコイルブロック(22,42)を移動させる場合に比べて配置の自由度が向上するという利点がある。 According to this aspect, there is an advantage that the degree of freedom of arrangement is improved compared to the case where the coil blocks (22, 42) are moved with respect to the magnet blocks (23, 43).
第2~9の態様に係る構成については、実装装置(1)に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。 The configurations according to the second to ninth aspects are not essential to the mounting apparatus (1) and can be omitted as appropriate.
1 実装装置
2 第1移動装置
3 第1移動ユニット
4 第2移動装置
5 第2移動ユニット
21 第1リニア型モータ(リニア型モータ)
22 コイルブロック
23 磁石ブロック
24 コイル
25,25A 永久磁石
28 リニアガイド
41 第2リニア型モータ(リニア型モータ)
42 コイルブロック
43 磁石ブロック
48 リニアガイド
51 捕捉部
100 第1対象物
200 第2対象物
231 フランジ部
232 押さえ板
233 収容空間
250 内側空間
251,251A 第1磁石片(磁石片)
252,252A 第2磁石片(磁石片)
253,253A 第3磁石片(磁石片)
254,254A 第4磁石片(磁石片)
2511 第1表面
2512 第1裏面
2521 第2表面
2522 第2裏面
2531 第3表面
2532 第3裏面
2541 第4表面
2542 第4裏面
1 mounting
22
42
252, 252A Second magnet piece (magnet piece)
253, 253A Third magnet piece (magnet piece)
254, 254A Fourth magnet piece (magnet piece)
2511
Claims (8)
前記第1移動ユニットを第1方向に沿って移動させる第1移動装置と、を備え、
前記第1移動ユニットは、
第2移動ユニットと、
前記第2移動ユニットを前記第1方向と交差する方向である第2方向に沿って移動させる第2移動装置と、を有し、
前記第2移動ユニットは、第1対象物に実装される第2対象物を捕捉する捕捉部を有し、
前記第1移動装置と前記第2移動装置との少なくとも一方は、リニア型モータを有し、
前記リニア型モータは、
コイルを含むコイルブロックと、
励磁電流を流した状態の前記コイルとの間に磁力を作用させる永久磁石を含む磁石ブロックと、
前記磁石ブロックの移動をガイドするリニアガイドと、を有し、
前記磁石ブロックは、前記コイルブロックが前記磁石ブロックの内側に挿通された状態で、前記コイルブロックに対して相対的に移動可能であり、
前記永久磁石は、ハルバッハ配列で配置され、
前記リニアガイドは、前記磁石ブロックの外側に配置され、前記ハルバッハ配列で配置された前記永久磁石による磁場強度が弱くなる位置に配置される、
実装装置。 a first mobile unit;
a first moving device for moving the first moving unit along a first direction;
The first mobile unit includes:
a second mobile unit;
a second moving device that moves the second moving unit along a second direction that intersects with the first direction;
The second mobile unit has a capture section that captures a second object mounted on the first object,
at least one of the first moving device and the second moving device having a linear motor;
The linear motor is
a coil block containing a coil;
a magnet block including a permanent magnet that exerts a magnetic force between itself and the coil to which an excitation current is applied;
a linear guide that guides movement of the magnet block,
The magnet block is movable relative to the coil block while the coil block is inserted inside the magnet block,
The permanent magnets are arranged in a Halbach array ,
The linear guide is arranged outside the magnet block and is arranged at a position where the magnetic field strength of the permanent magnets arranged in the Halbach array is weakened.
mounting equipment.
請求項1に記載の実装装置。 The permanent magnets are arranged in the Halbach array such that the magnetic field strength toward the coil block is strong.
The mounting apparatus according to claim 1.
前記永久磁石は、前記収容空間内に配置される、
請求項1又は2に記載の実装装置。 The magnet block further includes a flange portion provided with a housing space,
The permanent magnet is arranged in the accommodation space,
The mounting apparatus according to claim 1 or 2.
前記フランジ部は、前記収容空間内に配置された前記複数の磁石片を前記収容空間側に押し込む押さえ板を有する、
請求項3に記載の実装装置。 The permanent magnet has a plurality of magnet pieces,
The flange portion has a pressing plate that pushes the plurality of magnet pieces arranged in the accommodation space toward the accommodation space,
The mounting apparatus according to claim 3.
前記コイルブロックと前記永久磁石とは、前記永久磁石の内側空間に前記コイルブロックを通した状態で相対的に移動可能である、
請求項1~4のいずれか1項に記載の実装装置。 The permanent magnet is cylindrical,
The coil block and the permanent magnet are relatively movable in a state in which the coil block is passed through the inner space of the permanent magnet.
The mounting apparatus according to any one of claims 1 to 4.
前記配列方向は、前記第1方向と前記第2方向との少なくとも一方であり、 The arrangement direction is at least one of the first direction and the second direction,
前記第1磁石片は、前記コイルブロックと対向する面である第1表面がS極、前記第1表面と反対側の面である第1裏面がN極であり、 The first magnet piece has an S pole on a first surface facing the coil block, and an N pole on a first back surface opposite to the first surface,
前記第2磁石片は、前記配列方向における前記第1磁石片側の面である第2表面がS極、前記配列方向における前記第2表面と反対側の面である第2裏面がN極であり、 The second magnet piece has a second surface on the side of the first magnet piece in the arrangement direction that is the south pole, and a second back surface that is the surface opposite to the second surface in the arrangement direction is the north pole. ,
前記第3磁石片は、前記コイルブロックと対向する面である第3表面がN極、前記第3表面と反対側の面である第3裏面がS極であり、 The third magnet piece has an N pole on a third surface facing the coil block, and an S pole on a third back surface opposite to the third surface,
前記第4磁石片は、前記配列方向における前記第3磁石片側の面である第4表面がN極、前記配列方向における前記第4表面と反対側の面である第4裏面がS極である、 The fourth magnet piece has a fourth surface, which is the surface on the third magnet piece side in the arrangement direction, as an N pole, and a fourth back surface, which is a surface opposite to the fourth surface in the arrangement direction, as an S pole. ,
請求項1~5のいずれか1項に記載の実装装置。 The mounting apparatus according to any one of claims 1 to 5.
請求項6に記載の実装装置。 The mounting apparatus according to claim 6.
前記永久磁石は、前記コイルブロックと前記リニアガイドとの間に配置される、 The permanent magnet is arranged between the coil block and the linear guide,
請求項1~4のいずれか1項に記載の実装装置。 The mounting apparatus according to any one of claims 1 to 4.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019103341A JP7320721B2 (en) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | Mounting equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019103341A JP7320721B2 (en) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | Mounting equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020198698A JP2020198698A (en) | 2020-12-10 |
JP7320721B2 true JP7320721B2 (en) | 2023-08-04 |
Family
ID=73649454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019103341A Active JP7320721B2 (en) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | Mounting equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7320721B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114783752B (en) * | 2022-04-06 | 2024-03-12 | 深圳市海特力智能装备有限公司 | Manufacturing system and manufacturing method of annular halbach magnetic array |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009005562A (en) | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Canon Electronics Inc | Linear motor |
DE102015222677A1 (en) | 2015-11-17 | 2017-05-18 | Festo Ag & Co. Kg | promotion system |
JP2018113749A (en) | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 橘コンサルタンツ株式会社 | Energy Converter |
JP2019075467A (en) | 2017-10-16 | 2019-05-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Mounting device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6313551B1 (en) * | 2000-02-04 | 2001-11-06 | Nikon Corporation | Magnet array for a shaft-type linear motor |
KR20130034818A (en) * | 2011-09-29 | 2013-04-08 | 한양대학교 에리카산학협력단 | Electro-magnetic linear actuator |
-
2019
- 2019-05-31 JP JP2019103341A patent/JP7320721B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009005562A (en) | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Canon Electronics Inc | Linear motor |
DE102015222677A1 (en) | 2015-11-17 | 2017-05-18 | Festo Ag & Co. Kg | promotion system |
JP2018113749A (en) | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 橘コンサルタンツ株式会社 | Energy Converter |
JP2019075467A (en) | 2017-10-16 | 2019-05-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Mounting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020198698A (en) | 2020-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101904446B1 (en) | Linear motor unit | |
JP7320721B2 (en) | Mounting equipment | |
JP4684679B2 (en) | Slide device with built-in linear motor | |
JP2014516236A (en) | Method for locally improving the coercivity of a permanent magnet in a linear motor | |
JPH1110467A (en) | Xy table | |
JP2011155757A (en) | Linear motor | |
KR101486624B1 (en) | Linear motor and stage device | |
JP4594093B2 (en) | Drive device | |
JP5365775B2 (en) | Manufacturing method of linear motor system and linear motor system | |
JPWO2019035181A1 (en) | Linear motor, linear motor drive device, and linear motor cooling method | |
JP5431295B2 (en) | XY stage | |
WO2021199912A1 (en) | Lifting device | |
US11387727B2 (en) | Linear motors and wire bonding machines including the same | |
JP5135870B2 (en) | Linear actuator | |
JP2005218203A (en) | Actuator and bonding apparatus | |
JP7394370B2 (en) | Work equipment and vibration damping unit | |
JP4581641B2 (en) | Plane stage | |
JP5533751B2 (en) | Positioning device | |
JP4522674B2 (en) | Small slide device | |
WO2014192058A1 (en) | Linear motor and stage device | |
JP6989176B1 (en) | Coil device and coreless linear motor | |
JP2004320959A (en) | Linear motor | |
JP2021145418A (en) | Linear motor | |
WO2019176507A1 (en) | Flat motor | |
JP2024006779A (en) | Permanent magnet field magnet and linear motor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230613 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230707 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7320721 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |