JP7320721B2 - Mounting equipment - Google Patents

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Description

本開示は、実装装置に関する。より詳細には、本開示は、リニア型モータを備える実装装置に関する。 The present disclosure relates to a mounting device. More particularly, the present disclosure relates to mounting apparatus with linear motors.

特許文献1には、電子部品を基板に実装する実装作業を行う電子部品搭載装置(実装装置)が記載されている。特許文献1に記載の電子部品搭載装置は、リニアモータ(リニア型モータ)によって駆動されるY直動機構と、リニアモータによって駆動されるX直動機構を内蔵する移動ビームと、を備える。Y直動機構は、リニアモータによって移動ビームをY方向に直線駆動する。移動ビームは、X直動機構によって搭載ヘッドをX方向に移動させる。 Patent Literature 1 describes an electronic component mounting apparatus (mounting apparatus) for mounting electronic components on a board. The electronic component mounting apparatus described in Patent Document 1 includes a Y linear motion mechanism driven by a linear motor (linear motor) and a moving beam incorporating an X linear motion mechanism driven by the linear motor. The Y linear motion mechanism linearly drives the moving beam in the Y direction by means of a linear motor. The moving beam moves the mounted head in the X direction by means of the X translation mechanism.

特開2005-311157号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-311157

特許文献1に記載のような電子部品搭載装置では、実装作業における実装速度の更なる向上が望まれている。 In the electronic component mounting apparatus as disclosed in Patent Document 1, it is desired to further improve the mounting speed in the mounting work.

本開示の目的は、実装作業における実装速度を更に向上させることができる実装装置を提供することにある。 An object of the present disclosure is to provide a mounting apparatus capable of further improving the mounting speed in mounting work.

本開示の一態様に係る実装装置は、第1移動ユニットと、第1移動装置と、を備える。前記第1移動装置は、前記第1移動ユニットを第1方向に沿って移動させる。前記第1移動ユニットは、第2移動ユニットと、第2移動装置と、を有する。前記第2移動装置は、前記第2移動ユニットを第2方向に沿って移動させる。前記第2方向は、前記第1方向と交差する方向である。前記第2移動ユニットは、捕捉部を有する。前記捕捉部は、第1対象物に実装される第2対象物を捕捉する。前記第1移動装置と前記第2移動装置との少なくとも一方は、リニア型モータを有する。前記リニア型モータは、コイルを含むコイルブロックと、励磁電流を流した状態の前記コイルとの間に磁力を作用させる永久磁石を含む磁石ブロックと、前記磁石ブロックの移動をガイドするリニアガイドと、を有する。前記磁石ブロックは、前記コイルブロックが前記磁石ブロックの内側に挿通された状態で、前記コイルブロックに対して相対的に移動可能である。前記永久磁石は、ハルバッハ配列で配置される。前記リニアガイドは、前記磁石ブロックの外側に配置され、前記ハルバッハ配列で配置された前記永久磁石による磁場強度が弱くなる位置に配置される。 A mounting apparatus according to an aspect of the present disclosure includes a first moving unit and a first moving device. The first moving device moves the first moving unit along a first direction. The first mobile unit comprises a second mobile unit and a second mobile device. The second moving device moves the second moving unit along a second direction. The second direction is a direction crossing the first direction. The second mobile unit has a catch. The capture unit captures a second object mounted on the first object. At least one of the first moving device and the second moving device has a linear motor. The linear motor includes a coil block including coils, a magnet block including permanent magnets that apply a magnetic force between the coils to which excitation current is applied , and a linear guide that guides movement of the magnet blocks. have The magnet block is relatively movable with respect to the coil block while the coil block is inserted inside the magnet block. The permanent magnets are arranged in a Halbach array. The linear guide is arranged outside the magnet block and is arranged at a position where the magnetic field strength of the permanent magnets arranged in the Halbach array is weakened.

本開示によれば、実装作業における実装速度を更に向上させることができる、という効果がある。 According to the present disclosure, there is an effect that the mounting speed in the mounting work can be further improved.

図1は、一実施形態に係る実装装置の構成を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a mounting apparatus according to one embodiment. 図2は、同上の実装装置の要部を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main part of the mounting apparatus same as the above. 図3は、同上の実装装置の構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the mounting apparatus of the same. 図4Aは、比較例に係る実装装置に用いられる永久磁石の外観を示す斜視図である。図4Bは、同上の実装装置の要部を模式的に表した図である。FIG. 4A is a perspective view showing the appearance of a permanent magnet used in a mounting apparatus according to a comparative example; FIG. 4B is a diagram schematically showing a main part of the mounting apparatus; 図5Aは、一実施形態に係る実装装置に用いられる永久磁石の外観を示す斜視図である。図5Bは、同上の実装装置の要部を模式的に表した図である。FIG. 5A is a perspective view showing the appearance of a permanent magnet used in the mounting apparatus according to one embodiment; FIG. 5B is a diagram schematically showing a main part of the mounting apparatus; 図6は、一実施形態の変形例1に係る実装装置に用いられる永久磁石の外観を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing the appearance of a permanent magnet used in the mounting apparatus according to Modification 1 of the embodiment.

以下、実施形態に係る実装装置について、図面を参照して説明する。 A mounting apparatus according to an embodiment will be described below with reference to the drawings.

以下の実施形態等において参照する図1、図2、図4A、図4B、図5A、図5B、及び図6は、いずれも模式的な図である。したがって、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。 1, 2, 4A, 4B, 5A, 5B, and 6 referred to in the following embodiments and the like are schematic diagrams. Therefore, the ratio of the size and thickness of each component in the drawing does not necessarily reflect the actual dimensional ratio.

(実施形態)
(1)概要
以下、本実施形態に係る実装装置1の概要について、図1を参照して説明する。
(embodiment)
(1) Overview An overview of the mounting apparatus 1 according to the present embodiment will be described below with reference to FIG.

本実施形態に係る実装装置1は、例えば、第1対象物100に第2対象物200を実装するための装置である。つまり、本実施形態に係る実装装置1は、部品実装機(チップマウンター)である。 A mounting apparatus 1 according to the present embodiment is, for example, an apparatus for mounting a second object 200 on a first object 100 . That is, the mounting apparatus 1 according to this embodiment is a component mounter (chip mounter).

第1対象物100は、例えば、矩形状のプリント基板(以下、「基板100」ともいう)である。第2対象物200は、例えば、コンデンサ、抵抗、インダクタ、トランス、IC(Integrated Circuit)、コネクタ、又はスイッチ等の電子部品(以下、「部品200」ともいう)である。なお、部品200は、上記の電子部品に限らず、基板100に対して実装可能であれば他の部品であってもよい。 The first target object 100 is, for example, a rectangular printed circuit board (hereinafter also referred to as “substrate 100”). The second object 200 is, for example, an electronic component (hereinafter also referred to as “component 200”) such as a capacitor, resistor, inductor, transformer, IC (Integrated Circuit), connector, or switch. Components 200 are not limited to the electronic components described above, and may be other components as long as they can be mounted on substrate 100 .

本実施形態に係る実装装置1は、図1に示すように、第1移動ユニット3と、第1移動装置2と、を備える。第1移動装置2は、第1移動ユニット3を第1方向に沿って移動させる。第1移動ユニット3は、第2移動ユニット5と、第2移動装置4と、を有する。第2移動装置4は、第2移動ユニット5を第2方向に沿って移動させる。第2方向は、第1方向と交差する方向である。第2移動ユニット5は、捕捉部51を有する。捕捉部51は、第1対象物100に実装される第2対象物200を捕捉する。第1移動装置2と第2移動装置4との少なくとも一方は、リニア型モータ(第1リニア型モータ21、第2リニア型モータ41)を有する。リニア型モータは、コイル24(図2参照)を含むコイルブロック22,42と、励磁電流を流した状態のコイル24との間に磁力を作用させる永久磁石25(図2参照)を含む磁石ブロック23,43と、を有する。永久磁石25は、ハルバッハ配列で配置される。本実施形態では、例えば、第1方向はY軸方向であり、第2方向はX軸方向である。 The mounting apparatus 1 according to this embodiment includes a first moving unit 3 and a first moving apparatus 2, as shown in FIG. The first moving device 2 moves the first moving unit 3 along the first direction. The first mobile unit 3 has a second mobile unit 5 and a second mobile device 4 . The second moving device 4 moves the second moving unit 5 along the second direction. The second direction is a direction crossing the first direction. The second mobile unit 5 has a catch 51 . The capture unit 51 captures the second target object 200 mounted on the first target object 100 . At least one of the first moving device 2 and the second moving device 4 has a linear motor (first linear motor 21, second linear motor 41). The linear motor has coil blocks 22 and 42 including coils 24 (see FIG. 2) and magnet blocks including permanent magnets 25 (see FIG. 2) that apply magnetic force to the coils 24 to which an exciting current is applied. 23, 43 and . The permanent magnets 25 are arranged in a Halbach array. In this embodiment, for example, the first direction is the Y-axis direction and the second direction is the X-axis direction.

本実施形態に係る実装装置1では、リニア型モータの一部を構成する永久磁石25を、コイルブロック22,42側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置した場合には、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 In the mounting apparatus 1 according to the present embodiment, when the permanent magnets 25 constituting a part of the linear motor are arranged in a Halbach arrangement such that the magnetic field strength toward the coil blocks 22 and 42 becomes stronger, the mounting work is performed. It is possible to further improve the mounting speed in

ここで、ハルバッハ配列で配置された永久磁石25の適用対象は実装装置1に限らず、実装装置1を含む作業装置全般に適用可能である。本開示でいう「作業装置」は、製品の製造に際して作業対象物に対して種々の作業を行う装置であり、例えば、実装、塗装、印刷、プレス、切削、溶着、及び撮影等の作業を行う装置である。本開示でいう「作業対象物」は、作業装置により加工等の作業が施される物であって、例えば、第1対象物100に第2対象物200を実装する作業では、第1対象物100が作業対象物となる。この場合、第2移動ユニット5は、作業対象物に作用するツールを有する。 Here, the application target of the permanent magnets 25 arranged in the Halbach array is not limited to the mounting apparatus 1 , but can be applied to general working apparatuses including the mounting apparatus 1 . The "work device" referred to in the present disclosure is a device that performs various operations on a work object when manufacturing a product, such as mounting, painting, printing, pressing, cutting, welding, and photographing. It is a device. The "work target" referred to in the present disclosure is an object on which work such as processing is performed by a work device. 100 is a working object. In this case, the second mobile unit 5 has a tool that acts on the work piece.

(2)詳細
以下、本実施形態に係る実装装置1の詳細について、図1~図3を参照して説明する。
(2) Details Details of the mounting apparatus 1 according to the present embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.

(2.1)実装装置の構造
まず、本実施形態に係る実装装置1の構造について、図1及び図2を参照して説明する。以下の説明では、第1移動ユニット3の移動方向をY軸方向、第2移動ユニット5の移動方向をX軸方向、第1移動ユニット3の移動方向及び第2移動ユニット5の移動方向の両方と直交する方向をZ軸方向と規定する。ただし、これらの方向は、実装装置1の使用方向を限定する趣旨ではない。また、図面中の矢印は説明のために表記しているに過ぎず、実体を伴わない。
(2.1) Structure of Mounting Apparatus First, the structure of a mounting apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. In the following description, the moving direction of the first moving unit 3 is the Y-axis direction, the moving direction of the second moving unit 5 is the X-axis direction, and both the moving direction of the first moving unit 3 and the moving direction of the second moving unit 5 is defined as the Z-axis direction. However, these directions are not meant to limit the directions in which the mounting apparatus 1 is used. Also, the arrows in the drawings are only shown for explanation and are not substantial.

本実施形態に係る実装装置1は、図1に示すように、第1移動装置2と、第1移動ユニット3と、を備える。第1移動装置2は、第1移動ユニット3を第1方向に沿って移動させる。本実施形態では、第1方向はY軸方向である。 The mounting apparatus 1 according to this embodiment includes a first moving device 2 and a first moving unit 3, as shown in FIG. The first moving device 2 moves the first moving unit 3 along the first direction. In this embodiment, the first direction is the Y-axis direction.

第1移動装置2は、図1に示すように、2つの第1リニア型モータ21(リニア型モータ)を有する。2つの第1リニア型モータ21の各々は、いわゆる円筒型のリニア型モータである。2つの第1リニア型モータ21は、X軸方向に所定の間隔を空けた状態で並んでいる。各第1リニア型モータ21は、コイルブロック22と、磁石ブロック23と、を有する。 The first moving device 2 has two first linear motors 21 (linear motors), as shown in FIG. Each of the two first linear motors 21 is a so-called cylindrical linear motor. The two first linear motors 21 are arranged side by side with a predetermined gap in the X-axis direction. Each first linear motor 21 has a coil block 22 and a magnet block 23 .

コイルブロック22は、図2に示すように、外筒221と、巻き芯222と、コイル24と、を有する。外筒221は、Y軸方向に長い円筒状である。巻き芯222は、Y軸方向に長い円筒状であり、外筒221の内部に配置される。巻き芯222の表面には、コイル24が巻かれている。コイル24は、複数の単位コイルを含む。複数の単位コイルの各々は、U相、V相、W相にそれぞれ対応する。各単位コイルは、Y軸回りに巻かれている。コイル24は、巻き芯222に巻かれた状態で、巻き芯222と共に外筒221内に収容される。 The coil block 22 has an outer cylinder 221, a winding core 222, and a coil 24, as shown in FIG. The outer cylinder 221 has a cylindrical shape elongated in the Y-axis direction. The winding core 222 has a cylindrical shape elongated in the Y-axis direction and is arranged inside the outer cylinder 221 . A coil 24 is wound on the surface of the winding core 222 . Coil 24 includes a plurality of unit coils. Each of the plurality of unit coils corresponds to the U-phase, V-phase, and W-phase, respectively. Each unit coil is wound around the Y-axis. The coil 24 is accommodated in the outer cylinder 221 together with the winding core 222 while being wound around the winding core 222 .

磁石ブロック23は、図2に示すように、永久磁石25を有する。永久磁石25は、励磁電流が流れているコイル24との間に磁力を発生させる。永久磁石25は、Y軸方向に長い円筒状である。永久磁石25は、複数の磁石片(第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、第6磁石片256)を有する。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。なお、永久磁石25の構成については、「(3)永久磁石の構成」の欄で詳しく説明する。 The magnet block 23 has a permanent magnet 25 as shown in FIG. The permanent magnet 25 generates magnetic force with the coil 24 through which the excitation current is flowing. The permanent magnet 25 has a cylindrical shape elongated in the Y-axis direction. The permanent magnet 25 has a plurality of magnet pieces (first magnet piece 251, second magnet piece 252, third magnet piece 253, fourth magnet piece 254, fifth magnet piece 255, and sixth magnet piece 256). The first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, the fourth magnet piece 254, the fifth magnet piece 255, and the sixth magnet piece 256 are arranged in this order along the Y-axis direction. . The configuration of the permanent magnet 25 will be described in detail in the section "(3) Configuration of Permanent Magnet".

磁石ブロック23は、図2に示すように、フランジ部231を更に有する。フランジ部231は、Y軸方向に長い角筒状である(図1参照)。フランジ部231は、Y軸方向における両端部が開口している。フランジ部231は、収容空間233を有する。収容空間233は、Y軸方向から見た形状が円形であり、フランジ部231の全長に亘って形成されている。フランジ部231の収容空間233には、永久磁石25が収容される。 The magnet block 23 further has a flange portion 231 as shown in FIG. The flange portion 231 has a rectangular tubular shape that is long in the Y-axis direction (see FIG. 1). The flange portion 231 is open at both ends in the Y-axis direction. The flange portion 231 has an accommodation space 233 . The housing space 233 has a circular shape when viewed in the Y-axis direction, and is formed over the entire length of the flange portion 231 . The permanent magnet 25 is accommodated in the accommodation space 233 of the flange portion 231 .

ここで、Y軸方向から見たときの収容空間233の外径は、永久磁石25の外径よりも小さくなっていることが好ましい。これにより、収容空間233に対して永久磁石25を圧入することができ、フランジ部231に永久磁石25を保持させることができる。また、Y軸方向におけるフランジ部231の両端部には、押さえ板232がそれぞれ取り付けられる。各押さえ板232の外形寸法は、Y軸方向から見たときのフランジ部231の外形寸法とほぼ同じである。各押さえ板232は、厚さ方向(Y軸方向)に貫通する貫通孔2321を有する。貫通孔2321は、Y軸方向から見た形状が円形である。貫通孔2321の外径は、コイルブロック22の外筒221の外径よりもわずかに大きい。例えば、Y軸方向から見たときの収容空間233の外径が永久磁石25の外径よりも大きい場合には、収容空間233に対して永久磁石25を圧入できないため、そのままでは永久磁石25を保持することができない。このような場合であっても、フランジ部231の両端部に押さえ板232をそれぞれ取り付けることで、永久磁石25を収容空間233側に押し込むことができ、その結果、フランジ部231と押さえ板232とで永久磁石25を保持することができる。 Here, it is preferable that the outer diameter of the accommodation space 233 when viewed from the Y-axis direction is smaller than the outer diameter of the permanent magnet 25 . As a result, the permanent magnet 25 can be press-fitted into the accommodation space 233 , and the permanent magnet 25 can be held by the flange portion 231 . Further, pressing plates 232 are attached to both ends of the flange portion 231 in the Y-axis direction. The outer dimensions of each pressing plate 232 are substantially the same as the outer dimensions of the flange portion 231 when viewed in the Y-axis direction. Each pressing plate 232 has a through hole 2321 passing through in the thickness direction (Y-axis direction). The through hole 2321 has a circular shape when viewed in the Y-axis direction. The outer diameter of through hole 2321 is slightly larger than the outer diameter of outer cylinder 221 of coil block 22 . For example, if the outer diameter of the accommodation space 233 when viewed in the Y-axis direction is larger than the outer diameter of the permanent magnet 25, the permanent magnet 25 cannot be press-fitted into the accommodation space 233. unable to hold. Even in such a case, by attaching pressing plates 232 to both ends of the flange portion 231, the permanent magnets 25 can be pushed into the housing space 233, and as a result, the flange portion 231 and the pressing plate 232 are separated from each other. , the permanent magnet 25 can be held.

第1移動装置2は、2つの第1リニアガイド28(リニアガイド)を更に有する。各第1リニアガイド28は、第1リニアガイドレール26と、第1リニアガイドスライダ27と、を含む、いわゆるLMガイド(登録商標)である。第1リニアガイドレール26は、その長手方向がY軸方向と平行になるように配置される。また、2つの第1リニアガイドレール26は、X軸方向に所定の間隔を空けた状態で並んでいる。Y軸方向における第1リニアガイドレール26の断面形状は、例えば、逆T字状である(図1参照)。 The first moving device 2 further has two first linear guides 28 (linear guides). Each first linear guide 28 is a so-called LM guide (registered trademark) including a first linear guide rail 26 and a first linear guide slider 27 . The first linear guide rail 26 is arranged such that its longitudinal direction is parallel to the Y-axis direction. Also, the two first linear guide rails 26 are arranged side by side with a predetermined gap in the X-axis direction. The cross-sectional shape of the first linear guide rail 26 in the Y-axis direction is, for example, an inverted T shape (see FIG. 1).

第1リニアガイドスライダ27は、第1リニアガイドレール26に嵌め合わされる。Y軸方向における第1リニアガイドスライダ27の断面形状は、第1リニアガイドレール26の形状と対応しており、第1リニアガイドスライダ27は、ほぼ隙間なく第1リニアガイドレール26に嵌め合わされる。 The first linear guide slider 27 is fitted to the first linear guide rail 26 . The cross-sectional shape of the first linear guide slider 27 in the Y-axis direction corresponds to the shape of the first linear guide rail 26, and the first linear guide slider 27 is fitted to the first linear guide rail 26 with almost no gap. .

第1リニアガイドスライダ27には、第1リニア型モータ21の磁石ブロック23が固定される。そして、第1リニアガイドスライダ27は、コイルブロック22に対して磁石ブロック23がY軸方向に沿って移動する際に、磁石ブロック23をガイドする。つまり、本実施形態では、リニア型モータ21のうち、コイルブロック22が固定子であり、磁石ブロック23が可動子である。したがって、本実施形態では、コイルブロック22に対して磁石ブロック23が移動可能である。 The magnet block 23 of the first linear motor 21 is fixed to the first linear guide slider 27 . The first linear guide slider 27 guides the magnet block 23 when the magnet block 23 moves along the Y-axis direction with respect to the coil block 22 . That is, in the present embodiment, the coil block 22 of the linear motor 21 is the stator, and the magnet block 23 is the mover. Therefore, in this embodiment, the magnet block 23 is movable with respect to the coil block 22 .

ここで、磁石ブロック23の永久磁石25は、図2に示すように、Y軸方向に長い円筒状である。永久磁石25は、内側空間250を有する。内側空間250は、Y軸方向から見た形状が円形であって、永久磁石25の全長に亘って形成されている。第1リニア型モータ21を組み立てた状態では、図2に示すように、永久磁石25の内側空間250にコイルブロック22が通される。そして、コイルブロック22のコイル24に励磁電流を流すことによって、コイルブロック22に対して磁石ブロック23がY軸方向に沿って移動する。つまり、コイルブロック22と磁石ブロック23(永久磁石25)とは、Y軸方向に沿って相対的に移動可能である。 Here, as shown in FIG. 2, the permanent magnet 25 of the magnet block 23 has a cylindrical shape elongated in the Y-axis direction. Permanent magnet 25 has an inner space 250 . The inner space 250 has a circular shape when viewed in the Y-axis direction, and is formed over the entire length of the permanent magnet 25 . When the first linear motor 21 is assembled, the coil block 22 is passed through the inner space 250 of the permanent magnet 25 as shown in FIG. Then, the magnet block 23 moves along the Y-axis direction with respect to the coil block 22 by applying an exciting current to the coil 24 of the coil block 22 . That is, the coil block 22 and the magnet block 23 (permanent magnet 25) are relatively movable along the Y-axis direction.

第1移動ユニット3は、第2移動装置4と、第2移動ユニット5と、を有する。第2移動装置4は、第2移動ユニット5を第2方向に沿って移動させる。第2方向は、第1方向と交差する方向であって、本実施形態では、第2方向はX軸方向である。第1移動ユニット3は、2つの磁石ブロック23が2つの第1リニアガイド28によってガイドされることで、Y軸方向に沿って直線状に移動可能である。 The first mobile unit 3 has a second mobile device 4 and a second mobile unit 5 . The second moving device 4 moves the second moving unit 5 along the second direction. The second direction is a direction crossing the first direction, and in this embodiment, the second direction is the X-axis direction. The first moving unit 3 is linearly movable along the Y-axis direction by the two magnet blocks 23 being guided by the two first linear guides 28 .

第2移動装置4は、図1に示すように、2つの第2リニア型モータ41(リニア型モータ)を有する。2つの第2リニア型モータ41の各々は、いわゆる円筒型のリニア型モータである。2つの第2リニア型モータ41は、Y軸方向に所定の間隔を空けた状態で並んでいる。各第2リニア型モータ41は、コイルブロック42と、磁石ブロック43と、を有する。ここで、第2リニア型モータ41は、第1リニア型モータ21と同じ円筒型のリニア型モータである。そのため、コイルブロック42は、コイルブロック22と同様の構成を有し、磁石ブロック43は、磁石ブロック23と同様の構成を有する。したがって、ここでは第2リニア型モータ41の説明を省略する。本実施形態では、第2リニア型モータ41のうち、コイルブロック42が固定子であり、磁石ブロック43が可動子である。そして、コイルブロック42に対して磁石ブロック43がX軸方向に沿って移動する。 The second moving device 4 has two second linear motors 41 (linear motors), as shown in FIG. Each of the two second linear motors 41 is a so-called cylindrical linear motor. The two second linear motors 41 are arranged side by side with a predetermined interval in the Y-axis direction. Each second linear motor 41 has a coil block 42 and a magnet block 43 . Here, the second linear motor 41 is the same cylindrical linear motor as the first linear motor 21 . Therefore, the coil block 42 has the same configuration as the coil block 22 and the magnet block 43 has the same configuration as the magnet block 23 . Therefore, description of the second linear motor 41 is omitted here. In this embodiment, of the second linear motor 41, the coil block 42 is the stator and the magnet block 43 is the mover. Then, the magnet block 43 moves along the X-axis direction with respect to the coil block 42 .

第2移動装置4は、2つの第2リニアガイド48(リニアガイド)を更に有する。各第2リニアガイド48は、第2リニアガイドレール46と、第2リニアガイドスライダ47と、を含む、いわゆるLMガイド(登録商標)である。ここで、第2リニアガイドレール46は第1リニアガイドレール26と同様であり、第2リニアガイドスライダ47は第1リニアガイドスライダ27と同様である。したがって、ここでは第2リニアガイド48(第2リニアガイドレール46及び第2リニアガイドスライダ47)の説明を省略する。 The second moving device 4 further has two second linear guides 48 (linear guides). Each second linear guide 48 is a so-called LM guide (registered trademark) including a second linear guide rail 46 and a second linear guide slider 47 . Here, the second linear guide rail 46 is the same as the first linear guide rail 26 and the second linear guide slider 47 is the same as the first linear guide slider 27 . Therefore, description of the second linear guide 48 (the second linear guide rail 46 and the second linear guide slider 47) is omitted here.

第2移動ユニット5は、例えば、実装ヘッドユニットである。第2移動ユニット5は、捕捉部51を有する。捕捉部51は、例えば、第2対象物としての部品200を吸着(捕捉)する吸着ノズルである。第2移動ユニット5は、Y軸方向における両側から2つの磁石ブロック43,43に固定される。そして、第2移動ユニット5は、2つの磁石ブロック43がX軸方向に沿って移動することで、2つの磁石ブロック43と共にX軸方向に沿って移動する。また、第2移動ユニット5は、2つの磁石ブロック43が2つの第2リニアガイド48によってガイドされることで、X軸方向に沿って直線状に移動可能である。 The second moving unit 5 is, for example, a mounting head unit. The second mobile unit 5 has a catch 51 . The catching unit 51 is, for example, a suction nozzle that sucks (captures) the component 200 as the second object. The second moving unit 5 is fixed to two magnet blocks 43, 43 from both sides in the Y-axis direction. The second moving unit 5 moves along the X-axis direction together with the two magnet blocks 43 as the two magnet blocks 43 move along the X-axis direction. In addition, the second moving unit 5 can move linearly along the X-axis direction by guiding the two magnet blocks 43 by the two second linear guides 48 .

(2.2)実装装置の構成
次に、本実施形態に係る実装装置1の構成について、図3を参照して説明する。
(2.2) Configuration of Mounting Apparatus Next, the configuration of the mounting apparatus 1 according to this embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態に係る実装装置1は、図3に示すように、制御回路11と、第1駆動回路12と、第2駆動回路13と、第1リニア型モータ21と、第2リニア型モータ41と、を備える。なお、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41については、「(2.1)実装装置の構造」の欄で既に説明しており、ここでは説明を省略する。 As shown in FIG. 3, the mounting apparatus 1 according to this embodiment includes a control circuit 11, a first drive circuit 12, a second drive circuit 13, a first linear motor 21, and a second linear motor 41. And prepare. Note that the first linear motor 21 and the second linear motor 41 have already been described in the section "(2.1) Structure of the Mounting Apparatus", and the description will be omitted here.

制御回路11は、第1駆動回路12及び第2駆動回路13を各別に制御するように構成されている。具体的には、制御回路11は、第2移動ユニット(実装ヘッドユニット)5の捕捉部(吸着ノズル)51が目標位置に到達するように、第1駆動回路12に対して第1制御信号を出力し、第2駆動回路13に対して第2制御信号を出力する。目標位置は、第1対象物としての基板100における、第2対象物としての部品200の実装位置である。第1制御信号には、目標位置の位置情報のうちY軸方向の位置情報が含まれている。第2制御信号には、目標位置の位置情報のうちX軸方向の位置情報が含まれている。 The control circuit 11 is configured to control the first drive circuit 12 and the second drive circuit 13 separately. Specifically, the control circuit 11 issues a first control signal to the first drive circuit 12 so that the catching portion (suction nozzle) 51 of the second moving unit (mounting head unit) 5 reaches the target position. and outputs the second control signal to the second drive circuit 13 . The target position is the mounting position of the component 200 as the second object on the substrate 100 as the first object. The first control signal includes position information in the Y-axis direction among the position information of the target position. The second control signal includes the position information in the X-axis direction among the position information of the target position.

制御回路11は、例えば、1以上のプロセッサ及び1以上のメモリを有するコンピュータシステムを主構成とする。そして、コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムを、コンピュータシステムのプロセッサが実行することにより、制御回路11の機能が実現される。プログラムは、メモリに予め記録されていてもよいし、インターネット等の電気通信回線を通じて、又はメモリカード等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。 The control circuit 11 is mainly composed of a computer system having, for example, one or more processors and one or more memories. The functions of the control circuit 11 are realized by the processor of the computer system executing the program recorded in the memory of the computer system. The program may be prerecorded in a memory, or may be provided by being recorded in a non-temporary recording medium such as a memory card or through an electric communication line such as the Internet.

第1駆動回路12は、第1リニア型モータ21と一対一に対応しており、制御回路11からの第1制御信号に基づいて第1駆動信号を作成し、作成した第1駆動信号を第1リニア型モータ21に出力する。第1リニア型モータ21は、第1駆動回路12からの第1駆動信号に従ってY軸方向に沿って移動する。そして、第2移動ユニット5を含む第1移動ユニット3は、第1リニア型モータ21からの駆動力によってY軸方向に沿って移動し、捕捉部51がY軸方向における目標位置に到達する。 The first drive circuit 12 is in one-to-one correspondence with the first linear motor 21, creates a first drive signal based on the first control signal from the control circuit 11, and sends the created first drive signal to the first drive signal. 1 to the linear motor 21 . The first linear motor 21 moves along the Y-axis direction according to the first drive signal from the first drive circuit 12 . Then, the first moving unit 3 including the second moving unit 5 moves along the Y-axis direction by the driving force from the first linear motor 21, and the catching part 51 reaches the target position in the Y-axis direction.

第2駆動回路13は、第2リニア型モータ41と一対一に対応しており、制御回路11からの第2制御信号に基づいて第2駆動信号を作成し、作成した第2駆動信号を第2リニア型モータ41に出力する。第2リニア型モータ41は、第2駆動回路13からの第2駆動信号に従ってX軸方向に沿って移動する。そして、第2移動ユニット5は、第2リニア型モータ41からの駆動力によってX軸方向に沿って移動し、捕捉部51がX軸方向における目標位置に到達する。 The second drive circuit 13 is in one-to-one correspondence with the second linear motor 41, creates a second drive signal based on the second control signal from the control circuit 11, and sends the created second drive signal to the second drive signal. 2 Output to the linear motor 41 . The second linear motor 41 moves along the X-axis direction according to the second drive signal from the second drive circuit 13 . Then, the second moving unit 5 moves along the X-axis direction by the driving force from the second linear motor 41, and the catching part 51 reaches the target position in the X-axis direction.

(3)永久磁石の構成
次に、第1リニア型モータ21の一部を構成する永久磁石25の構成について、図4A~図5Bを参照して説明する。以下では、比較例に係る永久磁石65と比較しながら説明する。また、第2リニア型モータ41の一部を構成する永久磁石は、第1リニア型モータ21の一部を構成する永久磁石25と同様の構成を有しているため、ここでは説明を省略する。なお、図4A~図5Bでは、各磁石片におけるS極部分に対してドットを施しており、各磁石片におけるS極とN極とを区別できるように図示している。
(3) Structure of Permanent Magnet Next, the structure of the permanent magnet 25 that constitutes a part of the first linear motor 21 will be described with reference to FIGS. 4A to 5B. Below, it demonstrates, comparing with the permanent magnet 65 which concerns on a comparative example. Also, the permanent magnets that form part of the second linear motor 41 have the same configuration as the permanent magnets 25 that form part of the first linear motor 21, so the description thereof is omitted here. . In FIGS. 4A to 5B, the S pole portion of each magnet piece is dotted so that the S pole and N pole of each magnet piece can be distinguished.

比較例に係る永久磁石65は、図4Aに示すように、複数(図4Aでは6個)の磁石片(第1磁石片651、第2磁石片652、第3磁石片653、第4磁石片654、第5磁石片655、第6磁石片656)を有する。第1磁石片651、第2磁石片652、第3磁石片653、第4磁石片654、第5磁石片655、及び第6磁石片656の各々は、Y軸方向を軸方向とする円筒状である。第1磁石片651、第2磁石片652、第3磁石片653、第4磁石片654、第5磁石片655、及び第6磁石片656は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。これにより、永久磁石65は、その長手方向がY軸方向と平行になるような円筒状に形成される(図4A参照)。 As shown in FIG. 4A, the permanent magnet 65 according to the comparative example includes a plurality of (six in FIG. 4A) magnet pieces (a first magnet piece 651, a second magnet piece 652, a third magnet piece 653, and a fourth magnet piece. 654, a fifth magnet piece 655, and a sixth magnet piece 656). Each of the first magnet piece 651, the second magnet piece 652, the third magnet piece 653, the fourth magnet piece 654, the fifth magnet piece 655, and the sixth magnet piece 656 has a cylindrical shape whose axial direction is the Y-axis direction. is. The first magnet piece 651, the second magnet piece 652, the third magnet piece 653, the fourth magnet piece 654, the fifth magnet piece 655, and the sixth magnet piece 656 are arranged in this order along the Y-axis direction. . Thereby, the permanent magnet 65 is formed in a cylindrical shape whose longitudinal direction is parallel to the Y-axis direction (see FIG. 4A).

比較例に係る永久磁石65では、Y軸方向において、第1磁石片651のS極と第2磁石片652のS極とが対向し、第2磁石片652のN極と第3磁石片653のN極とが対向している。また、永久磁石65では、Y軸方向において、第3磁石片653のS極と第4磁石片654のS極とが対向し、第4磁石片654のN極と第5磁石片655のN極とが対向している。また、永久磁石65では、Y軸方向において、第5磁石片655のS極と第6磁石片656のS極とが対向している。つまり、比較例に係る永久磁石65は、隣接する磁石片の同極同士を対向させた、いわゆるN-S配列の永久磁石である。 In the permanent magnet 65 according to the comparative example, the S pole of the first magnet piece 651 and the S pole of the second magnet piece 652 face each other in the Y-axis direction, and the N pole of the second magnet piece 652 and the third magnet piece 653 face each other. are facing each other. In the permanent magnet 65, the S pole of the third magnet piece 653 and the S pole of the fourth magnet piece 654 face each other in the Y-axis direction, and the N pole of the fourth magnet piece 654 and the N pole of the fifth magnet piece 655 poles are facing each other. In the permanent magnet 65, the S pole of the fifth magnet piece 655 and the S pole of the sixth magnet piece 656 face each other in the Y-axis direction. In other words, the permanent magnet 65 according to the comparative example is a so-called NS arrangement permanent magnet in which the same poles of adjacent magnet pieces face each other.

図4Bは、永久磁石65とコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との位置関係を示す模式図である。N-S配列の永久磁石65では、図4Bに示すように、各磁石片の磁極がY軸方向に沿って並んでいるため、各磁石片からの磁束はZ軸方向における両側にほぼ均等に拡がっている。この場合、永久磁石65から第1リニアガイドレール26側への漏れ磁束が大きくなり、その結果、第1リニア型モータ21と第1リニアガイド28との間に生じる摩擦抵抗が大きくなり、実装作業における実装精度が低下する可能性がある。また、永久磁石65から第1リニアガイドレール26側への漏れ磁束が大きくなることで、コイルブロック22側への磁束密度が相対的に小さくなり、その結果、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力が小さくなる。 FIG. 4B is a schematic diagram showing the positional relationship between the permanent magnet 65, the coil block 22, and the first linear guide rail 26. As shown in FIG. In the permanent magnet 65 of the NS arrangement, as shown in FIG. 4B, the magnetic poles of each magnet piece are aligned along the Y-axis direction, so the magnetic flux from each magnet piece is almost evenly distributed on both sides in the Z-axis direction. spreading. In this case, the leakage magnetic flux from the permanent magnet 65 to the first linear guide rail 26 side increases, and as a result, the frictional resistance generated between the first linear motor 21 and the first linear guide 28 increases, and the mounting work becomes difficult. There is a possibility that the mounting accuracy in In addition, since the leakage magnetic flux from the permanent magnet 65 to the first linear guide rail 26 side increases, the magnetic flux density to the coil block 22 side becomes relatively small. The propulsive force generated between them becomes smaller.

本実施形態に係る永久磁石25は、図5Aに示すように、複数(図5Aでは6個)の磁石片(第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、第6磁石片256)を有する。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256の各々は、Y軸方向を軸方向とする円筒状である。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。これにより、永久磁石25は、その長手方向がY軸方向と平行になるような円筒状に形成される(図5A参照)。本実施形態では、第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256の配列方向はY軸方向である。 As shown in FIG. 5A, the permanent magnet 25 according to the present embodiment includes a plurality of (six in FIG. 5A) magnet pieces (first magnet piece 251, second magnet piece 252, third magnet piece 253, fourth magnet piece). It has a piece 254, a fifth magnet piece 255, and a sixth magnet piece 256). Each of the first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, the fourth magnet piece 254, the fifth magnet piece 255, and the sixth magnet piece 256 has a cylindrical shape whose axial direction is the Y-axis direction. is. The first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, the fourth magnet piece 254, the fifth magnet piece 255, and the sixth magnet piece 256 are arranged in this order along the Y-axis direction. . Thereby, the permanent magnet 25 is formed in a cylindrical shape whose longitudinal direction is parallel to the Y-axis direction (see FIG. 5A). In this embodiment, the arrangement direction of the first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, the fourth magnet piece 254, the fifth magnet piece 255, and the sixth magnet piece 256 is the Y-axis direction. .

第1磁石片251は、Y軸方向から見て、内側の面である第1表面2511がS極であり、外側の面である第1裏面2512がN極である。言い換えると、第1磁石片251は、コイルブロック22と対向する面である第1表面2511がS極、第1表面2511と反対側の面である第1裏面2512がN極である。第2磁石片252は、Y軸方向から見て、第1磁石片251側の面である第2表面2521がS極、第2表面2521と反対側の面である第2裏面2522がN極である。第3磁石片253は、Y軸方向から見て、内側の面である第3表面2531がN極、外側の面である第3裏面2532がS極である。言い換えると、第3磁石片253は、コイルブロック22と対向する面である第3表面2531がN極、第3表面2531と反対側の面である第3裏面2532がS極である。第4磁石片254は、Y軸方向から見て、第3磁石片253側の面である第4表面2541がN極、第4表面2541と反対側の面である第4裏面2542がS極である。 The first magnet piece 251 has an S pole on a first surface 2511 that is an inner surface and an N pole on a first back surface 2512 that is an outer surface when viewed from the Y-axis direction. In other words, the first magnet piece 251 has a first surface 2511 facing the coil block 22 as the south pole, and a first back surface 2512 opposite to the first surface 2511 as the north pole. The second magnet piece 252 has a second surface 2521 on the first magnet piece 251 side as viewed from the Y-axis direction, and a second back surface 2522 opposite to the second surface 2521 as an N pole. is. The third magnet piece 253 has an inner third surface 2531 as an N pole and an outer third back surface 2532 as an S pole when viewed in the Y-axis direction. In other words, in the third magnet piece 253, the third surface 2531 facing the coil block 22 is the N pole, and the third back surface 2532 opposite to the third surface 2531 is the S pole. The fourth magnet piece 254 has a fourth surface 2541 on the side of the third magnet piece 253 as viewed from the Y-axis direction, and a fourth back surface 2542 opposite to the fourth surface 2541 as an S pole. is.

ここで、第5磁石片255は、上述の第1磁石片251と同一の磁石片である。また、第6磁石片256は、上述の第2磁石片252と同一の磁石片である。つまり、本実施形態に係る永久磁石25は、着磁方向(磁場の向き)が互いに異なる第1磁石片251と第2磁石片252と第3磁石片253と第4磁石片254とを少なくとも有していればよい。また、本実施形態に係る永久磁石25では、第2磁石片252と第4磁石片254とは、Y軸方向においてS極とN極とが互いに反対側になっているだけであり、同一の磁石片である。 Here, the fifth magnet piece 255 is the same magnet piece as the first magnet piece 251 described above. Also, the sixth magnet piece 256 is the same magnet piece as the second magnet piece 252 described above. That is, the permanent magnet 25 according to the present embodiment has at least the first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, and the fourth magnet piece 254, which are magnetized in different directions (orientation of the magnetic field). It's fine if you do. In addition, in the permanent magnet 25 according to the present embodiment, the second magnet piece 252 and the fourth magnet piece 254 have the S pole and the N pole opposite to each other in the Y-axis direction. It's a piece of magnet.

図5Bは、永久磁石25とコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との位置関係を示す模式図である。永久磁石25では、図5Bに示すように、複数の磁石片の配列方向であるY軸方向と直交するZ軸方向における片側に磁界が集中する。図5Bに示すように、永久磁石25が円筒状である場合には、永久磁石25の内側空間250の内周面から内側に向かう磁束が大きくなり、永久磁石25の外周面から外側に向かう磁束が小さくなる。そのため、図5Bに示すように、永久磁石25の内側空間250にコイルブロック22を通すことで、コイルブロック22側への磁束密度を大きくすることができる。これにより、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力を大きくすることができる。コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力が大きくなることで、コイルブロック22に対する磁石ブロック23の加速度が大きくなり、その結果、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 5B is a schematic diagram showing the positional relationship between the permanent magnet 25, the coil block 22 and the first linear guide rail 26. FIG. In the permanent magnet 25, as shown in FIG. 5B, the magnetic field concentrates on one side in the Z-axis direction orthogonal to the Y-axis direction in which the plurality of magnet pieces are arranged. As shown in FIG. 5B, when the permanent magnet 25 is cylindrical, the magnetic flux directed inward from the inner peripheral surface of the inner space 250 of the permanent magnet 25 increases, and the magnetic flux directed outward from the outer peripheral surface of the permanent magnet 25 increases. becomes smaller. Therefore, as shown in FIG. 5B, by passing the coil block 22 through the inner space 250 of the permanent magnet 25, the magnetic flux density toward the coil block 22 can be increased. Thereby, the driving force generated between the coil block 22 and the magnet block 23 can be increased. As the driving force generated between the coil block 22 and the magnet block 23 increases, the acceleration of the magnet block 23 with respect to the coil block 22 increases, and as a result, the mounting speed in the mounting work can be further improved.

また、図5Bに示すように、第1リニアガイドレール26を永久磁石25の外周面に沿って配置することで、第1リニアガイドレール26側への漏れ磁束を小さくすることができる。これにより、第1リニア型モータ21の磁石ブロック23と第1リニアガイド28の第1リニアガイドレール26との間に生じる摩擦抵抗を小さくすることができるので、実装作業における実装精度についても向上させることができる。 Further, as shown in FIG. 5B, by arranging the first linear guide rail 26 along the outer peripheral surface of the permanent magnet 25, it is possible to reduce the leakage magnetic flux to the first linear guide rail 26 side. As a result, the frictional resistance generated between the magnet block 23 of the first linear motor 21 and the first linear guide rail 26 of the first linear guide 28 can be reduced, so that mounting accuracy in the mounting work can also be improved. be able to.

本実施形態に係る実装装置1では、永久磁石25は、上述のように、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置されている。本開示でいう「ハルバッハ配列」とは、磁極(S極及びN極)の方向を最適化することによって、特定の方向への磁場強度を最大化する磁気回路をいう。本実施形態では、特定の方向は、コイルブロック22の方向である。また、本実施形態に係る実装装置1では、第1リニアガイド28は、図5Bに示すように、ハルバッハ配列で配置された永久磁石25による磁場強度が弱くなる位置に配置されている。 In the mounting apparatus 1 according to the present embodiment, the permanent magnets 25 are arranged in a Halbach array such that the magnetic field strength toward the coil block 22 side is increased, as described above. A "Halbach array" as used in this disclosure refers to a magnetic circuit that maximizes the magnetic field strength in a particular direction by optimizing the orientation of the magnetic poles (South and North poles). In this embodiment, the specific direction is the direction of coil block 22 . Further, in the mounting apparatus 1 according to the present embodiment, the first linear guide 28 is arranged at a position where the magnetic field strength of the permanent magnets 25 arranged in the Halbach array is weakened, as shown in FIG. 5B.

ここで、永久磁石25,65を構成する各磁石片の内径が26mm、外径が36mm、Y軸方向における長さが30mmであると仮定する。この条件で、第1リニア型モータ21に永久磁石65を用いた場合、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力は、例えば、31.6N/Aである。また、第1リニア型モータ21に永久磁石25を用いた場合、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力は、例えば、43.7N/Aである。このように、ハルバッハ配列で配置された永久磁石25を第1リニア型モータ21に用いることで、N-S配列の永久磁石65に比べて約1.38倍の推進力を得ることができる。 Here, it is assumed that each magnet piece constituting the permanent magnets 25 and 65 has an inner diameter of 26 mm, an outer diameter of 36 mm, and a length of 30 mm in the Y-axis direction. Under this condition, when the permanent magnet 65 is used for the first linear motor 21, the driving force generated between the coil block 22 and the magnet block 23 is, for example, 31.6 N/A. Moreover, when the permanent magnet 25 is used for the first linear motor 21, the driving force generated between the coil block 22 and the magnet block 23 is, for example, 43.7 N/A. By using the permanent magnets 25 arranged in the Halbach arrangement in the first linear motor 21 in this way, it is possible to obtain about 1.38 times the propulsive force of the permanent magnets 65 arranged in the NS arrangement.

本実施形態に係る実装装置1では、永久磁石25が、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置されている。これにより、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力を大きくすることができるので、コイルブロック22に対する磁石ブロック23の加速度を大きくすることができ、その結果、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。また、第1リニアガイド28が、永久磁石25からの漏れ磁束が小さくなる位置に配置されているので、第1リニア型モータ21と第1リニアガイド28との間に生じる摩擦抵抗を小さくすることができ、その結果、実装作業における実装精度についても向上させることができる。さらに、第1リニアガイド28側への漏れ磁束を小さくすることで、漏れ磁束が部品200に与える影響を低減することができる。 In the mounting apparatus 1 according to the present embodiment, the permanent magnets 25 are arranged in a Halbach array such that the magnetic field intensity toward the coil block 22 side is increased. As a result, since the driving force generated between the coil block 22 and the magnet block 23 can be increased, the acceleration of the magnet block 23 with respect to the coil block 22 can be increased. can be further improved. In addition, since the first linear guide 28 is arranged at a position where the leakage magnetic flux from the permanent magnet 25 is small, the frictional resistance generated between the first linear motor 21 and the first linear guide 28 can be reduced. As a result, it is possible to improve mounting accuracy in the mounting work. Furthermore, by reducing the leakage magnetic flux to the first linear guide 28 side, the influence of the leakage magnetic flux on the component 200 can be reduced.

(4)変形例
上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下、上述の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。
(4) Modifications The above-described embodiment is just one of various embodiments of the present disclosure. The above-described embodiments can be modified in various ways according to design and the like as long as the object of the present disclosure can be achieved. Modifications of the above-described embodiment are listed below. Modifications described below can be applied in combination as appropriate.

本開示における実装装置1は、例えば、制御回路11に、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における実装装置1としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路(IC)又は大規模集積回路(LSI)を含む1ないし複数の電子回路で構成される。ここでいうIC又はLSI等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又はULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれる集積回路を含む。さらに、LSIの製造後にプログラムされる、FPGA(Field-Programmable Gate Array)、又はLSI内部の接合関係の再構成若しくはLSI内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、1つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、1つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、1以上のプロセッサ及び1以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む1ないし複数の電子回路で構成される。 The mounting apparatus 1 in the present disclosure includes a computer system in the control circuit 11, for example. A computer system is mainly composed of a processor and a memory as hardware. The function of the mounting device 1 in the present disclosure is realized by the processor executing a program recorded in the memory of the computer system. The program may be recorded in advance in the memory of the computer system, may be provided through an electric communication line, or may be recorded in a non-temporary recording medium such as a computer system-readable memory card, optical disk, or hard disk drive. may be provided. A processor in a computer system consists of one or more electronic circuits, including semiconductor integrated circuits (ICs) or large scale integrated circuits (LSIs). The integrated circuit such as IC or LSI referred to here is called differently depending on the degree of integration, and includes integrated circuits called system LSI, VLSI (Very Large Scale Integration), or ULSI (Ultra Large Scale Integration). In addition, a field-programmable gate array (FPGA) that is programmed after the LSI is manufactured, or a logic device capable of reconfiguring the bonding relationship inside the LSI or reconfiguring the circuit partitions inside the LSI may also be adopted as the processor. can be done. A plurality of electronic circuits may be integrated into one chip, or may be distributed over a plurality of chips. A plurality of chips may be integrated in one device, or may be distributed in a plurality of devices. A computer system, as used herein, includes a microcontroller having one or more processors and one or more memories. Accordingly, the microcontroller also consists of one or more electronic circuits including semiconductor integrated circuits or large scale integrated circuits.

また、実装装置1の複数の構成要素が、1つの筐体内に集約されていることは実装装置1に必須の構成ではなく、実装装置1の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、実装装置1の少なくとも一部の機能(例えば、制御回路11)がクラウド(クラウドコンピューティング)等によって実現されてもよい。 In addition, it is not an essential configuration of the mounting apparatus 1 that a plurality of components of the mounting apparatus 1 are integrated in one housing, and the components of the mounting apparatus 1 are provided dispersedly in a plurality of housings. may have been Furthermore, at least part of the functions of the mounting apparatus 1 (for example, the control circuit 11) may be realized by a cloud (cloud computing) or the like.

(4.1)変形例1
上述の実施形態では、永久磁石25を構成する第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256の各々が、Y軸方向を軸方向とする円筒状である。これに対して、図6に示すように、永久磁石25Aを構成する第1磁石片251A、第2磁石片252A、第3磁石片253A、及び第4磁石片254Aの各々が、板状であってもよい。なお、永久磁石25A以外の構成については上述の実施形態と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
(4.1) Modification 1
In the above-described embodiment, each of the first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, the fourth magnet piece 254, the fifth magnet piece 255, and the sixth magnet piece 256 that constitute the permanent magnet 25 has a cylindrical shape whose axial direction is the Y-axis direction. On the other hand, as shown in FIG. 6, each of the first magnet piece 251A, the second magnet piece 252A, the third magnet piece 253A, and the fourth magnet piece 254A that constitute the permanent magnet 25A is plate-shaped. may The configuration other than the permanent magnet 25A is the same as that of the above-described embodiment, and the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

第1磁石片251A、第2磁石片252A、第3磁石片253A、及び第4磁石片254は、この順番でY軸方向に沿って並んでいる。つまり、第1磁石片251A、第2磁石片252A、第3磁石片253A、及び第4磁石片254Aの配列方向がY軸方向である。 The first magnet piece 251A, the second magnet piece 252A, the third magnet piece 253A, and the fourth magnet piece 254 are arranged in this order along the Y-axis direction. That is, the arrangement direction of the first magnet piece 251A, the second magnet piece 252A, the third magnet piece 253A, and the fourth magnet piece 254A is the Y-axis direction.

第1磁石片251Aは、その厚さ方向における一面(上面)側がS極、他面(下面)側がN極である。第2磁石片252Aは、Y軸方向(配列方向)における第1磁石片251A側がS極、第1磁石片251Aと反対側がN極である。第3磁石片253Aは、その厚さ方向における一面(上面)側がN極、他面(下面)側がS極である。第4磁石片254Aは、Y軸方向(配列方向)における第3磁石片253A側がN極、第3磁石片253Aと反対側がS極である。 The first magnet piece 251A has an S pole on one surface (upper surface) and an N pole on the other surface (lower surface) in the thickness direction. The second magnet piece 252A has an S pole on the first magnet piece 251A side in the Y-axis direction (arrangement direction) and an N pole on the side opposite to the first magnet piece 251A. The third magnet piece 253A has an N pole on one surface (upper surface) and an S pole on the other surface (lower surface) in the thickness direction. The fourth magnet piece 254A has an N pole on the side of the third magnet piece 253A in the Y-axis direction (arrangement direction) and an S pole on the side opposite to the third magnet piece 253A.

このように構成された永久磁石25Aを、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に配置することで、コイルブロック22側への磁場強度を強くしながら、第1リニアガイドレール26側への磁場強度を弱くすることができる。つまり、変形例1に係る永久磁石25Aも、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置されている。また、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に永久磁石25Aを配置することで、永久磁石25Aによる磁場強度が弱くなる位置に第1リニアガイド28(第1リニアガイドレール26)が配置されることになる。 By arranging the permanent magnet 25A configured in this way between the coil block 22 and the first linear guide rail 26 in the Z-axis direction, the magnetic field intensity toward the coil block 22 is increased while the first linear magnet 25A is arranged. The magnetic field strength toward the guide rail 26 side can be weakened. In other words, the permanent magnets 25A according to Modification 1 are also arranged in a Halbach array such that the magnetic field strength toward the coil block 22 side is increased. In addition, by arranging the permanent magnet 25A between the coil block 22 and the first linear guide rail 26 in the Z-axis direction, the first linear guide 28 (first linear guide A rail 26) will be placed.

変形例1に係る実装装置1では、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で永久磁石25Aを配置しており、コイルブロック22側への磁束密度を大きくすることができる。これにより、コイルブロック22と磁石ブロック23との間に発生する推進力を大きくすることができるので、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。また、永久磁石25Aによる第1リニアガイド28側への漏れ磁束を小さくすることができるので、磁石ブロック23と第1リニアガイド28との間に発生する摩擦抵抗を小さくすることができる。これにより、第1リニアガイド28に対して磁石ブロック23を滑らかに移動させることができるので、実装作業における実装精度を向上させることができる。また、変形例1に係る実装装置1のように、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に永久磁石25Aを配置することで、実装装置1の低背化を実現することができる。 In the mounting apparatus 1 according to Modification 1, the permanent magnets 25A are arranged in a Halbach arrangement that increases the magnetic field strength toward the coil block 22 side, and the magnetic flux density toward the coil block 22 side can be increased. As a result, the driving force generated between the coil block 22 and the magnet block 23 can be increased, so that the mounting speed in the mounting work can be further improved. In addition, since the leakage magnetic flux to the first linear guide 28 side by the permanent magnet 25A can be reduced, the frictional resistance generated between the magnet block 23 and the first linear guide 28 can be reduced. As a result, the magnet block 23 can be smoothly moved with respect to the first linear guide 28, so that the mounting accuracy in the mounting work can be improved. Further, like the mounting apparatus 1 according to Modification 1, the height of the mounting apparatus 1 is reduced by arranging the permanent magnet 25A between the coil block 22 and the first linear guide rail 26 in the Z-axis direction. can do.

なお、図6に示すハルバッハ配列は一例であり、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列であれば別のハルバッハ配列であってもよい。 The Halbach arrangement shown in FIG. 6 is an example, and another Halbach arrangement may be used as long as the Halbach arrangement increases the magnetic field intensity toward the coil block 22 side.

また、変形例1では、Z軸方向においてコイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間に永久磁石25Aを配置しているが、例えば、コイルブロック22に対して第1リニアガイドレール26と反対側に永久磁石25Aを配置してもよい。さらに、コイルブロック22と第1リニアガイドレール26との間、及びコイルブロック22に対して第1リニアガイドレール26と反対側の両方に永久磁石25Aを配置してもよい。 Further, in Modification 1, the permanent magnet 25A is arranged between the coil block 22 and the first linear guide rail 26 in the Z-axis direction. A permanent magnet 25A may be arranged on the opposite side. Furthermore, the permanent magnets 25A may be arranged both between the coil block 22 and the first linear guide rail 26 and on the opposite side of the coil block 22 from the first linear guide rail 26 .

(4.2)その他の変形例
以下、その他の変形例を列挙する。
(4.2) Other Modifications Other modifications are listed below.

上述の実施形態では、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の各々が円筒型のリニア型モータであるが、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の少なくとも一方は、例えば、円筒型ではない筒型のリニア型モータであってもよい。さらに、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の少なくとも一方は、例えば、平面型のリニア型モータであってもよい。 In the above-described embodiment, each of the first linear motor 21 and the second linear motor 41 is a cylindrical linear motor, but at least one of the first linear motor 21 and the second linear motor 41 is For example, it may be a tubular linear motor instead of a cylindrical one. Furthermore, at least one of the first linear motor 21 and the second linear motor 41 may be, for example, a planar linear motor.

上述の実施形態では、第1リニアガイド28及び第2リニアガイド48の各々がLMガイド(登録商標)であるが、第1リニアガイド28及び第2リニアガイド48の各々はLMガイド(登録商標)に限定されない。すなわち、第1リニアガイド28及び第2リニアガイド48の各々は、第1リニア型モータ21及び第2リニア型モータ41の各々をガイドできる構成であれば別の構成であってもよい。 In the above-described embodiment, each of the first linear guide 28 and the second linear guide 48 is an LM guide (registered trademark), but each of the first linear guide 28 and the second linear guide 48 is an LM guide (registered trademark). is not limited to That is, each of the first linear guide 28 and the second linear guide 48 may have a different configuration as long as it can guide each of the first linear motor 21 and the second linear motor 41 .

上述の実施形態では、第1移動装置2が第1リニア型モータ21を有し、かつ第2移動装置4が第2リニア型モータ41を有している。これに対して、第1移動装置2のみが第1リニア型モータ21を有していてもよいし、第2移動装置4のみが第2リニア型モータ41を有していてもよい。すなわち、第1移動装置2と第2移動装置4との少なくとも一方がリニア型モータを有していればよい。また、第1移動装置2と第2移動装置4との一方が、リニア型モータではなく、回転型モータとボールねじとで構成される機構を有していてもよい。 In the embodiments described above, the first moving device 2 has a first linear motor 21 and the second moving device 4 has a second linear motor 41 . Alternatively, only the first moving device 2 may have the first linear motor 21 , or only the second moving device 4 may have the second linear motor 41 . That is, at least one of the first moving device 2 and the second moving device 4 should have a linear motor. Also, one of the first moving device 2 and the second moving device 4 may have a mechanism composed of a rotary motor and a ball screw instead of a linear motor.

上述の実施形態では、コイルブロック22,42が固定子で、磁石ブロック23,43が可動子であるが、コイルブロック22,42が可動子で、磁石ブロック23,43が固定子であってもよい。つまり、磁石ブロック23,43に対してコイルブロック22,42が移動するように構成されていてもよい。 In the above-described embodiment, the coil blocks 22 and 42 are the stators and the magnet blocks 23 and 43 are the movers. good. That is, the coil blocks 22 and 42 may be configured to move with respect to the magnet blocks 23 and 43 .

上述の実施形態では、永久磁石25が第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、第4磁石片254、第5磁石片255、及び第6磁石片256で構成されている。ここで、図5Bに示すように、第5磁石片255は第1磁石片251と同一の磁石片であり、第6磁石片256は第2磁石片252と同一の磁石片である。したがって、永久磁石25は、少なくとも第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、及び第4磁石片254で構成されていればよい。第1磁石片251、第2磁石片252、第3磁石片253、及び第4磁石片254は、図5Bに示すように、磁場の向きが互いに異なる磁石片である。 In the above-described embodiment, the permanent magnet 25 is composed of the first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, the fourth magnet piece 254, the fifth magnet piece 255, and the sixth magnet piece 256. there is Here, as shown in FIG. 5B, the fifth magnet piece 255 is the same magnet piece as the first magnet piece 251 and the sixth magnet piece 256 is the same magnet piece as the second magnet piece 252 . Therefore, the permanent magnet 25 should be composed of at least the first magnet piece 251 , the second magnet piece 252 , the third magnet piece 253 and the fourth magnet piece 254 . As shown in FIG. 5B, the first magnet piece 251, the second magnet piece 252, the third magnet piece 253, and the fourth magnet piece 254 are magnet pieces having different magnetic field directions.

上述の実施形態では、永久磁石25が円筒状であるが、永久磁石25は、例えば、角筒状であってもよい。この場合、Y軸方向から見たときのフランジ部231の収容空間233の形状は、矩形状になる。つまり、フランジ部231の収容空間233の形状は、収容空間233内に収容される永久磁石25の形状に応じた形状になる。 Although the permanent magnet 25 has a cylindrical shape in the above-described embodiment, the permanent magnet 25 may have, for example, a rectangular tubular shape. In this case, the accommodation space 233 of the flange portion 231 has a rectangular shape when viewed in the Y-axis direction. That is, the shape of the housing space 233 of the flange portion 231 corresponds to the shape of the permanent magnet 25 that is housed in the housing space 233 .

上述の実施形態では、磁場の向きが互いに異なる複数の磁石片を組み合わせることで永久磁石25を構成しているが、例えば、1つの磁石片に対して上述のようなハルバッハ配列に着磁することで永久磁石25を構成してもよい。 In the above-described embodiment, the permanent magnet 25 is configured by combining a plurality of magnet pieces with different magnetic field directions. The permanent magnet 25 may be configured with

上述の実施形態で説明した図5A及び図5Bに示すハルバッハ配列は一例であり、コイルブロック22側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列であれば別のハルバッハ配列であってもよい。 The Halbach array shown in FIGS. 5A and 5B described in the above embodiment is an example, and another Halbach array may be used as long as the Halbach array increases the magnetic field intensity toward the coil block 22 side.

(まとめ)
以上説明したように、第1の態様に係る実装装置(1)は、第1移動ユニット(3)と、第1移動装置(2)と、を備える。第1移動装置(2)は、第1移動ユニット(3)を第1方向(例えばY軸方向)に沿って移動させる。第1移動ユニット(3)は、第2移動ユニット(5)と、第2移動装置(4)と、を有する。第2移動装置(4)は、第2移動ユニット(5)を第2方向(例えばX軸方向)に沿って移動させる。第2方向は、第1方向と交差する方向である。第2移動ユニット(5)は、捕捉部(51)を有する。捕捉部(51)は、第1対象物(100)に実装される第2対象物(200)を捕捉する。第1移動装置(2)と第2移動装置(4)との少なくとも一方は、リニア型モータ(21,41)を有する。リニア型モータ(21,41)は、コイル(24)を含むコイルブロック(22,42)と、励磁電流を流した状態のコイル(24)との間に磁力を作用させる永久磁石(25,25A)を含む磁石ブロック(23,43)と、を有する。永久磁石(25,25A)は、ハルバッハ配列で配置される。
(summary)
As described above, the mounting apparatus (1) according to the first aspect includes the first moving unit (3) and the first moving apparatus (2). The first moving device (2) moves the first moving unit (3) along a first direction (eg Y-axis direction). The first mobile unit (3) comprises a second mobile unit (5) and a second mobile device (4). A second moving device (4) moves a second moving unit (5) along a second direction (eg, the X-axis direction). The second direction is a direction crossing the first direction. The second mobile unit (5) has a catch (51). A capture unit (51) captures a second object (200) mounted on a first object (100). At least one of the first moving device (2) and the second moving device (4) has a linear motor (21, 41). A linear motor (21, 41) includes permanent magnets (25, 25A) that apply magnetic force between a coil block (22, 42) including a coil (24) and the coil (24) to which an exciting current is applied. ) and magnet blocks (23, 43). The permanent magnets (25, 25A) are arranged in a Halbach array.

この態様によれば、コイルブロック(22,42)側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で永久磁石(25,25A)を配置した場合には、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 According to this aspect, when the permanent magnets (25, 25A) are arranged in a Halbach arrangement that increases the magnetic field intensity toward the coil block (22, 42) side, the mounting speed in the mounting work can be further improved. can be done.

第2の態様に係る実装装置(1)では、第1の態様において、永久磁石(25,25A)は、コイルブロック(22,42)側への磁場強度が強くなるようなハルバッハ配列で配置される。 In the mounting apparatus (1) according to the second aspect, in the first aspect, the permanent magnets (25, 25A) are arranged in a Halbach array such that the magnetic field intensity toward the coil blocks (22, 42) is increased. be.

この態様によれば、実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 According to this aspect, it is possible to further improve the mounting speed in the mounting work.

第3の態様に係る実装装置(1)では、第1又は2の態様において、磁石ブロック(23,43)は、収容空間(233)が設けられたフランジ部(231)を更に含む。永久磁石(25,25A)は、収容空間(233)内に配置される。 In the mounting apparatus (1) according to the third aspect, in the first or second aspect, the magnet blocks (23, 43) further include a flange portion (231) provided with an accommodation space (233). Permanent magnets (25, 25A) are arranged in the accommodation space (233).

この態様によれば、永久磁石(25,25A)を収容空間(233)に配置するだけで、永久磁石(25,25A)の位置合わせを行うことができる。 According to this aspect, the permanent magnets (25, 25A) can be aligned simply by arranging the permanent magnets (25, 25A) in the accommodation space (233).

第4の態様に係る実装装置(1)では、第3の態様において、永久磁石(25,25A)は、複数の磁石片(251~256,251A~254A)を有する。フランジ部(231)は、収容空間(233)内に配置された複数の磁石片(251~256,251A~254A)を収容空間(233)側に押し込む押さえ板(232)を有する。 In the mounting apparatus (1) according to the fourth aspect, in the third aspect, the permanent magnet (25, 25A) has a plurality of magnet pieces (251-256, 251A-254A). The flange portion (231) has a pressing plate (232) that pushes the plurality of magnet pieces (251-256, 251A-254A) arranged in the accommodation space (233) toward the accommodation space (233).

この態様によれば、フランジ部(231)と押さえ板(232)とで永久磁石(25,25A)を保持することができる。 According to this aspect, the permanent magnets (25, 25A) can be held by the flange (231) and the pressing plate (232).

第5の態様に係る実装装置(1)では、第1~4のいずれかの態様において、永久磁石(25)は筒状である。コイルブロック(22,42)と永久磁石(25)とは、永久磁石(25)の内側空間(250)にコイルブロック(22,42)を通した状態で相対的に移動可能である。 In the mounting apparatus (1) according to the fifth aspect, in any one of the first to fourth aspects, the permanent magnet (25) is tubular. The coil blocks (22, 42) and the permanent magnet (25) are relatively movable with the coil blocks (22, 42) passing through the inner space (250) of the permanent magnet (25).

この態様によれば、コイルブロック(22,42)と永久磁石(25)とを相対的に移動させることができる。 According to this aspect, the coil blocks (22, 42) and the permanent magnet (25) can be moved relatively.

第6の態様に係る実装装置(1)では、第1~5のいずれかの態様において、第1移動装置(2)と第2移動装置(4)との少なくとも一方は、リニアガイド(28,48)を更に有する。リニアガイド(28,48)は、リニア型モータ(21,41)をガイドする。リニアガイド(28,48)は、ハルバッハ配列で配置された永久磁石(25,25A)による磁場強度が弱くなる位置に配置される。 In the mounting apparatus (1) according to the sixth aspect, in any one of the first to fifth aspects, at least one of the first moving device (2) and the second moving device (4) includes a linear guide (28, 48). Linear guides (28, 48) guide linear motors (21, 41). The linear guides (28, 48) are arranged at positions where the strength of the magnetic field generated by the permanent magnets (25, 25A) arranged in the Halbach array is weakened.

この態様によれば、リニアガイド(28,48)とリニア型モータ(21,41)との間に生じる摩擦抵抗を低減することができるので、実装作業における実装精度を向上させることができる。 According to this aspect, it is possible to reduce the frictional resistance generated between the linear guides (28, 48) and the linear motors (21, 41), thereby improving the mounting accuracy in the mounting work.

第7の態様に係る実装装置(1)では、第1~6のいずれかの態様において、永久磁石(25,25A)は、第1磁石片(251,251A)と第2磁石片(252,252A)と第3磁石片(253,253A)と第4磁石片(254,254A)とが配列方向に沿って並んでいる。配列方向は、第1方向(例えばY軸方向)と第2方向(例えばX軸方向)との少なくとも一方である。第1磁石片(251,251A)は、コイルブロック(22,42)と対向する面である第1表面(2511)がS極、第1表面(2511)と反対側の面である第1裏面(2512)がN極である。第2磁石片(252,252A)は、上記配列方向における第1磁石片(251,251A)側の面である第2表面(2521)がS極、上記配列方向における第2表面(2521)と反対側の面である第2裏面(2522)がN極である。第3磁石片(253,253A)は、コイルブロック(22,42)と対向する面である第3表面(2531)がN極、第3表面(2531)と反対側の面である第3裏面(2532)がS極である。第4磁石片(254,254A)は、上記配列方向における第3磁石片(253,253A)側の面である第4表面(2541)がN極、上記配列方向における第4表面(2541)と反対側の面である第4裏面(2542)がS極である。 In the mounting apparatus (1) according to the seventh aspect, in any one of the first to sixth aspects, the permanent magnets (25, 25A) are composed of first magnet pieces (251, 251A) and second magnet pieces (252, 251A). 252A), the third magnet pieces (253, 253A), and the fourth magnet pieces (254, 254A) are arranged along the arrangement direction. The arrangement direction is at least one of a first direction (eg, Y-axis direction) and a second direction (eg, X-axis direction). The first magnet piece (251, 251A) has a first surface (2511) facing the coil block (22, 42) that is the south pole, and a first back surface that is the surface opposite to the first surface (2511). (2512) is the N pole. The second magnet piece (252, 252A) has a second surface (2521) on the side of the first magnet piece (251, 251A) in the arrangement direction that is the S pole, and a second surface (2521) in the arrangement direction. The opposite surface, the second back surface (2522), is the north pole. The third magnet piece (253, 253A) has a third surface (2531) that faces the coil block (22, 42) as the N pole, and a third back surface that is the surface opposite to the third surface (2531). (2532) is the south pole. The fourth magnet piece (254, 254A) has a fourth surface (2541), which is a surface on the side of the third magnet piece (253, 253A) in the arrangement direction, as the N pole, and a fourth surface (2541) in the arrangement direction. The opposite surface, the fourth rear surface (2542), is the south pole.

この態様によれば、コイルブロック(22,42)側への磁場強度を強くすることができ、これにより実装作業における実装速度を更に向上させることができる。 According to this aspect, the magnetic field strength toward the coil block (22, 42) side can be increased, thereby further improving the mounting speed in the mounting work.

第8の態様に係る実装装置(1)では、第7の態様において、第2磁石片(252,252A)と第4磁石片(254,254A)とが同一の磁石片である。 In the mounting apparatus (1) according to the eighth aspect, in the seventh aspect, the second magnet pieces (252, 252A) and the fourth magnet pieces (254, 254A) are the same magnet pieces.

この態様によれば、永久磁石(25,25A)を構成する磁石片の種類を少なくすることができる。 According to this aspect, the number of types of magnet pieces constituting the permanent magnets (25, 25A) can be reduced.

第9の態様に係る実装装置(1)では、第1~8のいずれかの態様において、コイルブロック(22,42)に対して磁石ブロック(23,43)が移動可能である。 In the mounting apparatus (1) according to the ninth aspect, in any one of the first to eighth aspects, the magnet blocks (23, 43) are movable with respect to the coil blocks (22, 42).

この態様によれば、磁石ブロック(23,43)に対してコイルブロック(22,42)を移動させる場合に比べて配置の自由度が向上するという利点がある。 According to this aspect, there is an advantage that the degree of freedom of arrangement is improved compared to the case where the coil blocks (22, 42) are moved with respect to the magnet blocks (23, 43).

第2~9の態様に係る構成については、実装装置(1)に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。 The configurations according to the second to ninth aspects are not essential to the mounting apparatus (1) and can be omitted as appropriate.

1 実装装置
2 第1移動装置
3 第1移動ユニット
4 第2移動装置
5 第2移動ユニット
21 第1リニア型モータ(リニア型モータ)
22 コイルブロック
23 磁石ブロック
24 コイル
25,25A 永久磁石
28 リニアガイド
41 第2リニア型モータ(リニア型モータ)
42 コイルブロック
43 磁石ブロック
48 リニアガイド
51 捕捉部
100 第1対象物
200 第2対象物
231 フランジ部
232 押さえ板
233 収容空間
250 内側空間
251,251A 第1磁石片(磁石片)
252,252A 第2磁石片(磁石片)
253,253A 第3磁石片(磁石片)
254,254A 第4磁石片(磁石片)
2511 第1表面
2512 第1裏面
2521 第2表面
2522 第2裏面
2531 第3表面
2532 第3裏面
2541 第4表面
2542 第4裏面
1 mounting device 2 first moving device 3 first moving unit 4 second moving device 5 second moving unit 21 first linear motor (linear motor)
22 coil block 23 magnet block 24 coils 25, 25A permanent magnet 28 linear guide 41 second linear motor (linear motor)
42 Coil block 43 Magnet block 48 Linear guide 51 Capturing part 100 First object 200 Second object 231 Flange part 232 Holding plate 233 Storage space 250 Inner space 251, 251A First magnet piece (magnet piece)
252, 252A Second magnet piece (magnet piece)
253, 253A Third magnet piece (magnet piece)
254, 254A Fourth magnet piece (magnet piece)
2511 First surface 2512 First back surface 2521 Second surface 2522 Second back surface 2531 Third surface 2532 Third back surface 2541 Fourth surface 2542 Fourth back surface

Claims (8)

第1移動ユニットと、
前記第1移動ユニットを第1方向に沿って移動させる第1移動装置と、を備え、
前記第1移動ユニットは、
第2移動ユニットと、
前記第2移動ユニットを前記第1方向と交差する方向である第2方向に沿って移動させる第2移動装置と、を有し、
前記第2移動ユニットは、第1対象物に実装される第2対象物を捕捉する捕捉部を有し、
前記第1移動装置と前記第2移動装置との少なくとも一方は、リニア型モータを有し、
前記リニア型モータは、
コイルを含むコイルブロックと、
励磁電流を流した状態の前記コイルとの間に磁力を作用させる永久磁石を含む磁石ブロックと、
前記磁石ブロックの移動をガイドするリニアガイドと、を有し、
前記磁石ブロックは、前記コイルブロックが前記磁石ブロックの内側に挿通された状態で、前記コイルブロックに対して相対的に移動可能であり、
前記永久磁石は、ハルバッハ配列で配置され
前記リニアガイドは、前記磁石ブロックの外側に配置され、前記ハルバッハ配列で配置された前記永久磁石による磁場強度が弱くなる位置に配置される、
実装装置。
a first mobile unit;
a first moving device for moving the first moving unit along a first direction;
The first mobile unit includes:
a second mobile unit;
a second moving device that moves the second moving unit along a second direction that intersects with the first direction;
The second mobile unit has a capture section that captures a second object mounted on the first object,
at least one of the first moving device and the second moving device having a linear motor;
The linear motor is
a coil block containing a coil;
a magnet block including a permanent magnet that exerts a magnetic force between itself and the coil to which an excitation current is applied;
a linear guide that guides movement of the magnet block,
The magnet block is movable relative to the coil block while the coil block is inserted inside the magnet block,
The permanent magnets are arranged in a Halbach array ,
The linear guide is arranged outside the magnet block and is arranged at a position where the magnetic field strength of the permanent magnets arranged in the Halbach array is weakened.
mounting equipment.
前記永久磁石は、前記コイルブロック側への磁場強度が強くなるような前記ハルバッハ配列で配置される、
請求項1に記載の実装装置。
The permanent magnets are arranged in the Halbach array such that the magnetic field strength toward the coil block is strong.
The mounting apparatus according to claim 1.
前記磁石ブロックは、収容空間が設けられたフランジ部を更に含み、
前記永久磁石は、前記収容空間内に配置される、
請求項1又は2に記載の実装装置。
The magnet block further includes a flange portion provided with a housing space,
The permanent magnet is arranged in the accommodation space,
The mounting apparatus according to claim 1 or 2.
前記永久磁石は、複数の磁石片を有し、
前記フランジ部は、前記収容空間内に配置された前記複数の磁石片を前記収容空間側に押し込む押さえ板を有する、
請求項3に記載の実装装置。
The permanent magnet has a plurality of magnet pieces,
The flange portion has a pressing plate that pushes the plurality of magnet pieces arranged in the accommodation space toward the accommodation space,
The mounting apparatus according to claim 3.
前記永久磁石は筒状であり、
前記コイルブロックと前記永久磁石とは、前記永久磁石の内側空間に前記コイルブロックを通した状態で相対的に移動可能である、
請求項1~4のいずれか1項に記載の実装装置。
The permanent magnet is cylindrical,
The coil block and the permanent magnet are relatively movable in a state in which the coil block is passed through the inner space of the permanent magnet.
The mounting apparatus according to any one of claims 1 to 4.
前記永久磁石は、第1磁石片と第2磁石片と第3磁石片と第4磁石片とが配列方向に沿って並んでおり、 The permanent magnet has a first magnet piece, a second magnet piece, a third magnet piece, and a fourth magnet piece arranged along an arrangement direction,
前記配列方向は、前記第1方向と前記第2方向との少なくとも一方であり、 The arrangement direction is at least one of the first direction and the second direction,
前記第1磁石片は、前記コイルブロックと対向する面である第1表面がS極、前記第1表面と反対側の面である第1裏面がN極であり、 The first magnet piece has an S pole on a first surface facing the coil block, and an N pole on a first back surface opposite to the first surface,
前記第2磁石片は、前記配列方向における前記第1磁石片側の面である第2表面がS極、前記配列方向における前記第2表面と反対側の面である第2裏面がN極であり、 The second magnet piece has a second surface on the side of the first magnet piece in the arrangement direction that is the south pole, and a second back surface that is the surface opposite to the second surface in the arrangement direction is the north pole. ,
前記第3磁石片は、前記コイルブロックと対向する面である第3表面がN極、前記第3表面と反対側の面である第3裏面がS極であり、 The third magnet piece has an N pole on a third surface facing the coil block, and an S pole on a third back surface opposite to the third surface,
前記第4磁石片は、前記配列方向における前記第3磁石片側の面である第4表面がN極、前記配列方向における前記第4表面と反対側の面である第4裏面がS極である、 The fourth magnet piece has a fourth surface, which is the surface on the third magnet piece side in the arrangement direction, as an N pole, and a fourth back surface, which is a surface opposite to the fourth surface in the arrangement direction, as an S pole. ,
請求項1~5のいずれか1項に記載の実装装置。 The mounting apparatus according to any one of claims 1 to 5.
前記第2磁石片と前記第4磁石片とが同一の磁石片である、 The second magnet piece and the fourth magnet piece are the same magnet piece,
請求項6に記載の実装装置。 The mounting apparatus according to claim 6.
前記永久磁石は板状であり、 The permanent magnet is plate-shaped,
前記永久磁石は、前記コイルブロックと前記リニアガイドとの間に配置される、 The permanent magnet is arranged between the coil block and the linear guide,
請求項1~4のいずれか1項に記載の実装装置。 The mounting apparatus according to any one of claims 1 to 4.
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