JP7299812B2 - 複数のリフトアウト針を含むチップ、マイクロマニピュレータ及びマイクロマニピュレータを調製するためのシステム - Google Patents
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Description
ほとんどの場合、各穴は、除去可能な材料102を通って基材104に延在し、このため除去可能な材料102内の穴は、その下の基材104内の穴と整列する。本明細書では、テーパー穴またはいくつかの工程を有する穴など、すべての可能な形状の穴が考えられる。
有利には、これらの穴106は、基材104上の1つまたは複数の列内に位置決めされる。基材104の最終的なチップ部分、特に最終的なチップの第1の端部分の端部付近に少なくともいくつかの穴106が形成されている。好ましくは、穴106は、2つのグループ、すなわち、最終的なチップ200(および除去可能な材料102)上で互いに対向して位置する複数の第1の穴と複数の第2の穴、すなわちチップ200(および除去可能な材料102)の対向する端部分に分割される。複数の第1の穴の数は、複数の第2の穴の数と同じであっても、同じでなくてもよい。一実施形態では、図4に最もよく示されるように、複数の第1の穴および複数の第2の穴は、それぞれ基材104の第1の端部分および第2の端部分の付近に位置する。
複数の第1のチャネル108は、除去可能な材料102のうちの一端部分から他方まで形成される。基材104上および除去可能な材料102内に複数の第1の穴のみがあるとき、複数の第1のチャネル108は、複数の第1の穴と除去可能な材料102の他の端部(すなわち第2の端部分)との間に延在してもよい。複数の第1の穴および複数の第2の穴の両方があるとき、複数の第1のチャネル108は、除去可能な材料102内の複数の第1の穴と複数の第2の穴との間に延在してもよい。
しかしながら、「AはBとCとの間に広がる」という語句は、AとBとの間、またはAとCとの間の直接接続に限定されず、BとCに対するAの相対的な場所を説明するだけである。
代替的に、複数の第1のチャネル108は、複数の第1の穴および/または複数の第2の穴を超えて延在する(ただし、依然として除去可能な材料102の境界内にある)が、第1および/または第2の穴を超える第1のチャネル108の延長は必ずしも必要ないということが有利であり得る。
複数の第2のチャネル110は、隣接する複数の第1の穴または隣接する複数の第2の穴の間に形成されてもよい。換言すると、複数の第2のチャネル110は、第1の穴または第2の穴から複数の第1のチャネル108うちのそれぞれのチャネルまで個別に延在してもよく、そのため複数の第1の穴および複数の第2の穴が接続される。
本開示において、第2の工程および第3の工程は、疑いなく、ロッド120の製造に影響を与えることなく、それらのシーケンスを交換してもよい。
図3に最もよく示されるように、ロッド120は、少なくともその一端部、好ましくはそれらの両方の端部上で互いと接続される。ロッド120は、それらのコネクタ130を越えて延在し、このため、それぞれ1つの側面または両方の側面上に自由端部を個々に有してもよい。
ロッド120およびそれらのコネクタ130は、除去可能な層102においてのみ、例えばタングステンで第1および第2のチャネル108、110を充填することによって形成されるので、それらは、それらの下の基材104から離間される。ロッド120をその一端部または両方の端部において接続するためのコネクタ130はまた、「タブ」とも称され得る。
ロッド120およびそれらのタブ130は、除去可能な層および基材104の両方において、第1および第2の穴を充填材料、例えばタングステンで充填することによって形成される、いわゆるポストまたはアンカー140によって基材104に接続される。そのため、タングステンロッド120は、これらのポスト140によってSi基材のエッチングされていない領域に接続された、いくつかのタングステンタブ130を除いて自立していることになる。
Claims (14)
- チップであって、
基材と、
複数のロッドであって、自立しており、前記基材から離間しており、互いから離間しており、各ロッドが、長手方向に、第1の端部分および第2の端部分を有する、複数のロッドと、
前記複数のロッドの各々を、その両方の長手方向の端部分においてそれぞれ接続し、それらを前記基材に保持するためのコネクタと、を備え、
各ロッドが、その第1および第2の端部分の両方において、前記コネクタからロッドを切断することによって、マイクロマニピュレータによる使用のために前記チップから離して個々に持ち上げられ得る、チップ。 - 前記ロッドおよび前記コネクタが、一体的に形成され得る、請求項1に記載のチップ。
- 前記コネクタが、前記基材から直接延在するアンカーを含み、前記ロッドをそれぞれその第1および第2の端部分の両方において前記コネクタに接続するための、前記基材から離間したタブをさらに含む、請求項2に記載のチップ。
- 前記タブが、その第1および第2の端部分の両方において前記コネクタから各ロッドを解放するために、前記タブが切断され得るように構成されている、請求項3に記載のチップ。
- 各ロッドが、その第1および第2の端部分にそれぞれ、原位置で前記マイクロマニピュレータに取り付けるための自由先端部を有する、請求項3に記載のチップ。
- 自由端部を備えたマイクロマニピュレータであって、前記マイクロマニピュレータの前記自由端部が、それに取り付けられた針を有し、これが請求項1~5のいずれか一項に記載のチップから切断された前記ロッドとして構成されている、マイクロマニピュレータ。
- マイクロマニピュレータを調製するためのシステムであって、
請求項1~5のいずれか一項に記載のチップと、
請求項6に記載のマイクロマニピュレータと、
ロッドを前記マイクロマニピュレータの前記自由端部に固定的に取り付けるための手段と、を備える、システム。 - 前記システムが、固定具をさらに含み、その上で前記チップは、前記ロッドが、前記マイクロマニピュレータの前記自由端部と一致する角度で配向され、前記ロッドの前記第1の端部分が、前記マイクロマニピュレータの前記自由端部に当接するように装着されている、請求項7に記載のシステム。
- 前記システムが、前記チップから前記ロッドをダイシングのための切断手段をさらに含み、前記第1の端部分が最初に、かつ前記第2の端部分が2番目に切断される、請求項8に記載のシステム。
- 前記システムが、前記チップを切断手段に面するように回転させるための手段、および/または前記ロッドを前記マイクロマニピュレータに取り付けるために前記ロッドを回転させるための手段をさらに含む、請求項8に記載のシステム。
- 前記マイクロマニピュレータの前記自由端部が、各ロッドの自由先端部の形状に適合するように成形され得る、請求項10に記載のシステム。
- チップであって、
基材と、
複数のロッドであって、前記基材から離間しており、互いから離間しており、各ロッドが、長手方向に、第1の端部分および第2の端部分を有する、複数のロッドと、
前記複数のロッドの各々をその前記第1の端部分および前記第2の端部分のうちの少なくとも1つに接続するためのタブと、
前記ロッドおよび前記タブを前記基材に保持するための支持要素と、を備え、
各ロッドが、ロッドをそのタブから切断することにより、マイクロマニピュレータによる使用のために前記チップから離れるように個々に持ち上げられ得る、チップ。 - 前記ロッドが、前記基材の少なくとも1つの一端部において、前記基材によって前記支持要素を介して支持されている、請求項12に記載のチップ。
- 前記チップが、前記支持要素を前記基材に接続するために、前記支持要素の下および前記基材上にピアをさらに含む、請求項12または13に記載のチップ。
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