JP7299081B2 - ウエハ用クリップおよびコネクタ - Google Patents

Description

本発明は、回路基板のスルーホールに挿し込まれる端子を備えた複数本の配線を有する配線板とその配線板を両側から挟む一対のシールド板とを有するウエハが複数枚積層されたコネクタに関する。さらに、本発明は、積層されたウエハを積層された状態に保持するウエハ用クリップに関する。

従来より、配線板とその配線板を両側から挟む一対のシールド板とを有するウエハ（チクレット）が複数枚積層されたコネクタが知られている。１枚１枚のウエハは、下端から突出する圧入型の端子を備えた板形状を有する。そして、それらのウエハを複数枚積層して多数本の配線と圧入型の多数の端子を備えたコネクタを構成している（例えば、特許文献１，２参照）。

特開２００５－５２７０６８号公報 特開２００８－５３５１８５号公報

上記の構造のコネクタを構成している多数の圧入型の端子を回路基板のスルーホールに挿し込むにあたり、端子の本数が膨大なため、１トンあるいはそれ以上の力で押圧する必要があるコネクタが存在する。この大きな力に耐える必要から、ウエハは、回路基板のスルーホールのピッチと同じ厚みをもち、面と面が接する板形状とする。すると、このウエハを積層したときに、ウエハどうしが互いに支えあって、大きな力に耐えることができる。上掲の特許文献１，２のコネクタもこれを踏襲している。

ここで、ウエハ自体は、さらに薄い形状に作製することが可能である。薄い形状のウエハの場合、その分材料が少なくて済むので、コスト上有利である。ただし、電気的特性を考慮すると、回路基板のスルーホールのピッチを、その薄い形状に対応した小さいピッチとすることは困難である。また、これまで踏襲されてきたピッチは、電気的特性の観点から許容できる最小のピッチよりも大きなピッチである。このため、薄い形状のウエハをこのピッチに並べると、ウエハどうしを離して配列する必要を生じる。

そこで、ウエハに、基本的には薄い形状を保ちつつ、隣のウエハと当接して所定のピッチを保つスペーサの役割を成す当接部を形成することを考える。あるいは、ウエハに当接部を備えずに、複数のウエハを、ウエハどうしが離れた間隔に配列された状態に保持するハウジングを用意する。

ところが、当接部を備えていないウエハの場合はもちろん、当接部を備えたウエハであっても、そのウエハを積層したコネクタの場合、当接部を除き、隣接するウエハどうしの間に隙間が形成されている。このコネクタを回路基板に実装するためにこのコネクタに上記のような強い力を加える。すると、この構造のコネクタの場合、隣接するウエハどうしで支え合う力が働きにくく、ウエハがその力に耐えきれずに曲がってしまい、破損するおそれがある。

本発明は、上記の構造のコネクタに適用されてウエハの曲がりおよび破損を抑えるウエハ用クリップ、およびそのウエハ用クリップを備えたコネクタを提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明のウエハ用クリップは、
全体が1枚の金属板からなり、所定のピッチで配列された複数枚の板部と、複数枚の板部に沿って延び複数枚の板部を互いに連結する連結部とを有し、板部が、
回路基板のスルーホールに挿し込まれる端子を備えた複数本の配線が樹脂にインサートモールドされた配線板と、配線板を両側から挟むように広がる一対のシールド板とを備えた複数のウエハが、互いに隣接する２つのウエハの対面する２枚のシールド板の間に隙間が形成されるように積層された状態における、その隙間に挿し込まれてウエハの変形時にウエハの一部に接触してウエハの変形を抑えることを特徴とする。

本発明のウエハ用クリップは、１つには、積層された複数のウエハが連結部によって一体に保持される。また、本発明のウエハ用クリップの場合、板部が互いに隣接する２つの
ウエハの対面する２枚のシールド板の隙間に挿し込まれる。その状態で、コネクタを強い力で押圧する。すると、ウエハ用クリップの板部が両側のウエハの支えとなり、ウエハの変形や破損が抑制される。
また、このウエハ用クリップは１枚の金属板を加工して作製されているため、安価で、かつ、同じ厚さの樹脂と比べウエハの変形や破損を強固に抑制するウエハ用クリップとなる。

ここで、１枚の金属板を加工して作製されるウエハ用クリップは、複数枚の板部および連結部の全体が、１枚の金属の平板からなるものであってもよい。

この場合、金属板の曲げ加工は不要であって打ち抜き加工のみでよい。また、保管時には多数枚を重ね省スペースでの保管が可能である。

あるいは、１枚の金属板を加工して作製されるウエハ用クリップは、複数枚の板部が２列に配列され、それら２列の板部が連結部を共有して連結部で互いに連結されていてもよい。

この場合、１枚の金属の平板からなるウエハ用クリップと比べ、ウエハの変形や破損を強固に抑制するウエハ用クリップとなる。

また、本発明のコネクタは、
回路基板のスルーホールに挿し込まれる端子を備えた複数本の配線が樹脂にインサートモールドされた配線板と、配線板を両側から挟むように広がる一対のシールド板とを備えた複数のウエハであって互いに隣接する２つのウエハの対面する２枚のシールド板の間に隙間が形成されるように積層された複数のウエハ、および
全体が1枚の金属板からなり、所定のピッチで配列された複数枚の板部と、複数枚の板部に沿って延び複数枚の板部を互いに連結する連結部とを有し、板部が上記隙間に挿し込まれた、ウエハの変形時にウエハの一部に接触してウエハの変形を抑えるウエハ用クリップを備えたことを特徴とする。

本発明のコネクタは、互いに隣接する２つのウエハの対面する２枚のシールド板の隙間に挿し込まれた板部を有するウエハ用クリップを備えている。回路基板への搭載にあたり、このコネクタを強い力で押圧する。すると、ウエハ用クリップの板部が両側のウエハどうしの間隔を保持し、ウエハの変形や破損が抑制される。

ここで、本発明のコネクタは、上記配線板が、互いに対応する配線が互いに向き合うように重ねられた２枚の配線板からなり、
上記一対のシールド板が、それら２枚の配線板上の配線をそれら２枚を束にした両側から挟むように配置されていてもよい。

また、本発明のコネクタは上記配線板が、互いに隣接するどうしが互いに当接して、互いに隣接する２つのウエハの対面する２枚のシールド板を所定の間隔に離間させる当接部を有することも好ましい態様である。

ウエハの配線板が当接部を有すると、他の部材、例えば複数枚のウエハを支持するハウジング等に頼ることなく、ウエハ自体で所定の間隔に離間した積層体が構成される。

以上の本発明によれば、コネクタの回路基板への搭載にあたりコネクタが強い力で押されてもウエハの曲がりおよび破損を抑えるウエハ用クリップ、およびそのウエハ用クリップを備えたコネクタが実現する。

本発明の一実施形態としてのコネクタの斜視図である。 図１のコネクタを構成している１枚のウエハの斜視図である。 図２に示したウエハの分解斜視図である。 図１に示した矢印Ｘ－Ｘに沿う断面を示した斜視図である。 図４に示した楕円Ｒの領域の拡大図である。 ウエハ用クリップを挿し込まなかった場合に発生するおそれのある不具合を示した模式図である。 積層されたウエハと、挿し込まれる前のウエハ用クリップを示した斜視図である。 積層されたウエハと、挿し込まれた状態のウエハ用クリップを示した斜視図である。 図８に示した矢印Ｙ－Ｙに沿う断面を示した斜視図である。 複数枚（ここでは４枚）のウエハ用クリップが挿し込まれた状態を示した斜視図である。 本発明の第２実施形態のウエハ用クリップを示す斜視図である。 積層された複数枚（ここでは４枚）のウエハと、挿し込まれた状態の、図１１に示すウエハ用クリップを示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。

図１は、本発明の一実施形態としてのコネクタの斜視図である。

このコネクタ１０は、積層された複数枚（このコネクタ１０の場合は８枚）のウエハ２０と、前カバー４１と、後カバー４２と、下カバー４３とで構成されている。ウエハ２０については、後で詳細に説明する。前カバー４１は、複数枚のウエハ２０を一体に保持するとともに、シチュエーション相手コネクタ（不図示）との嵌合部を形成している。また、後カバー４２および下カバー４３は、前カバー４１とともに、複数枚のウエハ２０を一体に保持している。

図２は、図１のコネクタを構成している１枚のウエハの斜視図である。

また、図３は、図２に示したウエハの分解斜視図である。

図３に示すように、このウエハ２０は、２枚の配線板２１，２２と２枚のシールド板２３，２４とで構成されている。配線板２１は、配列された複数の個別配線２１１からなる金属配線２１Ａが樹脂板２１Ｂにインサートモールドされた板状の部品である。また、これと同様に、配線板２２は、配列された複数の個別配線２２１からなる金属配線２２Ａが樹脂板２２Ｂにインサートモールドされた板状の部品である。

これら２枚の配線板２１，２２が互いに重ねられると、金属配線２１Ａと金属配線２２Ａの互いに対応する個別配線２１１，２２１が互いに対面する。また、金属配線２１Ａを構成している各々の個別配線２１１の横向きの端部には、不図示の相手コネクタの相手コンタクトと接するコンタクト２１２が形成されている。また、これら各々の個別配線２１１の下向きの端部には、不図示の回路基板のスルーホールに挿し込まれる圧入型の端子２１３が形成されている。これと同様に、金属配線２２Ａを構成している各々の個別配線２２１の横向きの端部には、不図示の相手コネクタの相手コンタクトと接するコンタクト２２２が形成されている。また、これら各々の個別配線２２１の下向きの端部には、不図示の回路基板のスルーホールに挿し込まれる端子２２３が形成されている。すなわち、このウエハ２０を備えたコネクタ１０は、相手コネクタと回路基板との間で送受信される信号を受け渡しするコネクタである。

また、２枚の配線板２１，２２のうちの一方の配線板２１の樹脂板２１Ｂには、他方の配線板２２に向かって突き出た複数の突起２１４が設けられている。これに対応して、他方の配線板２２の樹脂板２２Ｂには、それら複数の突起２１４の各々に対応する位置に、それらの突起２１４を受け入れる穴２２４が形成されている。に形成されている突起２１４が樹脂板２２Ｂに形成されている穴２２４に挿し込まれることにより、２枚の配線板２１，２２が互いに重ねられた状態に一体となる。

２枚のシールド板２３，２４は、互いに重ねられた状態の２枚の配線板２１，２２を両側から挟むように配置される。これら２枚のシールド板２３，２４の横向きの１辺には、相手コネクタのグランドコンタクトと接続される複数のグランドコンタクト２３１，２４１が配列されている。これら２枚のシールド板２３，２４の下向きの辺には、回路基板のグランドと接続される複数のグランド端子２３２，２４２が配列されている。また、配線板２２側のシールド板２４にも、複数の穴２４３が形成されている。これら複数の穴２４３のうちの一部は、一方の配線板２１の突起２１４が他方の配線板２２の穴２２４を突き抜けて挿し込まれる穴である。また、隣接する配線板２２の樹脂板２２Ｂにも複数の突起２２５が形成されている。これらの複数の突起２２５も、シールド板２４の穴２４３を貫通する。また、この樹脂板２２Ｂには、シールド板２４側に突き出た庇２２６と後壁２２７が形成されている。

シールド板２４は、図２に示されているように、複数の穴２４３に２枚の配線板２１，２２の複数の突起２１４，２２５が挿し込まれて、庇２２６および後壁２２７に覆われた位置に配置される。また、このシールド板２４の穴２４３から突き出た突起２１４，２２５どうしを比べると、配線板２２の突起２２５が大きく突き出ている。この配線板２２の方の突起２２５の先端の高さは、庇２２６および後壁２２７の、突起２２５の突き出し方向の高さと一致している。すなわち、このウエハ２０の厚み方向の、シールド板２４側の寸法は庇２２６、後壁２２７、および突起２２５で規定されている。

また、配線板２１の樹脂板２１Ｂにも庇２１６および後壁２１７が設けられている。また、この樹脂板２１Ｂのシールド板２３側の面にも、ここには図示されていない複数の突起が形成されている。そして、シールド板２３にも、もう一枚のシールド板２４の穴２４３と対称の位置に穴２３３が形成されている。配線板２１の突起がシールド板２３の穴２３３に挿し込まれると、シールド板２３の、この図３には現れていない、突起が貫通した側の面には、図２に示すシールド板２４を突き出た突起２１４，２２５と対称のパターンに配置された突起が現れる。また、それらの突起の高さも、図２に示すシールド板２４を突き出た突起２１４，２２５の高さと同一である。さらに、配線板２１の庇２１６および後壁２１７の高さも、配線板２２の庇２１６および後壁２１７の高さと同一である。すなわち、このウエハ２０の、シールド板２３側の凹凸のパターンは、シールド板２４側の凹凸のパターンと対称のパターンとなっている。換言すると、このウエハ２０の厚み方向の、シールド板２３の厚み寸法は庇２１６、後壁２１７、および配線板２１，２２から突き出ている突起で規定されている。そして、シールド板２３，２４は、庇２１６，２２６等で規定されるウエハ２０の厚み寸法よりも内側に配置される。

図４は、図１に示した矢印Ｘ－Ｘに沿う断面を示した斜視図である。

また、図５は、図４に示した楕円Ｒの領域の拡大図である。

図５には、２つの金属配線２１Ａ，２２Ａを構成する、互いに対応する個別配線２１１，２２１が互いに対面して配置されていることが示されている。そして、この図５には、個別配線２１１，２２１の両側にシールド板２３，２４が配置されていることが示されている。さらに、この図５には、隣接する２枚のウエハ２０の庇２１６，２２６どうしが当接している状態が示されている。これと同様に、２枚のウエハ２０の後壁どうしが当接し、さらに、隣接する２枚のウエハ２０の突起どうしが当接する。そして、隣接する２枚のウエハ２０の、互いに対面するシールド板２３，２４の間には、隙間Ｖが形成されている。この隙間Ｖには、後述するウエハ用クリップ３０（図７参照）が挿し込まれる。これら２枚のウエハ２０を重ねたときに突き当たる庇２１６，２２６等は、本発明にいう当接部の一例に相当する。

図６は、ウエハ用クリップを挿し込まなかった場合に発生するおそれのある不具合を示した模式図である。

ここでは、コネクタ１０に力Ｆを加えて、端子２１３，２２３やグラウンド端子２３２，２４２（図３参照）を回路基板のスルーホール（不図示）に挿し込もうとしている。端子２１３，２２３やグラウンド端子２３２，２４２のトータルの数が極めて多いため、例えば１トンを超えるような強い力Ｆを加える必要がある。一方、ウエハ２０どうしの間には、庇２１６，２２６等の当接部を除き、隙間Ｖが形成されている。このため、強い力Ｆを加えると、図に一点鎖線で示すようにウエハ２０が歪み、破損等のおそれが生じる。その隙間Ｖに、以下に説明するウエハ用クリップ３０を挿し込むことによって、その破損等のおそれが抑えられる。

図７は、積層されたウエハと、挿し込まれる前のウエハ用クリップを示した斜視図である。

また、図８は、積層されたウエハと、挿し込まれた状態のウエハ用クリップを示した斜視図である。

さらに、図９は、図８に示した矢印Ｙ－Ｙに沿う断面を示した斜視図である。

さらに、図１０は、複数枚（ここでは４枚）のウエハ用クリップが挿し込まれた状態を示した斜視図である。

これらの図７～図１０には、本発明の第１実施形態としてのウエハ用クリップ３０が示されている。

このコネクタ１０には、例えば図１に示すように、８枚のウエハ２０が積層されている。これに対し、図７～図１０では、挿し込み後のウエハ用クリップ３０を示すために、半数（４枚）のウエハ２０のみを示している。また、ここに示されているウエハ２０についても、以下の説明に不要な点について、図示が一部省略されている。

図７に示すように、ウエハ用クリップ３０は、１枚の金属板の打ち抜き加工により作製された、全体として櫛歯形状を有する平板状の部材である。このウエハ用クリップ３０は、複数枚の板部３１と１枚の連結板部３２とを有する。板部３１は、複数枚全体として平板状に広がるように所定のピッチで一次元的に配列されている。また、連結板部３２は、複数枚の板部３１の配列方向に沿って延びそれらの板部３１を互いに連結している。この板部３１は、本発明における板部の一例に相当する。また、連結板部３２は、本発明にいう連結部３２の一例に相当する。

ここで、コネクタ１０を構成している各ウエハ２０には、溝２１８，２２８が形成されている。これらの溝２１８，２２８は、ウエハ用クリップ３０を挿し込めるだけの幅を有する。また、この溝の深さは、図５に示した寸法Ｄであって、隣接するウエハ２０の隣接するシールド板２３，２４どうしの隙間Ｖまで貫通している。さらに、この寸法Ｄは、ウエハ用クリップ３０の連結板部３２の高さ寸法Ｄと同一である。また、このウエハ用クリップ３０の板部３１の配列のピッチは、ウエハ２０の厚み寸法、すなわちウエハ２０の積層のピッチと同一である。さらに、１枚の板部３１の幅寸法Ｗは、隣接するシールド板２３，２４どうしの隙間Ｖにちょうど入り込むだけの寸法である。

図８に示すように、このウエハ用クリップ３０を溝２１８，２２８に挿し込む。すると、図９に示すように、板部３１が１枚ずつ、各隙間Ｖに挿し込まれる。この実施形態のコネクタ１０には、溝２１８，２２８が４本形成されている。そのため、このコネクタ１０の場合、図１０に示すように、溝２１８，２２８の本数（４本）と同数のウエハ用クリップ３０が各溝２１８，２２８に１枚ずつ挿し込まれる。

このように、ウエハ用クリップ３０が挿し込まれると、このコネクタ１０の前カバー４１，後カバー４２，および下カバー４３を取り付けるまでの間、複数のウエハ２０が積層された状態に保持される。また、このウエハ用クリップ３０が挿し込まれているコネクタ１０を回路基板（不図示）に実装するにあたって強い力Ｆ（図６参照）を加えたとする。この場合、強い力Ｆが加えられても、図６に一点鎖線で示すような、ウエハ２０の歪みが抑えられ、破損を抑えつつ必要な力Ｆを加えることができる。

ここで、ウエハ用クリップ３０の板部３１の高さ寸法Ｔ（図７参照）は、隙間Ｖの高さ寸法と必ずしも同一である必要はない。この実施形態の場合、この高さ寸法Ｔは隙間Ｖの高さ寸法の１／２程度の寸法である。仮に、１／２の寸法であるとし、このウエハ用クリップ３０によって隙間Ｖの上半分についてウエハ２０の歪みが抑えられたとする。その場合、ウエハ用クリップ３０が挿し込まれていない場合と比べ、４倍の力Ｆに耐えることができる。力Ｆに耐えることのみを考えると、さらに強い力Ｆに耐えることができるように板部３１の高さ寸法Ｔを隙間Ｖの高さ寸法と同一であることが好ましい。ただし、一方では、板部３１が長いと、溝２１８，２２８に挿し込むときの作業性が低下する。このため、板部３１は、実装時に押圧する必要がある力Ｆに対応した長さに調整される。

なお、この実施形態では、ウエハ２０には溝２１８，２２８が４本形成され、ウエハ用クリップ３０が４枚挿し込まれる。ただし、溝２１８，２２８およびウエハ用クリップ３０の数は４に限られるものではなく、実装時に押圧する必要がある力Ｆに応じた任意の数でよい。

図１１は、本発明の第２実施形態のウエハ用クリップを示す斜視図である。

また、図１２は、積層された複数枚（ここでは４枚）のウエハと、挿し込まれた状態の、図１１に示すウエハ用クリップを示す斜視図である。

このウエハ用クリップ５０は、配列された複数枚の前板部５１および前板部５１と並列に配列された複数枚の後板部５２を有する。このウエハ用クリップ５０は、前板部５１と後板部５２との２列の板部を有することから、ここでは、このこのウエハ用クリップ５０を２列一体型のウエハ用クリップ５０と称する。これに対し、図７～図１０に示したウエハ用クリップ３０は、板部３１が一列のみ設けられていることから、単列型のウエハ用クリップ３０と称する。

図１１に示す２列一体型のウエハ用クリップ５０は、さらに、連結板部５３と上板部５４を有する。連結板部５３は、配列された複数枚の前板部５１の沿って延びそれらの前板部５１を互いに連結している。また、上板部５４は、前板部５５１側では連結板部５３に繋がり、後板部５２側では、配列された複数枚の後板部５２の各々に直接に繋がっている。ここで、この第２実施形態のウエハ用クリップ５０における前板部５１および後板部５２は、そのいずれもが本発明にいう板部の一例に相当する。また、この第２実施形態のウエハ用クリップ５０の場合、連結板部５３と上板部５４とを合わせたものが、本発明にいう連結部の一例に相当する。

ここで、この第２実施形態の場合、前板部５１側に連結板部５３が設けられているが、これは一例を示したものである。すなわち、ウエハ２０の庇２１６，２２６の厚み寸法Ｄ（図５参照）やその他の条件により、前板部５１側においても連結板部５３を設けなくてもよい。あるいは、前板部５１側に連結板部５３に相当する連結板部を後板部５２側にのみ設けてもよい。ただし、この図１１に示すウエハ用クリップ５０の場合は、１８０°回転させれば、後板部５２側にのみ連結板部５３が設けられたウエハ用クリップ５０となる。さらには、前板部５１側と後板部５２側との双方に連結板部を設けてもよい。

また、図１２には、２列一体型のウエハ用クリップ５０が１つのみ挿し込まれているが、上板部５４の幅（前板部５１と後板部５２との間隔）を調整して、複数個の２列一体型のウエハ用クリップ５０を挿し込んでもよい。すなわち、例えば、図７，図８に示した４本の溝２１８，２２８のうちの前側２本の溝２１８，２２８に２列一体型のウエハ用クリップ５０を挿し込み、後側２本の溝２１８，２２８に他の２列一体型のウエハ用クリップ５０を挿し込んでもよい。あるいは、２列一体型のウエハ用クリップ５０と単列型のウエハ用クリップ３０を併用してもよい。

１０ コネクタ
２０ ウエハ
２１，２２ 配線板
２１Ａ，２２Ａ 金属配線
２１Ｂ，２２Ｂ 樹脂板
２１１，２２１ 個別配線
２１２，２２２ コンタクト
２１３，２２３ 端子
２１４ 突起
２２４ 穴
２２５ 突起
２１６，２２６ 庇
２１７，２２７ 後壁
２１８，２２８ 溝
２３，２４ シールド板
２３１，２４１ グランドコンタクト
２３２，２４２ グランド端子
２３３，２４３ 穴
３０ ウエハ用クリップ
３１ 板部
３２ 連結板部
４１ 前カバー
４２ 後カバー
４３ 下カバー
５０ ウエハ用クリップ
５１ 前板部
５２ 後板部
５３ 連結板部
５４ 上板部

Claims (6)

1. 全体が1枚の金属板からなり、所定のピッチで配列された複数枚の板部と、該複数枚の板部に沿って延び該複数枚の板部を互いに連結する連結部とを有し、前記板部が、
   回路基板のスルーホールに挿し込まれる端子を備えた複数本の配線が樹脂にインサートモールドされた配線板と、該配線板を両側から挟むように広がる一対のシールド板とを備えた複数のウエハが、互いに隣接する２つの対面する２枚のシールド板の間に隙間が形成されるように積層された状態における、該隙間に挿し込まれて該ウエハの変形時に該ウエハの一部に接触して該ウエハの変形を抑えることを特徴とするウエハ用クリップ。
2. 前記複数枚の板部および前記連結部の全体が、１枚の金属の平板からなることを特徴とする請求項１に記載のウエハ用クリップ。
3. 前記複数枚の板部が２列に配列され、該２列の板部が前記連結部を共有して該連結部で互いに連結されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ用クリップ。
4. 回路基板のスルーホールに挿し込まれる端子を備えた複数本の配線が樹脂にインサートモールドされた配線板と、該配線板を両側から挟むように広がる一対のシールド板とを備えた複数のウエハであって互いに隣接する２つのウエハの対面する２枚のシールド板の間に隙間が形成されるように積層された複数のウエハ、および
   全体が1枚の金属板からなり、所定のピッチで配列された複数枚の板部と、該複数枚の板部に沿って延び該複数枚の板部を互いに連結する連結部とを有し、該板部が前記隙間に挿し込まれた、該ウエハの変形時に該ウエハの一部に接触して該ウエハの変形を抑えるウエハ用クリップを備えたことを特徴とするコネクタ。
5. 前記配線板が、互いに対応する配線が互いに向き合うように重ねられた２枚の配線板からなり、
   前記一対のシールド板が、前記２枚の配線板上の配線を該２枚を束にした両側から挟むように配置されていることを特徴とする請求項４に記載のコネクタ。
6. 前記配線板が、互いに隣接するどうしが互いに当接して、互いに隣接する２つのウエハの対面する２枚のシールド板を所定の間隔に離間させる当接部を有することを特徴とする請求項４または５に記載のコネクタ。

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