JP7282945B1 - 制御装置、積層成形品製造システムおよび積層成形品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照しながら、実施の形態1にかかる積層成形品製造システムの概要構成について説明する。図1は、実施の形態1にかかる積層成形品製造システムのブロック図である。積層成形品製造システム1は、基材を少なくとも含む処理対象に積層フィルムをラミネートする積層工程を複数回繰り返すことで複数層の積層フィルムが積層された積層成形品を製造する。積層成形品は例えば、多層の回路基板である。ただし、積層成形品は、回路基板の他、ウエハや他の板状体であってもよい。積層成形品製造システム1は主な構成として、検査装置群20、積層工程ブロック30および制御装置101を有する。
次に、実施の形態2について説明する。図7は、実施の形態2にかかる積層成形品製造システム2のブロック図である。本実施の形態にかかる状態データ取得部11は、処理対象A1に固有に紐付く識別データを含んだ状態データを取得する。また本実施の形態にかかる記憶部110は、個別履歴データ113を記憶する。換言すると、記憶部110は、識別データにかかる処理対象に付随する積層工程の個別履歴データを積層成形品と紐付けて記憶する。また条件設定部12は、個別履歴データを状態データに含めて個別条件を設定する。
次に、実施の形態3について説明する。実施の形態3は、積層工程の後の検査において特性データを生成する点が、上述の実施の形態と異なる。
次に、実施の形態4について説明する。本実施形態の積層成形品製造システムは、中間工程ブロックを含む。また本実施形態の制御装置は、記憶部110が、中間工程ブロックに関する第3データを記憶している。図13は、実施の形態4にかかる積層成形品製造システム4のブロック図である。積層成形品製造システム4は、中間工程ブロック40をさらに有する点が、上述の実施の形態と異なる。
図19は、実施の形態5にかかる積層成形品製造システム5のブロック図である。本実施の形態にかかる積層成形品製造システム5は、制御装置105を有する。
2 積層成形品製造システム
3 積層成形品製造システム
4 積層成形品製造システム
5 積層成形品製造システム
11 状態データ取得部
12 条件設定部
13 特性データ取得部
14 学習処理部
20 検査装置群
21 第1検査装置
22 第2検査装置
23 第3検査装置
30 積層工程ブロック
31 ラミネート装置
32 平坦化装置
33 温度制御装置
35 上部搬送用シート
36 下部搬送用シート
40 中間工程ブロック
41 ビア加工工程ブロック
42 めっき工程ブロック
43 エッチング工程ブロック
101 制御装置
102 制御装置
103 制御装置
104 制御装置
105 制御装置
110 記憶部
111 第1データ
112 第2データ
113 個別履歴データ
114 第3データ
120 CPU
130 NVRAM
140 DRAM
150 インタフェース
A1 処理対象
Claims (15)
- 基材を少なくとも含む処理対象に積層フィルムをラミネートする積層工程を複数回繰り返すことで複数層の前記積層フィルムが積層された積層成形品を製造する積層成形品製造システムを制御する制御装置であって、
前記処理対象または前記積層フィルムの外形、表面の凹凸状態、温度、異物の有無の状態、工程履歴の少なくとも1つを示す状態データと前記積層工程の後の前記積層成形品における、ボイド、材料流出、しわ、位置ずれ、異物混入、変形、加圧ムラの少なくとも1つに関連する特性データとの関連を示す第1データと、前記特性データと前記積層工程に設定される工程パラメータとの関連を示す第2データと、を記憶する記憶部と、
N回目(N≧1)の前記積層工程にかかる前記状態データを取得する状態データ取得部と、
前記状態データと、前記第1データと前記第2データとに基づいて、前記N回目の前記積層工程における個別条件を設定する条件設定部と、
を備える制御装置。 - 前記N回目の前記積層工程の後の前記積層成形品における前記特性データを取得する特性データ取得部をさらに備え、
前記条件設定部は、N+1回目の前記積層工程において前記N回目の前記特性データの少なくとも一部を前記状態データに加えて前記個別条件を設定する、
請求項1に記載の制御装置。 - 前記条件設定部は、
前記状態データと前記第1データとに基づいて、推定特性データを算出し、
前記推定特性データと前記第2データとに基づいて、前記個別条件を設定する、
請求項1または2に記載の制御装置。 - 前記条件設定部は、前記推定特性データが所定の標準閾値を超えているか否かを判定し、
前記標準閾値を超えていない場合には、前記個別条件に代えて、所定の標準条件を提示する、
請求項3に記載の制御装置。 - 基材を少なくとも含む処理対象に積層フィルムをラミネートする積層工程を複数回繰り返すことで複数層の前記積層フィルムが積層された積層成形品を製造する積層成形品製造システムを制御する制御装置であって、
前記処理対象または前記積層フィルムの外形、表面の凹凸状態、温度、異物の有無の状態、工程履歴の少なくとも1つを示す状態データと前記積層工程の後の前記積層成形品における、ボイド、材料流出、しわ、位置ずれ、異物混入、変形、加圧ムラの少なくとも1つに関連する特性データとの関連を学習することにより、前記状態データに基づいて前記特性データを推定する第1学習処理部と、
前記特性データと前記積層工程に設定される工程パラメータとの関連を学習することにより、前記特性データに基づいて前記工程パラメータの個別条件を算出する第2学習処理部と、
N回目(N≧1)の前記積層工程にかかる前記状態データを取得する状態データ取得部と、
前記状態データと、前記第1学習処理部が推定する推定特性データと前記第2学習処理部が算出する個別条件とに基づいて、前記N回目の前記積層工程における個別条件を設定する条件設定部と、
を備える制御装置。 - 前記第1学習処理部は、前記N回目の前記積層工程の前における前記状態データと、前記N回目の前記積層工程の後に取得した前記処理対象の前記特性データとに基づいて、前記第1学習処理部を更新する、
請求項5に記載の制御装置。 - 前記第2学習処理部は、前記N回目の前記積層工程に設定された前記工程パラメータと、前記N回目の前記積層工程の後に取得した前記特性データとに基づいて、前記第2学習処理部を更新する、
請求項5または6に記載の制御装置。 - 前記状態データ取得部が取得する前記状態データは、前記処理対象を識別するための識別データを含み、
前記条件設定部は、前記識別データを含む前記個別条件を設定する、
請求項1~7のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記状態データ取得部が取得する前記状態データは、前記基材に付随する前記識別データを含む、
請求項8に記載の制御装置。 - 前記識別データと、前記識別データにかかる前記処理対象が施された処理の履歴とを紐付けた個別履歴データを記憶する個別履歴データ記憶部をさらに備え、
前記条件設定部は、前記個別履歴データの少なくとも一部を前記状態データに含めて前記個別条件を設定する、
請求項9に記載の制御装置。 - 前記記憶部は、前記N回目の前記積層工程と前記N+1回目の前記積層工程との間に前記処理対象に対して施される中間処理において設定される中間工程製造パラメータと、前記特性データとの関連を示す第3データと、を記憶し、
前記条件設定部は、前記積層工程の後の前記処理対象の前記特性データを含む検査データから生成した前記状態データと前記第1データとから推定特性データを算出し、前記推定特性データと前記第3データとから、前記中間処理にかかる前記個別条件を設定する、
請求項1または2に記載の制御装置。 - 前記記憶部が記憶する前記第3データは、前記中間処理において前記処理対象が施される熱処理、めっき処理、切削処理およびエッチング処理の少なくとも1つに関する特性を示すデータを含む、
請求項11に記載の制御装置。 - 請求項1~12のいずれか一項に記載の制御装置と、
前記制御装置から提示された前記個別条件により、前記処理対象に前記積層フィルムをラミネートする前記積層工程を行う積層工程ブロックと、
前記状態データを生成するために前記処理対象の状態を測定する測定部を少なくとも含む検査装置と、
を備える積層成形品製造システム。 - 基材を少なくとも含む処理対象に積層フィルムをラミネートする積層工程を複数回繰り返すことで複数層の前記積層フィルムが積層された積層成形品を製造する積層成形品製造システムが実行する前記積層成形品の製造方法であって、
制御装置が、
前記処理対象または前記積層フィルムの外形、表面の凹凸状態、温度、異物の有無の状態、工程履歴の少なくとも1つを示す状態データと前記積層工程の後の前記積層成形品における、ボイド、材料流出、しわ、位置ずれ、異物混入、変形、加圧ムラの少なくとも1つに関連する特性データとの関連を示す第1データを記憶し、
前記特性データと前記積層工程に設定される工程パラメータとの関連を示す第2データを記憶し、
N回目(N≧1)の前記積層工程にかかる前記状態データを取得し、
前記状態データと、前記第1データと前記第2データとに基づいて、前記N回目の前記積層工程における個別条件を設定する、
積層成形品の製造方法。 - 基材を少なくとも含む処理対象に積層フィルムをラミネートする積層工程を複数回繰り返すことで複数層の前記積層フィルムが積層された積層成形品を製造する積層成形品製造システムが実行する前記積層成形品の製造方法であって、
前記処理対象または前記積層フィルムの外形、表面の凹凸状態、温度、異物の有無の状態、工程履歴の少なくとも1つを示す状態データと前記積層工程の後の前記積層成形品における、ボイド、材料流出、しわ、位置ずれ、異物混入、変形、加圧ムラの少なくとも1つに関連する特性データとの関連を学習することにより、前記状態データに基づいて前記特性データを推定し、
前記特性データと前記積層工程に設定される工程パラメータとの関連を学習することにより、前記特性データに基づいて前記工程パラメータの個別条件を算出し、
N回目(N≧1)の前記積層工程にかかる前記状態データを取得し、
前記状態データと、前記推定にかかる推定特性データと前記算出にかかる個別条件とに基づいて、前記N回目の前記積層工程における個別条件を設定する、
積層成形品の製造方法。
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