JP7281443B2 - 光電変換素子および光電変換装置 - Google Patents
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Description
図1は、光電変換装置を示す斜視図である。この光電変換装置1は、入射光の強度のみならず、入射光のスポットサイズおよび入射方向を検出する。光電変換装置1は、光の進行方向の上流側に配置された第1光電変換素子10と、光の進行方向の下流側に配置された第2光電変換素子20と、記憶部30と、演算部40とを含む。
図9は、第1実施形態の第1変形例に係る第2光電変換素子20の断面図である。この図に示すように、第2光電変換素子20では、半導体基板210の裏面側において、半導体基板210の主面210SBとパッシベーション層230との間に、ピンホール35を有する絶縁層235が設けられていてもよい。
図14は、第1実施形態の第2変形例に係る第2光電変換素子の断面図である。この図に示すように、第2光電変換素子20では、半導体基板210の裏面210SBとパッシベーション層230の間にピンホール35を有する絶縁層235が形成されているだけでなく、半導体基板210の受光する側の主面210SUとパッシベーション層220の間にピンホール25を有する絶縁層225が形成されている。
図15は、第1実施形態の第3変形例に係る第2光電変換素子の断面図である。この図に示すように、第2光電変換素子20では、半導体基板210の裏面側において、半導体基板210と透明電極層232との間、詳説すると、パッシベーション層230とp型半導体層231との間に、高抵抗層236が介在しても構わない。
以上の第2光電変換素子20では、半導体基板210の導電型(n型)と、p型半導体層221およびp型半導体層231の導電型とは、相反する導電型(p型)であり、さらに、受ける光により半導体基板210で生じたキャリアのうちの少数キャリアに対するキャリア回収量が、半導体基板210の一方主面側と他方主面側とで異なる。そして、このキャリア回収量に差異を設けるために、半導体基板210の一方主面側に積層される各種層と、他方主面側に積層される各種層とに差異を設けていた。
光センサとして、被写体からの拡散光を入射して、被写体のX方向およびY方向の位置(XY位置)に加え、Z方向(奥行き)の位置をも検出する3次元センサがある。このような3次元センサでは、被写体のZ方向(奥行き)の位置が変化すると、内部の光電変換素子に入射する入射光のスポットサイズが変化する(デフォーカス)。
2 3次元センサ
10 第1光電変換素子
110 半導体基板
110S 半導体基板の主面
110SU 2つの主面の一方側(他方側)である受光する側の主面
110SB 2つの主面の他方側(一方側)である裏側の主面
120 パッシベーション層
121 p型半導体層
122 透明電極層
123 取出電極層
130 パッシベーション層
131 n型半導体層
132 透明電極層
133 取出電極層
20 第2光電変換素子
210 半導体基板[光電変換基板]
210S 半導体基板の主面
210SU 2つの主面の一方側(他方側)である受光する側の主面
210SB 2つの主面の他方側(一方側)である裏側の主面
220 パッシベーション層
[第1パッシベーション層/第2パッシベーション層]
221 p型半導体層[第1半導体層/第2半導体層]
222 透明電極層[第1電極層/第2電極層]
223 取出電極層
25 ピンホール[貫通孔]
225 絶縁層
230 パッシベーション層
[第2パッシベーション層/第1パッシベーション層]
231 p型半導体層[第2半導体層/第1半導体層]
232 透明電極層[第2電極層/第1電極層]
233 取出電極層
35 ピンホール[貫通孔]
235 絶縁層
236 高抵抗層
30 記憶部
40 演算部
50 光学レンズ
60 光出射部
Claims (12)
- 光電変換基板と、前記光電変換基板における一方主面側に配置させた第1半導体層と、他方主面側に配置させた第2半導体層と、を含む光電変換素子にあって、
前記光電変換基板の導電型と、前記第1半導体層および前記第2半導体層の導電型とは、相反する導電型であり、
前記第1半導体層と前記第2半導体層とは、導電性不純物の濃度および膜厚のうち少なくとも一方を、互いに異ならせており、
受ける光により前記光電変換基板で生じたキャリアのうちの少数キャリアに対するキャリア回収量が、前記一方主面側と前記他方主面側とで異なる光電変換素子。 - 光電変換基板と、前記光電変換基板における一方主面側に配置させた第1半導体層と、他方主面側に配置させた第2半導体層と、を含む光電変換素子にあって、
前記光電変換基板の導電型と、前記第1半導体層および前記第2半導体層の導電型とは、相反する導電型であり、
前記第1半導体層と前記光電変換基板との間に配置される第1パッシベーション層と、前記第2半導体層と前記光電変換基板との間に配置される第2パッシベーション層とは、膜厚および水素含有量のうち少なくとも一方を、互いに異ならせており、
受ける光により前記光電変換基板で生じたキャリアのうちの少数キャリアに対するキャリア回収量が、前記一方主面側と前記他方主面側とで異なる光電変換素子。 - 前記第1半導体層と前記光電変換基板との間に配置される第1パッシベーション層と、前記第2半導体層と前記光電変換基板との間に配置される第2パッシベーション層とは、膜厚および水素含有量のうち少なくとも一方を、互いに異ならせている請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記第1半導体層に対応する電極層で、前記光電変換基板とともに、前記第1半導体層を挟むように配置される第1電極層と、
前記第2半導体層に対応する電極層で、前記光電変換基板とともに、前記第2半導体層を挟むように配置される第2電極層と
を含み、
前記光電変換基板と前記第1電極層との間、および、前記光電変換基板と前記第2電極層との間の少なくとも一方に、絶縁層を含み、
前記絶縁層は、前記光電変換基板の主面に沿って、2次元状に設けられた複数の貫通孔を有する請求項1~3のいずれか1項に記載の光電変換素子。 - 前記第1半導体層に対応する電極層で、前記光電変換基板とともに、前記第1半導体層を挟むように配置される第1電極層と、
前記第2半導体層に対応する電極層で、前記光電変換基板とともに、前記第2半導体層を挟むように配置される第2電極層と
を含み、
前記光電変換基板と前記第1電極層との間、および、前記光電変換基板と前記第2電極層との間の少なくとも一方に、絶縁材料を含有する高抵抗層を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の光電変換素子。 - 光電変換基板と、前記光電変換基板における一方主面側に配置させた第1半導体層と、他方主面側に配置させた第2半導体層と、を含む光電変換素子にあって、
前記光電変換基板の導電型と、前記第1半導体層および前記第2半導体層の導電型とは、相反する導電型であり、
前記第1半導体層と前記光電変換基板との間に配置される第1パッシベーション層と、前記第2半導体層と前記光電変換基板との間に配置される第2パッシベーション層とは、膜厚および水素含有量のうち少なくとも一方を、互いに一致させており、
受ける光により前記光電変換基板で生じたキャリアのうちの少数キャリアに対するキャリア回収量が、前記一方主面側と前記他方主面側とで異なる光電変換素子。 - 前記第1半導体層と前記第2半導体層とは、導電性不純物の濃度を互いに一致させている請求項6に記載の光電変換素子。
- 前記第1半導体層と前記第2半導体層とは、膜厚を互いに一致させている請求項6または7に記載の光電変換素子。
- 入射光の上流側に配置された第1光電変換素子と、
前記入射光の基となる光を出射する光出射部と、
前記入射光の下流側に配置され、請求項1~8のいずれか1項に記載の光電変換素子を第2光電変換素子と、
して含む光電変換装置。 - 入射光の上流側に配置された第1光電変換素子と、
前記入射光の基となる近赤外光を出射する光出射部と、
前記入射光の下流側に配置され、請求項1~5のいずれか1項に記載の光電変換素子を第2光電変換素子と、
して含む光電変換装置。 - 入射光の上流側に配置された第1光電変換素子と、
前記入射光の基となる可視光を出射する光出射部と、
前記入射光の下流側に配置され、請求項6~8のいずれか1項に記載の光電変換素子を第2光電変換素子と、
して含む光電変換装置。 - 前記第1光電変換素子の出力電流、および、前記第2光電変換素子の出力電流に基づいて、前記第2光電変換素子における入射光のスポットサイズを演算する演算部をさらに含む、請求項9または10に記載の光電変換装置。
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