JP7280804B2 - 固浸レンズユニット及び半導体検査装置 - Google Patents
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Description
[半導体検査装置の構成]
[固浸レンズユニットの構成]
[固浸レンズの構成]
[固浸レンズの保持構造]
[半導体検査装置における画像取得方法の一例]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (8)
- 固浸レンズと、
前記固浸レンズを揺動可能に保持するホルダと、を備え、
前記固浸レンズは、第1材料により形成された第1レンズ部と、前記第1材料の屈折率よりも小さな屈折率を有する第2材料により形成され、前記第1レンズ部に結合された第2レンズ部と、を有し、
前記第1レンズ部は、観察対象物に当接させられる当接面と、凸状の第1球面と、を含み、
前記第2レンズ部は、前記第1球面と向かい合う凹状の第2球面と、対物レンズと向かい合うように配置される凸状の第3球面と、を含み、
前記ホルダは、前記第3球面と接触可能に構成された接触部を有し、
前記当接面は、前記対物レンズの光軸に平行な方向において、前記第2レンズ部に対して前記対物レンズとは反対側に突出している、固浸レンズユニット。 - 前記第1球面、前記第2球面及び前記第3球面の曲率中心は、一致している、請求項1に記載の固浸レンズユニット。
- 前記当接面は、平坦面である、請求項1又は2に記載の固浸レンズユニット。
- 前記第1材料は、Si、GaAs、GaP、Ge、ダイヤモンド、SiC又はGaNである、請求項1~3のいずれか一項に記載の固浸レンズユニット。
- 前記第2材料は、ガラス、ポリマー、サファイア、石英、フッ化カルシウム又はフッ化マグネシウムである、請求項1~4のいずれか一項に記載の固浸レンズユニット。
- 前記接触部は、前記第3球面と向かい合う位置において回転可能に保持された球体によって構成されている、請求項1~5のいずれか一項に記載の固浸レンズユニット。
- 前記ホルダには、前記第2レンズ部が内部に配置される開口が形成されており、
前記接触部は、前記開口の内面から前記開口の中心に向かって延びる突出部によって構成されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の固浸レンズユニット。 - 前記観察対象物である半導体デバイスが載置されるステージと、
前記半導体デバイスからの光が通過する光学系と、
前記光学系を通過した前記光を検出する光検出器と、を備え、
前記光学系は、
対物レンズと、
請求項1~7のいずれか一項に記載の固浸レンズユニットと、を有する、半導体検査装置。
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
US6236513B1 (en) * | 1999-06-30 | 2001-05-22 | Quantum Corporation | Integrated objective/solid immersion lens for near field recording |
JP2001076366A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Ricoh Co Ltd | 光ピックアップ用光学素子および光ピックアップ用光学素子の製造方法 |
US6594430B1 (en) * | 2000-05-11 | 2003-07-15 | Carnegie Mellon University | Solid immersion lenses for focusing collimated light in the near-field region |
KR100393772B1 (ko) * | 2001-03-10 | 2003-08-02 | 엘지전자 주식회사 | 광 기록 및 재생 시스템용 광학계 |
KR20030032751A (ko) * | 2001-10-19 | 2003-04-26 | 한국과학기술원 | 이중접합 에스아이엘(dsil)과 이를 이용한 근접장광학 시스템 |
KR101110468B1 (ko) * | 2003-10-31 | 2012-01-31 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 시료 관찰 방법 및 현미경, 및 이것에 이용하는 고침 렌즈및 광학 밀착액 |
JP2012048774A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Sony Corp | 対物レンズ、レンズ製造方法、光学ドライブ装置 |
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Patent Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JP2001311803A (ja) | 2000-04-27 | 2001-11-09 | Sony Corp | 光学素子、光学素子の製造方法および光学系 |
WO2018110221A1 (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固浸レンズユニット及び半導体検査装置 |
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