JP7280546B2 - Glass plate and wavelength conversion package using the same - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス板及びこれを用いた波長変換パッケージに関する。 The present invention relates to a glass plate and a wavelength conversion package using the same.

近年、蛍光ランプや白熱灯に代わる次世代の光源として、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)やレーザーダイオード(LD:Laser Diode)を用いた発光デバイス等に対する注目が高まってきている。そのような次世代光源の一例として、青色光を出射するLEDと、LEDからの光の一部を吸収して黄色光に変換する波長変換部材とを組み合わせた発光デバイスが開示されている。この発光デバイスは、LEDから出射された青色光と、波長変換部材から出射された黄色光との合成光である白色光を発する。特許文献1には、低融点ガラス中に蛍光体粉末を分散させてなる波長変換部材が提案されている。 In recent years, light emitting devices using light emitting diodes (LEDs) and laser diodes (LDs) have attracted increasing attention as next-generation light sources to replace fluorescent lamps and incandescent lamps. As an example of such a next-generation light source, a light-emitting device is disclosed that combines an LED that emits blue light and a wavelength conversion member that absorbs part of the light from the LED and converts it into yellow light. This light-emitting device emits white light, which is synthesized light of blue light emitted from the LED and yellow light emitted from the wavelength conversion member. Patent Literature 1 proposes a wavelength conversion member in which phosphor powder is dispersed in low-melting glass.

また、特許文献2では、ガラス板内に、樹脂層が封入されることにより形成された波長変換パッケージが記載されており、この樹脂層は、樹脂及び該樹脂中に分散保持された量子ドット蛍光体により構成されている。そして、特許文献2の波長変換パッケージは、量子ドット蛍光体を含む樹脂を充填した状態で、レーザー照射により、封着材料層を介してガラス板同士を封止する方法(以下、レーザー封止)で作製されている。しかし、レーザー封止で波長変換パッケージを作製する場合、レーザーの照射時に、ガラス板や封着材料層に割れが生じることがあった。またレーザーの照射時に、量子ドット蛍光体が熱劣化する虞もあった。 Further, Patent Document 2 describes a wavelength conversion package formed by enclosing a resin layer in a glass plate. made up of the body. Then, the wavelength conversion package of Patent Document 2 is a method of sealing glass plates together via a sealing material layer by laser irradiation in a state filled with a resin containing a quantum dot phosphor (hereinafter, laser sealing). is made with However, when a wavelength conversion package is produced by laser sealing, cracks may occur in the glass plate and the sealing material layer during laser irradiation. In addition, there is a possibility that the quantum dot phosphor may be thermally deteriorated during laser irradiation.

特開2003-258308号公報JP-A-2003-258308 国際公開第2012/132232号公報International Publication No. 2012/132232 特開2011-211439号公報JP 2011-211439 A

ところで、波長変換パッケージを封止する方法として、金属層を介して、陽極接合する方法も考えられる。例えば、特許文献3には、CVD法やスパッタリング法等により形成された金属層を有する第一のガラスウェハの金属層と第二のガラスウェハとを対向させ、金属層にプラスの電圧を印加し、第二のガラスウェハにマイナスの電圧を印加することにより、金属層と第二のガラスウェハを陽極接合し、第一のガラスウェハと第二のガラスウェハとを金属層を介して封止することが記載されている。 By the way, as a method of sealing the wavelength conversion package, a method of anodic bonding via a metal layer is also conceivable. For example, in Patent Document 3, a metal layer of a first glass wafer having a metal layer formed by a CVD method, a sputtering method, or the like is opposed to a second glass wafer, and a positive voltage is applied to the metal layer. , by applying a negative voltage to the second glass wafer, the metal layer and the second glass wafer are anodically bonded, and the first glass wafer and the second glass wafer are sealed via the metal layer. is stated.

しかし、特許文献3に記載の方法では、第一のガラスウェハと第二のガラスウェハとの間に応力が加わった際に第一のガラスウェハと金属層とが剥離してしまうという問題がある。また、特許文献3に記載の方法で封止強度を高めるためには、陽極接合の際に、高温及び/又は高印加電圧が必要になり、波長変換パッケージ内の量子ドット蛍光体が熱劣化する虞がある。 However, the method described in Patent Document 3 has a problem that the first glass wafer and the metal layer are separated when stress is applied between the first glass wafer and the second glass wafer. . In addition, in order to increase the sealing strength by the method described in Patent Document 3, high temperature and/or high applied voltage are required during anodic bonding, and the quantum dot phosphor in the wavelength conversion package thermally deteriorates. There is fear.

そこで、本発明は上記事情に鑑み成されたものであり、その技術的課題は、陽極接合の際に金属層の剥離が生じ難く、且つ低温及び/又は低印加電圧で陽極接合し得るガラス板及びこれを用いた波長変換パッケージを創案することである。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and its technical problem is to provide a glass plate in which peeling of the metal layer hardly occurs during anodic bonding and which can be anodic bonded at a low temperature and/or a low applied voltage. And to invent a wavelength conversion package using this.

本発明者等は、種々の実験を繰り返した結果、ガラス板のガラス組成と熱膨張係数を厳密に規制することにより、上技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として提案するものである。すなわち、本発明のガラス板は、ガラス組成として、質量%で、SiO 40~75%、Al 8~30%、NaO 8~25%を含有し、30~380℃における熱膨張係数が60×10-7/℃以上であり、且つ陽極接合に用いることを特徴とする。ここで、「30~380℃における熱膨張係数」は、例えば、ディラトメーターで測定することができる。 As a result of repeating various experiments, the present inventors found that the above technical problems can be solved by strictly controlling the glass composition and thermal expansion coefficient of the glass plate, and proposed the present invention. be. That is, the glass plate of the present invention contains 40 to 75% by mass of SiO 2 , 8 to 30% by mass of Al 2 O 3 and 8 to 25% by mass of Na 2 O as a glass composition, and is heated at 30 to 380°C. It is characterized by having an expansion coefficient of 60×10 −7 /° C. or more and being used for anodic bonding. Here, the "thermal expansion coefficient at 30 to 380° C." can be measured, for example, with a dilatometer.

本発明のガラス板は、ガラス組成中にAlを8質量%以上、且つNaOを8質量%含んでいる。これにより、ガラス骨格中の非架橋酸素中をNaイオンが移動し易くなるため、低温及び/又は低印加電圧で陽極接合を行い易くなる。例えば、加熱温度80~150℃、印加電圧500Vの条件で陽極接合を行い易くなる。 The glass plate of the present invention contains 8% by mass or more of Al 2 O 3 and 8% by mass of Na 2 O in the glass composition. This makes it easier for Na ions to move in the non-bridging oxygen in the glass skeleton, making it easier to perform anodic bonding at a low temperature and/or a low applied voltage. For example, anodic bonding can be easily performed under the conditions of a heating temperature of 80 to 150° C. and an applied voltage of 500V.

また、本発明のガラス板は、60×10-7/℃以上の熱膨張係数を有している。これにより、ガラス板と金属枠の熱膨張差が小さくなるため、陽極接合の際に、金属枠(金属層)が剥離しくなる。特に、金属枠がAl(0~380℃における熱膨張係数:190×10-7~210×10-7/℃)からなる場合に、その効果が大きくなる。 Also, the glass plate of the present invention has a thermal expansion coefficient of 60×10 −7 /° C. or higher. This reduces the difference in thermal expansion between the glass plate and the metal frame, making it difficult for the metal frame (metal layer) to separate during anodic bonding. In particular, when the metal frame is made of Al (thermal expansion coefficient at 0 to 380° C.: 190×10 −7 to 210×10 −7 /° C.), the effect is enhanced.

また、本発明のガラス板は、ガラス組成として、質量%で、SiO 45~70%、Al 12~30%、NaO 12~20%を含有することが好ましい。 Further, the glass plate of the present invention preferably contains 45 to 70% by mass of SiO 2 , 12 to 30% by mass of Al 2 O 3 and 12 to 20% by mass of Na 2 O as the glass composition.

また、本発明のガラス板は、少なくとも一方の表面上に金属枠を有することが好ましい。 Moreover, the glass plate of the present invention preferably has a metal frame on at least one surface.

また、本発明のガラス板は、金属枠が、Al、Si、Fe、Ti、Ni、Cr及びCuからなる群から選択される少なくとも1種からなることが好ましい。 In the glass plate of the present invention, the metal frame is preferably made of at least one selected from the group consisting of Al, Si, Fe, Ti, Ni, Cr and Cu.

また、本発明のガラス板は、金属枠内に、分散媒中に分散された蛍光体を収容していることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the glass plate of the present invention contains a phosphor dispersed in a dispersion medium in a metal frame.

また、本発明のガラス板は、少なくとも一方の表面上に電極膜を有することが好ましい。 Moreover, the glass plate of the present invention preferably has an electrode film on at least one surface.

また、本発明のガラス板は、電極膜が、Al、Si、Fe、Ti、Ni、Cr及びCuからなる群から選択される少なくとも1種からなることが好ましい。 In the glass plate of the present invention, the electrode film is preferably made of at least one selected from the group consisting of Al, Si, Fe, Ti, Ni, Cr and Cu.

本発明の波長変換パッケージは、第一のガラス板と第二のガラス板が、金属枠を介して陽極接合された波長変換パッケージであって、第一のガラス板が、上記のガラス板であり、第一のガラス板、第二のガラス板及び金属枠で囲まれた空間内に、分散媒中に分散された蛍光体が収容されており、且つ該蛍光体が、励起光の入射により励起して蛍光を出射することが好ましい。 A wavelength conversion package of the present invention is a wavelength conversion package in which a first glass plate and a second glass plate are anodically bonded via a metal frame, and the first glass plate is the above glass plate. , a phosphor dispersed in a dispersion medium is accommodated in a space surrounded by the first glass plate, the second glass plate, and the metal frame, and the phosphor is excited by incidence of excitation light Fluorescence is preferably emitted by

図1は、本発明の波長変換パッケージの一例を示す断面概念図である。図1から分かるように、波長変換パッケージ1は、第一のガラス板10と第二のガラス板11が、金属枠12を介して接合されている。そして、金属枠12は、厚み方向の平面視で額縁状の形状を有しており、第一のガラス板10の表面10a上にスパッタ法等で形成されており、金属枠の表面12a上には、第二のガラス板11が配置されている。更に、第一のガラス板10、第二のガラス板11及び金属枠12の側壁12bで囲まれた空間内、つまり額縁内の空間内には、分散媒中に分散された蛍光体13が収容されている。 FIG. 1 is a conceptual cross-sectional view showing an example of the wavelength conversion package of the present invention. As can be seen from FIG. 1 , the wavelength conversion package 1 has a first glass plate 10 and a second glass plate 11 bonded together via a metal frame 12 . The metal frame 12 has a frame-like shape in plan view in the thickness direction, and is formed on the surface 10a of the first glass plate 10 by sputtering or the like. , a second glass plate 11 is arranged. Further, in the space surrounded by the first glass plate 10, the second glass plate 11 and the side wall 12b of the metal frame 12, that is, the space inside the picture frame, the phosphor 13 dispersed in the dispersion medium is accommodated. It is

また、本発明の波長変換パッケージは、第二のガラス板が、上記のガラス板であることが好ましい。 Further, in the wavelength conversion package of the present invention, the second glass plate is preferably the glass plate described above.

本発明の波長変換パッケージの一例を示す断面概念図である。It is a cross-sectional conceptual diagram which shows an example of the wavelength conversion package of this invention. 陽極接合の一例を説明するための断面概念図である。It is a cross-sectional conceptual diagram for demonstrating an example of anodic bonding.

本発明のガラス板は、ガラス組成として、質量%で、SiO 40~75%、Al 8~30%、NaO 8~25%を含有する。上記のように各成分の含有範囲を限定した理由を以下に説明する。なお、各成分の含有範囲の説明において、以下の%表示は、特段の断りがない限り、質量%を指す。 The glass plate of the present invention contains 40 to 75% by mass of SiO 2 , 8 to 30% by mass of Al 2 O 3 and 8 to 25% by mass of Na 2 O as a glass composition. The reason why the content range of each component is limited as described above will be explained below. In addition, in description of the content range of each component, the following % display points out the mass %, unless there is a special notice.

SiOは、ガラスのネットワークを形成する成分であり、その含有量は40~75%であり、好ましくは45~70%、50~68%、55~65%、特に60~63%である。SiOの含有量が少な過ぎると、ガラス化し難くなり、また熱膨張係数が不当に高くなるため、耐熱衝撃性が低下し易くなる。一方、SiOの含有量が多過ぎると、溶融性、成形性、熱膨張係数が低下し易くなる。 SiO 2 is a component that forms a glass network, and its content is 40-75%, preferably 45-70%, 50-68%, 55-65%, especially 60-63%. If the content of SiO 2 is too small, vitrification becomes difficult and the coefficient of thermal expansion becomes unduly high, so the thermal shock resistance tends to decrease. On the other hand, if the content of SiO2 is too high, meltability, moldability, and coefficient of thermal expansion tend to decrease.

Alは、ガラス骨格中に非架橋酸素を増加させて陽極接合性を高める成分であり、またヤング率を高める成分である。しかし、Alの含有量が多過ぎると、ガラスに失透結晶が析出し易くなって、板状に成形し難くなる。また溶融性、熱膨張係数が低下し易くなる。よって、Alの上限範囲は30%以下であり、好ましくは28%以下、24%以下、23%以下、22%以下、21.5%以下、特に21%以下であり、下限範囲は8%以上であり、好ましくは10%以上、12%以上、15%以上、17%以上、特に18%以上である。 Al 2 O 3 is a component that increases the amount of non-bridging oxygen in the glass skeleton to enhance anodic bondability, and is also a component that enhances Young's modulus. However, if the Al 2 O 3 content is too high, devitrified crystals are likely to precipitate in the glass, making it difficult to form a plate. In addition, meltability and thermal expansion coefficient tend to decrease. Therefore, the upper limit range of Al 2 O 3 is 30% or less, preferably 28% or less, 24% or less, 23% or less, 22% or less, 21.5% or less, particularly 21% or less, and the lower limit range is It is 8% or more, preferably 10% or more, 12% or more, 15% or more, 17% or more, particularly 18% or more.

NaOは、陽極接合性を高める成分であり、また熱膨張係数を高める成分である。しかし、NaOの含有量が多過ぎると、ガラス組成のバランスが崩れて、耐失透性が低下する虞がある。よって、NaOの含有量は8~25%であり、好ましくは10~25%、11~22%、12~20%、13~19%、特に14~18%である。 Na 2 O is a component that enhances anodic bondability and a component that enhances the coefficient of thermal expansion. However, if the content of Na 2 O is too large, the balance of the glass composition may be lost and devitrification resistance may be lowered. The content of Na 2 O is thus 8-25%, preferably 10-25%, 11-22%, 12-20%, 13-19%, especially 14-18%.

上記成分以外にも、例えば、以下の成分を導入してもよい。 In addition to the above components, for example, the following components may be introduced.

は、液相温度、高温粘度、密度を低下させる成分であるが、その含有量が多過ぎると、耐水性、液相粘度が低下する虞がある。よって、Bの含有量は、好ましくは0~6%、0~4%、0.1~3%、0.1~2%、特に0.5~1%未満である。 B 2 O 3 is a component that lowers the liquidus temperature, high-temperature viscosity, and density. The content of B 2 O 3 is therefore preferably 0-6%, 0-4%, 0.1-3%, 0.1-2%, in particular 0.5-1%.

LiOは、高温粘度を低下させて、溶融性や成形性を高める成分である。更に熱膨張係数を高める成分である。しかし、LiOの含有量が多過ぎると、耐失透性が低下し易くなる。よって、LiOの含有量は、好ましくは0~8%、0~5%、0~3%未満、0~2%、0~1%未満、特に0.01~0.1%未満である。 Li 2 O is a component that lowers high-temperature viscosity and improves meltability and moldability. It is also a component that increases the coefficient of thermal expansion. However, if the content of Li 2 O is too large, the devitrification resistance tends to decrease. Therefore, the content of Li 2 O is preferably 0 to 8%, 0 to 5%, 0 to less than 3%, 0 to 2%, 0 to less than 1%, especially 0.01 to less than 0.1%. be.

Oは、高温粘度を低下させて、溶融性や成形性を高めたり、熱膨張係数を高める成分である。しかし、KOの含有量が多過ぎると、歪点が低下し過ぎたり、ガラス組成のバランスが崩れて、耐失透性が低下する虞がある。KOの好適な上限範囲は10%以下、9%以下、8%以下、7%以下、特に6%以下であり、好適な下限範囲は0%以上、0.5%以上、1%以上、2%以上、3%以上、特に4%以上である。 K 2 O is a component that lowers high-temperature viscosity, improves meltability and moldability, and increases the coefficient of thermal expansion. However, if the K 2 O content is too high, the strain point may be too low, or the composition of the glass may be out of balance, resulting in a decrease in devitrification resistance. A preferable upper limit range of K 2 O is 10% or less, 9% or less, 8% or less, 7% or less, particularly 6% or less, and a preferable lower limit range is 0% or more, 0.5% or more, 1% or more. , 2% or more, 3% or more, in particular 4% or more.

は、歪点を高める成分である。しかし、Pの含有量が多過ぎると、ガラスが分相したり、耐水性や耐失透性が低下し易くなる。よって、Pの含有量は、好ましくは0~8%、0~5%、0~3%、0~2%、特に0~1%である。 P 2 O 5 is a component that raises the strain point. However, if the content of P 2 O 5 is too high, the glass tends to undergo phase separation, and its water resistance and devitrification resistance tend to deteriorate. The content of P 2 O 5 is therefore preferably 0-8%, 0-5%, 0-3%, 0-2%, especially 0-1%.

MgO、CaO、SrO及びBaOの合量は、好ましくは0~15%、0~9%、0.5~6%、特に1~5%である。MgO、CaO、SrO及びBaOの合量が多過ぎると、密度が不当に高くなったり、耐失透性が低下し易くなる。 The total amount of MgO, CaO, SrO and BaO is preferably 0-15%, 0-9%, 0.5-6%, especially 1-5%. If the total amount of MgO, CaO, SrO and BaO is too large, the density tends to be unduly high and the devitrification resistance tends to decrease.

質量比(MgO+CaO+SrO+BaO)/(LiO+NaO+KO)は、耐失透性を高めるために、好ましくは0.5以下、0.4以下、特に0.3以下である。なお、「(MgO+CaO+SrO+BaO)/(LiO+NaO+KO)」は、MgO、CaO、SrO及びBaOの合量をLiO、NaO及びKOの合量で割った値である。 The mass ratio (MgO+CaO+SrO+BaO)/(Li 2 O+Na 2 O+K 2 O) is preferably 0.5 or less, 0.4 or less, particularly 0.3 or less, in order to increase devitrification resistance. In addition, "(MgO + CaO + SrO + BaO) / (Li 2 O + Na 2 O + K 2 O)" is a value obtained by dividing the total amount of MgO, CaO, SrO and BaO by the total amount of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O. .

ZnOは、低温粘性を低下させずに、高温粘性を低下させる成分である。しかし、ZnOの含有量が多過ぎると、ガラスが分相したり、失透し易くなる。よって、ZnOの含有量は、好ましくは8%以下、4%以下、1%以下、0.1%以下、特に0.01%以下である。 ZnO is a component that lowers the high-temperature viscosity without lowering the low-temperature viscosity. However, if the ZnO content is too high, the glass tends to undergo phase separation or devitrification. Therefore, the content of ZnO is preferably 8% or less, 4% or less, 1% or less, 0.1% or less, particularly 0.01% or less.

ZrOは、ヤング率、歪点を高める成分であり、高温粘性を低下させる成分である。しかし、ZrOの含有量の含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。よって、ZrOの含有量は、好ましくは0~10%、0~5%、0~3%、0~1%未満、0~0.4%、特に0~0.1%未満である。 ZrO 2 is a component that increases Young's modulus and strain point, and is a component that decreases high-temperature viscosity. However, if the content of ZrO2 is too high, the glass tends to devitrify. Thus, the content of ZrO 2 is preferably 0-10%, 0-5%, 0-3%, 0-1%, 0-0.4%, especially 0-0.1%.

TiOは、高温粘性を低下させる成分である。しかし、TiOの含有量が多過ぎると、ガラスが着色したり、失透し易くなる。特に溶融雰囲気や原料不純物により、透過率が変動し易くなる。よって、TiOの含有量は、好ましくは0~4%、0~1%未満、0~0.1%未満、特に0~0.01%未満である。 TiO2 is a component that lowers the high temperature viscosity. However, if the content of TiO 2 is too high, the glass tends to be colored or devitrified. In particular, the transmittance tends to fluctuate due to the melting atmosphere and raw material impurities. Thus, the content of TiO 2 is preferably 0-4%, 0-1%, 0-0.1%, in particular 0-0.01%.

SnOは、清澄剤として有用な成分である。しかし、SnOの含有量が多過ぎると、SnOに起因する失透が発生したり、ガラスが着色し易くなる。よって、SnOの含有量は、好ましくは0~3%、0.01~2%、0.05~1%、特に0.1~0.5%である。 SnO2 is a component useful as a fining agent. However, if the SnO 2 content is too high, devitrification due to SnO 2 occurs and the glass tends to be colored. Thus, the SnO 2 content is preferably 0-3%, 0.01-2%, 0.05-1%, especially 0.1-0.5%.

SnO以外にも、清澄剤として、As、Sb、CeO、F、SO、Clの群から選択された一種又は二種以上を含有させてもよい。但し、環境に対する配慮から、AsとSbを添加しないことが好ましく、AsとSbの含有量は、それぞれ0.1%未満、特に0.01%未満が好ましい。CeOの含有量は、透過率を高めるために、0.1%未満、特に0.01%未満が好ましい。Fの含有量は、低温粘性の低下による応力緩和を抑制するため、0.1%未満、特に0.01%未満である。 In addition to SnO 2 , one or more selected from the group consisting of As 2 O 3 , Sb 2 O 3 , CeO 2 , F, SO 3 and Cl may be contained as a clarifier. However, considering the environment, it is preferable not to add As2O3 and Sb2O3 , and the contents of As2O3 and Sb2O3 are each less than 0.1%, particularly less than 0.01% . is preferred. The CeO 2 content is preferably less than 0.1%, especially less than 0.01%, in order to increase the transmittance. The F content is less than 0.1%, particularly less than 0.01%, in order to suppress stress relaxation due to a decrease in low-temperature viscosity.

CoO、NiO等の遷移金属酸化物は、ガラスを着色させる成分である。よって遷移金属酸化物の含有量は、好ましくは0.5%以下、0.1%以下、特に0.05%以下である。 Transition metal oxides such as CoO and NiO are components that color glass. Therefore, the transition metal oxide content is preferably 0.5% or less, 0.1% or less, and particularly 0.05% or less.

Nb、La等の希土類酸化物は、ヤング率を高める成分である。しかし、希土類酸化物の含有量が多くなると、原料コストが高騰し、耐失透性が低下し易くなる。よって、希土類酸化物の含有量は、好ましくは3%以下、2%以下、1%未満、0.5%以下、特に0.1%以下である。 Rare earth oxides such as Nb 2 O 5 and La 2 O 3 are components that increase Young's modulus. However, when the content of the rare earth oxide increases, the raw material cost rises and the devitrification resistance tends to decrease. Therefore, the content of rare earth oxides is preferably 3% or less, 2% or less, less than 1%, 0.5% or less, especially 0.1% or less.

PbOとBiの含有量は、環境に対する配慮から、それぞれ0.1%未満が好ましい。 The contents of PbO and Bi 2 O 3 are preferably less than 0.1% each in consideration of the environment.

本発明のガラス板は、以下の特性を有することが好ましい。 The glass plate of the present invention preferably has the following properties.

30~380℃における熱膨張係数は60×10-7/℃以上であり、好ましくは70×10-7/℃以上、75×10-7/℃以上、80×10-7/℃以上、85×10-7/℃以上、特に90×10-7~120×10-7/℃である。熱膨張係数が低過ぎると、ガラス板と金属枠の熱膨張差が大きくなるため、陽極接合の際に、金属枠が剥離し易くなる。特に、金属枠がAl(0~380℃における熱膨張係数:190×10-7~210×10-7/℃)からなる場合に、その傾向が大きくなる。 The thermal expansion coefficient at 30 to 380° C. is 60×10 −7 /° C. or higher, preferably 70×10 −7 /° C. or higher, 75×10 −7 /° C. or higher, 80×10 −7 /° C. or higher, 85 ×10 -7 /°C or more, particularly 90 × 10 -7 to 120 × 10 -7 /°C. If the coefficient of thermal expansion is too low, the difference in thermal expansion between the glass plate and the metal frame becomes large, and the metal frame tends to separate during anodic bonding. In particular, when the metal frame is made of Al (thermal expansion coefficient at 0 to 380° C.: 190×10 −7 to 210×10 −7 /° C.), this tendency increases.

密度は、好ましくは2.60g/cm以下、2.55g/cm以下、2.50g/cm以下、2.49g/cm以下、特に2.40~2.47g/cmである。密度が小さい程、ガラス板を軽量化することができる。なお、ガラス組成中のSiO、B、Pの含有量を増やしたり、アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、ZnO、ZrO、TiOの含有量を減らせば、密度が低下し易くなる。 The density is preferably 2.60 g/cm 3 or less, 2.55 g/cm 3 or less, 2.50 g/cm 3 or less, 2.49 g/cm 3 or less, especially 2.40 to 2.47 g/cm 3 . The lower the density, the lighter the glass sheet can be. If the contents of SiO 2 , B 2 O 3 and P 2 O 5 in the glass composition are increased, or the contents of alkali metal oxides, alkaline earth metal oxides, ZnO, ZrO 2 and TiO 2 are decreased, , the density tends to decrease.

高温粘度102.5dPa・sにおける温度は、好ましくは1650℃以下、1620℃以下、特に1400~1600℃が好ましい。高温粘度102.5dPa・sにおける温度が高過ぎると、溶融性や成形性が低下して、溶融ガラスを板状に成形し難くなる。ここで、「高温粘度102.5dPa・sにおける温度」は、例えば、白金球引き上げ法で測定可能である。 The temperature at a high temperature viscosity of 10 2.5 dPa·s is preferably 1650°C or less, 1620°C or less, particularly preferably 1400 to 1600°C. If the temperature at a high temperature viscosity of 10 2.5 dPa·s is too high, the meltability and formability will be lowered, making it difficult to form the molten glass into a plate. Here, the "temperature at a high temperature viscosity of 10 2.5 dPa·s" can be measured by, for example, a platinum ball pull-up method.

液相粘度は、好ましくは104.0dPa・s以上、104.4dPa・s以上、104.8dPa・s以上、105.0dPa・s以上、105.3dPa・s以上、105.5dPa・s以上、105.7dPa・s以上、105.8dPa・s以上、特に106.0dPa・s以上である。なお、液相粘度が高い程、耐失透性が向上し、成形時に失透ブツが発生し難くなる。ここで、「液相粘度」とは、液相温度における粘度を白金球引き上げ法で測定した値を指す。「液相温度」とは、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れて、温度勾配炉中に24時間保持した後、白金ボートを取り出し、顕微鏡観察により、ガラス内部に失透(失透ブツ)が認められた最も高い温度とする。 Liquidus viscosity is preferably 10 4.0 dPa·s or more, 10 4.4 dPa·s or more, 10 4.8 dPa·s or more, 10 5.0 dPa·s or more, 10 5.3 dPa·s 10 5.5 dPa·s or more, 10 5.7 dPa·s or more, 10 5.8 dPa·s or more, and particularly 10 6.0 dPa·s or more. Incidentally, the higher the liquidus viscosity is, the more the devitrification resistance is improved, and the more difficult it is for devitrification lumps to occur during molding. Here, the "liquidus viscosity" refers to a value obtained by measuring the viscosity at the liquidus temperature by the platinum ball pull-up method. The "liquidus temperature" refers to the glass powder that passes through a 30-mesh (500 µm) standard sieve and remains on the 50-mesh (300 µm) in a platinum boat, held in a temperature gradient furnace for 24 hours, and then removed from the platinum boat. , the highest temperature at which devitrification (devitrification lumps) was observed inside the glass by microscopic observation.

本発明のガラス板は、少なくとも一方の表面上に金属枠を有することが好ましく、一方の表面上のみに金属枠を有することが更に好ましい。また金属枠の平均高さは、波長変換パッケージの小型化、波長変換効率の観点から、好ましくは10μm以上、20μm以上、特に30μm以上であり、また500μm以下、300μm以下、100μm以下、特に50μm以下である。更に金属枠の形状は、厚み方向の平面視で額縁形状であることが好ましい。このようにすれば、ガラス板と金属枠で囲まれる空間内に、分散媒中に分散された蛍光体を収容し易くなる。 The glass plate of the present invention preferably has a metal frame on at least one surface, and more preferably has a metal frame only on one surface. The average height of the metal frame is preferably 10 μm or more, 20 μm or more, particularly 30 μm or more, and 500 μm or less, 300 μm or less, 100 μm or less, particularly 50 μm or less, from the viewpoint of miniaturization of the wavelength conversion package and wavelength conversion efficiency. is. Furthermore, the shape of the metal frame is preferably a frame shape when viewed from above in the thickness direction. By doing so, it becomes easier to accommodate the phosphor dispersed in the dispersion medium in the space surrounded by the glass plate and the metal frame.

金属枠を構成する金属としては、例えば、Al、Si、Fe、Ti、Ni、Cr、又はCuが挙げられる。その中でも、Alは、高反射率であり、励起光や波長変換光が枠外に漏れ難いため、最も好ましい。上記金属は、単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。また、上記金属を2種以上含む合金であってもよい。 Examples of metals forming the metal frame include Al, Si, Fe, Ti, Ni, Cr, and Cu. Among them, Al is most preferable because it has a high reflectance and makes it difficult for excitation light and wavelength-converted light to leak out of the frame. The above metals may be used singly or in combination. Also, an alloy containing two or more of the above metals may be used.

本発明のガラス板は、金属枠内に、分散媒中に分散された蛍光体を収容していることが好ましい。このようにすれば、波長変換パッケージに適用し易くなる。 The glass plate of the present invention preferably contains a phosphor dispersed in a dispersion medium in a metal frame. In this way, it becomes easy to apply to a wavelength conversion package.

蛍光体としては、例えば、量子ドット蛍光体を用いることができる。量子ドット蛍光体としては、II-VI族化合物、及びIII-V族化合物が挙げられる。II-VI族化合物としては、CdS、CdSe、CdTe、ZnS、ZnSe、ZnTeなどが挙げられる。III-V族化合物としては、InP、GaN、GaAs、GaP、AlN、AlP、AlSb、InN、InAs又はInSbなどが挙げられる。これらの化合物から選択される少なくとも1種、またはこれら2種以上の複合体を量子ドットとして用いることができる。複合体としては、コアシェル構造のものが挙げられ、例えばCdSe粒子表面がZnSによりコーティングされたコアシェル構造のものが挙げられる。 For example, a quantum dot phosphor can be used as the phosphor. Quantum dot phosphors include Group II-VI compounds and Group III-V compounds. Group II-VI compounds include CdS, CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, and the like. Group III-V compounds include InP, GaN, GaAs, GaP, AlN, AlP, AlSb, InN, InAs or InSb. At least one selected from these compounds, or a composite of two or more thereof can be used as quantum dots. The composite includes a core-shell structure, for example, a core-shell structure in which the surface of CdSe particles is coated with ZnS.

蛍光体は、量子ドット蛍光体に限定されるものではなく、例えば、酸化物蛍光体、窒化物蛍光体、酸窒化物蛍光体、塩化物蛍光体、酸塩化物蛍光体、硫化物蛍光体、酸硫化物蛍光体、ハロゲン化物蛍光体、カルコゲン化物蛍光体、アルミン酸塩蛍光体、ハロリン酸塩化物蛍光体又はガーネット系化合物蛍光体などの無機蛍光体粒子などを用いてもよい。 Phosphors are not limited to quantum dot phosphors, for example, oxide phosphors, nitride phosphors, oxynitride phosphors, chloride phosphors, acid chloride phosphors, sulfide phosphors, Inorganic phosphor particles such as oxysulfide phosphors, halide phosphors, chalcogenide phosphors, aluminate phosphors, halophosphate phosphors, and garnet compound phosphors may also be used.

分散媒としては、樹脂又は低融点ガラスが好ましい。樹脂としては、例えば、透光性を有する紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂などの硬化性樹脂が用いられる。具体的には、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂等を用いることができる。なお、分散媒として樹脂を用いると、陽極接合の際に、樹脂硬化を行うこともでき、その場合、波長変換パッケージの製造効率や寸法精度を高めることができる。 Resin or low-melting glass is preferable as the dispersion medium. As the resin, for example, a curable resin having translucency such as an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin is used. Specifically, for example, epoxy-based resin, acrylic-based resin, silicone-based resin, or the like can be used. If a resin is used as the dispersion medium, the resin can be cured during the anodic bonding. In this case, the manufacturing efficiency and dimensional accuracy of the wavelength conversion package can be improved.

低融点ガラスとしては、例えば、ホウ珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラス、スズリン酸塩系ガラス、ビスマス酸塩系ガラス等を用いることができる。ホウ珪酸塩系ガラスとしては、ガラス組成として、質量%で、SiO 30~85%、Al 0~30%、B 0~50%、LiO+NaO+KO 0~10%、及びMgO+CaO+SrO+BaO 0~50%を含有するものが挙げられる。スズリン酸塩系ガラスとしては、ガラス組成として、モル%で、SnO 30~90%、P 1~70%を含有するものが挙げられる。 As the low-melting-point glass, for example, borosilicate-based glass, phosphate-based glass, stannate-based glass, bismuthate-based glass, or the like can be used. The borosilicate glass has a glass composition of SiO 2 30 to 85%, Al 2 O 3 0 to 30%, B 2 O 3 0 to 50% , Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 0 to 0. 10%, and MgO+CaO+SrO+BaO 0-50%. As the stannous phosphate-based glass, a glass composition containing 30 to 90% SnO and 1 to 70% P 2 O 5 in terms of mol % can be mentioned.

本発明のガラス板を製造する方法は、例えば、以下の通りである。まず所望のガラス組成になるように調合したガラス原料を連続溶融炉に投入して、1500~1650℃で加熱溶融し、清澄した後、溶融ガラスを成形装置に供給した上で板状に成形し、冷却することが好ましい。板状に成形した後に、所定寸法に切断加工する方法は、周知の方法を採用することができる。 A method for manufacturing the glass plate of the present invention is, for example, as follows. First, glass raw materials prepared so as to have a desired glass composition are put into a continuous melting furnace, heated and melted at 1500 to 1650° C., clarified, and then the molten glass is supplied to a forming apparatus and formed into a plate shape. , preferably cooled. A well-known method can be adopted as a method of cutting into a predetermined size after molding into a plate shape.

溶融ガラスを板状に成形する方法として、オーバーフローダウンドロー法を採用することが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、高品位なガラス板を大量に作製し得ると共に、大型のガラス板も容易に作製し得る方法である。更に、オーバーフローダウンドロー法では、成形体耐火物として、アルミナ系耐火物やジルコニア系耐火物が使用される。 As a method for forming the molten glass into a plate shape, it is preferable to employ an overflow down-draw method. The overflow down-draw method is a method by which high-quality glass sheets can be produced in large quantities and large-sized glass sheets can also be produced easily. Furthermore, in the overflow down-draw method, an alumina-based refractory or a zirconia-based refractory is used as the compact refractory.

オーバーフローダウンドロー法以外にも、種々の成形方法を採用することができる。例えば、フロート法、ダウンドロー法(スロットダウンドロー法、リドロー法等)、ロールアウト法、プレス法等の成形方法を採用することができる。 Various molding methods can be employed other than the overflow downdraw method. For example, molding methods such as a float method, a down-draw method (slot down-draw method, redraw method, etc.), a roll-out method, and a press method can be employed.

続いて、必要に応じて、ガラス板の表面に金属枠を形成する。金属枠を形成する方法としては、例えば、CVD法、スパッタリング法、真空蒸着法、金属ペーストを焼結させる方法等を採用することができる。 Subsequently, if necessary, a metal frame is formed on the surface of the glass plate. As a method of forming the metal frame, for example, a CVD method, a sputtering method, a vacuum deposition method, a method of sintering a metal paste, or the like can be adopted.

本発明の波長変換パッケージは、第一のガラス板と第二のガラス板が、金属枠を介して陽極接合された波長変換パッケージであって、第一のガラス板が、上記のガラス板であり、第一のガラス板、第二のガラス板及び金属枠で囲まれた空間内に、分散媒中に分散された蛍光体が収容されており、且つ該蛍光体が、励起光の入射により励起して蛍光を出射することを特徴とする。また、本発明の波長変換パッケージにおいて、第二のガラス板も、上記のガラス板であることが好ましい。なお、本発明の波長変換パッケージの技術的特徴は、本発明のガラス板の説明欄に既に記載済みであるため、ここでは、詳細な記載を省略する。 A wavelength conversion package of the present invention is a wavelength conversion package in which a first glass plate and a second glass plate are anodically bonded via a metal frame, and the first glass plate is the above glass plate. , a phosphor dispersed in a dispersion medium is accommodated in a space surrounded by the first glass plate, the second glass plate, and the metal frame, and the phosphor is excited by incidence of excitation light and emits fluorescence. Moreover, the wavelength conversion package of this invention WHEREIN: It is preferable that a 2nd glass plate is also said glass plate. Since the technical features of the wavelength conversion package of the present invention have already been described in the description of the glass plate of the present invention, detailed description thereof will be omitted here.

図2は、陽極接合の一例を説明するための断面概念図である。まず、第一のガラス板20を用意した後、第一のガラス板20の一方の表面上に金属枠21を形成する。次に、金属枠21内に、分散媒中に分散された蛍光体(図示していない)を収容した後、金属枠21の上に、第二のガラス板22を配置する。更に、第一のガラス板20の下方に、一方の表面上に電極膜23が設けられた第三のガラス板24を、電極膜23が外側になるように配置すると共に、第二のガラス板22の上方に、一方の表面上に電極膜25が設けられた第四のガラス板26を、電極膜25が外側になるように配置する。そして、金属枠21と電極膜23、25との間に電圧を印加する。具体的には、金属枠21にプラスの電圧を印加すると共に、電極膜23、25にマイナスの電圧を印加する。その結果、第一のガラス板20の金属枠21とは反対側の表面と、第二のガラス板22の金属枠21とは反対側の表面とのそれぞれにマイナスの電圧が印加される。これにより、金属枠21と第二のガラス板22とが陽極接合される。 FIG. 2 is a conceptual cross-sectional view for explaining an example of anodic bonding. First, after preparing the first glass plate 20 , the metal frame 21 is formed on one surface of the first glass plate 20 . Next, after a phosphor (not shown) dispersed in a dispersion medium is placed in the metal frame 21 , the second glass plate 22 is placed on the metal frame 21 . Furthermore, under the first glass plate 20, a third glass plate 24 having an electrode film 23 provided on one surface thereof is arranged so that the electrode film 23 faces outward, and the second glass plate Above 22, a fourth glass plate 26 provided with an electrode film 25 on one surface is placed with the electrode film 25 on the outside. A voltage is applied between the metal frame 21 and the electrode films 23 and 25 . Specifically, a positive voltage is applied to the metal frame 21 and a negative voltage is applied to the electrode films 23 and 25 . As a result, a negative voltage is applied to the surface of the first glass plate 20 opposite to the metal frame 21 and the surface of the second glass plate 22 opposite to the metal frame 21 . Thereby, the metal frame 21 and the second glass plate 22 are anodically bonded.

なお、本発明のガラス板は、図2で示される第三のガラス板24、第四のガラス板26にも好適に使用することができる。この場合、本発明のガラス板は、少なくとも一方の表面上に電極膜を有することが好ましく、該電極膜は、Al、Si、Fe、Ti、Ni、Cr及びCuからなる群から選択される少なくとも1種からなることが好ましい。 The glass plate of the present invention can also be suitably used for the third glass plate 24 and the fourth glass plate 26 shown in FIG. In this case, the glass plate of the present invention preferably has an electrode film on at least one surface, and the electrode film is at least one selected from the group consisting of Al, Si, Fe, Ti, Ni, Cr and Cu. It is preferably composed of one kind.

以下、本発明を実施例に基づいて説明する。なお、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。 EXAMPLES The present invention will be described below based on examples. It should be noted that the following examples are merely illustrative. The present invention is by no means limited to the following examples.

表1は、本発明の実施例(試料No.1~12)と比較例(試料No.13、14)を示している。なお、表中で、「n.a.」は、未測定を意味する。 Table 1 shows examples of the present invention (samples Nos. 1 to 12) and comparative examples (samples Nos. 13 and 14). In the table, "na" means unmeasured.

Figure 0007280546000001
次のようにして表中の各試料を作製した。まず表中のガラス組成になるように、ガラス原料を調合し、白金ポットを用いて1650℃で21時間溶融した。続いて、得られた溶融ガラスをカーボン板の上に流し出して、板状に成形した後、徐冷点から歪点の間の温度域を3℃/分で冷却し、ガラス板を得た。得られたガラス板について、板厚が0.8mmになるように表面を光学研磨した後、種々の特性を評価した。
Figure 0007280546000001
Each sample in the table was prepared as follows. First, glass raw materials were prepared so as to have the glass composition shown in the table, and melted at 1650° C. for 21 hours using a platinum pot. Subsequently, the obtained molten glass was poured onto a carbon plate and formed into a plate shape, and then the temperature range between the annealing point and the strain point was cooled at 3°C/min to obtain a glass plate. . After the surface of the obtained glass plate was optically polished so as to have a plate thickness of 0.8 mm, various properties were evaluated.

熱膨張係数は、30~380℃の温度範囲において、ディラトメーターで測定した平均値である。 The coefficient of thermal expansion is the average value measured with a dilatometer in the temperature range of 30 to 380°C.

密度は、周知のアルキメデス法によって測定した値である。 Density is a value measured by the well-known Archimedes method.

歪点は、ASTM C336の方法によって測定した値である。 A strain point is a value measured by the method of ASTM C336.

高温粘度104.5dPa・s、104.0dPa・s、103.0dPa・s、102.5dPa・sにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。 The temperatures at high-temperature viscosities of 10 4.5 dPa·s, 10 4.0 dPa·s, 10 3.0 dPa·s, and 10 2.5 dPa·s are values measured by the platinum ball pull-up method.

次のようにして、波長変換パッケージを作製した。下記に示す通り、各波長変換パッケージの作製過程では、4枚のガラス板を使用しているが、それらのガラス板は同じものである。つまりNo.1に係る波長変換パッケージには、No.1に係るガラス板だけが使用されている(試料No.2~14に係る波長変換パッケージについても同様)。 A wavelength conversion package was produced as follows. As shown below, four glass plates are used in the manufacturing process of each wavelength conversion package, and these glass plates are the same. In other words, No. In the wavelength conversion package according to No. 1, No. Only the glass plate according to Sample No. 1 is used (the same applies to the wavelength conversion packages according to Sample Nos. 2 to 14).

詳述すると、各試料に係るガラス板の一方の表面上に、厚み方向の平面視で額縁形状を有し、Alからなる金属枠を形成した後、ガラス板と金属枠で囲まれた空間内に、分散媒中に分散された蛍光体を収容し、複合構造体を得た。その後、同寸法の各試料に係るガラス板を用意し、複合構図体の金属枠の上に重なるように配置した。更に、一方の表面上にAl電極膜が設けられた各試料に係るガラス板を2枚用意し、そのAl電極膜が外側になるように、その複合構造体の主表面上にそれぞれに配置した(図2参照)。続いて、金属枠にプラスの電圧を印加すると共に、2つの電極膜それぞれにマイナスの電圧を印加して、ガラス板同士が陽極接合された各種波長変換パッケージを得た。各種波長変換パッケージを顕微鏡で観察して、金属枠の剥離が発生していないものを「○」、金属枠の剥離が発生したものを「×」として評価した。なお、陽極接合に際し、加熱温度を150℃、印加電圧を500Vとした。 More specifically, after forming a metal frame made of Al and having a frame shape in plan view in the thickness direction on one surface of the glass plate of each sample, a space surrounded by the glass plate and the metal frame was formed. Then, the phosphor dispersed in the dispersion medium was accommodated to obtain a composite structure. After that, a glass plate of the same size was prepared for each sample and placed so as to overlap the metal frame of the composite composition. Further, two glass plates for each sample having an Al electrode film provided on one surface were prepared and placed on the main surface of the composite structure so that the Al electrode film was on the outside. (See Figure 2). Subsequently, a positive voltage was applied to the metal frame and a negative voltage was applied to each of the two electrode films to obtain various wavelength conversion packages in which the glass plates were anodically bonded to each other. Various wavelength conversion packages were observed with a microscope, and evaluated as "good" when the metal frame was not peeled off, and as "poor" when the metal frame was peeled off. In the anodic bonding, the heating temperature was set to 150° C. and the applied voltage was set to 500V.

続いて、得られた波長変換パッケージについて、高温高湿高圧試験を行った。詳述すると、得られた波長変換パッケージに対して、高温高湿高圧試験(温度121℃、相対湿度100%、2気圧、24時間)を行った後、波長変換パッケージ内を観察し、水が浸入していないものを「○」、水が浸入したものを「×」として評価した。 Subsequently, a high-temperature, high-humidity, high-pressure test was performed on the obtained wavelength conversion package. Specifically, the obtained wavelength conversion package was subjected to a high-temperature, high-humidity and high-pressure test (temperature: 121°C, relative humidity: 100%, 2 atmospheres, 24 hours), and then the inside of the wavelength conversion package was observed. A sample with no infiltration was evaluated as “◯”, and a sample with water infiltration was evaluated as “x”.

表1から分かるように、試料No.1~12に係る波長変換パッケージは、気密信頼性(金属剥離、高温高湿高圧試験)の評価が良好であった。一方、試料No.13に係る波長変換パッケージは、熱膨張係数が低いため、金属剥離の評価が不良であった。また、試料No.14に係る波長変換パッケージは、ガラス組成中のAlの含有量が少ないため、陽極結合が不十分になり、高温高湿高圧試験の評価が不良であった。 As can be seen from Table 1, sample no. The wavelength conversion packages according to Nos. 1 to 12 had good evaluations of hermetic reliability (metal peeling, high temperature, high humidity, high pressure test). On the other hand, sample no. Since the wavelength conversion package according to No. 13 has a low coefficient of thermal expansion, the evaluation of metal peeling was poor. Moreover, sample no. In the wavelength conversion package according to No. 14, since the content of Al 2 O 3 in the glass composition was small, the anodic bonding was insufficient, and the evaluation in the high-temperature, high-humidity, high-pressure test was unsatisfactory.

本発明のガラス板は、量子ドット蛍光体等を含む波長変換パッケージを陽極接合で作製する用途に好適であるが、それ以外にも、MEMS(微小電気機械システム)素子を収容する気密パッケージを陽極接合で作製する用途にも好適である。 The glass plate of the present invention is suitable for use in producing wavelength conversion packages containing quantum dot phosphors and the like by anodic bonding. It is also suitable for applications that are produced by bonding.

1 波長変換パッケージ
10、20 第一のガラス板
11、22 第二のガラス板
12、21 金属枠
13 分散媒中に分散された蛍光体
23、25 電極膜
1 Wavelength conversion packages 10, 20 First glass plates 11, 22 Second glass plates 12, 21 Metal frame 13 Phosphors 23, 25 dispersed in dispersion medium Electrode film

Claims (10)

ガラス組成として、質量%で、SiO 60~75%、Al 16.5~30%、Na16.5~25%、MgO、CaO、SrO及びBaOの合量 0~2%を含有し、30~380℃における熱膨張係数が75×10-7/℃以上であり、且つ陽極接合に用いることを特徴とするガラス板。 As a glass composition, in mass %, SiO 2 60 to 75%, Al 2 O 3 16.5 to 30%, Na 2 O 16.5 to 25%, MgO, CaO, SrO and BaO total 0 to 2% and has a thermal expansion coefficient of 75×10 −7 /° C. or more at 30 to 380° C., and is used for anodic bonding. ガラス組成として、質量%で、SiO 6075%、Al 16.5~30%、Na16.6~20%、MgO、CaO、SrO及びBaOの合量 0~2%を含有することを特徴とする請求項1に記載のガラス板。 As the glass composition, in mass %, SiO 2 60 to 75 %, Al 2 O 3 16.5 to 30%, Na 2 O 16.6 to 20%, MgO, CaO, SrO and BaO total 0 to 2% The glass plate according to claim 1, comprising: ガラス組成として、質量%で、SiO As a glass composition, in mass%, SiO 2 61.3~75%、Al 61.3-75%, Al 2 O. 3 16.5~30%、Na 16.5-30% Na 2 O 16.5~20%、MgO、CaO、SrO及びBaOの合量 0~2%を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス板。3. The glass plate according to claim 1, comprising 16.5 to 20% O and 0 to 2% total of MgO, CaO, SrO and BaO. 少なくとも一方の表面上に金属枠を有することを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載のガラス板。 The glass plate according to any one of claims 1 to 3, characterized by having a metal frame on at least one surface. 金属枠が、Al、Si、Fe、Ti、Ni、Cr及びCuからなる群から選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項4に記載のガラス板。 5. The glass plate according to claim 4, wherein the metal frame is made of at least one selected from the group consisting of Al, Si, Fe, Ti, Ni, Cr and Cu. 金属枠内に、分散媒中に分散された蛍光体を収容していることを特徴とする請求項4又は5に記載のガラス板。 6. The glass plate according to claim 4, wherein the metal frame accommodates phosphor dispersed in a dispersion medium. 少なくとも一方の表面上に電極膜を有することを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載のガラス板。 4. The glass plate according to any one of claims 1 to 3, comprising an electrode film on at least one surface. 電極膜が、Al、Si、Fe、Ti、Ni、Cr及びCuからなる群から選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項7に記載のガラス板。 8. The glass plate according to claim 7, wherein the electrode film is made of at least one selected from the group consisting of Al, Si, Fe, Ti, Ni, Cr and Cu. 第一のガラス板と第二のガラス板が、金属枠を介して陽極接合された波長変換パッケージであって、
第一のガラス板が、請求項1~5の何れか一項に記載のガラス板であり、
第一のガラス板、第二のガラス板及び金属枠で囲まれた空間内に、分散媒中に分散された蛍光体が収容されており、且つ該蛍光体が、励起光の入射により励起して蛍光を出射することを特徴とする波長変換パッケージ。
A wavelength conversion package in which the first glass plate and the second glass plate are anodically bonded via a metal frame,
The first glass plate is the glass plate according to any one of claims 1 to 5,
A space surrounded by the first glass plate, the second glass plate, and the metal frame contains a phosphor dispersed in a dispersion medium, and the phosphor is excited by incidence of excitation light. A wavelength conversion package, characterized in that it emits fluorescence through a light source.
第二のガラス板が、請求項1~5の何れか一項に記載のガラス板であることを特徴とする請求項9に記載の波長変換パッケージ。 10. The wavelength conversion package according to claim 9, wherein the second glass plate is the glass plate according to any one of claims 1 to 5.
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