JP6331076B2 - Glass film and composite substrate using the same - Google Patents

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Description

本発明は、ガラスフィルム及びこれを用いた複合基板に関し、具体的には、光散乱機能を有する分相性ガラスフィルム及びこれを用いた複合基板に関する。   The present invention relates to a glass film and a composite substrate using the same, and specifically to a phase separation glass film having a light scattering function and a composite substrate using the same.

近年、家電製品の普及、大型化、多機能化等の理由から、家庭等の生活空間で消費されるエネルギーが増えている。特に、照明機器のエネルギー消費が多くなっている。このため、高効率の照明が活発に検討されている。   In recent years, energy consumed in living spaces such as homes has increased due to the widespread use, increase in size, and multifunctionality of home appliances. In particular, the energy consumption of lighting equipment is increasing. For this reason, highly efficient illumination is actively studied.

照明用光源は、限られた範囲を照らす「指向性光源」と、広範囲を照らす「拡散光源」とに分けられる。LED照明は、「指向性光源」に相当し、白熱球の代替として採用されつつある。その一方で、「拡散光源」に相当する蛍光灯の代替光源が望まれており、その候補として、有機EL(エレクトロルミネッセンス)照明が有力である。   Illumination light sources are classified into “directional light sources” that illuminate a limited range and “diffuse light sources” that illuminate a wide range. LED lighting corresponds to a “directional light source” and is being adopted as an alternative to an incandescent bulb. On the other hand, an alternative light source for a fluorescent lamp corresponding to a “diffusion light source” is desired, and organic EL (electroluminescence) illumination is a promising candidate.

有機EL素子は、基板と、陽極である透明導電膜と、電流の注入によって発光するエレクトロルミネッセンスを呈する有機化合物からなる一層又は複数層の発光層を含む有機EL層と、陰極とを備えた素子である。有機EL素子に用いられる有機EL層として、低分子色素系材料、共役高分子系材料等が用いられており、発光層を形成する場合、ホール注入層、ホール輸送層、電子輸送層、電子注入層等との積層構造が形成される。このような積層構造を有する有機EL層を、陽極と陰極の間に配置し、陽極と陰極に電界を印加することにより、陽極である透明電極から注入された正孔と、陰極から注入された電子とが、発光層内で再結合し、その再結合エネルギーによって発光中心が励起されて、発光する。   An organic EL element includes a substrate, a transparent conductive film as an anode, an organic EL layer including an organic compound that exhibits electroluminescence that emits light by current injection, or a plurality of light-emitting layers, and a cathode. It is. As the organic EL layer used in the organic EL element, a low molecular dye material, a conjugated polymer material or the like is used. When forming a light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection A laminated structure with layers and the like is formed. An organic EL layer having such a laminated structure is disposed between the anode and the cathode, and by applying an electric field to the anode and the cathode, holes injected from the transparent electrode that is the anode and those injected from the cathode The electrons recombine in the light emitting layer, and the emission center is excited by the recombination energy to emit light.

有機EL素子は、携帯電話、ディスプレイ用途として検討が進められており、一部では既に実用化されている。また、有機EL素子は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等の薄型テレビと同等の発光効率を有している。   Organic EL elements have been studied for use in mobile phones and displays, and some have already been put into practical use. In addition, the organic EL element has a luminous efficiency equivalent to that of a thin television such as a liquid crystal display or a plasma display.

しかし、有機EL素子を照明用光源に適用するためには、輝度が未だ実用レベルに到達しておらず、更なる発光効率の改善が必要である。   However, in order to apply the organic EL element to the light source for illumination, the luminance has not yet reached the practical level, and further improvement of the light emission efficiency is necessary.

特開2012−25634号公報JP 2012-25634 A

上記問題を解決するために、基板としてガラス基板を用いると共に、そのガラス基板と透明導電膜等との間に、光取り出し層を形成することが検討されている。例えば、特許文献1には、ソーダガラス基板の表面に、高屈折率のガラスフリットを焼結させた光取り出し層を形成すると共に、光取り出し層内に散乱物質を分散させることにより、光取り出し効率を高めることが記載されている。   In order to solve the above problems, it has been studied to use a glass substrate as a substrate and to form a light extraction layer between the glass substrate and a transparent conductive film. For example, in Patent Document 1, a light extraction layer in which a glass frit having a high refractive index is sintered is formed on the surface of a soda glass substrate, and a scattering substance is dispersed in the light extraction layer, whereby light extraction efficiency is obtained. It is described to increase.

しかし、ガラス基板の表面に光取り出し層を形成するためには、ガラス基板の表面にガラスペーストを塗布する印刷工程が必要になり、この工程は生産コストの高騰を招く。また、ガラスフリット中に散乱粒子を分散させる場合、散乱粒子自体の吸収により、光取り出し層の透過率が低下してしまう。更に、特許文献1に記載のガラスフリットは、Nb等のレアメタル酸化物を多量に含むため、原料コストが高価である。 However, in order to form the light extraction layer on the surface of the glass substrate, a printing process for applying a glass paste to the surface of the glass substrate is required, and this process causes an increase in production cost. In addition, when scattering particles are dispersed in the glass frit, the transmittance of the light extraction layer is lowered due to absorption of the scattering particles themselves. Furthermore, since the glass frit described in Patent Document 1 contains a large amount of rare metal oxide such as Nb 2 O 5 , the raw material cost is high.

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その技術的課題は、ガラス基板上に焼結体からなる光取り出し層を形成しなくても、有機EL素子の光取り出し効率の向上に資する基板材料を創案することである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and its technical problem contributes to the improvement of the light extraction efficiency of an organic EL element without forming a light extraction layer made of a sintered body on a glass substrate. The idea is to create a substrate material.

本発明者は、鋭意検討の結果、光散乱機能を有するガラスフィルムを用いることにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として提案するものである。すなわち、本発明のガラスフィルムは、厚みが5〜500μmであって、少なくとも第一の相と第二の相を含む分相構造を有することを特徴とする。ここで、「分相構造」の各相は、例えば、1Mの塩酸溶液に10分間浸漬させた後の試料表面を走査型電子顕微鏡で観察することで詳細に確認することができる。なお、本発明のガラスフィルムは、基板材料として用いてもよいが、光取り出し層の代替として、基板に接合するための材料として用いてもよい。   As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above technical problem can be solved by using a glass film having a light scattering function, and propose the present invention. That is, the glass film of the present invention has a thickness of 5 to 500 μm and has a phase separation structure including at least a first phase and a second phase. Here, each phase of the “phase separation structure” can be confirmed in detail by, for example, observing the surface of the sample after being immersed in a 1M hydrochloric acid solution for 10 minutes with a scanning electron microscope. The glass film of the present invention may be used as a substrate material, but may be used as a material for bonding to a substrate as an alternative to the light extraction layer.

本発明のガラスフィルムは、厚みが5〜500μmである。このようにすれば、光散乱機能と高透過率を両立し易くなる。   The glass film of the present invention has a thickness of 5 to 500 μm. If it does in this way, it will become easy to make a light-scattering function and high transmittance compatible.

本発明のガラスフィルムは、少なくとも第一の相と第二の相を含む分相構造を有する。このようにすれば、有機ELデバイスに適用した場合に、有機EL層からガラスフィルムへ入射した光が、第一の相と第二の相の界面で散乱し、有機EL素子の光取り出し効率を高めることができる。   The glass film of the present invention has a phase separation structure including at least a first phase and a second phase. In this way, when applied to an organic EL device, light incident on the glass film from the organic EL layer is scattered at the interface between the first phase and the second phase, and the light extraction efficiency of the organic EL element is increased. Can be increased.

第二に、本発明のガラスフィルムは、波長400〜700nmにおいてヘーズ値が5%以上の波長を有することが好ましい。このようにすれば、有機ELデバイスに適用した場合に、有機EL層からガラスフィルムへ入射した光が、第一の相と第二の相の界面で散乱し、有機EL素子の光取り出し効率を高めることができる。ここで、「ヘーズ値」は、[(拡散透過率)×100]/(全光線透過率)で算出される値である。「拡散透過率」は、分光光度計(例えば、島津製作所製UV−2500PC)により厚み方向で測定した値であり、例えば、両表面が鏡面研磨されたガラスフィルムを測定試料とすることができる。「全光線透過率」は、分光光度計(例えば、島津製作所製UV−2500PC)により厚み方向で測定した値であり、例えば、両表面が鏡面研磨されたガラスフィルムを測定試料とすることができる。   Secondly, the glass film of the present invention preferably has a wavelength having a haze value of 5% or more at a wavelength of 400 to 700 nm. In this way, when applied to an organic EL device, light incident on the glass film from the organic EL layer is scattered at the interface between the first phase and the second phase, and the light extraction efficiency of the organic EL element is increased. Can be increased. Here, the “haze value” is a value calculated by [(diffuse transmittance) × 100] / (total light transmittance). “Diffusion transmittance” is a value measured in the thickness direction with a spectrophotometer (for example, UV-2500PC manufactured by Shimadzu Corporation). For example, a glass film having both surfaces mirror-polished can be used as a measurement sample. “Total light transmittance” is a value measured in the thickness direction with a spectrophotometer (for example, UV-2500PC manufactured by Shimadzu Corporation). For example, a glass film having both surfaces mirror-polished can be used as a measurement sample. .

第三に、本発明のガラスフィルムは、波長400〜700nmにおける全光線透過率が20%以上であることが好ましい。分相性を高めると光散乱機能が向上するが、光散乱機能が高過ぎると、ガラスフィルム中の光が空気中に取り出されず、有機EL素子の光取り出し効率が低下し易くなる。そこで、上記のように全光線透過率を規制すれば、光取り出し効率の不当な低下を防止することができる。   Third, the glass film of the present invention preferably has a total light transmittance of 20% or more at a wavelength of 400 to 700 nm. Increasing the phase separation improves the light scattering function, but if the light scattering function is too high, the light in the glass film is not extracted into the air, and the light extraction efficiency of the organic EL element tends to decrease. Therefore, if the total light transmittance is regulated as described above, an undue decrease in light extraction efficiency can be prevented.

第四に、本発明のガラスフィルムは、屈折率nが1.50超であることが好ましい。輝度低下の原因の一つとして、屈折率の不整合が挙げられる。例えば、透明導電膜の屈折率nは1.9〜2.0であり、有機EL層の屈折率nは1.8〜1.9である。これに対して、ガラスの屈折率nは、通常、1.50程度である。よって、従来の有機ELデバイスは、ガラスと透明導電膜等の屈折率差が大きいことに起因して、有機EL層から入射した光がガラスと透明導電膜等の界面で反射し、光取り出し効率が低下するという問題があった。そこで、上記のようにガラスフィルムの屈折率nを規制すれば、ガラスフィルムと透明導電膜等の屈折率差が小さくなり、有機EL層から入射した光がガラスフィルムと透明導電膜等の界面で反射し難くなる。ここで、「屈折率n」は、屈折率測定器(例えば、島津製作所製の屈折率測定器KPR−2000)で測定したd線の値を指す。 Fourth, the glass film of the present invention, it preferably has a refractive index n d is 1.50 greater. One cause of the decrease in luminance is a mismatch in refractive index. For example, the refractive index n d of the transparent conductive film is 1.9 to 2.0, the refractive index n d of the organic EL layer is 1.8 to 1.9. In contrast, the refractive index n d of the glass, usually about 1.50. Therefore, in the conventional organic EL device, light incident from the organic EL layer is reflected at the interface between the glass and the transparent conductive film due to a large difference in the refractive index between the glass and the transparent conductive film. There was a problem that decreased. Therefore, if regulating the refractive index n d of the glass film as described above, the refractive index difference of such glass film and the transparent conductive film is reduced, the light incident from the organic EL layer, such as a glass film and a transparent conductive film interface It becomes difficult to reflect. Here, “refractive index n d ” refers to the value of the d-line measured with a refractive index measuring device (for example, a refractive index measuring device KPR-2000 manufactured by Shimadzu Corporation).

第五に、本発明のガラスフィルムは、ガラス組成として、質量%で、SiO 30〜75%、B 0.1〜50%、Al 0〜35%を含有することが好ましい。このようにすれば、分相性、耐失透性を高め易くなる。 Fifth, the glass film of the present invention contains, as a glass composition, by mass%, SiO 2 30 to 75%, B 2 O 3 0.1 to 50%, Al 2 O 3 0 to 35%. preferable. If it does in this way, it will become easy to improve phase separation and devitrification resistance.

第六に、本発明のガラスフィルムは、ガラス組成中に、実質的にレアメタル酸化物を含まないことが好ましい。ここで、本発明でいう「レアメタル酸化物」は、La、Nd、Gd、CeO等の希土類酸化物、Y、Nb、Taを指す。また、「実質的にレアメタル酸化物を含まない」とは、ガラス組成中のレアメタル酸化物の含有量が0.1質量%以下の場合を指す。 Sixth, it is preferable that the glass film of this invention does not contain a rare metal oxide substantially in a glass composition. Here, the “rare metal oxide” referred to in the present invention is a rare earth oxide such as La 2 O 3 , Nd 2 O 3 , Gd 2 O 3 , CeO 2 , Y 2 O 3 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O. 5 points. Further, “substantially no rare metal oxide” means that the content of the rare metal oxide in the glass composition is 0.1% by mass or less.

第七に、本発明のガラスフィルムは、有機ELデバイス、特に有機EL照明に用いることが好ましい。ここで、「有機ELデバイス」には、有機EL照明のみならず、有機ELディスプレイ等が含まれる。   Seventh, the glass film of the present invention is preferably used for organic EL devices, particularly organic EL lighting. Here, the “organic EL device” includes not only organic EL illumination but also an organic EL display.

第八に、本発明の複合基板は、ガラスフィルムと基板を接合した複合基板であって、ガラスフィルムが、上記のガラスフィルムであることが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルムが光散乱性フィルムとして機能するため、基板と複合化するだけで、有機EL素子の光取り出し効率を高めることができる。更に、ガラスフィルムと基板を接合し、ガラスフィルムを空気と接する側に配置すると、複合基板の耐傷性を高めることができる。   Eighth, the composite substrate of the present invention is a composite substrate obtained by bonding a glass film and a substrate, and the glass film is preferably the above glass film. If it does in this way, since a glass film functions as a light-scattering film, the light extraction efficiency of an organic EL element can be improved only by compounding with a substrate. Furthermore, when the glass film and the substrate are bonded and the glass film is disposed on the side in contact with air, the scratch resistance of the composite substrate can be enhanced.

第九に、本発明の複合基板は、基板がガラス基板であることが好ましい。ガラス基板は、樹脂基板や金属基板に比べて、透過性、耐候性、耐熱性に優れている。   Ninthly, in the composite substrate of the present invention, the substrate is preferably a glass substrate. A glass substrate is superior in permeability, weather resistance, and heat resistance compared to a resin substrate or a metal substrate.

第十に、本発明の複合基板は、基板の屈折率nが1.50超であることが好ましい。このようにすれば、有機EL層と基板の界面での反射が抑制されるため、基板中の光を空気中に取り出し易くなる。 Tenth, the composite substrate of the present invention, it preferably has a refractive index n d of the substrate is 1.50 greater. In this way, since reflection at the interface between the organic EL layer and the substrate is suppressed, light in the substrate can be easily taken out into the air.

第十一に、本発明の複合基板は、ガラスフィルムと基板がオプティカルコンタクトにより接合されていることが好ましい。このようにすれば、接合に際し、粘着テープや硬化剤が不要になるため、複合基板の透過率が向上すると共に、ガラスフィルムと基板を簡便に接合することができる。なお、ガラスフィルムと基板の接合側の表面の表面精度(平坦性)が高い程、オプティカルコンタクトの接合強度が向上する。   Eleventh, in the composite substrate of the present invention, the glass film and the substrate are preferably bonded by optical contact. If it does in this way, in the case of joining, since an adhesive tape and a hardening | curing agent become unnecessary, while the transmittance | permeability of a composite substrate improves, a glass film and a board | substrate can be joined simply. In addition, the bonding strength of the optical contact is improved as the surface accuracy (flatness) of the surface on the bonding side of the glass film and the substrate is higher.

第十二に、本発明の複合基板は、有機ELデバイス、特に有機EL照明に用いることが好ましい。   Twelfth, the composite substrate of the present invention is preferably used for organic EL devices, particularly organic EL lighting.

試料No.1を1Mの塩酸溶液に10分間浸漬させた後、試料表面を走査型電子顕微鏡で観察した像である。Sample No. 1 is an image obtained by immersing 1 in a 1M hydrochloric acid solution for 10 minutes and then observing the sample surface with a scanning electron microscope. 試料No.2を1Mの塩酸溶液に10分間浸漬させた後、試料表面を走査型電子顕微鏡で観察した像である。Sample No. 2 is an image obtained by immersing 2 in a 1 M hydrochloric acid solution for 10 minutes and then observing the surface of the sample with a scanning electron microscope. 試料No.3を1Mの塩酸溶液に10分間浸漬させた後、試料表面を走査型電子顕微鏡で観察した像である。Sample No. 3 is an image obtained by immersing 3 in a 1M hydrochloric acid solution for 10 minutes and then observing the surface of the sample with a scanning electron microscope. 試料No.1を厚み0.1mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。Sample No. This is data obtained by measuring the total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 1 to a thickness of 0.1 mm. 試料No.2を厚み0.1mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。Sample No. This is data obtained by measuring the total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 2 to a thickness of 0.1 mm. 試料No.3を厚み0.1mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。Sample No. 3 is a data obtained by measuring the total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 3 to a thickness of 0.1 mm. 試料No.3を厚み0.7mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。Sample No. 3 is data obtained by measuring total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 3 to a thickness of 0.7 mm.

本発明のガラスフィルムは、厚みが5〜500μmである。厚みが大き過ぎると、光散乱機能が過剰である場合、全光線透過率が低くなり、ガラスフィルム中の光を空気中に取り出し難くなる。よって、厚みは、好ましくは500μm以下、400μm以下、300μm以下、200μm以下、100μm以下、特に50μm以下である。一方、厚みが小さ過ぎると、光散乱機能が低下し易くなり、ガラスフィルム中の光を空気中に取り出し難くなる。よって、厚みは、好ましくは5μm以上、10μm以上、20μm以上、特に30μm以上である。   The glass film of the present invention has a thickness of 5 to 500 μm. If the thickness is too large, if the light scattering function is excessive, the total light transmittance becomes low, and it becomes difficult to extract the light in the glass film into the air. Therefore, the thickness is preferably 500 μm or less, 400 μm or less, 300 μm or less, 200 μm or less, 100 μm or less, particularly 50 μm or less. On the other hand, if the thickness is too small, the light scattering function tends to be lowered, and it becomes difficult to take out the light in the glass film into the air. Therefore, the thickness is preferably 5 μm or more, 10 μm or more, 20 μm or more, particularly 30 μm or more.

本発明のガラスフィルムは、少なくとも第一の相と第二の相を含む分相構造を有すると共に、第一の相中のSiOの含有量が、第二の相中のSiOの含有量よりも多いことが好ましく、また第二の相中のBの含有量が、第一の相中のBの含有量よりも多いことも好ましい。このようにすれば、第一の相と第二の相の屈折率が相違し易くなり、ガラスフィルムの散乱機能を高めることができる。 Glass film of the present invention has a phase separation structure comprising at least a first phase and a second phase, the content of SiO 2 in the first phase, the content of SiO 2 in the second phase it is preferably greater than, also the content of B 2 O 3 in the second phase, it is also preferably larger than the content of B 2 O 3 in the first phase. If it does in this way, the refractive index of a 1st phase and a 2nd phase will become easy to differ, and the scattering function of a glass film can be improved.

本発明のガラスフィルムは、波長400〜700nmにおいてヘーズ値が10%以上、20%以上、30%以上、40%以上、50%以上、60%以上、70%以上、80%以上、特に90%以上となる波長を有することが好ましい。一定値以上のヘーズ値を示す波長がないと、光散乱機能が不十分になり、ガラスフィルム中の光を空気中に取り出し難くなる。   The glass film of the present invention has a haze value of 10% or more, 20% or more, 30% or more, 40% or more, 50% or more, 60% or more, 70% or more, 80% or more, particularly 90% at a wavelength of 400 to 700 nm. It is preferable to have the above wavelength. If there is no wavelength showing a haze value of a certain value or more, the light scattering function becomes insufficient, and it becomes difficult to take out the light in the glass film into the air.

本発明のガラスフィルムにおいて、波長400〜700nmにおける全光線透過率は、好ましくは20%以上、30%以上、40%以上、特に50%以上である。全光線透過率が低過ぎると、ガラスフィルム中の光を空気中に取り出し難くなる。   In the glass film of the present invention, the total light transmittance at a wavelength of 400 to 700 nm is preferably 20% or more, 30% or more, 40% or more, particularly 50% or more. If the total light transmittance is too low, it becomes difficult to extract the light in the glass film into the air.

本発明のガラスフィルムは、波長400〜700nmにおいて拡散透過率が10%以上、20%以上、特に30%以上の波長を有することが好ましい。拡散透過率が低過ぎると、ガラスフィルム中の光を空気中に取り出し難くなる。   The glass film of the present invention preferably has a diffuse transmittance of 10% or more, 20% or more, particularly 30% or more at a wavelength of 400 to 700 nm. If the diffuse transmittance is too low, it becomes difficult to extract the light in the glass film into the air.

本発明のガラスフィルムにおいて、屈折率nは、好ましくは1.50超、1.51以上、1.52以上、1.53以上、特に1.54以上である。屈折率nが1.50以下になると、ガラスフィルムと透明導電膜等の界面の反射によって光を効率良く取り出すことが困難になる。一方、屈折率nが高過ぎると、ガラスフィルムと空気の界面での反射率が高くなり、ガラスフィルム中の光を空気中に取り出し難くなる。よって、屈折率nは、好ましくは2.30以下、2.20以下、2.10以下、2.00以下、1.90以下、1.80以下、特に1.75以下である。 In the glass film of the present invention, the refractive index nd is preferably more than 1.50, 1.51 or more, 1.52 or more, 1.53 or more, particularly 1.54 or more. When the refractive index nd is 1.50 or less, it becomes difficult to efficiently extract light due to reflection at the interface between the glass film and the transparent conductive film. On the other hand, if the refractive index nd is too high, the reflectance at the interface between the glass film and the air becomes high, and it becomes difficult to extract the light in the glass film into the air. Therefore, the refractive index n d is preferably 2.30 or less, 2.20 or less, 2.10 or less, 2.00 or less, 1.90 or less, 1.80 or less, particularly 1.75 or less.

本発明のガラスフィルムは、ガラス組成として、質量%で、SiO 30〜75%、B 0.1〜50%、Al 0〜35%を含有することが好ましく、SiO 39超〜65%、B 10〜40%、Al 10〜23%未満を含有することが特に好ましい。このようにすれば、分相性が向上し、光散乱機能も向上する。以下、上記のように各成分を限定した理由を説明する。なお、各成分の含有範囲の説明において、%表示は、質量%を意味する。 The glass film of the present invention preferably contains, as a glass composition, 30% to 75% SiO 2, 0.1 to 50% B 2 O 3 , and 0 to 35% Al 2 O 3 , and SiO 2. It is particularly preferable to contain more than 39 to 65%, B 2 O 3 10 to 40%, and Al 2 O 3 less than 10 to 23%. In this way, the phase separation is improved and the light scattering function is also improved. Hereinafter, the reason why each component is limited as described above will be described. In addition, in description of the containing range of each component,% display means the mass%.

SiOの含有量は30〜75%が好ましい。SiOの含有量が多くなると、溶融性、成形性、屈折率が低下し易くなる。よって、SiOの好適な上限範囲は75%以下、70%以下、65%以下、特に60%以下である。一方、SiOの含有量が少なくなると、ガラス網目構造を形成し難くなり、ガラス化が困難になる。またガラスの粘性が低下し過ぎて、高い液相粘度を確保し難くなる。よって、SiOの好適な下限範囲は30%以上、35%以上、38%以上、39%超、特に40%以上である。 The content of SiO 2 is preferably 30 to 75%. When the content of SiO 2 increases, the meltability, moldability, and refractive index tend to decrease. Therefore, the preferable upper limit range of SiO 2 is 75% or less, 70% or less, 65% or less, and particularly 60% or less. On the other hand, when the content of SiO 2 decreases, it becomes difficult to form a glass network structure, and vitrification becomes difficult. Further, the viscosity of the glass is excessively lowered, and it becomes difficult to ensure a high liquid phase viscosity. Therefore, the preferable lower limit range of SiO 2 is 30% or more, 35% or more, 38% or more, more than 39%, particularly 40% or more.

の含有量は0.1〜50%が好ましい。Bは、分相性を高める成分であるが、Bの含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなることに加えて、耐酸性が低下し易くなる。よって、Bの好適な上限範囲は50%以下、40%以下、30%以下、特に25%以下であり、好適な下限範囲は0.1%以上、0.5%以上、1%以上、4%以上、7%以上、特に10%以上である。 The content of B 2 O 3 is preferably 0.1 to 50%. B 2 O 3 is a component that enhances phase separation, but if the content of B 2 O 3 is too large, the component balance of the glass composition is impaired, and devitrification resistance is likely to decrease. The acid resistance tends to decrease. Therefore, the preferable upper limit range of B 2 O 3 is 50% or less, 40% or less, 30% or less, particularly 25% or less, and the preferable lower limit range is 0.1% or more, 0.5% or more, 1%. These are 4% or more, 7% or more, particularly 10% or more.

Alの含有量は0〜35%が好ましい。Alは、耐失透性を高める成分であるが、Alの含有量が多過ぎると、分相性が低下し易くなることに加えて、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、逆に耐失透性が低下し易くなる。また耐酸性が低下し易くなる。よって、Alの好適な上限範囲は35%以下、30%以下、25%以下、23%未満、特に20%以下であり、好適な下限範囲は0.1%以上、3%以上、5%以上、8%以上、特に10%以上である。 The content of Al 2 O 3 is preferably 0 to 35%. Al 2 O 3 is a component that enhances devitrification resistance. However, if the content of Al 2 O 3 is too large, the phase separation is liable to decrease, and the component balance of the glass composition is impaired. Conversely, devitrification resistance tends to decrease. Moreover, acid resistance tends to decrease. Therefore, the preferred upper limit range of Al 2 O 3 is 35% or less, 30% or less, 25% or less, less than 23%, particularly 20% or less, and the preferred lower limit range is 0.1% or more, 3% or more, 5% or more, 8% or more, particularly 10% or more.

上記成分以外にも、例えば、以下の成分を導入することができる。   In addition to the above components, for example, the following components can be introduced.

LiOの含有量は0〜30%が好ましい。LiOは、分相性を高める成分であるが、LiOの含有量が多過ぎると、液相粘度が低下し易くなり、また歪点が低下し易くなる。更に、酸によるエッチング工程において、アルカリ成分が溶出し易くなる。よって、LiOの好適な上限範囲は30%以下、20%以下、10%以下、5%以下、1%以下、特に0.5%以下である。 The content of Li 2 O is preferably 0 to 30%. Li 2 O is a component that enhances phase separation. However, if the content of Li 2 O is too large, the liquid phase viscosity tends to decrease and the strain point tends to decrease. Furthermore, the alkali component is easily eluted in the acid etching step. Therefore, the preferable upper limit range of Li 2 O is 30% or less, 20% or less, 10% or less, 5% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

NaOの含有量は0〜30%が好ましい。NaOは、分相性を高める成分であるが、NaOの含有量が多過ぎると、液相粘度が低下し易くなり、また歪点が低下し易くなる。更に、酸によるエッチング工程において、アルカリ成分が溶出し易くなる。よって、NaOの好適な上限範囲は30%以下、20%以下、10%以下、5%以下、1%以下、特に0.5%以下である。 The content of Na 2 O is preferably 0 to 30%. Na 2 O is a component that enhances the phase separation. However, when the content of Na 2 O is too large, the liquid phase viscosity tends to decrease and the strain point tends to decrease. Furthermore, the alkali component is easily eluted in the acid etching step. Therefore, the preferable upper limit range of Na 2 O is 30% or less, 20% or less, 10% or less, 5% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

Oの含有量は0〜30%が好ましい。KOは、分相性を高める成分であるが、KOの含有量が多過ぎると、液相粘度が低下し易くなり、また歪点が低下し易くなる。更に、酸によるエッチング工程において、アルカリ成分が溶出し易くなる。よって、KOの好適な上限範囲は30%以下、20%以下、10%以下、5%以下、1%以下、特に0.5%以下である。 The content of K 2 O is preferably 0 to 30%. K 2 O is a component that enhances phase separation. However, if the content of K 2 O is too large, the liquid phase viscosity tends to decrease and the strain point tends to decrease. Furthermore, the alkali component is easily eluted in the acid etching step. Therefore, a preferable upper limit range of K 2 O is 30% or less, 20% or less, 10% or less, 5% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

MgOの含有量は0〜30%が好ましい。MgOは、屈折率、ヤング率、歪点を高める成分であると共に、高温粘度を低下させる成分であるが、MgOを多量に含有させると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下したり、密度が高くなり過ぎる虞がある。よって、MgOの好適な上限範囲は30%以下、20%以下、特に10%以下であり、好適な下限範囲は0.1%以上、1%以上、3%以上、特に5%以上である。   The content of MgO is preferably 0 to 30%. MgO is a component that raises the refractive index, Young's modulus, and strain point and lowers the high-temperature viscosity. However, when MgO is contained in a large amount, the liquidus temperature rises and devitrification resistance decreases. Or the density may become too high. Therefore, a preferable upper limit range of MgO is 30% or less, 20% or less, particularly 10% or less, and a preferable lower limit range is 0.1% or more, 1% or more, 3% or more, particularly 5% or more.

CaOの含有量は0〜30%が好ましい。CaOは、高温粘度を低下させる成分であるが、CaOの含有量が多くなると、密度が高くなり易く、またガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。よって、CaOの好適な上限範囲は30%以下、20%以下、特に10%以下、5%以下、特に3%以下であり、好適な下限範囲は0.1%以上、0.5%以上、特に1%以上である。   The content of CaO is preferably 0 to 30%. CaO is a component that lowers the high-temperature viscosity. However, when the content of CaO increases, the density tends to increase, and the balance of components of the glass composition is impaired, and devitrification resistance tends to decrease. Therefore, a preferable upper limit range of CaO is 30% or less, 20% or less, particularly 10% or less, 5% or less, particularly 3% or less, and a preferable lower limit range is 0.1% or more, 0.5% or more, In particular, it is 1% or more.

SrOの含有量は0〜30%が好ましい。SrOの含有量が多くなると、屈折率、密度が高くなり易く、またガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。よって、SrOの好適な上限範囲は30%以下、20%以下、特に10%以下であり、好適な下限範囲は1%以上、3%以上、特に5%以上である。   The content of SrO is preferably 0 to 30%. If the SrO content is increased, the refractive index and the density are likely to be increased, and the balance of components of the glass composition is impaired, so that the devitrification resistance is likely to be lowered. Therefore, the preferable upper limit range of SrO is 30% or less, 20% or less, particularly 10% or less, and the preferable lower limit range is 1% or more, 3% or more, particularly 5% or more.

BaOは、アルカリ土類金属酸化物の中ではガラスの粘性を極端に低下させずに、屈折率を高める成分である。BaOの含有量が多くなると、屈折率、密度が高くなり易く、またガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。よって、BaOの好適な上限範囲は40%以下、30%以下、20%以下、10%以下、特に5%以下であり、好適な下限範囲は0.1%以上、特に1%以上である。   BaO is a component that increases the refractive index of alkaline earth metal oxides without extremely reducing the viscosity of the glass. When the content of BaO is increased, the refractive index and the density are likely to be increased, and the component balance of the glass composition is impaired, and the devitrification resistance is likely to be lowered. Therefore, the preferable upper limit range of BaO is 40% or less, 30% or less, 20% or less, 10% or less, particularly 5% or less, and the preferable lower limit range is 0.1% or more, particularly 1% or more.

ZnOは、屈折率、歪点を高める成分であると共に、高温粘度を低下させる成分であるが、ZnOを多量に導入すると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下し易くなる。よって、ZnOの好適な上限範囲は20%以下、10%以下、5%以下、特に3%以下であり、好適な下限範囲は0.1%以上、特に1%以上である。   ZnO is a component that raises the refractive index and strain point and is a component that lowers the high-temperature viscosity. However, when ZnO is introduced in a large amount, the liquidus temperature rises and devitrification resistance tends to be lowered. Therefore, a preferable upper limit range of ZnO is 20% or less, 10% or less, 5% or less, particularly 3% or less, and a preferable lower limit range is 0.1% or more, particularly 1% or more.

ZrOは、屈折率を高める成分である。ZrOの含有量は0〜20%が好ましい。しかし、ZrOの含有量が多くなると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。よって、ZrOの好適な上限範囲は20%以下、10%以下、特に5%以下であり、好適な下限範囲は0.001%以上、0.01%以上、0.1%以上、1%以上、2%以上、特に3%以上である。 ZrO 2 is a component that increases the refractive index. The content of ZrO 2 is preferably 0 to 20%. However, when the content of ZrO 2 increases, the component balance of the glass composition is impaired, and the devitrification resistance is likely to decrease. Therefore, the preferable upper limit range of ZrO 2 is 20% or less, 10% or less, particularly 5% or less, and the preferable lower limit range is 0.001% or more, 0.01% or more, 0.1% or more, 1%. Above, 2% or more, especially 3% or more.

TiOは、屈折率を高める成分である。TiOの含有量は0〜20%が好ましい。しかし、TiOの含有量が多くなると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。また全光線透過率が低下する虞がある。よって、TiOの好適な上限範囲は20%以下、特に10%以下であり、好適な下限範囲は0.001%以上、0.01%以上、0.1%以上、1%以上、2%以上、特に3%以上である。 TiO 2 is a component that increases the refractive index. The content of TiO 2 is preferably 0 to 20%. However, when the content of TiO 2 is increased, the component balance of the glass composition is impaired, and the devitrification resistance is easily lowered. In addition, the total light transmittance may be reduced. Therefore, the preferable upper limit range of TiO 2 is 20% or less, particularly 10% or less, and the preferable lower limit range is 0.001% or more, 0.01% or more, 0.1% or more, 1% or more, 2% Above, especially 3% or more.

Laは、屈折率を高める成分である。Laの含有量は0〜10%が好ましい。Laの含有量が多くなると、密度が高くなり易く、また耐失透性や耐酸性が低下し易くなる。更に原料コストが上昇して、ガラスフィルムの製造コストが高騰し易くなる。よって、Laの好適な上限範囲は10%以下、5%以下、3%以下、2.5%以下、1%以下、特に0.1%以下である。 La 2 O 3 is a component that increases the refractive index. The content of La 2 O 3 is preferably 0 to 10%. When the content of La 2 O 3 increases, the density tends to increase, and the devitrification resistance and acid resistance easily decrease. Furthermore, the raw material cost rises, and the manufacturing cost of the glass film is likely to rise. Therefore, a suitable upper limit range of La 2 O 3 is 10% or less, 5% or less, 3% or less, 2.5% or less, 1% or less, particularly 0.1% or less.

Nbは、屈折率を高める成分である。Nbの含有量は0〜10%が好ましい。Nbの含有量が多くなると、密度が高くなり易く、また耐失透性が低下し易くなる。更に原料コストが上昇して、ガラスフィルムの製造コストが高騰し易くなる。よって、Nbの好適な上限範囲は10%以下、5%以下、3%以下、2.5%以下、1%以下、特に0.1%以下である。 Nb 2 O 5 is a component that increases the refractive index. The content of Nb 2 O 5 is preferably 0 to 10%. When the content of Nb 2 O 5 increases, the density tends to increase and the devitrification resistance tends to decrease. Furthermore, the raw material cost rises, and the manufacturing cost of the glass film is likely to rise. Therefore, a preferable upper limit range of Nb 2 O 5 is 10% or less, 5% or less, 3% or less, 2.5% or less, 1% or less, particularly 0.1% or less.

Gdは、屈折率を高める成分である。Gdの含有量は0〜10%が好ましい。Gdの含有量が多くなると、密度が高くなり過ぎたり、ガラス組成の成分バランスを欠いて、耐失透性が低下したり、高温粘性が低下し過ぎて、高い液相粘度を確保し難くなる。よって、Gdの好適な上限範囲は10%以下、5%以下、3%以下、2.5%以下、1%以下、特に0.1%以下である。 Gd 2 O 3 is a component that increases the refractive index. The content of Gd 2 O 3 is preferably 0 to 10%. When the content of Gd 2 O 3 is increased, the density becomes too high, the component balance of the glass composition is lacking, the devitrification resistance is lowered, the high temperature viscosity is lowered too much, and a high liquid phase viscosity is secured. It becomes difficult to do. Therefore, a suitable upper limit range of Gd 2 O 3 is 10% or less, 5% or less, 3% or less, 2.5% or less, 1% or less, particularly 0.1% or less.

La+Nbの含有量は0〜10%が好ましい。La+Nbの含有量が多くなると、密度、熱膨張係数が高くなり易く、また耐失透性が低下し易くなり、更には高い液相粘度を確保し難くなる。更に原料コストが上昇して、ガラスフィルムの製造コストが高騰し易くなる。よって、La+Nbの好適な上限範囲は10%以下、8%以下、5%以下、3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.1%以下である。ここで、「La+Nb」は、LaとNbの合量を指す。 The content of La 2 O 3 + Nb 2 O 5 is preferably 0 to 10%. When the content of La 2 O 3 + Nb 2 O 5 is increased, the density and the thermal expansion coefficient are likely to be increased, the devitrification resistance is likely to be lowered, and further, it is difficult to ensure a high liquid phase viscosity. Furthermore, the raw material cost rises, and the manufacturing cost of the glass film is likely to rise. Therefore, a suitable upper limit range of La 2 O 3 + Nb 2 O 5 is 10% or less, 8% or less, 5% or less, 3% or less, 1% or less, 0.5% or less, particularly 0.1% or less. . Here, “La 2 O 3 + Nb 2 O 5 ” refers to the total amount of La 2 O 3 and Nb 2 O 5 .

レアメタル酸化物の含有量は合量で0〜10%が好ましい。レアメタル酸化物の含有量が多くなると、密度、熱膨張係数が高くなり易く、また耐失透性や耐酸性が低下し易くなり、高い液相粘度を確保し難くなる。更に原料コストが上昇して、ガラスフィルムの製造コストが高騰し易くなる。よって、レアメタル酸化物の好適な上限範囲は10%以下、5%以下、3%以下、特に1%以下であり、実質的に含まないことが望ましい。   The total content of rare metal oxides is preferably 0 to 10%. When the content of the rare metal oxide is increased, the density and the thermal expansion coefficient are likely to be increased, and the devitrification resistance and the acid resistance are liable to be lowered, so that it is difficult to ensure a high liquid phase viscosity. Furthermore, the raw material cost rises, and the manufacturing cost of the glass film is likely to rise. Therefore, the preferable upper limit range of the rare metal oxide is 10% or less, 5% or less, 3% or less, particularly 1% or less, and it is desirable that the rare metal oxide is not substantially contained.

清澄剤として、下記酸化物換算で、As、Sb、SnO、Fe、F、Cl、SO、CeOの群から選択された一種又は二種以上を0〜3%導入することができる。特に、清澄剤として、SnO、Fe及びCeOが好ましい。一方、AsとSbは、環境的観点から、それらの使用を極力控えることが好ましく、各々の含有量は0.3%未満、特に0.1%未満が好ましい。ここで、「下記酸化物換算」は、表記の酸化物とは価数が異なる酸化物であっても、表記の酸化物に換算した上で取り扱うことを意味する。 As a refining agent, one or two or more selected from the group of As 2 O 3 , Sb 2 O 3 , SnO 2 , Fe 2 O 3 , F, Cl, SO 3 , and CeO 2 are converted into the following oxides. ~ 3% can be introduced. In particular, SnO 2 , Fe 2 O 3 and CeO 2 are preferable as the fining agent. On the other hand, it is preferable to refrain from using As 2 O 3 and Sb 2 O 3 as much as possible from an environmental viewpoint, and the content of each is preferably less than 0.3%, particularly preferably less than 0.1%. Here, “the following oxide conversion” means that an oxide having a valence different from the indicated oxide is handled after being converted to the indicated oxide.

SnOの含有量は、好ましくは0〜1%、0.001〜1%、特に0.01〜0.5%である。 The content of SnO 2 is preferably 0 to 1%, 0.001 to 1%, particularly 0.01 to 0.5%.

Feの好適な上限範囲は0.05%以下、0.04%以下、0.03%以下、特に0.02%以下であり、好適な下限範囲は0.001%以上である。 Fe 2 O 3 has a preferred upper limit range of 0.05% or less, 0.04% or less, 0.03% or less, particularly 0.02% or less, and a preferred lower limit range of 0.001% or more.

CeOの含有量は0〜6%が好ましい。CeOの含有量が多くなると、耐失透性が低下し易くなる。よって、CeOの好適な上限範囲は6%以下、5%以下、3%以下、2%以下、1%以下、特に0.1%以下である。一方、CeOの含有量が少なくなると、清澄性が低下し易くなる。よって、CeOを導入する場合、CeOの好適な下限範囲は0.001%以上、特に0.01%以上である。 The content of CeO 2 is preferably 0 to 6%. When the content of CeO 2 is increased, the devitrification resistance is likely to be lowered. Therefore, the preferable upper limit range of CeO 2 is 6% or less, 5% or less, 3% or less, 2% or less, 1% or less, particularly 0.1% or less. On the other hand, when the CeO 2 content is reduced, the clarity is likely to be lowered. Therefore, when CeO 2 is introduced, a preferable lower limit range of CeO 2 is 0.001% or more, particularly 0.01% or more.

PbOは、高温粘性を低下させる成分であるが、環境的観点から、その使用を極力控えることが好ましい。PbOの含有量は0.5%以下が好ましく、実質的に含まないことが望ましい。ここで、「実質的にPbOを含まない」とは、ガラス組成中のPbOの含有量が0.1%未満の場合を指す。   PbO is a component that lowers the high-temperature viscosity, but it is preferable to refrain from using it as much as possible from an environmental point of view. The content of PbO is preferably 0.5% or less, and is desirably substantially free. Here, “substantially does not contain PbO” refers to a case where the content of PbO in the glass composition is less than 0.1%.

上記成分以外にも、他の成分を合量で好ましくは10%(望ましくは5%)まで導入してもよい。   In addition to the above components, other components may be introduced in a total amount of preferably 10% (desirably 5%).

本発明のガラスフィルムは、以下の特性を有することが好ましい。   The glass film of the present invention preferably has the following characteristics.

密度は、好ましくは5.0g/cm以下、4.5g/cm以下、3.0g/cm以下、特に2.8g/cm以下である。このようにすれば、デバイスを軽量化することができる。 The density is preferably 5.0 g / cm 3 or less, 4.5 g / cm 3 or less, 3.0 g / cm 3 or less, particularly 2.8 g / cm 3 or less. In this way, the device can be reduced in weight.

歪点は、好ましくは450℃以上、500℃以上、特に550℃以上である。透明導電膜を高温で形成する程、透明性が高く、電気抵抗が低くなり易い。しかし、従来のガラスフィルムは、耐熱性が不十分であるため、透明導電膜を高温で成膜することが困難であった。そこで、歪点を上記範囲とすれば、透明導電膜の透明性と低電気抵抗の両立が可能になり、更にはデバイスの製造工程において、熱処理によりガラスフィルムが熱収縮し難くなる。   The strain point is preferably 450 ° C. or higher, 500 ° C. or higher, particularly 550 ° C. or higher. The higher the temperature of the transparent conductive film, the higher the transparency and the lower the electrical resistance. However, since the conventional glass film has insufficient heat resistance, it has been difficult to form a transparent conductive film at a high temperature. Therefore, when the strain point is in the above range, both transparency of the transparent conductive film and low electrical resistance can be achieved, and furthermore, in the device manufacturing process, the glass film is difficult to be thermally contracted by heat treatment.

102.5dPa・sにおける温度は、好ましくは1600℃以下、1560℃以下、1500℃以下、特に1450℃以下である。このようにすれば、溶融性が向上するため、ガラスフィルムの生産性が向上する。 The temperature at 10 2.5 dPa · s is preferably 1600 ° C. or lower, 1560 ° C. or lower, 1500 ° C. or lower, particularly 1450 ° C. or lower. If it does in this way, since a meltability will improve, productivity of a glass film will improve.

液相温度は、好ましくは1300℃以下、1250℃以下、1200℃以下、特に1150℃以下である。また、液相粘度は、好ましくは102.5dPa・s以上、103.0dPa・s以上、103.5dPa・s以上、103.8dPa・s以上、104.0dPa・s以上、104.4dPa・s以上、特に104.6dPa・s以上である。このようにすれば、成形時にガラスが失透し難くなり、例えば、フロート法又はオーバーフローダウンドロー法でガラスフィルムを成形し易くなる。ここで、「液相温度」は、ガラスを粉砕し、標準篩30メッシュ(篩目開き500μm)を通過し、50メッシュ(篩目開き300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定した値を指す。また「液相粘度」は、液相温度における各ガラスの粘度を示す。 The liquidus temperature is preferably 1300 ° C. or lower, 1250 ° C. or lower, 1200 ° C. or lower, particularly 1150 ° C. or lower. The liquid phase viscosity is preferably 10 2.5 dPa · s or more, 10 3.0 dPa · s or more, 10 3.5 dPa · s or more, 10 3.8 dPa · s or more, 10 4.0 dPa or more. S or more, 10 4.4 dPa · s or more, particularly 10 4.6 dPa · s or more. If it does in this way, it will become difficult to devitrify glass at the time of shaping | molding, for example, it will become easy to shape | mold a glass film by the float method or the overflow downdraw method. Here, “liquid phase temperature” refers to a temperature gradient furnace in which glass is crushed, passed through a standard sieve 30 mesh (a sieve opening of 500 μm), and glass powder remaining in a 50 mesh (a sieve opening of 300 μm) is placed in a platinum boat. It is held for 24 hours and indicates the value at which the temperature at which crystals precipitate is measured. The “liquid phase viscosity” indicates the viscosity of each glass at the liquid phase temperature.

分相温度は、好ましくは800℃以上、特に900℃以上である。また、分相粘度は、好ましくは107.0dPa・s以下、特に103.0〜106.0dPa・sである。このようにすれば、成形工程及び/又は徐冷工程でガラスが分相し易くなり、フロート法又はオーバーフローダウンドロー法で分相構造を有するガラスフィルムを成形し易くなる。結果として、ガラスフィルムを成形した後に、別途の熱処理工程が不要になり、ガラスフィルムの製造コストを低減し易くなる。ここで、「分相温度」とは、ガラスを白金ボートに入れ、1400℃でリメルトした後、白金ボートを温度勾配炉に移し、温度勾配炉中で5分間保持した時に、白濁が明確に認められる温度を指す。「分相粘度」とは、分相温度におけるガラスの粘度を白金引き上げ法で測定した値を指す。 The phase separation temperature is preferably 800 ° C. or higher, particularly 900 ° C. or higher. The phase separation viscosity is preferably 10 7.0 dPa · s or less, particularly 10 3.0 to 10 6.0 dPa · s. If it does in this way, it will become easy to phase-separate glass by a formation process and / or a slow cooling process, and will become easy to shape a glass film which has a phase separation structure by a float process or an overflow down draw method. As a result, after forming the glass film, a separate heat treatment step is not necessary, and the manufacturing cost of the glass film can be easily reduced. Here, “phase separation temperature” means that when glass is put into a platinum boat and remelted at 1400 ° C., the platinum boat is transferred to a temperature gradient furnace and kept in the temperature gradient furnace for 5 minutes, and cloudiness is clearly recognized. Temperature. “Phase separation viscosity” refers to a value obtained by measuring the viscosity of glass at the phase separation temperature by a platinum pulling method.

少なくとも一方の表面(特に未研磨面)の表面粗さRaは0.01〜1μmが好ましい。表面の表面粗さRaが大き過ぎると、オプティカルコンタクトで複合基板を作製し難くなることに加えて、その表面に透明導電膜等を形成する場合、透明導電膜の品位が低下して、均一な発光を得難くなる。よって、少なくとも一方の表面の表面粗さRaの好適な上限範囲は1μm以下、0.8μm以下、0.5μm以下、0.3μm以下、0.1μm以下、0.07μm以下、0.05μm以下、0.03μm以下、特に10nm以下である。   As for surface roughness Ra of at least one surface (especially unpolished surface), 0.01-1 micrometer is preferable. If the surface roughness Ra is too large, it becomes difficult to produce a composite substrate by optical contact. In addition, when a transparent conductive film or the like is formed on the surface, the quality of the transparent conductive film is lowered and uniform. It becomes difficult to obtain luminescence. Therefore, the preferable upper limit range of the surface roughness Ra of at least one surface is 1 μm or less, 0.8 μm or less, 0.5 μm or less, 0.3 μm or less, 0.1 μm or less, 0.07 μm or less, 0.05 μm or less, 0.03 μm or less, particularly 10 nm or less.

本発明のガラスフィルムは、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。このようにすれば、未研磨で表面品位が良好なガラスフィルムを製造することができる。その理由は、オーバーフローダウンドロー法の場合、表面になるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形されるからである。なお、オーバーフローダウンドロー法以外にも、スロットダウンドロー法を採用することができる。このようにすれば、板厚が小さいガラスフィルムを作製し易くなる。   The glass film of the present invention is preferably formed by a downdraw method, particularly an overflow downdraw method. In this way, a glass film that is unpolished and has good surface quality can be produced. The reason is that, in the case of the overflow down draw method, the surface to be the surface is not in contact with the bowl-shaped refractory and is molded in a free surface state. In addition to the overflow downdraw method, a slot downdraw method can be employed. If it does in this way, it will become easy to produce a glass film with small board thickness.

上記成形方法以外にも、例えば、リドロー法、フロート法、ロールアウト法等を採択することができる。   In addition to the above molding method, for example, a redraw method, a float method, a roll-out method, or the like can be adopted.

本発明のガラスフィルムは、少なくとも一方の表面を粗面化面としてもよい。粗面化面を有機EL照明等の空気と接する側に配置すれば、ガラスフィルムの散乱効果に加えて、粗面化面の無反射構造により、有機EL層から放射した光が有機EL層内に戻り難くなり、結果として、光の取り出し効率を高めることができる。粗面化面の表面粗さRaは、好ましくは10Å以上、20Å以上、30Å以上、特に50Å以上である。粗面化面は、HFエッチング、サンドブラスト等で形成することができる。また、リプレス等の熱加工により、ガラスフィルムの表面に凹凸形状を形成してもよい。このようにすれば、ガラス表面に正確な無反射構造を形成することができる。凹凸形状は、屈折率nを考慮しながら、その間隔と深さを調整すればよい。 The glass film of the present invention may have at least one surface as a roughened surface. If the roughened surface is arranged on the side in contact with air such as organic EL lighting, in addition to the scattering effect of the glass film, the light radiated from the organic EL layer is reflected in the organic EL layer by the non-reflective structure of the roughened surface. As a result, the light extraction efficiency can be increased. The surface roughness Ra of the roughened surface is preferably 10 mm or more, 20 mm or more, 30 mm or more, particularly 50 mm or more. The roughened surface can be formed by HF etching, sandblasting, or the like. Moreover, you may form an uneven | corrugated shape in the surface of a glass film by heat processing, such as a repress. In this way, an accurate non-reflective structure can be formed on the glass surface. Uneven shape, taking into account the refractive index n d, may be adjusted the spacing and depth.

また、大気圧プラズマプロセスにより粗面化面を形成することもできる。このようにすれば、ガラスフィルムの一方の表面の表面状態を維持した上で、他方の表面に対して、均一に粗面化処理を行うことができる。また、大気圧プラズマプロセスのソースとして、Fを含有するガス(例えば、SF、CF)を用いることが好ましい。このようにすれば、HF系ガスを含むプラズマが発生するため、粗面化面を効率良く形成することができる。 Further, the roughened surface can be formed by an atmospheric pressure plasma process. If it does in this way, while maintaining the surface state of one surface of a glass film, a roughening process can be uniformly performed with respect to the other surface. Moreover, it is preferable to use a gas containing F (for example, SF 6 , CF 4 ) as a source of the atmospheric pressure plasma process. In this way, since plasma containing HF gas is generated, the roughened surface can be formed efficiently.

更に、ガラスフィルムの成形時に、少なくとも一方の表面に粗面化面を形成することもできる。このようにすれば、別途独立した粗面化処理が不要になり、粗面化処理の効率が向上する。   Furthermore, a roughened surface can be formed on at least one surface during molding of the glass film. This eliminates the need for a separate roughening process and improves the efficiency of the roughening process.

なお、ガラスフィルムに粗面化面を形成せずに、所定の凹凸形状を有する樹脂フィルムをガラスフィルムの表面に貼り付けてもよい。   In addition, you may affix the resin film which has a predetermined uneven | corrugated shape on the surface of a glass film, without forming a roughening surface in a glass film.

本発明のガラスフィルムは、製造効率の観点から、成形工程及び/又は徐冷工程で分相させることが好ましいが、これらの工程以外、例えば溶融工程で分相させてもよい。また、分相構造の制御の観点から、別途の熱処理工程により分相させてもよい。なお、分相現象は、ガラス組成、成形条件、徐冷条件、熱処理温度、熱処理時間等により調整することができる。   The glass film of the present invention is preferably phase-separated in the molding step and / or the slow cooling step from the viewpoint of production efficiency, but may be phase-separated in a melting step, for example, other than these steps. Further, from the viewpoint of controlling the phase separation structure, the phases may be separated by a separate heat treatment step. The phase separation phenomenon can be adjusted by the glass composition, molding conditions, slow cooling conditions, heat treatment temperature, heat treatment time, and the like.

本発明の複合基板は、ガラスフィルムと基板を接合した複合基板であって、ガラスフィルムが、上記のガラスフィルムであることを特徴とする。このようにすれば、ガラスフィルムが光散乱性フィルムとして機能するため、基板と複合化するだけで、有機EL素子の光取り出し効率を高めることができる。更に、ガラスフィルムと基板を接合し、ガラスフィルムを空気と接する側に配置すると、複合基板の耐傷性を高めることができる。   The composite substrate of the present invention is a composite substrate obtained by bonding a glass film and a substrate, and the glass film is the above glass film. If it does in this way, since a glass film functions as a light-scattering film, the light extraction efficiency of an organic EL element can be improved only by compounding with a substrate. Furthermore, when the glass film and the substrate are bonded and the glass film is disposed on the side in contact with air, the scratch resistance of the composite substrate can be enhanced.

基板として、種々の材料を使用することが可能であり、例えば、樹脂基板、金属基板、ガラス基板を使用することが可能である。その中でも、透過性、耐候性、耐熱性の観点から、ガラス基板が好ましい。ガラス基板として、種々の材料が使用可能であり、例えば、ソーダライムガラス基板、アルミノシリケートガラス基板、無アルカリガラス基板が使用可能である。   Various materials can be used as the substrate. For example, a resin substrate, a metal substrate, or a glass substrate can be used. Among these, a glass substrate is preferable from the viewpoints of permeability, weather resistance, and heat resistance. Various materials can be used as the glass substrate. For example, a soda lime glass substrate, an aluminosilicate glass substrate, and an alkali-free glass substrate can be used.

ガラス基板の厚みは、強度を維持する観点から、好ましくは0.3〜3.0mm、0.4〜2.0mm、特に0.5超〜1.8mmである。   The thickness of the glass substrate is preferably 0.3 to 3.0 mm, 0.4 to 2.0 mm, particularly more than 0.5 to 1.8 mm from the viewpoint of maintaining strength.

ガラス基板の屈折率nは、好ましくは1.50超、1.51以上、1.52以上、1.53以上、1.54以上、1.55以上、1.56以上、1.60以上、特に1.63以上である。ガラス基板の屈折率が低過ぎると、ガラス基板と透明導電膜等の界面の反射によって光を効率良く取り出すことが困難になる。一方、屈折率nが高過ぎると、ガラス基板とガラスフィルムの界面での反射率が高くなり、ガラス基板中の光をガラスフィルムを介して空気中に取り出し難くなる。よって、屈折率nは、好ましくは2.30以下、2.20以下、2.10以下、2.00以下、1.90以下、1.80以下、特に1.75以下である。 Refractive index n d of the glass substrate is preferably 1.50 greater, 1.51 or more, 1.52 or more, 1.53 or more, 1.54 or more, 1.55 or more, 1.56 or more, 1.60 or more In particular, it is 1.63 or more. If the refractive index of the glass substrate is too low, it becomes difficult to efficiently extract light by reflection at the interface of the glass substrate and the transparent conductive film. On the other hand, if the refractive index nd is too high, the reflectance at the interface between the glass substrate and the glass film becomes high, and it becomes difficult to extract light in the glass substrate into the air through the glass film. Therefore, the refractive index n d is preferably 2.30 or less, 2.20 or less, 2.10 or less, 2.00 or less, 1.90 or less, 1.80 or less, particularly 1.75 or less.

ガラス基板の少なくとも一方の表面(特に未研磨面)の表面粗さRaは0.01〜1μmが好ましい。表面の表面粗さRaが大き過ぎると、オプティカルコンタクトで複合基板を作製し易くなることに加えて、その表面に透明導電膜等を形成する場合、透明導電膜の品位が低下して、均一な発光を得難くなる。よって、少なくとも一方の表面の表面粗さRaの好適な上限範囲は1μm以下、0.8μm以下、0.5μm以下、0.3μm以下、0.1μm以下、0.07μm以下、0.05μm以下、0.03μm以下、特に10nm以下である。   As for surface roughness Ra of at least one surface (especially unpolished surface) of a glass substrate, 0.01-1 micrometer is preferable. If the surface roughness Ra of the surface is too large, it becomes easy to produce a composite substrate by optical contact. In addition, when a transparent conductive film or the like is formed on the surface, the quality of the transparent conductive film is lowered and uniform. It becomes difficult to obtain luminescence. Therefore, the preferable upper limit range of the surface roughness Ra of at least one surface is 1 μm or less, 0.8 μm or less, 0.5 μm or less, 0.3 μm or less, 0.1 μm or less, 0.07 μm or less, 0.05 μm or less, 0.03 μm or less, particularly 10 nm or less.

ガラスフィルムと基板を接合する方法として、種々の方法が利用可能である。例えば、粘着テープ、粘着シート、接着剤、硬化剤等により接合する方法、オプティカルコンタクトで接合する方法が利用可能である。その中でも、複合基板の透過率を高める観点から、オプティカルコンタクトで接合する方法が好ましい。   Various methods can be used as a method for bonding the glass film and the substrate. For example, a method of joining with an adhesive tape, an adhesive sheet, an adhesive, a curing agent, or the like, or a method of joining with an optical contact can be used. Among these, from the viewpoint of increasing the transmittance of the composite substrate, a method of joining with an optical contact is preferable.

なお、ガラスフィルムは、接合の際に、既に分相していることが好ましいが、接合後に熱処理工程によりガラスフィルムを分相させてもよい。   In addition, although it is preferable that the glass film has already phase-separated at the time of joining, you may phase-separate a glass film by a heat treatment process after joining.

以下、実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。なお、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。   Hereinafter, based on an Example, this invention is demonstrated in detail. The following examples are merely illustrative. The present invention is not limited to the following examples.

表1は、試料No.1〜3を示している。   Table 1 shows Sample No. 1 to 3 are shown.

まず、表1に記載のガラス組成になるように、ガラス原料を調合した後、得られたガラスバッチをガラス溶融炉に供給して1500℃で8時間溶融した。次に、得られた溶融ガラスをカーボン板の上に流し出し、板状に成形した後、歪点より室温まで10時間かけて徐冷処理を行った。最後に、得られたガラス(試料No.1〜3)について、必要に応じて加工を行い、種々の特性を評価した。   First, after preparing a glass raw material so that it might become a glass composition of Table 1, the obtained glass batch was supplied to the glass melting furnace, and it melted at 1500 degreeC for 8 hours. Next, the obtained molten glass was poured onto a carbon plate, formed into a plate shape, and then slowly cooled from the strain point to room temperature over 10 hours. Finally, about the obtained glass (sample No. 1-3), it processed as needed and evaluated various characteristics.

密度は、周知のアルキメデス法で測定した値である。   The density is a value measured by a well-known Archimedes method.

歪点は、ASTM C336−71に記載の方法で測定した値である。なお、歪点Psが高い程、耐熱性が高くなる。   The strain point is a value measured by the method described in ASTM C336-71. In addition, heat resistance becomes high, so that the strain point Ps is high.

徐冷点、軟化点は ASTM C338−93に記載の方法で測定した値である。   The annealing point and the softening point are values measured by the method described in ASTM C338-93.

高温粘度104.0dPa・s、103.0dPa・s、102.5dPa・s及び102.0dPa・sにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。なお、高温粘度が低い程、溶融性に優れる。 The temperatures at high temperature viscosities of 10 4.0 dPa · s, 10 3.0 dPa · s, 10 2.5 dPa · s, and 10 2.0 dPa · s are values measured by the platinum ball pulling method. In addition, it is excellent in a meltability, so that high temperature viscosity is low.

分相温度は、各試料を白金ボートに入れて、1400℃でリメルトした後、白金ボートを温度勾配炉に移し、温度勾配炉中で5分間保持した時に、白濁が明確に認められる温度を測定したものである。   The phase separation temperature was measured by placing each sample in a platinum boat, remelting it at 1400 ° C, then transferring the platinum boat to a temperature gradient furnace and holding it in the temperature gradient furnace for 5 minutes, where white turbidity was clearly recognized. It is a thing.

分相粘度は、分相温度における各ガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定したものである。   The phase separation viscosity is obtained by measuring the viscosity of each glass at the phase separation temperature by a platinum ball pulling method.

屈折率nは、島津製作所製の屈折率測定器KPR−2000により測定したd線の値である。具体的に言えば、まず25mm×25mm×約3mmの直方体試料を作製し、(徐冷点+30℃)から(歪点−50℃)までの温度域を0.1℃/分の冷却速度で徐冷処理した後、屈折率nが整合する浸液を浸透させて測定した値である。 Refractive index n d is the value of the d-line as determined by the refractive index measuring instrument KPR-2000 manufactured by Shimadzu Corporation. Specifically, first, a rectangular parallelepiped sample of 25 mm × 25 mm × about 3 mm is prepared, and the temperature range from (annealing point + 30 ° C.) to (strain point−50 ° C.) is set at a cooling rate of 0.1 ° C./min. It is a value measured by infiltrating an immersion liquid having a matching refractive index n d after annealing.

[実施例1]に係る試料No.1〜3を1Mの塩酸溶液に10分間浸漬させた後、試料表面を走査型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社製S−4300SE)により観察した。図1〜3は、試料No.1〜3の表面の走査型電子顕微鏡の像をそれぞれ示している。図1〜3から分かるように、試料No.1〜3は、分相構造を有していた。なお、ガラスが分相していれば、Bに富む相が塩酸溶液により溶出し、SiOに富む相が塩酸溶液に溶出せずに残存することになる。 In sample No. 1 according to [Example 1]. After immersing 1-3 in a 1M hydrochloric acid solution for 10 minutes, the sample surface was observed with a scanning electron microscope (S-4300SE, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). 1 to 3 are sample No. The images of the scanning electron microscope of the surface of 1-3 are each shown. As can be seen from FIGS. 1-3 had a phase separation structure. If the glass is phase-separated, the phase rich in B 2 O 3 is eluted by the hydrochloric acid solution, and the phase rich in SiO 2 remains without being eluted in the hydrochloric acid solution.

試料No.1〜3について、厚みが0.1mm又は0.7mmになるように加工した後、両表面を鏡面研磨した。次に、図中の波長域について、分光光度計(島津製作所製分光光度計UV−2500PC)により、厚み方向の全光線透過率及び拡散透過率を測定した。両者の結果から、ヘーズ値を求めた。その結果を図4〜7に示す。なお、図4は、試料No.1を厚み0.1mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。図5は、試料No.2を厚み0.1mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。図6は、試料No.3を厚み0.1mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。図7は、試料No.3を厚み0.7mmに加工した後、全光線透過率、拡散透過率及びヘーズ値を測定したデータである。   Sample No. 1-3, after processing so that thickness might be set to 0.1 mm or 0.7 mm, both surfaces were mirror-polished. Next, with respect to the wavelength range in the figure, the total light transmittance and diffuse transmittance in the thickness direction were measured with a spectrophotometer (Spectrophotometer UV-2500PC manufactured by Shimadzu Corporation). From both results, the haze value was determined. The results are shown in FIGS. 4 shows the sample No. This is data obtained by measuring the total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 1 to a thickness of 0.1 mm. FIG. This is data obtained by measuring the total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 2 to a thickness of 0.1 mm. FIG. 3 is a data obtained by measuring the total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 3 to a thickness of 0.1 mm. FIG. 3 is data obtained by measuring total light transmittance, diffuse transmittance, and haze value after processing 3 to a thickness of 0.7 mm.

図4〜6から分かるように、試料No.1〜3(厚み0.1mm)は、波長400〜700nmにおける全光線透過率が30%以上であり、波長400〜700nmにおいて拡散透過率が20%以上となる波長があり、光散乱機能を有していた。一方、図7から分かるように、試料No.3(厚み0.7mm)は、波長400〜700nmにおける全光線透過率が低かった。   As can be seen from FIGS. 1 to 3 (thickness 0.1 mm) has a total light transmittance of 30% or more at a wavelength of 400 to 700 nm, a wavelength at which a diffuse transmittance of 20% or more at a wavelength of 400 to 700 nm, and has a light scattering function. Was. On the other hand, as can be seen from FIG. 3 (thickness 0.7 mm) had a low total light transmittance at a wavelength of 400 to 700 nm.

試料No.1のガラス組成を有する溶融ガラスをカーボン上に流し出した後、徐冷処理を行い、カーボンに接していない側の表面が自由表面となる分相性ガラスを得た。次に、カーボンに接していた側の表面を研磨して、厚み200μmのガラスフィルムを得た。続いて、得られたガラスフィルムを純水で洗浄して、表面に付着した不純物を除去した。更に、高屈折率のガラス基板(日本電気硝子社製HX−1:屈折率n1.63、板厚0.7mm)を用意した。このガラス基板は、オーバーフローダウンドロー法で成形されており、表面の平均表面粗さRaが0.2nmである。最後に、ガラスフィルムの自由表面とガラス基板の一方の表面をオプティカルコンタクトにより接合して、複合基板を得た。 Sample No. After the molten glass having the glass composition of 1 was poured onto the carbon, a slow cooling treatment was performed to obtain a phase-separated glass in which the surface on the side not in contact with the carbon was a free surface. Next, the surface on the side in contact with the carbon was polished to obtain a glass film having a thickness of 200 μm. Subsequently, the obtained glass film was washed with pure water to remove impurities attached to the surface. Further, a glass substrate with a high refractive index (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. HX-1: refractive index n d 1.63, thickness 0.7 mm) was prepared. This glass substrate is formed by the overflow downdraw method, and the average surface roughness Ra of the surface is 0.2 nm. Finally, the free surface of the glass film and one surface of the glass substrate were joined by optical contact to obtain a composite substrate.

試料No.2のガラス組成を有する溶融ガラスをカーボン上に流し出した後、徐冷処理を行い、カーボンに接していない側の表面が自由表面となる分相性ガラスを得た。次に、カーボンに接していた側の表面を研磨して、厚み50μmのガラスフィルムを得た。続いて、得られたガラスフィルムを純水で洗浄して、表面に付着した不純物を除去した。更に、高屈折率のガラス基板(日本電気硝子社製HX−1:屈折率n1.63、板厚0.7mm)を用意した。このガラス基板は、オーバーフローダウンドロー法で成形されており、表面の平均表面粗さRaが0.2nmである。最後に、ガラスフィルムの自由表面とガラス基板の一方の表面をオプティカルコンタクトにより接合して、複合基板を得た。 Sample No. After the molten glass having the glass composition of 2 was poured out onto the carbon, a slow cooling treatment was performed to obtain a phase-separated glass in which the surface on the side not in contact with the carbon was a free surface. Next, the surface on the side in contact with the carbon was polished to obtain a glass film having a thickness of 50 μm. Subsequently, the obtained glass film was washed with pure water to remove impurities attached to the surface. Further, a glass substrate with a high refractive index (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. HX-1: refractive index n d 1.63, thickness 0.7 mm) was prepared. This glass substrate is formed by the overflow downdraw method, and the average surface roughness Ra of the surface is 0.2 nm. Finally, the free surface of the glass film and one surface of the glass substrate were joined by optical contact to obtain a composite substrate.

試料No.3のガラス組成を有する溶融ガラスをカーボン上に流し出した後、徐冷処理を行い、カーボンに接していない側の表面が自由表面となる分相性ガラスを得た。次に、カーボンに接していた側の表面を研磨して、厚み150μmのガラスフィルムを得た。続いて、得られたガラスフィルムを純水で洗浄して、表面に付着した不純物を除去した。更に、高屈折率のガラス基板(日本電気硝子社製HX−1:屈折率n1.63、板厚0.7mm)を用意した。このガラス基板は、オーバーフローダウンドロー法で成形されており、表面の平均表面粗さRaが0.2nmである。最後に、ガラスフィルムの自由表面とガラス基板の一方の表面をオプティカルコンタクトにより接合して、複合基板を得た。 Sample No. After the molten glass having the glass composition of 3 was poured onto the carbon, a slow cooling treatment was performed to obtain a phase-separating glass in which the surface on the side not in contact with the carbon was a free surface. Next, the surface on the side in contact with the carbon was polished to obtain a glass film having a thickness of 150 μm. Subsequently, the obtained glass film was washed with pure water to remove impurities attached to the surface. Further, a glass substrate with a high refractive index (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. HX-1: refractive index n d 1.63, thickness 0.7 mm) was prepared. This glass substrate is formed by the overflow downdraw method, and the average surface roughness Ra of the surface is 0.2 nm. Finally, the free surface of the glass film and one surface of the glass substrate were joined by optical contact to obtain a composite substrate.

Claims (12)

ガラス組成として、質量%で、SiO 30〜75%、B 〜50%、Al 0.1〜25%を含有し、厚みが5〜500μmであり、少なくとも第一の相と第二の相を含む分相構造を有することを特徴とするガラスフィルム。 As a glass composition, in mass%, SiO 2 30~75%, B 2 O 3 1 ~50%, containing Al 2 O 3 0.1~ 25%, a thickness of 5 to 500 [mu] m, at least a first A glass film having a phase separation structure including a phase and a second phase. 波長400〜700nmにおいてヘーズ値が5%以上の波長を有することを特徴とする請求項1に記載のガラスフィルム。   The glass film according to claim 1, wherein the glass film has a wavelength of 5% or more at a wavelength of 400 to 700 nm. 波長400〜700nmにおける全光線透過率が20%以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラスフィルム。   The glass film according to claim 1, wherein the total light transmittance at a wavelength of 400 to 700 nm is 20% or more. 屈折率nが1.50超であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラスフィルム。 Glass film according to any one of claims 1 to 3, the refractive index n d is equal to or is 1.50 greater. ガラス組成として、質量%で、SiO 30〜75%、B 7〜50%、Al 3〜25%を含有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のガラスフィルム。 As a glass composition, in mass%, SiO 2 30~75%, B 2 O 3 7~50%, according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it contains Al 2 O 3 3~ 25% Glass film. ガラス組成中のレアメタル酸化物の含有量が0.1質量%以下であることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のガラスフィルム。   The glass film according to claim 1, wherein the content of the rare metal oxide in the glass composition is 0.1% by mass or less. 有機ELデバイスに用いることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のガラスフィルム。   It uses for an organic EL device, The glass film in any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. ガラスフィルムと基板を接合した複合基板であって、
ガラスフィルムが、請求項1〜6の何れかに記載のガラスフィルムであることを特徴とする複合基板。
A composite substrate obtained by bonding a glass film and a substrate,
A glass substrate is the glass film in any one of Claims 1-6, The composite substrate characterized by the above-mentioned.
基板がガラス基板であることを特徴とする請求項8に記載の複合基板。   The composite substrate according to claim 8, wherein the substrate is a glass substrate. 基板の屈折率nが1.50超であることを特徴とする請求項8又は9に記載の複合基板。 Composite substrate according to claim 8 or 9 refractive index n d of the substrate is characterized by a 1.50 greater. ガラスフィルムと基板がオプティカルコンタクトにより接合されていることを特徴とする請求項8〜10の何れかに記載の複合基板。   The composite substrate according to claim 8, wherein the glass film and the substrate are joined by optical contact. 有機ELデバイスに用いることを特徴とする請求項8〜11の何れかに記載の複合基板。   The composite substrate according to claim 8, wherein the composite substrate is used for an organic EL device.
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