JP7273651B2 - 中空突起具の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、開孔を有する微細な中空突起部を備えた中空突起具の製造方法に関する。

近年、医療分野、美容分野などにおいて、マイクロニードルなどとも呼ばれる微細な針状突起を備えた液注入具による薬剤の経皮吸収が注目されている。この注入具によれば、マイクロニードルを角質層などの皮膚における比較的浅い層に刺入させて体内に薬剤を注入することが可能であり、侵襲的な薬剤の投与手段でありながら通常の注射器に比べて被験者が感じる痛みが大幅に低減されるとして注目されている。マイクロニードルの中でも、特にマイクロニードルの内外を連通させる開孔を有する中空型マイクロニードルは、マイクロニードルの内部に配される剤の選択肢を広げることができ有効である。しかし、開孔を有する中空型マイクロニードルは、特に医療分野や美容分野で使用される場合に、マイクロニードルの形状の精度が求められ、開孔を通して皮膚の内部に剤を安定的に供給する安定性が求められる。

開孔を有する中空型マイクロニードルは、例えば特許文献１に記載の製造方法によって製造することができる。特許文献１に記載の製造方法は、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートを加熱しつつ、該基材シートの一面側から凸型を刺入して、該基材シートの他面側から突出する非貫通の中空突起部を形成し、該中空突起部の内部に該凸型を刺した状態で該中空突起部を冷却した後、該凸型を抜き、しかる後、該基材シートの他面側に配された接触式の凸型又は非接触式の熱加工手段（例えばレーザー光照射装置）を用いて、該中空突起部における先端部の中心からずれた位置に開孔を形成する工程を備える。

また、ナノインプリント又はフォトリソグラフィーにより形成される微細凸構造部を有する微細凸構造体においては、該微細凸構造部が、該微細凸構造部の基部となる面に対して略垂直に立設されていることが要求されるところ、該微細凸構造体の製造過程で該微細凸構造部が意図せずに傾斜してしまうという問題がある。この問題を解決する技術として、特許文献２には、傾斜した微細凸構造部の側面のうち、相対的に伸長している側面に対して外部からエネルギーを付与することにより、該微細凸構造部における相対的に伸長している側面を収縮させて該微細凸構造部の傾斜を修正することが記載されている。

特開２０１７－１７６６５５号公報 特開２０１４－３４１６０号公報

本発明の課題は、開孔を有する微細な中空突起部の形状を設計に対して精度高く形成することができる、中空突起具の製造技術を提供することに関する。

本発明は、開孔を有する微細な中空突起部を備えた中空突起具の製造方法であって、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートを加熱しつつ、該基材シートの一面側から突起部形成用凸型を刺入して、該基材シートの他面側から突出する非貫通の中空突起部を形成し、該中空突起部の内部から該突起部形成用凸型を抜いた後、該基材シートの他面側に配された非接触式の開孔手段を用いて、該中空突起部に貫通孔である前記開孔を形成する突起部形成工程と、前記突起部形成工程で形成された中空突起部の形状を矯正する突起部矯正工程とを備え、該突起部矯正工程は、前記中空突起部の内部に突起部矯正用凸型を挿入した状態で該中空突起部を加熱する凸型挿入加熱工程と、前記中空突起部の内部に前記突起部矯正用凸型を挿入した状態で該中空突起部を冷却する冷却工程と、前記冷却工程の後、前記中空突起部の内部から前記突起部矯正用凸型を抜くリリース工程とを備える、中空突起具の製造方法である。

本発明の製造方法によれば、開孔を有する微細な中空突起部が設計に対して精度の高い形状で形成された高品質の中空突起具を効率良く製造することができる。

図１は、本発明の製造方法で製造される中空突起具の一実施形態の模式的な斜視図である。 図２は、図１のＩ－Ｉ線での模式的な断面図である。 図３は、図１に示す中空突起具の製造方法の実施に使用可能な製造装置の一実施形態の要部の構成を示す図である。 図４は、図３に示す製造装置が具備する凸型の一実施形態の模式的な斜視図である。 図５は、図４に示す凸型の先端径及び先端角度の測定方法を示す説明図である。 図６（ａ）～（ｆ）は、それぞれ、図３に示す製造装置によって実施される中空突起具の製造方法の一実施態様の各工程の説明図である。 図７（ａ）～（ｈ）は、図６に示す製造方法をより具体的に説明する図である。

以下、本発明をその好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。なお、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。図面は基本的に模式的なものであり、各寸法の比率などは現実のものとは異なる場合がある。

図１には、本発明の製造方法の製造目的物である中空突起具の一実施形態が示されている。本実施形態の中空突起具１は、図１に示すように、開孔３ｈを有する微細な中空突起部３と、平坦な基底部材２とを備えている。中空突起具１は、基底部材２から複数の中空突起部３が突出する形態となっている。

本実施形態の中空突起具１では、シート状の基底部材２の上面に、複数具体的には９個の円錐状の中空突起部３が配されている。複数の中空突起部３は互いに同形状同寸法である。これら複数（９個）の中空突起部３は、中空突起具１の製造時における流れ方向（機械方向、以下「ＭＤ」ともいう。）及び製造時におけるＭＤに直交する方向（以下、「ＣＤ」ともいう。）それぞれにおいて多列（３列）に配置され、且つ各該列においては、複数（３個）の中空突起部３が一方向に所定間隔を置いて間欠配置されている。なお、中空突起部３の数、配置及び形状は、図１に示す形態に制限されず任意に設定することができ、例えば、中空突起部３の外形形状は、図１に示す如き円錐状以外に、円錐台状、円柱状、角柱状、角錐状、角錐台状等とすることができる。

複数の中空突起部３は、それぞれ図２に示すように、内面３１及び外面３２を有し、内部（中空部）に、内面３１で画成された空間３ｋを有する。空間３ｋは、中空突起部３の外形形状に対応した形状に形成されており、図１に示す中空突起具１では、円錐状の中空突起部３の外形形状に対応した円錐状に形成されている。空間３ｋにおける、中空突起部３の先端３ｔ側とは反対側には基底側開孔２ｈが存在しており、中空突起部３の内部の空間３ｋは、基底側開孔２ｈを介して外部と連通している。

開孔３ｈは、図２に示すように、中空突起部３の内面３１及び外面３２の形成材料（基底部材２の形成材料と同じ）を厚み方向に貫通する貫通孔であり、中空突起部３の内部の空間３ｋは、開孔３ｈを介して外部と連通している。開孔３ｈは、内面３１から外面３２に向かうに従って差し渡し長さ（直径）が漸次増加している。また開孔３ｈは、中空突起部３の先端３ｔ側、すなわち中空突起部３の高さ方向（基底部材２の厚み方向と同方向）の中央よりも中空突起部３の先端３ｔに近い側に位置しているが、先端３ｔには位置しておらず、先端３ｔ（中空突起部３の平面視における中心）からずれた位置に形成されている。このように開孔３ｈが中空突起部３の先端からずれた位置に形成されていると、中空突起部３を皮膚に刺入したときに開孔３ｈが潰れ難く、中空突起部３の内部の空間３ｋに存する薬剤が開孔３ｈを通して皮膚の内部に安定的に供給され得る。

中空突起具１の各部の寸法等は特に制限されないが、例えば以下のように設定することができる。
中空突起部３の突出高さＨ１（図２参照）は、好ましくは０．０１ｍｍ以上、より好ましくは０．０２ｍｍ以上、そして、好ましくは１０ｍｍ以下、より好ましくは５ｍｍ以下である。突出高さＨ１が斯かる範囲にあると、中空突起部３を皮膚に刺入したときに、その先端３ｔが最も浅いところでは角層まで、最も深いところでは真皮まで刺入させることが可能となる。
中空突起部３の先端径Ｌ（図２参照）は、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは５μｍ以上、そして、好ましくは５００μｍ以下、より好ましくは３００μｍ以下である。中空突起具１の先端径Ｌは、中空突起部３の先端３ｔにおける最も広い位置での長さである。先端径Ｌが斯かる範囲にあると、中空突起部３を皮膚に刺入したときに伴う痛みが知覚し難くなる。先端径Ｌは下記方法により測定される。
開孔３ｈの内面３１における開孔面積は、好しくは０．７μｍ^２以上、より好ましくは２０μｍ^２以上、そして、好ましくは２０００００μｍ^２以下、より好ましくは７００００μｍ^２以下である。

＜中空突起部３の先端径Ｌの測定方法＞
中空突起部３の先端部（先端３ｔ及びその近傍）を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又はマイクロスコープを用いて、図２（ａ）に示すように所定倍率拡大した状態で観察する。次に、図２（ａ）に示すように、外面３２である両側辺１ａ，１ｂのうちの一側辺１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬａを延ばし、他側辺１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｂを延ばす。そして、中空突起部３の先端側にて、一側辺１ａが仮想直線ＩＬａから離れる箇所を第１先端点１ａ１として求め、他側辺１ｂが仮想直線ＩＬｂから離れる箇所を第２先端点１ｂ１として求める。このようにして求めた第１先端点１ａ１と第２先端点１ｂ１とを結ぶ直線の長さＬを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又はマイクロスコープを用いて測定し、測定した該直線の長さを、中空突起部３の先端径Ｌとする。

複数の（図１では９個）の中空突起部３は、一方向（ＭＤ）の中心間距離が均一であるとともに、該一方向に直交する他の一方向（ＣＤ）の中心間距離が均一であることが好ましい。ここでいう「中心間距離」は、一方向に隣り合う２個の中空突起部３の中心（先端３ｔ）どうしの間隔を意味する。また、一方向（ＭＤ）の中心間距離と他の一方向（ＣＤ）の中心間距離とが同じであることが好ましい。中空突起部３の一方向（ＭＤ又はＣＤ）の中心間距離は、好ましくは０．０１ｍｍ以上、より好ましくは０．０５ｍｍ以上、そして、好ましくは１０ｍｍ以下、より好ましくは５ｍｍ以下である。

次に、本発明の中空突起具の製造方法を、前述した中空突起具１の製造方法を例にとり図面を参照して説明する。図３には、中空突起具１の製造方法の実施に使用可能な製造装置の一実施形態である製造装置１００の要部が示されている。なお、製造方法の説明で用いる図３等の図面では、説明の便宜上、中空突起部３を実際よりも大きく誇張して記載している。また図３は、あくまで製造装置１００の装置構成を示すものであって、本発明の中空突起具の製造方法を示すものではない。

製造装置１００は、図３に示すように、中空突起部３の形成及び矯正を行う突起部形成・矯正部１０と、冷却部２０と、中空突起部３に貫通孔である開孔３ｈを形成する開孔形成部４０とを具備する。また、製造装置１００は、中空突起具１の原材料である基材シート２Ａの搬送手段（図示せず）を具備する。前記搬送手段は、搬送ロールなど、長尺のシート状物を搬送可能な公知の搬送手段と同様に構成されている。

基材シート２Ａは、製造目的物である中空突起具１における基底部材２となるシートであり、熱可塑性樹脂を含んでいる。基材シート２Ａとしては、熱可塑性樹脂を主体とするものが好ましく、具体的には、熱可塑性樹脂の含有量が好ましくは５０質量％以上、より好ましくは９０質量％以上であるものが好ましい。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ脂肪酸エステル、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート類、ポリ塩化ビニル、ナイロン樹脂、アクリル樹脂等が挙げられ、これらの１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、生分解性の観点から、ポリ脂肪酸エステルが好ましく用いられる。ポリ脂肪酸エステルとしては、具体的に、ポリ乳酸、ポリグリコール酸又はこれらの組み合わせが挙げられる。基材シート２Ａは、熱可塑性樹脂以外に、ヒアルロン酸、コラーゲン、でんぷん、セルロース等を含んだ混合物を含んでいてもよい。基材シート２Ａの厚みは、製造目的物である中空突起具１における基底部材２の厚みＴ２（図２参照）と同等である。

突起部形成・矯正部１０は、凸型１１０を具備する。凸型１１０は、後述する突起部形成工程では、基材シート２Ａに刺入されて、中空突起部３を形成するのに用いられ、後述する突起部矯正工程では、該突起部形成工程で形成した中空突起部３の内部に挿入されて、該中空突起部３の形状を矯正するのに用いられる。つまり突起部形成・矯正部１０は、突起部形成工程及び突起部矯正工程の二工程で動作し、各工程で凸型１１０を用いる。凸型１１０の外形形状、寸法、数及び配置は、製造目的物である１個の中空突起具１における中空突起部３の外形形状、寸法、数及び配置に対応している。

製造装置１００における凸型１１０は、図４に示すように、凸型ユニット１１の一部である。凸型ユニット１１は、平板状の支持部材１１１と、該支持部材１１１の片面に配置された凸型１１０とを含んで構成されている。製造装置１００によって製造される中空突起具１は、円錐状の中空突起部３を９個備えているので、凸型ユニット１１においてはこれに対応して、支持部材１１１の片面に円錐状の凸型１１０が９個配置されている。複数（９個）の凸型１１０は、それぞれ、その先端を上方に向けて配置されている。なお、突起部形成・矯正部１０は、少なくとも凸型１１０を具備していればよく、支持部材１１１は具備しなくてもよい。

製造装置１００では、突起部形成・矯正部１０は、凸型１１０の移動手段１１２を具備し、移動手段１１２を作動させることで、凸型１１０を含む凸型ユニット１１を、図中符号Ｚで示す基材シート２Ａ（基底部材２）の厚み方向の一方側及び他方側の双方に移動させることができる。すなわち突起部形成・矯正部１０は、図３に示すように、搬送される基材シート２Ａの下方における所定の待機位置で待機する凸型ユニット１１を、基材シート２Ａの厚み方向Ｚに沿って、基材シート２Ａに近づく方向（図３では上方）に向かって移動させ、凸型１１０の先端１１０ｔを基材シート２Ａに当接させることもできるし、凸型ユニット１１を基材シート２Ａから離れる方向（図３では下方）に向かって移動させることもできる。移動手段１１２としては、凸型１１０（凸型ユニット１１）をこのように移動させることが可能なものであればよく、例えば、公知の電動アクチュエータを用いることができる。凸型１１０の移動（移動手段１１２の動作）は、製造装置１００が備える制御手段（図示せず）により制御される。

後述する突起部形成工程では基材シート２Ａを加熱し、また、後述する突起部矯正工程では中空突起部３を加熱するところ、製造装置１００では、凸型ユニット１１がこれらの加熱を行う加熱手段（図示せず）を具備する。凸型ユニット１１において加熱手段の配置箇所は特に制限されず、例えば、凸型１１０又は支持部材１１１に内蔵されていてもよく、支持部材１１１の表面に固定されていてもよい。加熱手段の種類は特に制限されず、例えば、超音波振動装置、加熱ヒーター等を用いることができる。製造装置１００では超音波振動装置が採用されており、基材シート２Ａの加熱及び中空突起部３の加熱は、それぞれ、凸型１１０を介した超音波振動の印加によって行われる。加熱手段の作動は、製造装置１００が備える制御手段（図示せず）により制御される。

凸型１１０の先端部（先端１１０ｔ及びその近傍）の形状は、製造目的物である中空突起具１における中空突起部３の外形形状に対応した形状となっていればよい。
凸型１１０の高さＨ２（図４参照）は、典型的には、製造目的物である中空突起具１における中空突起部３の突出高さＨ１（図２参照）と同じか、又は突出高さＨ１に比べて若干高い。凸型１１０の高さＨ２は、好ましくは０．０１ｍｍ以上、より好ましくは０．０２ｍｍ以上、そして、好ましくは３０ｍｍ以下、より好ましくは２０ｍｍ以下である。
凸型１１０の先端径Ｄ１（図５参照）が、好ましくは０．００１ｍｍ以上、より好ましくは０．００５ｍｍ以上、そして、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以下である。先端径Ｄ１は下記方法により測定される。
凸型１１０の根本径Ｄ２（図５参照）は、好ましくは０．１ｍｍ以上、より好ましくは０．２ｍｍ以上、そして、好ましくは５ｍｍ以下、より好ましくは３ｍｍ以下である。
凸型１１０の先端角度αは、製造目的物である中空突起具１における中空突起部３に実用上十分な強度を付与する観点から、好ましくは１度以上、より５度以上である。また先端角度αは、適度な角度を有する中空突起部３を得る観点から、好ましくは６０度以下、より好ましくは４５度以下である。先端角度αは下記方法により測定される。

＜凸型１１０の先端径Ｄ１の測定方法＞
凸型１１０の先端部を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又はマイクロスコープを用いて所定倍率に拡大した状態で観察する。次に、図５に示すように、凸型１１０の外面である両側辺１１ａ，１１ｂのうちの一側辺１１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｃを延ばし、他側辺１１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｄを延ばす。そして、先端側にて、一側辺１１ａが仮想直線ＩＬｃから離れる箇所を第１先端点１１ａ１として求め、他側辺１１ｂが仮想直線ＩＬｄから離れる箇所を第２先端点１１ｂ１として求める。このようにして求めた第１先端点１１ａ１と第２先端点１１ｂ１とを結ぶ直線の長さＤ１を、走査型電子顕微鏡又はマイクロスコープを用いて測定し、測定した該直線の長さを、凸型１１０の先端径Ｄ１とする。

＜凸型１１０の先端角度αの測定方法＞
凸型１１０の先端部を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又はマイクロスコープを用いて所定倍率拡大した状態で、例えば、図５の四角で囲った部分のように観察する。次に、図５に示すように、凸型１１０の外面である両側辺１１ａ，１１ｂのうちの一側辺１１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｃを延ばし、他側辺１１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｄを延ばす。そして、仮想直線ＩＬｃと仮想直線ＩＬｄとのなす角度を、走査型電子顕微鏡又はマイクロスコープを用いて測定し、該角度を、凸型１１０の先端角度αとする。

凸型１１０は、折れ難い高強度の材質で形成されている。凸型１１０の材質としては、鋼鉄、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅、銅合金、ベリリウム銅、ベリリウム銅合金等の金属、又はセラミック等が挙げられる。凸型ユニット１１における凸型１１０以外の部材（例えば支持部材１１１）の材質は、凸型１１０と同じ材質（例えば金属又はセラミック）でもよく、凸型１１０とは異なる材質（例えば合成樹脂）でもよい。

製造装置１００では、突起部形成・矯正部１０は、図３に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側、凸型１１０の刺入側とは反対側）に撓み抑制手段としての第１開口プレート１２Ｕを具備するとともに、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側、凸型１１０の刺入側）に撓み抑制手段としての第２開口プレート１２Ｄを具備している。開口プレート１２Ｕ，１２Ｄは、基材シート２Ａを挟んで相対向している。開口プレート１２Ｕ，１２Ｄは、それぞれ、ＭＤに平行に延在する板状部材から形成され、該板状部材には、凸型ユニット１１における凸型１１０を挿通可能な開口部１２ａが複数穿設されている。開口プレート１２Ｕ，１２Ｄでは、開口部１２ａ以外の領域で基材シート２Ａを支持する。開口プレート１２Ｕ，１２Ｄを形成する材質は、凸型１１０と同じ材質（例えば金属又はセラミック）でもよく、凸型１１０とは異なる材質（例えば合成樹脂）でもよい。

開口プレート１２Ｕ，１２Ｄは、それぞれ、基材シート２Ａの厚み方向Ｚの一方側及び他方側の双方に移動可能とされている。すなわち開口プレート１２Ｕ，１２Ｄは、それぞれ、所定の待機位置から基材シート２Ａに向かって厚み方向Ｚに沿って移動し、基材シート２Ａと当接することもできるし、基材シート２Ａから離れる方向に向かって厚み方向Ｚに沿って移動することもできる。斯かる開口プレート１２Ｕ，１２Ｄの移動は、電動アクチュエータ等の移動手段（図示せず）によってなされ、製造装置１００が備える制御手段（図示せず）により制御される。

冷却部２０は、図３に示すように、冷風送風装置２１を具備する。製造装置１００では、冷風送風装置２１には、冷風送風する送風口２２が基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に配されており、送風口２２から冷風を吹き付けて中空突起部３を冷却するようになされている。なお、冷風送風装置２１の構成は図３に示すものに制限されず、例えば、帯状の基材シート２Ａが通過可能な中空部を有し、該中空部を通過する基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）及び一面２Ｄ側（下面側）の双方に対し冷風送風可能に構成されていてもよい。冷風送風装置２１の冷却温度、冷却時間の制御は、製造装置１００が備える制御手段（図示せず）により制御される。

開孔形成部４０は、図３に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に非接触式の開孔手段４を備えている。非接触式の開孔手段４としては、レーザー光を照射するレーザー光照射装置、ホットエアーを発射するホットエアー発射装置、赤外線を照射するハロゲンランプ照射装置等、熱源を用いた加工装置が挙げられる。製造装置１００では、微細加工に必要な集光性や高精度なエネルギー制御が可能である観点から、非接触式の開孔手段４として、レーザー光照射装置４が用いられている。

レーザー光照射装置（非接触式の開孔手段）４は、図３に示すように、レーザー光４Ｌを自在に走査するガルバノスキャナである照射ヘッド４１を具備する。照射ヘッド４１は、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に該他面２Ｕから厚み方向Ｚの上方に一定の間隔を空けて配置されている。このように基材シート２Ａの他面２Ｕ側に配された照射ヘッド４１からレーザー光４Ｌを非貫通の中空突起部３に照射して、中空突起部３に開孔３ｈを形成すると、中空突起部３の外面３２（図２参照）における開孔３ｈの周囲にバリが形成され難い。また、中空突起部３の任意の位置に開孔３ｈを形成し易いため、液剤等を供給したい皮膚表面に対する位置を任意に制御し易い。

照射ヘッド４１は、図３に示すように、照射されたレーザー光４Ｌを集光するレンズ４３、並びに集光したレーザー光４Ｌを自在に走査する２枚のミラー４２及び保護レンズ４４を具備する。保護レンズ４４は具備しなくてもよいが、光学系への塵やほこりの進入を防止する観点から具備する方が好ましい。ミラー４２は、モータ軸（図示せず）に取り付けられている。ミラー４２は、レーザー光４Ｌが基材シート２Ａ上の中空突起部３に当たる照射点を、ＭＤに移動させる機構とＣＤに移動させる機構とを備え、レーザー光４Ｌを自在に走査できるようになっている。レンズ４３は、光軸方向に移動可能となっており、レーザー光４Ｌを集光して、中空突起部３に当たるレーザー光４Ｌの照射点のスポット径を一定にする機構、該レーザー光４Ｌの照射点を基材シート２Ａの厚み方向Ｚに移動させる機構等を備えている。ミラー４２及びレンズ４３を有する照射ヘッド４１は、レーザー光４Ｌの照射点をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向からなる３次元に調整できるようになっている。その為、複数（図示の形態では９個）の中空突起部３それぞれの照射したい位置を３次元に座標化することで、レーザー光４Ｌを各中空突起部３の照射したい位置に所定のスポット径で照射することができる。レーザー光４Ｌとしては、開孔３ｈを形成する中空突起部３に吸収され得るものを用いることが好ましい。中空突起部３を形成する基材シート２Ａが、熱可塑性樹脂を主体とするフィルム等のシートである場合、レーザー光４Ｌとしては、ＣＯ_２レーザー、エキシマレーザー、アルゴンレーザー、ＹＡＧレーザー、ＬＤレーザー（半導体レーザー）、ＹＶＯ_４レーザー、ファイバーレーザー等を用いることが好ましい。

図６には、製造装置１００を用いた中空突起具１の製造方法の概略が示されている。中空突起具１の製造方法は、図６に示すように、突起部形成工程Ａと、該突起部形成工程Ａで形成された中空突起部３の形状を矯正する突起部矯正工程Ｂとを備える。

突起部形成工程Ａでは、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シート２Ａを加熱しつつ、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）から凸型１１０を刺入して、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）から突出する非貫通の中空突起部３を形成し（図６（ａ）及び図６（ｂ）参照）、中空突起部３の内部から凸型１１０を抜いた後、基材シート２Ａの他面２Ｕ側に配された非接触式の開孔手段（レーザー光照射装置）４を用いて、中空突起部３に貫通孔である開孔３ｈを形成する（図６（ｃ）及び図６（ｄ）参照）。以下、突起部形成工程Ａについて、図６及び図７を参照しながら説明する。

突起部形成工程Ａの実施に先立ち、図３に示すように、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シート２Ａの原反ロールから長尺帯状の基材シート２Ａを繰り出し、一方向ＭＤに搬送する。そして、基材シート２Ａにおける加工予定部位（中空突起部３の形成予定部位）が所定位置（突起部形成・矯正部１０）に到達したところで、基材シート２Ａの搬送を止め、該所定位置での加工が終了したら再び搬送する。本実施態様ではこのように、基材シート２Ａの搬送を間欠的に行う。

突起部形成工程Ａでは先ず、図７（ａ）に示すように、第１開口プレート１２Ｕと第２開口プレート１２Ｄとで基材シート２Ａを挟持しつつ、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（第２開口プレート１２Ｄ側）に向かって凸型１１０を含む凸型ユニット１１を移動させ、第２開口プレート１２Ｄの開口部１２ａに凸型１１０を通過させ、凸型１１０の先端１１０ｔを基材シート２Ａの一面２Ｄに当接させる。凸型１１０は、前述した加熱手段としての超音波振動装置の作動により、基材シート２Ａに当接する時点よりも前から超音波振動を発現している。図６及び図７において、凸型１１０の周囲に記載された複数の波状線は、凸型１１０が超音波振動を発現している状態を示している。このように超音波振動が発現した凸型１１０を基材シート２Ａに当接させることで、基材シート２Ａにおける凸型１１０の当接部分に超音波振動が印加され、それによって該当接部分が加熱されて軟化する。そして、図７（ｂ）に示すように、前記当接部分を軟化させながら、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）から他面２Ｕ側（上面側）に向かって凸型１１０を上昇させて、基材シート２Ａの他面２Ｕ側に配された第１開口プレート１２Ｕで基材シート２Ａの撓みを抑制しつつ、凸型１１０を基材シート２Ａに刺入する。こうして、基材シート２Ａの他面２Ｕ側から突出する非貫通の中空突起部３が形成される。

突起部形成工程Ａにおける凸型１１０を介した基材シート２Ａへの超音波振動の印加に関し、超音波振動の周波数は、中空突起部３の形成の観点から、好ましくは１０ｋＨｚ以上、より好ましくは１５ｋＨｚ以上、そして、好ましくは５０ｋＨｚ以下、より好ましくは４０ｋＨｚ以下である。同様の観点から、超音波振動の振幅は、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは５μｍ以上、そして、好ましくは６０μｍ以下、より好ましくは５０μｍ以下である。凸型１１０を介した基材シート２Ａへの超音波振動の印加は、凸型１１０が基材シート２Ａに当接する時点よりも前から次工程（本実施態様では後述する冷却工程）を開始する直前まで行われることが好ましい。

突起部形成工程Ａにおいて、基材シート２Ａの加熱温度、より具体的には、基材シート２Ａにおける凸型１１０との当接部分の加熱温度は、中空突起部３の形成の観点から、使用される基材シート２Ａのガラス転移温度以上溶融温度未満であることが好ましく、特に軟化温度以上溶融温度未満であることが好ましい。具体的には、基材シート２Ａ（前記当接部分）の加熱温度は、好ましくは３０℃以上、より好ましくは４０℃以上、そして、好ましくは３００℃以下、より好ましくは２５０℃以下である。なお、基材シート２Ａの加熱手段（凸型ユニット１１が具備する加熱手段）として、超音波振動装置に代えて加熱ヒーターを用いる場合には、凸型１１０の加熱温度が前記の好ましい範囲となるように、加熱ヒーターを調整すればよい。ガラス転移温度（Ｔｇ）は、下記方法により測定され、軟化温度は、ＪＩＳ Ｋ－７１９６「熱可塑性プラスチックフィルム及びシートの熱機械分析による軟化温度試験方法」に従って測定される。

＜ガラス転移温度（Ｔｇ）の測定方法＞
ＤＳＣ測定器を使用して熱量の測定を行い、ガラス転移温度を求める。具体的に、測定器はＰｅｒｋｉｎ Ｅｌｍｅｒ社製の示差走査熱量測定装置（Ｄｉａｍｏｎｄ ＤＳＣ）を使用する。基材シートから試験片１０ｍｇを採取する。測定条件は２０℃で５分間維持した後に、２０℃から３２０℃まで、５℃／分で昇温させ、横軸温度、縦軸熱量のＤＳＣ曲線を得る。そして、このＤＳＣ曲線からガラス転移温度Ｔｇを求める。

なお、前記「基材シートのガラス転移温度（Ｔｇ）」は、基材シートの構成樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）を意味し、該構成樹脂が複数種存在する場合においてそれら複数種のガラス転移温度（Ｔｇ）が互いに異なる場合、前記加熱手段による基材シートの加熱温度は、少なくともそれら複数のガラス転移温度（Ｔｇ）のうち最も低いガラス転移温度（Ｔｇ）以上であることが好ましく、それら複数のガラス転移温度（Ｔｇ）のうち最も高いガラス転移温度（Ｔｇ）以上であることがさらに好ましい。また、前記「基材シートの軟化温度」についてもガラス転移温度（Ｔｇ）と同様である。すなわち、基材シートの構成樹脂が複数種存在する場合においてそれら複数種の軟化温度が互いに異なる場合、前記加熱手段による基材シートの加熱温度は、少なくともそれら複数の軟化温度のうち最も低い軟化温度以上であることが好ましく、それら複数の軟化温度のうち最も高い軟化温度以上であることがさらに好ましい。また、基材シートが融点の異なる２種以上の樹脂を含んで構成されている場合、前記加熱手段による基材シートの加熱温度は、それら複数の融点のうち最も低い融点未満である。

凸型１１０の基材シート２Ａに対する刺入速度は、遅過ぎると樹脂を過剰に加熱軟化させ、速過ぎると加熱軟化不足となるので、中空突起部３を効率的に形成する観点から、好ましくは０．１ｍｍ／秒以上、より好ましくは１ｍｍ／秒以上、そして、好ましくは１０００ｍｍ／秒以下、より好ましくは８００ｍｍ／秒以下である。
軟化時間、すなわち、「凸型１１０の上昇を停止させ、中空突起部３の内部に凸型１１０を刺入した状態のまま次工程（本実施態様では冷却工程）を行うまでの時間」は、加熱不足を補う観点から、好ましくは０秒より長く、より好ましくは０．１秒以上、そして、好ましくは１０秒以下、より好ましくは５秒以下である。

基材シート２Ａに刺す凸型１１０の刺入高さ１１０ｈ（図６（ｂ）参照）は、中空突起部３を効率的に形成する観点から、好ましくは０．０１ｍｍ以上、より好ましくは０．０２ｍｍ以上、そして、好ましくは１０ｍｍ以下、より好ましくは５ｍｍ以下である。刺入高さ１１０ｈは、基材シート２Ａに凸型１１０を最も深く刺し込んだ状態において、凸型１１０の先端１１０ｔと、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）との間の距離を意味する。つまり、凸型１１０が最も深く刺し込まれて基材シート２Ａの他面２Ｕから凸型１１０が出てきた状態における、該他面２Ｕから垂直方向に測定した凸型１１０の頂点までの距離が「刺入高さ１１０ｈ」である。

本実施態様の突起部形成工程Ａでは、以上のようにして非貫通の中空突起部３を形成した後、図７（ｃ）に示すように、該中空突起部３の内部に凸型１１０を刺した状態で、冷却部２０が具備する冷風送風装置２１を用いて中空突起部３を冷却する（冷却工程）。突起部形成工程Ａの冷却工程では、凸型１１０を介した超音波振動の印加は、継続しても中止してもよいが、非貫通の中空突起部３の形状を過度な変形をさせず一定に保つ観点から、中止することが好ましい。

突起部形成工程Ａの冷却工程において、中空突起部３に吹き付ける冷風の温度は、好ましくは－５０℃以上、より好ましくは－４０℃以上、そして、好ましくは２６℃以下、より好ましくは１０℃以下である。冷却時間（中空突起部３に冷風を吹き付ける時間）は、成形性と加工時間との両立の観点から、好ましくは０．０１秒以上、より好ましくは０．５秒以上、そして、好ましくは６０秒以下、より好ましくは３０秒以下である。

なお、製造装置１００のように、基材シート２Ａの加熱手段として超音波振動装置を用いる場合には、冷風送風装置２１を用いた冷却は必ずしも必要ではなく、冷風送風装置２１を用いない代わりに、超音波振動装置の作動を停止することにより、中空突起部３を冷却することもできる。これは、加熱手段として超音波振動装置を用いることによる利点の１つであり、加熱手段として超音波振動装置を用いることで、装置の簡便化、製造効率の向上が期待できる。加熱手段として超音波振動装置を用いることによる別の利点として、基材シート２Ａにおける凸型１１０と当接していない部分では、超音波振動が伝わりにくく、したがって加熱され難く、また、超音波振動のオン／オフによって冷却を効率的に行うことが可能なため、基材シート２Ａにおける中空突起部３の形成予定部以外の部分に変形が生じにくい点が挙げられる。

突起部形成工程Ａでは次に、図７（ｄ）に示すように、非貫通の中空突起部３の内部から凸型１１０を抜く（リリース工程）。本実施態様の突起部形成工程Ａのリリース工程では、凸型１１０を介した超音波振動装置による超音波振動を停止し、移動手段１１２を作動させて凸型１１０を含む凸型ユニット１１を、基材シート２Ａ（中空突起部３）から離れる方向、具体的には下方に移動させる。

突起部形成工程Ａでは次に、図６（ｃ）及び図７（ｅ）に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に配された非接触式の開孔手段４を用いて、非貫通の中空突起部３に貫通孔である開孔３ｈを形成する（開孔形成工程）。本実施態様では、非接触式の開孔手段４としてのレーザー光照射装置４から非貫通の中空突起部３にレーザー光４Ｌを照射することで、開孔３ｈを形成する。開孔形成工程において、開孔３ｈは、非貫通の中空突起部３の先端３ｔに形成してもよいが、開孔３ｈの形成時において先端３ｔへのダメージを低減する観点、及び使用時において中空突起部３を皮膚に刺入しやすくする観点から、該中空突起部３の先端からずれた位置に形成することが好ましい。

突起部形成工程Ａの開孔形成工程において、このように非接触式の開孔手段としてレーザー光照射装置を用いる場合には、比較的少ない照射エネルギーで開孔３ｈを形成するとともに、開孔３ｈの周辺部に対する照射エネルギーの影響を極力抑えて該周辺部の強度を維持する観点から、レーザー光の照射時間は、好ましくは０．００１ｍｓ以上、より好ましくは０．００５ｍｓ以上、そして、好ましくは５００ｍｓ以下、より好ましくは３００ｍｓ以下である。同様の観点から、レーザー光のレーザー出力は、好ましくは０．５Ｗ以上、より好ましくは１Ｗ以上、そして、好ましくは１００Ｗ以下、より好ましくは５０Ｗ以下である。

本実施態様ではこのように、突起部形成工程Ａにおいて、非貫通の中空突起部３から凸型１１０を抜き、該中空突起部３を中空にした状態で、該中空突起部３にレーザー光を照射して開孔３ｈを形成しており（図６（ｃ）及び図７（ｅ）参照）、該中空突起部３の内部に凸型１１０を挿入した状態ではレーザー光を照射していない。このように、中空突起部３を中空にしてからレーザー光を照射することにより、凸型１１０をはじめとする製造設備に対するレーザー光の影響を最小限に抑えることが可能となる。

そして本発明では、突起部形成工程Ａにおいて、非貫通の中空突起部３から凸型１１０を抜いた状態で該中空突起部３に非接触式の開孔手段４を用いて開孔３ｈを形成した後に、突起部形成工程Ａで形成された中空突起部３の形状を矯正する突起部矯正工程Ｂを採用することとした。このような本発明によれば、仮に、開孔３ｈ形成時の溶融熱等の影響で、図６（ｄ）に示すように、中空突起部３が屈曲ないし湾曲するなどして形状が崩れてしまっても、突起部矯正工程Ｂの実施によって、開孔３ｈを有する微細な中空突起部３の形状を設計に対して精度高く形成することが可能となる。

突起部矯正工程Ｂは、図６に示すように、中空突起部３の内部に凸型１１０を挿入した状態で該中空突起部３を加熱する凸型挿入加熱工程（図６（ｅ）参照）と、該中空突起部３の内部に凸型１１０を挿入した状態で該中空突起部３を冷却する冷却工程と、該冷却工程の後、中空突起部３の内部から凸型１１０を抜くリリース工程（図６（ｆ）参照）とを備える。

本実施態様の突起部矯正工程Ｂでは、先ず、図７（ｆ）に示すように、第１開口プレート１２Ｕと第２開口プレート１２Ｄとで基材シート２Ａ（基底部材２）を挟持しつつ、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（第２開口プレート１２Ｄ側）に向かって凸型１１０を含む凸型ユニット１１を移動させ、第２開口プレート１２Ｄの開口部１２ａを介して、凸型１１０を中空突起部３の内部の中空部に挿入し、凸型１１０を中空突起部３の内面３１（図２参照）に当接させる（凸型挿入加熱工程）。凸型１１０は、前述した加熱手段としての超音波振動装置の作動により、中空突起部３に挿入される時点よりも前から超音波振動を発現している。このように超音波振動が発現した凸型１１０を中空突起部３の内部に挿入し当接させることで、中空突起部３は加熱されて軟化し、内部に挿入されている凸型１１０の外面に追従するように変形する。中空突起部３の内部に挿入されている凸型１１０の外形形状は、該中空突起部３の適正な外形形状に対応したものであるので、斯かる該中空突起部３の熱による変形によって、該中空突起部３の形状が矯正される。

このように、突起部矯正工程Ｂの凸型挿入加熱工程は、加工対象（中空突起部３）に凸型１１０を所定速度で所定量挿入して加熱する工程であり、突起部形成工程Ａにおける非貫通の中空突起部３の形成工程、すなわち加工対象（基材シート２Ａ）に凸型１１０を所定速度で所定量刺入して加熱する工程と基本的には同じである。したがって、突起部矯正工程Ｂの凸型挿入加熱工程での加工条件（加熱温度、凸型１１０の中空突起部３の内部への挿入深さ及び挿入速度など）は、突起部形成工程Ａにおける非貫通の中空突起部３の形成工程での加工条件（加熱温度、凸型１１０の基材シート２Ａへの刺入深さ及び刺入速度など）と同じにすることもできる。しかし、両工程は目的が互いに異なるので、それぞれの目的を果たす上でより適切な加工条件を採用するとなれば、両工程の加工条件は互いに異なり得る。

例えば、突起部形成工程Ａと突起部矯正工程Ｂとで加工熱量条件は異なり得る。より具体的には例えば、突起部形成工程Ａにおける非貫通の中空突起部３の形成工程において基材シート２Ａに付与する加工熱量ＡＨと、突起部矯正工程Ｂの凸型挿入加熱工程において中空突起部３に付与する加工熱量ＢＨとは異なり得る。本発明では、「加工熱量ＡＨ＞加工熱量ＢＨ」及び「加工熱量ＡＨ＜加工熱量ＢＨ」の何れを採用してもよく、基材シート２Ａ（中空突起部３）の材質、矯正前の中空突起部３の形状、凸型１１０の材質等を考慮して適宜選択すればよいが、典型的には、「加工熱量ＡＨ＞加工熱量ＢＨ」である。すなわち中空突起部３の矯正のための加工熱量ＢＨの方が、中空突起部３を形成するための加工熱量ＡＨに比べて小さい。

加工熱量ＡＨ及びＢＨは、それぞれ、基材シート２Ａないし中空突起部３の加熱手段の加熱条件の他、凸型１１０の刺入ないし挿入深さ、刺入ないし挿入速度等によっても調整することができる。前記加熱手段が超音波振動装置である場合、前記加熱条件としては、例えば、超音波の周波数及び振幅が挙げられる。前記加熱手段が加熱ヒーターである場合、前記加熱条件としては、例えば、該加熱ヒーターの温度が挙げられる。例えば前記の「加工熱量ＡＨ＞加工熱量ＢＨ」を成立させる場合、下記条件ａ～ｅの少なくとも１つを満たすことが好ましい。

・条件ａ：凸型挿入加熱工程Ｂにおける凸型１１０の中空突起部３での挿入深さが、突起部形成工程Ａにおける凸型１１０の基材シート２Ａに対する刺入深さに比べて浅い。
・条件ｂ：凸型挿入加熱工程Ｂにおける凸型１１０の中空突起部３での挿入速度が、突起部形成工程Ａにおける凸型１１０の基材シート２Ａに対する刺入速度に比べて遅い。
・条件ｃ：前記加熱手段が超音波振動装置である場合、凸型挿入加熱工程Ｂにおける超音波の周波数が、突起部形成工程Ａにおける超音波の周波数に比べて低い。
・条件ｄ：前記加熱手段が超音波振動装置である場合、凸型挿入加熱工程Ｂにおける超音波の振幅が、突起部形成工程Ａにおける超音波の振幅に比べて小さい。
・条件ｅ：前記加熱手段が加熱ヒーターである場合、凸型挿入加熱工程Ｂにおける加熱ヒーターの温度が、突起部形成工程Ａにおける加熱ヒーターの温度に比べて低い。

前記条件ａに関し、「突起部形成工程Ａにおける凸型１１０の基材シート２Ａに対する刺入深さ」は、前述の「刺入高さ１１０ｈ」（図６（ｂ）参照）と同じである。

前記条件ａを採用し、凸型挿入加熱工程Ｂにおける凸型１１０の中空突起部３での挿入深さを、突起部形成工程Ａにおける凸型１１０の基材シート２Ａに対する刺入深さ（刺入高さ１１０ｈ）以下にする場合、すなわち前者≦後者とする場合、両者の比率は、前者／後者として、好ましくは０．５以上、より好ましくは０．６以上、そして、好ましくは１．０以下、より好ましくは０．９９以下である。

前記条件ｂを採用し、凸型挿入加熱工程Ｂにおける凸型１１０の中空突起部３での挿入速度を、突起部形成工程Ａにおける凸型１１０の基材シート２Ａに対する刺入速度以下にする場合、すなわち前者≦後者とする場合、両者の比率は、前者／後者として、好ましくは０．１以上、より好ましくは０．２以上、そして、好ましくは１．０以下、より好ましくは０．８以下である。

突起部矯正工程Ｂでは次に、図７（ｇ）に示すように、中空突起部３の内部に凸型１１０を挿入した状態で、冷却部２０が具備する冷風送風装置２１を用いて中空突起部３を冷却する（冷却工程）。突起部矯正工程Ｂの冷却工程では、凸型１１０を介した超音波振動の印加は、継続しても中止してもよいが、非貫通の中空突起部３の形状を過度な変形をさせず一定に保つ観点から、中止することが好ましい。突起部矯正工程Ｂの冷却工程は、特に断らない限り、前述した突起部形成工程Ａの冷却工程と同様に実施することができる。

突起部矯正工程Ｂでは次に、図６（ｆ）及び図７（ｈ）に示すように、冷却工程を経た中空突起部３の内部から凸型１１０を抜く（リリース工程）。突起部矯正工程Ｂのリリース工程は、特に断らない限り、前述した突起部形成工程Ａのリリース工程と同様に実施することができる。突起部矯正工程Ｂのリリース工程の終了後、中空突起具１の前駆体１Ａ（図３参照）が得られる。この前駆体１Ａは、複数の中空突起具１がＭＤに一列に連なった中空突起具連続体である。

以上のように形成された中空突起具１の前駆体１Ａは、突起部形成・矯正部１０、冷却部２０及び開孔形成部４０よりもＭＤの下流側における切断部（図示せず）に搬送され、該切断部にて製品単位に切断される。こうして、図１に示す中空突起具１が製造される。中空突起具１は、開孔３ｈを有する微細な中空突起部３の形状が設計に対して精度よく形成されているため、中空突起部３が皮膚に刺入しやすく、皮膚の内部に剤を安定的に供給できる。

ところで、前述の実施態様では、突起部形成工程Ａと突起部矯正工程Ｂとで同じ凸型１１０を用いており、突起部形成用凸型と突起部矯正用凸型とは同一物であったが、両凸型は互いに異なっていてもよい。その場合は例えば、突起部矯正用凸型（突起部矯正工程Ｂの凸型１１０）として、突起部形成用凸型（突起部形成工程Ａの凸型１１０）に比べて、先端１１０ｔが丸みを帯びているものを用いることができる。つまり、突起部形成用凸型は、突起部矯正用凸型に比べて先鋭ということである。突起部形成工程Ａでは、凸型１１０の先端１１０ｔで基材シート２Ａを突き刺して変形させる必要があるため、先端１１０ｔは先鋭であることが好ましいが、突起部矯正工程Ｂでは、既に形成されている中空突起部３の内部に凸型１１０を挿入するので、中空突起部３の内部を損傷させない観点からも先端１１０ｔは丸みを帯びていても構わない。

以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に何ら制限されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

１ 中空突起具
１Ａ 中空突起具の前駆体
２ 基底部材
２Ａ 基材シート
２Ｄ 基材シートの一面（下面）
２Ｕ 基材シートの他面（上面）
３ 中空突起部
３ｈ 開孔
３ｔ 中空突起部の先端
３１ 中空突起部の内面
３２ 中空突起部の外面
１０ 突起部形成・矯正部
１１ 凸型ユニット
１１０ 凸型
１１０ｔ 凸型の先端
１１１ 支持部材
１１２ 移動手段
１２Ｕ，１２Ｄ 開口プレート
１２ａ 開口部
２０ 冷却部
２１ 冷風送風装置
２２ 送風口
４０ 開孔形成部
４ レーザー光照射装置（非接触式の開孔手段）
４１ 照射ヘッド
４Ｌ レーザー光

Claims (8)

1. 開孔を有する微細な中空突起部を備えた中空突起具の製造方法であって、
   熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートを加熱しつつ、該基材シートの一面側から突起部形成用凸型を刺入して、該基材シートの他面側から突出する非貫通の中空突起部を形成し、該中空突起部の内部から該突起部形成用凸型を抜いた後、該基材シートの他面側に配された非接触式の開孔手段を用いて、該中空突起部に貫通孔である前記開孔を形成する突起部形成工程と、
   前記突起部形成工程で形成された中空突起部の形状を矯正する突起部矯正工程とを備え、該突起部矯正工程は、
   前記中空突起部の内部に突起部矯正用凸型を挿入した状態で該中空突起部を加熱する凸型挿入加熱工程と、
   前記中空突起部の内部に前記突起部矯正用凸型を挿入した状態で該中空突起部を冷却する冷却工程と、
   前記冷却工程の後、前記中空突起部の内部から前記突起部矯正用凸型を抜くリリース工程とを備える、中空突起具の製造方法。
2. 前記非接触式の開孔手段として、レーザー光照射装置を用いる、請求項１に記載の中空突起具の製造方法。
3. 前記突起部形成工程における前記基材シートの加熱、及び前記突起部矯正工程における前記中空突起部の加熱を、それぞれ、前記突起部形成用凸型又は前記突起部矯正用凸型を介した超音波振動の印加によって行う、請求項１又は２に記載の中空突起具の製造方法。
4. 前記突起部矯正用凸型として、前記突起部形成用凸型を用いる、請求項１～３の何れか１項に記載の中空突起具の製造方法。
5. 前記突起部矯正用凸型は、前記突起部形成用凸型に比べて、先端が丸みを帯びている、請求項１～３の何れか１項に記載の中空突起具の製造方法。
6. 前記突起部形成工程と前記突起部矯正工程とで加工熱量条件が異なる、請求項１～５の何れか１項に記載の中空突起具の製造方法。
7. 前記凸型挿入加熱工程における前記突起部矯正用凸型の前記中空突起部での挿入深さが、前記突起部形成工程における前記突起部形成用凸型の前記基材シートに対する刺入深さに比べて浅い、請求項１～６の何れか１項に記載の中空突起具の製造方法。
8. 前記凸型挿入加熱工程における前記突起部矯正用凸型の前記中空突起部での挿入速度が、前記突起部形成工程における前記突起部形成用凸型の前記基材シートに対する刺入速度に比べて遅い、請求項１～７の何れか１項に記載の中空突起具の製造方法。

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