JP7258419B2 - 成形品の製造方法 - Google Patents
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Description
3a,3b テープ
5a,5b フレーム
7a,7b フレームユニット
9 シールドトンネル
11 細孔
13 変質領域
15,15a,15b,15c 成形品
17 凹部
2 レーザ加工装置
4 チャックテーブル
6 レーザ加工ユニット
8 支持部材
10 加工ヘッド
10a レーザビーム
12 撮像ユニット
14 エッチング装置
16 テーブル
18 ノズル
20a,20b エッチング液
22 エッチング槽
22a ネット
24 ドライブ部
26 攪拌子
28 超音波振動装置
Claims (5)
- 被加工物の不要部分を除去して該被加工物から所望の形状の成形品を得る成形品の製造方法であって、
該被加工物に対して透過性を有する波長のパルスレーザを該パルスレーザの進行方向に沿った集光領域に集光させて該被加工物に次々に照射し、該被加工物の表面側に露出する細孔と、該細孔を囲む改質部と、からなる複数のシールドトンネルを該被加工物に形成するシールドトンネル形成ステップと、
該シールドトンネルをエッチングするエッチング剤によって該被加工物に形成された該シールドトンネルを除去するエッチングステップと、を含み、
該シールドトンネル形成ステップでは、該被加工物の該不要部分に該シールドトンネルを形成し、
該シールドトンネル形成ステップで該被加工物に形成される複数の該シールドトンネルは、複数の第1の高さの該シールドトンネルと、複数の第2の高さの該シールドトンネルと、を含み、
該第1の高さの該シールドトンネルと、該第2の高さの該シールドトンネルと、は、該被加工物の該表面から底部までの距離が互いに異なり、
該シールドトンネル形成ステップでは、複数の該第1の高さの該シールドトンネルを形成した後、該パルスレーザの該集光領域の高さを変え、その後に複数の該第2の高さの該シールドトンネルを形成することを特徴とする成形品の製造方法。 - 該エッチングステップでは、該エッチング剤を含むエッチング液に該被加工物を浸漬させることを特徴とする請求項1に記載の成形品の製造方法。
- 該エッチングステップを実施する間、該エッチング液を攪拌することを特徴とする請求項2に記載の成形品の製造方法。
- 該エッチングステップを実施する間、該エッチング液を介して該被加工物に超音波を付与することを特徴とする請求項2または請求項3に記載の成形品の製造方法。
- 該エッチングステップの後、該被加工物を水中に移動させ、該水を介して該被加工物に超音波を付与する超音波付与ステップをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の成形品の製造方法。
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