JP7252214B2 - レーザガス再生装置及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
本開示の他の1つの観点に係るレーザガス再生装置は、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスを再生し、再生ガスを少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給される第2のレーザガスの供給量のデータを取得するデータ取得部と、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを再生ガスに添加するキセノン添加部と、供給量に基づいて、キセノン添加部による第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、を含む。
本開示の他の1つの観点に係るレーザガス再生装置は、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスを再生し、再生ガスを少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量のデータを取得するデータ取得部と、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを再生ガスに添加するキセノン添加部と、排気量に基づいて、キセノン添加部による第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、を含む。
本開示の他の1つの観点に係る電子デバイスの製造方法は、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と、少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスを再生し、再生ガスを少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給される第2のレーザガスの供給量のデータを取得するデータ取得部と、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを再生ガスに添加するキセノン添加部と、供給量に基づいて、キセノン添加部による第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、を備えるレーザガス再生装置と、を備えるエキシマレーザシステムによって、レーザ光を生成し、レーザ光を露光装置に出力し、露光装置内で感光基板をレーザ光で露光することを含む。
本開示の他の1つの観点に係る電子デバイスの製造方法は、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と、少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスを再生し、再生ガスを少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量のデータを取得するデータ取得部と、クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを再生ガスに添加するキセノン添加部と、排気量に基づいて、キセノン添加部による第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、を備えるレーザガス再生装置と、を備えるエキシマレーザシステムによって、レーザ光を生成し、レーザ光を露光装置に出力し、露光装置内で感光基板をレーザ光で露光することを含む。
1.比較例に係るエキシマレーザ装置及びレーザガス再生装置
1.1 構成
1.1.1 エキシマレーザ装置
1.1.1.1 レーザ発振システム
1.1.1.2 レーザガス制御システム
1.1.2 レーザガス再生装置
1.2 動作
1.2.1 レーザ発振システムの動作
1.2.1.1 エネルギー制御
1.2.2 レーザガス制御システムの動作
1.2.2.1 ガス制御パラメータの初期設定
1.2.2.2 ガス圧制御
1.2.2.3 部分ガス交換
1.2.3 レーザガス再生装置の動作
1.2.3.1 メインフロー
1.2.3.2 ガス再生の初期設定サブルーチン
1.2.3.3 ガス回収/昇圧サブルーチン
1.2.3.4 ガス精製/調節サブルーチン
1.2.3.5 不活性再生ガス貯蔵/供給サブルーチン
1.3 ガスフロー
1.4 課題
2.フッ素含有ガス供給量に基づいてキセノン含有ガスを添加するレーザガス再生装置
2.1 構成
2.2 動作
2.2.1 比例定数の導出
2.2.2 ガス再生制御部の処理
2.3 作用
3.エキシマレーザ装置からフッ素含有ガス供給量を受信するレーザガス再生装置
3.1 構成
3.2 ガス再生制御部の処理
3.3 ガス制御部の処理
3.4 作用
4.ガス排気量に基づいてキセノン含有ガスを添加するレーザガス再生装置
4.1 構成
4.2 動作
4.2.1 比例定数の導出
4.2.2 ガス再生制御部の処理
4.3 作用
5.エキシマレーザ装置から排気量を受信するレーザガス再生装置
5.1 構成
5.2 ガス再生制御部の処理
5.3 ガス制御部の処理
5.4 作用
6.複数のレーザ装置に接続されるレーザガス再生装置(第1の例)
6.1 構成
6.2 動作
6.3 作用
7.複数のレーザ装置に接続されるレーザガス再生装置(第2の例)
7.1 構成及び動作
7.2 作用
8.キセノン添加部の配置
8.1 構成
8.2 作用
9.再生ガスタンクの例
9.1 第1の例
9.1.1 構成
9.1.2 動作及び作用
9.2 第2の例
9.2.1 構成
9.2.2 動作及び作用
10.その他
11.KrFエキシマレーザ装置
12.レーザ装置の性能が改善するキセノンガス濃度の範囲
12.1 ArFエキシマレーザ装置の性能
12.2 KrFエキシマレーザ装置の性能
13.キセノンガス濃度の減少を考慮した目標キセノンガス濃度Cxemt
13.1 不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1と目標キセノンガス濃度Cxemtとの関係
13.2 フッ素含有ガスの供給量Qf2に基づくキセノン含有ガスの添加量Qxeの決定
13.3 レーザガスの排気量Qexに基づくキセノン含有ガスの添加量Qxeの決定
1.1 構成
図1は、比較例に係るエキシマレーザ装置30及びレーザガス再生装置50の構成を概略的に示す。
エキシマレーザ装置30は、レーザ制御部31と、レーザ発振システム32と、レーザガス制御システム40と、を含む。エキシマレーザ装置30は、フッ素ガス及びアルゴンガスを含むレーザガスを使用するArFエキシマレーザ装置である。
レーザ発振システム32は、レーザチャンバ10と、充電器12と、パルスパワーモジュール13と、狭帯域化モジュール14と、出力結合ミラー15と、チャンバ圧力センサP1と、パワーモニタ17と、を含む。
狭帯域化モジュール14は、プリズム14a及びグレーティング14bを含む。出力結合ミラー15は、部分反射ミラーで構成されている。
レーザガス制御システム40は、ガス制御部47と、ガス供給装置42と、排気装置43と、を含む。ガス制御部47は、レーザ制御部31との間で信号を送受信する。ガス制御部47は、レーザ発振システム32に含まれるチャンバ圧力センサP1から出力された測定データを受信する。ガス制御部47は、ガス供給装置42及び排気装置43を制御する。ガス制御部47は、ガス供給装置42に含まれるバルブF2-V1及びB-V1並びに排気装置43に含まれるバルブEX-V1、EX-V2、C-V1及び排気ポンプ46を制御する。
なお、本実施形態では、レギュレータ44がレーザガス制御システム40内に配置されているが、この例に限定されることなく、フッ素含有ガス供給源F2とエキシマレーザ装置30の間の配管上に配置されてもよい。
レーザガス再生装置50は、ガス再生制御部51と、配管24の一部と、配管27の一部と、配管25と、を含む。配管24は、レーザガス制御システム40の排気装置43に接続されている。配管27は、レーザガス制御システム40のガス供給装置42に接続されている。配管25は、配管24と配管27との間に接続されている。
なお、本実施形態では、レギュレータ86がレーザガス再生装置50内に配置されているが、この例に限定されることなく、不活性ガス供給源Bとエキシマレーザ装置30の間の配管上に配置されてもよい。
回収タンク63は、フィルタ61を通過した排出ガスを収容する容器である。回収タンク63には、回収圧力センサP2が取り付けられている。
昇圧タンク65は、フッ素トラップ45から不純物ガストラップ69までを通過した不活性再生ガスを収容する容器である。昇圧タンク65には、昇圧圧力センサP3が取り付けられている。
キセノン濃度計測器79は、レギュレータ66を通過した不活性再生ガスのキセノンガス濃度を計測するように構成されている。キセノン濃度計測器79は、例えば、ガスクロマトグラフ質量分析装置(GS-MS)を含む。
マスフローコントローラMFC1は、図示しないマスフローメータ及びバルブを含む。マスフローメータで計測される流量に基づいてバルブの開度が制御される。これにより、マスフローコントローラMFC1は、不活性再生ガスの流量を制御する。
キセノン含有ガスボンベ76に、配管20の一端が接続されている。レギュレータ77及びマスフローコントローラMFC2は、配管20に配置されている。レギュレータ77及びマスフローコントローラMFC2は、この順でキセノン含有ガスボンベ76側から配置されている。配管20は、配管24と配管25との接続部分に接続されている。
マスフローコントローラMFC2は、図示しないマスフローメータ及びバルブを含む。マスフローメータで計測される流量に基づいてバルブの開度が制御される。これにより、マスフローコントローラMFC2は、レギュレータ77を通過したキセノン含有ガスの流量を制御する。
フィルタ83は、再生ガスタンク81から供給される不活性再生ガスに含まれる粒子を捕捉するメカニカルフィルタである。
1.2.1 レーザ発振システムの動作
レーザ制御部31は、露光装置制御部110から、目標パルスエネルギーの設定信号と、発光トリガ信号と、を受信する。レーザ制御部31は、露光装置制御部110から受信した目標パルスエネルギーの設定信号に基づいて、充電器12に充電電圧の設定信号を送信する。また、レーザ制御部31は、露光装置制御部110から受信した発光トリガ信号に基づいて、パルスパワーモジュール13に含まれるスイッチ13aに発光トリガを送信する。
図2は、比較例に係るエキシマレーザ装置30のレーザ制御部31によるエネルギー制御を示すフローチャートである。レーザ制御部31は、以下の処理により、出力パルスレーザ光のパルスエネルギーが目標パルスエネルギーに近づくように充電器12に設定する充電電圧を制御する。本フローチャート及び以下のフローチャートにおいて、「Y」はYESと判定された場合の分岐先を示し、「N」はNOと判定された場合の分岐先を示す。
S14において、レーザ制御部31は、パワーモニタ17から出力されるパルスエネルギーEを読込む。
ΔE=E-Et
V=V-Vk・ΔE
ここで、Vkは、パルスエネルギーをΔE変化させたいときに充電電圧Vをどれだけ変化させればよいかを計算するための係数である。このようにして充電電圧Vの値を更新し、充電器12に設定することにより、パルスエネルギーEを目標パルスエネルギーEtに近づけることができる。
次に、S18において、レーザ制御部31は、充電電圧Vが上限値Vmax2以上であるか否かを判定する。充電電圧Vが上限値Vmax2以上ではない場合は、レーザ制御部31は、処理を上述のS12に戻してその後の処理を繰り返す。充電電圧Vが上限値Vmax2以上である場合、エキシマレーザ装置を停止させてメンテナンス等を行うため、レーザ制御部31は本フローチャートの処理を終了する。
図3は、比較例に係るエキシマレーザ装置30のガス制御部47によるレーザガス制御の処理を示すフローチャートである。ガス制御部47は、以下の処理により、ガス圧制御及び部分ガス交換を行う。
レーザガス再生装置50が再生準備できていない場合(S1300:NO)、ガス制御部47は、S1400に処理を進める。
レーザガス再生装置50が再生準備できた場合(S1300:YES)、ガス制御部47は、S1500に処理を進める。
S1500において、ガス制御部47は、バルブEX-V2を閉じ、バルブC-V1を開く。これにより、レーザガス制御システム40からバルブEX-V2を介した装置外部への排気が停止され、レーザチャンバ10から排出されたガスはレーザガス再生装置50に供給される。S1500の後、ガス制御部47は、S1600に処理を進める。
次に、S1700において、ガス制御部47は、充電電圧Vが第1の閾値Vmin以上、第2の閾値Vmax以下であるか否かを判定する。
充電電圧Vが第1の閾値Vmin未満、又は、第2の閾値Vmaxより大きい場合(S1700:NO)、ガス制御部47は、S1800に処理を進める。
充電電圧Vが第1の閾値Vmin以上、且つ、第2の閾値Vmax以下である場合(S1700:YES)、ガス制御部47は、S1900に処理を進める。
タイマーTの値が部分ガス交換周期Tpg以上である場合(S1900:NO)、ガス制御部47は、処理をS2000に進める。
タイマーTの値が部分ガス交換周期Tpg未満である場合(S1900:YES)、ガス制御部47は、処理をS2200に進める。
S2000の後、S2100において、ガス制御部47はタイマーT及びパルスカウンターNを0にリセットして、それぞれのカウントをスタートする。S2100の後、ガス制御部47はS2200に処理を進める。
図4は、図3に示されるガス制御パラメータの初期設定の詳細を示すフローチャートである。図4に示される処理は、図3に示されるS1100のサブルーチンとして、ガス制御部47によって行われる。
次に、S1102において、ガス制御部47は、部分ガス交換周期Tpgの値を記憶装置から読み込む。
S1105の後、ガス制御部47は、本フローチャートの処理を終了し、図3に示される処理に戻る。
図5は、図3に示されるガス圧制御の処理の詳細を示すフローチャートである。図5に示される処理は、図3に示されるS1800のサブルーチンとして、ガス制御部47によって行われる。ガス制御部47は、図2に示されるエネルギー制御によって設定された充電電圧Vに基づいて、レーザチャンバ10内のガス圧を制御する。
図6は、図3に示される部分ガス交換の処理の詳細を示すフローチャートである。図6に示される処理は、図3に示されるS2000のサブルーチンとして、ガス制御部47によって行われる。
ここでいう部分ガス交換の処理は、レーザチャンバ10内のレーザガスの一部を交換して不純物を低減することを含む処理であるが、レーザガス中のフッ素ガス分圧を部分ガス交換の前後で同等とする場合には限られない。部分ガス交換の処理は、レーザチャンバ10内のレーザガスの一部を交換するだけでなく、エキシマレーザ装置30の運転によって消費されたフッ素ガスを補充して、レーザチャンバ10内のレーザガス中のフッ素ガス分圧を所望の範囲にまで高くする処理を含む。
エキシマレーザ装置30を長い時間運転すると、フッ素ガスとレーザチャンバ内の物質とが反応することによって、フッ素ガスが消費され、レーザチャンバ10内のレーザガス中のフッ素ガス濃度が低下するとともに、不純物ガスが生成される。
レーザチャンバ10内のレーザガス中におけるフッ素ガス濃度の低下と不純物ガスの生成は、出力されるパルスレーザ光のパルスエネルギーの低下やパルスエネルギーの安定性の悪化をもたらすことがある。
そこで、以下に説明する部分ガス交換により、レーザチャンバ10内のレーザガス中においてフッ素ガス濃度を安定化し不純物ガス濃度の増加を抑制する。
次に、S2002において、ガス制御部47は、不活性ガス供給量ΔPbgを、以下の式により計算する。
ΔPbg=Kbg・N
ここで、Kbgは、上述の不活性ガス供給係数である。
ΔPhg=Khg・N
ここで、Khgは、上述のフッ素含有ガス供給係数である。このフッ素含有ガス供給係数Khgは、例えば、第1の係数と第2の係数との合計値として求められる。第1の係数は、部分ガス交換の前後のフッ素ガス分圧を同等とするのに必要な第1のフッ素含有ガス供給量を算出するための係数である。第2の係数は、1回の放電によって消費されるフッ素ガスを補充するのに必要な第2のフッ素含有ガス供給量を算出するための係数である。
S2006の後、ガス制御部47は、本フローチャートの処理を終了し、図3に示される処理に戻る。
第1に、レーザチャンバ10内の主に放電によって消費されたフッ素ガスを補充することができる。これによって、レーザチャンバ10内のフッ素ガス濃度を所望の濃度に安定化させることができる。
第2に、不純物の少ない所定の量のガスをレーザチャンバ10に供給し、この供給したガスの量と同等の量だけレーザチャンバ10内のガスを排出することができる。これにより、レーザチャンバ10内におけるフッ化水素(HF)、四フッ化炭素(CF4)、四フッ化ケイ素(SiF4)、三フッ化窒素(NF3)、ヘキサフルオロエタン(C2F6)などの不純物を低減することができる。
図1を再び参照し、レーザガス再生装置50は、エキシマレーザ装置30から排出された排出ガスから不純物を低減する。レーザガス再生装置50は、不純物を低減された不活性再生ガスをエキシマレーザ装置30に供給する。
フィルタ61は、レーザガス再生装置50に供給された排出ガスから、レーザチャンバ10において放電によって生成された粒子を捕捉する。
不純物ガストラップ69は、酸素トラップ67を通過した排出ガスから、微量の水蒸気、酸素ガス、一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス、窒素ガス等の不純物ガスをトラップする。
キセノン濃度計測器79は、測定したキセノンガス濃度をガス再生制御部51へ送信する。
マスフローコントローラMFC1の流量は、ガス再生制御部51によって設定される。
フィルタ83は、再生ガスタンク81から供給される不活性再生ガスから、レーザガス再生装置50において生成された粒子を捕捉する。
図7は、図1に示されるガス再生制御部51の処理を示すフローチャートである。ガス再生制御部51は、以下のようにしてレーザガスの再生を行う。
S100の後、ガス再生制御部51は、S200、S300及びS400の処理を並列して行う。あるいは、ガス再生制御部51は、S200、S300及びS400の処理を順に行ってもよい。S200、S300及びS400の処理順序は特に限定されない。
S300において、ガス再生制御部51は、ガス精製/調節サブルーチンにより、マスフローコントローラMFC1及びマスフローコントローラMFC2の制御を行う。ガス精製/調節サブルーチンの詳細については、図10を参照しながら後述する。
S400において、ガス再生制御部51は、不活性再生ガス貯蔵/供給サブルーチンにより、バルブB-CV1及びバルブB-V2の制御を行う。不活性再生ガス貯蔵/供給サブルーチンの詳細については、図11を参照しながら後述する。
レーザガスの再生を停止しない場合(S600:NO)、ガス再生制御部51は、処理を上述のS200、S300及びS400に戻す。
レーザガスの再生を停止する場合(S600:YES)、ガス再生制御部51は、処理をS700に進める。
S700の後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了する。
図8は、比較例におけるガス再生の初期設定サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。図8に示される処理は、図7に示されるS100のサブルーチンとして、ガス再生制御部51によって行われる。
図9は、比較例におけるガス回収/昇圧サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。図9に示される処理は、図7に示されるS200のサブルーチンとして、ガス再生制御部51によって行われる。ガス再生制御部51は、以下の処理により、昇圧ポンプ64を制御して、回収タンク63に収容された排出ガスを昇圧し、各種トラップを介して昇圧タンク65に収容させる。
圧力P2が所定値P2minより高く、且つ、圧力P3が所定値P3max2以下である場合(S202:YES)、ガス再生制御部51は、処理をS204に進める。
S204において、ガス再生制御部51は、昇圧ポンプ64の運転を開始し、あるいは、既に運転開始している場合は運転を継続する。
S203の後、又はS204の後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了し、図7に示される処理に戻る。
図10は、比較例におけるガス精製/調節サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。図10に示される処理は、図7に示されるS300のサブルーチンとして、ガス再生制御部51によって行われる。ガス再生制御部51は、以下の処理により、マスフローコントローラMFC1及びマスフローコントローラMFC2を制御し、昇圧タンク65に収容された不活性再生ガスにキセノン含有ガスを添加して再生ガスタンク81に収容させる。
圧力P3が所定値P3maxより高く、且つ、圧力P4が所定値P4max以下である場合(S308:YES)、ガス再生制御部51は、処理をS310に進める。
S309の後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了し、図7に示される処理に戻る。
次に、S311において、ガス再生制御部51は、マスフローコントローラMFC1の流量MFC1とマスフローコントローラMFC2の流量MFC2との流量比Rを、以下の式により計算する。
R=(Cxem-Cxet)/(Cxet-Cxeb)
ここで、Cxebは、不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスのキセノンガス濃度である。Cxetは、キセノン添加された不活性再生ガスの目標キセノン濃度である。
この目標キセノン濃度Cxetは、不活性ガス供給源Bから供給される不活性新ガスのキセノンガス濃度と同じである。
MFC1=Qr
MFC2=R・Qr
これにより、配管20と配管24との接続部分に不活性再生ガス及びキセノン含有ガスが流量比Rで流入して混合され、再生ガスタンク81を介してレーザチャンバ10に供給される。
S312の後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了し、図7に示される処理に戻る。
まず、変数を以下のように設定する。
Qr:目標キセノン濃度Cxetを得るためのマスフローコントローラMFC1の流量
Qxeb:目標キセノン濃度Cxetを得るためのマスフローコントローラMFC2の流量
Cxem:キセノン添加前の不活性再生ガスのキセノンガス濃度
Cxeb:不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスのキセノンガス濃度
キセノン添加された不活性再生ガスに含まれるキセノンガスの量は、(Cxeb・Qxeb+Cxem・Qr)となる。
Cxet=(Cxeb・Qxeb+Cxem・Qr)/(Qxeb+Qr)
この式は、Qxeb=R・Qrより、以下のように変形される。
Cxet=(Cxeb・R+Cxem)/(R+1)
この式からRを求めると、以下のようになる。
R=(Cxem-Cxet)/(Cxet-Cxeb)
図11は、比較例における不活性再生ガス貯蔵/供給サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。図11に示される処理は、図7に示されるS400のサブルーチンとして、ガス再生制御部51によって行われる。ガス再生制御部51は、以下の処理により、バルブB-CV1及びバルブB-V2を制御し、レーザチャンバ10に供給する不活性ガスを、不活性再生ガスと不活性新ガスとで切り替える。
圧力P4が所定値P4min以下の場合(S402:NO)、ガス再生制御部51は、処理をS403に進める。
圧力P4が所定値P4minより高い場合(S402:YES)、ガス再生制御部51は、処理をS405に進める。
S403の後、S404において、ガス再生制御部51は、レーザ制御部31に、不活性再生ガス供給NG信号を出力する。
S405の後、S406において、ガス再生制御部51は、レーザ制御部31に、不活性再生ガス供給OK信号を出力する。
S404の後、又はS406の後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了し、図7に示される処理に戻る。
図12は、比較例においてレーザガス再生を行っていない場合のレーザガスのフロー図である。上述のように、フッ素含有ガス供給源F2から、フッ素ガス、アルゴンガス及びネオンガスを混合したフッ素含有ガスがレーザチャンバ10に供給される。また、不活性ガス供給源Bから、アルゴンガス、ネオンガス、及び、少量のキセノンガスを含む不活性新ガスがレーザチャンバ10に供給される。フッ素含有ガスの供給量と不活性新ガスの供給量との比は、レーザチャンバ10におけるフッ素ガス濃度が所望の値となるように設定される。フッ素含有ガスにはキセノンガスがほとんど含まれていないので、フッ素含有ガスと不活性新ガスとを混合したときのレーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度は、不活性新ガスのキセノンガス濃度よりもわずかに低い値となる。
レーザチャンバ10に供給されたレーザガスはやがて全量排出され、代わりに新たなガスが供給されるので、定常状態においてはレーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度はほとんど変化せず、レーザ性能にはほとんど影響しないと考えられる。
ArFエキシマレーザ装置において最適なキセノンガス濃度は、例えば10ppm程度である。このような低濃度の領域でキセノンガス濃度を調整することは容易ではない。
2.1 構成
図14は、本開示の第1の実施形態に係るエキシマレーザ装置30及びレーザガス再生装置50の構成を概略的に示す。エキシマレーザ装置30及びレーザガス再生装置50によってエキシマレーザシステムを構成する。第1の実施形態において、レーザガス再生装置50は、フッ素含有ガス供給源F2に接続された配管28の一部を含む。レーザガス再生装置50は、配管28に配置されたマスフローメータMFMf2を含む。
なお、不活性ガス供給源Bは、本開示における第1のレーザガス供給源に相当する。フッ素含有ガス供給源F2は、本開示における第2のレーザガス供給源に相当する。キセノン含有ガスは、本開示における第3のレーザガスに相当する。
第1の実施形態において、キセノン濃度計測器79はなくてもよい。
他の点については、第1の実施形態の構成は比較例と同様である。
図15は、第1の実施形態におけるレーザガスのフロー図である。マスフローメータMFMf2は、フッ素含有ガス供給源F2から供給されるフッ素含有ガスの供給量Qf2を計測し、信号線を介してガス再生制御部51に送信する。ガス再生制御部51は、フッ素含有ガスの供給量Qf2のデータを読み込む。マスフローメータMFMf2とガス再生制御部51との間に接続された信号線は、本開示におけるデータ取得部に相当する。ガス再生制御部51は、フッ素含有ガスの供給量Qf2に比例するように、不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスの添加量Qxeを計算する。ガス再生制御部51は、不活性再生ガスに添加量Qxeのキセノン含有ガスが添加されるように、キセノン添加部75を制御する。キセノン含有ガスの添加量Qxeは以下の式で与えられる。
Qxe=α・Qf2 (式1)
ここで、αは、キセノン含有ガスの添加量Qxeを算出するための比例定数である。
上述の比例定数αは以下のようにして導出される。
ここで、キセノン添加前の不活性再生ガスと、キセノン含有ガスボンベ76から供給されるキセノン含有ガスと、フッ素含有ガス供給源F2から供給されるフッ素含有ガスと、を混合したときのキセノンガス濃度が、定常状態においてレーザチャンバ10内の目標キセノンガス濃度Cxectにほぼ等しくなるようにする必要がある。一方、不純物ガストラップ69等でトラップされるキセノンの量をほぼ無視できるとすれば、キセノン添加前の不活性再生ガスのキセノンガス濃度は、レーザチャンバ10から排出されたときのレーザガスのキセノンガス濃度とほぼ変わらないと考えることができる。そこで、フッ素含有ガス供給源F2から供給されるフッ素含有ガスと、キセノン含有ガスボンベ76から供給されるキセノン含有ガスと、を混合したと仮定したときのキセノンガス濃度が目標キセノンガス濃度Cxectと等しくなるように、キセノン含有ガスを添加する。これにより、レーザチャンバ10内のキセノンガス濃度が、目標キセノンガス濃度Cxect付近で安定すると考えられる。ここで、レーザチャンバ10内の目標キセノンガス濃度Cxectは、不活性ガス供給源Bから供給される不活性新ガスのキセノンガス濃度と同じである。
Qxe:目標キセノンガス濃度Cxectを得るために不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスの添加量
Cxeb:不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスのキセノンガス濃度
Qf2:フッ素含有ガス供給源F2からレーザチャンバ10に供給されるフッ素含有ガスの供給量
キセノン含有ガスに含まれるキセノンガスの量は、Cxeb・Qxeとなる。
フッ素含有ガスに含まれるキセノンガスの量はほぼ0である。
そこで、フッ素含有ガスとキセノン含有ガスとを混合したと仮定したときのキセノンガス濃度が目標キセノンガス濃度Cxectと等しくなるように、以下の式が与えられる。
Cxect=(0+Cxeb・Qxe)/(Qf2+Qxe)
この式は、式1より、以下のように変形される。
Cxect=α・Cxeb/(1+α)
この式からαを求めると、以下のようになる。
α=Cxect/(Cxeb-Cxect)
α=10/(10000-10)=1/999
キセノン含有ガスのキセノンガス濃度Cxebは10000ppmである場合に限定されない。キセノン含有ガスのキセノンガス濃度Cxebは、10000ppm以上、200000ppm以下が好ましい。
図16は、第1の実施形態におけるガス再生の初期設定サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。図17は、第1の実施形態におけるガス精製/調節サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。
図8を参照しながら説明した比較例におけるガス再生の初期設定サブルーチン及び図10を参照しながら説明した比較例におけるガス精製/調節サブルーチンの代わりに、第1の実施形態においては以下の処理が行われる。図7を参照しながら説明したメインフロー及びその他の処理については、比較例と同様である。
S105においてガス再生命令信号を受信した場合、S106aにおいて、ガス再生制御部51は、タイマーTf2を0にリセットして、タイマーのカウントをスタートする。
次に、S107aにおいて、ガス再生制御部51は、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを0にリセットし、フッ素含有ガスの供給量の測定をスタートする。フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mは、フッ素含有ガスがレーザチャンバ10に供給されると更新される。
S108aの後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了する。
S301の次に、S302aにおいて、ガス再生制御部51は、タイマーTf2の値がフッ素含有ガスの供給量の測定周期Kf2以下であるか否かを判定する。
タイマーTf2の値がフッ素含有ガスの供給量の測定周期Kf2を超えた場合(S302a:NO)、ガス再生制御部51は、S303aに処理を進める。
タイマーTf2の値がフッ素含有ガスの供給量の測定周期Kf2以下である場合(S302a:YES)、ガス再生制御部51は、S308に処理を進める。
次に、S304aにおいて、ガス再生制御部51は、フッ素含有ガス供給量Qf2を、読み込まれた測定値Qf2mに設定する。
次に、S307aにおいて、ガス再生制御部51は、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを0にリセットする。そして、次の測定周期Kf2におけるフッ素含有ガスの供給量の測定をスタートする。これにより、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mの更新が開始されるが、S304aにおいて設定されたフッ素含有ガス供給量Qf2のデータは次の測定周期が到来するまで保持される。
S307aの後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了する。
圧力P3が所定値P3max以下の場合、又は、圧力P4が所定値P4maxより高い場合(S308:NO)、ガス再生制御部51は、処理をS309aに進める。
圧力P3が所定値P3maxより高く、且つ、圧力P4が所定値P4max以下である場合(S308:YES)、ガス再生制御部51は、処理をS312aに進める。
MFC1=0
MFC2=α・Qf2/Kf2
マスフローコントローラMFC2の流量MFC2は、キセノン含有ガスの添加量α・Qf2を測定周期Kf2で除算したものである。測定周期Kf2にわたって流量MFC2でキセノン含有ガスを流すことにより、添加量α・Qf2のキセノン含有ガスを不活性再生ガスに添加することができる。
MFC1=Qr
MFC2=α・Qf2/Kf2
マスフローコントローラMFC1の流量Qrは正数であり、値の大きさは特に限定されない。マスフローコントローラMFC1の流量QrとマスフローコントローラMFC2の流量MFC2との比率は一定値でなくてよい。
マスフローコントローラMFC2の流量MFC2は、S309aで設定される値と同一である。
図7に示されるように、ガス再生を停止しない場合には、ガス再生制御部51はガス精製/調節サブルーチンを繰り返す。ガス精製/調節サブルーチンを繰り返す場合、次の測定周期Kf2が到来するまで、S302aにおいてYESと判定され、S308とS309a又はS312aとの処理が繰り返される。次の測定周期Kf2が到来したら、S303aからS307aまでの処理によって新たなフッ素含有ガス供給量Qf2が設定される。
第1の実施形態によれば、マスフローメータMFMf2で計測されたフッ素含有ガス供給量Qf2に基づいて、不活性再生ガスへのキセノン含有ガスの添加量を制御する。これにより、レーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度を所望の範囲に調整することができる。
図18は、第2の実施形態におけるガス制御パラメータの初期設定の詳細を示すフローチャートである。図19は、第2の実施形態における部分ガス交換の処理の詳細を示すフローチャートである。
第2の実施形態に係るレーザガス再生装置50は、図14を参照しながら説明したマスフローメータMFMf2を備えていなくてもよい。第2の実施形態に係るレーザガス再生装置50の構成は、図1を参照しながら説明した比較例と同様でもよい。
第2の実施形態におけるガス再生制御部51の処理は、第1の実施形態における処理と同様である。
図4を参照しながら説明した比較例におけるガス制御パラメータの初期設定、及び図6を参照しながら説明した比較例における部分ガス交換の代わりに、第2の実施形態においては以下の処理が行われる。図3を参照しながら説明したメインフロー及びその他のガス制御部47の処理については、比較例と同様である。
S1105の次に、S1106bにおいて、ガス制御部47は、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを0にリセットする。
S1106bの後、ガス制御部47は、本フローチャートの処理を終了する。
S2006の次に、S2008bにおいて、ガス制御部47は、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを以下の式により計算し、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを更新する。
Qf2m=Qf2m+ΔPhg・Vch
ここで、Vchは、レーザチャンバ10の体積である。ΔPhgは、S2005においてレーザチャンバ10に供給されたフッ素含有ガス供給量ΔPhgである。フッ素含有ガス供給量ΔPhgのデータは、ガス制御部47によってアクセス可能なメモリに保持されているので、別途計測しなくてもよい。
第2の実施形態によれば、レーザ制御部31から受信したフッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mに基づいて、不活性再生ガスへのキセノン含有ガスの添加量を制御する。これにより、フッ素含有ガス供給量をマスフローメータ等の計測器で直接計測しなくても、レーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度を所望の範囲に調整することができる。
あるいは、フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを計測するマスフローメータをエキシマレーザ装置30に設けて、レーザ制御部31からガス再生制御部51にフッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mを送信するようにしてもよい。
また、レギュレータ44およびマスフローメータMFMf2がレーザガス再生装置50の外に配置されている場合に、レギュレータ44とレーザガス再生装置50の間の配管上にマスフローメータMFMf2が配置されてもよい。この場合は、マスフローメータMFMf2で計測されたデータがガス再生制御部51に送信される。マスフローメータMFMf2とガス再生制御部51との間に接続された信号線は、本開示におけるデータ取得部に相当する。
4.1 構成
図20は、本開示の第3の実施形態に係るエキシマレーザ装置30及びレーザガス再生装置50の構成を概略的に示す。第3の実施形態において、レーザガス再生装置50は、排気装置43に接続された配管22の一部を含む。レーザガス再生装置50は、配管22に配置されたマスフローメータMFMexを含む。
第3の実施形態において、キセノン濃度計測器79はなくてもよい。
他の点については、第3の実施形態の構成は比較例と同様である。
図21は、第3の実施形態におけるレーザガスのフロー図である。マスフローメータMFMexは、排気装置43からバルブEX-V2を介して装置外部に排気されたレーザガスの排気量Qexを計測する。ガス再生制御部51は、レーザガスの排気量Qexのデータを読み込む。ガス再生制御部51は、レーザガスの排気量Qexに比例するように、不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスの添加量Qxeを計算する。ガス再生制御部51は、不活性再生ガスに添加量Qxeのキセノン含有ガスが添加されるように、キセノン添加部75を制御する。キセノン含有ガスの添加量Qxeは以下の式で与えられる。
Qxe=β・Qex (式2)
ここで、βは、キセノン含有ガスの添加量Qxeを算出するための比例定数である。
上述の比例定数βは以下のようにして導出される。
ここで、不純物ガストラップ69等でトラップされるキセノンの量はほぼ無視できるものとする。すなわち、キセノン添加前の不活性再生ガスのキセノンガス濃度は、レーザチャンバ10から排出されたときのレーザガスのキセノンガス濃度とほぼ変わらず維持されていると考えることができる。
また、定常状態においては、レーザガス再生装置50内に存在するレーザガスの量はほぼ一定であるものとする。すなわち、レーザガス再生装置50からエキシマレーザ装置30に供給される不活性再生ガスの供給量と、エキシマレーザ装置30からレーザガス再生装置50に供給されるレーザガスの量は、ほぼ等しいとみなすことができる。
Qxe:目標キセノンガス濃度Cxectを得るために不活性再生ガスに添加されるキセノン含有ガスの添加量
Qf2:フッ素含有ガス供給源F2からレーザチャンバ10に供給されるフッ素含有ガスの供給量
Cf2:フッ素含有ガス供給源F2から供給されるフッ素含有ガスのフッ素ガス濃度
F2(気体)+CaO(固体)→CaF2(固体)+1/2O2(気体)
Qex=Qf2-Qf2・Cf2+1/2・Qf2・Cf2
=Qf2(1-1/2・Cf2)
Qf2=Qex/(1-1/2・Cf2)
この式と上述の式1から、キセノンガス添加量Qxeは、以下の式で与えられる。
Qxe={α/(1-1/2・Cf2)}Qex
ここで、β=α/(1-1/2・Cf2)とおくと、上述の式2が得られる。
図22は、第3の実施形態におけるガス再生の初期設定サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。図23は、第3の実施形態におけるガス精製/調節サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。
図8を参照しながら説明した比較例におけるガス再生の初期設定サブルーチン及び図10を参照しながら説明した比較例におけるガス精製/調節サブルーチンの代わりに、第3の実施形態においては以下の処理が行われる。図7を参照しながら説明したメインフロー及びその他の処理については、比較例と同様である。
S105においてガス再生命令信号を受信した場合、S106cからS108cまでの処理は、第1の実施形態におけるS106aからS108aまでの処理と同様である。但し、以下の点で第1の実施形態と異なる。
(1)タイマーTf2の代わりに、排気量の測定周期Kexを計測するタイマーTexが用いられる。
(2)フッ素含有ガス供給量の測定値Qf2mの代わりに、排気量の測定値Qexmが用いられる。
(3)フッ素含有ガス供給量Qf2の代わりに、排気量Qexが用いられる。
S108cの後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了する。
S301の次に、S302cからS307cまで、S309c、及びS312cの処理は、第1の実施形態におけるS302aからS307aまで、S309a、及びS312aの処理と同様である。但し、以下の点で第1の実施形態と異なる。
(1)~(3)の相違点は図22で説明したのと同様である。
(4)比例定数αの代わりに、比例定数βが用いられる。
(5)フッ素含有ガスの供給量の測定周期Kf2の代わりに、排気量の測定周期Kexが用いられる。測定周期Kexは、例えば、8分以上、16分以下である。
第3の実施形態によれば、レーザガスの排気量Qexに基づいて、不活性再生ガスへのキセノン含有ガスの添加量を制御する。これにより、レーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度を所望の範囲に調整することができる。
図24は、第4の実施形態におけるガス精製/調節サブルーチンの詳細を示すフローチャートである。
図25は、第4の実施形態におけるガス制御パラメータの初期設定の詳細を示すフローチャートである。図26は、第4の実施形態におけるガス圧制御の処理の詳細を示すフローチャートである。図27は、第4の実施形態における部分ガス交換の処理の詳細を示すフローチャートである。
第4の実施形態に係るレーザガス再生装置50は、図20を参照しながら説明したマスフローメータMFMexを備えていなくてもよい。第4の実施形態に係るレーザガス再生装置50の構成は、図1を参照しながら説明した比較例と同様でもよい。
図23を参照しながら説明した第3の実施形態におけるガス精製/調節サブルーチンの代わりに、第4の実施形態においては以下の処理が行われる。その他の処理については、第3の実施形態と同様である。
MFC1=0
MFC2=α・Qex/Kex
すなわち、第3の実施形態においてはマスフローコントローラMFC2の流量MFC2を算出するために比例定数βを使用していたが、第4の実施形態においては、比例定数αを用いる。これは、ガス制御部47が使用する排気量Qexのデータは、フッ素トラップ45を通過する前の排気量であり、定常状態ではQf2とQexとがほぼ等しくなるためである。
MFC1=Qr
MFC2=α・Qex/Kex
S309d又はS312dの後、ガス再生制御部51は、本フローチャートの処理を終了する。
図4を参照しながら説明した比較例におけるガス制御パラメータの初期設定、図5を参照しながら説明した比較例におけるガス圧制御、及び図6を参照しながら説明した比較例における部分ガス交換の代わりに、第4の実施形態においては以下の処理が行われる。図3を参照しながら説明したメインフロー及びその他のガス制御部の処理については、比較例と同様である。
S1105の次に、S1106dにおいて、ガス制御部47は、排気量の測定値Qexmを0にリセットする。
S1106dの後、ガス制御部47は、本フローチャートの処理を終了する。
バルブC-V1が開かれているか、あるいはバルブEX-V2が閉じられている場合(S1804d:NO)、レーザガスは装置外部に排気されておらず、レーザガス再生装置50に供給されていると考えられるので、ガス制御部47は、本フローチャートの処理を終了する。
バルブC-V1が閉じられ、バルブEX-V2が開かれている場合(S1804d:YES)、ガス制御部47は、処理をS1805dに進める。
Qexm=Qexm+ΔPt・Vch
ここで、Vchは、レーザチャンバ10の体積である。ΔPtは、ガス圧制御におけるガス圧変化量であり、S1802においてレーザチャンバ10から排気された排気量に相当するガス圧変化量である。ガス圧変化量ΔPtのデータは、ガス制御部47によってアクセス可能なメモリに保持されているので、別途計測しなくてもよい。
バルブC-V1が開かれているか、あるいはバルブEX-V2が閉じられている場合(S2007d:NO)、レーザガスは装置外部に排気されておらず、レーザガス再生装置50に供給されていると考えられるので、ガス制御部47は、本フローチャートの処理を終了する。
バルブC-V1が閉じられ、バルブEX-V2が開かれている場合(S2007d:YES)、ガス制御部47は、処理をS2008dに進める。
Qexm=Qexm+(ΔPbg+ΔPhg)・Vch
ここで、Vchは、レーザチャンバ10の体積である。ΔPbg+ΔPhgは、S2006においてレーザチャンバ10から排気された排気量に相当するガス圧変化量である。ΔPbg及びΔPhgのデータは、ガス制御部47によってアクセス可能なメモリに保持されているので、別途計測しなくてもよい。
第4の実施形態によれば、レーザ制御部31から受信した排気量の測定値Qexmに基づいて、不活性再生ガスへのキセノン含有ガスの添加量を制御する。これにより、レーザガスの排気量をマスフローメータ等の計測器で直接計測しなくても、レーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度を所望の範囲に調整することができる。
あるいは、レーザガスの排気量の測定値Qexmを計測するマスフローメータをエキシマレーザ装置30内、または、エキシマレーザ装置30およびレーザガス再生装置50の外部であって装置外部の間に設けて、レーザ制御部31からガス再生制御部51にレーザガスの排気量の測定値Qexmを送信するようにしてもよい。ここで、レーザ制御部31とガス再生制御部51との間に接続された信号線は、本開示におけるデータ取得部に相当する。
6.1 構成
図28は、本開示の第5の実施形態に係るエキシマレーザ装置30a、30b及びレーザガス再生装置50の構成を概略的に示す。第5の実施形態において、レーザガス再生装置50は、複数のエキシマレーザ装置30a、30bの複数のレーザチャンバ10に接続される。レーザガス再生装置50は、第1の実施形態と同様にマスフローメータMFMf2を備えている。
第5の実施形態は、第1の実施形態に係るレーザガス再生装置50が複数のレーザチャンバ10に接続される場合に相当する。
他の点については、第1の実施形態の構成と同様である。
複数のエキシマレーザ装置30a、30bの各々の動作は、第1の実施形態におけるエキシマレーザ装置30の動作と同様である。
第5の実施形態によれば、複数のエキシマレーザ装置30a、30bから排出された排出ガスをレーザガス再生装置50において精製し、複数のエキシマレーザ装置30a、30bに不活性再生ガスを供給する。従って、不活性ガスの消費量が低減され、ランニングコストが低減される。また、複数のエキシマレーザ装置に不活性再生ガスを供給できるので、複数のエキシマレーザ装置のレーザ性能が安定化される。また、複数のエキシマレーザ装置に対して1つのレーザガス再生装置50を設置することにより、設置スペースや設備コストを低減することができる。
7.1 構成及び動作
図29は、本開示の第6の実施形態に係るエキシマレーザ装置30a、30b及びレーザガス再生装置50の構成を概略的に示す。第6の実施形態において、レーザガス再生装置50は、複数のエキシマレーザ装置30a、30bの複数のレーザチャンバ10に接続される。レーザガス再生装置50は、第3の実施形態と同様にマスフローメータMFMexを備えている。
第6の実施形態は、第3の実施形態に係るレーザガス再生装置50が複数のレーザチャンバ10に接続される場合に相当する。
他の点については、第5の実施形態の構成と同様である。
ここで、マスフローメータMFMexは、レーザガス再生装置50に含まれてもよいし、複数のエキシマレーザ装置とレーザガス再生装置とを含まなくてもよい。
第6の実施形態によれば、マスフローメータMFMexで計測されたレーザガスの排気量Qexに基づいて、不活性再生ガスへのキセノン含有ガスの添加量を制御する。これにより、レーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度を所望の範囲に調整することができる。
8.1 構成
図30は、本開示の第7の実施形態に係るエキシマレーザ装置30及びレーザガス再生装置50の構成を概略的に示す。第7の実施形態において、レーザガス再生装置50に含まれるキセノン添加部75は、昇圧ポンプ64と酸素トラップ67との間の配管24に接続されている。
他の点については、第1の実施形態と同様である。
第7の実施形態におけるキセノン添加部75は、第1の実施形態におけるキセノン添加部75よりも上流側で配管24に接続されているので、各種トラップや昇圧タンク65を経由することにより、キセノン添加前のレーザガスとキセノン含有ガスとがよりよく混合される。
9.1 第1の例
9.1.1 構成
図31は、上述の各実施形態において用いることができる再生ガスタンクの第1の例を概略的に示す。図31に示される再生ガスタンク81aは、容器811と、容器811に挿入された内挿管812及び導出管813と、を含む。容器811にはさらに不活性ガス圧力センサP4が接続されている。
導出管813の一端は容器811の外部に位置し、導出管813の他端は容器811の内部に位置している。
内挿管812の上記一端から導入された不活性再生ガスは、内挿管812から多数の貫通孔を介して容器811の内部に多方向に噴出する。これにより、容器811の内部で不活性再生ガスの複雑な流れが生じ、不活性再生ガスが混合される。
容器811の内部の不活性再生ガスは、導出管813を介して容器811の外部に導出される。
図31は再生ガスタンクの例を示しているが、再生ガスタンクとは別に、キセノン含有ガスを添加された不活性再生ガスの流路に図31と同様の構成を有する混合器が配置されていてもよい。
9.2.1 構成
図32は、上述の各実施形態において用いることができる再生ガスタンクの第2の例を概略的に示す。図32に示される再生ガスタンク81bは、容器814と、容器814に挿入されたガス導入管815及びガス導出管816と、プロペラシャフト817と、を含む。容器814にはさらに不活性ガス圧力センサP4が接続されている。
ガス導入管815の上記一端から導入された不活性再生ガスは、容器814の内部に導入される。
モータ819がプロペラシャフト817を回転させると、プロペラ818が回転し、容器814の内部で不活性再生ガスが混合される。
容器814の内部の不活性再生ガスは、ガス導出管816を介して容器814の外部に導出される。
図32は再生ガスタンクの例を示しているが、再生ガスタンクとは別に、キセノン含有ガスを添加された不活性再生ガスの流路に図32と同様の構成を有する混合器が配置されていてもよい。
図33は、エキシマレーザ装置30に接続された露光装置100の構成を概略的に示す。上述のように、エキシマレーザ装置30はレーザ光を生成して露光装置100に出力する。
図33において、露光装置100は、照明光学系141と投影光学系142とを含む。照明光学系141は、エキシマレーザ装置30から入射したレーザ光によって、レチクルステージRTのレチクルパターンを照明する。投影光学系142は、レチクルを透過したレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルWT上に配置された図示しないワークピースに結像させる。ワークピースはフォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置100は、レチクルステージRTとワークピーステーブルWTとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにデバイスパターンを転写することで電子デバイスを製造することができる。
なお、本明細書では、部分ガス交換の処理として、レーザチャンバ10内のレーザガスの一部を交換することと、消費されたフッ素ガスを補充することと、の両方のガス制御を含む場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。レーザチャンバ10内のレーザガス中のフッ素ガス分圧が部分ガス交換の前後で同等となるようにレーザガスの一部を交換する処理と、エキシマレーザ装置30の運転によって消費されたフッ素ガスを補充して、レーザチャンバ10内のレーザガス中のフッ素ガス分圧を所望の範囲にまで高くする処理と、をそれぞれ異なるタイミングで実施する場合においても本開示は適用可能である。
第1~第7の実施形態において、エキシマレーザ装置30は、フッ素ガス及びアルゴンガスを含むレーザガスを使用するArFエキシマレーザ装置であるものとして説明したが、本開示はこれに限定されない。エキシマレーザ装置30は、フッ素ガス及びクリプトンガスを含むレーザガスを使用するKrFエキシマレーザ装置でもよい。第1~第7の実施形態においてArFエキシマレーザ装置をKrFエキシマレーザ装置に置き換えたものを、それぞれ第8~第14の実施形態とする。
フッ素含有ガス供給源F2から供給されるフッ素含有ガスは、例えば、フッ素ガス、クリプトンガス及びネオンガスを混合したレーザガスである。フッ素含有ガス供給源F2のガス組成比は、例えば、フッ素ガスが1%、クリプトンガスが3.5%、残りがネオンガスであってもよい。
不活性ガス供給源Bから供給される不活性新ガスは、例えば、クリプトンガスとネオンガスの他に、少量のキセノンガスを含むレーザガスである。不活性ガス供給源Bのガス組成比は、例えば、キセノンガスが10ppm、クリプトンガスが3.5%、残りがネオンガスであってもよい。
キセノン含有ガスボンベ76から供給されるキセノン含有ガスは、例えば、クリプトンガスとネオンガスの他に、キセノンガスを混合したレーザガスである。キセノン含有ガスボンベ76のガス組成比は、例えば、キセノンガスが10000ppm、クリプトンガスが3.5%、残りがネオンガスであってもよい。
他の点については、第8の実施形態は第1の実施形態と同様である。
他の点については、第10の実施形態は第3の実施形態と同様である。
第8~第14の実施形態に係るKrFエキシマレーザ装置は、図33を参照しながら説明した露光装置100に用いられてもよい。
なお、少量のキセノンガスを含むレーザガスを使用したKrFエキシマレーザ装置の性能について、図37を参照しながら後述する。
12.1 ArFエキシマレーザ装置の性能
図36は、ArFエキシマレーザ装置の性能をキセノンガス濃度との関係で示すグラフである。図36は、パルスレーザ光の繰り返し周波数を6kHzとしてArFエキシマレーザ装置の性能を測定した結果を示す。ArFエキシマレーザ装置の性能は、平均パルスエネルギーEp及びパルスエネルギー安定性Eσを含む。平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーに対する比率で示されている。パルスエネルギー安定性Eσは、例えば、平均パルスエネルギーEpと標準偏差σとを用いて、以下のように算出される値である。
Eσ=σ/Ep
パルスエネルギー安定性Eσの値が小さいほど、パルスエネルギーのばらつきが小さく、より安定していることを示す。
(1)キセノンガス濃度が約10ppmである場合
最も高い平均パルスエネルギーEpが得られる。
(2)キセノンガス濃度が1ppm以上、90ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーよりも高くなる。
(3)キセノンガス濃度が3ppm以上、50ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーの1.3倍よりも高くなる。
(4)キセノンガス濃度が4ppm以上、30ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーの1.4倍よりも高くなる。
(5)キセノンガス濃度が6ppm以上、13ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーの1.5倍よりも高くなる。
(6)上記(1)~(5)のいずれの場合も、パルスエネルギー安定性Eσは、キセノンガス濃度が0ppmである場合よりも改善される。
図38を参照しながら後述する目標キセノンガス濃度Cxemtは、例えば、上記(1)~(5)のいずれかの範囲内で設定される。
図37は、KrFエキシマレーザ装置の性能をキセノンガス濃度との関係で示すグラフである。図37は、パルスレーザ光の繰り返し周波数を6kHzとしてKrFエキシマレーザ装置の性能を測定した結果を示す。KrFエキシマレーザ装置の性能は、平均パルスエネルギーEp及びパルスエネルギー安定性Eσを含む。平均パルスエネルギーEp及びパルスエネルギー安定性Eσの計算方法は、ArFエキシマレーザ装置の性能に関して説明したものと同様である。
(1)キセノンガス濃度が約6ppmである場合
最も高い平均パルスエネルギーEpが得られる。
(2)キセノンガス濃度が1ppm以上、50ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーよりも高くなる。
(3)キセノンガス濃度が2ppm以上、30ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーの1.03倍よりも高くなる。
(4)キセノンガス濃度が3ppm以上、20ppm以下である場合
平均パルスエネルギーEpは、キセノンガス濃度が0ppmである場合の平均パルスエネルギーの1.05倍よりも高くなる。
(5)上記(1)~(4)のいずれの場合も、パルスエネルギー安定性Eσは、キセノンガス濃度が0ppmである場合よりも改善される。
特に、キセノンガス濃度が6ppm以上である場合に、パルスエネルギー安定性Eσが大幅に改善される。そこで、平均パルスエネルギーEp及びパルスエネルギー安定性Eσの両方が改善されるキセノンガス濃度範囲としては、6ppm以上、50ppm以下が好ましい。
図38を参照しながら後述する目標キセノンガス濃度Cxemtは、例えば、上記(1)~(4)のいずれかの範囲内で設定される。
図38は、本開示の第15の実施形態における目標キセノンガス濃度Cxemtの設定値について説明するグラフである。
第15の実施形態においては、第1及び第3の実施形態において説明したレーザチャンバ10内の目標キセノンガス濃度Cxectとは別の目標キセノンガス濃度Cxemtが設定される。そして、フッ素含有ガスとキセノン含有ガスとを混合したと仮定したときのキセノンガス濃度が目標キセノンガス濃度Cxemtに等しくなるようにキセノン含有ガスが添加される。
目標キセノンガス濃度Cxemtは、レーザ装置の性能が改善するキセノンガス濃度の範囲内に設定される。レーザ装置の性能が改善するキセノンガス濃度は、例えば、図36又は図37を参照しながら説明したものである。
さらに、目標キセノンガス濃度Cxemtは、不活性ガス供給源Bから供給される不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1より高い値に設定される。
ArFエキシマレーザ装置において、レーザ装置の性能が改善するキセノンガス濃度は、例えば、90ppm以下である。そこで、目標キセノンガス濃度Cxemtは、不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1より高い値であって、90ppm以下の範囲内に設定されるのが好ましい。
KrFエキシマレーザ装置において、レーザ装置の性能が改善するキセノンガス濃度は、例えば、50ppm以下である。そこで、目標キセノンガス濃度Cxemtは、不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1より高い値であって、50ppm以下の範囲内に設定されるのが好ましい。
ArFエキシマレーザ装置において、不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1は、例えば、6ppm以上、13ppm以下であり、好ましくは8ppm以上、12ppm以下である。
KrFエキシマレーザ装置において、不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1は、例えば、6ppm以上、25ppm以下であり、好ましくは8ppm以上、15ppm以下である。
他の点については、第15の実施形態は第1~第14の実施形態と同様である。
その一方、図36及び図37を参照しながら説明したように、レーザ装置の性能が改善するキセノンガス濃度としては、ある程度の許容幅が存在する場合がある。
目標キセノンガス濃度Cxemtを不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1より高い値に設定して、レーザガス再生装置50を運転することにより、レーザチャンバ10におけるキセノンガス濃度は、次第に目標キセノンガス濃度Cxemtに近づく。仮に何らかの原因で一部のキセノンガスがトラップされたとしても、レーザチャンバ10内のキセノンガス濃度は、不活性新ガスのキセノンガス濃度Cxe1と目標キセノンガス濃度Cxemtとの間に収まる。従って、レーザチャンバ10内のキセノンガス濃度は許容範囲内となり、レーザ装置の性能の悪化が抑制される。
第1及び第2の実施形態と同様に、フッ素含有ガスの供給量Qf2に基づいてキセノン含有ガスの添加量Qxeを決定する場合について説明する。
Rf2=Cxemt/(Cxeb-Cxemt)
ここで、Cxebは、キセノン含有ガスのキセノンガス濃度である。
上述の(式1)と同様に、キセノン含有ガスの添加量Qxeは以下の式で与えられる。
Qxe=Rf2・Qf2 (式3)
第3の実施形態と同様に、装置外部に排気されたレーザガスの排気量Qexに基づいてキセノン含有ガスの添加量Qxeを決定する場合について説明する。
Qxe=Rex・Qex (式4)
Qf2=Qex/(1-1/2・Cf2)
この式と上述の式3から、キセノン含有ガスの添加量Qxeは、以下の式で与えられる。
Qxe={Rf2/(1-1/2・Cf2)}Qex
この式と上述の式4から、レーザガスの排気量Qexに対するキセノン含有ガスの添加量Qxeの比Rexは以下の通りとなる。
Rex=Rf2/(1-1/2・Cf2)
Qxe=Rf2・Qex
第15の実施形態に係るエキシマレーザ装置は、図33を参照しながら説明した露光装置100に用いられてもよい。
Claims (40)
- アルゴンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、アルゴンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置に供給される前記第2のレーザガスの供給量のデータを取得するデータ取得部と、
アルゴンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記供給量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備えるレーザガス再生装置。 - 請求項1に記載のレーザガス再生装置であって、
前記制御部は、前記供給量に比例するように、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する、
レーザガス再生装置。 - 請求項1に記載のレーザガス再生装置であって、
前記供給量を計測し、前記供給量のデータを前記データ取得部に送信する計測部をさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項3に記載のレーザガス再生装置であって、
前記計測部は、前記第2のレーザガス供給源と前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置との間に接続された配管に配置されたマスフローメータを含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項1に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置と前記第2のレーザガス供給源との間に接続された配管に配置されたマスフローメータから計測データを受信することにより前記供給量のデータを取得する、
レーザガス再生装置。 - 請求項1に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記供給量のデータを前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から受信することにより取得する、
レーザガス再生装置。 - 請求項1に記載のレーザガス再生装置であって、
前記キセノン添加部によって前記第3のレーザガスを添加された前記再生ガスを収容し、混合させる再生ガスタンクをさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項1に記載のレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置は、複数のArFエキシマレーザ装置を含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項8に記載のレーザガス再生装置であって、
前記供給量は、前記複数のArFエキシマレーザ装置にそれぞれ供給される前記第2のレーザガスの供給量の総和である、
レーザガス再生装置。 - アルゴンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、アルゴンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量のデータを取得するデータ取得部と、
アルゴンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記排気量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備えるレーザガス再生装置。 - 請求項10に記載のレーザガス再生装置であって、
前記制御部は、前記排気量に比例するように、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する、
レーザガス再生装置。 - 請求項10に記載のレーザガス再生装置であって、
前記排気量を計測し、前記排気量のデータを前記データ取得部に送信する計測部をさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項12に記載のレーザガス再生装置であって、
前記計測部は、前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置と外部との間に接続された配管に配置されたマスフローメータを含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項10に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置と外部との間に接続された配管に配置されたマスフローメータから計測データを受信することにより前記排気量のデータを取得する
レーザガス再生装置。 - 請求項10に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記排気量のデータを前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から受信することにより取得する、
レーザガス再生装置。 - 請求項10に記載のレーザガス再生装置であって、
前記キセノン添加部によって前記第3のレーザガスを添加された前記再生ガスを収容し、混合させる再生ガスタンクをさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項10に記載のレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置は、複数のArFエキシマレーザ装置を含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項17に記載のレーザガス再生装置であって、
前記排気量は、前記複数のArFエキシマレーザ装置からそれぞれ排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量の総和である
レーザガス再生装置。 - 電子デバイスの製造方法であって、
アルゴンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、アルゴンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置と、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置に供給される前記第2のレーザガスの供給量のデータを取得するデータ取得部と、
アルゴンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記供給量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備える前記レーザガス再生装置と、
を備えるエキシマレーザシステムによって、レーザ光を生成し、
前記レーザ光を露光装置に出力し、
前記露光装置内で感光基板を前記レーザ光で露光すること
を含む電子デバイスの製造方法。 - 電子デバイスの製造方法であって、
アルゴンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、アルゴンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置と、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのArFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量のデータを取得するデータ取得部と、
アルゴンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記排気量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備える前記レーザガス再生装置と、
を備えるエキシマレーザシステムによって、レーザ光を生成し、
前記レーザ光を露光装置に出力し、
前記露光装置内で感光基板を前記レーザ光で露光すること
を含む電子デバイスの製造方法。 - クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給される前記第2のレーザガスの供給量のデータを取得するデータ取得部と、
クリプトンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記供給量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備えるレーザガス再生装置。 - 請求項21に記載のレーザガス再生装置であって、
前記制御部は、前記供給量に比例するように、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する、
レーザガス再生装置。 - 請求項21に記載のレーザガス再生装置であって、
前記供給量を計測し、前記供給量のデータを前記データ取得部に送信する計測部をさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項23に記載のレーザガス再生装置であって、
前記計測部は、前記第2のレーザガス供給源と前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置との間に接続された配管に配置されたマスフローメータを含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項21に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と前記第2のレーザガス供給源との間に接続された配管に配置されたマスフローメータから計測データを受信することにより前記供給量のデータを取得する、
レーザガス再生装置。 - 請求項21に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記供給量のデータを前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から受信することにより取得する、
レーザガス再生装置。 - 請求項21に記載のレーザガス再生装置であって、
前記キセノン添加部によって前記第3のレーザガスを添加された前記再生ガスを収容し、混合させる再生ガスタンクをさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項21に記載のレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置は、複数のKrFエキシマレーザ装置を含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項28に記載のレーザガス再生装置であって、
前記供給量は、前記複数のKrFエキシマレーザ装置にそれぞれ供給される前記第2のレーザガスの供給量の総和である、
レーザガス再生装置。 - クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量のデータを取得するデータ取得部と、
クリプトンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記排気量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備えるレーザガス再生装置。 - 請求項30に記載のレーザガス再生装置であって、
前記制御部は、前記排気量に比例するように、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する、
レーザガス再生装置。 - 請求項30に記載のレーザガス再生装置であって、
前記排気量を計測し、前記排気量のデータを前記データ取得部に送信する計測部をさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項32に記載のレーザガス再生装置であって、
前記計測部は、前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と外部との間に接続された配管に配置されたマスフローメータを含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項30に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と外部との間に接続された配管に配置されたマスフローメータから計測データを受信することにより前記排気量のデータを取得する
レーザガス再生装置。 - 請求項30に記載のレーザガス再生装置であって、
前記データ取得部は、前記排気量のデータを前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から受信することにより取得する、
レーザガス再生装置。 - 請求項30に記載のレーザガス再生装置であって、
前記キセノン添加部によって前記第3のレーザガスを添加された前記再生ガスを収容し、混合させる再生ガスタンクをさらに備える、
レーザガス再生装置。 - 請求項30に記載のレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置は、複数のKrFエキシマレーザ装置を含む、
レーザガス再生装置。 - 請求項37に記載のレーザガス再生装置であって、
前記排気量は、前記複数のKrFエキシマレーザ装置からそれぞれ排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量の総和である
レーザガス再生装置。 - 電子デバイスの製造方法であって、
クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給される前記第2のレーザガスの供給量のデータを取得するデータ取得部と、
クリプトンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記供給量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備える前記レーザガス再生装置と、
を備えるエキシマレーザシステムによって、レーザ光を生成し、
前記レーザ光を露光装置に出力し、
前記露光装置内で感光基板を前記レーザ光で露光すること
を含む電子デバイスの製造方法。 - 電子デバイスの製造方法であって、
クリプトンガス、ネオンガス、及び第1の濃度のキセノンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と、クリプトンガス、ネオンガス、及びフッ素ガスを含む第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と、に接続された少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置と、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの外部に排気されなかったレーザガスを再生し、再生ガスを前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置に供給するレーザガス再生装置であって、
前記少なくとも1つのKrFエキシマレーザ装置から排出された排出ガスのうちの再生されずに外部に排気されたレーザガスの排気量のデータを取得するデータ取得部と、
クリプトンガス、ネオンガス、及び前記第1の濃度より高い第2の濃度のキセノンガスを含む第3のレーザガスを前記再生ガスに添加するキセノン添加部と、
前記排気量に基づいて、前記キセノン添加部による前記第3のレーザガスの添加量を制御する制御部と、
を備える前記レーザガス再生装置と、
を備えるエキシマレーザシステムによって、レーザ光を生成し、
前記レーザ光を露光装置に出力し、
前記露光装置内で感光基板を前記レーザ光で露光すること
を含む電子デバイスの製造方法。
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