JP7250948B2 - 電流測定一体型アパーチャアレイ - Google Patents
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Description
[0001] 本願は2019年3月28日に提出された欧州出願第19166009.1号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
1.一次荷電粒子ビームを生成するように構成された荷電粒子源と、
アパーチャアレイであって、
一次荷電粒子ビームから複数のビームレットを形成するように構成された複数のアパーチャと、
アパーチャアレイを照射する一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を検出するための回路構成を含む検出器と、
を備える、アパーチャアレイと、
を備える、マルチビーム装置。
2.検出器は、一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電荷を蓄積するため及び蓄積された電荷に基づいて電流を測定するための回路構成を含む、条項1の装置。
3.検出器は、一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を監視するための回路構成を含む、条項1及び2のいずれか一項の装置。
4.検出器は、一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の位置の変化又はサイズの変化のうち少なくとも一方を検出するための回路構成を含む、条項3の装置。
5.一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流は、一次荷電粒子ビームの総電流を判定するために用いられる、条項1から4のいずれか一項の装置。
6.検出器は、一次荷電粒子ビームの複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出するように構成された複数の電流検出器を備える、条項1から5のいずれか一項の装置。
7.複数のパラメータは、ビーム位置、ビーム直径、ビーム電流、ビーム電流密度、又はビーム電流密度の均一性のうち少なくとも1つを備える、条項6の装置。
8.複数の電流検出器の各々は、アパーチャアレイの少なくとも1つのアパーチャと関連付けられている、条項6及び7のいずれか一項の装置。
9.複数の電流検出器の各々は、アパーチャアレイ上に配設されている、条項6から8のいずれか一項の装置。
10.検出器は、ファラデーカップ、ダイオード、ダイオードのアレイ、又はシンチレータを備える、条項1から9のいずれか一項の装置。
11.一次荷電粒子ビームを生成するように構成された荷電粒子源と、
第1の複数のアパーチャを備えると共に一次荷電粒子ビームから複数のビームレットを形成するように構成された第1のアパーチャアレイと、
第2のアパーチャアレイであって、
第2の複数のアパーチャと、
複数の電流検出器であって、複数の電流検出器の各々は第2の複数のアパーチャのうち少なくとも1つのアパーチャと関連付けられると共に、第2のアパーチャアレイを照射する複数のビームレットのうち対応するビームレットの電流を検出するための回路構成を含む、複数の電流検出器と、
を備える、第2のアパーチャアレイと、
を備える、マルチビーム装置。
12.第1のアパーチャアレイは、荷電粒子源と第2のアパーチャアレイとの間に配設される、条項11の装置。
13.第1のアパーチャアレイは、電流制限アパーチャアレイを備える、条項11及び12のいずれか一項の装置。
14.複数の電流検出器の各々は、複数のビームレットのうち対応するビームレットの少なくとも一部の電荷を蓄積するため及び蓄積された電荷に基づいて電流を測定するための回路構成を含む、条項11から13のいずれか一項の装置。
15.複数の電流検出器の各々は、対応するビームレットの電流を監視するための回路構成を含む、条項11から14のいずれか一項の装置。
16.複数の電流検出器の各々は、対応するビームレットの位置の変化又はサイズの変化のうち少なくとも一方を検出するための回路構成を含む、条項15の装置。
17.複数の電流検出器の各々は、対応するビームレットの複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出するための回路構成を含む、条項11から16のいずれか一項の装置。
18.複数のパラメータは、ビームレット位置、ビームレット直径、ビームレット電流、ビームレット電流密度、又はビームレット電流密度の均一性のうち少なくとも1つを備える、条項17の装置。
19.複数の電流検出器の各々は、ファラデーカップ、ダイオード、ダイオードのアレイ、又はシンチレータを備える、条項11から18のいずれか一項の装置。
20.一次荷電粒子ビームを生成するように構成された荷電粒子源と、
第1のアパーチャアレイであって、
一次荷電粒子ビームから複数のビームレットを形成するように構成された第1の複数のアパーチャと、
第1のアパーチャアレイを照射する一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を検出するための回路構成を含む第1の電流検出器と、
を備える、第1のアパーチャアレイと、
第2の複数のアパーチャを備える第2のアパーチャアレイであって、第2の複数のアパーチャの各々は、複数のビームレットのうち対応するビームレットの少なくとも一部を受けるように構成されている、第2のアパーチャアレイと、
を備える、マルチビーム装置。
21.第1の電流検出器は、一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電荷を蓄積するため及び蓄積された電荷に基づいて電流を測定するための回路構成を含む、条項20の装置。
22.第2のアパーチャアレイは、第2の複数のアパーチャのうち少なくとも1つと関連付けられた第2の電流検出器を備える、条項20及び21のいずれか一項の装置。
23.第2の電流検出器は、複数のビームレットのうち対応するビームレットの少なくとも一部の電荷を蓄積するため及び蓄積された電荷に基づいて電流を測定するための回路構成を含む、条項22の装置。
24.第1の電流検出器は、一次荷電粒子ビームの複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出するための回路構成を含む、条項20から23のいずれか一項の装置。
25.第2の電流検出器は、対応するビームレットの複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出するための回路構成を含む、条項22から24のいずれか一項の装置。
26.一次荷電粒子ビームの複数のパラメータは、ビーム位置、ビーム直径、ビーム電流、ビーム電流密度、又はビーム電流密度の均一性のうち少なくとも1つを備える、条項24の装置。
27.対応するビームレットの複数のパラメータは、ビームレット位置、ビームレット直径、ビームレット電流、ビームレット電流密度、又はビームレット電流密度の均一性のうち少なくとも1つを備える、条項25の装置。
28.第1の電流検出器は、ファラデーカップ、ダイオード、ダイオードのアレイ、又はシンチレータを備える、条項20から27のいずれか一項の装置。
29.第2の電流検出器は、ファラデーカップ、ダイオード、ダイオードのアレイ、シンチレータを備える、条項22から28のいずれか一項の装置。
30.第1のアパーチャアレイは、複数の電流検出器を備える、条項20から29のいずれか一項の装置。
31.マルチビーム装置においてビーム電流を測定する方法であって、
一次荷電粒子ビームをアパーチャアレイに照射することと、
アパーチャアレイ上に位置決めされた検出器を用いて一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を検出することと、
検出された電流に基づいて、複数のビームパラメータのうち少なくとも1つのビームパラメータを調節することと、
を備える、方法。
32.一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電荷を蓄積することと、
蓄積された電荷に基づいてビーム電流を測定することと、
を更に備える、条項30の方法。
33.一次荷電粒子ビームの少なくとも一部のビーム電流を監視することを更に備える、条項30及び31のいずれか一項の方法。
34.一次荷電粒子ビームの一部の複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出することを更に備える、条項30から32のいずれか一項の方法。
35.複数のパラメータは、ビーム位置、ビーム直径、ビーム電流、ビーム電流密度、又はビーム電流密度の均一性のうち少なくとも1つを備える、条項33の方法。
36.一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の測定された電流に基づいて一次荷電粒子ビームの総電流を判定することを更に備える、条項30から34のいずれか一項の方法。
37.検出器は、複数の電流検出器を備え、
複数の電流検出器の各々は、アパーチャアレイの少なくとも1つのアパーチャと関連付けられている、条項30から35のいずれか一項の方法。
38.マルチビーム装置の1つ以上のプロセッサによって実行可能でありマルチビーム装置にマルチビーム装置においてビーム電流を測定するための方法を実施させる一組の命令を記憶する非一時的コンピュータ可読媒体であって、方法は、
アパーチャアレイへの一次荷電粒子ビームの照射を制御することと、
検出器によって検出された一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流に基づいて一次荷電粒子ビームの電流を判定することと、
を備える、非一時的コンピュータ可読媒体。
39.マルチビーム装置の1つ以上のプロセッサによって実行可能な一組の命令は、マルチビーム装置に更に、
一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電荷を蓄積するように検出器を作動させることと、
蓄積された電荷に基づいて一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を測定することと、
測定された電流に基づいて、複数のビームパラメータのうち少なくとも1つのビームパラメータを調節することと、
を実施させる、条項37の非一時的コンピュータ可読媒体。
Claims (14)
- 一次荷電粒子ビームを生成するように構成された荷電粒子源と、アパーチャアレイと、を備えるマルチビーム装置であって、
前記アパーチャアレイは、
前記一次荷電粒子ビームから複数のビームレットを形成するように構成された複数のアパーチャと、
回路構成に連結されると共に前記アパーチャアレイを照射する前記一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を検出するように構成された検出器であって、前記一次荷電粒子ビームに関して前記アパーチャアレイのビーム入射側に配設された、検出器と、を有し、
前記検出器は、前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の位置の変化又はサイズの変化のうち少なくとも一方を検出するための回路構成に連結されている、マルチビーム装置。 - 前記検出器は、前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の電荷を蓄積するため及び前記蓄積された電荷に基づいて前記電流を測定するための回路構成を含む、請求項1の装置。
- 前記検出器は、前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の前記電流を監視するための回路構成に連結されている、請求項1の装置。
- 前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の前記電流は、前記一次荷電粒子ビームの総電流を判定するために用いられる、請求項1の装置。
- 前記検出器は、前記一次荷電粒子ビームの複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出するように構成された複数の電流検出器を備える、請求項1の装置。
- 前記複数のパラメータは、ビーム位置、ビーム直径、ビーム電流、ビーム電流密度、又は前記ビーム電流密度の均一性のうち少なくとも1つを備える、請求項5の装置。
- 前記複数の電流検出器の各々は、前記アパーチャアレイの少なくとも1つのアパーチャと関連付けられている、請求項5の装置。
- 前記複数の電流検出器の各々は、前記アパーチャアレイ上に配設されている、請求項5の装置。
- 前記検出器は、ファラデーカップ、ダイオード、ダイオードのアレイ、又はシンチレータを備える、請求項1の装置。
- マルチビーム装置においてビーム電流を測定する方法であって、
一次荷電粒子ビームをアパーチャアレイに照射することと、
前記アパーチャアレイのビーム入射側に位置決めされた検出器を用いて前記一次荷電粒子ビームの少なくとも一部の電流を検出することと、
前記検出器を、前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の位置の変化又はサイズの変化のうち少なくとも一方を検出するための回路構成に連結することと、
前記検出された電流に基づいて、複数のビームパラメータのうち少なくとも1つのビームパラメータを調節することと、
を備える、方法。 - 前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の電荷を蓄積することと、
前記蓄積された電荷に基づいて前記ビーム電流を測定することと、
を更に備える、請求項10の方法。 - 前記一次荷電粒子ビームの少なくとも前記一部の前記ビーム電流を監視することを更に備える、請求項10の方法。
- 前記一次荷電粒子ビームの前記一部の複数のパラメータのうち少なくとも1つの変化を検出することを更に備える、請求項10の方法。
- 前記検出器は、複数の電流検出器を備え、
前記複数の電流検出器の各々は、前記アパーチャアレイの少なくとも1つのアパーチャと関連付けられている、請求項10の方法。
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